Abstract

Optical whispering gallery mode (WGM) resonators allow combination of small mode volume with high Q-factor. Silicon is a major material for modern microelectronics and photonics. However, relatively low Q-factors of optical Si microresonators demonstrated so far have limited some promising applications. We report what we believe is first time measurement of a Q-factor of 1.2×109 in millimeter scale crystalline silicon optical resonators at 1550 nm wavelength. A novel silicon hemispherical coupler allowed us to reach up to 35% of coupling efficiency.

© 2018 Optical Society of America under the terms of the OSA Open Access Publishing Agreement

Full Article  |  PDF Article
OSA Recommended Articles
Whispering gallery mode diamond resonator

V. S. Ilchenko, A. M. Bennett, P. Santini, A. A. Savchenkov, A. B. Matsko, and L. Maleki
Opt. Lett. 38(21) 4320-4323 (2013)

Impact of upconverted scattered light on advanced interferometric gravitational wave detectors

David J Ottaway, Peter Fritschel, and Samuel J. Waldman
Opt. Express 20(8) 8329-8336 (2012)

White-light whispering gallery mode resonators

Anatoliy A. Savchenkov, Andrey B. Matsko, and Lute Maleki
Opt. Lett. 31(1) 92-94 (2006)

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. V. B. Braginsky, M. L. Gorodetsky, and V. S. Ilchenko, Phys. Lett. A 137, 393 (1989).
    [Crossref]
  2. M. L. Gorodetsky, Optical Microresonators with Giant Quality- Factor (Fizmatlit, 2011).
  3. V. S. Ilchenko and A. B. Matsko, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 12, 15 (2006).
    [Crossref]
  4. T. Herr, V. Brasch, J. D. Jost, C. Y. Wang, N. M. Kondratiev, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenberg, Nat. Photonics 8, 145 (2014).
    [Crossref]
  5. T. J. Kippenberg, A. L. Gaeta, M. Lipson, and M. L. Gorodetsky, Science 361, eaan8083 (2018).
    [Crossref]
  6. M.-G. Suh, Q.-F. Yang, K. Y. Yang, X. Yi, and K. J. Vahala, Science 354, 600 (2016).
    [Crossref]
  7. N. G. Pavlov, G. Lihachev, S. Koptyaev, E. Lucas, M. Karpov, N. M. Kondratiev, I. A. Bilenko, T. J. Kippenberg, and M. L. Gorodetsky, Opt. Lett. 42, 514 (2017).
    [Crossref]
  8. W. Liang, D. Eliyahu, V. S. Ilchenko, A. A. Savchenkov, A. B. Matsko, D. Seidel, and L. Maleki, Nat. Commun. 6, 7957 (2015).
    [Crossref]
  9. D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
    [Crossref]
  10. A. D. Bristow, N. Rotenberg, and H. M. Van Driel, Appl. Phys. Lett. 90, 191104 (2007).
    [Crossref]
  11. M. Yu, Y. Okawachi, A. G. Griffith, M. Lipson, and A. L. Gaeta, Optica 3, 854 (2016).
    [Crossref]
  12. V. E. Lobanov, G. Lihachev, and M. L. Gorodetsky, Europhys. Lett. 112, 54008 (2015).
    [Crossref]
  13. D. W. Vogt and R. Leonhardt, APL Photon. 3, 051702 (2018).
    [Crossref]
  14. A. B. Matsko, D. V. Strekalov, and N. Yu, Phys. Rev. A 77, 043812 (2008).
    [Crossref]
  15. J. Degallaix, R. Flaminio, D. Forest, M. Granata, C. Michel, L. Pinard, T. Bertrand, and G. Cagnoli, Opt. Lett. 38, 2047 (2013).
    [Crossref]
  16. A. Khalaidovski, J. Steinlechner, and R. Schnabel, Classical Quantum Gravity 30, 165001 (2013).
    [Crossref]
  17. B. Shapiro, R. X. Adhikari, O. Aguiar, E. Bonilla, D. Fan, L. Gan, I. Gomez, S. Khandelwal, B. Lantz, T. MacDonald, and D. Madden-Fong, Cryogenics 81, 83 (2017).
    [Crossref]
  18. LIGO Scientific Collaboration, “Instrument science white paper,” LIGO Dcc, 2015, https://dcc.ligo.org/public/0113/T1400316/004/T1400316-v5.pdf .
  19. A. Biberman, M. J. Shaw, E. Timurdogan, J. B. Wright, and M. R. Watts, Opt. Lett. 37, 4236 (2012).
    [Crossref]
  20. M. Borselli, T. J. Johnson, and O. Painter, Opt. Express 13, 1515 (2005).
    [Crossref]
  21. Q. Lin, O. J. Painter, and G. P. Agrawal, Opt. Express 15, 16604 (2007).
    [Crossref]
  22. X. Gai, Y. Yu, B. Kuyken, P. Ma, S. J. Madden, J. Campenhout, P. Verheyen, G. Roelkens, R. Baets, and B. Luther-Davies, Laser Photon. Rev. 7, 1054 (2013).
    [Crossref]
  23. C. Lecaplain, C. Javerzac-Galy, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenberg, Nat. Commun. 7, 13383 (2016).
    [Crossref]
  24. A. G. Griffith, M. Yu, Y. Okawachi, J. Cardenas, A. Mohanty, A. L. Gaeta, and M. Lipson, Opt. Express 24, 13044 (2016).
    [Crossref]
  25. A. Schliesser, N. Piqué, and T. W. Hänsch, Nat. Photonics 6, 440 (2012).
    [Crossref]
  26. V. V. Vasil’ev, V. L. Velichansky, M. L. Gorodetskii, V. S. Il’chenko, L. Holberg, and A. V. Yarovitsky, Quantum Electron. 26, 657 (1996).
    [Crossref]
  27. N. M. Kondratiev, V. E. Lobanov, A. V. Cherenkov, A. S. Voloshin, N. G. Pavlov, S. Koptyaev, and M. L. Gorodetsky, Opt. Express 25, 28167 (2017).
    [Crossref]
  28. N. G. Pavlov, S. Koptyaev, G. V. Lihachev, A. S. Voloshin, A. S. Gorodnitskiy, M. V. Ryabko, S. V. Polonsky, and M. L. Gorodetsky, Nat. Photonics 12, 694 (2018).
    [Crossref]
  29. I. S. Grudinin, V. S. Ilchenko, and L. Maleki, Phys. Rev. A 74, 063806 (2006).
    [Crossref]
  30. Y. A. Demchenko and M. L. Gorodetsky, J. Opt. Soc. Am. B 30, 3056 (2013).
    [Crossref]
  31. A. S. Bell, J. Steinlechner, I. W. Martin, K. Craig, W. Cunningham, S. Rowan, J. Hough, R. Schnabel, and A. Khalaidovski, Classical Quantum Gravity 34, 205013 (2017).
    [Crossref]
  32. S. Goel, X. Luo, A. Agrawal, and R. L. Reuben, Int. J. Mach. Tools Manuf. 88, 131 (2015).
    [Crossref]
  33. M. L. Gorodetsky and V. S. Ilchenko, J. Opt. Soc. Am. B 16, 147 (1999).
    [Crossref]
  34. T. Carmon, L. Yang, and K. J. Vahala, Opt. Express 12, 4742 (2004).
    [Crossref]
  35. T. J. Johnson, M. Borselli, and O. Painter, Opt. Express 14, 817 (2006).
    [Crossref]

2018 (4)

T. J. Kippenberg, A. L. Gaeta, M. Lipson, and M. L. Gorodetsky, Science 361, eaan8083 (2018).
[Crossref]

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

D. W. Vogt and R. Leonhardt, APL Photon. 3, 051702 (2018).
[Crossref]

N. G. Pavlov, S. Koptyaev, G. V. Lihachev, A. S. Voloshin, A. S. Gorodnitskiy, M. V. Ryabko, S. V. Polonsky, and M. L. Gorodetsky, Nat. Photonics 12, 694 (2018).
[Crossref]

2017 (4)

A. S. Bell, J. Steinlechner, I. W. Martin, K. Craig, W. Cunningham, S. Rowan, J. Hough, R. Schnabel, and A. Khalaidovski, Classical Quantum Gravity 34, 205013 (2017).
[Crossref]

N. M. Kondratiev, V. E. Lobanov, A. V. Cherenkov, A. S. Voloshin, N. G. Pavlov, S. Koptyaev, and M. L. Gorodetsky, Opt. Express 25, 28167 (2017).
[Crossref]

B. Shapiro, R. X. Adhikari, O. Aguiar, E. Bonilla, D. Fan, L. Gan, I. Gomez, S. Khandelwal, B. Lantz, T. MacDonald, and D. Madden-Fong, Cryogenics 81, 83 (2017).
[Crossref]

N. G. Pavlov, G. Lihachev, S. Koptyaev, E. Lucas, M. Karpov, N. M. Kondratiev, I. A. Bilenko, T. J. Kippenberg, and M. L. Gorodetsky, Opt. Lett. 42, 514 (2017).
[Crossref]

2016 (4)

M.-G. Suh, Q.-F. Yang, K. Y. Yang, X. Yi, and K. J. Vahala, Science 354, 600 (2016).
[Crossref]

M. Yu, Y. Okawachi, A. G. Griffith, M. Lipson, and A. L. Gaeta, Optica 3, 854 (2016).
[Crossref]

C. Lecaplain, C. Javerzac-Galy, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenberg, Nat. Commun. 7, 13383 (2016).
[Crossref]

A. G. Griffith, M. Yu, Y. Okawachi, J. Cardenas, A. Mohanty, A. L. Gaeta, and M. Lipson, Opt. Express 24, 13044 (2016).
[Crossref]

2015 (3)

S. Goel, X. Luo, A. Agrawal, and R. L. Reuben, Int. J. Mach. Tools Manuf. 88, 131 (2015).
[Crossref]

V. E. Lobanov, G. Lihachev, and M. L. Gorodetsky, Europhys. Lett. 112, 54008 (2015).
[Crossref]

W. Liang, D. Eliyahu, V. S. Ilchenko, A. A. Savchenkov, A. B. Matsko, D. Seidel, and L. Maleki, Nat. Commun. 6, 7957 (2015).
[Crossref]

2014 (1)

T. Herr, V. Brasch, J. D. Jost, C. Y. Wang, N. M. Kondratiev, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenberg, Nat. Photonics 8, 145 (2014).
[Crossref]

2013 (4)

X. Gai, Y. Yu, B. Kuyken, P. Ma, S. J. Madden, J. Campenhout, P. Verheyen, G. Roelkens, R. Baets, and B. Luther-Davies, Laser Photon. Rev. 7, 1054 (2013).
[Crossref]

Y. A. Demchenko and M. L. Gorodetsky, J. Opt. Soc. Am. B 30, 3056 (2013).
[Crossref]

J. Degallaix, R. Flaminio, D. Forest, M. Granata, C. Michel, L. Pinard, T. Bertrand, and G. Cagnoli, Opt. Lett. 38, 2047 (2013).
[Crossref]

A. Khalaidovski, J. Steinlechner, and R. Schnabel, Classical Quantum Gravity 30, 165001 (2013).
[Crossref]

2012 (2)

2008 (1)

A. B. Matsko, D. V. Strekalov, and N. Yu, Phys. Rev. A 77, 043812 (2008).
[Crossref]

2007 (2)

A. D. Bristow, N. Rotenberg, and H. M. Van Driel, Appl. Phys. Lett. 90, 191104 (2007).
[Crossref]

Q. Lin, O. J. Painter, and G. P. Agrawal, Opt. Express 15, 16604 (2007).
[Crossref]

2006 (3)

T. J. Johnson, M. Borselli, and O. Painter, Opt. Express 14, 817 (2006).
[Crossref]

I. S. Grudinin, V. S. Ilchenko, and L. Maleki, Phys. Rev. A 74, 063806 (2006).
[Crossref]

V. S. Ilchenko and A. B. Matsko, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 12, 15 (2006).
[Crossref]

2005 (1)

2004 (1)

1999 (1)

1996 (1)

V. V. Vasil’ev, V. L. Velichansky, M. L. Gorodetskii, V. S. Il’chenko, L. Holberg, and A. V. Yarovitsky, Quantum Electron. 26, 657 (1996).
[Crossref]

1989 (1)

V. B. Braginsky, M. L. Gorodetsky, and V. S. Ilchenko, Phys. Lett. A 137, 393 (1989).
[Crossref]

Adhikari, R. X.

B. Shapiro, R. X. Adhikari, O. Aguiar, E. Bonilla, D. Fan, L. Gan, I. Gomez, S. Khandelwal, B. Lantz, T. MacDonald, and D. Madden-Fong, Cryogenics 81, 83 (2017).
[Crossref]

Agrawal, A.

S. Goel, X. Luo, A. Agrawal, and R. L. Reuben, Int. J. Mach. Tools Manuf. 88, 131 (2015).
[Crossref]

Agrawal, G. P.

Aguiar, O.

B. Shapiro, R. X. Adhikari, O. Aguiar, E. Bonilla, D. Fan, L. Gan, I. Gomez, S. Khandelwal, B. Lantz, T. MacDonald, and D. Madden-Fong, Cryogenics 81, 83 (2017).
[Crossref]

Baets, R.

X. Gai, Y. Yu, B. Kuyken, P. Ma, S. J. Madden, J. Campenhout, P. Verheyen, G. Roelkens, R. Baets, and B. Luther-Davies, Laser Photon. Rev. 7, 1054 (2013).
[Crossref]

Bell, A. S.

A. S. Bell, J. Steinlechner, I. W. Martin, K. Craig, W. Cunningham, S. Rowan, J. Hough, R. Schnabel, and A. Khalaidovski, Classical Quantum Gravity 34, 205013 (2017).
[Crossref]

Bertrand, T.

Biberman, A.

Bilenko, I. A.

Bluestone, A.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Bonilla, E.

B. Shapiro, R. X. Adhikari, O. Aguiar, E. Bonilla, D. Fan, L. Gan, I. Gomez, S. Khandelwal, B. Lantz, T. MacDonald, and D. Madden-Fong, Cryogenics 81, 83 (2017).
[Crossref]

Borselli, M.

Bowers, J. E.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Braginsky, V. B.

V. B. Braginsky, M. L. Gorodetsky, and V. S. Ilchenko, Phys. Lett. A 137, 393 (1989).
[Crossref]

Brasch, V.

T. Herr, V. Brasch, J. D. Jost, C. Y. Wang, N. M. Kondratiev, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenberg, Nat. Photonics 8, 145 (2014).
[Crossref]

Briles, T. C.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Bristow, A. D.

A. D. Bristow, N. Rotenberg, and H. M. Van Driel, Appl. Phys. Lett. 90, 191104 (2007).
[Crossref]

Cagnoli, G.

Campenhout, J.

X. Gai, Y. Yu, B. Kuyken, P. Ma, S. J. Madden, J. Campenhout, P. Verheyen, G. Roelkens, R. Baets, and B. Luther-Davies, Laser Photon. Rev. 7, 1054 (2013).
[Crossref]

Cardenas, J.

Carmon, T.

Chang, L.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Cherenkov, A. V.

Craig, K.

A. S. Bell, J. Steinlechner, I. W. Martin, K. Craig, W. Cunningham, S. Rowan, J. Hough, R. Schnabel, and A. Khalaidovski, Classical Quantum Gravity 34, 205013 (2017).
[Crossref]

Cunningham, W.

A. S. Bell, J. Steinlechner, I. W. Martin, K. Craig, W. Cunningham, S. Rowan, J. Hough, R. Schnabel, and A. Khalaidovski, Classical Quantum Gravity 34, 205013 (2017).
[Crossref]

Degallaix, J.

Demchenko, Y. A.

Diddams, S. A.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Drake, T.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Eliyahu, D.

W. Liang, D. Eliyahu, V. S. Ilchenko, A. A. Savchenkov, A. B. Matsko, D. Seidel, and L. Maleki, Nat. Commun. 6, 7957 (2015).
[Crossref]

Fan, D.

B. Shapiro, R. X. Adhikari, O. Aguiar, E. Bonilla, D. Fan, L. Gan, I. Gomez, S. Khandelwal, B. Lantz, T. MacDonald, and D. Madden-Fong, Cryogenics 81, 83 (2017).
[Crossref]

Flaminio, R.

Forest, D.

Fredrick, C.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Gaeta, A. L.

Gai, X.

X. Gai, Y. Yu, B. Kuyken, P. Ma, S. J. Madden, J. Campenhout, P. Verheyen, G. Roelkens, R. Baets, and B. Luther-Davies, Laser Photon. Rev. 7, 1054 (2013).
[Crossref]

Gan, L.

B. Shapiro, R. X. Adhikari, O. Aguiar, E. Bonilla, D. Fan, L. Gan, I. Gomez, S. Khandelwal, B. Lantz, T. MacDonald, and D. Madden-Fong, Cryogenics 81, 83 (2017).
[Crossref]

Goel, S.

S. Goel, X. Luo, A. Agrawal, and R. L. Reuben, Int. J. Mach. Tools Manuf. 88, 131 (2015).
[Crossref]

Gomez, I.

B. Shapiro, R. X. Adhikari, O. Aguiar, E. Bonilla, D. Fan, L. Gan, I. Gomez, S. Khandelwal, B. Lantz, T. MacDonald, and D. Madden-Fong, Cryogenics 81, 83 (2017).
[Crossref]

Gorodetskii, M. L.

V. V. Vasil’ev, V. L. Velichansky, M. L. Gorodetskii, V. S. Il’chenko, L. Holberg, and A. V. Yarovitsky, Quantum Electron. 26, 657 (1996).
[Crossref]

Gorodetsky, M. L.

T. J. Kippenberg, A. L. Gaeta, M. Lipson, and M. L. Gorodetsky, Science 361, eaan8083 (2018).
[Crossref]

N. G. Pavlov, S. Koptyaev, G. V. Lihachev, A. S. Voloshin, A. S. Gorodnitskiy, M. V. Ryabko, S. V. Polonsky, and M. L. Gorodetsky, Nat. Photonics 12, 694 (2018).
[Crossref]

N. M. Kondratiev, V. E. Lobanov, A. V. Cherenkov, A. S. Voloshin, N. G. Pavlov, S. Koptyaev, and M. L. Gorodetsky, Opt. Express 25, 28167 (2017).
[Crossref]

N. G. Pavlov, G. Lihachev, S. Koptyaev, E. Lucas, M. Karpov, N. M. Kondratiev, I. A. Bilenko, T. J. Kippenberg, and M. L. Gorodetsky, Opt. Lett. 42, 514 (2017).
[Crossref]

C. Lecaplain, C. Javerzac-Galy, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenberg, Nat. Commun. 7, 13383 (2016).
[Crossref]

V. E. Lobanov, G. Lihachev, and M. L. Gorodetsky, Europhys. Lett. 112, 54008 (2015).
[Crossref]

T. Herr, V. Brasch, J. D. Jost, C. Y. Wang, N. M. Kondratiev, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenberg, Nat. Photonics 8, 145 (2014).
[Crossref]

Y. A. Demchenko and M. L. Gorodetsky, J. Opt. Soc. Am. B 30, 3056 (2013).
[Crossref]

M. L. Gorodetsky and V. S. Ilchenko, J. Opt. Soc. Am. B 16, 147 (1999).
[Crossref]

V. B. Braginsky, M. L. Gorodetsky, and V. S. Ilchenko, Phys. Lett. A 137, 393 (1989).
[Crossref]

M. L. Gorodetsky, Optical Microresonators with Giant Quality- Factor (Fizmatlit, 2011).

Gorodnitskiy, A. S.

N. G. Pavlov, S. Koptyaev, G. V. Lihachev, A. S. Voloshin, A. S. Gorodnitskiy, M. V. Ryabko, S. V. Polonsky, and M. L. Gorodetsky, Nat. Photonics 12, 694 (2018).
[Crossref]

Granata, M.

Griffith, A. G.

Grudinin, I. S.

I. S. Grudinin, V. S. Ilchenko, and L. Maleki, Phys. Rev. A 74, 063806 (2006).
[Crossref]

Hänsch, T. W.

A. Schliesser, N. Piqué, and T. W. Hänsch, Nat. Photonics 6, 440 (2012).
[Crossref]

Herr, T.

T. Herr, V. Brasch, J. D. Jost, C. Y. Wang, N. M. Kondratiev, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenberg, Nat. Photonics 8, 145 (2014).
[Crossref]

Holberg, L.

V. V. Vasil’ev, V. L. Velichansky, M. L. Gorodetskii, V. S. Il’chenko, L. Holberg, and A. V. Yarovitsky, Quantum Electron. 26, 657 (1996).
[Crossref]

Hough, J.

A. S. Bell, J. Steinlechner, I. W. Martin, K. Craig, W. Cunningham, S. Rowan, J. Hough, R. Schnabel, and A. Khalaidovski, Classical Quantum Gravity 34, 205013 (2017).
[Crossref]

Il’chenko, V. S.

V. V. Vasil’ev, V. L. Velichansky, M. L. Gorodetskii, V. S. Il’chenko, L. Holberg, and A. V. Yarovitsky, Quantum Electron. 26, 657 (1996).
[Crossref]

Ilchenko, V. S.

W. Liang, D. Eliyahu, V. S. Ilchenko, A. A. Savchenkov, A. B. Matsko, D. Seidel, and L. Maleki, Nat. Commun. 6, 7957 (2015).
[Crossref]

V. S. Ilchenko and A. B. Matsko, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 12, 15 (2006).
[Crossref]

I. S. Grudinin, V. S. Ilchenko, and L. Maleki, Phys. Rev. A 74, 063806 (2006).
[Crossref]

M. L. Gorodetsky and V. S. Ilchenko, J. Opt. Soc. Am. B 16, 147 (1999).
[Crossref]

V. B. Braginsky, M. L. Gorodetsky, and V. S. Ilchenko, Phys. Lett. A 137, 393 (1989).
[Crossref]

Ilic, B. R.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Javerzac-Galy, C.

C. Lecaplain, C. Javerzac-Galy, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenberg, Nat. Commun. 7, 13383 (2016).
[Crossref]

Johnson, T. J.

Jost, J. D.

T. Herr, V. Brasch, J. D. Jost, C. Y. Wang, N. M. Kondratiev, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenberg, Nat. Photonics 8, 145 (2014).
[Crossref]

Karpov, M.

Khalaidovski, A.

A. S. Bell, J. Steinlechner, I. W. Martin, K. Craig, W. Cunningham, S. Rowan, J. Hough, R. Schnabel, and A. Khalaidovski, Classical Quantum Gravity 34, 205013 (2017).
[Crossref]

A. Khalaidovski, J. Steinlechner, and R. Schnabel, Classical Quantum Gravity 30, 165001 (2013).
[Crossref]

Khandelwal, S.

B. Shapiro, R. X. Adhikari, O. Aguiar, E. Bonilla, D. Fan, L. Gan, I. Gomez, S. Khandelwal, B. Lantz, T. MacDonald, and D. Madden-Fong, Cryogenics 81, 83 (2017).
[Crossref]

Kippenberg, T. J.

T. J. Kippenberg, A. L. Gaeta, M. Lipson, and M. L. Gorodetsky, Science 361, eaan8083 (2018).
[Crossref]

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

N. G. Pavlov, G. Lihachev, S. Koptyaev, E. Lucas, M. Karpov, N. M. Kondratiev, I. A. Bilenko, T. J. Kippenberg, and M. L. Gorodetsky, Opt. Lett. 42, 514 (2017).
[Crossref]

C. Lecaplain, C. Javerzac-Galy, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenberg, Nat. Commun. 7, 13383 (2016).
[Crossref]

T. Herr, V. Brasch, J. D. Jost, C. Y. Wang, N. M. Kondratiev, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenberg, Nat. Photonics 8, 145 (2014).
[Crossref]

Komljenovic, T.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Kondratiev, N. M.

Koptyaev, S.

Kuyken, B.

X. Gai, Y. Yu, B. Kuyken, P. Ma, S. J. Madden, J. Campenhout, P. Verheyen, G. Roelkens, R. Baets, and B. Luther-Davies, Laser Photon. Rev. 7, 1054 (2013).
[Crossref]

Lantz, B.

B. Shapiro, R. X. Adhikari, O. Aguiar, E. Bonilla, D. Fan, L. Gan, I. Gomez, S. Khandelwal, B. Lantz, T. MacDonald, and D. Madden-Fong, Cryogenics 81, 83 (2017).
[Crossref]

Lecaplain, C.

C. Lecaplain, C. Javerzac-Galy, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenberg, Nat. Commun. 7, 13383 (2016).
[Crossref]

Lee, S. H.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Leonhardt, R.

D. W. Vogt and R. Leonhardt, APL Photon. 3, 051702 (2018).
[Crossref]

Li, Q.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Liang, W.

W. Liang, D. Eliyahu, V. S. Ilchenko, A. A. Savchenkov, A. B. Matsko, D. Seidel, and L. Maleki, Nat. Commun. 6, 7957 (2015).
[Crossref]

Lihachev, G.

Lihachev, G. V.

N. G. Pavlov, S. Koptyaev, G. V. Lihachev, A. S. Voloshin, A. S. Gorodnitskiy, M. V. Ryabko, S. V. Polonsky, and M. L. Gorodetsky, Nat. Photonics 12, 694 (2018).
[Crossref]

Lin, Q.

Lipson, M.

Lobanov, V. E.

Lucas, E.

Luo, X.

S. Goel, X. Luo, A. Agrawal, and R. L. Reuben, Int. J. Mach. Tools Manuf. 88, 131 (2015).
[Crossref]

Luther-Davies, B.

X. Gai, Y. Yu, B. Kuyken, P. Ma, S. J. Madden, J. Campenhout, P. Verheyen, G. Roelkens, R. Baets, and B. Luther-Davies, Laser Photon. Rev. 7, 1054 (2013).
[Crossref]

Ma, P.

X. Gai, Y. Yu, B. Kuyken, P. Ma, S. J. Madden, J. Campenhout, P. Verheyen, G. Roelkens, R. Baets, and B. Luther-Davies, Laser Photon. Rev. 7, 1054 (2013).
[Crossref]

MacDonald, T.

B. Shapiro, R. X. Adhikari, O. Aguiar, E. Bonilla, D. Fan, L. Gan, I. Gomez, S. Khandelwal, B. Lantz, T. MacDonald, and D. Madden-Fong, Cryogenics 81, 83 (2017).
[Crossref]

Madden, S. J.

X. Gai, Y. Yu, B. Kuyken, P. Ma, S. J. Madden, J. Campenhout, P. Verheyen, G. Roelkens, R. Baets, and B. Luther-Davies, Laser Photon. Rev. 7, 1054 (2013).
[Crossref]

Madden-Fong, D.

B. Shapiro, R. X. Adhikari, O. Aguiar, E. Bonilla, D. Fan, L. Gan, I. Gomez, S. Khandelwal, B. Lantz, T. MacDonald, and D. Madden-Fong, Cryogenics 81, 83 (2017).
[Crossref]

Maleki, L.

W. Liang, D. Eliyahu, V. S. Ilchenko, A. A. Savchenkov, A. B. Matsko, D. Seidel, and L. Maleki, Nat. Commun. 6, 7957 (2015).
[Crossref]

I. S. Grudinin, V. S. Ilchenko, and L. Maleki, Phys. Rev. A 74, 063806 (2006).
[Crossref]

Martin, I. W.

A. S. Bell, J. Steinlechner, I. W. Martin, K. Craig, W. Cunningham, S. Rowan, J. Hough, R. Schnabel, and A. Khalaidovski, Classical Quantum Gravity 34, 205013 (2017).
[Crossref]

Matsko, A. B.

W. Liang, D. Eliyahu, V. S. Ilchenko, A. A. Savchenkov, A. B. Matsko, D. Seidel, and L. Maleki, Nat. Commun. 6, 7957 (2015).
[Crossref]

A. B. Matsko, D. V. Strekalov, and N. Yu, Phys. Rev. A 77, 043812 (2008).
[Crossref]

V. S. Ilchenko and A. B. Matsko, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 12, 15 (2006).
[Crossref]

Michel, C.

Mohanty, A.

Newbury, N. R.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Norberg, E.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Oh, D. Y.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Okawachi, Y.

Painter, O.

Painter, O. J.

Papp, S. B.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Pavlov, N. G.

Pfeiffer, M. H. P.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Pinard, L.

Piqué, N.

A. Schliesser, N. Piqué, and T. W. Hänsch, Nat. Photonics 6, 440 (2012).
[Crossref]

Polonsky, S. V.

N. G. Pavlov, S. Koptyaev, G. V. Lihachev, A. S. Voloshin, A. S. Gorodnitskiy, M. V. Ryabko, S. V. Polonsky, and M. L. Gorodetsky, Nat. Photonics 12, 694 (2018).
[Crossref]

Reuben, R. L.

S. Goel, X. Luo, A. Agrawal, and R. L. Reuben, Int. J. Mach. Tools Manuf. 88, 131 (2015).
[Crossref]

Roelkens, G.

X. Gai, Y. Yu, B. Kuyken, P. Ma, S. J. Madden, J. Campenhout, P. Verheyen, G. Roelkens, R. Baets, and B. Luther-Davies, Laser Photon. Rev. 7, 1054 (2013).
[Crossref]

Rotenberg, N.

A. D. Bristow, N. Rotenberg, and H. M. Van Driel, Appl. Phys. Lett. 90, 191104 (2007).
[Crossref]

Rowan, S.

A. S. Bell, J. Steinlechner, I. W. Martin, K. Craig, W. Cunningham, S. Rowan, J. Hough, R. Schnabel, and A. Khalaidovski, Classical Quantum Gravity 34, 205013 (2017).
[Crossref]

Ryabko, M. V.

N. G. Pavlov, S. Koptyaev, G. V. Lihachev, A. S. Voloshin, A. S. Gorodnitskiy, M. V. Ryabko, S. V. Polonsky, and M. L. Gorodetsky, Nat. Photonics 12, 694 (2018).
[Crossref]

Savchenkov, A. A.

W. Liang, D. Eliyahu, V. S. Ilchenko, A. A. Savchenkov, A. B. Matsko, D. Seidel, and L. Maleki, Nat. Commun. 6, 7957 (2015).
[Crossref]

Schliesser, A.

A. Schliesser, N. Piqué, and T. W. Hänsch, Nat. Photonics 6, 440 (2012).
[Crossref]

Schnabel, R.

A. S. Bell, J. Steinlechner, I. W. Martin, K. Craig, W. Cunningham, S. Rowan, J. Hough, R. Schnabel, and A. Khalaidovski, Classical Quantum Gravity 34, 205013 (2017).
[Crossref]

A. Khalaidovski, J. Steinlechner, and R. Schnabel, Classical Quantum Gravity 30, 165001 (2013).
[Crossref]

Seidel, D.

W. Liang, D. Eliyahu, V. S. Ilchenko, A. A. Savchenkov, A. B. Matsko, D. Seidel, and L. Maleki, Nat. Commun. 6, 7957 (2015).
[Crossref]

Shapiro, B.

B. Shapiro, R. X. Adhikari, O. Aguiar, E. Bonilla, D. Fan, L. Gan, I. Gomez, S. Khandelwal, B. Lantz, T. MacDonald, and D. Madden-Fong, Cryogenics 81, 83 (2017).
[Crossref]

Shaw, M. J.

Sinclair, L. C.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Spencer, D. T.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Srinivasan, K.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Steinlechner, J.

A. S. Bell, J. Steinlechner, I. W. Martin, K. Craig, W. Cunningham, S. Rowan, J. Hough, R. Schnabel, and A. Khalaidovski, Classical Quantum Gravity 34, 205013 (2017).
[Crossref]

A. Khalaidovski, J. Steinlechner, and R. Schnabel, Classical Quantum Gravity 30, 165001 (2013).
[Crossref]

Stone, J.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Strekalov, D. V.

A. B. Matsko, D. V. Strekalov, and N. Yu, Phys. Rev. A 77, 043812 (2008).
[Crossref]

Suh, M. G.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Suh, M.-G.

M.-G. Suh, Q.-F. Yang, K. Y. Yang, X. Yi, and K. J. Vahala, Science 354, 600 (2016).
[Crossref]

Theogarajan, L.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Timurdogan, E.

Vahala, K.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Vahala, K. J.

M.-G. Suh, Q.-F. Yang, K. Y. Yang, X. Yi, and K. J. Vahala, Science 354, 600 (2016).
[Crossref]

T. Carmon, L. Yang, and K. J. Vahala, Opt. Express 12, 4742 (2004).
[Crossref]

Van Driel, H. M.

A. D. Bristow, N. Rotenberg, and H. M. Van Driel, Appl. Phys. Lett. 90, 191104 (2007).
[Crossref]

Vasil’ev, V. V.

V. V. Vasil’ev, V. L. Velichansky, M. L. Gorodetskii, V. S. Il’chenko, L. Holberg, and A. V. Yarovitsky, Quantum Electron. 26, 657 (1996).
[Crossref]

Velichansky, V. L.

V. V. Vasil’ev, V. L. Velichansky, M. L. Gorodetskii, V. S. Il’chenko, L. Holberg, and A. V. Yarovitsky, Quantum Electron. 26, 657 (1996).
[Crossref]

Verheyen, P.

X. Gai, Y. Yu, B. Kuyken, P. Ma, S. J. Madden, J. Campenhout, P. Verheyen, G. Roelkens, R. Baets, and B. Luther-Davies, Laser Photon. Rev. 7, 1054 (2013).
[Crossref]

Vogt, D. W.

D. W. Vogt and R. Leonhardt, APL Photon. 3, 051702 (2018).
[Crossref]

Volet, N.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Voloshin, A. S.

N. G. Pavlov, S. Koptyaev, G. V. Lihachev, A. S. Voloshin, A. S. Gorodnitskiy, M. V. Ryabko, S. V. Polonsky, and M. L. Gorodetsky, Nat. Photonics 12, 694 (2018).
[Crossref]

N. M. Kondratiev, V. E. Lobanov, A. V. Cherenkov, A. S. Voloshin, N. G. Pavlov, S. Koptyaev, and M. L. Gorodetsky, Opt. Express 25, 28167 (2017).
[Crossref]

Wang, C. Y.

T. Herr, V. Brasch, J. D. Jost, C. Y. Wang, N. M. Kondratiev, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenberg, Nat. Photonics 8, 145 (2014).
[Crossref]

Watts, M. R.

Westly, D.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Wright, J. B.

Yang, K. Y.

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

M.-G. Suh, Q.-F. Yang, K. Y. Yang, X. Yi, and K. J. Vahala, Science 354, 600 (2016).
[Crossref]

Yang, L.

Yang, Q.-F.

M.-G. Suh, Q.-F. Yang, K. Y. Yang, X. Yi, and K. J. Vahala, Science 354, 600 (2016).
[Crossref]

Yarovitsky, A. V.

V. V. Vasil’ev, V. L. Velichansky, M. L. Gorodetskii, V. S. Il’chenko, L. Holberg, and A. V. Yarovitsky, Quantum Electron. 26, 657 (1996).
[Crossref]

Yi, X.

M.-G. Suh, Q.-F. Yang, K. Y. Yang, X. Yi, and K. J. Vahala, Science 354, 600 (2016).
[Crossref]

Yu, M.

Yu, N.

A. B. Matsko, D. V. Strekalov, and N. Yu, Phys. Rev. A 77, 043812 (2008).
[Crossref]

Yu, Y.

X. Gai, Y. Yu, B. Kuyken, P. Ma, S. J. Madden, J. Campenhout, P. Verheyen, G. Roelkens, R. Baets, and B. Luther-Davies, Laser Photon. Rev. 7, 1054 (2013).
[Crossref]

APL Photon. (1)

D. W. Vogt and R. Leonhardt, APL Photon. 3, 051702 (2018).
[Crossref]

Appl. Phys. Lett. (1)

A. D. Bristow, N. Rotenberg, and H. M. Van Driel, Appl. Phys. Lett. 90, 191104 (2007).
[Crossref]

Classical Quantum Gravity (2)

A. Khalaidovski, J. Steinlechner, and R. Schnabel, Classical Quantum Gravity 30, 165001 (2013).
[Crossref]

A. S. Bell, J. Steinlechner, I. W. Martin, K. Craig, W. Cunningham, S. Rowan, J. Hough, R. Schnabel, and A. Khalaidovski, Classical Quantum Gravity 34, 205013 (2017).
[Crossref]

Cryogenics (1)

B. Shapiro, R. X. Adhikari, O. Aguiar, E. Bonilla, D. Fan, L. Gan, I. Gomez, S. Khandelwal, B. Lantz, T. MacDonald, and D. Madden-Fong, Cryogenics 81, 83 (2017).
[Crossref]

Europhys. Lett. (1)

V. E. Lobanov, G. Lihachev, and M. L. Gorodetsky, Europhys. Lett. 112, 54008 (2015).
[Crossref]

IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. (1)

V. S. Ilchenko and A. B. Matsko, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 12, 15 (2006).
[Crossref]

Int. J. Mach. Tools Manuf. (1)

S. Goel, X. Luo, A. Agrawal, and R. L. Reuben, Int. J. Mach. Tools Manuf. 88, 131 (2015).
[Crossref]

J. Opt. Soc. Am. B (2)

Laser Photon. Rev. (1)

X. Gai, Y. Yu, B. Kuyken, P. Ma, S. J. Madden, J. Campenhout, P. Verheyen, G. Roelkens, R. Baets, and B. Luther-Davies, Laser Photon. Rev. 7, 1054 (2013).
[Crossref]

Nat. Commun. (2)

C. Lecaplain, C. Javerzac-Galy, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenberg, Nat. Commun. 7, 13383 (2016).
[Crossref]

W. Liang, D. Eliyahu, V. S. Ilchenko, A. A. Savchenkov, A. B. Matsko, D. Seidel, and L. Maleki, Nat. Commun. 6, 7957 (2015).
[Crossref]

Nat. Photonics (3)

T. Herr, V. Brasch, J. D. Jost, C. Y. Wang, N. M. Kondratiev, M. L. Gorodetsky, and T. J. Kippenberg, Nat. Photonics 8, 145 (2014).
[Crossref]

A. Schliesser, N. Piqué, and T. W. Hänsch, Nat. Photonics 6, 440 (2012).
[Crossref]

N. G. Pavlov, S. Koptyaev, G. V. Lihachev, A. S. Voloshin, A. S. Gorodnitskiy, M. V. Ryabko, S. V. Polonsky, and M. L. Gorodetsky, Nat. Photonics 12, 694 (2018).
[Crossref]

Nature (1)

D. T. Spencer, T. Drake, T. C. Briles, J. Stone, L. C. Sinclair, C. Fredrick, Q. Li, D. Westly, B. R. Ilic, A. Bluestone, N. Volet, T. Komljenovic, L. Chang, S. H. Lee, D. Y. Oh, M. G. Suh, K. Y. Yang, M. H. P. Pfeiffer, T. J. Kippenberg, E. Norberg, L. Theogarajan, K. Vahala, N. R. Newbury, K. Srinivasan, J. E. Bowers, S. A. Diddams, and S. B. Papp, Nature 557, 81 (2018).
[Crossref]

Opt. Express (6)

Opt. Lett. (3)

Optica (1)

Phys. Lett. A (1)

V. B. Braginsky, M. L. Gorodetsky, and V. S. Ilchenko, Phys. Lett. A 137, 393 (1989).
[Crossref]

Phys. Rev. A (2)

A. B. Matsko, D. V. Strekalov, and N. Yu, Phys. Rev. A 77, 043812 (2008).
[Crossref]

I. S. Grudinin, V. S. Ilchenko, and L. Maleki, Phys. Rev. A 74, 063806 (2006).
[Crossref]

Quantum Electron. (1)

V. V. Vasil’ev, V. L. Velichansky, M. L. Gorodetskii, V. S. Il’chenko, L. Holberg, and A. V. Yarovitsky, Quantum Electron. 26, 657 (1996).
[Crossref]

Science (2)

T. J. Kippenberg, A. L. Gaeta, M. Lipson, and M. L. Gorodetsky, Science 361, eaan8083 (2018).
[Crossref]

M.-G. Suh, Q.-F. Yang, K. Y. Yang, X. Yi, and K. J. Vahala, Science 354, 600 (2016).
[Crossref]

Other (2)

M. L. Gorodetsky, Optical Microresonators with Giant Quality- Factor (Fizmatlit, 2011).

LIGO Scientific Collaboration, “Instrument science white paper,” LIGO Dcc, 2015, https://dcc.ligo.org/public/0113/T1400316/004/T1400316-v5.pdf .

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1.
Fig. 1. Experimental setup. Silicon resonator is 2.5 mm in diameter and silicon hemisphere coupler is 5 mm in diameter.
Fig. 2.
Fig. 2. Typical transmission spectrum with different mode families. One-third of the resonator’s FSR is covered. Spike above unity is due to an ultra-high-Q mode ringdown.
Fig. 3.
Fig. 3. Nonlinear cavity mode profiles during frequency decrease (top) and increase (bottom) for different coupling rates (I, minimum; IV, maximum). Transmission dips at backward scan curves II–IV (circled) indicate TPA.
Fig. 4.
Fig. 4. Cavity ringdown on the ultra-high-Q mode with Q-factor of Q=πcτ/λ=(1.2±0.1)×109, where τ is the ringdown time. The green line is an exponential fit. The direct ringdown profile is presented in the inset.

Equations (6)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

Q1=Qrad1+Qb.a1+Qb.s1+Qs.a1+Qs.s1+Qc1+Qnl.a1,
Qb.a=2πnrαλ1·1011,
Qnl.a2πnrλVeffPβ.
Veff15.12a2abm7/63·1013  m3,
ϕπ2ζq(m+p2)13,
h=a(δζq(m2)23+ab2p+1m),