Abstract

A 3D lithographic microfabrication process has been developed that is high throughput, scalable, and capable of producing arbitrary patterns. It offers the possibility for industrial scale manufacturing of 3D microdevices such as photonic crystals, tissue engineering scaffolds, and microfluidics chips. This method is based on depth-resolved wide-field illumination by temporally focusing femtosecond light pulses. We characterized the axial resolution of this technique, and the result is consistent with the theoretical prediction. As proof-of-concept experiments, we demonstrated photobleaching of 3D resolved patterns in a fluorescent medium and fabricating 3D microstructures with SU-8 photoresist.

© 2010 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. A. Hatzor and P. S. Weiss, Science 291, 1019 (2001).
    [PubMed]
  2. S. Kawata, H. B. Sun, T. Tanaka, and K. Takada, Nature 412, 697 (2001).
    [CrossRef] [PubMed]
  3. R. D. Piner, J. Zhu, F. Xu, S. H. Hong, and C. A. Mirkin, Science 283, 661 (1999).
    [CrossRef] [PubMed]
  4. A. A. Tseng, Small 1, 924 (2005).
    [CrossRef]
  5. B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
    [CrossRef]
  6. H. B. Sun, Y. Xu, S. Juodkazis, K. Sun, M. Watanabe, S. Matsuo, H. Misawa, and J. Nishii, Opt. Lett. 26, 325 (2001).
    [CrossRef]
  7. M. Stoneman, M. Fox, C. Y. Zeng, and V. Raicu, Lab Chip 9, 819 (2009).
    [CrossRef] [PubMed]
  8. B. Kaehr and J. B. Shear, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 105, 8850 (2008).
    [CrossRef] [PubMed]
  9. L. P. Cunningham, M. P. Veilleux, and P. J. Campagnola, Opt. Express 14, 8613 (2006).
    [CrossRef] [PubMed]
  10. B. Kaehr and J. B. Shear, J. Am. Chem. Soc. 129, 1904 (2007).
    [CrossRef] [PubMed]
  11. J. Kato, N. Takeyasu, Y. Adachi, H. B. Sun, and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 86, 044102 (2005).
    [CrossRef]
  12. S. Jeon, V. Malyarchuk, J. A. Rogers, and G. P. Wiederrecht, Opt. Express 14, 2300 (2006).
    [CrossRef] [PubMed]
  13. S. Shoji and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 76, 2668 (2000).
    [CrossRef]
  14. C. N. LaFratta, L. J. Li, and J. T. Fourkas, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 103, 8589 (2006).
    [CrossRef] [PubMed]
  15. D. Oron, E. Tal, and Y. Silberberg, Opt. Express 13, 1468 (2005).
    [CrossRef] [PubMed]
  16. G. H. Zhu, J. van Howe, M. Durst, W. Zipfel, and C. Xu, Opt. Express 13, 2153 (2005).
    [CrossRef] [PubMed]
  17. H. E. Pudavar, M. P. Joshi, P. N. Prasad, and B. A. Reinhardt, Appl. Phys. Lett. 74, 1338 (1999).
    [CrossRef]
  18. A. Diaspro, G. Chirico, C. Usai, P. Ramoino, and J. Dobrucki, in Handbook of Biological Confocal Microscopy, J.B.Pawley, ed., 3rd ed. (Springer, 2006), pp. 690–702.
    [CrossRef]
  19. T. J. Farrell, R. P. Hawkes, M. S. Patterson, and B. C. Wilson, Appl. Opt. 37, 7168 (1998).
    [CrossRef]
  20. H. B. Sun, T. Kawakami, Y. Xu, J. Y. Ye, S. Matuso, H. Misawa, M. Miwa, and R. Kaneko, Opt. Lett. 25, 1110 (2000).
    [CrossRef]
  21. “Processing Guidelines for SU-8 2010,” (MicroChem Corp., Newton).
  22. M. Rumi, J. E. Ehrlich, A. A. Heikal, J. W. Perry, S. Barlow, Z. Y. Hu, D. McCord-Maughon, T. C. Parker, H. Rockel, S. Thayumanavan, S. R. Marder, D. Beljonne, and J. L. Bredas, J. Am. Chem. Soc. 122, 9500 (2000).
    [CrossRef]
  23. W. Haske, V. W. Chen, J. M. Hales, W. T. Dong, S. Barlow, S. R. Marder, and J. W. Perry, Opt. Express 15, 3426 (2007).
    [CrossRef] [PubMed]

2009 (1)

M. Stoneman, M. Fox, C. Y. Zeng, and V. Raicu, Lab Chip 9, 819 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

2008 (1)

B. Kaehr and J. B. Shear, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 105, 8850 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

2007 (2)

2006 (3)

2005 (4)

2001 (3)

A. Hatzor and P. S. Weiss, Science 291, 1019 (2001).
[PubMed]

S. Kawata, H. B. Sun, T. Tanaka, and K. Takada, Nature 412, 697 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

H. B. Sun, Y. Xu, S. Juodkazis, K. Sun, M. Watanabe, S. Matsuo, H. Misawa, and J. Nishii, Opt. Lett. 26, 325 (2001).
[CrossRef]

2000 (3)

H. B. Sun, T. Kawakami, Y. Xu, J. Y. Ye, S. Matuso, H. Misawa, M. Miwa, and R. Kaneko, Opt. Lett. 25, 1110 (2000).
[CrossRef]

M. Rumi, J. E. Ehrlich, A. A. Heikal, J. W. Perry, S. Barlow, Z. Y. Hu, D. McCord-Maughon, T. C. Parker, H. Rockel, S. Thayumanavan, S. R. Marder, D. Beljonne, and J. L. Bredas, J. Am. Chem. Soc. 122, 9500 (2000).
[CrossRef]

S. Shoji and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 76, 2668 (2000).
[CrossRef]

1999 (3)

R. D. Piner, J. Zhu, F. Xu, S. H. Hong, and C. A. Mirkin, Science 283, 661 (1999).
[CrossRef] [PubMed]

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

H. E. Pudavar, M. P. Joshi, P. N. Prasad, and B. A. Reinhardt, Appl. Phys. Lett. 74, 1338 (1999).
[CrossRef]

1998 (1)

Adachi, Y.

J. Kato, N. Takeyasu, Y. Adachi, H. B. Sun, and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 86, 044102 (2005).
[CrossRef]

Ananthavel, S. P.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Barlow, S.

W. Haske, V. W. Chen, J. M. Hales, W. T. Dong, S. Barlow, S. R. Marder, and J. W. Perry, Opt. Express 15, 3426 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

M. Rumi, J. E. Ehrlich, A. A. Heikal, J. W. Perry, S. Barlow, Z. Y. Hu, D. McCord-Maughon, T. C. Parker, H. Rockel, S. Thayumanavan, S. R. Marder, D. Beljonne, and J. L. Bredas, J. Am. Chem. Soc. 122, 9500 (2000).
[CrossRef]

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Beljonne, D.

M. Rumi, J. E. Ehrlich, A. A. Heikal, J. W. Perry, S. Barlow, Z. Y. Hu, D. McCord-Maughon, T. C. Parker, H. Rockel, S. Thayumanavan, S. R. Marder, D. Beljonne, and J. L. Bredas, J. Am. Chem. Soc. 122, 9500 (2000).
[CrossRef]

Bredas, J. L.

M. Rumi, J. E. Ehrlich, A. A. Heikal, J. W. Perry, S. Barlow, Z. Y. Hu, D. McCord-Maughon, T. C. Parker, H. Rockel, S. Thayumanavan, S. R. Marder, D. Beljonne, and J. L. Bredas, J. Am. Chem. Soc. 122, 9500 (2000).
[CrossRef]

Campagnola, P. J.

Chen, V. W.

Chirico, G.

A. Diaspro, G. Chirico, C. Usai, P. Ramoino, and J. Dobrucki, in Handbook of Biological Confocal Microscopy, J.B.Pawley, ed., 3rd ed. (Springer, 2006), pp. 690–702.
[CrossRef]

Cumpston, B. H.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Cunningham, L. P.

Diaspro, A.

A. Diaspro, G. Chirico, C. Usai, P. Ramoino, and J. Dobrucki, in Handbook of Biological Confocal Microscopy, J.B.Pawley, ed., 3rd ed. (Springer, 2006), pp. 690–702.
[CrossRef]

Dobrucki, J.

A. Diaspro, G. Chirico, C. Usai, P. Ramoino, and J. Dobrucki, in Handbook of Biological Confocal Microscopy, J.B.Pawley, ed., 3rd ed. (Springer, 2006), pp. 690–702.
[CrossRef]

Dong, W. T.

Durst, M.

Dyer, D. L.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Ehrlich, J. E.

M. Rumi, J. E. Ehrlich, A. A. Heikal, J. W. Perry, S. Barlow, Z. Y. Hu, D. McCord-Maughon, T. C. Parker, H. Rockel, S. Thayumanavan, S. R. Marder, D. Beljonne, and J. L. Bredas, J. Am. Chem. Soc. 122, 9500 (2000).
[CrossRef]

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Erskine, L. L.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Farrell, T. J.

Fourkas, J. T.

C. N. LaFratta, L. J. Li, and J. T. Fourkas, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 103, 8589 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Fox, M.

M. Stoneman, M. Fox, C. Y. Zeng, and V. Raicu, Lab Chip 9, 819 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

Hales, J. M.

Haske, W.

Hatzor, A.

A. Hatzor and P. S. Weiss, Science 291, 1019 (2001).
[PubMed]

Hawkes, R. P.

Heikal, A. A.

M. Rumi, J. E. Ehrlich, A. A. Heikal, J. W. Perry, S. Barlow, Z. Y. Hu, D. McCord-Maughon, T. C. Parker, H. Rockel, S. Thayumanavan, S. R. Marder, D. Beljonne, and J. L. Bredas, J. Am. Chem. Soc. 122, 9500 (2000).
[CrossRef]

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Hong, S. H.

R. D. Piner, J. Zhu, F. Xu, S. H. Hong, and C. A. Mirkin, Science 283, 661 (1999).
[CrossRef] [PubMed]

Hu, Z. Y.

M. Rumi, J. E. Ehrlich, A. A. Heikal, J. W. Perry, S. Barlow, Z. Y. Hu, D. McCord-Maughon, T. C. Parker, H. Rockel, S. Thayumanavan, S. R. Marder, D. Beljonne, and J. L. Bredas, J. Am. Chem. Soc. 122, 9500 (2000).
[CrossRef]

Jeon, S.

Joshi, M. P.

H. E. Pudavar, M. P. Joshi, P. N. Prasad, and B. A. Reinhardt, Appl. Phys. Lett. 74, 1338 (1999).
[CrossRef]

Juodkazis, S.

Kaehr, B.

B. Kaehr and J. B. Shear, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 105, 8850 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

B. Kaehr and J. B. Shear, J. Am. Chem. Soc. 129, 1904 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Kaneko, R.

Kato, J.

J. Kato, N. Takeyasu, Y. Adachi, H. B. Sun, and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 86, 044102 (2005).
[CrossRef]

Kawakami, T.

Kawata, S.

J. Kato, N. Takeyasu, Y. Adachi, H. B. Sun, and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 86, 044102 (2005).
[CrossRef]

S. Kawata, H. B. Sun, T. Tanaka, and K. Takada, Nature 412, 697 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

S. Shoji and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 76, 2668 (2000).
[CrossRef]

Kuebler, S. M.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

LaFratta, C. N.

C. N. LaFratta, L. J. Li, and J. T. Fourkas, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 103, 8589 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Lee, I. Y. S.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Li, L. J.

C. N. LaFratta, L. J. Li, and J. T. Fourkas, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 103, 8589 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Malyarchuk, V.

Marder, S. R.

W. Haske, V. W. Chen, J. M. Hales, W. T. Dong, S. Barlow, S. R. Marder, and J. W. Perry, Opt. Express 15, 3426 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

M. Rumi, J. E. Ehrlich, A. A. Heikal, J. W. Perry, S. Barlow, Z. Y. Hu, D. McCord-Maughon, T. C. Parker, H. Rockel, S. Thayumanavan, S. R. Marder, D. Beljonne, and J. L. Bredas, J. Am. Chem. Soc. 122, 9500 (2000).
[CrossRef]

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Matsuo, S.

Matuso, S.

McCord-Maughon, D.

M. Rumi, J. E. Ehrlich, A. A. Heikal, J. W. Perry, S. Barlow, Z. Y. Hu, D. McCord-Maughon, T. C. Parker, H. Rockel, S. Thayumanavan, S. R. Marder, D. Beljonne, and J. L. Bredas, J. Am. Chem. Soc. 122, 9500 (2000).
[CrossRef]

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Mirkin, C. A.

R. D. Piner, J. Zhu, F. Xu, S. H. Hong, and C. A. Mirkin, Science 283, 661 (1999).
[CrossRef] [PubMed]

Misawa, H.

Miwa, M.

Nishii, J.

Oron, D.

Parker, T. C.

M. Rumi, J. E. Ehrlich, A. A. Heikal, J. W. Perry, S. Barlow, Z. Y. Hu, D. McCord-Maughon, T. C. Parker, H. Rockel, S. Thayumanavan, S. R. Marder, D. Beljonne, and J. L. Bredas, J. Am. Chem. Soc. 122, 9500 (2000).
[CrossRef]

Patterson, M. S.

Perry, J. W.

W. Haske, V. W. Chen, J. M. Hales, W. T. Dong, S. Barlow, S. R. Marder, and J. W. Perry, Opt. Express 15, 3426 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

M. Rumi, J. E. Ehrlich, A. A. Heikal, J. W. Perry, S. Barlow, Z. Y. Hu, D. McCord-Maughon, T. C. Parker, H. Rockel, S. Thayumanavan, S. R. Marder, D. Beljonne, and J. L. Bredas, J. Am. Chem. Soc. 122, 9500 (2000).
[CrossRef]

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Piner, R. D.

R. D. Piner, J. Zhu, F. Xu, S. H. Hong, and C. A. Mirkin, Science 283, 661 (1999).
[CrossRef] [PubMed]

Prasad, P. N.

H. E. Pudavar, M. P. Joshi, P. N. Prasad, and B. A. Reinhardt, Appl. Phys. Lett. 74, 1338 (1999).
[CrossRef]

Pudavar, H. E.

H. E. Pudavar, M. P. Joshi, P. N. Prasad, and B. A. Reinhardt, Appl. Phys. Lett. 74, 1338 (1999).
[CrossRef]

Qin, J. Q.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Raicu, V.

M. Stoneman, M. Fox, C. Y. Zeng, and V. Raicu, Lab Chip 9, 819 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

Ramoino, P.

A. Diaspro, G. Chirico, C. Usai, P. Ramoino, and J. Dobrucki, in Handbook of Biological Confocal Microscopy, J.B.Pawley, ed., 3rd ed. (Springer, 2006), pp. 690–702.
[CrossRef]

Reinhardt, B. A.

H. E. Pudavar, M. P. Joshi, P. N. Prasad, and B. A. Reinhardt, Appl. Phys. Lett. 74, 1338 (1999).
[CrossRef]

Rockel, H.

M. Rumi, J. E. Ehrlich, A. A. Heikal, J. W. Perry, S. Barlow, Z. Y. Hu, D. McCord-Maughon, T. C. Parker, H. Rockel, S. Thayumanavan, S. R. Marder, D. Beljonne, and J. L. Bredas, J. Am. Chem. Soc. 122, 9500 (2000).
[CrossRef]

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Rogers, J. A.

Rumi, M.

M. Rumi, J. E. Ehrlich, A. A. Heikal, J. W. Perry, S. Barlow, Z. Y. Hu, D. McCord-Maughon, T. C. Parker, H. Rockel, S. Thayumanavan, S. R. Marder, D. Beljonne, and J. L. Bredas, J. Am. Chem. Soc. 122, 9500 (2000).
[CrossRef]

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Shear, J. B.

B. Kaehr and J. B. Shear, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 105, 8850 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

B. Kaehr and J. B. Shear, J. Am. Chem. Soc. 129, 1904 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Shoji, S.

S. Shoji and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 76, 2668 (2000).
[CrossRef]

Silberberg, Y.

Stoneman, M.

M. Stoneman, M. Fox, C. Y. Zeng, and V. Raicu, Lab Chip 9, 819 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

Sun, H. B.

Sun, K.

Takada, K.

S. Kawata, H. B. Sun, T. Tanaka, and K. Takada, Nature 412, 697 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Takeyasu, N.

J. Kato, N. Takeyasu, Y. Adachi, H. B. Sun, and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 86, 044102 (2005).
[CrossRef]

Tal, E.

Tanaka, T.

S. Kawata, H. B. Sun, T. Tanaka, and K. Takada, Nature 412, 697 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Thayumanavan, S.

M. Rumi, J. E. Ehrlich, A. A. Heikal, J. W. Perry, S. Barlow, Z. Y. Hu, D. McCord-Maughon, T. C. Parker, H. Rockel, S. Thayumanavan, S. R. Marder, D. Beljonne, and J. L. Bredas, J. Am. Chem. Soc. 122, 9500 (2000).
[CrossRef]

Tseng, A. A.

A. A. Tseng, Small 1, 924 (2005).
[CrossRef]

Usai, C.

A. Diaspro, G. Chirico, C. Usai, P. Ramoino, and J. Dobrucki, in Handbook of Biological Confocal Microscopy, J.B.Pawley, ed., 3rd ed. (Springer, 2006), pp. 690–702.
[CrossRef]

van Howe, J.

Veilleux, M. P.

Watanabe, M.

Weiss, P. S.

A. Hatzor and P. S. Weiss, Science 291, 1019 (2001).
[PubMed]

Wiederrecht, G. P.

Wilson, B. C.

Wu, X. L.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Xu, C.

Xu, F.

R. D. Piner, J. Zhu, F. Xu, S. H. Hong, and C. A. Mirkin, Science 283, 661 (1999).
[CrossRef] [PubMed]

Xu, Y.

Ye, J. Y.

Zeng, C. Y.

M. Stoneman, M. Fox, C. Y. Zeng, and V. Raicu, Lab Chip 9, 819 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

Zhu, G. H.

Zhu, J.

R. D. Piner, J. Zhu, F. Xu, S. H. Hong, and C. A. Mirkin, Science 283, 661 (1999).
[CrossRef] [PubMed]

Zipfel, W.

Appl. Opt. (1)

Appl. Phys. Lett. (3)

J. Kato, N. Takeyasu, Y. Adachi, H. B. Sun, and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 86, 044102 (2005).
[CrossRef]

S. Shoji and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 76, 2668 (2000).
[CrossRef]

H. E. Pudavar, M. P. Joshi, P. N. Prasad, and B. A. Reinhardt, Appl. Phys. Lett. 74, 1338 (1999).
[CrossRef]

J. Am. Chem. Soc. (2)

B. Kaehr and J. B. Shear, J. Am. Chem. Soc. 129, 1904 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

M. Rumi, J. E. Ehrlich, A. A. Heikal, J. W. Perry, S. Barlow, Z. Y. Hu, D. McCord-Maughon, T. C. Parker, H. Rockel, S. Thayumanavan, S. R. Marder, D. Beljonne, and J. L. Bredas, J. Am. Chem. Soc. 122, 9500 (2000).
[CrossRef]

Lab Chip (1)

M. Stoneman, M. Fox, C. Y. Zeng, and V. Raicu, Lab Chip 9, 819 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

Nature (2)

S. Kawata, H. B. Sun, T. Tanaka, and K. Takada, Nature 412, 697 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Opt. Express (5)

Opt. Lett. (2)

Proc. Natl. Acad. Sci. USA (2)

B. Kaehr and J. B. Shear, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 105, 8850 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

C. N. LaFratta, L. J. Li, and J. T. Fourkas, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 103, 8589 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Science (2)

A. Hatzor and P. S. Weiss, Science 291, 1019 (2001).
[PubMed]

R. D. Piner, J. Zhu, F. Xu, S. H. Hong, and C. A. Mirkin, Science 283, 661 (1999).
[CrossRef] [PubMed]

Small (1)

A. A. Tseng, Small 1, 924 (2005).
[CrossRef]

Other (2)

A. Diaspro, G. Chirico, C. Usai, P. Ramoino, and J. Dobrucki, in Handbook of Biological Confocal Microscopy, J.B.Pawley, ed., 3rd ed. (Springer, 2006), pp. 690–702.
[CrossRef]

“Processing Guidelines for SU-8 2010,” (MicroChem Corp., Newton).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1
Fig. 1

Schematic diagram of 3D lithographic microfabrication system. Inset, how planar pattern is created through the optical mask.

Fig. 2
Fig. 2

Effective axial PSF: (a) FWHM of the effective axial PSF as a function of different exposure times and embedding media. (b) Circles, the measured effective axial PSF (with laser oil 2, exposure time of 50 s ) has a FWHM of 2.27 μ m (solid curve). The predicted effective axial PSF is obtained from convolving the theoretical printing and reading PSFs with FWHMs of 1.65 and 1.16 μ m , respectively.

Fig. 3
Fig. 3

3D depth-resolved pattern generation by photobleaching inside a microsphere: (a) Pictorial illustration of 3D microprinting of MIT logo at different depths: ‘M’ at top, ‘I’ at middle, ‘T’ at bottom. (b) Reading patterns at different layers. From left to right, 5 μ m above center, at the center, and 5 μ m below center.

Fig. 4
Fig. 4

Scanning electron microscopy images of 3D microfabrication of MIT logo made of SU-8 photoresist.

Metrics