Abstract

Extreme ultraviolet microscopy is technologically demanding and thus largely confined to synchrotron radiation facilities. However, specific benefits like high resolution and exceptional material contrast provide strong motivation for the development of table-top alternatives. We report on the first demonstration of coherence tomography, i.e., noninvasive cross-sectional imaging, with high harmonics. A depth resolution of 24 nm and very good material contrast are achieved. Excessively demanding optics for extreme ultraviolet radiation are avoided and artifacts due to the elementary geometry are suppressed with a novel three-step one-dimensional phase-retrieval algorithm. The images are recorded in reflection geometry, facilitating the analysis of, e.g., operating semiconductor samples.

© 2017 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article
OSA Recommended Articles
Concentration dependence of gold nanoshells on the enhancement of optical coherence tomography images: a quantitative study

James Chen Yong Kah, Tzu Hao Chow, Beng Koon Ng, Sirajudeen Gulam Razul, Malini Olivo, and Colin James Richard Sheppard
Appl. Opt. 48(10) D96-D108 (2009)

Quasi-supercontinuum source in the extreme ultraviolet using multiple frequency combs from high-harmonic generation

Martin Wünsche, Silvio Fuchs, Stefan Aull, Jan Nathanael, Max Möller, Christian Rödel, and Gerhard G. Paulus
Opt. Express 25(6) 6936-6944 (2017)

Experimental validation of an optimized signal processing method to handle non-linearity in swept-source optical coherence tomography

Sébastien Vergnole, Daniel Lévesque, and Guy Lamouche
Opt. Express 18(10) 10446-10461 (2010)

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, E. H. Anderson, and D. T. Attwood, Nature 435, 1210 (2005).
    [Crossref]
  2. M. A. Le Gros, G. McDermott, B. P. Cinquin, E. A. Smith, M. Do, W. L. Chao, P. P. Naulleau, and C. A. Larabell, J. Synchrotron Radiat. 21, 1370 (2014).
    [Crossref]
  3. M. Ferray, A. L’Huillier, X. F. Li, L. A. Lompre, G. Mainfray, and C. Manus, J. Phys. B 21, L31 (1988).
    [Crossref]
  4. P. B. Corkum and F. Krausz, Nat. Phys. 3, 381 (2007).
    [Crossref]
  5. G. Sansone, L. Poletto, and M. Nisoli, Nat. Photonics 5, 655 (2011).
    [Crossref]
  6. S. Hädrich, A. Klenke, J. Rothhardt, M. Krebs, A. Hoffmann, O. Pronin, V. Pervak, J. Limpert, and A. Tünnermann, Nat. Photonics 8, 779 (2014).
    [Crossref]
  7. S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
    [Crossref]
  8. H. N. Chapman and K. A. Nugent, Nat. Photonics 4, 833 (2010).
    [Crossref]
  9. M. Dierolf, A. Menzel, P. Thibault, P. Schneider, C. M. Kewish, R. Wepf, O. Bunk, and F. Pfeiffer, Nature 467, 436 (2010).
    [Crossref]
  10. B. Zhang, M. D. Seaberg, D. E. Adams, D. F. Gardner, E. R. Shanblatt, J. M. Shaw, W. Chao, E. M. Gullikson, F. Salmassi, H. C. Kapteyn, and M. M. Murnane, Opt. Express 21, 21970 (2013).
    [Crossref]
  11. B. Zhang, D. F. Gardner, M. H. Seaberg, E. R. Shanblatt, C. L. Porter, R. Karl, C. A. Mancuso, H. C. Kapteyn, M. M. Murnane, and D. E. Adams, Opt. Express 24, 18745 (2016).
    [Crossref]
  12. D. Huang, E. Swanson, C. Lin, J. Schuman, W. Stinson, W. Chang, M. Hee, T. Flotte, K. Gregory, C. Puliafito, and J. G. Fujimoto, Science 254, 1178 (1991).
    [Crossref]
  13. J. Jasny, U. Teubner, W. Theobald, C. Wulker, J. Bergmann, and F. P. Schäfer, Rev. Sci. Instrum. 65, 1631 (1994).
    [Crossref]
  14. M. Wünsche, S. Fuchs, S. Aull, J. Nathanael, M. Möller, C. Rödel, and G. G. Paulus, Opt. Express 25, 6936 (2017).
    [Crossref]
  15. S. Fuchs, C. Rödel, M. Krebs, S. Hädrich, J. Bierbach, A. E. Paz, S. Kuschel, M. Wünsche, V. Hilbert, U. Zastrau, E. Förster, J. Limpert, and G. G. Paulus, Rev. Sci. Instrum. 84, 023101 (2013).
    [Crossref]
  16. A. B. Vakhtin, D. J. Kane, W. R. Wood, and K. A. Peterson, Appl. Opt. 42, 6953 (2003).
    [Crossref]
  17. R. Leitgeb, C. Hitzenberger, and A. Fercher, Opt. Express 11, 889 (2003).
    [Crossref]
  18. R. Leitgeb, W. Drexler, A. Unterhuber, B. Hermann, T. Bajraszewski, T. Le, A. Stingl, and A. Fercher, Opt. Express 12, 2156 (2004).
    [Crossref]
  19. S. Fuchs, C. Rödel, A. Blinne, U. Zastrau, M. Wünsche, V. Hilbert, L. Glaser, J. Viefhaus, E. Frumker, P. Corkum, E. Förster, and G. G. Paulus, Sci. Rep. 6, 20658 (2016).
    [Crossref]
  20. B. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
    [Crossref]
  21. L. B. Lucy, Astron. J. 79, 745 (1974).
    [Crossref]
  22. W. H. Richardson, J. Opt. Soc. Am. 62, 55 (1972).
    [Crossref]
  23. R. Beinert and G. Plonka, J. Fourier Anal. Appl. 21, 1169 (2015).
    [Crossref]
  24. R. W. Gerchberg and W. O. Saxton, Optik 35, 237 (1972).
  25. J. R. Fienup, Opt. Lett. 3, 27 (1978).
    [Crossref]
  26. J. Stöhr, NEXAFS Spectroscopy, Vol. 25 of Springer Series in Surface Sciences (Springer, 1992).
  27. M. Schultze, K. Ramasesha, C. D. Pemmaraju, S. A. Sato, D. Whitmore, A. Gandman, J. S. Prell, L. J. Borja, D. Prendergast, K. Yabana, D. M. Neumark, and S. R. Leone, Science 346, 1348 (2014).
    [Crossref]
  28. K. Yabana, T. Sugiyama, Y. Shinohara, T. Otobe, and G. F. Bertsch, Phys. Rev. B 85, 045134 (2012).
    [Crossref]
  29. M. Chini, K. Zhao, and Z. Chang, Nat. Photonics 8, 178 (2014).
    [Crossref]
  30. G. Sansone, E. Benedetti, F. Calegari, C. Vozzi, L. Avaldi, R. Flammini, L. Poletto, P. Villoresi, C. Altucci, R. Velotta, S. Stagira, S. De Silvestri, and M. Nisoli, Science 314, 443 (2006).
    [Crossref]

2017 (1)

2016 (2)

B. Zhang, D. F. Gardner, M. H. Seaberg, E. R. Shanblatt, C. L. Porter, R. Karl, C. A. Mancuso, H. C. Kapteyn, M. M. Murnane, and D. E. Adams, Opt. Express 24, 18745 (2016).
[Crossref]

S. Fuchs, C. Rödel, A. Blinne, U. Zastrau, M. Wünsche, V. Hilbert, L. Glaser, J. Viefhaus, E. Frumker, P. Corkum, E. Förster, and G. G. Paulus, Sci. Rep. 6, 20658 (2016).
[Crossref]

2015 (1)

R. Beinert and G. Plonka, J. Fourier Anal. Appl. 21, 1169 (2015).
[Crossref]

2014 (4)

M. Schultze, K. Ramasesha, C. D. Pemmaraju, S. A. Sato, D. Whitmore, A. Gandman, J. S. Prell, L. J. Borja, D. Prendergast, K. Yabana, D. M. Neumark, and S. R. Leone, Science 346, 1348 (2014).
[Crossref]

M. Chini, K. Zhao, and Z. Chang, Nat. Photonics 8, 178 (2014).
[Crossref]

M. A. Le Gros, G. McDermott, B. P. Cinquin, E. A. Smith, M. Do, W. L. Chao, P. P. Naulleau, and C. A. Larabell, J. Synchrotron Radiat. 21, 1370 (2014).
[Crossref]

S. Hädrich, A. Klenke, J. Rothhardt, M. Krebs, A. Hoffmann, O. Pronin, V. Pervak, J. Limpert, and A. Tünnermann, Nat. Photonics 8, 779 (2014).
[Crossref]

2013 (2)

B. Zhang, M. D. Seaberg, D. E. Adams, D. F. Gardner, E. R. Shanblatt, J. M. Shaw, W. Chao, E. M. Gullikson, F. Salmassi, H. C. Kapteyn, and M. M. Murnane, Opt. Express 21, 21970 (2013).
[Crossref]

S. Fuchs, C. Rödel, M. Krebs, S. Hädrich, J. Bierbach, A. E. Paz, S. Kuschel, M. Wünsche, V. Hilbert, U. Zastrau, E. Förster, J. Limpert, and G. G. Paulus, Rev. Sci. Instrum. 84, 023101 (2013).
[Crossref]

2012 (1)

K. Yabana, T. Sugiyama, Y. Shinohara, T. Otobe, and G. F. Bertsch, Phys. Rev. B 85, 045134 (2012).
[Crossref]

2011 (1)

G. Sansone, L. Poletto, and M. Nisoli, Nat. Photonics 5, 655 (2011).
[Crossref]

2010 (2)

H. N. Chapman and K. A. Nugent, Nat. Photonics 4, 833 (2010).
[Crossref]

M. Dierolf, A. Menzel, P. Thibault, P. Schneider, C. M. Kewish, R. Wepf, O. Bunk, and F. Pfeiffer, Nature 467, 436 (2010).
[Crossref]

2008 (1)

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

2007 (1)

P. B. Corkum and F. Krausz, Nat. Phys. 3, 381 (2007).
[Crossref]

2006 (1)

G. Sansone, E. Benedetti, F. Calegari, C. Vozzi, L. Avaldi, R. Flammini, L. Poletto, P. Villoresi, C. Altucci, R. Velotta, S. Stagira, S. De Silvestri, and M. Nisoli, Science 314, 443 (2006).
[Crossref]

2005 (1)

W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, E. H. Anderson, and D. T. Attwood, Nature 435, 1210 (2005).
[Crossref]

2004 (1)

2003 (2)

1994 (1)

J. Jasny, U. Teubner, W. Theobald, C. Wulker, J. Bergmann, and F. P. Schäfer, Rev. Sci. Instrum. 65, 1631 (1994).
[Crossref]

1993 (1)

B. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
[Crossref]

1991 (1)

D. Huang, E. Swanson, C. Lin, J. Schuman, W. Stinson, W. Chang, M. Hee, T. Flotte, K. Gregory, C. Puliafito, and J. G. Fujimoto, Science 254, 1178 (1991).
[Crossref]

1988 (1)

M. Ferray, A. L’Huillier, X. F. Li, L. A. Lompre, G. Mainfray, and C. Manus, J. Phys. B 21, L31 (1988).
[Crossref]

1978 (1)

1974 (1)

L. B. Lucy, Astron. J. 79, 745 (1974).
[Crossref]

1972 (2)

W. H. Richardson, J. Opt. Soc. Am. 62, 55 (1972).
[Crossref]

R. W. Gerchberg and W. O. Saxton, Optik 35, 237 (1972).

Adams, D. E.

Altucci, C.

G. Sansone, E. Benedetti, F. Calegari, C. Vozzi, L. Avaldi, R. Flammini, L. Poletto, P. Villoresi, C. Altucci, R. Velotta, S. Stagira, S. De Silvestri, and M. Nisoli, Science 314, 443 (2006).
[Crossref]

Anderson, E. H.

W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, E. H. Anderson, and D. T. Attwood, Nature 435, 1210 (2005).
[Crossref]

Attwood, D. T.

W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, E. H. Anderson, and D. T. Attwood, Nature 435, 1210 (2005).
[Crossref]

Aull, S.

Avaldi, L.

G. Sansone, E. Benedetti, F. Calegari, C. Vozzi, L. Avaldi, R. Flammini, L. Poletto, P. Villoresi, C. Altucci, R. Velotta, S. Stagira, S. De Silvestri, and M. Nisoli, Science 314, 443 (2006).
[Crossref]

Bajraszewski, T.

Bajt, S.

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

Barty, A.

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

Beinert, R.

R. Beinert and G. Plonka, J. Fourier Anal. Appl. 21, 1169 (2015).
[Crossref]

Benedetti, E.

G. Sansone, E. Benedetti, F. Calegari, C. Vozzi, L. Avaldi, R. Flammini, L. Poletto, P. Villoresi, C. Altucci, R. Velotta, S. Stagira, S. De Silvestri, and M. Nisoli, Science 314, 443 (2006).
[Crossref]

Bergmann, J.

J. Jasny, U. Teubner, W. Theobald, C. Wulker, J. Bergmann, and F. P. Schäfer, Rev. Sci. Instrum. 65, 1631 (1994).
[Crossref]

Bertsch, G. F.

K. Yabana, T. Sugiyama, Y. Shinohara, T. Otobe, and G. F. Bertsch, Phys. Rev. B 85, 045134 (2012).
[Crossref]

Bierbach, J.

S. Fuchs, C. Rödel, M. Krebs, S. Hädrich, J. Bierbach, A. E. Paz, S. Kuschel, M. Wünsche, V. Hilbert, U. Zastrau, E. Förster, J. Limpert, and G. G. Paulus, Rev. Sci. Instrum. 84, 023101 (2013).
[Crossref]

Blinne, A.

S. Fuchs, C. Rödel, A. Blinne, U. Zastrau, M. Wünsche, V. Hilbert, L. Glaser, J. Viefhaus, E. Frumker, P. Corkum, E. Förster, and G. G. Paulus, Sci. Rep. 6, 20658 (2016).
[Crossref]

Bogan, M. J.

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

Borja, L. J.

M. Schultze, K. Ramasesha, C. D. Pemmaraju, S. A. Sato, D. Whitmore, A. Gandman, J. S. Prell, L. J. Borja, D. Prendergast, K. Yabana, D. M. Neumark, and S. R. Leone, Science 346, 1348 (2014).
[Crossref]

Boutet, S.

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

Bunk, O.

M. Dierolf, A. Menzel, P. Thibault, P. Schneider, C. M. Kewish, R. Wepf, O. Bunk, and F. Pfeiffer, Nature 467, 436 (2010).
[Crossref]

Calegari, F.

G. Sansone, E. Benedetti, F. Calegari, C. Vozzi, L. Avaldi, R. Flammini, L. Poletto, P. Villoresi, C. Altucci, R. Velotta, S. Stagira, S. De Silvestri, and M. Nisoli, Science 314, 443 (2006).
[Crossref]

Chang, W.

D. Huang, E. Swanson, C. Lin, J. Schuman, W. Stinson, W. Chang, M. Hee, T. Flotte, K. Gregory, C. Puliafito, and J. G. Fujimoto, Science 254, 1178 (1991).
[Crossref]

Chang, Z.

M. Chini, K. Zhao, and Z. Chang, Nat. Photonics 8, 178 (2014).
[Crossref]

Chao, W.

Chao, W. L.

M. A. Le Gros, G. McDermott, B. P. Cinquin, E. A. Smith, M. Do, W. L. Chao, P. P. Naulleau, and C. A. Larabell, J. Synchrotron Radiat. 21, 1370 (2014).
[Crossref]

Chapman, H. N.

H. N. Chapman and K. A. Nugent, Nat. Photonics 4, 833 (2010).
[Crossref]

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

Chini, M.

M. Chini, K. Zhao, and Z. Chang, Nat. Photonics 8, 178 (2014).
[Crossref]

Cinquin, B. P.

M. A. Le Gros, G. McDermott, B. P. Cinquin, E. A. Smith, M. Do, W. L. Chao, P. P. Naulleau, and C. A. Larabell, J. Synchrotron Radiat. 21, 1370 (2014).
[Crossref]

Corkum, P.

S. Fuchs, C. Rödel, A. Blinne, U. Zastrau, M. Wünsche, V. Hilbert, L. Glaser, J. Viefhaus, E. Frumker, P. Corkum, E. Förster, and G. G. Paulus, Sci. Rep. 6, 20658 (2016).
[Crossref]

Corkum, P. B.

P. B. Corkum and F. Krausz, Nat. Phys. 3, 381 (2007).
[Crossref]

Cui, C.

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

Davis, J. C.

B. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
[Crossref]

De Silvestri, S.

G. Sansone, E. Benedetti, F. Calegari, C. Vozzi, L. Avaldi, R. Flammini, L. Poletto, P. Villoresi, C. Altucci, R. Velotta, S. Stagira, S. De Silvestri, and M. Nisoli, Science 314, 443 (2006).
[Crossref]

Dierolf, M.

M. Dierolf, A. Menzel, P. Thibault, P. Schneider, C. M. Kewish, R. Wepf, O. Bunk, and F. Pfeiffer, Nature 467, 436 (2010).
[Crossref]

Do, M.

M. A. Le Gros, G. McDermott, B. P. Cinquin, E. A. Smith, M. Do, W. L. Chao, P. P. Naulleau, and C. A. Larabell, J. Synchrotron Radiat. 21, 1370 (2014).
[Crossref]

Drexler, W.

Fercher, A.

Ferray, M.

M. Ferray, A. L’Huillier, X. F. Li, L. A. Lompre, G. Mainfray, and C. Manus, J. Phys. B 21, L31 (1988).
[Crossref]

Fienup, J. R.

Flammini, R.

G. Sansone, E. Benedetti, F. Calegari, C. Vozzi, L. Avaldi, R. Flammini, L. Poletto, P. Villoresi, C. Altucci, R. Velotta, S. Stagira, S. De Silvestri, and M. Nisoli, Science 314, 443 (2006).
[Crossref]

Flotte, T.

D. Huang, E. Swanson, C. Lin, J. Schuman, W. Stinson, W. Chang, M. Hee, T. Flotte, K. Gregory, C. Puliafito, and J. G. Fujimoto, Science 254, 1178 (1991).
[Crossref]

Förster, E.

S. Fuchs, C. Rödel, A. Blinne, U. Zastrau, M. Wünsche, V. Hilbert, L. Glaser, J. Viefhaus, E. Frumker, P. Corkum, E. Förster, and G. G. Paulus, Sci. Rep. 6, 20658 (2016).
[Crossref]

S. Fuchs, C. Rödel, M. Krebs, S. Hädrich, J. Bierbach, A. E. Paz, S. Kuschel, M. Wünsche, V. Hilbert, U. Zastrau, E. Förster, J. Limpert, and G. G. Paulus, Rev. Sci. Instrum. 84, 023101 (2013).
[Crossref]

Frank, M.

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

Frumker, E.

S. Fuchs, C. Rödel, A. Blinne, U. Zastrau, M. Wünsche, V. Hilbert, L. Glaser, J. Viefhaus, E. Frumker, P. Corkum, E. Förster, and G. G. Paulus, Sci. Rep. 6, 20658 (2016).
[Crossref]

Fuchs, S.

M. Wünsche, S. Fuchs, S. Aull, J. Nathanael, M. Möller, C. Rödel, and G. G. Paulus, Opt. Express 25, 6936 (2017).
[Crossref]

S. Fuchs, C. Rödel, A. Blinne, U. Zastrau, M. Wünsche, V. Hilbert, L. Glaser, J. Viefhaus, E. Frumker, P. Corkum, E. Förster, and G. G. Paulus, Sci. Rep. 6, 20658 (2016).
[Crossref]

S. Fuchs, C. Rödel, M. Krebs, S. Hädrich, J. Bierbach, A. E. Paz, S. Kuschel, M. Wünsche, V. Hilbert, U. Zastrau, E. Förster, J. Limpert, and G. G. Paulus, Rev. Sci. Instrum. 84, 023101 (2013).
[Crossref]

Fujimoto, J. G.

D. Huang, E. Swanson, C. Lin, J. Schuman, W. Stinson, W. Chang, M. Hee, T. Flotte, K. Gregory, C. Puliafito, and J. G. Fujimoto, Science 254, 1178 (1991).
[Crossref]

Gandman, A.

M. Schultze, K. Ramasesha, C. D. Pemmaraju, S. A. Sato, D. Whitmore, A. Gandman, J. S. Prell, L. J. Borja, D. Prendergast, K. Yabana, D. M. Neumark, and S. R. Leone, Science 346, 1348 (2014).
[Crossref]

Gardner, D. F.

Gerchberg, R. W.

R. W. Gerchberg and W. O. Saxton, Optik 35, 237 (1972).

Glaser, L.

S. Fuchs, C. Rödel, A. Blinne, U. Zastrau, M. Wünsche, V. Hilbert, L. Glaser, J. Viefhaus, E. Frumker, P. Corkum, E. Förster, and G. G. Paulus, Sci. Rep. 6, 20658 (2016).
[Crossref]

Gregory, K.

D. Huang, E. Swanson, C. Lin, J. Schuman, W. Stinson, W. Chang, M. Hee, T. Flotte, K. Gregory, C. Puliafito, and J. G. Fujimoto, Science 254, 1178 (1991).
[Crossref]

Gullikson, E. M.

Hädrich, S.

S. Hädrich, A. Klenke, J. Rothhardt, M. Krebs, A. Hoffmann, O. Pronin, V. Pervak, J. Limpert, and A. Tünnermann, Nat. Photonics 8, 779 (2014).
[Crossref]

S. Fuchs, C. Rödel, M. Krebs, S. Hädrich, J. Bierbach, A. E. Paz, S. Kuschel, M. Wünsche, V. Hilbert, U. Zastrau, E. Förster, J. Limpert, and G. G. Paulus, Rev. Sci. Instrum. 84, 023101 (2013).
[Crossref]

Hajdu, J.

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

Harteneck, B. D.

W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, E. H. Anderson, and D. T. Attwood, Nature 435, 1210 (2005).
[Crossref]

Hau-Riege, S. P.

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

Hee, M.

D. Huang, E. Swanson, C. Lin, J. Schuman, W. Stinson, W. Chang, M. Hee, T. Flotte, K. Gregory, C. Puliafito, and J. G. Fujimoto, Science 254, 1178 (1991).
[Crossref]

Henke, B.

B. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
[Crossref]

Hermann, B.

Hilbert, V.

S. Fuchs, C. Rödel, A. Blinne, U. Zastrau, M. Wünsche, V. Hilbert, L. Glaser, J. Viefhaus, E. Frumker, P. Corkum, E. Förster, and G. G. Paulus, Sci. Rep. 6, 20658 (2016).
[Crossref]

S. Fuchs, C. Rödel, M. Krebs, S. Hädrich, J. Bierbach, A. E. Paz, S. Kuschel, M. Wünsche, V. Hilbert, U. Zastrau, E. Förster, J. Limpert, and G. G. Paulus, Rev. Sci. Instrum. 84, 023101 (2013).
[Crossref]

Hitzenberger, C.

Hoffmann, A.

S. Hädrich, A. Klenke, J. Rothhardt, M. Krebs, A. Hoffmann, O. Pronin, V. Pervak, J. Limpert, and A. Tünnermann, Nat. Photonics 8, 779 (2014).
[Crossref]

Howells, M. R.

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

Huang, D.

D. Huang, E. Swanson, C. Lin, J. Schuman, W. Stinson, W. Chang, M. Hee, T. Flotte, K. Gregory, C. Puliafito, and J. G. Fujimoto, Science 254, 1178 (1991).
[Crossref]

Jasny, J.

J. Jasny, U. Teubner, W. Theobald, C. Wulker, J. Bergmann, and F. P. Schäfer, Rev. Sci. Instrum. 65, 1631 (1994).
[Crossref]

Kane, D. J.

Kapteyn, H. C.

Karl, R.

Kewish, C. M.

M. Dierolf, A. Menzel, P. Thibault, P. Schneider, C. M. Kewish, R. Wepf, O. Bunk, and F. Pfeiffer, Nature 467, 436 (2010).
[Crossref]

Klenke, A.

S. Hädrich, A. Klenke, J. Rothhardt, M. Krebs, A. Hoffmann, O. Pronin, V. Pervak, J. Limpert, and A. Tünnermann, Nat. Photonics 8, 779 (2014).
[Crossref]

Krausz, F.

P. B. Corkum and F. Krausz, Nat. Phys. 3, 381 (2007).
[Crossref]

Krebs, M.

S. Hädrich, A. Klenke, J. Rothhardt, M. Krebs, A. Hoffmann, O. Pronin, V. Pervak, J. Limpert, and A. Tünnermann, Nat. Photonics 8, 779 (2014).
[Crossref]

S. Fuchs, C. Rödel, M. Krebs, S. Hädrich, J. Bierbach, A. E. Paz, S. Kuschel, M. Wünsche, V. Hilbert, U. Zastrau, E. Förster, J. Limpert, and G. G. Paulus, Rev. Sci. Instrum. 84, 023101 (2013).
[Crossref]

Kuschel, S.

S. Fuchs, C. Rödel, M. Krebs, S. Hädrich, J. Bierbach, A. E. Paz, S. Kuschel, M. Wünsche, V. Hilbert, U. Zastrau, E. Förster, J. Limpert, and G. G. Paulus, Rev. Sci. Instrum. 84, 023101 (2013).
[Crossref]

L’Huillier, A.

M. Ferray, A. L’Huillier, X. F. Li, L. A. Lompre, G. Mainfray, and C. Manus, J. Phys. B 21, L31 (1988).
[Crossref]

Larabell, C. A.

M. A. Le Gros, G. McDermott, B. P. Cinquin, E. A. Smith, M. Do, W. L. Chao, P. P. Naulleau, and C. A. Larabell, J. Synchrotron Radiat. 21, 1370 (2014).
[Crossref]

Le, T.

Le Gros, M. A.

M. A. Le Gros, G. McDermott, B. P. Cinquin, E. A. Smith, M. Do, W. L. Chao, P. P. Naulleau, and C. A. Larabell, J. Synchrotron Radiat. 21, 1370 (2014).
[Crossref]

Lee, J. Y.

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

Leitgeb, R.

Leone, S. R.

M. Schultze, K. Ramasesha, C. D. Pemmaraju, S. A. Sato, D. Whitmore, A. Gandman, J. S. Prell, L. J. Borja, D. Prendergast, K. Yabana, D. M. Neumark, and S. R. Leone, Science 346, 1348 (2014).
[Crossref]

Li, X. F.

M. Ferray, A. L’Huillier, X. F. Li, L. A. Lompre, G. Mainfray, and C. Manus, J. Phys. B 21, L31 (1988).
[Crossref]

Liddle, J. A.

W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, E. H. Anderson, and D. T. Attwood, Nature 435, 1210 (2005).
[Crossref]

Limpert, J.

S. Hädrich, A. Klenke, J. Rothhardt, M. Krebs, A. Hoffmann, O. Pronin, V. Pervak, J. Limpert, and A. Tünnermann, Nat. Photonics 8, 779 (2014).
[Crossref]

S. Fuchs, C. Rödel, M. Krebs, S. Hädrich, J. Bierbach, A. E. Paz, S. Kuschel, M. Wünsche, V. Hilbert, U. Zastrau, E. Förster, J. Limpert, and G. G. Paulus, Rev. Sci. Instrum. 84, 023101 (2013).
[Crossref]

Lin, C.

D. Huang, E. Swanson, C. Lin, J. Schuman, W. Stinson, W. Chang, M. Hee, T. Flotte, K. Gregory, C. Puliafito, and J. G. Fujimoto, Science 254, 1178 (1991).
[Crossref]

Lompre, L. A.

M. Ferray, A. L’Huillier, X. F. Li, L. A. Lompre, G. Mainfray, and C. Manus, J. Phys. B 21, L31 (1988).
[Crossref]

Lucy, L. B.

L. B. Lucy, Astron. J. 79, 745 (1974).
[Crossref]

Mainfray, G.

M. Ferray, A. L’Huillier, X. F. Li, L. A. Lompre, G. Mainfray, and C. Manus, J. Phys. B 21, L31 (1988).
[Crossref]

Mancuso, C. A.

Manus, C.

M. Ferray, A. L’Huillier, X. F. Li, L. A. Lompre, G. Mainfray, and C. Manus, J. Phys. B 21, L31 (1988).
[Crossref]

Marchesini, S.

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

McDermott, G.

M. A. Le Gros, G. McDermott, B. P. Cinquin, E. A. Smith, M. Do, W. L. Chao, P. P. Naulleau, and C. A. Larabell, J. Synchrotron Radiat. 21, 1370 (2014).
[Crossref]

Menzel, A.

M. Dierolf, A. Menzel, P. Thibault, P. Schneider, C. M. Kewish, R. Wepf, O. Bunk, and F. Pfeiffer, Nature 467, 436 (2010).
[Crossref]

Möller, M.

Murnane, M. M.

Nathanael, J.

Naulleau, P. P.

M. A. Le Gros, G. McDermott, B. P. Cinquin, E. A. Smith, M. Do, W. L. Chao, P. P. Naulleau, and C. A. Larabell, J. Synchrotron Radiat. 21, 1370 (2014).
[Crossref]

Neumark, D. M.

M. Schultze, K. Ramasesha, C. D. Pemmaraju, S. A. Sato, D. Whitmore, A. Gandman, J. S. Prell, L. J. Borja, D. Prendergast, K. Yabana, D. M. Neumark, and S. R. Leone, Science 346, 1348 (2014).
[Crossref]

Nisoli, M.

G. Sansone, L. Poletto, and M. Nisoli, Nat. Photonics 5, 655 (2011).
[Crossref]

G. Sansone, E. Benedetti, F. Calegari, C. Vozzi, L. Avaldi, R. Flammini, L. Poletto, P. Villoresi, C. Altucci, R. Velotta, S. Stagira, S. De Silvestri, and M. Nisoli, Science 314, 443 (2006).
[Crossref]

Nugent, K. A.

H. N. Chapman and K. A. Nugent, Nat. Photonics 4, 833 (2010).
[Crossref]

Otobe, T.

K. Yabana, T. Sugiyama, Y. Shinohara, T. Otobe, and G. F. Bertsch, Phys. Rev. B 85, 045134 (2012).
[Crossref]

Paulus, G. G.

M. Wünsche, S. Fuchs, S. Aull, J. Nathanael, M. Möller, C. Rödel, and G. G. Paulus, Opt. Express 25, 6936 (2017).
[Crossref]

S. Fuchs, C. Rödel, A. Blinne, U. Zastrau, M. Wünsche, V. Hilbert, L. Glaser, J. Viefhaus, E. Frumker, P. Corkum, E. Förster, and G. G. Paulus, Sci. Rep. 6, 20658 (2016).
[Crossref]

S. Fuchs, C. Rödel, M. Krebs, S. Hädrich, J. Bierbach, A. E. Paz, S. Kuschel, M. Wünsche, V. Hilbert, U. Zastrau, E. Förster, J. Limpert, and G. G. Paulus, Rev. Sci. Instrum. 84, 023101 (2013).
[Crossref]

Paz, A. E.

S. Fuchs, C. Rödel, M. Krebs, S. Hädrich, J. Bierbach, A. E. Paz, S. Kuschel, M. Wünsche, V. Hilbert, U. Zastrau, E. Förster, J. Limpert, and G. G. Paulus, Rev. Sci. Instrum. 84, 023101 (2013).
[Crossref]

Pemmaraju, C. D.

M. Schultze, K. Ramasesha, C. D. Pemmaraju, S. A. Sato, D. Whitmore, A. Gandman, J. S. Prell, L. J. Borja, D. Prendergast, K. Yabana, D. M. Neumark, and S. R. Leone, Science 346, 1348 (2014).
[Crossref]

Pervak, V.

S. Hädrich, A. Klenke, J. Rothhardt, M. Krebs, A. Hoffmann, O. Pronin, V. Pervak, J. Limpert, and A. Tünnermann, Nat. Photonics 8, 779 (2014).
[Crossref]

Peterson, K. A.

Pfeiffer, F.

M. Dierolf, A. Menzel, P. Thibault, P. Schneider, C. M. Kewish, R. Wepf, O. Bunk, and F. Pfeiffer, Nature 467, 436 (2010).
[Crossref]

Plonka, G.

R. Beinert and G. Plonka, J. Fourier Anal. Appl. 21, 1169 (2015).
[Crossref]

Poletto, L.

G. Sansone, L. Poletto, and M. Nisoli, Nat. Photonics 5, 655 (2011).
[Crossref]

G. Sansone, E. Benedetti, F. Calegari, C. Vozzi, L. Avaldi, R. Flammini, L. Poletto, P. Villoresi, C. Altucci, R. Velotta, S. Stagira, S. De Silvestri, and M. Nisoli, Science 314, 443 (2006).
[Crossref]

Porter, C. L.

Prell, J. S.

M. Schultze, K. Ramasesha, C. D. Pemmaraju, S. A. Sato, D. Whitmore, A. Gandman, J. S. Prell, L. J. Borja, D. Prendergast, K. Yabana, D. M. Neumark, and S. R. Leone, Science 346, 1348 (2014).
[Crossref]

Prendergast, D.

M. Schultze, K. Ramasesha, C. D. Pemmaraju, S. A. Sato, D. Whitmore, A. Gandman, J. S. Prell, L. J. Borja, D. Prendergast, K. Yabana, D. M. Neumark, and S. R. Leone, Science 346, 1348 (2014).
[Crossref]

Pronin, O.

S. Hädrich, A. Klenke, J. Rothhardt, M. Krebs, A. Hoffmann, O. Pronin, V. Pervak, J. Limpert, and A. Tünnermann, Nat. Photonics 8, 779 (2014).
[Crossref]

Puliafito, C.

D. Huang, E. Swanson, C. Lin, J. Schuman, W. Stinson, W. Chang, M. Hee, T. Flotte, K. Gregory, C. Puliafito, and J. G. Fujimoto, Science 254, 1178 (1991).
[Crossref]

Ramasesha, K.

M. Schultze, K. Ramasesha, C. D. Pemmaraju, S. A. Sato, D. Whitmore, A. Gandman, J. S. Prell, L. J. Borja, D. Prendergast, K. Yabana, D. M. Neumark, and S. R. Leone, Science 346, 1348 (2014).
[Crossref]

Richardson, W. H.

Rödel, C.

M. Wünsche, S. Fuchs, S. Aull, J. Nathanael, M. Möller, C. Rödel, and G. G. Paulus, Opt. Express 25, 6936 (2017).
[Crossref]

S. Fuchs, C. Rödel, A. Blinne, U. Zastrau, M. Wünsche, V. Hilbert, L. Glaser, J. Viefhaus, E. Frumker, P. Corkum, E. Förster, and G. G. Paulus, Sci. Rep. 6, 20658 (2016).
[Crossref]

S. Fuchs, C. Rödel, M. Krebs, S. Hädrich, J. Bierbach, A. E. Paz, S. Kuschel, M. Wünsche, V. Hilbert, U. Zastrau, E. Förster, J. Limpert, and G. G. Paulus, Rev. Sci. Instrum. 84, 023101 (2013).
[Crossref]

Rothhardt, J.

S. Hädrich, A. Klenke, J. Rothhardt, M. Krebs, A. Hoffmann, O. Pronin, V. Pervak, J. Limpert, and A. Tünnermann, Nat. Photonics 8, 779 (2014).
[Crossref]

Sakdinawat, A. E.

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

Salmassi, F.

Sansone, G.

G. Sansone, L. Poletto, and M. Nisoli, Nat. Photonics 5, 655 (2011).
[Crossref]

G. Sansone, E. Benedetti, F. Calegari, C. Vozzi, L. Avaldi, R. Flammini, L. Poletto, P. Villoresi, C. Altucci, R. Velotta, S. Stagira, S. De Silvestri, and M. Nisoli, Science 314, 443 (2006).
[Crossref]

Sato, S. A.

M. Schultze, K. Ramasesha, C. D. Pemmaraju, S. A. Sato, D. Whitmore, A. Gandman, J. S. Prell, L. J. Borja, D. Prendergast, K. Yabana, D. M. Neumark, and S. R. Leone, Science 346, 1348 (2014).
[Crossref]

Saxton, W. O.

R. W. Gerchberg and W. O. Saxton, Optik 35, 237 (1972).

Schäfer, F. P.

J. Jasny, U. Teubner, W. Theobald, C. Wulker, J. Bergmann, and F. P. Schäfer, Rev. Sci. Instrum. 65, 1631 (1994).
[Crossref]

Schneider, P.

M. Dierolf, A. Menzel, P. Thibault, P. Schneider, C. M. Kewish, R. Wepf, O. Bunk, and F. Pfeiffer, Nature 467, 436 (2010).
[Crossref]

Schultze, M.

M. Schultze, K. Ramasesha, C. D. Pemmaraju, S. A. Sato, D. Whitmore, A. Gandman, J. S. Prell, L. J. Borja, D. Prendergast, K. Yabana, D. M. Neumark, and S. R. Leone, Science 346, 1348 (2014).
[Crossref]

Schuman, J.

D. Huang, E. Swanson, C. Lin, J. Schuman, W. Stinson, W. Chang, M. Hee, T. Flotte, K. Gregory, C. Puliafito, and J. G. Fujimoto, Science 254, 1178 (1991).
[Crossref]

Seaberg, M. D.

Seaberg, M. H.

Seibert, M. M.

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

Shaevitz, J. W.

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

Shanblatt, E. R.

Shapiro, D. A.

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

Shaw, J. M.

Shinohara, Y.

K. Yabana, T. Sugiyama, Y. Shinohara, T. Otobe, and G. F. Bertsch, Phys. Rev. B 85, 045134 (2012).
[Crossref]

Smith, E. A.

M. A. Le Gros, G. McDermott, B. P. Cinquin, E. A. Smith, M. Do, W. L. Chao, P. P. Naulleau, and C. A. Larabell, J. Synchrotron Radiat. 21, 1370 (2014).
[Crossref]

Spence, J. C. H.

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

Stagira, S.

G. Sansone, E. Benedetti, F. Calegari, C. Vozzi, L. Avaldi, R. Flammini, L. Poletto, P. Villoresi, C. Altucci, R. Velotta, S. Stagira, S. De Silvestri, and M. Nisoli, Science 314, 443 (2006).
[Crossref]

Stingl, A.

Stinson, W.

D. Huang, E. Swanson, C. Lin, J. Schuman, W. Stinson, W. Chang, M. Hee, T. Flotte, K. Gregory, C. Puliafito, and J. G. Fujimoto, Science 254, 1178 (1991).
[Crossref]

Stöhr, J.

J. Stöhr, NEXAFS Spectroscopy, Vol. 25 of Springer Series in Surface Sciences (Springer, 1992).

Sugiyama, T.

K. Yabana, T. Sugiyama, Y. Shinohara, T. Otobe, and G. F. Bertsch, Phys. Rev. B 85, 045134 (2012).
[Crossref]

Swanson, E.

D. Huang, E. Swanson, C. Lin, J. Schuman, W. Stinson, W. Chang, M. Hee, T. Flotte, K. Gregory, C. Puliafito, and J. G. Fujimoto, Science 254, 1178 (1991).
[Crossref]

Szöke, A.

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

Teubner, U.

J. Jasny, U. Teubner, W. Theobald, C. Wulker, J. Bergmann, and F. P. Schäfer, Rev. Sci. Instrum. 65, 1631 (1994).
[Crossref]

Theobald, W.

J. Jasny, U. Teubner, W. Theobald, C. Wulker, J. Bergmann, and F. P. Schäfer, Rev. Sci. Instrum. 65, 1631 (1994).
[Crossref]

Thibault, P.

M. Dierolf, A. Menzel, P. Thibault, P. Schneider, C. M. Kewish, R. Wepf, O. Bunk, and F. Pfeiffer, Nature 467, 436 (2010).
[Crossref]

Tünnermann, A.

S. Hädrich, A. Klenke, J. Rothhardt, M. Krebs, A. Hoffmann, O. Pronin, V. Pervak, J. Limpert, and A. Tünnermann, Nat. Photonics 8, 779 (2014).
[Crossref]

Unterhuber, A.

Vakhtin, A. B.

Velotta, R.

G. Sansone, E. Benedetti, F. Calegari, C. Vozzi, L. Avaldi, R. Flammini, L. Poletto, P. Villoresi, C. Altucci, R. Velotta, S. Stagira, S. De Silvestri, and M. Nisoli, Science 314, 443 (2006).
[Crossref]

Viefhaus, J.

S. Fuchs, C. Rödel, A. Blinne, U. Zastrau, M. Wünsche, V. Hilbert, L. Glaser, J. Viefhaus, E. Frumker, P. Corkum, E. Förster, and G. G. Paulus, Sci. Rep. 6, 20658 (2016).
[Crossref]

Villoresi, P.

G. Sansone, E. Benedetti, F. Calegari, C. Vozzi, L. Avaldi, R. Flammini, L. Poletto, P. Villoresi, C. Altucci, R. Velotta, S. Stagira, S. De Silvestri, and M. Nisoli, Science 314, 443 (2006).
[Crossref]

Vozzi, C.

G. Sansone, E. Benedetti, F. Calegari, C. Vozzi, L. Avaldi, R. Flammini, L. Poletto, P. Villoresi, C. Altucci, R. Velotta, S. Stagira, S. De Silvestri, and M. Nisoli, Science 314, 443 (2006).
[Crossref]

Wepf, R.

M. Dierolf, A. Menzel, P. Thibault, P. Schneider, C. M. Kewish, R. Wepf, O. Bunk, and F. Pfeiffer, Nature 467, 436 (2010).
[Crossref]

Whitmore, D.

M. Schultze, K. Ramasesha, C. D. Pemmaraju, S. A. Sato, D. Whitmore, A. Gandman, J. S. Prell, L. J. Borja, D. Prendergast, K. Yabana, D. M. Neumark, and S. R. Leone, Science 346, 1348 (2014).
[Crossref]

Wood, W. R.

Wulker, C.

J. Jasny, U. Teubner, W. Theobald, C. Wulker, J. Bergmann, and F. P. Schäfer, Rev. Sci. Instrum. 65, 1631 (1994).
[Crossref]

Wünsche, M.

M. Wünsche, S. Fuchs, S. Aull, J. Nathanael, M. Möller, C. Rödel, and G. G. Paulus, Opt. Express 25, 6936 (2017).
[Crossref]

S. Fuchs, C. Rödel, A. Blinne, U. Zastrau, M. Wünsche, V. Hilbert, L. Glaser, J. Viefhaus, E. Frumker, P. Corkum, E. Förster, and G. G. Paulus, Sci. Rep. 6, 20658 (2016).
[Crossref]

S. Fuchs, C. Rödel, M. Krebs, S. Hädrich, J. Bierbach, A. E. Paz, S. Kuschel, M. Wünsche, V. Hilbert, U. Zastrau, E. Förster, J. Limpert, and G. G. Paulus, Rev. Sci. Instrum. 84, 023101 (2013).
[Crossref]

Yabana, K.

M. Schultze, K. Ramasesha, C. D. Pemmaraju, S. A. Sato, D. Whitmore, A. Gandman, J. S. Prell, L. J. Borja, D. Prendergast, K. Yabana, D. M. Neumark, and S. R. Leone, Science 346, 1348 (2014).
[Crossref]

K. Yabana, T. Sugiyama, Y. Shinohara, T. Otobe, and G. F. Bertsch, Phys. Rev. B 85, 045134 (2012).
[Crossref]

Zastrau, U.

S. Fuchs, C. Rödel, A. Blinne, U. Zastrau, M. Wünsche, V. Hilbert, L. Glaser, J. Viefhaus, E. Frumker, P. Corkum, E. Förster, and G. G. Paulus, Sci. Rep. 6, 20658 (2016).
[Crossref]

S. Fuchs, C. Rödel, M. Krebs, S. Hädrich, J. Bierbach, A. E. Paz, S. Kuschel, M. Wünsche, V. Hilbert, U. Zastrau, E. Förster, J. Limpert, and G. G. Paulus, Rev. Sci. Instrum. 84, 023101 (2013).
[Crossref]

Zhang, B.

Zhao, K.

M. Chini, K. Zhao, and Z. Chang, Nat. Photonics 8, 178 (2014).
[Crossref]

Appl. Opt. (1)

Astron. J. (1)

L. B. Lucy, Astron. J. 79, 745 (1974).
[Crossref]

At. Data Nucl. Data Tables (1)

B. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, At. Data Nucl. Data Tables 54, 181 (1993).
[Crossref]

J. Fourier Anal. Appl. (1)

R. Beinert and G. Plonka, J. Fourier Anal. Appl. 21, 1169 (2015).
[Crossref]

J. Opt. Soc. Am. (1)

J. Phys. B (1)

M. Ferray, A. L’Huillier, X. F. Li, L. A. Lompre, G. Mainfray, and C. Manus, J. Phys. B 21, L31 (1988).
[Crossref]

J. Synchrotron Radiat. (1)

M. A. Le Gros, G. McDermott, B. P. Cinquin, E. A. Smith, M. Do, W. L. Chao, P. P. Naulleau, and C. A. Larabell, J. Synchrotron Radiat. 21, 1370 (2014).
[Crossref]

Nat. Photonics (5)

G. Sansone, L. Poletto, and M. Nisoli, Nat. Photonics 5, 655 (2011).
[Crossref]

S. Hädrich, A. Klenke, J. Rothhardt, M. Krebs, A. Hoffmann, O. Pronin, V. Pervak, J. Limpert, and A. Tünnermann, Nat. Photonics 8, 779 (2014).
[Crossref]

S. Marchesini, S. Boutet, A. E. Sakdinawat, M. J. Bogan, S. Bajt, A. Barty, H. N. Chapman, M. Frank, S. P. Hau-Riege, A. Szöke, C. Cui, D. A. Shapiro, M. R. Howells, J. C. H. Spence, J. W. Shaevitz, J. Y. Lee, J. Hajdu, and M. M. Seibert, Nat. Photonics 2, 560 (2008).
[Crossref]

H. N. Chapman and K. A. Nugent, Nat. Photonics 4, 833 (2010).
[Crossref]

M. Chini, K. Zhao, and Z. Chang, Nat. Photonics 8, 178 (2014).
[Crossref]

Nat. Phys. (1)

P. B. Corkum and F. Krausz, Nat. Phys. 3, 381 (2007).
[Crossref]

Nature (2)

W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, E. H. Anderson, and D. T. Attwood, Nature 435, 1210 (2005).
[Crossref]

M. Dierolf, A. Menzel, P. Thibault, P. Schneider, C. M. Kewish, R. Wepf, O. Bunk, and F. Pfeiffer, Nature 467, 436 (2010).
[Crossref]

Opt. Express (5)

Opt. Lett. (1)

Optik (1)

R. W. Gerchberg and W. O. Saxton, Optik 35, 237 (1972).

Phys. Rev. B (1)

K. Yabana, T. Sugiyama, Y. Shinohara, T. Otobe, and G. F. Bertsch, Phys. Rev. B 85, 045134 (2012).
[Crossref]

Rev. Sci. Instrum. (2)

S. Fuchs, C. Rödel, M. Krebs, S. Hädrich, J. Bierbach, A. E. Paz, S. Kuschel, M. Wünsche, V. Hilbert, U. Zastrau, E. Förster, J. Limpert, and G. G. Paulus, Rev. Sci. Instrum. 84, 023101 (2013).
[Crossref]

J. Jasny, U. Teubner, W. Theobald, C. Wulker, J. Bergmann, and F. P. Schäfer, Rev. Sci. Instrum. 65, 1631 (1994).
[Crossref]

Sci. Rep. (1)

S. Fuchs, C. Rödel, A. Blinne, U. Zastrau, M. Wünsche, V. Hilbert, L. Glaser, J. Viefhaus, E. Frumker, P. Corkum, E. Förster, and G. G. Paulus, Sci. Rep. 6, 20658 (2016).
[Crossref]

Science (3)

D. Huang, E. Swanson, C. Lin, J. Schuman, W. Stinson, W. Chang, M. Hee, T. Flotte, K. Gregory, C. Puliafito, and J. G. Fujimoto, Science 254, 1178 (1991).
[Crossref]

M. Schultze, K. Ramasesha, C. D. Pemmaraju, S. A. Sato, D. Whitmore, A. Gandman, J. S. Prell, L. J. Borja, D. Prendergast, K. Yabana, D. M. Neumark, and S. R. Leone, Science 346, 1348 (2014).
[Crossref]

G. Sansone, E. Benedetti, F. Calegari, C. Vozzi, L. Avaldi, R. Flammini, L. Poletto, P. Villoresi, C. Altucci, R. Velotta, S. Stagira, S. De Silvestri, and M. Nisoli, Science 314, 443 (2006).
[Crossref]

Other (1)

J. Stöhr, NEXAFS Spectroscopy, Vol. 25 of Springer Series in Surface Sciences (Springer, 1992).

Supplementary Material (4)

NameDescription
» Supplement 1       supplementary notes 1-7
» Visualization 1       3D Tomogram XCT
» Visualization 2       3D Tomogram PR-XCT
» Visualization 3       3D Tomogram deconvolved PR-XCT

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1.
Fig. 1.

Experimental setup. (a) A Ti:Sa laser system is used to pump a three-stage OPA. The signal beam of the OPA is focused ( f = 30    cm ) into an argon gas tube to generate high harmonics. The XUV radiation is then filtered from the laser with a 200 nm thin Al foil and focused by a toroidal mirror ( f = 40    cm ) onto the sample’s surface to a spot size of approximately 20 μm. Another toroidal mirror ( f = 36    cm ) images this point through a transmission grating ( 1000    lines / mm ) onto an XUV CCD sensor to record the spectrum [13]. (b) A broadband ( Δ ω 40    eV ) and sufficiently flat XUV source spectrum is created by continuously sweeping the OPA wavelength in steps of 10 nm [14]. The average power integrated over the full bandwidth is 0.3    μW [15]. For three-dimensional imaging, the sample is scanned with respect to the XUV focus.

Fig. 2.
Fig. 2.

Tomogram of a three-dimensional structured sample with two gold layers buried in silicon. The layer at 330 nm depth is a tiny fraction of a photograph showing the edge of a building’s window. XCT measurements were performed on 1800 lateral scanning points in an area of 960    μm × 420    μm with 15 μm step size in approximately 6.5 h. (a) 3D image reconstructed by Fourier transformation (see Visualization 1). (b) The same in the front view. Visible are the two gold layers (Au), where the upper one contains the letters “XCT” as well as three additional layers closer to the surface. Ghost layer g 2 was expected and appears at a depth equal to the depth difference of the gold layers. The existence of the SiO 2 layer was discovered by XCT. This layer also explains ghost layer g1. Panels (c) and (d) show the 3D image of the same data set reconstructed by a three-step phase-retrieval algorithm (see Visualization 2). The ghost structures are almost completely gone. The images in panels (e) and (f) are also reconstructed by phase retrieval but are additionally deconvolved by the point spread function of the Kaiser–Bessel Fourier window via a Lucy–Richardson [21,22] algorithm (see Visualization 3). The depth accuracy is better than 4 nm. The axial resolution, i.e., the ability to resolve two layers, is approximately 24 nm and the lateral resolution is 23 μm due to the size of the XUV focus (see Fig. 4).

Fig. 3.
Fig. 3.

SEM and TEM images of the sample displayed in Fig. 2. A thin slice was cut out of the sample by a focused ion beam. The two gold layers are visible in both exposures. However, the SiO 2 layer readily visible in the XCT is only discernible in the TEM image and even there is only barely shown (blue arrows). Besides this layer at 162 nm depth, there is another SiO 2 layer at the depth (330 nm) of the lower gold layer. While the former was inadvertently created, the existence of the latter was expected.

Fig. 4.
Fig. 4.

Lateral resolution of the tomogram. (a) Cross section through the sample at the depth of the upper gold layer (225 nm) in comparison with the designed structure in (c). Most features can be resolved, except for the smallest structures of the vertical bar of the letter “ T .” Panel (b) shows a line out at y = 150    μm . The width (FWHM) of the upper part of the letter “ C ” is approximately 23 μm and defines the lateral resolution.

Metrics