Abstract

Silicon carbide (SiC) is rapidly emerging as a leading platform for the implementation of nonlinear and quantum photonics. Here, we find that commercial SiC, which hosts a variety of spin qubits, possesses low optical absorption that can enable SiC integrated photonics with quality factors exceeding ${10^7}$. We fabricate multimode microring resonators with quality factors as high as 1.1 million, and observe low-threshold ($8.5 \pm 0.5\;{\rm mW} $) optical parametric oscillation using the fundamental mode as well as optical microcombs spanning 200 nm using a higher-order mode. Our demonstration is an essential milestone in the development of photonic devices that harness the unique optical properties of SiC, paving the way toward the monolithic integration of nonlinear photonics with spin-based quantum technologies.

© 2020 Optical Society of America under the terms of the OSA Open Access Publishing Agreement

Full Article  |  PDF Article
OSA Recommended Articles
Milliwatt-threshold visible–telecom optical parametric oscillation using silicon nanophotonics

Xiyuan Lu, Gregory Moille, Anshuman Singh, Qing Li, Daron A. Westly, Ashutosh Rao, Su-Peng Yu, Travis C. Briles, Scott B. Papp, and Kartik Srinivasan
Optica 6(12) 1535-1541 (2019)

Widely separated optical Kerr parametric oscillation in AlN microrings

Yulong Tang, Zheng Gong, Xianwen Liu, and Hong X. Tang
Opt. Lett. 45(5) 1124-1127 (2020)

Optical nonlinearities in high-confinement silicon carbide waveguides

Jaime Cardenas, Mengjie Yu, Yoshitomo Okawachi, Carl B. Poitras, Ryan K. W. Lau, Avik Dutt, Alexander L. Gaeta, and Michal Lipson
Opt. Lett. 40(17) 4138-4141 (2015)

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. D. D. Awschalom, R. Hanson, J. Wrachtrup, and B. B. Zhou, Nat. Photonics 12, 516 (2018).
    [Crossref]
  2. C. P. Anderson, A. Bourassa, K. C. Miao, G. Wolfowicz, P. J. Mintun, A. L. Crook, H. Abe, J. U. Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, and D. D. Awschalom, Science 366, 1225 (2019).
    [Crossref]
  3. B.-S. Song, T. Asano, S. Jeon, H. Kim, C. Chen, D. D. Kang, and S. Noda, Optica 6, 991 (2019).
    [Crossref]
  4. D. M. Lukin, C. Dory, M. A. Guidry, K. Y. Yang, S. D. Mishra, R. Trivedi, M. Radulaski, S. Sun, D. Vercruysse, G. H. Ahn, and J. Vučković, Nat. Photonics 14, 330 (2019).
    [Crossref]
  5. S. Wang, M. Zhan, G. Wang, H. Xuan, W. Zhang, C. Liu, C. Xu, Y. Liu, Z. Wei, and X. Chen, Laser Photon. Rev. 7, 831 (2013).
    [Crossref]
  6. H. Sato, M. Abe, I. Shoji, J. Suda, and T. Kondo, J. Opt. Soc. Am. B 26, 1892 (2009).
    [Crossref]
  7. Y. Zheng, M. Pu, A. Yi, X. Ou, and H. Ou, Opt. Lett. 44, 5784 (2019).
    [Crossref]
  8. R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
    [Crossref]
  9. N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
    [Crossref]
  10. D. Simin, V. Soltamov, A. Poshakinskiy, A. Anisimov, R. Babunts, D. Tolmachev, E. Mokhov, M. Trupke, S. Tarasenko, A. Sperlich, P.-G. Baranov, V. Dyakonov, and G.-V. Astakhov, Phys. Rev. X 6, 031014 (2016).
    [Crossref]
  11. T. Fan, X. Wu, A. A. Eftekhar, M. Bosi, H. Moradinejad, E. V. Woods, and A. Adibi, Opt. Lett. 45, 153 (2020).
    [Crossref]
  12. A. L. Crook, C. P. Anderson, K. C. Miao, A. Bourassa, H. Lee, S. L. Bayliss, D. O. Bracher, X. Zhang, H. Abe, T. Ohshima, E. L. Hu, and D. D. Awschalom, Nano Lett. 20, 3427 (2020).
    [Crossref]
  13. X. Lu, G. Moille, Q. Li, D. A. Westly, A. Singh, A. Rao, S.-P. Yu, T. C. Briles, S. B. Papp, and K. Srinivasan, Nat. Photonics 13, 593 (2019).
    [Crossref]
  14. Z. L. Newman, V. Maurice, T. Drake, J. R. Stone, T. C. Briles, D. T. Spencer, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, B. Shen, M.-G. Suh, K. Y. Yang, C. Johnson, D. M. S. Johnson, L. Hollberg, K. J. Vahala, K. Srinivasan, S. A. Diddams, J. Kitching, S. B. Papp, and M. T. Hummon, Optica 6, 680 (2019).
    [Crossref]
  15. M.-G. Suh, Q.-F. Yang, K. Y. Yang, X. Yi, and K. J. Vahala, Science 354, 600 (2016).
    [Crossref]
  16. M. Kues, C. Reimer, P. Roztocki, L. R. Cortés, S. Sciara, B. Wetzel, Y. Zhang, A. Cino, S. T. Chu, B. E. Little, D. J. Moss, L. Caspani, J. Azaña, and R. Morandotti, Nature 546, 622 (2017).
    [Crossref]
  17. C. Leroux, L. Govia, and A. Clerk, Phys. Rev. Lett. 120, 093602 (2018).
    [Crossref]
  18. J. Cardenas, M. Zhang, C. T. Phare, S. Y. Shah, C. B. Poitras, B. Guha, and M. Lipson, Opt. Express 21, 16882 (2013).
    [Crossref]
  19. L. Su, D. Vercruysse, J. Skarda, N. V. Sapra, J. A. Petykiewicz, and J. Vučković, Appl. Phys. Rev. 7, 011407 (2020).
    [Crossref]
  20. C. Dory, D. Vercruysse, K. Y. Yang, N. V. Sapra, A. E. Rugar, S. Sun, D. M. Lukin, A. Y. Piggott, J. L. Zhang, M. Radulaski, K. G. Lagoudakis, L. Su, and J. Vučković, Nat. Commun. 10, 3309 (2019).
    [Crossref]
  21. J. Cardenas, M. Yu, Y. Okawachi, C. B. Poitras, R. K. Lau, A. Dutt, A. L. Gaeta, and M. Lipson, Opt. Lett. 40, 4138 (2015).
    [Crossref]
  22. A. Markosyan, R. Route, M. Fejer, D. Patel, and C. Menoni, J. Appl. Phys. 113, 133104 (2013).
    [Crossref]
  23. R. Wei, S. Song, K. Yang, Y. Cui, Y. Peng, X. Chen, X. Hu, and X. Xu, J. Appl. Phys. 113, 053503 (2013).
    [Crossref]
  24. Z. Li and R. C. Bradt, J. Appl. Phys. 60, 612 (1986).
    [Crossref]
  25. N. Watanabe, T. Kimoto, and J. Suda, Jpn. J. Appl. Phys. 51, 10ND18 (2012).
    [Crossref]
  26. S. A. Zargaleh, S. Hameau, B. Eble, F. Margaillan, H. J. von Bardeleben, J.-L. Cantin, and W. Gao, Phys. Rev. B 98, 165203 (2018).
    [Crossref]
  27. W. F. Koehl, B. B. Buckley, F. J. Heremans, G. Calusine, and D. D. Awschalom, Nature 479, 84 (2011).
    [Crossref]
  28. M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
    [Crossref]
  29. T. Kippenberg, S. Spillane, and K. Vahala, Phys. Rev. Lett. 93, 083904 (2004).
    [Crossref]
  30. T. Herr, J. Riemensberg, C. Y. Wang, E. Gavartin, R. Holzwarth, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenerg, Nat. Photonics 6, 480 (2012).
    [Crossref]
  31. X. Yi, Q.-F. Yang, K. Y. Yang, M.-G. Suh, and K. Vahala, Optica 2, 1078 (2015).
    [Crossref]
  32. X. Yi, Q.-F. Yang, K. Y. Yang, and K. Vahala, Opt. Lett. 41, 2037 (2016).
    [Crossref]
  33. Y. K. Chembo and C. R. Menyuk, Phys. Rev. A 87, 053852 (2013).
    [Crossref]
  34. X. Lu, G. Moille, A. Singh, Q. Li, D. A. Westly, A. Rao, S.-P. Yu, T. C. Briles, S. B. Papp, and K. Srinivasan, Optica 6, 1535 (2019).
    [Crossref]
  35. X. Xue, Y. Xuan, Y. Liu, P.-H. Wang, S. Chen, J. Wang, D. E. Leaird, M. Qi, and A. M. Weiner, Nat. Photonics 9, 594 (2015).
    [Crossref]
  36. X. Lu, J. Y. Lee, S. Rogers, and Q. Lin, Opt. Express 22, 30826 (2014).
    [Crossref]

2020 (4)

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

T. Fan, X. Wu, A. A. Eftekhar, M. Bosi, H. Moradinejad, E. V. Woods, and A. Adibi, Opt. Lett. 45, 153 (2020).
[Crossref]

A. L. Crook, C. P. Anderson, K. C. Miao, A. Bourassa, H. Lee, S. L. Bayliss, D. O. Bracher, X. Zhang, H. Abe, T. Ohshima, E. L. Hu, and D. D. Awschalom, Nano Lett. 20, 3427 (2020).
[Crossref]

L. Su, D. Vercruysse, J. Skarda, N. V. Sapra, J. A. Petykiewicz, and J. Vučković, Appl. Phys. Rev. 7, 011407 (2020).
[Crossref]

2019 (9)

C. Dory, D. Vercruysse, K. Y. Yang, N. V. Sapra, A. E. Rugar, S. Sun, D. M. Lukin, A. Y. Piggott, J. L. Zhang, M. Radulaski, K. G. Lagoudakis, L. Su, and J. Vučković, Nat. Commun. 10, 3309 (2019).
[Crossref]

X. Lu, G. Moille, A. Singh, Q. Li, D. A. Westly, A. Rao, S.-P. Yu, T. C. Briles, S. B. Papp, and K. Srinivasan, Optica 6, 1535 (2019).
[Crossref]

X. Lu, G. Moille, Q. Li, D. A. Westly, A. Singh, A. Rao, S.-P. Yu, T. C. Briles, S. B. Papp, and K. Srinivasan, Nat. Photonics 13, 593 (2019).
[Crossref]

Z. L. Newman, V. Maurice, T. Drake, J. R. Stone, T. C. Briles, D. T. Spencer, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, B. Shen, M.-G. Suh, K. Y. Yang, C. Johnson, D. M. S. Johnson, L. Hollberg, K. J. Vahala, K. Srinivasan, S. A. Diddams, J. Kitching, S. B. Papp, and M. T. Hummon, Optica 6, 680 (2019).
[Crossref]

Y. Zheng, M. Pu, A. Yi, X. Ou, and H. Ou, Opt. Lett. 44, 5784 (2019).
[Crossref]

R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
[Crossref]

C. P. Anderson, A. Bourassa, K. C. Miao, G. Wolfowicz, P. J. Mintun, A. L. Crook, H. Abe, J. U. Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, and D. D. Awschalom, Science 366, 1225 (2019).
[Crossref]

B.-S. Song, T. Asano, S. Jeon, H. Kim, C. Chen, D. D. Kang, and S. Noda, Optica 6, 991 (2019).
[Crossref]

D. M. Lukin, C. Dory, M. A. Guidry, K. Y. Yang, S. D. Mishra, R. Trivedi, M. Radulaski, S. Sun, D. Vercruysse, G. H. Ahn, and J. Vučković, Nat. Photonics 14, 330 (2019).
[Crossref]

2018 (3)

D. D. Awschalom, R. Hanson, J. Wrachtrup, and B. B. Zhou, Nat. Photonics 12, 516 (2018).
[Crossref]

C. Leroux, L. Govia, and A. Clerk, Phys. Rev. Lett. 120, 093602 (2018).
[Crossref]

S. A. Zargaleh, S. Hameau, B. Eble, F. Margaillan, H. J. von Bardeleben, J.-L. Cantin, and W. Gao, Phys. Rev. B 98, 165203 (2018).
[Crossref]

2017 (1)

M. Kues, C. Reimer, P. Roztocki, L. R. Cortés, S. Sciara, B. Wetzel, Y. Zhang, A. Cino, S. T. Chu, B. E. Little, D. J. Moss, L. Caspani, J. Azaña, and R. Morandotti, Nature 546, 622 (2017).
[Crossref]

2016 (3)

M.-G. Suh, Q.-F. Yang, K. Y. Yang, X. Yi, and K. J. Vahala, Science 354, 600 (2016).
[Crossref]

D. Simin, V. Soltamov, A. Poshakinskiy, A. Anisimov, R. Babunts, D. Tolmachev, E. Mokhov, M. Trupke, S. Tarasenko, A. Sperlich, P.-G. Baranov, V. Dyakonov, and G.-V. Astakhov, Phys. Rev. X 6, 031014 (2016).
[Crossref]

X. Yi, Q.-F. Yang, K. Y. Yang, and K. Vahala, Opt. Lett. 41, 2037 (2016).
[Crossref]

2015 (4)

X. Xue, Y. Xuan, Y. Liu, P.-H. Wang, S. Chen, J. Wang, D. E. Leaird, M. Qi, and A. M. Weiner, Nat. Photonics 9, 594 (2015).
[Crossref]

X. Yi, Q.-F. Yang, K. Y. Yang, M.-G. Suh, and K. Vahala, Optica 2, 1078 (2015).
[Crossref]

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

J. Cardenas, M. Yu, Y. Okawachi, C. B. Poitras, R. K. Lau, A. Dutt, A. L. Gaeta, and M. Lipson, Opt. Lett. 40, 4138 (2015).
[Crossref]

2014 (1)

2013 (5)

Y. K. Chembo and C. R. Menyuk, Phys. Rev. A 87, 053852 (2013).
[Crossref]

A. Markosyan, R. Route, M. Fejer, D. Patel, and C. Menoni, J. Appl. Phys. 113, 133104 (2013).
[Crossref]

R. Wei, S. Song, K. Yang, Y. Cui, Y. Peng, X. Chen, X. Hu, and X. Xu, J. Appl. Phys. 113, 053503 (2013).
[Crossref]

S. Wang, M. Zhan, G. Wang, H. Xuan, W. Zhang, C. Liu, C. Xu, Y. Liu, Z. Wei, and X. Chen, Laser Photon. Rev. 7, 831 (2013).
[Crossref]

J. Cardenas, M. Zhang, C. T. Phare, S. Y. Shah, C. B. Poitras, B. Guha, and M. Lipson, Opt. Express 21, 16882 (2013).
[Crossref]

2012 (2)

N. Watanabe, T. Kimoto, and J. Suda, Jpn. J. Appl. Phys. 51, 10ND18 (2012).
[Crossref]

T. Herr, J. Riemensberg, C. Y. Wang, E. Gavartin, R. Holzwarth, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenerg, Nat. Photonics 6, 480 (2012).
[Crossref]

2011 (1)

W. F. Koehl, B. B. Buckley, F. J. Heremans, G. Calusine, and D. D. Awschalom, Nature 479, 84 (2011).
[Crossref]

2009 (1)

2004 (1)

T. Kippenberg, S. Spillane, and K. Vahala, Phys. Rev. Lett. 93, 083904 (2004).
[Crossref]

1986 (1)

Z. Li and R. C. Bradt, J. Appl. Phys. 60, 612 (1986).
[Crossref]

Abe, H.

A. L. Crook, C. P. Anderson, K. C. Miao, A. Bourassa, H. Lee, S. L. Bayliss, D. O. Bracher, X. Zhang, H. Abe, T. Ohshima, E. L. Hu, and D. D. Awschalom, Nano Lett. 20, 3427 (2020).
[Crossref]

C. P. Anderson, A. Bourassa, K. C. Miao, G. Wolfowicz, P. J. Mintun, A. L. Crook, H. Abe, J. U. Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, and D. D. Awschalom, Science 366, 1225 (2019).
[Crossref]

Abe, M.

Adibi, A.

Ahn, G. H.

D. M. Lukin, C. Dory, M. A. Guidry, K. Y. Yang, S. D. Mishra, R. Trivedi, M. Radulaski, S. Sun, D. Vercruysse, G. H. Ahn, and J. Vučković, Nat. Photonics 14, 330 (2019).
[Crossref]

Anderson, C. P.

A. L. Crook, C. P. Anderson, K. C. Miao, A. Bourassa, H. Lee, S. L. Bayliss, D. O. Bracher, X. Zhang, H. Abe, T. Ohshima, E. L. Hu, and D. D. Awschalom, Nano Lett. 20, 3427 (2020).
[Crossref]

C. P. Anderson, A. Bourassa, K. C. Miao, G. Wolfowicz, P. J. Mintun, A. L. Crook, H. Abe, J. U. Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, and D. D. Awschalom, Science 366, 1225 (2019).
[Crossref]

Anisimov, A.

D. Simin, V. Soltamov, A. Poshakinskiy, A. Anisimov, R. Babunts, D. Tolmachev, E. Mokhov, M. Trupke, S. Tarasenko, A. Sperlich, P.-G. Baranov, V. Dyakonov, and G.-V. Astakhov, Phys. Rev. X 6, 031014 (2016).
[Crossref]

Asano, T.

Astakhov, G.-V.

D. Simin, V. Soltamov, A. Poshakinskiy, A. Anisimov, R. Babunts, D. Tolmachev, E. Mokhov, M. Trupke, S. Tarasenko, A. Sperlich, P.-G. Baranov, V. Dyakonov, and G.-V. Astakhov, Phys. Rev. X 6, 031014 (2016).
[Crossref]

Awschalom, D. D.

A. L. Crook, C. P. Anderson, K. C. Miao, A. Bourassa, H. Lee, S. L. Bayliss, D. O. Bracher, X. Zhang, H. Abe, T. Ohshima, E. L. Hu, and D. D. Awschalom, Nano Lett. 20, 3427 (2020).
[Crossref]

C. P. Anderson, A. Bourassa, K. C. Miao, G. Wolfowicz, P. J. Mintun, A. L. Crook, H. Abe, J. U. Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, and D. D. Awschalom, Science 366, 1225 (2019).
[Crossref]

D. D. Awschalom, R. Hanson, J. Wrachtrup, and B. B. Zhou, Nat. Photonics 12, 516 (2018).
[Crossref]

W. F. Koehl, B. B. Buckley, F. J. Heremans, G. Calusine, and D. D. Awschalom, Nature 479, 84 (2011).
[Crossref]

Azaña, J.

M. Kues, C. Reimer, P. Roztocki, L. R. Cortés, S. Sciara, B. Wetzel, Y. Zhang, A. Cino, S. T. Chu, B. E. Little, D. J. Moss, L. Caspani, J. Azaña, and R. Morandotti, Nature 546, 622 (2017).
[Crossref]

Babin, C.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

Babunts, R.

D. Simin, V. Soltamov, A. Poshakinskiy, A. Anisimov, R. Babunts, D. Tolmachev, E. Mokhov, M. Trupke, S. Tarasenko, A. Sperlich, P.-G. Baranov, V. Dyakonov, and G.-V. Astakhov, Phys. Rev. X 6, 031014 (2016).
[Crossref]

Baranov, P.-G.

D. Simin, V. Soltamov, A. Poshakinskiy, A. Anisimov, R. Babunts, D. Tolmachev, E. Mokhov, M. Trupke, S. Tarasenko, A. Sperlich, P.-G. Baranov, V. Dyakonov, and G.-V. Astakhov, Phys. Rev. X 6, 031014 (2016).
[Crossref]

Bayliss, S. L.

A. L. Crook, C. P. Anderson, K. C. Miao, A. Bourassa, H. Lee, S. L. Bayliss, D. O. Bracher, X. Zhang, H. Abe, T. Ohshima, E. L. Hu, and D. D. Awschalom, Nano Lett. 20, 3427 (2020).
[Crossref]

Bonato, C.

R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
[Crossref]

Booker, I.

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

Bosi, M.

Bourassa, A.

A. L. Crook, C. P. Anderson, K. C. Miao, A. Bourassa, H. Lee, S. L. Bayliss, D. O. Bracher, X. Zhang, H. Abe, T. Ohshima, E. L. Hu, and D. D. Awschalom, Nano Lett. 20, 3427 (2020).
[Crossref]

C. P. Anderson, A. Bourassa, K. C. Miao, G. Wolfowicz, P. J. Mintun, A. L. Crook, H. Abe, J. U. Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, and D. D. Awschalom, Science 366, 1225 (2019).
[Crossref]

Bracher, D. O.

A. L. Crook, C. P. Anderson, K. C. Miao, A. Bourassa, H. Lee, S. L. Bayliss, D. O. Bracher, X. Zhang, H. Abe, T. Ohshima, E. L. Hu, and D. D. Awschalom, Nano Lett. 20, 3427 (2020).
[Crossref]

Bradt, R. C.

Z. Li and R. C. Bradt, J. Appl. Phys. 60, 612 (1986).
[Crossref]

Briles, T. C.

Buckley, B. B.

W. F. Koehl, B. B. Buckley, F. J. Heremans, G. Calusine, and D. D. Awschalom, Nature 479, 84 (2011).
[Crossref]

Calusine, G.

W. F. Koehl, B. B. Buckley, F. J. Heremans, G. Calusine, and D. D. Awschalom, Nature 479, 84 (2011).
[Crossref]

Cantin, J.-L.

S. A. Zargaleh, S. Hameau, B. Eble, F. Margaillan, H. J. von Bardeleben, J.-L. Cantin, and W. Gao, Phys. Rev. B 98, 165203 (2018).
[Crossref]

Cardenas, J.

Caspani, L.

M. Kues, C. Reimer, P. Roztocki, L. R. Cortés, S. Sciara, B. Wetzel, Y. Zhang, A. Cino, S. T. Chu, B. E. Little, D. J. Moss, L. Caspani, J. Azaña, and R. Morandotti, Nature 546, 622 (2017).
[Crossref]

Chembo, Y. K.

Y. K. Chembo and C. R. Menyuk, Phys. Rev. A 87, 053852 (2013).
[Crossref]

Chen, C.

Chen, S.

X. Xue, Y. Xuan, Y. Liu, P.-H. Wang, S. Chen, J. Wang, D. E. Leaird, M. Qi, and A. M. Weiner, Nat. Photonics 9, 594 (2015).
[Crossref]

Chen, X.

R. Wei, S. Song, K. Yang, Y. Cui, Y. Peng, X. Chen, X. Hu, and X. Xu, J. Appl. Phys. 113, 053503 (2013).
[Crossref]

S. Wang, M. Zhan, G. Wang, H. Xuan, W. Zhang, C. Liu, C. Xu, Y. Liu, Z. Wei, and X. Chen, Laser Photon. Rev. 7, 831 (2013).
[Crossref]

Chen, Y.-C.

R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
[Crossref]

Chu, S. T.

M. Kues, C. Reimer, P. Roztocki, L. R. Cortés, S. Sciara, B. Wetzel, Y. Zhang, A. Cino, S. T. Chu, B. E. Little, D. J. Moss, L. Caspani, J. Azaña, and R. Morandotti, Nature 546, 622 (2017).
[Crossref]

Cino, A.

M. Kues, C. Reimer, P. Roztocki, L. R. Cortés, S. Sciara, B. Wetzel, Y. Zhang, A. Cino, S. T. Chu, B. E. Little, D. J. Moss, L. Caspani, J. Azaña, and R. Morandotti, Nature 546, 622 (2017).
[Crossref]

Clerk, A.

C. Leroux, L. Govia, and A. Clerk, Phys. Rev. Lett. 120, 093602 (2018).
[Crossref]

Cortés, L. R.

M. Kues, C. Reimer, P. Roztocki, L. R. Cortés, S. Sciara, B. Wetzel, Y. Zhang, A. Cino, S. T. Chu, B. E. Little, D. J. Moss, L. Caspani, J. Azaña, and R. Morandotti, Nature 546, 622 (2017).
[Crossref]

Crook, A. L.

A. L. Crook, C. P. Anderson, K. C. Miao, A. Bourassa, H. Lee, S. L. Bayliss, D. O. Bracher, X. Zhang, H. Abe, T. Ohshima, E. L. Hu, and D. D. Awschalom, Nano Lett. 20, 3427 (2020).
[Crossref]

C. P. Anderson, A. Bourassa, K. C. Miao, G. Wolfowicz, P. J. Mintun, A. L. Crook, H. Abe, J. U. Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, and D. D. Awschalom, Science 366, 1225 (2019).
[Crossref]

Cui, Y.

R. Wei, S. Song, K. Yang, Y. Cui, Y. Peng, X. Chen, X. Hu, and X. Xu, J. Appl. Phys. 113, 053503 (2013).
[Crossref]

Dasari, D.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

Denisenko, A.

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

Diddams, S. A.

Dory, C.

C. Dory, D. Vercruysse, K. Y. Yang, N. V. Sapra, A. E. Rugar, S. Sun, D. M. Lukin, A. Y. Piggott, J. L. Zhang, M. Radulaski, K. G. Lagoudakis, L. Su, and J. Vučković, Nat. Commun. 10, 3309 (2019).
[Crossref]

D. M. Lukin, C. Dory, M. A. Guidry, K. Y. Yang, S. D. Mishra, R. Trivedi, M. Radulaski, S. Sun, D. Vercruysse, G. H. Ahn, and J. Vučković, Nat. Photonics 14, 330 (2019).
[Crossref]

Drake, T.

Dutt, A.

Dyakonov, V.

D. Simin, V. Soltamov, A. Poshakinskiy, A. Anisimov, R. Babunts, D. Tolmachev, E. Mokhov, M. Trupke, S. Tarasenko, A. Sperlich, P.-G. Baranov, V. Dyakonov, and G.-V. Astakhov, Phys. Rev. X 6, 031014 (2016).
[Crossref]

Eble, B.

S. A. Zargaleh, S. Hameau, B. Eble, F. Margaillan, H. J. von Bardeleben, J.-L. Cantin, and W. Gao, Phys. Rev. B 98, 165203 (2018).
[Crossref]

Eftekhar, A. A.

Fan, T.

Fedder, H.

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

Fejer, M.

A. Markosyan, R. Route, M. Fejer, D. Patel, and C. Menoni, J. Appl. Phys. 113, 133104 (2013).
[Crossref]

Fredrick, C.

Gaeta, A. L.

Gali, A.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

Gali, Á.

R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
[Crossref]

Gao, W.

S. A. Zargaleh, S. Hameau, B. Eble, F. Margaillan, H. J. von Bardeleben, J.-L. Cantin, and W. Gao, Phys. Rev. B 98, 165203 (2018).
[Crossref]

Gavartin, E.

T. Herr, J. Riemensberg, C. Y. Wang, E. Gavartin, R. Holzwarth, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenerg, Nat. Photonics 6, 480 (2012).
[Crossref]

Gediz, I.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

Gerhardt, I.

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

Gorodetsky, M. L.

T. Herr, J. Riemensberg, C. Y. Wang, E. Gavartin, R. Holzwarth, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenerg, Nat. Photonics 6, 480 (2012).
[Crossref]

Govia, L.

C. Leroux, L. Govia, and A. Clerk, Phys. Rev. Lett. 120, 093602 (2018).
[Crossref]

Guha, B.

Guidry, M. A.

D. M. Lukin, C. Dory, M. A. Guidry, K. Y. Yang, S. D. Mishra, R. Trivedi, M. Radulaski, S. Sun, D. Vercruysse, G. H. Ahn, and J. Vučković, Nat. Photonics 14, 330 (2019).
[Crossref]

Hameau, S.

S. A. Zargaleh, S. Hameau, B. Eble, F. Margaillan, H. J. von Bardeleben, J.-L. Cantin, and W. Gao, Phys. Rev. B 98, 165203 (2018).
[Crossref]

Hanson, R.

D. D. Awschalom, R. Hanson, J. Wrachtrup, and B. B. Zhou, Nat. Photonics 12, 516 (2018).
[Crossref]

Hassan, J. U.

C. P. Anderson, A. Bourassa, K. C. Miao, G. Wolfowicz, P. J. Mintun, A. L. Crook, H. Abe, J. U. Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, and D. D. Awschalom, Science 366, 1225 (2019).
[Crossref]

R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
[Crossref]

Heremans, F. J.

W. F. Koehl, B. B. Buckley, F. J. Heremans, G. Calusine, and D. D. Awschalom, Nature 479, 84 (2011).
[Crossref]

Herr, T.

T. Herr, J. Riemensberg, C. Y. Wang, E. Gavartin, R. Holzwarth, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenerg, Nat. Photonics 6, 480 (2012).
[Crossref]

Hesselmeier, E.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

Hollberg, L.

Holzwarth, R.

T. Herr, J. Riemensberg, C. Y. Wang, E. Gavartin, R. Holzwarth, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenerg, Nat. Photonics 6, 480 (2012).
[Crossref]

Hu, E. L.

A. L. Crook, C. P. Anderson, K. C. Miao, A. Bourassa, H. Lee, S. L. Bayliss, D. O. Bracher, X. Zhang, H. Abe, T. Ohshima, E. L. Hu, and D. D. Awschalom, Nano Lett. 20, 3427 (2020).
[Crossref]

Hu, X.

R. Wei, S. Song, K. Yang, Y. Cui, Y. Peng, X. Chen, X. Hu, and X. Xu, J. Appl. Phys. 113, 053503 (2013).
[Crossref]

Hummon, M. T.

Ilic, B. R.

Ivanov, I. G.

R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
[Crossref]

Jamali, M.

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

Janzen, E.

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

Jeon, S.

Johnson, C.

Johnson, D. M. S.

Joliffe, M.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

Kaiser, F.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
[Crossref]

Kang, D. D.

Karhu, R.

R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
[Crossref]

Kim, H.

Kimoto, T.

N. Watanabe, T. Kimoto, and J. Suda, Jpn. J. Appl. Phys. 51, 10ND18 (2012).
[Crossref]

Kippenberg, T.

T. Kippenberg, S. Spillane, and K. Vahala, Phys. Rev. Lett. 93, 083904 (2004).
[Crossref]

Kippenerg, T. J.

T. Herr, J. Riemensberg, C. Y. Wang, E. Gavartin, R. Holzwarth, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenerg, Nat. Photonics 6, 480 (2012).
[Crossref]

Kitching, J.

Koehl, W. F.

W. F. Koehl, B. B. Buckley, F. J. Heremans, G. Calusine, and D. D. Awschalom, Nature 479, 84 (2011).
[Crossref]

Kolesov, R.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

Kondo, T.

Kues, M.

M. Kues, C. Reimer, P. Roztocki, L. R. Cortés, S. Sciara, B. Wetzel, Y. Zhang, A. Cino, S. T. Chu, B. E. Little, D. J. Moss, L. Caspani, J. Azaña, and R. Morandotti, Nature 546, 622 (2017).
[Crossref]

Lagoudakis, K. G.

C. Dory, D. Vercruysse, K. Y. Yang, N. V. Sapra, A. E. Rugar, S. Sun, D. M. Lukin, A. Y. Piggott, J. L. Zhang, M. Radulaski, K. G. Lagoudakis, L. Su, and J. Vučković, Nat. Commun. 10, 3309 (2019).
[Crossref]

Lau, R. K.

Leaird, D. E.

X. Xue, Y. Xuan, Y. Liu, P.-H. Wang, S. Chen, J. Wang, D. E. Leaird, M. Qi, and A. M. Weiner, Nat. Photonics 9, 594 (2015).
[Crossref]

Lee, H.

A. L. Crook, C. P. Anderson, K. C. Miao, A. Bourassa, H. Lee, S. L. Bayliss, D. O. Bracher, X. Zhang, H. Abe, T. Ohshima, E. L. Hu, and D. D. Awschalom, Nano Lett. 20, 3427 (2020).
[Crossref]

Lee, J. Y.

Lee, S.

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

Lee, S.-Y.

R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
[Crossref]

Leroux, C.

C. Leroux, L. Govia, and A. Clerk, Phys. Rev. Lett. 120, 093602 (2018).
[Crossref]

Li, Q.

Li, Z.

Z. Li and R. C. Bradt, J. Appl. Phys. 60, 612 (1986).
[Crossref]

Lin, Q.

Lipson, M.

Little, B. E.

M. Kues, C. Reimer, P. Roztocki, L. R. Cortés, S. Sciara, B. Wetzel, Y. Zhang, A. Cino, S. T. Chu, B. E. Little, D. J. Moss, L. Caspani, J. Azaña, and R. Morandotti, Nature 546, 622 (2017).
[Crossref]

Liu, C.

S. Wang, M. Zhan, G. Wang, H. Xuan, W. Zhang, C. Liu, C. Xu, Y. Liu, Z. Wei, and X. Chen, Laser Photon. Rev. 7, 831 (2013).
[Crossref]

Liu, D.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

Liu, Y.

X. Xue, Y. Xuan, Y. Liu, P.-H. Wang, S. Chen, J. Wang, D. E. Leaird, M. Qi, and A. M. Weiner, Nat. Photonics 9, 594 (2015).
[Crossref]

S. Wang, M. Zhan, G. Wang, H. Xuan, W. Zhang, C. Liu, C. Xu, Y. Liu, Z. Wei, and X. Chen, Laser Photon. Rev. 7, 831 (2013).
[Crossref]

Lu, X.

Lukin, D. M.

C. Dory, D. Vercruysse, K. Y. Yang, N. V. Sapra, A. E. Rugar, S. Sun, D. M. Lukin, A. Y. Piggott, J. L. Zhang, M. Radulaski, K. G. Lagoudakis, L. Su, and J. Vučković, Nat. Commun. 10, 3309 (2019).
[Crossref]

D. M. Lukin, C. Dory, M. A. Guidry, K. Y. Yang, S. D. Mishra, R. Trivedi, M. Radulaski, S. Sun, D. Vercruysse, G. H. Ahn, and J. Vučković, Nat. Photonics 14, 330 (2019).
[Crossref]

Margaillan, F.

S. A. Zargaleh, S. Hameau, B. Eble, F. Margaillan, H. J. von Bardeleben, J.-L. Cantin, and W. Gao, Phys. Rev. B 98, 165203 (2018).
[Crossref]

Markosyan, A.

A. Markosyan, R. Route, M. Fejer, D. Patel, and C. Menoni, J. Appl. Phys. 113, 133104 (2013).
[Crossref]

Maurice, V.

Maze, J. R.

R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
[Crossref]

Menoni, C.

A. Markosyan, R. Route, M. Fejer, D. Patel, and C. Menoni, J. Appl. Phys. 113, 133104 (2013).
[Crossref]

Menyuk, C. R.

Y. K. Chembo and C. R. Menyuk, Phys. Rev. A 87, 053852 (2013).
[Crossref]

Miao, K. C.

A. L. Crook, C. P. Anderson, K. C. Miao, A. Bourassa, H. Lee, S. L. Bayliss, D. O. Bracher, X. Zhang, H. Abe, T. Ohshima, E. L. Hu, and D. D. Awschalom, Nano Lett. 20, 3427 (2020).
[Crossref]

C. P. Anderson, A. Bourassa, K. C. Miao, G. Wolfowicz, P. J. Mintun, A. L. Crook, H. Abe, J. U. Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, and D. D. Awschalom, Science 366, 1225 (2019).
[Crossref]

Mintun, P. J.

C. P. Anderson, A. Bourassa, K. C. Miao, G. Wolfowicz, P. J. Mintun, A. L. Crook, H. Abe, J. U. Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, and D. D. Awschalom, Science 366, 1225 (2019).
[Crossref]

Mishra, S. D.

D. M. Lukin, C. Dory, M. A. Guidry, K. Y. Yang, S. D. Mishra, R. Trivedi, M. Radulaski, S. Sun, D. Vercruysse, G. H. Ahn, and J. Vučković, Nat. Photonics 14, 330 (2019).
[Crossref]

Moille, G.

X. Lu, G. Moille, Q. Li, D. A. Westly, A. Singh, A. Rao, S.-P. Yu, T. C. Briles, S. B. Papp, and K. Srinivasan, Nat. Photonics 13, 593 (2019).
[Crossref]

X. Lu, G. Moille, A. Singh, Q. Li, D. A. Westly, A. Rao, S.-P. Yu, T. C. Briles, S. B. Papp, and K. Srinivasan, Optica 6, 1535 (2019).
[Crossref]

Mokhov, E.

D. Simin, V. Soltamov, A. Poshakinskiy, A. Anisimov, R. Babunts, D. Tolmachev, E. Mokhov, M. Trupke, S. Tarasenko, A. Sperlich, P.-G. Baranov, V. Dyakonov, and G.-V. Astakhov, Phys. Rev. X 6, 031014 (2016).
[Crossref]

Momenzadeh, S.

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

Moradinejad, H.

Morandotti, R.

M. Kues, C. Reimer, P. Roztocki, L. R. Cortés, S. Sciara, B. Wetzel, Y. Zhang, A. Cino, S. T. Chu, B. E. Little, D. J. Moss, L. Caspani, J. Azaña, and R. Morandotti, Nature 546, 622 (2017).
[Crossref]

Morioka, N.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

Moss, D. J.

M. Kues, C. Reimer, P. Roztocki, L. R. Cortés, S. Sciara, B. Wetzel, Y. Zhang, A. Cino, S. T. Chu, B. E. Little, D. J. Moss, L. Caspani, J. Azaña, and R. Morandotti, Nature 546, 622 (2017).
[Crossref]

Nagy, R.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
[Crossref]

Newman, Z. L.

Niethammer, M.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
[Crossref]

Noda, S.

Ohshima, T.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

A. L. Crook, C. P. Anderson, K. C. Miao, A. Bourassa, H. Lee, S. L. Bayliss, D. O. Bracher, X. Zhang, H. Abe, T. Ohshima, E. L. Hu, and D. D. Awschalom, Nano Lett. 20, 3427 (2020).
[Crossref]

C. P. Anderson, A. Bourassa, K. C. Miao, G. Wolfowicz, P. J. Mintun, A. L. Crook, H. Abe, J. U. Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, and D. D. Awschalom, Science 366, 1225 (2019).
[Crossref]

R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
[Crossref]

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

Okawachi, Y.

Ou, H.

Ou, X.

Paik, S.

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

Papp, S. B.

Patel, D.

A. Markosyan, R. Route, M. Fejer, D. Patel, and C. Menoni, J. Appl. Phys. 113, 133104 (2013).
[Crossref]

Peng, Y.

R. Wei, S. Song, K. Yang, Y. Cui, Y. Peng, X. Chen, X. Hu, and X. Xu, J. Appl. Phys. 113, 053503 (2013).
[Crossref]

Petykiewicz, J. A.

L. Su, D. Vercruysse, J. Skarda, N. V. Sapra, J. A. Petykiewicz, and J. Vučković, Appl. Phys. Rev. 7, 011407 (2020).
[Crossref]

Phare, C. T.

Piggott, A. Y.

C. Dory, D. Vercruysse, K. Y. Yang, N. V. Sapra, A. E. Rugar, S. Sun, D. M. Lukin, A. Y. Piggott, J. L. Zhang, M. Radulaski, K. G. Lagoudakis, L. Su, and J. Vučković, Nat. Commun. 10, 3309 (2019).
[Crossref]

Poitras, C. B.

Poshakinskiy, A.

D. Simin, V. Soltamov, A. Poshakinskiy, A. Anisimov, R. Babunts, D. Tolmachev, E. Mokhov, M. Trupke, S. Tarasenko, A. Sperlich, P.-G. Baranov, V. Dyakonov, and G.-V. Astakhov, Phys. Rev. X 6, 031014 (2016).
[Crossref]

Pu, M.

Qi, M.

X. Xue, Y. Xuan, Y. Liu, P.-H. Wang, S. Chen, J. Wang, D. E. Leaird, M. Qi, and A. M. Weiner, Nat. Photonics 9, 594 (2015).
[Crossref]

Radulaski, M.

D. M. Lukin, C. Dory, M. A. Guidry, K. Y. Yang, S. D. Mishra, R. Trivedi, M. Radulaski, S. Sun, D. Vercruysse, G. H. Ahn, and J. Vučković, Nat. Photonics 14, 330 (2019).
[Crossref]

C. Dory, D. Vercruysse, K. Y. Yang, N. V. Sapra, A. E. Rugar, S. Sun, D. M. Lukin, A. Y. Piggott, J. L. Zhang, M. Radulaski, K. G. Lagoudakis, L. Su, and J. Vučković, Nat. Commun. 10, 3309 (2019).
[Crossref]

Rao, A.

X. Lu, G. Moille, A. Singh, Q. Li, D. A. Westly, A. Rao, S.-P. Yu, T. C. Briles, S. B. Papp, and K. Srinivasan, Optica 6, 1535 (2019).
[Crossref]

X. Lu, G. Moille, Q. Li, D. A. Westly, A. Singh, A. Rao, S.-P. Yu, T. C. Briles, S. B. Papp, and K. Srinivasan, Nat. Photonics 13, 593 (2019).
[Crossref]

Reimer, C.

M. Kues, C. Reimer, P. Roztocki, L. R. Cortés, S. Sciara, B. Wetzel, Y. Zhang, A. Cino, S. T. Chu, B. E. Little, D. J. Moss, L. Caspani, J. Azaña, and R. Morandotti, Nature 546, 622 (2017).
[Crossref]

Rendler, T.

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

Riemensberg, J.

T. Herr, J. Riemensberg, C. Y. Wang, E. Gavartin, R. Holzwarth, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenerg, Nat. Photonics 6, 480 (2012).
[Crossref]

Rogers, S.

Route, R.

A. Markosyan, R. Route, M. Fejer, D. Patel, and C. Menoni, J. Appl. Phys. 113, 133104 (2013).
[Crossref]

Roztocki, P.

M. Kues, C. Reimer, P. Roztocki, L. R. Cortés, S. Sciara, B. Wetzel, Y. Zhang, A. Cino, S. T. Chu, B. E. Little, D. J. Moss, L. Caspani, J. Azaña, and R. Morandotti, Nature 546, 622 (2017).
[Crossref]

Rugar, A. E.

C. Dory, D. Vercruysse, K. Y. Yang, N. V. Sapra, A. E. Rugar, S. Sun, D. M. Lukin, A. Y. Piggott, J. L. Zhang, M. Radulaski, K. G. Lagoudakis, L. Su, and J. Vučković, Nat. Commun. 10, 3309 (2019).
[Crossref]

Sapra, N. V.

L. Su, D. Vercruysse, J. Skarda, N. V. Sapra, J. A. Petykiewicz, and J. Vučković, Appl. Phys. Rev. 7, 011407 (2020).
[Crossref]

C. Dory, D. Vercruysse, K. Y. Yang, N. V. Sapra, A. E. Rugar, S. Sun, D. M. Lukin, A. Y. Piggott, J. L. Zhang, M. Radulaski, K. G. Lagoudakis, L. Su, and J. Vučković, Nat. Commun. 10, 3309 (2019).
[Crossref]

Sato, H.

Sciara, S.

M. Kues, C. Reimer, P. Roztocki, L. R. Cortés, S. Sciara, B. Wetzel, Y. Zhang, A. Cino, S. T. Chu, B. E. Little, D. J. Moss, L. Caspani, J. Azaña, and R. Morandotti, Nature 546, 622 (2017).
[Crossref]

Shah, S. Y.

Shen, B.

Shoji, I.

Simin, D.

D. Simin, V. Soltamov, A. Poshakinskiy, A. Anisimov, R. Babunts, D. Tolmachev, E. Mokhov, M. Trupke, S. Tarasenko, A. Sperlich, P.-G. Baranov, V. Dyakonov, and G.-V. Astakhov, Phys. Rev. X 6, 031014 (2016).
[Crossref]

Singh, A.

X. Lu, G. Moille, Q. Li, D. A. Westly, A. Singh, A. Rao, S.-P. Yu, T. C. Briles, S. B. Papp, and K. Srinivasan, Nat. Photonics 13, 593 (2019).
[Crossref]

X. Lu, G. Moille, A. Singh, Q. Li, D. A. Westly, A. Rao, S.-P. Yu, T. C. Briles, S. B. Papp, and K. Srinivasan, Optica 6, 1535 (2019).
[Crossref]

Skarda, J.

L. Su, D. Vercruysse, J. Skarda, N. V. Sapra, J. A. Petykiewicz, and J. Vučković, Appl. Phys. Rev. 7, 011407 (2020).
[Crossref]

Soltamov, V.

D. Simin, V. Soltamov, A. Poshakinskiy, A. Anisimov, R. Babunts, D. Tolmachev, E. Mokhov, M. Trupke, S. Tarasenko, A. Sperlich, P.-G. Baranov, V. Dyakonov, and G.-V. Astakhov, Phys. Rev. X 6, 031014 (2016).
[Crossref]

Son, N. T.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
[Crossref]

C. P. Anderson, A. Bourassa, K. C. Miao, G. Wolfowicz, P. J. Mintun, A. L. Crook, H. Abe, J. U. Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, and D. D. Awschalom, Science 366, 1225 (2019).
[Crossref]

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

Song, B.-S.

Song, S.

R. Wei, S. Song, K. Yang, Y. Cui, Y. Peng, X. Chen, X. Hu, and X. Xu, J. Appl. Phys. 113, 053503 (2013).
[Crossref]

Soykal, Ö. O.

R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
[Crossref]

Spencer, D. T.

Sperlich, A.

D. Simin, V. Soltamov, A. Poshakinskiy, A. Anisimov, R. Babunts, D. Tolmachev, E. Mokhov, M. Trupke, S. Tarasenko, A. Sperlich, P.-G. Baranov, V. Dyakonov, and G.-V. Astakhov, Phys. Rev. X 6, 031014 (2016).
[Crossref]

Spillane, S.

T. Kippenberg, S. Spillane, and K. Vahala, Phys. Rev. Lett. 93, 083904 (2004).
[Crossref]

Srinivasan, K.

Stöhr, R.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

Stone, J. R.

Su, L.

L. Su, D. Vercruysse, J. Skarda, N. V. Sapra, J. A. Petykiewicz, and J. Vučković, Appl. Phys. Rev. 7, 011407 (2020).
[Crossref]

C. Dory, D. Vercruysse, K. Y. Yang, N. V. Sapra, A. E. Rugar, S. Sun, D. M. Lukin, A. Y. Piggott, J. L. Zhang, M. Radulaski, K. G. Lagoudakis, L. Su, and J. Vučković, Nat. Commun. 10, 3309 (2019).
[Crossref]

Suda, J.

N. Watanabe, T. Kimoto, and J. Suda, Jpn. J. Appl. Phys. 51, 10ND18 (2012).
[Crossref]

H. Sato, M. Abe, I. Shoji, J. Suda, and T. Kondo, J. Opt. Soc. Am. B 26, 1892 (2009).
[Crossref]

Suh, M.-G.

Sun, S.

C. Dory, D. Vercruysse, K. Y. Yang, N. V. Sapra, A. E. Rugar, S. Sun, D. M. Lukin, A. Y. Piggott, J. L. Zhang, M. Radulaski, K. G. Lagoudakis, L. Su, and J. Vučković, Nat. Commun. 10, 3309 (2019).
[Crossref]

D. M. Lukin, C. Dory, M. A. Guidry, K. Y. Yang, S. D. Mishra, R. Trivedi, M. Radulaski, S. Sun, D. Vercruysse, G. H. Ahn, and J. Vučković, Nat. Photonics 14, 330 (2019).
[Crossref]

Tarasenko, S.

D. Simin, V. Soltamov, A. Poshakinskiy, A. Anisimov, R. Babunts, D. Tolmachev, E. Mokhov, M. Trupke, S. Tarasenko, A. Sperlich, P.-G. Baranov, V. Dyakonov, and G.-V. Astakhov, Phys. Rev. X 6, 031014 (2016).
[Crossref]

Thiering, G.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

Tolmachev, D.

D. Simin, V. Soltamov, A. Poshakinskiy, A. Anisimov, R. Babunts, D. Tolmachev, E. Mokhov, M. Trupke, S. Tarasenko, A. Sperlich, P.-G. Baranov, V. Dyakonov, and G.-V. Astakhov, Phys. Rev. X 6, 031014 (2016).
[Crossref]

Trivedi, R.

D. M. Lukin, C. Dory, M. A. Guidry, K. Y. Yang, S. D. Mishra, R. Trivedi, M. Radulaski, S. Sun, D. Vercruysse, G. H. Ahn, and J. Vučković, Nat. Photonics 14, 330 (2019).
[Crossref]

Trupke, M.

D. Simin, V. Soltamov, A. Poshakinskiy, A. Anisimov, R. Babunts, D. Tolmachev, E. Mokhov, M. Trupke, S. Tarasenko, A. Sperlich, P.-G. Baranov, V. Dyakonov, and G.-V. Astakhov, Phys. Rev. X 6, 031014 (2016).
[Crossref]

Udvarhelyi, P.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
[Crossref]

Ul-Hassan, J.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

Vahala, K.

Vahala, K. J.

Vercruysse, D.

L. Su, D. Vercruysse, J. Skarda, N. V. Sapra, J. A. Petykiewicz, and J. Vučković, Appl. Phys. Rev. 7, 011407 (2020).
[Crossref]

C. Dory, D. Vercruysse, K. Y. Yang, N. V. Sapra, A. E. Rugar, S. Sun, D. M. Lukin, A. Y. Piggott, J. L. Zhang, M. Radulaski, K. G. Lagoudakis, L. Su, and J. Vučković, Nat. Commun. 10, 3309 (2019).
[Crossref]

D. M. Lukin, C. Dory, M. A. Guidry, K. Y. Yang, S. D. Mishra, R. Trivedi, M. Radulaski, S. Sun, D. Vercruysse, G. H. Ahn, and J. Vučković, Nat. Photonics 14, 330 (2019).
[Crossref]

von Bardeleben, H. J.

S. A. Zargaleh, S. Hameau, B. Eble, F. Margaillan, H. J. von Bardeleben, J.-L. Cantin, and W. Gao, Phys. Rev. B 98, 165203 (2018).
[Crossref]

Vorobyov, V.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

Vuckovic, J.

L. Su, D. Vercruysse, J. Skarda, N. V. Sapra, J. A. Petykiewicz, and J. Vučković, Appl. Phys. Rev. 7, 011407 (2020).
[Crossref]

C. Dory, D. Vercruysse, K. Y. Yang, N. V. Sapra, A. E. Rugar, S. Sun, D. M. Lukin, A. Y. Piggott, J. L. Zhang, M. Radulaski, K. G. Lagoudakis, L. Su, and J. Vučković, Nat. Commun. 10, 3309 (2019).
[Crossref]

D. M. Lukin, C. Dory, M. A. Guidry, K. Y. Yang, S. D. Mishra, R. Trivedi, M. Radulaski, S. Sun, D. Vercruysse, G. H. Ahn, and J. Vučković, Nat. Photonics 14, 330 (2019).
[Crossref]

Wang, C. Y.

T. Herr, J. Riemensberg, C. Y. Wang, E. Gavartin, R. Holzwarth, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenerg, Nat. Photonics 6, 480 (2012).
[Crossref]

Wang, G.

S. Wang, M. Zhan, G. Wang, H. Xuan, W. Zhang, C. Liu, C. Xu, Y. Liu, Z. Wei, and X. Chen, Laser Photon. Rev. 7, 831 (2013).
[Crossref]

Wang, J.

X. Xue, Y. Xuan, Y. Liu, P.-H. Wang, S. Chen, J. Wang, D. E. Leaird, M. Qi, and A. M. Weiner, Nat. Photonics 9, 594 (2015).
[Crossref]

Wang, P.-H.

X. Xue, Y. Xuan, Y. Liu, P.-H. Wang, S. Chen, J. Wang, D. E. Leaird, M. Qi, and A. M. Weiner, Nat. Photonics 9, 594 (2015).
[Crossref]

Wang, S.

S. Wang, M. Zhan, G. Wang, H. Xuan, W. Zhang, C. Liu, C. Xu, Y. Liu, Z. Wei, and X. Chen, Laser Photon. Rev. 7, 831 (2013).
[Crossref]

Watanabe, N.

N. Watanabe, T. Kimoto, and J. Suda, Jpn. J. Appl. Phys. 51, 10ND18 (2012).
[Crossref]

Wei, R.

R. Wei, S. Song, K. Yang, Y. Cui, Y. Peng, X. Chen, X. Hu, and X. Xu, J. Appl. Phys. 113, 053503 (2013).
[Crossref]

Wei, Z.

S. Wang, M. Zhan, G. Wang, H. Xuan, W. Zhang, C. Liu, C. Xu, Y. Liu, Z. Wei, and X. Chen, Laser Photon. Rev. 7, 831 (2013).
[Crossref]

Weiner, A. M.

X. Xue, Y. Xuan, Y. Liu, P.-H. Wang, S. Chen, J. Wang, D. E. Leaird, M. Qi, and A. M. Weiner, Nat. Photonics 9, 594 (2015).
[Crossref]

Westly, D.

Westly, D. A.

X. Lu, G. Moille, Q. Li, D. A. Westly, A. Singh, A. Rao, S.-P. Yu, T. C. Briles, S. B. Papp, and K. Srinivasan, Nat. Photonics 13, 593 (2019).
[Crossref]

X. Lu, G. Moille, A. Singh, Q. Li, D. A. Westly, A. Rao, S.-P. Yu, T. C. Briles, S. B. Papp, and K. Srinivasan, Optica 6, 1535 (2019).
[Crossref]

Wetzel, B.

M. Kues, C. Reimer, P. Roztocki, L. R. Cortés, S. Sciara, B. Wetzel, Y. Zhang, A. Cino, S. T. Chu, B. E. Little, D. J. Moss, L. Caspani, J. Azaña, and R. Morandotti, Nature 546, 622 (2017).
[Crossref]

Widmann, M.

R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
[Crossref]

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

Wolfowicz, G.

C. P. Anderson, A. Bourassa, K. C. Miao, G. Wolfowicz, P. J. Mintun, A. L. Crook, H. Abe, J. U. Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, and D. D. Awschalom, Science 366, 1225 (2019).
[Crossref]

Woods, E. V.

Wrachtrup, J.

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
[Crossref]

D. D. Awschalom, R. Hanson, J. Wrachtrup, and B. B. Zhou, Nat. Photonics 12, 516 (2018).
[Crossref]

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

Wu, X.

Xu, C.

S. Wang, M. Zhan, G. Wang, H. Xuan, W. Zhang, C. Liu, C. Xu, Y. Liu, Z. Wei, and X. Chen, Laser Photon. Rev. 7, 831 (2013).
[Crossref]

Xu, X.

R. Wei, S. Song, K. Yang, Y. Cui, Y. Peng, X. Chen, X. Hu, and X. Xu, J. Appl. Phys. 113, 053503 (2013).
[Crossref]

Xuan, H.

S. Wang, M. Zhan, G. Wang, H. Xuan, W. Zhang, C. Liu, C. Xu, Y. Liu, Z. Wei, and X. Chen, Laser Photon. Rev. 7, 831 (2013).
[Crossref]

Xuan, Y.

X. Xue, Y. Xuan, Y. Liu, P.-H. Wang, S. Chen, J. Wang, D. E. Leaird, M. Qi, and A. M. Weiner, Nat. Photonics 9, 594 (2015).
[Crossref]

Xue, X.

X. Xue, Y. Xuan, Y. Liu, P.-H. Wang, S. Chen, J. Wang, D. E. Leaird, M. Qi, and A. M. Weiner, Nat. Photonics 9, 594 (2015).
[Crossref]

Yang, K.

R. Wei, S. Song, K. Yang, Y. Cui, Y. Peng, X. Chen, X. Hu, and X. Xu, J. Appl. Phys. 113, 053503 (2013).
[Crossref]

Yang, K. Y.

C. Dory, D. Vercruysse, K. Y. Yang, N. V. Sapra, A. E. Rugar, S. Sun, D. M. Lukin, A. Y. Piggott, J. L. Zhang, M. Radulaski, K. G. Lagoudakis, L. Su, and J. Vučković, Nat. Commun. 10, 3309 (2019).
[Crossref]

D. M. Lukin, C. Dory, M. A. Guidry, K. Y. Yang, S. D. Mishra, R. Trivedi, M. Radulaski, S. Sun, D. Vercruysse, G. H. Ahn, and J. Vučković, Nat. Photonics 14, 330 (2019).
[Crossref]

Z. L. Newman, V. Maurice, T. Drake, J. R. Stone, T. C. Briles, D. T. Spencer, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, B. Shen, M.-G. Suh, K. Y. Yang, C. Johnson, D. M. S. Johnson, L. Hollberg, K. J. Vahala, K. Srinivasan, S. A. Diddams, J. Kitching, S. B. Papp, and M. T. Hummon, Optica 6, 680 (2019).
[Crossref]

M.-G. Suh, Q.-F. Yang, K. Y. Yang, X. Yi, and K. J. Vahala, Science 354, 600 (2016).
[Crossref]

X. Yi, Q.-F. Yang, K. Y. Yang, and K. Vahala, Opt. Lett. 41, 2037 (2016).
[Crossref]

X. Yi, Q.-F. Yang, K. Y. Yang, M.-G. Suh, and K. Vahala, Optica 2, 1078 (2015).
[Crossref]

Yang, L.

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

Yang, Q.-F.

Yang, S.

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

Yi, A.

Yi, X.

Yu, M.

Yu, S.-P.

X. Lu, G. Moille, A. Singh, Q. Li, D. A. Westly, A. Rao, S.-P. Yu, T. C. Briles, S. B. Papp, and K. Srinivasan, Optica 6, 1535 (2019).
[Crossref]

X. Lu, G. Moille, Q. Li, D. A. Westly, A. Singh, A. Rao, S.-P. Yu, T. C. Briles, S. B. Papp, and K. Srinivasan, Nat. Photonics 13, 593 (2019).
[Crossref]

Zargaleh, S. A.

S. A. Zargaleh, S. Hameau, B. Eble, F. Margaillan, H. J. von Bardeleben, J.-L. Cantin, and W. Gao, Phys. Rev. B 98, 165203 (2018).
[Crossref]

Zhan, M.

S. Wang, M. Zhan, G. Wang, H. Xuan, W. Zhang, C. Liu, C. Xu, Y. Liu, Z. Wei, and X. Chen, Laser Photon. Rev. 7, 831 (2013).
[Crossref]

Zhang, J. L.

C. Dory, D. Vercruysse, K. Y. Yang, N. V. Sapra, A. E. Rugar, S. Sun, D. M. Lukin, A. Y. Piggott, J. L. Zhang, M. Radulaski, K. G. Lagoudakis, L. Su, and J. Vučković, Nat. Commun. 10, 3309 (2019).
[Crossref]

Zhang, M.

Zhang, W.

S. Wang, M. Zhan, G. Wang, H. Xuan, W. Zhang, C. Liu, C. Xu, Y. Liu, Z. Wei, and X. Chen, Laser Photon. Rev. 7, 831 (2013).
[Crossref]

Zhang, X.

A. L. Crook, C. P. Anderson, K. C. Miao, A. Bourassa, H. Lee, S. L. Bayliss, D. O. Bracher, X. Zhang, H. Abe, T. Ohshima, E. L. Hu, and D. D. Awschalom, Nano Lett. 20, 3427 (2020).
[Crossref]

Zhang, Y.

M. Kues, C. Reimer, P. Roztocki, L. R. Cortés, S. Sciara, B. Wetzel, Y. Zhang, A. Cino, S. T. Chu, B. E. Little, D. J. Moss, L. Caspani, J. Azaña, and R. Morandotti, Nature 546, 622 (2017).
[Crossref]

Zhao, N.

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

Zheng, Y.

Zhou, B. B.

D. D. Awschalom, R. Hanson, J. Wrachtrup, and B. B. Zhou, Nat. Photonics 12, 516 (2018).
[Crossref]

Appl. Phys. Rev. (1)

L. Su, D. Vercruysse, J. Skarda, N. V. Sapra, J. A. Petykiewicz, and J. Vučković, Appl. Phys. Rev. 7, 011407 (2020).
[Crossref]

J. Appl. Phys. (3)

A. Markosyan, R. Route, M. Fejer, D. Patel, and C. Menoni, J. Appl. Phys. 113, 133104 (2013).
[Crossref]

R. Wei, S. Song, K. Yang, Y. Cui, Y. Peng, X. Chen, X. Hu, and X. Xu, J. Appl. Phys. 113, 053503 (2013).
[Crossref]

Z. Li and R. C. Bradt, J. Appl. Phys. 60, 612 (1986).
[Crossref]

J. Opt. Soc. Am. B (1)

Jpn. J. Appl. Phys. (1)

N. Watanabe, T. Kimoto, and J. Suda, Jpn. J. Appl. Phys. 51, 10ND18 (2012).
[Crossref]

Laser Photon. Rev. (1)

S. Wang, M. Zhan, G. Wang, H. Xuan, W. Zhang, C. Liu, C. Xu, Y. Liu, Z. Wei, and X. Chen, Laser Photon. Rev. 7, 831 (2013).
[Crossref]

Nano Lett. (1)

A. L. Crook, C. P. Anderson, K. C. Miao, A. Bourassa, H. Lee, S. L. Bayliss, D. O. Bracher, X. Zhang, H. Abe, T. Ohshima, E. L. Hu, and D. D. Awschalom, Nano Lett. 20, 3427 (2020).
[Crossref]

Nat. Commun. (3)

R. Nagy, M. Niethammer, M. Widmann, Y.-C. Chen, P. Udvarhelyi, C. Bonato, J. U. Hassan, R. Karhu, I. G. Ivanov, N. T. Son, J. R. Maze, T. Ohshima, Ö. O. Soykal, Á. Gali, S.-Y. Lee, F. Kaiser, and J. Wrachtrup, Nat. Commun. 10, 1954 (2019).
[Crossref]

N. Morioka, C. Babin, R. Nagy, I. Gediz, E. Hesselmeier, D. Liu, M. Joliffe, M. Niethammer, D. Dasari, V. Vorobyov, R. Kolesov, R. Stöhr, J. Ul-Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, P. Udvarhelyi, G. Thiering, A. Gali, J. Wrachtrup, and F. Kaiser, Nat. Commun. 11, 2516 (2020).
[Crossref]

C. Dory, D. Vercruysse, K. Y. Yang, N. V. Sapra, A. E. Rugar, S. Sun, D. M. Lukin, A. Y. Piggott, J. L. Zhang, M. Radulaski, K. G. Lagoudakis, L. Su, and J. Vučković, Nat. Commun. 10, 3309 (2019).
[Crossref]

Nat. Mater. (1)

M. Widmann, S. Lee, T. Rendler, N. T. Son, H. Fedder, S. Paik, L. Yang, N. Zhao, S. Yang, I. Booker, A. Denisenko, M. Jamali, S. Momenzadeh, I. Gerhardt, T. Ohshima, A. Gali, E. Janzen, and J. Wrachtrup, Nat. Mater. 14, 164 (2015).
[Crossref]

Nat. Photonics (5)

T. Herr, J. Riemensberg, C. Y. Wang, E. Gavartin, R. Holzwarth, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenerg, Nat. Photonics 6, 480 (2012).
[Crossref]

X. Xue, Y. Xuan, Y. Liu, P.-H. Wang, S. Chen, J. Wang, D. E. Leaird, M. Qi, and A. M. Weiner, Nat. Photonics 9, 594 (2015).
[Crossref]

D. D. Awschalom, R. Hanson, J. Wrachtrup, and B. B. Zhou, Nat. Photonics 12, 516 (2018).
[Crossref]

D. M. Lukin, C. Dory, M. A. Guidry, K. Y. Yang, S. D. Mishra, R. Trivedi, M. Radulaski, S. Sun, D. Vercruysse, G. H. Ahn, and J. Vučković, Nat. Photonics 14, 330 (2019).
[Crossref]

X. Lu, G. Moille, Q. Li, D. A. Westly, A. Singh, A. Rao, S.-P. Yu, T. C. Briles, S. B. Papp, and K. Srinivasan, Nat. Photonics 13, 593 (2019).
[Crossref]

Nature (2)

M. Kues, C. Reimer, P. Roztocki, L. R. Cortés, S. Sciara, B. Wetzel, Y. Zhang, A. Cino, S. T. Chu, B. E. Little, D. J. Moss, L. Caspani, J. Azaña, and R. Morandotti, Nature 546, 622 (2017).
[Crossref]

W. F. Koehl, B. B. Buckley, F. J. Heremans, G. Calusine, and D. D. Awschalom, Nature 479, 84 (2011).
[Crossref]

Opt. Express (2)

Opt. Lett. (4)

Optica (4)

Phys. Rev. A (1)

Y. K. Chembo and C. R. Menyuk, Phys. Rev. A 87, 053852 (2013).
[Crossref]

Phys. Rev. B (1)

S. A. Zargaleh, S. Hameau, B. Eble, F. Margaillan, H. J. von Bardeleben, J.-L. Cantin, and W. Gao, Phys. Rev. B 98, 165203 (2018).
[Crossref]

Phys. Rev. Lett. (2)

T. Kippenberg, S. Spillane, and K. Vahala, Phys. Rev. Lett. 93, 083904 (2004).
[Crossref]

C. Leroux, L. Govia, and A. Clerk, Phys. Rev. Lett. 120, 093602 (2018).
[Crossref]

Phys. Rev. X (1)

D. Simin, V. Soltamov, A. Poshakinskiy, A. Anisimov, R. Babunts, D. Tolmachev, E. Mokhov, M. Trupke, S. Tarasenko, A. Sperlich, P.-G. Baranov, V. Dyakonov, and G.-V. Astakhov, Phys. Rev. X 6, 031014 (2016).
[Crossref]

Science (2)

C. P. Anderson, A. Bourassa, K. C. Miao, G. Wolfowicz, P. J. Mintun, A. L. Crook, H. Abe, J. U. Hassan, N. T. Son, T. Ohshima, and D. D. Awschalom, Science 366, 1225 (2019).
[Crossref]

M.-G. Suh, Q.-F. Yang, K. Y. Yang, X. Yi, and K. J. Vahala, Science 354, 600 (2016).
[Crossref]

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1.
Fig. 1. Microring resonators and inverse-designed vertical couplers in 4 H-SiC-on-insulator. (a) Scanning electron micrograph (SEM) of two SiC microring resonators (false-colored) with diameters of 55 µm and 100 µm before ${{\rm SiO}_2}$ encapsulation. (b) Schematic of the device cross section after ${{\rm SiO}_2}$ encapsulation. (c) Transmission spectrum of a ring with diameter 100 µm, width 3.0 µm, and height 530 nm, around a ${{\rm TE}_{00}}$ resonance with an intrinsic $Q$ of $1.1 \cdot {10^6}$ and loaded $Q$ of $9.7 \cdot {10^5}$. The wavelength is relative to 1532 nm. (d) Close-up SEM image of the inverse-designed vertical coupler, highlighted in (a). The coupler converts a near-diffraction-limited free-space Gaussian beam (focused via a $100\times$ objective with ${\rm NA} = 0.5$) into the fundamental waveguide mode. (e) Camera image of the coupler operating at peak efficiency, showing little back-reflection from the input coupler, and a nearly Gaussian beam at the output. (f) We measure the single-mode coupling efficiency to be 31% at the target wavelength of 1550 nm, in close agreement with finite-difference time domain (FDTD) simulation.
Fig. 2.
Fig. 2. Measurement of the intrinsic loss of 4 H-SiC. (a) Diagram of the PCI measurement setup, described in detail in Ref. [22]. (b) Crystal of 4 H-SiC with dimensions of $5 \times 5 \times 10\;{\rm mm} $ undergoing the measurement. Multiple reflections of the red probe laser inside the crystal are visible.
Fig. 3.
Fig. 3. Microcomb formation in a 4 H-SiC microring. (a) Measured integrated dispersion (green points) of the ${{\rm TE}_{10}}$ mode versus the relative mode number $\mu$, where $\mu= 0$ corresponds to the pump mode. The orange curve is a numerical simulation from which we extract ${D_2}/2\pi = 61\;{\rm MHz} $ and ${D_3}/2\pi = - 0.01\;{\rm MHz} $. Center inset: close-up of the measured dispersion datapoints. Left inset: numerical simulation of the ${{\rm TE}_{10}}$ mode cross section. (b) Measured OPO spectra (blue) at different injected powers, featuring three distinct stages in the microcomb formation. A ${{\rm sech}^2}$ fit (red envelope) is overlaid onto the chaotic frequency comb for comparison to the characteristic soliton spectral shape. Simulation (red) of the soliton.

Tables (1)

Tables Icon

Table 1. Intrinsic Optical Loss of HPSI 4 H-SiC

Equations (2)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

ω ( μ ) = ω 0 + k = 1 D k k ! μ k ,
P th = ω 0 n 2 8 η n 2 c V Q L , s Q L , i Q L , p ,