Abstract

A soft x-ray microscope based on a phase-reversal zone plate was constructed and tested using high harmonic radiation as a coherent light source. The 61st harmonic centered at 13.3nm was optimized in spectral sharpness and intensity by controlling the incident laser energy and chirp. A phase-reversal zone plate made of polymethyl methacrylate more than doubled the first-order efficiency. The nano patterns, imaged on an x-ray CCD with a magnification of 650, showed that the measured resolution of the microscope was better than 100nm.

© 2009 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. G. Denbeaux, E. Anderson, W. Chao, T. Eimüller, L. Johnson, M. Köhler, C. Larabell, M. Legros, P. Fischer, A. Pearson, G. Schütz, D. Yager, and D. Attwood, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 841 (2001).
    [CrossRef]
  2. P. A. C. Takman, H. Stollberg, G. A. Johansson, A. Holmberg, M. Lindblom, and H. M. Hertz, J. Microsc. 226, 175 (2007).
    [CrossRef] [PubMed]
  3. G. Vaschenko, C. Brewer, F. Brizuela, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. C. Marconi, J. J. Rocca, C. S. Menoni, E. H. Anderson, W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, Y. Liu, and D. T. Attwood, Opt. Lett. 31, 1214 (2006).
    [CrossRef] [PubMed]
  4. M. Wieland, Ch. Spielmann, U. Kleineberg, Th. Westerwalbesloh, U. Heinzmann, and T. Wilhein, Ultramicroscopy 102, 93 (2005).
    [CrossRef]
  5. D. G. Lee, J. J. Park, J. H. Sung, and C. H. Nam, Opt. Lett. 28, 480 (2003).
    [CrossRef] [PubMed]
  6. K. T. Kim, K. S. Kang, M. N. Park, T. Imran, G. Umesh, and C. H. Nam, Phys. Rev. Lett. 99, 223904 (2007).
    [CrossRef]
  7. E. Gouliemakis, M. Schultze, M. Hofstetter, V. S. Yakovlev, J. Gagnon, M. Uiberacker, A. L. Aquila, E. M. Gullikson, D. T. Attwood, R. Kienberger, F. Krausz, and U. Kleineberg, Science 320, 1614 (2008).
    [CrossRef]
  8. J. Kirz, J. Opt. Soc. Am. 64, 301 (1974).
    [CrossRef]
  9. H.-Y. Tsai, H. I. Smith, and R. Menon, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 2068 (2007).
    [CrossRef]
  10. http://www-cxro.lbl.gov/optical_constants/.
  11. A. R. Jones, Br. J. Appl. Phys. 2, 1789 (1969).
  12. D. Attwood, Soft X-Rays and Extreme Ultraviolet Radiation: Principles and Applications (Cambridge U. Press, 1999), Chap. 9.
  13. H. T. Kim, D. G. Lee, K.-H. Hong, J.-H. Kim, I. W. Choi, and C. H. Nam, Phys. Rev. A 67, 051801(R) (2003).
    [CrossRef]
  14. D. S. Kim, J. J. Park, K. H. Lee, J. Park, and C. H. Nam, “Soft x-ray microscope constructed with 130-nm spatial resolution using a high harmonic x-ray source,” Jpn. J. Appl. Phys. (to be published).

2008 (1)

E. Gouliemakis, M. Schultze, M. Hofstetter, V. S. Yakovlev, J. Gagnon, M. Uiberacker, A. L. Aquila, E. M. Gullikson, D. T. Attwood, R. Kienberger, F. Krausz, and U. Kleineberg, Science 320, 1614 (2008).
[CrossRef]

2007 (3)

K. T. Kim, K. S. Kang, M. N. Park, T. Imran, G. Umesh, and C. H. Nam, Phys. Rev. Lett. 99, 223904 (2007).
[CrossRef]

P. A. C. Takman, H. Stollberg, G. A. Johansson, A. Holmberg, M. Lindblom, and H. M. Hertz, J. Microsc. 226, 175 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

H.-Y. Tsai, H. I. Smith, and R. Menon, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 2068 (2007).
[CrossRef]

2006 (1)

2005 (1)

M. Wieland, Ch. Spielmann, U. Kleineberg, Th. Westerwalbesloh, U. Heinzmann, and T. Wilhein, Ultramicroscopy 102, 93 (2005).
[CrossRef]

2003 (2)

D. G. Lee, J. J. Park, J. H. Sung, and C. H. Nam, Opt. Lett. 28, 480 (2003).
[CrossRef] [PubMed]

H. T. Kim, D. G. Lee, K.-H. Hong, J.-H. Kim, I. W. Choi, and C. H. Nam, Phys. Rev. A 67, 051801(R) (2003).
[CrossRef]

2001 (1)

G. Denbeaux, E. Anderson, W. Chao, T. Eimüller, L. Johnson, M. Köhler, C. Larabell, M. Legros, P. Fischer, A. Pearson, G. Schütz, D. Yager, and D. Attwood, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 841 (2001).
[CrossRef]

1999 (1)

D. Attwood, Soft X-Rays and Extreme Ultraviolet Radiation: Principles and Applications (Cambridge U. Press, 1999), Chap. 9.

1974 (1)

1969 (1)

A. R. Jones, Br. J. Appl. Phys. 2, 1789 (1969).

Anderson, E.

G. Denbeaux, E. Anderson, W. Chao, T. Eimüller, L. Johnson, M. Köhler, C. Larabell, M. Legros, P. Fischer, A. Pearson, G. Schütz, D. Yager, and D. Attwood, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 841 (2001).
[CrossRef]

Anderson, E. H.

Aquila, A. L.

E. Gouliemakis, M. Schultze, M. Hofstetter, V. S. Yakovlev, J. Gagnon, M. Uiberacker, A. L. Aquila, E. M. Gullikson, D. T. Attwood, R. Kienberger, F. Krausz, and U. Kleineberg, Science 320, 1614 (2008).
[CrossRef]

Attwood, D.

G. Denbeaux, E. Anderson, W. Chao, T. Eimüller, L. Johnson, M. Köhler, C. Larabell, M. Legros, P. Fischer, A. Pearson, G. Schütz, D. Yager, and D. Attwood, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 841 (2001).
[CrossRef]

D. Attwood, Soft X-Rays and Extreme Ultraviolet Radiation: Principles and Applications (Cambridge U. Press, 1999), Chap. 9.

Attwood, D. T.

E. Gouliemakis, M. Schultze, M. Hofstetter, V. S. Yakovlev, J. Gagnon, M. Uiberacker, A. L. Aquila, E. M. Gullikson, D. T. Attwood, R. Kienberger, F. Krausz, and U. Kleineberg, Science 320, 1614 (2008).
[CrossRef]

G. Vaschenko, C. Brewer, F. Brizuela, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. C. Marconi, J. J. Rocca, C. S. Menoni, E. H. Anderson, W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, Y. Liu, and D. T. Attwood, Opt. Lett. 31, 1214 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Brewer, C.

Brizuela, F.

Chao, W.

G. Vaschenko, C. Brewer, F. Brizuela, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. C. Marconi, J. J. Rocca, C. S. Menoni, E. H. Anderson, W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, Y. Liu, and D. T. Attwood, Opt. Lett. 31, 1214 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

G. Denbeaux, E. Anderson, W. Chao, T. Eimüller, L. Johnson, M. Köhler, C. Larabell, M. Legros, P. Fischer, A. Pearson, G. Schütz, D. Yager, and D. Attwood, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 841 (2001).
[CrossRef]

Choi, I. W.

H. T. Kim, D. G. Lee, K.-H. Hong, J.-H. Kim, I. W. Choi, and C. H. Nam, Phys. Rev. A 67, 051801(R) (2003).
[CrossRef]

Denbeaux, G.

G. Denbeaux, E. Anderson, W. Chao, T. Eimüller, L. Johnson, M. Köhler, C. Larabell, M. Legros, P. Fischer, A. Pearson, G. Schütz, D. Yager, and D. Attwood, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 841 (2001).
[CrossRef]

Eimüller, T.

G. Denbeaux, E. Anderson, W. Chao, T. Eimüller, L. Johnson, M. Köhler, C. Larabell, M. Legros, P. Fischer, A. Pearson, G. Schütz, D. Yager, and D. Attwood, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 841 (2001).
[CrossRef]

Fischer, P.

G. Denbeaux, E. Anderson, W. Chao, T. Eimüller, L. Johnson, M. Köhler, C. Larabell, M. Legros, P. Fischer, A. Pearson, G. Schütz, D. Yager, and D. Attwood, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 841 (2001).
[CrossRef]

Gagnon, J.

E. Gouliemakis, M. Schultze, M. Hofstetter, V. S. Yakovlev, J. Gagnon, M. Uiberacker, A. L. Aquila, E. M. Gullikson, D. T. Attwood, R. Kienberger, F. Krausz, and U. Kleineberg, Science 320, 1614 (2008).
[CrossRef]

Gouliemakis, E.

E. Gouliemakis, M. Schultze, M. Hofstetter, V. S. Yakovlev, J. Gagnon, M. Uiberacker, A. L. Aquila, E. M. Gullikson, D. T. Attwood, R. Kienberger, F. Krausz, and U. Kleineberg, Science 320, 1614 (2008).
[CrossRef]

Gullikson, E. M.

E. Gouliemakis, M. Schultze, M. Hofstetter, V. S. Yakovlev, J. Gagnon, M. Uiberacker, A. L. Aquila, E. M. Gullikson, D. T. Attwood, R. Kienberger, F. Krausz, and U. Kleineberg, Science 320, 1614 (2008).
[CrossRef]

Harteneck, B. D.

Heinzmann, U.

M. Wieland, Ch. Spielmann, U. Kleineberg, Th. Westerwalbesloh, U. Heinzmann, and T. Wilhein, Ultramicroscopy 102, 93 (2005).
[CrossRef]

Hertz, H. M.

P. A. C. Takman, H. Stollberg, G. A. Johansson, A. Holmberg, M. Lindblom, and H. M. Hertz, J. Microsc. 226, 175 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Hofstetter, M.

E. Gouliemakis, M. Schultze, M. Hofstetter, V. S. Yakovlev, J. Gagnon, M. Uiberacker, A. L. Aquila, E. M. Gullikson, D. T. Attwood, R. Kienberger, F. Krausz, and U. Kleineberg, Science 320, 1614 (2008).
[CrossRef]

Holmberg, A.

P. A. C. Takman, H. Stollberg, G. A. Johansson, A. Holmberg, M. Lindblom, and H. M. Hertz, J. Microsc. 226, 175 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Hong, K.-H.

H. T. Kim, D. G. Lee, K.-H. Hong, J.-H. Kim, I. W. Choi, and C. H. Nam, Phys. Rev. A 67, 051801(R) (2003).
[CrossRef]

Imran, T.

K. T. Kim, K. S. Kang, M. N. Park, T. Imran, G. Umesh, and C. H. Nam, Phys. Rev. Lett. 99, 223904 (2007).
[CrossRef]

Johansson, G. A.

P. A. C. Takman, H. Stollberg, G. A. Johansson, A. Holmberg, M. Lindblom, and H. M. Hertz, J. Microsc. 226, 175 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Johnson, L.

G. Denbeaux, E. Anderson, W. Chao, T. Eimüller, L. Johnson, M. Köhler, C. Larabell, M. Legros, P. Fischer, A. Pearson, G. Schütz, D. Yager, and D. Attwood, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 841 (2001).
[CrossRef]

Jones, A. R.

A. R. Jones, Br. J. Appl. Phys. 2, 1789 (1969).

Kang, K. S.

K. T. Kim, K. S. Kang, M. N. Park, T. Imran, G. Umesh, and C. H. Nam, Phys. Rev. Lett. 99, 223904 (2007).
[CrossRef]

Kienberger, R.

E. Gouliemakis, M. Schultze, M. Hofstetter, V. S. Yakovlev, J. Gagnon, M. Uiberacker, A. L. Aquila, E. M. Gullikson, D. T. Attwood, R. Kienberger, F. Krausz, and U. Kleineberg, Science 320, 1614 (2008).
[CrossRef]

Kim, D. S.

D. S. Kim, J. J. Park, K. H. Lee, J. Park, and C. H. Nam, “Soft x-ray microscope constructed with 130-nm spatial resolution using a high harmonic x-ray source,” Jpn. J. Appl. Phys. (to be published).

Kim, H. T.

H. T. Kim, D. G. Lee, K.-H. Hong, J.-H. Kim, I. W. Choi, and C. H. Nam, Phys. Rev. A 67, 051801(R) (2003).
[CrossRef]

Kim, J.-H.

H. T. Kim, D. G. Lee, K.-H. Hong, J.-H. Kim, I. W. Choi, and C. H. Nam, Phys. Rev. A 67, 051801(R) (2003).
[CrossRef]

Kim, K. T.

K. T. Kim, K. S. Kang, M. N. Park, T. Imran, G. Umesh, and C. H. Nam, Phys. Rev. Lett. 99, 223904 (2007).
[CrossRef]

Kirz, J.

Kleineberg, U.

E. Gouliemakis, M. Schultze, M. Hofstetter, V. S. Yakovlev, J. Gagnon, M. Uiberacker, A. L. Aquila, E. M. Gullikson, D. T. Attwood, R. Kienberger, F. Krausz, and U. Kleineberg, Science 320, 1614 (2008).
[CrossRef]

M. Wieland, Ch. Spielmann, U. Kleineberg, Th. Westerwalbesloh, U. Heinzmann, and T. Wilhein, Ultramicroscopy 102, 93 (2005).
[CrossRef]

Köhler, M.

G. Denbeaux, E. Anderson, W. Chao, T. Eimüller, L. Johnson, M. Köhler, C. Larabell, M. Legros, P. Fischer, A. Pearson, G. Schütz, D. Yager, and D. Attwood, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 841 (2001).
[CrossRef]

Krausz, F.

E. Gouliemakis, M. Schultze, M. Hofstetter, V. S. Yakovlev, J. Gagnon, M. Uiberacker, A. L. Aquila, E. M. Gullikson, D. T. Attwood, R. Kienberger, F. Krausz, and U. Kleineberg, Science 320, 1614 (2008).
[CrossRef]

Larabell, C.

G. Denbeaux, E. Anderson, W. Chao, T. Eimüller, L. Johnson, M. Köhler, C. Larabell, M. Legros, P. Fischer, A. Pearson, G. Schütz, D. Yager, and D. Attwood, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 841 (2001).
[CrossRef]

Larotonda, M. A.

Lee, D. G.

H. T. Kim, D. G. Lee, K.-H. Hong, J.-H. Kim, I. W. Choi, and C. H. Nam, Phys. Rev. A 67, 051801(R) (2003).
[CrossRef]

D. G. Lee, J. J. Park, J. H. Sung, and C. H. Nam, Opt. Lett. 28, 480 (2003).
[CrossRef] [PubMed]

Lee, K. H.

D. S. Kim, J. J. Park, K. H. Lee, J. Park, and C. H. Nam, “Soft x-ray microscope constructed with 130-nm spatial resolution using a high harmonic x-ray source,” Jpn. J. Appl. Phys. (to be published).

Legros, M.

G. Denbeaux, E. Anderson, W. Chao, T. Eimüller, L. Johnson, M. Köhler, C. Larabell, M. Legros, P. Fischer, A. Pearson, G. Schütz, D. Yager, and D. Attwood, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 841 (2001).
[CrossRef]

Liddle, J. A.

Lindblom, M.

P. A. C. Takman, H. Stollberg, G. A. Johansson, A. Holmberg, M. Lindblom, and H. M. Hertz, J. Microsc. 226, 175 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Liu, Y.

Luther, B. M.

Marconi, M. C.

Menon, R.

H.-Y. Tsai, H. I. Smith, and R. Menon, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 2068 (2007).
[CrossRef]

Menoni, C. S.

Nam, C. H.

K. T. Kim, K. S. Kang, M. N. Park, T. Imran, G. Umesh, and C. H. Nam, Phys. Rev. Lett. 99, 223904 (2007).
[CrossRef]

D. G. Lee, J. J. Park, J. H. Sung, and C. H. Nam, Opt. Lett. 28, 480 (2003).
[CrossRef] [PubMed]

H. T. Kim, D. G. Lee, K.-H. Hong, J.-H. Kim, I. W. Choi, and C. H. Nam, Phys. Rev. A 67, 051801(R) (2003).
[CrossRef]

D. S. Kim, J. J. Park, K. H. Lee, J. Park, and C. H. Nam, “Soft x-ray microscope constructed with 130-nm spatial resolution using a high harmonic x-ray source,” Jpn. J. Appl. Phys. (to be published).

Park, J.

D. S. Kim, J. J. Park, K. H. Lee, J. Park, and C. H. Nam, “Soft x-ray microscope constructed with 130-nm spatial resolution using a high harmonic x-ray source,” Jpn. J. Appl. Phys. (to be published).

Park, J. J.

D. G. Lee, J. J. Park, J. H. Sung, and C. H. Nam, Opt. Lett. 28, 480 (2003).
[CrossRef] [PubMed]

D. S. Kim, J. J. Park, K. H. Lee, J. Park, and C. H. Nam, “Soft x-ray microscope constructed with 130-nm spatial resolution using a high harmonic x-ray source,” Jpn. J. Appl. Phys. (to be published).

Park, M. N.

K. T. Kim, K. S. Kang, M. N. Park, T. Imran, G. Umesh, and C. H. Nam, Phys. Rev. Lett. 99, 223904 (2007).
[CrossRef]

Pearson, A.

G. Denbeaux, E. Anderson, W. Chao, T. Eimüller, L. Johnson, M. Köhler, C. Larabell, M. Legros, P. Fischer, A. Pearson, G. Schütz, D. Yager, and D. Attwood, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 841 (2001).
[CrossRef]

Rocca, J. J.

Schultze, M.

E. Gouliemakis, M. Schultze, M. Hofstetter, V. S. Yakovlev, J. Gagnon, M. Uiberacker, A. L. Aquila, E. M. Gullikson, D. T. Attwood, R. Kienberger, F. Krausz, and U. Kleineberg, Science 320, 1614 (2008).
[CrossRef]

Schütz, G.

G. Denbeaux, E. Anderson, W. Chao, T. Eimüller, L. Johnson, M. Köhler, C. Larabell, M. Legros, P. Fischer, A. Pearson, G. Schütz, D. Yager, and D. Attwood, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 841 (2001).
[CrossRef]

Smith, H. I.

H.-Y. Tsai, H. I. Smith, and R. Menon, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 2068 (2007).
[CrossRef]

Spielmann, Ch.

M. Wieland, Ch. Spielmann, U. Kleineberg, Th. Westerwalbesloh, U. Heinzmann, and T. Wilhein, Ultramicroscopy 102, 93 (2005).
[CrossRef]

Stollberg, H.

P. A. C. Takman, H. Stollberg, G. A. Johansson, A. Holmberg, M. Lindblom, and H. M. Hertz, J. Microsc. 226, 175 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Sung, J. H.

Takman, P. A. C.

P. A. C. Takman, H. Stollberg, G. A. Johansson, A. Holmberg, M. Lindblom, and H. M. Hertz, J. Microsc. 226, 175 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Tsai, H.-Y.

H.-Y. Tsai, H. I. Smith, and R. Menon, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 2068 (2007).
[CrossRef]

Uiberacker, M.

E. Gouliemakis, M. Schultze, M. Hofstetter, V. S. Yakovlev, J. Gagnon, M. Uiberacker, A. L. Aquila, E. M. Gullikson, D. T. Attwood, R. Kienberger, F. Krausz, and U. Kleineberg, Science 320, 1614 (2008).
[CrossRef]

Umesh, G.

K. T. Kim, K. S. Kang, M. N. Park, T. Imran, G. Umesh, and C. H. Nam, Phys. Rev. Lett. 99, 223904 (2007).
[CrossRef]

Vaschenko, G.

Wang, Y.

Westerwalbesloh, Th.

M. Wieland, Ch. Spielmann, U. Kleineberg, Th. Westerwalbesloh, U. Heinzmann, and T. Wilhein, Ultramicroscopy 102, 93 (2005).
[CrossRef]

Wieland, M.

M. Wieland, Ch. Spielmann, U. Kleineberg, Th. Westerwalbesloh, U. Heinzmann, and T. Wilhein, Ultramicroscopy 102, 93 (2005).
[CrossRef]

Wilhein, T.

M. Wieland, Ch. Spielmann, U. Kleineberg, Th. Westerwalbesloh, U. Heinzmann, and T. Wilhein, Ultramicroscopy 102, 93 (2005).
[CrossRef]

Yager, D.

G. Denbeaux, E. Anderson, W. Chao, T. Eimüller, L. Johnson, M. Köhler, C. Larabell, M. Legros, P. Fischer, A. Pearson, G. Schütz, D. Yager, and D. Attwood, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 841 (2001).
[CrossRef]

Yakovlev, V. S.

E. Gouliemakis, M. Schultze, M. Hofstetter, V. S. Yakovlev, J. Gagnon, M. Uiberacker, A. L. Aquila, E. M. Gullikson, D. T. Attwood, R. Kienberger, F. Krausz, and U. Kleineberg, Science 320, 1614 (2008).
[CrossRef]

Br. J. Appl. Phys. (1)

A. R. Jones, Br. J. Appl. Phys. 2, 1789 (1969).

J. Microsc. (1)

P. A. C. Takman, H. Stollberg, G. A. Johansson, A. Holmberg, M. Lindblom, and H. M. Hertz, J. Microsc. 226, 175 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

J. Opt. Soc. Am. (1)

J. Vac. Sci. Technol. B (1)

H.-Y. Tsai, H. I. Smith, and R. Menon, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 2068 (2007).
[CrossRef]

Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A (1)

G. Denbeaux, E. Anderson, W. Chao, T. Eimüller, L. Johnson, M. Köhler, C. Larabell, M. Legros, P. Fischer, A. Pearson, G. Schütz, D. Yager, and D. Attwood, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 841 (2001).
[CrossRef]

Opt. Lett. (2)

Phys. Rev. A (1)

H. T. Kim, D. G. Lee, K.-H. Hong, J.-H. Kim, I. W. Choi, and C. H. Nam, Phys. Rev. A 67, 051801(R) (2003).
[CrossRef]

Phys. Rev. Lett. (1)

K. T. Kim, K. S. Kang, M. N. Park, T. Imran, G. Umesh, and C. H. Nam, Phys. Rev. Lett. 99, 223904 (2007).
[CrossRef]

Science (1)

E. Gouliemakis, M. Schultze, M. Hofstetter, V. S. Yakovlev, J. Gagnon, M. Uiberacker, A. L. Aquila, E. M. Gullikson, D. T. Attwood, R. Kienberger, F. Krausz, and U. Kleineberg, Science 320, 1614 (2008).
[CrossRef]

Ultramicroscopy (1)

M. Wieland, Ch. Spielmann, U. Kleineberg, Th. Westerwalbesloh, U. Heinzmann, and T. Wilhein, Ultramicroscopy 102, 93 (2005).
[CrossRef]

Other (3)

http://www-cxro.lbl.gov/optical_constants/.

D. Attwood, Soft X-Rays and Extreme Ultraviolet Radiation: Principles and Applications (Cambridge U. Press, 1999), Chap. 9.

D. S. Kim, J. J. Park, K. H. Lee, J. Park, and C. H. Nam, “Soft x-ray microscope constructed with 130-nm spatial resolution using a high harmonic x-ray source,” Jpn. J. Appl. Phys. (to be published).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1

Optimized high harmonic spectrum generated with positively chirped 51 fs laser pulses shown with the reflectivity profile of the Mo Si multilayer x-ray mirror.

Fig. 2
Fig. 2

Setup of the table-top soft x-ray microscope using a harmonic light source at 13 nm and PMMA-PRZP.

Fig. 3
Fig. 3

Nano elbow pattern pictures obtained using the soft x-ray microscope. (a) 200 nm width elbow pattern. (b) Intensity profile along to the black line in (a). (c) 150 nm width elbow pattern. (d) Intensity profile along to the black line in (c).

Equations (2)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

I 1 = I inc π 2 ( 1 + e 2 η φ 2 e η φ cos φ ) ,
I abs = I inc 2 ( 1 e 2 η φ ) , I 0 = I inc 4 ( 1 + e 2 η φ + 2 e η φ cos φ ) .

Metrics