Abstract

Diffractive x-ray lenses suffer from limited focusing efficiency, which can be improved by replacing the binary nanostructures of the lenses with kinoforms. Here we present the first example of kinoform lenses for x rays and compare their efficiency with those of binary Fresnel zone plates (FZPs), realized through gray-scale-focused Xe ion beam lithography. Unexpectedly, experimental results indicate lower focusing efficiencies of kinoform lenses compared to binary FZPs between 5–7 keV. Simulations that include absorption reveal that kinoform lenses can only provide a limited boost in the diffraction efficiency in multi-keV x-ray energies and for impractical lens thicknesses. Combined with significant challenges in kinoform lens fabrication, the modest gains of this approach may suggest that it is not the path to increasing focusing efficiency.

© 2019 Optical Society of America under the terms of the OSA Open Access Publishing Agreement

Full Article  |  PDF Article
OSA Recommended Articles
Sub-500  nm hard x ray focusing by compound long kinoform lenses

Keliang Liao, Jing Liu, Hao Liang, Xuehui Wu, Kai Zhang, Qingxi Yuan, Futing Yi, and Weifan Sheng
Appl. Opt. 55(1) 38-41 (2016)

High resolution double-sided diffractive optics for hard X-ray microscopy

Istvan Mohacsi, Ismo Vartiainen, Manuel Guizar-Sicairos, Petri Karvinen, Vitaliy A. Guzenko, Elisabeth Müller, Elina Färm, Mikko Ritala, Cameron M. Kewish, Andrea Somogyi, and Christian David
Opt. Express 23(2) 776-786 (2015)

Fresnel zone plate stacking in the intermediate field for high efficiency focusing in the hard X-ray regime

Sophie-Charlotte Gleber, Michael Wojcik, Jie Liu, Chris Roehrig, Marvin Cummings, Joan Vila-Comamala, Kenan Li, Barry Lai, Deming Shu, and Stefan Vogt
Opt. Express 22(23) 28142-28153 (2014)

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. A. Snigirev, V. Kohn, I. Snigireva, and B. Lengeler, Nature 384, 49 (1996).
    [Crossref]
  2. B. Nohammer, J. Hoszowska, A. K. Freund, and C. David, J. Synchrotron. Radiat. 10, 168 (2003).
    [Crossref]
  3. K. Evans-Lutterodt, J. M. Ablett, A. Stein, C. C. Kao, D. M. Tennant, F. Klemens, A. Taylor, C. Jacobsen, P. L. Gammel, H. Huggins, S. Ustin, G. Bogart, and L. Ocola, Opt. Express 11, 919 (2003).
    [Crossref]
  4. J. Xu, G. Liu, Q. Huang, M. Liu, X. Zhou, H. Wu, N. Li, Y. Li, X. Xu, D. Liang, H. Jiang, L. Zhang, J. Wang, J. Cao, and H. Lin, J. Instrum. 13, C07005 (2018).
    [Crossref]
  5. E. Di Fabrizio and M. Gentili, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 3439 (1999).
    [Crossref]
  6. E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
    [Crossref]
  7. E. Di Fabrizio, M. Gentili, L. Grella, M. Baciocchi, A. Krasnoperova, F. Cerrina, W. Yun, B. Lai, and E. Gluskin, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3979 (1994).
    [Crossref]
  8. K. N. Li, M. J. Wojcik, L. E. Ocola, R. Divan, and C. Jacobsen, J. Vac. Sci. Technol. B 33, 06FD04 (2015).
    [Crossref]
  9. I. Mohacsi, I. Vartiainen, M. Guizar-Sicairos, P. Karvinen, V. A. Guzenko, E. Muller, C. M. Kewish, A. Somogyi, and C. David, Opt. Lett. 41, 281 (2016).
    [Crossref]
  10. I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, A. Diaz, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, Proc. SPIE 8851, 88510Z (2013).
    [Crossref]
  11. J. Vila-Comamala, M. Wojcik, A. Diaz, M. Guizar-Sicairos, C. M. Kewish, S. Wang, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 20, 397(2013).
    [Crossref]
  12. S. C. Gleber, M. Wojcik, J. Liu, C. Roehrig, M. Cummings, J. Vila-Comamala, K. Li, B. Lai, D. M. Shu, and S. Vogt, Opt. Express 22, 28142 (2014).
    [Crossref]
  13. I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, V. A. Guzenko, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 21, 497 (2014).
    [Crossref]
  14. I. Mohacsi, I. Vartiainen, B. Rosner, M. Guizar-Sicairos, V. A. Guzenko, I. McNulty, R. Winarski, M. V. Holt, and C. David, Sci. Rep. 7, 43624 (2017).
    [Crossref]
  15. K. Dietrich, C. Menzel, D. Lehr, O. Puffky, U. Hubner, T. Pertsch, A. Tunnermann, and E. B. Kley, Appl. Phys. Lett. 104, 193107(2014).
    [Crossref]
  16. J. A. McCoy, R. L. McEntaffer, and C. M. Eichfeld, J. Vac. Sci. Technol. B 36, 06JA01 (2018).
    [Crossref]
  17. B. Morgan, C. M. Waits, J. Krizmanic, and R. Ghodssi, J. Microelectromech. Syst. 13, 113 (2004).
    [Crossref]
  18. A. Schleunitz, V. A. Guzenko, M. Messerschmidt, H. Atasoy, R. Kirchner, and H. Schift, Nano Convergence 1, 7 (2014).
    [Crossref]
  19. A. Schleunitz and H. Schift, J. Micromech. Microeng. 20, 095002(2010).
    [Crossref]
  20. G. Seniutinas, A. Balcytis, I. Reklaitis, F. Chen, J. Davis, C. David, and S. Juodkazis, Nanophotonics 6, 923 (2017).
    [Crossref]
  21. K. Keskinbora, C. Grevent, M. Bechtel, M. Weigand, E. Goering, A. Nadzeyka, L. Peto, S. Rehbein, G. Schneider, R. Follath, J. Vila-Comamala, H. Yan, and G. Schutz, Opt. Express 21, 11747 (2013).
    [Crossref]
  22. U. T. Sanli, K. Keskinbora, C. Grevent, and G. Schutz, Proc. SPIE 9510, 95100U (2015).
    [Crossref]
  23. M. Day, K. Choonee, D. Cox, M. Thompson, G. Marshall, and A. G. Sinclair, Opt. Express 25, 26987 (2017).
    [Crossref]
  24. U. T. Sanli, C. Jiao, M. Baluktsian, C. Grevent, K. Hahn, Y. Wang, V. Srot, G. Richter, I. Bykova, M. Weigand, G. Schutz, and K. Keskinbora, Adv. Sci. 5, 1800346 (2018).
    [Crossref]
  25. S. Gorelick and A. De Marco, Opt. Express 26, 32324 (2018).
    [Crossref]
  26. S. Gorelick and A. De Marco, Opt. Express 26, 13647 (2018).
    [Crossref]
  27. D. Paterson, M. D. de Jonge, D. L. Howard, W. Lewis, J. McKinlay, A. Starritt, M. Kusel, C. G. Ryan, R. Kirkham, G. Moorhead, and D. P. Siddons, AIP Conf. Proc. 1365, 219 (2011).
    [Crossref]
  28. S. Gorelick, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, R. Barrett, M. Salome, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 18, 442 (2011).
    [Crossref]
  29. B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
    [Crossref]
  30. J. Vila-Comamala, S. Gorelick, E. Farm, C. M. Kewish, A. Diaz, R. Barrett, V. A. Guzenko, M. Ritala, and C. David, Opt. Express 19, 175 (2011).
    [Crossref]
  31. B. W. Kempshall, S. M. Schwarz, B. I. Prenitzer, L. A. Giannuzzi, R. B. Irwin, and F. A. Stevie, J. Vac. Sci. Technol. B 19, 749 (2001).
    [Crossref]
  32. K. N. Li and C. Jacobsen, J. Synchrotron. Radiat. 25, 1048 (2018).
    [Crossref]

2018 (6)

J. Xu, G. Liu, Q. Huang, M. Liu, X. Zhou, H. Wu, N. Li, Y. Li, X. Xu, D. Liang, H. Jiang, L. Zhang, J. Wang, J. Cao, and H. Lin, J. Instrum. 13, C07005 (2018).
[Crossref]

J. A. McCoy, R. L. McEntaffer, and C. M. Eichfeld, J. Vac. Sci. Technol. B 36, 06JA01 (2018).
[Crossref]

U. T. Sanli, C. Jiao, M. Baluktsian, C. Grevent, K. Hahn, Y. Wang, V. Srot, G. Richter, I. Bykova, M. Weigand, G. Schutz, and K. Keskinbora, Adv. Sci. 5, 1800346 (2018).
[Crossref]

S. Gorelick and A. De Marco, Opt. Express 26, 32324 (2018).
[Crossref]

S. Gorelick and A. De Marco, Opt. Express 26, 13647 (2018).
[Crossref]

K. N. Li and C. Jacobsen, J. Synchrotron. Radiat. 25, 1048 (2018).
[Crossref]

2017 (3)

M. Day, K. Choonee, D. Cox, M. Thompson, G. Marshall, and A. G. Sinclair, Opt. Express 25, 26987 (2017).
[Crossref]

G. Seniutinas, A. Balcytis, I. Reklaitis, F. Chen, J. Davis, C. David, and S. Juodkazis, Nanophotonics 6, 923 (2017).
[Crossref]

I. Mohacsi, I. Vartiainen, B. Rosner, M. Guizar-Sicairos, V. A. Guzenko, I. McNulty, R. Winarski, M. V. Holt, and C. David, Sci. Rep. 7, 43624 (2017).
[Crossref]

2016 (1)

2015 (2)

K. N. Li, M. J. Wojcik, L. E. Ocola, R. Divan, and C. Jacobsen, J. Vac. Sci. Technol. B 33, 06FD04 (2015).
[Crossref]

U. T. Sanli, K. Keskinbora, C. Grevent, and G. Schutz, Proc. SPIE 9510, 95100U (2015).
[Crossref]

2014 (4)

A. Schleunitz, V. A. Guzenko, M. Messerschmidt, H. Atasoy, R. Kirchner, and H. Schift, Nano Convergence 1, 7 (2014).
[Crossref]

S. C. Gleber, M. Wojcik, J. Liu, C. Roehrig, M. Cummings, J. Vila-Comamala, K. Li, B. Lai, D. M. Shu, and S. Vogt, Opt. Express 22, 28142 (2014).
[Crossref]

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, V. A. Guzenko, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 21, 497 (2014).
[Crossref]

K. Dietrich, C. Menzel, D. Lehr, O. Puffky, U. Hubner, T. Pertsch, A. Tunnermann, and E. B. Kley, Appl. Phys. Lett. 104, 193107(2014).
[Crossref]

2013 (3)

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, A. Diaz, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, Proc. SPIE 8851, 88510Z (2013).
[Crossref]

J. Vila-Comamala, M. Wojcik, A. Diaz, M. Guizar-Sicairos, C. M. Kewish, S. Wang, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 20, 397(2013).
[Crossref]

K. Keskinbora, C. Grevent, M. Bechtel, M. Weigand, E. Goering, A. Nadzeyka, L. Peto, S. Rehbein, G. Schneider, R. Follath, J. Vila-Comamala, H. Yan, and G. Schutz, Opt. Express 21, 11747 (2013).
[Crossref]

2011 (3)

D. Paterson, M. D. de Jonge, D. L. Howard, W. Lewis, J. McKinlay, A. Starritt, M. Kusel, C. G. Ryan, R. Kirkham, G. Moorhead, and D. P. Siddons, AIP Conf. Proc. 1365, 219 (2011).
[Crossref]

S. Gorelick, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, R. Barrett, M. Salome, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 18, 442 (2011).
[Crossref]

J. Vila-Comamala, S. Gorelick, E. Farm, C. M. Kewish, A. Diaz, R. Barrett, V. A. Guzenko, M. Ritala, and C. David, Opt. Express 19, 175 (2011).
[Crossref]

2010 (1)

A. Schleunitz and H. Schift, J. Micromech. Microeng. 20, 095002(2010).
[Crossref]

2004 (1)

B. Morgan, C. M. Waits, J. Krizmanic, and R. Ghodssi, J. Microelectromech. Syst. 13, 113 (2004).
[Crossref]

2003 (2)

2001 (1)

B. W. Kempshall, S. M. Schwarz, B. I. Prenitzer, L. A. Giannuzzi, R. B. Irwin, and F. A. Stevie, J. Vac. Sci. Technol. B 19, 749 (2001).
[Crossref]

1999 (2)

E. Di Fabrizio and M. Gentili, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 3439 (1999).
[Crossref]

E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
[Crossref]

1996 (1)

A. Snigirev, V. Kohn, I. Snigireva, and B. Lengeler, Nature 384, 49 (1996).
[Crossref]

1994 (1)

E. Di Fabrizio, M. Gentili, L. Grella, M. Baciocchi, A. Krasnoperova, F. Cerrina, W. Yun, B. Lai, and E. Gluskin, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3979 (1994).
[Crossref]

1993 (1)

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
[Crossref]

Ablett, J. M.

Atasoy, H.

A. Schleunitz, V. A. Guzenko, M. Messerschmidt, H. Atasoy, R. Kirchner, and H. Schift, Nano Convergence 1, 7 (2014).
[Crossref]

Baciocchi, M.

E. Di Fabrizio, M. Gentili, L. Grella, M. Baciocchi, A. Krasnoperova, F. Cerrina, W. Yun, B. Lai, and E. Gluskin, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3979 (1994).
[Crossref]

Balcytis, A.

G. Seniutinas, A. Balcytis, I. Reklaitis, F. Chen, J. Davis, C. David, and S. Juodkazis, Nanophotonics 6, 923 (2017).
[Crossref]

Baluktsian, M.

U. T. Sanli, C. Jiao, M. Baluktsian, C. Grevent, K. Hahn, Y. Wang, V. Srot, G. Richter, I. Bykova, M. Weigand, G. Schutz, and K. Keskinbora, Adv. Sci. 5, 1800346 (2018).
[Crossref]

Barrett, R.

S. Gorelick, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, R. Barrett, M. Salome, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 18, 442 (2011).
[Crossref]

J. Vila-Comamala, S. Gorelick, E. Farm, C. M. Kewish, A. Diaz, R. Barrett, V. A. Guzenko, M. Ritala, and C. David, Opt. Express 19, 175 (2011).
[Crossref]

E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
[Crossref]

Bechtel, M.

Bogart, G.

Bykova, I.

U. T. Sanli, C. Jiao, M. Baluktsian, C. Grevent, K. Hahn, Y. Wang, V. Srot, G. Richter, I. Bykova, M. Weigand, G. Schutz, and K. Keskinbora, Adv. Sci. 5, 1800346 (2018).
[Crossref]

Cabrini, S.

E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
[Crossref]

Cao, J.

J. Xu, G. Liu, Q. Huang, M. Liu, X. Zhou, H. Wu, N. Li, Y. Li, X. Xu, D. Liang, H. Jiang, L. Zhang, J. Wang, J. Cao, and H. Lin, J. Instrum. 13, C07005 (2018).
[Crossref]

Cerrina, F.

E. Di Fabrizio, M. Gentili, L. Grella, M. Baciocchi, A. Krasnoperova, F. Cerrina, W. Yun, B. Lai, and E. Gluskin, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3979 (1994).
[Crossref]

Chen, F.

G. Seniutinas, A. Balcytis, I. Reklaitis, F. Chen, J. Davis, C. David, and S. Juodkazis, Nanophotonics 6, 923 (2017).
[Crossref]

Choonee, K.

Cox, D.

Cummings, M.

David, C.

G. Seniutinas, A. Balcytis, I. Reklaitis, F. Chen, J. Davis, C. David, and S. Juodkazis, Nanophotonics 6, 923 (2017).
[Crossref]

I. Mohacsi, I. Vartiainen, B. Rosner, M. Guizar-Sicairos, V. A. Guzenko, I. McNulty, R. Winarski, M. V. Holt, and C. David, Sci. Rep. 7, 43624 (2017).
[Crossref]

I. Mohacsi, I. Vartiainen, M. Guizar-Sicairos, P. Karvinen, V. A. Guzenko, E. Muller, C. M. Kewish, A. Somogyi, and C. David, Opt. Lett. 41, 281 (2016).
[Crossref]

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, V. A. Guzenko, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 21, 497 (2014).
[Crossref]

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, A. Diaz, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, Proc. SPIE 8851, 88510Z (2013).
[Crossref]

J. Vila-Comamala, M. Wojcik, A. Diaz, M. Guizar-Sicairos, C. M. Kewish, S. Wang, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 20, 397(2013).
[Crossref]

S. Gorelick, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, R. Barrett, M. Salome, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 18, 442 (2011).
[Crossref]

J. Vila-Comamala, S. Gorelick, E. Farm, C. M. Kewish, A. Diaz, R. Barrett, V. A. Guzenko, M. Ritala, and C. David, Opt. Express 19, 175 (2011).
[Crossref]

B. Nohammer, J. Hoszowska, A. K. Freund, and C. David, J. Synchrotron. Radiat. 10, 168 (2003).
[Crossref]

Davis, J.

G. Seniutinas, A. Balcytis, I. Reklaitis, F. Chen, J. Davis, C. David, and S. Juodkazis, Nanophotonics 6, 923 (2017).
[Crossref]

Davis, J. C.

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
[Crossref]

Day, M.

de Jonge, M. D.

D. Paterson, M. D. de Jonge, D. L. Howard, W. Lewis, J. McKinlay, A. Starritt, M. Kusel, C. G. Ryan, R. Kirkham, G. Moorhead, and D. P. Siddons, AIP Conf. Proc. 1365, 219 (2011).
[Crossref]

De Marco, A.

Di Fabrizio, E.

E. Di Fabrizio and M. Gentili, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 3439 (1999).
[Crossref]

E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
[Crossref]

E. Di Fabrizio, M. Gentili, L. Grella, M. Baciocchi, A. Krasnoperova, F. Cerrina, W. Yun, B. Lai, and E. Gluskin, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3979 (1994).
[Crossref]

Diaz, A.

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, A. Diaz, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, Proc. SPIE 8851, 88510Z (2013).
[Crossref]

J. Vila-Comamala, M. Wojcik, A. Diaz, M. Guizar-Sicairos, C. M. Kewish, S. Wang, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 20, 397(2013).
[Crossref]

J. Vila-Comamala, S. Gorelick, E. Farm, C. M. Kewish, A. Diaz, R. Barrett, V. A. Guzenko, M. Ritala, and C. David, Opt. Express 19, 175 (2011).
[Crossref]

Dietrich, K.

K. Dietrich, C. Menzel, D. Lehr, O. Puffky, U. Hubner, T. Pertsch, A. Tunnermann, and E. B. Kley, Appl. Phys. Lett. 104, 193107(2014).
[Crossref]

Divan, R.

K. N. Li, M. J. Wojcik, L. E. Ocola, R. Divan, and C. Jacobsen, J. Vac. Sci. Technol. B 33, 06FD04 (2015).
[Crossref]

Eichfeld, C. M.

J. A. McCoy, R. L. McEntaffer, and C. M. Eichfeld, J. Vac. Sci. Technol. B 36, 06JA01 (2018).
[Crossref]

Evans-Lutterodt, K.

Farm, E.

Follath, R.

Freund, A. K.

B. Nohammer, J. Hoszowska, A. K. Freund, and C. David, J. Synchrotron. Radiat. 10, 168 (2003).
[Crossref]

Gammel, P. L.

Gentili, M.

E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
[Crossref]

E. Di Fabrizio and M. Gentili, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 3439 (1999).
[Crossref]

E. Di Fabrizio, M. Gentili, L. Grella, M. Baciocchi, A. Krasnoperova, F. Cerrina, W. Yun, B. Lai, and E. Gluskin, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3979 (1994).
[Crossref]

Ghodssi, R.

B. Morgan, C. M. Waits, J. Krizmanic, and R. Ghodssi, J. Microelectromech. Syst. 13, 113 (2004).
[Crossref]

Giannuzzi, L. A.

B. W. Kempshall, S. M. Schwarz, B. I. Prenitzer, L. A. Giannuzzi, R. B. Irwin, and F. A. Stevie, J. Vac. Sci. Technol. B 19, 749 (2001).
[Crossref]

Gleber, S. C.

Gluskin, E.

E. Di Fabrizio, M. Gentili, L. Grella, M. Baciocchi, A. Krasnoperova, F. Cerrina, W. Yun, B. Lai, and E. Gluskin, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3979 (1994).
[Crossref]

Goering, E.

Gorelick, S.

Grella, L.

E. Di Fabrizio, M. Gentili, L. Grella, M. Baciocchi, A. Krasnoperova, F. Cerrina, W. Yun, B. Lai, and E. Gluskin, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3979 (1994).
[Crossref]

Grevent, C.

U. T. Sanli, C. Jiao, M. Baluktsian, C. Grevent, K. Hahn, Y. Wang, V. Srot, G. Richter, I. Bykova, M. Weigand, G. Schutz, and K. Keskinbora, Adv. Sci. 5, 1800346 (2018).
[Crossref]

U. T. Sanli, K. Keskinbora, C. Grevent, and G. Schutz, Proc. SPIE 9510, 95100U (2015).
[Crossref]

K. Keskinbora, C. Grevent, M. Bechtel, M. Weigand, E. Goering, A. Nadzeyka, L. Peto, S. Rehbein, G. Schneider, R. Follath, J. Vila-Comamala, H. Yan, and G. Schutz, Opt. Express 21, 11747 (2013).
[Crossref]

Guizar-Sicairos, M.

I. Mohacsi, I. Vartiainen, B. Rosner, M. Guizar-Sicairos, V. A. Guzenko, I. McNulty, R. Winarski, M. V. Holt, and C. David, Sci. Rep. 7, 43624 (2017).
[Crossref]

I. Mohacsi, I. Vartiainen, M. Guizar-Sicairos, P. Karvinen, V. A. Guzenko, E. Muller, C. M. Kewish, A. Somogyi, and C. David, Opt. Lett. 41, 281 (2016).
[Crossref]

J. Vila-Comamala, M. Wojcik, A. Diaz, M. Guizar-Sicairos, C. M. Kewish, S. Wang, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 20, 397(2013).
[Crossref]

Gullikson, E. M.

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
[Crossref]

Guzenko, V. A.

I. Mohacsi, I. Vartiainen, B. Rosner, M. Guizar-Sicairos, V. A. Guzenko, I. McNulty, R. Winarski, M. V. Holt, and C. David, Sci. Rep. 7, 43624 (2017).
[Crossref]

I. Mohacsi, I. Vartiainen, M. Guizar-Sicairos, P. Karvinen, V. A. Guzenko, E. Muller, C. M. Kewish, A. Somogyi, and C. David, Opt. Lett. 41, 281 (2016).
[Crossref]

A. Schleunitz, V. A. Guzenko, M. Messerschmidt, H. Atasoy, R. Kirchner, and H. Schift, Nano Convergence 1, 7 (2014).
[Crossref]

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, V. A. Guzenko, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 21, 497 (2014).
[Crossref]

S. Gorelick, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, R. Barrett, M. Salome, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 18, 442 (2011).
[Crossref]

J. Vila-Comamala, S. Gorelick, E. Farm, C. M. Kewish, A. Diaz, R. Barrett, V. A. Guzenko, M. Ritala, and C. David, Opt. Express 19, 175 (2011).
[Crossref]

Hahn, K.

U. T. Sanli, C. Jiao, M. Baluktsian, C. Grevent, K. Hahn, Y. Wang, V. Srot, G. Richter, I. Bykova, M. Weigand, G. Schutz, and K. Keskinbora, Adv. Sci. 5, 1800346 (2018).
[Crossref]

Henke, B. L.

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
[Crossref]

Holt, M. V.

I. Mohacsi, I. Vartiainen, B. Rosner, M. Guizar-Sicairos, V. A. Guzenko, I. McNulty, R. Winarski, M. V. Holt, and C. David, Sci. Rep. 7, 43624 (2017).
[Crossref]

Hoszowska, J.

B. Nohammer, J. Hoszowska, A. K. Freund, and C. David, J. Synchrotron. Radiat. 10, 168 (2003).
[Crossref]

Howard, D. L.

D. Paterson, M. D. de Jonge, D. L. Howard, W. Lewis, J. McKinlay, A. Starritt, M. Kusel, C. G. Ryan, R. Kirkham, G. Moorhead, and D. P. Siddons, AIP Conf. Proc. 1365, 219 (2011).
[Crossref]

Huang, Q.

J. Xu, G. Liu, Q. Huang, M. Liu, X. Zhou, H. Wu, N. Li, Y. Li, X. Xu, D. Liang, H. Jiang, L. Zhang, J. Wang, J. Cao, and H. Lin, J. Instrum. 13, C07005 (2018).
[Crossref]

Hubner, U.

K. Dietrich, C. Menzel, D. Lehr, O. Puffky, U. Hubner, T. Pertsch, A. Tunnermann, and E. B. Kley, Appl. Phys. Lett. 104, 193107(2014).
[Crossref]

Huggins, H.

Irwin, R. B.

B. W. Kempshall, S. M. Schwarz, B. I. Prenitzer, L. A. Giannuzzi, R. B. Irwin, and F. A. Stevie, J. Vac. Sci. Technol. B 19, 749 (2001).
[Crossref]

Jacobsen, C.

K. N. Li and C. Jacobsen, J. Synchrotron. Radiat. 25, 1048 (2018).
[Crossref]

K. N. Li, M. J. Wojcik, L. E. Ocola, R. Divan, and C. Jacobsen, J. Vac. Sci. Technol. B 33, 06FD04 (2015).
[Crossref]

K. Evans-Lutterodt, J. M. Ablett, A. Stein, C. C. Kao, D. M. Tennant, F. Klemens, A. Taylor, C. Jacobsen, P. L. Gammel, H. Huggins, S. Ustin, G. Bogart, and L. Ocola, Opt. Express 11, 919 (2003).
[Crossref]

Jiang, H.

J. Xu, G. Liu, Q. Huang, M. Liu, X. Zhou, H. Wu, N. Li, Y. Li, X. Xu, D. Liang, H. Jiang, L. Zhang, J. Wang, J. Cao, and H. Lin, J. Instrum. 13, C07005 (2018).
[Crossref]

Jiao, C.

U. T. Sanli, C. Jiao, M. Baluktsian, C. Grevent, K. Hahn, Y. Wang, V. Srot, G. Richter, I. Bykova, M. Weigand, G. Schutz, and K. Keskinbora, Adv. Sci. 5, 1800346 (2018).
[Crossref]

Juodkazis, S.

G. Seniutinas, A. Balcytis, I. Reklaitis, F. Chen, J. Davis, C. David, and S. Juodkazis, Nanophotonics 6, 923 (2017).
[Crossref]

Kao, C. C.

Karvinen, P.

I. Mohacsi, I. Vartiainen, M. Guizar-Sicairos, P. Karvinen, V. A. Guzenko, E. Muller, C. M. Kewish, A. Somogyi, and C. David, Opt. Lett. 41, 281 (2016).
[Crossref]

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, V. A. Guzenko, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 21, 497 (2014).
[Crossref]

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, A. Diaz, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, Proc. SPIE 8851, 88510Z (2013).
[Crossref]

Kaulich, B.

E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
[Crossref]

Kempshall, B. W.

B. W. Kempshall, S. M. Schwarz, B. I. Prenitzer, L. A. Giannuzzi, R. B. Irwin, and F. A. Stevie, J. Vac. Sci. Technol. B 19, 749 (2001).
[Crossref]

Keskinbora, K.

U. T. Sanli, C. Jiao, M. Baluktsian, C. Grevent, K. Hahn, Y. Wang, V. Srot, G. Richter, I. Bykova, M. Weigand, G. Schutz, and K. Keskinbora, Adv. Sci. 5, 1800346 (2018).
[Crossref]

U. T. Sanli, K. Keskinbora, C. Grevent, and G. Schutz, Proc. SPIE 9510, 95100U (2015).
[Crossref]

K. Keskinbora, C. Grevent, M. Bechtel, M. Weigand, E. Goering, A. Nadzeyka, L. Peto, S. Rehbein, G. Schneider, R. Follath, J. Vila-Comamala, H. Yan, and G. Schutz, Opt. Express 21, 11747 (2013).
[Crossref]

Kewish, C. M.

I. Mohacsi, I. Vartiainen, M. Guizar-Sicairos, P. Karvinen, V. A. Guzenko, E. Muller, C. M. Kewish, A. Somogyi, and C. David, Opt. Lett. 41, 281 (2016).
[Crossref]

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, V. A. Guzenko, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 21, 497 (2014).
[Crossref]

J. Vila-Comamala, M. Wojcik, A. Diaz, M. Guizar-Sicairos, C. M. Kewish, S. Wang, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 20, 397(2013).
[Crossref]

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, A. Diaz, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, Proc. SPIE 8851, 88510Z (2013).
[Crossref]

J. Vila-Comamala, S. Gorelick, E. Farm, C. M. Kewish, A. Diaz, R. Barrett, V. A. Guzenko, M. Ritala, and C. David, Opt. Express 19, 175 (2011).
[Crossref]

Kirchner, R.

A. Schleunitz, V. A. Guzenko, M. Messerschmidt, H. Atasoy, R. Kirchner, and H. Schift, Nano Convergence 1, 7 (2014).
[Crossref]

Kirkham, R.

D. Paterson, M. D. de Jonge, D. L. Howard, W. Lewis, J. McKinlay, A. Starritt, M. Kusel, C. G. Ryan, R. Kirkham, G. Moorhead, and D. P. Siddons, AIP Conf. Proc. 1365, 219 (2011).
[Crossref]

Klemens, F.

Kley, E. B.

K. Dietrich, C. Menzel, D. Lehr, O. Puffky, U. Hubner, T. Pertsch, A. Tunnermann, and E. B. Kley, Appl. Phys. Lett. 104, 193107(2014).
[Crossref]

Kohn, V.

A. Snigirev, V. Kohn, I. Snigireva, and B. Lengeler, Nature 384, 49 (1996).
[Crossref]

Krasnoperova, A.

E. Di Fabrizio, M. Gentili, L. Grella, M. Baciocchi, A. Krasnoperova, F. Cerrina, W. Yun, B. Lai, and E. Gluskin, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3979 (1994).
[Crossref]

Krizmanic, J.

B. Morgan, C. M. Waits, J. Krizmanic, and R. Ghodssi, J. Microelectromech. Syst. 13, 113 (2004).
[Crossref]

Kusel, M.

D. Paterson, M. D. de Jonge, D. L. Howard, W. Lewis, J. McKinlay, A. Starritt, M. Kusel, C. G. Ryan, R. Kirkham, G. Moorhead, and D. P. Siddons, AIP Conf. Proc. 1365, 219 (2011).
[Crossref]

Lai, B.

S. C. Gleber, M. Wojcik, J. Liu, C. Roehrig, M. Cummings, J. Vila-Comamala, K. Li, B. Lai, D. M. Shu, and S. Vogt, Opt. Express 22, 28142 (2014).
[Crossref]

E. Di Fabrizio, M. Gentili, L. Grella, M. Baciocchi, A. Krasnoperova, F. Cerrina, W. Yun, B. Lai, and E. Gluskin, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3979 (1994).
[Crossref]

Lehr, D.

K. Dietrich, C. Menzel, D. Lehr, O. Puffky, U. Hubner, T. Pertsch, A. Tunnermann, and E. B. Kley, Appl. Phys. Lett. 104, 193107(2014).
[Crossref]

Lengeler, B.

A. Snigirev, V. Kohn, I. Snigireva, and B. Lengeler, Nature 384, 49 (1996).
[Crossref]

Lewis, W.

D. Paterson, M. D. de Jonge, D. L. Howard, W. Lewis, J. McKinlay, A. Starritt, M. Kusel, C. G. Ryan, R. Kirkham, G. Moorhead, and D. P. Siddons, AIP Conf. Proc. 1365, 219 (2011).
[Crossref]

Li, K.

Li, K. N.

K. N. Li and C. Jacobsen, J. Synchrotron. Radiat. 25, 1048 (2018).
[Crossref]

K. N. Li, M. J. Wojcik, L. E. Ocola, R. Divan, and C. Jacobsen, J. Vac. Sci. Technol. B 33, 06FD04 (2015).
[Crossref]

Li, N.

J. Xu, G. Liu, Q. Huang, M. Liu, X. Zhou, H. Wu, N. Li, Y. Li, X. Xu, D. Liang, H. Jiang, L. Zhang, J. Wang, J. Cao, and H. Lin, J. Instrum. 13, C07005 (2018).
[Crossref]

Li, Y.

J. Xu, G. Liu, Q. Huang, M. Liu, X. Zhou, H. Wu, N. Li, Y. Li, X. Xu, D. Liang, H. Jiang, L. Zhang, J. Wang, J. Cao, and H. Lin, J. Instrum. 13, C07005 (2018).
[Crossref]

Liang, D.

J. Xu, G. Liu, Q. Huang, M. Liu, X. Zhou, H. Wu, N. Li, Y. Li, X. Xu, D. Liang, H. Jiang, L. Zhang, J. Wang, J. Cao, and H. Lin, J. Instrum. 13, C07005 (2018).
[Crossref]

Lin, H.

J. Xu, G. Liu, Q. Huang, M. Liu, X. Zhou, H. Wu, N. Li, Y. Li, X. Xu, D. Liang, H. Jiang, L. Zhang, J. Wang, J. Cao, and H. Lin, J. Instrum. 13, C07005 (2018).
[Crossref]

Liu, G.

J. Xu, G. Liu, Q. Huang, M. Liu, X. Zhou, H. Wu, N. Li, Y. Li, X. Xu, D. Liang, H. Jiang, L. Zhang, J. Wang, J. Cao, and H. Lin, J. Instrum. 13, C07005 (2018).
[Crossref]

Liu, J.

Liu, M.

J. Xu, G. Liu, Q. Huang, M. Liu, X. Zhou, H. Wu, N. Li, Y. Li, X. Xu, D. Liang, H. Jiang, L. Zhang, J. Wang, J. Cao, and H. Lin, J. Instrum. 13, C07005 (2018).
[Crossref]

Marshall, G.

McCoy, J. A.

J. A. McCoy, R. L. McEntaffer, and C. M. Eichfeld, J. Vac. Sci. Technol. B 36, 06JA01 (2018).
[Crossref]

McEntaffer, R. L.

J. A. McCoy, R. L. McEntaffer, and C. M. Eichfeld, J. Vac. Sci. Technol. B 36, 06JA01 (2018).
[Crossref]

McKinlay, J.

D. Paterson, M. D. de Jonge, D. L. Howard, W. Lewis, J. McKinlay, A. Starritt, M. Kusel, C. G. Ryan, R. Kirkham, G. Moorhead, and D. P. Siddons, AIP Conf. Proc. 1365, 219 (2011).
[Crossref]

McNulty, I.

I. Mohacsi, I. Vartiainen, B. Rosner, M. Guizar-Sicairos, V. A. Guzenko, I. McNulty, R. Winarski, M. V. Holt, and C. David, Sci. Rep. 7, 43624 (2017).
[Crossref]

Menzel, C.

K. Dietrich, C. Menzel, D. Lehr, O. Puffky, U. Hubner, T. Pertsch, A. Tunnermann, and E. B. Kley, Appl. Phys. Lett. 104, 193107(2014).
[Crossref]

Mercere, P.

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, V. A. Guzenko, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 21, 497 (2014).
[Crossref]

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, A. Diaz, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, Proc. SPIE 8851, 88510Z (2013).
[Crossref]

Messerschmidt, M.

A. Schleunitz, V. A. Guzenko, M. Messerschmidt, H. Atasoy, R. Kirchner, and H. Schift, Nano Convergence 1, 7 (2014).
[Crossref]

Mohacsi, I.

I. Mohacsi, I. Vartiainen, B. Rosner, M. Guizar-Sicairos, V. A. Guzenko, I. McNulty, R. Winarski, M. V. Holt, and C. David, Sci. Rep. 7, 43624 (2017).
[Crossref]

I. Mohacsi, I. Vartiainen, M. Guizar-Sicairos, P. Karvinen, V. A. Guzenko, E. Muller, C. M. Kewish, A. Somogyi, and C. David, Opt. Lett. 41, 281 (2016).
[Crossref]

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, V. A. Guzenko, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 21, 497 (2014).
[Crossref]

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, A. Diaz, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, Proc. SPIE 8851, 88510Z (2013).
[Crossref]

Moorhead, G.

D. Paterson, M. D. de Jonge, D. L. Howard, W. Lewis, J. McKinlay, A. Starritt, M. Kusel, C. G. Ryan, R. Kirkham, G. Moorhead, and D. P. Siddons, AIP Conf. Proc. 1365, 219 (2011).
[Crossref]

Morgan, B.

B. Morgan, C. M. Waits, J. Krizmanic, and R. Ghodssi, J. Microelectromech. Syst. 13, 113 (2004).
[Crossref]

Muller, E.

Nadzeyka, A.

Nohammer, B.

B. Nohammer, J. Hoszowska, A. K. Freund, and C. David, J. Synchrotron. Radiat. 10, 168 (2003).
[Crossref]

Ocola, L.

Ocola, L. E.

K. N. Li, M. J. Wojcik, L. E. Ocola, R. Divan, and C. Jacobsen, J. Vac. Sci. Technol. B 33, 06FD04 (2015).
[Crossref]

Paterson, D.

D. Paterson, M. D. de Jonge, D. L. Howard, W. Lewis, J. McKinlay, A. Starritt, M. Kusel, C. G. Ryan, R. Kirkham, G. Moorhead, and D. P. Siddons, AIP Conf. Proc. 1365, 219 (2011).
[Crossref]

Pertsch, T.

K. Dietrich, C. Menzel, D. Lehr, O. Puffky, U. Hubner, T. Pertsch, A. Tunnermann, and E. B. Kley, Appl. Phys. Lett. 104, 193107(2014).
[Crossref]

Peto, L.

Prenitzer, B. I.

B. W. Kempshall, S. M. Schwarz, B. I. Prenitzer, L. A. Giannuzzi, R. B. Irwin, and F. A. Stevie, J. Vac. Sci. Technol. B 19, 749 (2001).
[Crossref]

Puffky, O.

K. Dietrich, C. Menzel, D. Lehr, O. Puffky, U. Hubner, T. Pertsch, A. Tunnermann, and E. B. Kley, Appl. Phys. Lett. 104, 193107(2014).
[Crossref]

Rehbein, S.

Reklaitis, I.

G. Seniutinas, A. Balcytis, I. Reklaitis, F. Chen, J. Davis, C. David, and S. Juodkazis, Nanophotonics 6, 923 (2017).
[Crossref]

Richter, G.

U. T. Sanli, C. Jiao, M. Baluktsian, C. Grevent, K. Hahn, Y. Wang, V. Srot, G. Richter, I. Bykova, M. Weigand, G. Schutz, and K. Keskinbora, Adv. Sci. 5, 1800346 (2018).
[Crossref]

Ritala, M.

Roehrig, C.

Romanato, F.

E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
[Crossref]

Rosner, B.

I. Mohacsi, I. Vartiainen, B. Rosner, M. Guizar-Sicairos, V. A. Guzenko, I. McNulty, R. Winarski, M. V. Holt, and C. David, Sci. Rep. 7, 43624 (2017).
[Crossref]

Ryan, C. G.

D. Paterson, M. D. de Jonge, D. L. Howard, W. Lewis, J. McKinlay, A. Starritt, M. Kusel, C. G. Ryan, R. Kirkham, G. Moorhead, and D. P. Siddons, AIP Conf. Proc. 1365, 219 (2011).
[Crossref]

Salome, M.

S. Gorelick, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, R. Barrett, M. Salome, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 18, 442 (2011).
[Crossref]

Sanli, U. T.

U. T. Sanli, C. Jiao, M. Baluktsian, C. Grevent, K. Hahn, Y. Wang, V. Srot, G. Richter, I. Bykova, M. Weigand, G. Schutz, and K. Keskinbora, Adv. Sci. 5, 1800346 (2018).
[Crossref]

U. T. Sanli, K. Keskinbora, C. Grevent, and G. Schutz, Proc. SPIE 9510, 95100U (2015).
[Crossref]

Schift, H.

A. Schleunitz, V. A. Guzenko, M. Messerschmidt, H. Atasoy, R. Kirchner, and H. Schift, Nano Convergence 1, 7 (2014).
[Crossref]

A. Schleunitz and H. Schift, J. Micromech. Microeng. 20, 095002(2010).
[Crossref]

Schleunitz, A.

A. Schleunitz, V. A. Guzenko, M. Messerschmidt, H. Atasoy, R. Kirchner, and H. Schift, Nano Convergence 1, 7 (2014).
[Crossref]

A. Schleunitz and H. Schift, J. Micromech. Microeng. 20, 095002(2010).
[Crossref]

Schneider, G.

Schutz, G.

U. T. Sanli, C. Jiao, M. Baluktsian, C. Grevent, K. Hahn, Y. Wang, V. Srot, G. Richter, I. Bykova, M. Weigand, G. Schutz, and K. Keskinbora, Adv. Sci. 5, 1800346 (2018).
[Crossref]

U. T. Sanli, K. Keskinbora, C. Grevent, and G. Schutz, Proc. SPIE 9510, 95100U (2015).
[Crossref]

K. Keskinbora, C. Grevent, M. Bechtel, M. Weigand, E. Goering, A. Nadzeyka, L. Peto, S. Rehbein, G. Schneider, R. Follath, J. Vila-Comamala, H. Yan, and G. Schutz, Opt. Express 21, 11747 (2013).
[Crossref]

Schwarz, S. M.

B. W. Kempshall, S. M. Schwarz, B. I. Prenitzer, L. A. Giannuzzi, R. B. Irwin, and F. A. Stevie, J. Vac. Sci. Technol. B 19, 749 (2001).
[Crossref]

Seniutinas, G.

G. Seniutinas, A. Balcytis, I. Reklaitis, F. Chen, J. Davis, C. David, and S. Juodkazis, Nanophotonics 6, 923 (2017).
[Crossref]

Shu, D. M.

Siddons, D. P.

D. Paterson, M. D. de Jonge, D. L. Howard, W. Lewis, J. McKinlay, A. Starritt, M. Kusel, C. G. Ryan, R. Kirkham, G. Moorhead, and D. P. Siddons, AIP Conf. Proc. 1365, 219 (2011).
[Crossref]

Sinclair, A. G.

Snigirev, A.

A. Snigirev, V. Kohn, I. Snigireva, and B. Lengeler, Nature 384, 49 (1996).
[Crossref]

Snigireva, I.

A. Snigirev, V. Kohn, I. Snigireva, and B. Lengeler, Nature 384, 49 (1996).
[Crossref]

Somogyi, A.

I. Mohacsi, I. Vartiainen, M. Guizar-Sicairos, P. Karvinen, V. A. Guzenko, E. Muller, C. M. Kewish, A. Somogyi, and C. David, Opt. Lett. 41, 281 (2016).
[Crossref]

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, V. A. Guzenko, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 21, 497 (2014).
[Crossref]

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, A. Diaz, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, Proc. SPIE 8851, 88510Z (2013).
[Crossref]

Srot, V.

U. T. Sanli, C. Jiao, M. Baluktsian, C. Grevent, K. Hahn, Y. Wang, V. Srot, G. Richter, I. Bykova, M. Weigand, G. Schutz, and K. Keskinbora, Adv. Sci. 5, 1800346 (2018).
[Crossref]

Starritt, A.

D. Paterson, M. D. de Jonge, D. L. Howard, W. Lewis, J. McKinlay, A. Starritt, M. Kusel, C. G. Ryan, R. Kirkham, G. Moorhead, and D. P. Siddons, AIP Conf. Proc. 1365, 219 (2011).
[Crossref]

Stein, A.

Stevie, F. A.

B. W. Kempshall, S. M. Schwarz, B. I. Prenitzer, L. A. Giannuzzi, R. B. Irwin, and F. A. Stevie, J. Vac. Sci. Technol. B 19, 749 (2001).
[Crossref]

Susini, J.

E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
[Crossref]

Taylor, A.

Tennant, D. M.

Thompson, M.

Tunnermann, A.

K. Dietrich, C. Menzel, D. Lehr, O. Puffky, U. Hubner, T. Pertsch, A. Tunnermann, and E. B. Kley, Appl. Phys. Lett. 104, 193107(2014).
[Crossref]

Ustin, S.

Vartiainen, I.

I. Mohacsi, I. Vartiainen, B. Rosner, M. Guizar-Sicairos, V. A. Guzenko, I. McNulty, R. Winarski, M. V. Holt, and C. David, Sci. Rep. 7, 43624 (2017).
[Crossref]

I. Mohacsi, I. Vartiainen, M. Guizar-Sicairos, P. Karvinen, V. A. Guzenko, E. Muller, C. M. Kewish, A. Somogyi, and C. David, Opt. Lett. 41, 281 (2016).
[Crossref]

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, V. A. Guzenko, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 21, 497 (2014).
[Crossref]

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, A. Diaz, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, Proc. SPIE 8851, 88510Z (2013).
[Crossref]

Vila-Comamala, J.

Vogt, S.

Waits, C. M.

B. Morgan, C. M. Waits, J. Krizmanic, and R. Ghodssi, J. Microelectromech. Syst. 13, 113 (2004).
[Crossref]

Wang, J.

J. Xu, G. Liu, Q. Huang, M. Liu, X. Zhou, H. Wu, N. Li, Y. Li, X. Xu, D. Liang, H. Jiang, L. Zhang, J. Wang, J. Cao, and H. Lin, J. Instrum. 13, C07005 (2018).
[Crossref]

Wang, S.

J. Vila-Comamala, M. Wojcik, A. Diaz, M. Guizar-Sicairos, C. M. Kewish, S. Wang, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 20, 397(2013).
[Crossref]

Wang, Y.

U. T. Sanli, C. Jiao, M. Baluktsian, C. Grevent, K. Hahn, Y. Wang, V. Srot, G. Richter, I. Bykova, M. Weigand, G. Schutz, and K. Keskinbora, Adv. Sci. 5, 1800346 (2018).
[Crossref]

Weigand, M.

U. T. Sanli, C. Jiao, M. Baluktsian, C. Grevent, K. Hahn, Y. Wang, V. Srot, G. Richter, I. Bykova, M. Weigand, G. Schutz, and K. Keskinbora, Adv. Sci. 5, 1800346 (2018).
[Crossref]

K. Keskinbora, C. Grevent, M. Bechtel, M. Weigand, E. Goering, A. Nadzeyka, L. Peto, S. Rehbein, G. Schneider, R. Follath, J. Vila-Comamala, H. Yan, and G. Schutz, Opt. Express 21, 11747 (2013).
[Crossref]

Winarski, R.

I. Mohacsi, I. Vartiainen, B. Rosner, M. Guizar-Sicairos, V. A. Guzenko, I. McNulty, R. Winarski, M. V. Holt, and C. David, Sci. Rep. 7, 43624 (2017).
[Crossref]

Wojcik, M.

S. C. Gleber, M. Wojcik, J. Liu, C. Roehrig, M. Cummings, J. Vila-Comamala, K. Li, B. Lai, D. M. Shu, and S. Vogt, Opt. Express 22, 28142 (2014).
[Crossref]

J. Vila-Comamala, M. Wojcik, A. Diaz, M. Guizar-Sicairos, C. M. Kewish, S. Wang, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 20, 397(2013).
[Crossref]

Wojcik, M. J.

K. N. Li, M. J. Wojcik, L. E. Ocola, R. Divan, and C. Jacobsen, J. Vac. Sci. Technol. B 33, 06FD04 (2015).
[Crossref]

Wu, H.

J. Xu, G. Liu, Q. Huang, M. Liu, X. Zhou, H. Wu, N. Li, Y. Li, X. Xu, D. Liang, H. Jiang, L. Zhang, J. Wang, J. Cao, and H. Lin, J. Instrum. 13, C07005 (2018).
[Crossref]

Xu, J.

J. Xu, G. Liu, Q. Huang, M. Liu, X. Zhou, H. Wu, N. Li, Y. Li, X. Xu, D. Liang, H. Jiang, L. Zhang, J. Wang, J. Cao, and H. Lin, J. Instrum. 13, C07005 (2018).
[Crossref]

Xu, X.

J. Xu, G. Liu, Q. Huang, M. Liu, X. Zhou, H. Wu, N. Li, Y. Li, X. Xu, D. Liang, H. Jiang, L. Zhang, J. Wang, J. Cao, and H. Lin, J. Instrum. 13, C07005 (2018).
[Crossref]

Yan, H.

Yun, W.

E. Di Fabrizio, M. Gentili, L. Grella, M. Baciocchi, A. Krasnoperova, F. Cerrina, W. Yun, B. Lai, and E. Gluskin, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3979 (1994).
[Crossref]

Zhang, L.

J. Xu, G. Liu, Q. Huang, M. Liu, X. Zhou, H. Wu, N. Li, Y. Li, X. Xu, D. Liang, H. Jiang, L. Zhang, J. Wang, J. Cao, and H. Lin, J. Instrum. 13, C07005 (2018).
[Crossref]

Zhou, X.

J. Xu, G. Liu, Q. Huang, M. Liu, X. Zhou, H. Wu, N. Li, Y. Li, X. Xu, D. Liang, H. Jiang, L. Zhang, J. Wang, J. Cao, and H. Lin, J. Instrum. 13, C07005 (2018).
[Crossref]

Adv. Sci. (1)

U. T. Sanli, C. Jiao, M. Baluktsian, C. Grevent, K. Hahn, Y. Wang, V. Srot, G. Richter, I. Bykova, M. Weigand, G. Schutz, and K. Keskinbora, Adv. Sci. 5, 1800346 (2018).
[Crossref]

AIP Conf. Proc. (1)

D. Paterson, M. D. de Jonge, D. L. Howard, W. Lewis, J. McKinlay, A. Starritt, M. Kusel, C. G. Ryan, R. Kirkham, G. Moorhead, and D. P. Siddons, AIP Conf. Proc. 1365, 219 (2011).
[Crossref]

Appl. Phys. Lett. (1)

K. Dietrich, C. Menzel, D. Lehr, O. Puffky, U. Hubner, T. Pertsch, A. Tunnermann, and E. B. Kley, Appl. Phys. Lett. 104, 193107(2014).
[Crossref]

At. Data Nucl. Data Tables (1)

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
[Crossref]

J. Instrum. (1)

J. Xu, G. Liu, Q. Huang, M. Liu, X. Zhou, H. Wu, N. Li, Y. Li, X. Xu, D. Liang, H. Jiang, L. Zhang, J. Wang, J. Cao, and H. Lin, J. Instrum. 13, C07005 (2018).
[Crossref]

J. Microelectromech. Syst. (1)

B. Morgan, C. M. Waits, J. Krizmanic, and R. Ghodssi, J. Microelectromech. Syst. 13, 113 (2004).
[Crossref]

J. Micromech. Microeng. (1)

A. Schleunitz and H. Schift, J. Micromech. Microeng. 20, 095002(2010).
[Crossref]

J. Synchrotron Radiat. (3)

S. Gorelick, J. Vila-Comamala, V. A. Guzenko, R. Barrett, M. Salome, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 18, 442 (2011).
[Crossref]

J. Vila-Comamala, M. Wojcik, A. Diaz, M. Guizar-Sicairos, C. M. Kewish, S. Wang, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 20, 397(2013).
[Crossref]

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, V. A. Guzenko, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, J. Synchrotron Radiat. 21, 497 (2014).
[Crossref]

J. Synchrotron. Radiat. (2)

B. Nohammer, J. Hoszowska, A. K. Freund, and C. David, J. Synchrotron. Radiat. 10, 168 (2003).
[Crossref]

K. N. Li and C. Jacobsen, J. Synchrotron. Radiat. 25, 1048 (2018).
[Crossref]

J. Vac. Sci. Technol. B (5)

B. W. Kempshall, S. M. Schwarz, B. I. Prenitzer, L. A. Giannuzzi, R. B. Irwin, and F. A. Stevie, J. Vac. Sci. Technol. B 19, 749 (2001).
[Crossref]

E. Di Fabrizio and M. Gentili, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 3439 (1999).
[Crossref]

E. Di Fabrizio, M. Gentili, L. Grella, M. Baciocchi, A. Krasnoperova, F. Cerrina, W. Yun, B. Lai, and E. Gluskin, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3979 (1994).
[Crossref]

K. N. Li, M. J. Wojcik, L. E. Ocola, R. Divan, and C. Jacobsen, J. Vac. Sci. Technol. B 33, 06FD04 (2015).
[Crossref]

J. A. McCoy, R. L. McEntaffer, and C. M. Eichfeld, J. Vac. Sci. Technol. B 36, 06JA01 (2018).
[Crossref]

Nano Convergence (1)

A. Schleunitz, V. A. Guzenko, M. Messerschmidt, H. Atasoy, R. Kirchner, and H. Schift, Nano Convergence 1, 7 (2014).
[Crossref]

Nanophotonics (1)

G. Seniutinas, A. Balcytis, I. Reklaitis, F. Chen, J. Davis, C. David, and S. Juodkazis, Nanophotonics 6, 923 (2017).
[Crossref]

Nature (2)

A. Snigirev, V. Kohn, I. Snigireva, and B. Lengeler, Nature 384, 49 (1996).
[Crossref]

E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
[Crossref]

Opt. Express (7)

Opt. Lett. (1)

Proc. SPIE (2)

I. Mohacsi, P. Karvinen, I. Vartiainen, A. Diaz, A. Somogyi, C. M. Kewish, P. Mercere, and C. David, Proc. SPIE 8851, 88510Z (2013).
[Crossref]

U. T. Sanli, K. Keskinbora, C. Grevent, and G. Schutz, Proc. SPIE 9510, 95100U (2015).
[Crossref]

Sci. Rep. (1)

I. Mohacsi, I. Vartiainen, B. Rosner, M. Guizar-Sicairos, V. A. Guzenko, I. McNulty, R. Winarski, M. V. Holt, and C. David, Sci. Rep. 7, 43624 (2017).
[Crossref]

Supplementary Material (1)

NameDescription
» Supplement 1       supplementary simulations

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1.
Fig. 1. Au kinoform and binary FZP lenses. (a) Schematic view of kinoform and binary FZP lenses zone cross section profiles; (b)–(d) and (e)–(g) kinoform lenses and binary FZP milled in Au, respectively; (d) and (g) outermost zones were coated with Pt and cross sections milled to reveal the profiles of the zones. See also Supplement 1, Fig. S1.
Fig. 2.
Fig. 2. Kinoform and binary FZP lenses DE measurements. (a) Mapping of intensity at the focal plane of Au kinoform and binary FZP lenses by scanning a 10-μm pinhole with a 1-μm sampling interval. See also Supplement 1, Fig. S2. (b) and (c) Measured and theoretical diffraction efficiencies (first order) of Au and W lenses, respectively, showing both theoretical estimates of Eqs. (2) and (3) (solid lines), and simulated estimates (points) following [7,18], using experimentally measured optical densities of Au and W.
Fig. 3.
Fig. 3. Au kinoform and binary FZP lenses first-order DE calculations at 6 keV photon energy for a range of lens thicknesses with and without absorption taken into account (bulk density 19.32gcm3).
Fig. 4.
Fig. 4. Calculated first-order efficiencies (isolines) of binary FZPs and kinoform lenses made of Au (ρ=19.32gcm3) for hard x-ray focusing, and Ni (ρ=8.9gcm3) for soft x-ray focusing.

Equations (3)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

t(r)=ΣnCne2πinr22λf;Cn=02λft(r)e2πinr22λdr2.
|Cn|2=|12λf0λfexp(2πinr22λf)dr2+12λfλf2λfexp(2πinr22λfi2πδhλ2πβhλ)dr2|2.
|Cn|2=|12λf02λfexp(2πinr22λfi2πδhλr22λf2πβhλr22λf)dr2|2.