Abstract

We demonstrate the first (to our knowledge) general purpose full-field reflection-mode extreme ultraviolet (EUV) microscope based on coherent diffractive imaging. This microscope is capable of nanoscale amplitude and phase imaging of extended surfaces at an arbitrary angle of incidence in a noncontact, nondestructive manner. We use coherent light at 29.5 nm from high-harmonic upconversion to illuminate a surface, directly recording the scatter as the surface is scanned. Ptychographic reconstruction is then combined with tilted plane correction to obtain an image with amplitude and phase information. The image quality and detail from this diffraction-limited tabletop EUV microscope compares favorably with both scanning electron microscope and atomic force microscope images. The result is a general and completely extensible imaging technique that can provide a comprehensive and definitive characterization of how light at any wavelength scatters from a surface, with imminent feasibility of elemental imaging with few-nanometer resolution.

© 2014 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. J.  Miao, P.  Charalambous, J.  Kirz, “Extending the methodology of x-ray crystallography to allow imaging of micrometre-sized non-crystalline specimens,” Nature 400, 342–344 (1999).
    [CrossRef]
  2. M. D.  Seaberg, D. E.  Adams, E. L.  Townsend, D. A.  Raymondson, W. F.  Schlotter, Y.  Liu, C. S.  Menoni, L.  Rong, C.-C.  Chen, J.  Miao, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrahigh 22  nm resolution coherent diffractive imaging using a desktop 13  nm high harmonic source,” Opt. Express 19, 22470–22479 (2011).
    [CrossRef]
  3. H.  Jiang, C.  Song, C.-C.  Chen, R.  Xu, K. S.  Raines, B. P.  Fahimian, C.-H.  Lu, T.-K.  Lee, A.  Nakashima, J.  Urano, T.  Ishikawa, F.  Tamanoi, J.  Miao, “Quantitative 3D imaging of whole, unstained cells by using x-ray diffraction microscopy,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 11234–11239 (2010).
    [CrossRef]
  4. J.  Nelson, X.  Huang, J.  Steinbrener, D.  Shapiro, J.  Kirz, S.  Marchesini, A. M.  Neiman, J. J.  Turner, C.  Jacobsen, “High-resolution x-ray diffraction microscopy of specifically labeled yeast cells,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 7235–7239 (2010).
    [CrossRef]
  5. J. N.  Clark, L.  Beitra, G.  Xiong, A.  Higginbotham, D. M.  Fritz, H. T.  Lemke, D.  Zhu, M.  Chollet, G. J.  Williams, M.  Messerschmidt, B.  Abbey, R. J.  Harder, A. M.  Korsunsky, J. S.  Wark, I. K.  Robinson, “Ultrafast three-dimensional imaging of lattice dynamics in individual gold nanocrystals,” Science 341, 56–59 (2013).
    [CrossRef]
  6. J. J.  Turner, X.  Huang, O.  Krupin, K. A.  Seu, D.  Parks, S.  Kevan, E.  Lima, K.  Kisslinger, I.  McNulty, R.  Gambino, S.  Mangin, S.  Roy, P.  Fischer, “X-ray diffraction microscopy of magnetic structures,” Phys. Rev. Lett. 107, 033904 (2011).
    [CrossRef]
  7. R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).
  8. T.  Harada, M.  Nakasuji, Y.  Nagata, T.  Watanabe, H.  Kinoshita, “Phase imaging of extreme-ultraviolet mask using coherent extreme-ultraviolet scatterometry microscope,” Jpn. J. Appl. Phys. 52, 06GB02 (2013).
    [CrossRef]
  9. S.  Roy, D.  Parks, K. A.  Seu, R.  Su, J. J.  Turner, W.  Chao, E. H.  Anderson, S.  Cabrini, S. D.  Kevan, “Lensless x-ray imaging in reflection geometry,” Nat. Photonics 5, 243–245 (2011).
    [CrossRef]
  10. M.  Zürch, C.  Kern, C.  Spielmann, “XUV coherent diffraction imaging in reflection geometry with low numerical aperture,” Opt. Express 21, 21131–21147 (2013).
    [CrossRef]
  11. T.  Sun, Z.  Jiang, J.  Strzalka, L.  Ocola, J.  Wang, “Three-dimensional coherent x-ray surface scattering imaging near total external reflection,” Nat. Photonics 6, 586–590 (2012).
    [CrossRef]
  12. A. M.  Maiden, J. M.  Rodenburg, “An improved ptychographical phase retrieval algorithm for diffractive imaging,” Ultramicroscopy 109, 1256–1262 (2009).
    [CrossRef]
  13. D. J.  Vine, G. J.  Williams, B.  Abbey, M. A.  Pfeifer, J. N.  Clark, M. D.  de Jonge, I.  McNulty, A. G.  Peele, K. A.  Nugent, “Ptychographic Fresnel coherent diffractive imaging,” Phys. Rev. A 80, 063823 (2009).
    [CrossRef]
  14. M. J.  Humphry, B.  Kraus, A. C.  Hurst, A. M.  Maiden, J. M.  Rodenburg, “Ptychographic electron microscopy using high-angle dark-field scattering for sub-nanometre resolution imaging,” Nat. Commun. 3, 730 (2012).
    [CrossRef]
  15. D. F.  Gardner, B.  Zhang, M. D.  Seaberg, L. S.  Martin, D. E.  Adams, F.  Salmassi, E.  Gullikson, H.  Kapteyn, M.  Murnane, “High numerical aperture reflection mode coherent diffraction microscopy using off-axis apertured illumination,” Opt. Express 20, 19050–19059 (2012).
    [CrossRef]
  16. D.  Claus, D. J.  Robinson, D. G.  Chetwynd, Y.  Shuo, W. T.  Pike, J. J.  De, J. T.  Garcia, J. M.  Rodenburg, “Dual wavelength optical metrology using ptychography,” J. Opt. 15, 035702 (2013).
    [CrossRef]
  17. F.  Zhang, I.  Peterson, J.  Vila-comamala, A.  Diaz, R.  Bean, B.  Chen, A.  Menzel, I. K.  Robinson, J. M.  Rodenburg, “Translation position determination in ptychographic coherent diffraction imaging,” Opt. Express 21, 13592–13606 (2013).
    [CrossRef]
  18. T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
    [CrossRef]
  19. D.  Nardi, M.  Travagliati, M. E.  Siemens, Q.  Li, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, G.  Ferrini, F.  Parmigiani, F.  Banfi, “Probing thermomechanics at the nanoscale: impulsively excited pseudosurface acoustic waves in hypersonic phononic crystals,” Nano Lett. 11, 4126–4133 (2011).
    [CrossRef]
  20. S.  Mathias, C.  La-o-vorakiat, J. M.  Shaw, E.  Turgut, P.  Grychtol, R.  Adam, D.  Rudolf, H. T.  Nembach, T. J.  Silva, M.  Aeschlimann, C. M.  Schneider, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrafast element-specific magnetization dynamics of complex magnetic materials on a table-top,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 189, 164–170 (2013).
    [CrossRef]
  21. P.  Godard, G.  Carbone, M.  Allain, F.  Mastropietro, G.  Chen, L.  Capello, A.  Diaz, T. H.  Metzger, J.  Stangl, V.  Chamard, “Three-dimensional high-resolution quantitative microscopy of extended crystals,” Nat. Commun. 2, 568 (2011).
    [CrossRef]
  22. S. O.  Hruszkewycz, M. V.  Holt, C. E.  Murray, J.  Bruley, J.  Holt, A.  Tripathi, O. G.  Shpyrko, I.  McNulty, M. J.  Highland, P. H.  Fuoss, “Quantitative nanoscale imaging of lattice distortions in epitaxial semiconductor heterostructures using nanofocused x-ray Bragg projection ptychography,” Nano Lett. 12, 5148–5154 (2012).
    [CrossRef]
  23. R. A.  Bartels, A.  Paul, H.  Green, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, S.  Backus, I. P.  Christov, Y.  Liu, D.  Attwood, C.  Jacobsen, “Generation of spatially coherent light at extreme ultraviolet wavelengths,” Science 297, 376–378 (2002).
  24. P.  Thibault, M.  Dierolf, O.  Bunk, A.  Menzel, F.  Pfeiffer, “Probe retrieval in ptychographic coherent diffractive imaging,” Ultramicroscopy 109, 338–343 (2009).
    [CrossRef]
  25. A. M.  Maiden, M. J.  Humphry, F.  Zhang, J. M.  Rodenburg, “Superresolution imaging via ptychography,” J. Opt. Soc. Am. A 28, 604–612 (2011).
    [CrossRef]
  26. M.  Born, E.  Wolf, Principles of Optics, 7th ed. (Cambridge University, 1999).
  27. B. L.  Henke, E. M.  Gullikson, J. C.  Davis, “X-ray interactions: photoabsorption, scattering, transmission, and reflection at E = 50–30,000  eV, Z = 1-92,” At. Data Nucl. Data Tables 54, 181–342 (1993).
    [CrossRef]
  28. T.  Ohtsuka, M.  Masuda, N.  Sato, “Ellipsometric study of anodic oxide films on titanium in hydrochloric acid, sulfuric acid, and phosphate solution,” J. Electrochem. Soc. 132, 787–792 (1985).
    [CrossRef]
  29. M.  Advincula, X.  Fan, J.  Lemons, R.  Advincula, “Surface modification of surface sol-gel derived titanium oxide films by self-assembled monolayers (SAMs) and non-specific protein adsorption studies,” Colloids Surf. B: Biointerfaces 42, 29–43 (2005).
  30. G.  Haugstad, Atomic Force Microscopy: Understanding Basic Modes and Advanced Applications (Wiley, 2012).
  31. D. J.  Batey, D.  Claus, J. M.  Rodenburg, “Information multiplexing in ptychography,” Ultramicroscopy 138, 13–21 (2014).
    [CrossRef]
  32. B.  Abbey, K. A.  Nugent, G. J.  Williams, J. N.  Clark, A. G.  Peele, M. A.  Pfeifer, M.  de Jonge, I.  McNulty, “Keyhole coherent diffractive imaging,” Nat. Phys. 4, 394–398 (2008).
    [CrossRef]
  33. B.  Zhang, M. D.  Seaberg, D. E.  Adams, D. F.  Gardner, E. R.  Shanblatt, J. M.  Shaw, W.  Chao, E. M.  Gullikson, F.  Salmassi, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Full field tabletop EUV coherent diffractive imaging in a transmission geometry,” Opt. Express 21, 21970–21980 (2013).
    [CrossRef]

2014

D. J.  Batey, D.  Claus, J. M.  Rodenburg, “Information multiplexing in ptychography,” Ultramicroscopy 138, 13–21 (2014).
[CrossRef]

2013

D.  Claus, D. J.  Robinson, D. G.  Chetwynd, Y.  Shuo, W. T.  Pike, J. J.  De, J. T.  Garcia, J. M.  Rodenburg, “Dual wavelength optical metrology using ptychography,” J. Opt. 15, 035702 (2013).
[CrossRef]

F.  Zhang, I.  Peterson, J.  Vila-comamala, A.  Diaz, R.  Bean, B.  Chen, A.  Menzel, I. K.  Robinson, J. M.  Rodenburg, “Translation position determination in ptychographic coherent diffraction imaging,” Opt. Express 21, 13592–13606 (2013).
[CrossRef]

M.  Zürch, C.  Kern, C.  Spielmann, “XUV coherent diffraction imaging in reflection geometry with low numerical aperture,” Opt. Express 21, 21131–21147 (2013).
[CrossRef]

B.  Zhang, M. D.  Seaberg, D. E.  Adams, D. F.  Gardner, E. R.  Shanblatt, J. M.  Shaw, W.  Chao, E. M.  Gullikson, F.  Salmassi, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Full field tabletop EUV coherent diffractive imaging in a transmission geometry,” Opt. Express 21, 21970–21980 (2013).
[CrossRef]

J. N.  Clark, L.  Beitra, G.  Xiong, A.  Higginbotham, D. M.  Fritz, H. T.  Lemke, D.  Zhu, M.  Chollet, G. J.  Williams, M.  Messerschmidt, B.  Abbey, R. J.  Harder, A. M.  Korsunsky, J. S.  Wark, I. K.  Robinson, “Ultrafast three-dimensional imaging of lattice dynamics in individual gold nanocrystals,” Science 341, 56–59 (2013).
[CrossRef]

T.  Harada, M.  Nakasuji, Y.  Nagata, T.  Watanabe, H.  Kinoshita, “Phase imaging of extreme-ultraviolet mask using coherent extreme-ultraviolet scatterometry microscope,” Jpn. J. Appl. Phys. 52, 06GB02 (2013).
[CrossRef]

S.  Mathias, C.  La-o-vorakiat, J. M.  Shaw, E.  Turgut, P.  Grychtol, R.  Adam, D.  Rudolf, H. T.  Nembach, T. J.  Silva, M.  Aeschlimann, C. M.  Schneider, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrafast element-specific magnetization dynamics of complex magnetic materials on a table-top,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 189, 164–170 (2013).
[CrossRef]

2012

M. J.  Humphry, B.  Kraus, A. C.  Hurst, A. M.  Maiden, J. M.  Rodenburg, “Ptychographic electron microscopy using high-angle dark-field scattering for sub-nanometre resolution imaging,” Nat. Commun. 3, 730 (2012).
[CrossRef]

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

S. O.  Hruszkewycz, M. V.  Holt, C. E.  Murray, J.  Bruley, J.  Holt, A.  Tripathi, O. G.  Shpyrko, I.  McNulty, M. J.  Highland, P. H.  Fuoss, “Quantitative nanoscale imaging of lattice distortions in epitaxial semiconductor heterostructures using nanofocused x-ray Bragg projection ptychography,” Nano Lett. 12, 5148–5154 (2012).
[CrossRef]

T.  Sun, Z.  Jiang, J.  Strzalka, L.  Ocola, J.  Wang, “Three-dimensional coherent x-ray surface scattering imaging near total external reflection,” Nat. Photonics 6, 586–590 (2012).
[CrossRef]

D. F.  Gardner, B.  Zhang, M. D.  Seaberg, L. S.  Martin, D. E.  Adams, F.  Salmassi, E.  Gullikson, H.  Kapteyn, M.  Murnane, “High numerical aperture reflection mode coherent diffraction microscopy using off-axis apertured illumination,” Opt. Express 20, 19050–19059 (2012).
[CrossRef]

2011

A. M.  Maiden, M. J.  Humphry, F.  Zhang, J. M.  Rodenburg, “Superresolution imaging via ptychography,” J. Opt. Soc. Am. A 28, 604–612 (2011).
[CrossRef]

M. D.  Seaberg, D. E.  Adams, E. L.  Townsend, D. A.  Raymondson, W. F.  Schlotter, Y.  Liu, C. S.  Menoni, L.  Rong, C.-C.  Chen, J.  Miao, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrahigh 22  nm resolution coherent diffractive imaging using a desktop 13  nm high harmonic source,” Opt. Express 19, 22470–22479 (2011).
[CrossRef]

S.  Roy, D.  Parks, K. A.  Seu, R.  Su, J. J.  Turner, W.  Chao, E. H.  Anderson, S.  Cabrini, S. D.  Kevan, “Lensless x-ray imaging in reflection geometry,” Nat. Photonics 5, 243–245 (2011).
[CrossRef]

J. J.  Turner, X.  Huang, O.  Krupin, K. A.  Seu, D.  Parks, S.  Kevan, E.  Lima, K.  Kisslinger, I.  McNulty, R.  Gambino, S.  Mangin, S.  Roy, P.  Fischer, “X-ray diffraction microscopy of magnetic structures,” Phys. Rev. Lett. 107, 033904 (2011).
[CrossRef]

D.  Nardi, M.  Travagliati, M. E.  Siemens, Q.  Li, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, G.  Ferrini, F.  Parmigiani, F.  Banfi, “Probing thermomechanics at the nanoscale: impulsively excited pseudosurface acoustic waves in hypersonic phononic crystals,” Nano Lett. 11, 4126–4133 (2011).
[CrossRef]

P.  Godard, G.  Carbone, M.  Allain, F.  Mastropietro, G.  Chen, L.  Capello, A.  Diaz, T. H.  Metzger, J.  Stangl, V.  Chamard, “Three-dimensional high-resolution quantitative microscopy of extended crystals,” Nat. Commun. 2, 568 (2011).
[CrossRef]

2010

H.  Jiang, C.  Song, C.-C.  Chen, R.  Xu, K. S.  Raines, B. P.  Fahimian, C.-H.  Lu, T.-K.  Lee, A.  Nakashima, J.  Urano, T.  Ishikawa, F.  Tamanoi, J.  Miao, “Quantitative 3D imaging of whole, unstained cells by using x-ray diffraction microscopy,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 11234–11239 (2010).
[CrossRef]

J.  Nelson, X.  Huang, J.  Steinbrener, D.  Shapiro, J.  Kirz, S.  Marchesini, A. M.  Neiman, J. J.  Turner, C.  Jacobsen, “High-resolution x-ray diffraction microscopy of specifically labeled yeast cells,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 7235–7239 (2010).
[CrossRef]

2009

A. M.  Maiden, J. M.  Rodenburg, “An improved ptychographical phase retrieval algorithm for diffractive imaging,” Ultramicroscopy 109, 1256–1262 (2009).
[CrossRef]

D. J.  Vine, G. J.  Williams, B.  Abbey, M. A.  Pfeifer, J. N.  Clark, M. D.  de Jonge, I.  McNulty, A. G.  Peele, K. A.  Nugent, “Ptychographic Fresnel coherent diffractive imaging,” Phys. Rev. A 80, 063823 (2009).
[CrossRef]

P.  Thibault, M.  Dierolf, O.  Bunk, A.  Menzel, F.  Pfeiffer, “Probe retrieval in ptychographic coherent diffractive imaging,” Ultramicroscopy 109, 338–343 (2009).
[CrossRef]

2008

B.  Abbey, K. A.  Nugent, G. J.  Williams, J. N.  Clark, A. G.  Peele, M. A.  Pfeifer, M.  de Jonge, I.  McNulty, “Keyhole coherent diffractive imaging,” Nat. Phys. 4, 394–398 (2008).
[CrossRef]

2005

M.  Advincula, X.  Fan, J.  Lemons, R.  Advincula, “Surface modification of surface sol-gel derived titanium oxide films by self-assembled monolayers (SAMs) and non-specific protein adsorption studies,” Colloids Surf. B: Biointerfaces 42, 29–43 (2005).

2002

R. A.  Bartels, A.  Paul, H.  Green, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, S.  Backus, I. P.  Christov, Y.  Liu, D.  Attwood, C.  Jacobsen, “Generation of spatially coherent light at extreme ultraviolet wavelengths,” Science 297, 376–378 (2002).

1999

J.  Miao, P.  Charalambous, J.  Kirz, “Extending the methodology of x-ray crystallography to allow imaging of micrometre-sized non-crystalline specimens,” Nature 400, 342–344 (1999).
[CrossRef]

1993

B. L.  Henke, E. M.  Gullikson, J. C.  Davis, “X-ray interactions: photoabsorption, scattering, transmission, and reflection at E = 50–30,000  eV, Z = 1-92,” At. Data Nucl. Data Tables 54, 181–342 (1993).
[CrossRef]

1985

T.  Ohtsuka, M.  Masuda, N.  Sato, “Ellipsometric study of anodic oxide films on titanium in hydrochloric acid, sulfuric acid, and phosphate solution,” J. Electrochem. Soc. 132, 787–792 (1985).
[CrossRef]

Abbey, B.

J. N.  Clark, L.  Beitra, G.  Xiong, A.  Higginbotham, D. M.  Fritz, H. T.  Lemke, D.  Zhu, M.  Chollet, G. J.  Williams, M.  Messerschmidt, B.  Abbey, R. J.  Harder, A. M.  Korsunsky, J. S.  Wark, I. K.  Robinson, “Ultrafast three-dimensional imaging of lattice dynamics in individual gold nanocrystals,” Science 341, 56–59 (2013).
[CrossRef]

D. J.  Vine, G. J.  Williams, B.  Abbey, M. A.  Pfeifer, J. N.  Clark, M. D.  de Jonge, I.  McNulty, A. G.  Peele, K. A.  Nugent, “Ptychographic Fresnel coherent diffractive imaging,” Phys. Rev. A 80, 063823 (2009).
[CrossRef]

B.  Abbey, K. A.  Nugent, G. J.  Williams, J. N.  Clark, A. G.  Peele, M. A.  Pfeifer, M.  de Jonge, I.  McNulty, “Keyhole coherent diffractive imaging,” Nat. Phys. 4, 394–398 (2008).
[CrossRef]

Adam, R.

S.  Mathias, C.  La-o-vorakiat, J. M.  Shaw, E.  Turgut, P.  Grychtol, R.  Adam, D.  Rudolf, H. T.  Nembach, T. J.  Silva, M.  Aeschlimann, C. M.  Schneider, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrafast element-specific magnetization dynamics of complex magnetic materials on a table-top,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 189, 164–170 (2013).
[CrossRef]

Adams, D. E.

Advincula, M.

M.  Advincula, X.  Fan, J.  Lemons, R.  Advincula, “Surface modification of surface sol-gel derived titanium oxide films by self-assembled monolayers (SAMs) and non-specific protein adsorption studies,” Colloids Surf. B: Biointerfaces 42, 29–43 (2005).

Advincula, R.

M.  Advincula, X.  Fan, J.  Lemons, R.  Advincula, “Surface modification of surface sol-gel derived titanium oxide films by self-assembled monolayers (SAMs) and non-specific protein adsorption studies,” Colloids Surf. B: Biointerfaces 42, 29–43 (2005).

Aeschlimann, M.

S.  Mathias, C.  La-o-vorakiat, J. M.  Shaw, E.  Turgut, P.  Grychtol, R.  Adam, D.  Rudolf, H. T.  Nembach, T. J.  Silva, M.  Aeschlimann, C. M.  Schneider, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrafast element-specific magnetization dynamics of complex magnetic materials on a table-top,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 189, 164–170 (2013).
[CrossRef]

Alisauskas, S.

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

Allain, M.

P.  Godard, G.  Carbone, M.  Allain, F.  Mastropietro, G.  Chen, L.  Capello, A.  Diaz, T. H.  Metzger, J.  Stangl, V.  Chamard, “Three-dimensional high-resolution quantitative microscopy of extended crystals,” Nat. Commun. 2, 568 (2011).
[CrossRef]

Anderson, E. H.

S.  Roy, D.  Parks, K. A.  Seu, R.  Su, J. J.  Turner, W.  Chao, E. H.  Anderson, S.  Cabrini, S. D.  Kevan, “Lensless x-ray imaging in reflection geometry,” Nat. Photonics 5, 243–245 (2011).
[CrossRef]

Andriukaitis, G.

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

Arpin, P.

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

Attwood, D.

R. A.  Bartels, A.  Paul, H.  Green, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, S.  Backus, I. P.  Christov, Y.  Liu, D.  Attwood, C.  Jacobsen, “Generation of spatially coherent light at extreme ultraviolet wavelengths,” Science 297, 376–378 (2002).

Backus, S.

R. A.  Bartels, A.  Paul, H.  Green, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, S.  Backus, I. P.  Christov, Y.  Liu, D.  Attwood, C.  Jacobsen, “Generation of spatially coherent light at extreme ultraviolet wavelengths,” Science 297, 376–378 (2002).

Balciunas, T.

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

Baltuska, A.

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

Banfi, F.

D.  Nardi, M.  Travagliati, M. E.  Siemens, Q.  Li, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, G.  Ferrini, F.  Parmigiani, F.  Banfi, “Probing thermomechanics at the nanoscale: impulsively excited pseudosurface acoustic waves in hypersonic phononic crystals,” Nano Lett. 11, 4126–4133 (2011).
[CrossRef]

Bartels, R. A.

R. A.  Bartels, A.  Paul, H.  Green, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, S.  Backus, I. P.  Christov, Y.  Liu, D.  Attwood, C.  Jacobsen, “Generation of spatially coherent light at extreme ultraviolet wavelengths,” Science 297, 376–378 (2002).

Batey, D. J.

D. J.  Batey, D.  Claus, J. M.  Rodenburg, “Information multiplexing in ptychography,” Ultramicroscopy 138, 13–21 (2014).
[CrossRef]

Bean, R.

Becker, A.

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

Beitra, L.

J. N.  Clark, L.  Beitra, G.  Xiong, A.  Higginbotham, D. M.  Fritz, H. T.  Lemke, D.  Zhu, M.  Chollet, G. J.  Williams, M.  Messerschmidt, B.  Abbey, R. J.  Harder, A. M.  Korsunsky, J. S.  Wark, I. K.  Robinson, “Ultrafast three-dimensional imaging of lattice dynamics in individual gold nanocrystals,” Science 341, 56–59 (2013).
[CrossRef]

Born, M.

M.  Born, E.  Wolf, Principles of Optics, 7th ed. (Cambridge University, 1999).

Brown, S.

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

Bruley, J.

S. O.  Hruszkewycz, M. V.  Holt, C. E.  Murray, J.  Bruley, J.  Holt, A.  Tripathi, O. G.  Shpyrko, I.  McNulty, M. J.  Highland, P. H.  Fuoss, “Quantitative nanoscale imaging of lattice distortions in epitaxial semiconductor heterostructures using nanofocused x-ray Bragg projection ptychography,” Nano Lett. 12, 5148–5154 (2012).
[CrossRef]

Bunk, O.

P.  Thibault, M.  Dierolf, O.  Bunk, A.  Menzel, F.  Pfeiffer, “Probe retrieval in ptychographic coherent diffractive imaging,” Ultramicroscopy 109, 338–343 (2009).
[CrossRef]

Cabrini, S.

S.  Roy, D.  Parks, K. A.  Seu, R.  Su, J. J.  Turner, W.  Chao, E. H.  Anderson, S.  Cabrini, S. D.  Kevan, “Lensless x-ray imaging in reflection geometry,” Nat. Photonics 5, 243–245 (2011).
[CrossRef]

Capello, L.

P.  Godard, G.  Carbone, M.  Allain, F.  Mastropietro, G.  Chen, L.  Capello, A.  Diaz, T. H.  Metzger, J.  Stangl, V.  Chamard, “Three-dimensional high-resolution quantitative microscopy of extended crystals,” Nat. Commun. 2, 568 (2011).
[CrossRef]

Carbone, G.

P.  Godard, G.  Carbone, M.  Allain, F.  Mastropietro, G.  Chen, L.  Capello, A.  Diaz, T. H.  Metzger, J.  Stangl, V.  Chamard, “Three-dimensional high-resolution quantitative microscopy of extended crystals,” Nat. Commun. 2, 568 (2011).
[CrossRef]

Chamard, V.

P.  Godard, G.  Carbone, M.  Allain, F.  Mastropietro, G.  Chen, L.  Capello, A.  Diaz, T. H.  Metzger, J.  Stangl, V.  Chamard, “Three-dimensional high-resolution quantitative microscopy of extended crystals,” Nat. Commun. 2, 568 (2011).
[CrossRef]

Chao, W.

Charalambous, P.

J.  Miao, P.  Charalambous, J.  Kirz, “Extending the methodology of x-ray crystallography to allow imaging of micrometre-sized non-crystalline specimens,” Nature 400, 342–344 (1999).
[CrossRef]

Chen, B.

Chen, C.-C.

M. D.  Seaberg, D. E.  Adams, E. L.  Townsend, D. A.  Raymondson, W. F.  Schlotter, Y.  Liu, C. S.  Menoni, L.  Rong, C.-C.  Chen, J.  Miao, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrahigh 22  nm resolution coherent diffractive imaging using a desktop 13  nm high harmonic source,” Opt. Express 19, 22470–22479 (2011).
[CrossRef]

H.  Jiang, C.  Song, C.-C.  Chen, R.  Xu, K. S.  Raines, B. P.  Fahimian, C.-H.  Lu, T.-K.  Lee, A.  Nakashima, J.  Urano, T.  Ishikawa, F.  Tamanoi, J.  Miao, “Quantitative 3D imaging of whole, unstained cells by using x-ray diffraction microscopy,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 11234–11239 (2010).
[CrossRef]

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Chen, G.

P.  Godard, G.  Carbone, M.  Allain, F.  Mastropietro, G.  Chen, L.  Capello, A.  Diaz, T. H.  Metzger, J.  Stangl, V.  Chamard, “Three-dimensional high-resolution quantitative microscopy of extended crystals,” Nat. Commun. 2, 568 (2011).
[CrossRef]

Chen, M.-C.

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

Chetwynd, D. G.

D.  Claus, D. J.  Robinson, D. G.  Chetwynd, Y.  Shuo, W. T.  Pike, J. J.  De, J. T.  Garcia, J. M.  Rodenburg, “Dual wavelength optical metrology using ptychography,” J. Opt. 15, 035702 (2013).
[CrossRef]

Chollet, M.

J. N.  Clark, L.  Beitra, G.  Xiong, A.  Higginbotham, D. M.  Fritz, H. T.  Lemke, D.  Zhu, M.  Chollet, G. J.  Williams, M.  Messerschmidt, B.  Abbey, R. J.  Harder, A. M.  Korsunsky, J. S.  Wark, I. K.  Robinson, “Ultrafast three-dimensional imaging of lattice dynamics in individual gold nanocrystals,” Science 341, 56–59 (2013).
[CrossRef]

Christov, I. P.

R. A.  Bartels, A.  Paul, H.  Green, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, S.  Backus, I. P.  Christov, Y.  Liu, D.  Attwood, C.  Jacobsen, “Generation of spatially coherent light at extreme ultraviolet wavelengths,” Science 297, 376–378 (2002).

Clark, J. N.

J. N.  Clark, L.  Beitra, G.  Xiong, A.  Higginbotham, D. M.  Fritz, H. T.  Lemke, D.  Zhu, M.  Chollet, G. J.  Williams, M.  Messerschmidt, B.  Abbey, R. J.  Harder, A. M.  Korsunsky, J. S.  Wark, I. K.  Robinson, “Ultrafast three-dimensional imaging of lattice dynamics in individual gold nanocrystals,” Science 341, 56–59 (2013).
[CrossRef]

D. J.  Vine, G. J.  Williams, B.  Abbey, M. A.  Pfeifer, J. N.  Clark, M. D.  de Jonge, I.  McNulty, A. G.  Peele, K. A.  Nugent, “Ptychographic Fresnel coherent diffractive imaging,” Phys. Rev. A 80, 063823 (2009).
[CrossRef]

B.  Abbey, K. A.  Nugent, G. J.  Williams, J. N.  Clark, A. G.  Peele, M. A.  Pfeifer, M.  de Jonge, I.  McNulty, “Keyhole coherent diffractive imaging,” Nat. Phys. 4, 394–398 (2008).
[CrossRef]

Claus, D.

D. J.  Batey, D.  Claus, J. M.  Rodenburg, “Information multiplexing in ptychography,” Ultramicroscopy 138, 13–21 (2014).
[CrossRef]

D.  Claus, D. J.  Robinson, D. G.  Chetwynd, Y.  Shuo, W. T.  Pike, J. J.  De, J. T.  Garcia, J. M.  Rodenburg, “Dual wavelength optical metrology using ptychography,” J. Opt. 15, 035702 (2013).
[CrossRef]

Davis, J. C.

B. L.  Henke, E. M.  Gullikson, J. C.  Davis, “X-ray interactions: photoabsorption, scattering, transmission, and reflection at E = 50–30,000  eV, Z = 1-92,” At. Data Nucl. Data Tables 54, 181–342 (1993).
[CrossRef]

De, J. J.

D.  Claus, D. J.  Robinson, D. G.  Chetwynd, Y.  Shuo, W. T.  Pike, J. J.  De, J. T.  Garcia, J. M.  Rodenburg, “Dual wavelength optical metrology using ptychography,” J. Opt. 15, 035702 (2013).
[CrossRef]

de Jonge, M.

B.  Abbey, K. A.  Nugent, G. J.  Williams, J. N.  Clark, A. G.  Peele, M. A.  Pfeifer, M.  de Jonge, I.  McNulty, “Keyhole coherent diffractive imaging,” Nat. Phys. 4, 394–398 (2008).
[CrossRef]

de Jonge, M. D.

D. J.  Vine, G. J.  Williams, B.  Abbey, M. A.  Pfeifer, J. N.  Clark, M. D.  de Jonge, I.  McNulty, A. G.  Peele, K. A.  Nugent, “Ptychographic Fresnel coherent diffractive imaging,” Phys. Rev. A 80, 063823 (2009).
[CrossRef]

Diaz, A.

F.  Zhang, I.  Peterson, J.  Vila-comamala, A.  Diaz, R.  Bean, B.  Chen, A.  Menzel, I. K.  Robinson, J. M.  Rodenburg, “Translation position determination in ptychographic coherent diffraction imaging,” Opt. Express 21, 13592–13606 (2013).
[CrossRef]

P.  Godard, G.  Carbone, M.  Allain, F.  Mastropietro, G.  Chen, L.  Capello, A.  Diaz, T. H.  Metzger, J.  Stangl, V.  Chamard, “Three-dimensional high-resolution quantitative microscopy of extended crystals,” Nat. Commun. 2, 568 (2011).
[CrossRef]

Dierolf, M.

P.  Thibault, M.  Dierolf, O.  Bunk, A.  Menzel, F.  Pfeiffer, “Probe retrieval in ptychographic coherent diffractive imaging,” Ultramicroscopy 109, 338–343 (2009).
[CrossRef]

Fahimian, B. P.

H.  Jiang, C.  Song, C.-C.  Chen, R.  Xu, K. S.  Raines, B. P.  Fahimian, C.-H.  Lu, T.-K.  Lee, A.  Nakashima, J.  Urano, T.  Ishikawa, F.  Tamanoi, J.  Miao, “Quantitative 3D imaging of whole, unstained cells by using x-ray diffraction microscopy,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 11234–11239 (2010).
[CrossRef]

Fan, J.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Fan, X.

M.  Advincula, X.  Fan, J.  Lemons, R.  Advincula, “Surface modification of surface sol-gel derived titanium oxide films by self-assembled monolayers (SAMs) and non-specific protein adsorption studies,” Colloids Surf. B: Biointerfaces 42, 29–43 (2005).

Ferrini, G.

D.  Nardi, M.  Travagliati, M. E.  Siemens, Q.  Li, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, G.  Ferrini, F.  Parmigiani, F.  Banfi, “Probing thermomechanics at the nanoscale: impulsively excited pseudosurface acoustic waves in hypersonic phononic crystals,” Nano Lett. 11, 4126–4133 (2011).
[CrossRef]

Fischer, P.

J. J.  Turner, X.  Huang, O.  Krupin, K. A.  Seu, D.  Parks, S.  Kevan, E.  Lima, K.  Kisslinger, I.  McNulty, R.  Gambino, S.  Mangin, S.  Roy, P.  Fischer, “X-ray diffraction microscopy of magnetic structures,” Phys. Rev. Lett. 107, 033904 (2011).
[CrossRef]

Fritz, D. M.

J. N.  Clark, L.  Beitra, G.  Xiong, A.  Higginbotham, D. M.  Fritz, H. T.  Lemke, D.  Zhu, M.  Chollet, G. J.  Williams, M.  Messerschmidt, B.  Abbey, R. J.  Harder, A. M.  Korsunsky, J. S.  Wark, I. K.  Robinson, “Ultrafast three-dimensional imaging of lattice dynamics in individual gold nanocrystals,” Science 341, 56–59 (2013).
[CrossRef]

Fuoss, P. H.

S. O.  Hruszkewycz, M. V.  Holt, C. E.  Murray, J.  Bruley, J.  Holt, A.  Tripathi, O. G.  Shpyrko, I.  McNulty, M. J.  Highland, P. H.  Fuoss, “Quantitative nanoscale imaging of lattice distortions in epitaxial semiconductor heterostructures using nanofocused x-ray Bragg projection ptychography,” Nano Lett. 12, 5148–5154 (2012).
[CrossRef]

Gaeta, A.

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

Gallagher-Jones, M.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Gambino, R.

J. J.  Turner, X.  Huang, O.  Krupin, K. A.  Seu, D.  Parks, S.  Kevan, E.  Lima, K.  Kisslinger, I.  McNulty, R.  Gambino, S.  Mangin, S.  Roy, P.  Fischer, “X-ray diffraction microscopy of magnetic structures,” Phys. Rev. Lett. 107, 033904 (2011).
[CrossRef]

Garcia, J. T.

D.  Claus, D. J.  Robinson, D. G.  Chetwynd, Y.  Shuo, W. T.  Pike, J. J.  De, J. T.  Garcia, J. M.  Rodenburg, “Dual wavelength optical metrology using ptychography,” J. Opt. 15, 035702 (2013).
[CrossRef]

Gardner, D. F.

Godard, P.

P.  Godard, G.  Carbone, M.  Allain, F.  Mastropietro, G.  Chen, L.  Capello, A.  Diaz, T. H.  Metzger, J.  Stangl, V.  Chamard, “Three-dimensional high-resolution quantitative microscopy of extended crystals,” Nat. Commun. 2, 568 (2011).
[CrossRef]

Green, H.

R. A.  Bartels, A.  Paul, H.  Green, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, S.  Backus, I. P.  Christov, Y.  Liu, D.  Attwood, C.  Jacobsen, “Generation of spatially coherent light at extreme ultraviolet wavelengths,” Science 297, 376–378 (2002).

Grychtol, P.

S.  Mathias, C.  La-o-vorakiat, J. M.  Shaw, E.  Turgut, P.  Grychtol, R.  Adam, D.  Rudolf, H. T.  Nembach, T. J.  Silva, M.  Aeschlimann, C. M.  Schneider, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrafast element-specific magnetization dynamics of complex magnetic materials on a table-top,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 189, 164–170 (2013).
[CrossRef]

Gullikson, E.

Gullikson, E. M.

B.  Zhang, M. D.  Seaberg, D. E.  Adams, D. F.  Gardner, E. R.  Shanblatt, J. M.  Shaw, W.  Chao, E. M.  Gullikson, F.  Salmassi, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Full field tabletop EUV coherent diffractive imaging in a transmission geometry,” Opt. Express 21, 21970–21980 (2013).
[CrossRef]

B. L.  Henke, E. M.  Gullikson, J. C.  Davis, “X-ray interactions: photoabsorption, scattering, transmission, and reflection at E = 50–30,000  eV, Z = 1-92,” At. Data Nucl. Data Tables 54, 181–342 (1993).
[CrossRef]

Harada, T.

T.  Harada, M.  Nakasuji, Y.  Nagata, T.  Watanabe, H.  Kinoshita, “Phase imaging of extreme-ultraviolet mask using coherent extreme-ultraviolet scatterometry microscope,” Jpn. J. Appl. Phys. 52, 06GB02 (2013).
[CrossRef]

Harder, R. J.

J. N.  Clark, L.  Beitra, G.  Xiong, A.  Higginbotham, D. M.  Fritz, H. T.  Lemke, D.  Zhu, M.  Chollet, G. J.  Williams, M.  Messerschmidt, B.  Abbey, R. J.  Harder, A. M.  Korsunsky, J. S.  Wark, I. K.  Robinson, “Ultrafast three-dimensional imaging of lattice dynamics in individual gold nanocrystals,” Science 341, 56–59 (2013).
[CrossRef]

Hatsui, T.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Haugstad, G.

G.  Haugstad, Atomic Force Microscopy: Understanding Basic Modes and Advanced Applications (Wiley, 2012).

Henke, B. L.

B. L.  Henke, E. M.  Gullikson, J. C.  Davis, “X-ray interactions: photoabsorption, scattering, transmission, and reflection at E = 50–30,000  eV, Z = 1-92,” At. Data Nucl. Data Tables 54, 181–342 (1993).
[CrossRef]

Hernández-Garíca, C.

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

Higginbotham, A.

J. N.  Clark, L.  Beitra, G.  Xiong, A.  Higginbotham, D. M.  Fritz, H. T.  Lemke, D.  Zhu, M.  Chollet, G. J.  Williams, M.  Messerschmidt, B.  Abbey, R. J.  Harder, A. M.  Korsunsky, J. S.  Wark, I. K.  Robinson, “Ultrafast three-dimensional imaging of lattice dynamics in individual gold nanocrystals,” Science 341, 56–59 (2013).
[CrossRef]

Highland, M. J.

S. O.  Hruszkewycz, M. V.  Holt, C. E.  Murray, J.  Bruley, J.  Holt, A.  Tripathi, O. G.  Shpyrko, I.  McNulty, M. J.  Highland, P. H.  Fuoss, “Quantitative nanoscale imaging of lattice distortions in epitaxial semiconductor heterostructures using nanofocused x-ray Bragg projection ptychography,” Nano Lett. 12, 5148–5154 (2012).
[CrossRef]

Holt, J.

S. O.  Hruszkewycz, M. V.  Holt, C. E.  Murray, J.  Bruley, J.  Holt, A.  Tripathi, O. G.  Shpyrko, I.  McNulty, M. J.  Highland, P. H.  Fuoss, “Quantitative nanoscale imaging of lattice distortions in epitaxial semiconductor heterostructures using nanofocused x-ray Bragg projection ptychography,” Nano Lett. 12, 5148–5154 (2012).
[CrossRef]

Holt, M. V.

S. O.  Hruszkewycz, M. V.  Holt, C. E.  Murray, J.  Bruley, J.  Holt, A.  Tripathi, O. G.  Shpyrko, I.  McNulty, M. J.  Highland, P. H.  Fuoss, “Quantitative nanoscale imaging of lattice distortions in epitaxial semiconductor heterostructures using nanofocused x-ray Bragg projection ptychography,” Nano Lett. 12, 5148–5154 (2012).
[CrossRef]

Hruszkewycz, S. O.

S. O.  Hruszkewycz, M. V.  Holt, C. E.  Murray, J.  Bruley, J.  Holt, A.  Tripathi, O. G.  Shpyrko, I.  McNulty, M. J.  Highland, P. H.  Fuoss, “Quantitative nanoscale imaging of lattice distortions in epitaxial semiconductor heterostructures using nanofocused x-ray Bragg projection ptychography,” Nano Lett. 12, 5148–5154 (2012).
[CrossRef]

Huang, X.

J. J.  Turner, X.  Huang, O.  Krupin, K. A.  Seu, D.  Parks, S.  Kevan, E.  Lima, K.  Kisslinger, I.  McNulty, R.  Gambino, S.  Mangin, S.  Roy, P.  Fischer, “X-ray diffraction microscopy of magnetic structures,” Phys. Rev. Lett. 107, 033904 (2011).
[CrossRef]

J.  Nelson, X.  Huang, J.  Steinbrener, D.  Shapiro, J.  Kirz, S.  Marchesini, A. M.  Neiman, J. J.  Turner, C.  Jacobsen, “High-resolution x-ray diffraction microscopy of specifically labeled yeast cells,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 7235–7239 (2010).
[CrossRef]

Huang, Z.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Humphry, M. J.

M. J.  Humphry, B.  Kraus, A. C.  Hurst, A. M.  Maiden, J. M.  Rodenburg, “Ptychographic electron microscopy using high-angle dark-field scattering for sub-nanometre resolution imaging,” Nat. Commun. 3, 730 (2012).
[CrossRef]

A. M.  Maiden, M. J.  Humphry, F.  Zhang, J. M.  Rodenburg, “Superresolution imaging via ptychography,” J. Opt. Soc. Am. A 28, 604–612 (2011).
[CrossRef]

Hurst, A. C.

M. J.  Humphry, B.  Kraus, A. C.  Hurst, A. M.  Maiden, J. M.  Rodenburg, “Ptychographic electron microscopy using high-angle dark-field scattering for sub-nanometre resolution imaging,” Nat. Commun. 3, 730 (2012).
[CrossRef]

Inubushi, Y.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Ishikawa, T.

H.  Jiang, C.  Song, C.-C.  Chen, R.  Xu, K. S.  Raines, B. P.  Fahimian, C.-H.  Lu, T.-K.  Lee, A.  Nakashima, J.  Urano, T.  Ishikawa, F.  Tamanoi, J.  Miao, “Quantitative 3D imaging of whole, unstained cells by using x-ray diffraction microscopy,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 11234–11239 (2010).
[CrossRef]

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Jacobsen, C.

J.  Nelson, X.  Huang, J.  Steinbrener, D.  Shapiro, J.  Kirz, S.  Marchesini, A. M.  Neiman, J. J.  Turner, C.  Jacobsen, “High-resolution x-ray diffraction microscopy of specifically labeled yeast cells,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 7235–7239 (2010).
[CrossRef]

R. A.  Bartels, A.  Paul, H.  Green, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, S.  Backus, I. P.  Christov, Y.  Liu, D.  Attwood, C.  Jacobsen, “Generation of spatially coherent light at extreme ultraviolet wavelengths,” Science 297, 376–378 (2002).

Jaron-Becker, A.

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

Jiang, H.

H.  Jiang, C.  Song, C.-C.  Chen, R.  Xu, K. S.  Raines, B. P.  Fahimian, C.-H.  Lu, T.-K.  Lee, A.  Nakashima, J.  Urano, T.  Ishikawa, F.  Tamanoi, J.  Miao, “Quantitative 3D imaging of whole, unstained cells by using x-ray diffraction microscopy,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 11234–11239 (2010).
[CrossRef]

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Jiang, Z.

T.  Sun, Z.  Jiang, J.  Strzalka, L.  Ocola, J.  Wang, “Three-dimensional coherent x-ray surface scattering imaging near total external reflection,” Nat. Photonics 6, 586–590 (2012).
[CrossRef]

Kameshima, T.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Kapteyn, H.

Kapteyn, H. C.

B.  Zhang, M. D.  Seaberg, D. E.  Adams, D. F.  Gardner, E. R.  Shanblatt, J. M.  Shaw, W.  Chao, E. M.  Gullikson, F.  Salmassi, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Full field tabletop EUV coherent diffractive imaging in a transmission geometry,” Opt. Express 21, 21970–21980 (2013).
[CrossRef]

S.  Mathias, C.  La-o-vorakiat, J. M.  Shaw, E.  Turgut, P.  Grychtol, R.  Adam, D.  Rudolf, H. T.  Nembach, T. J.  Silva, M.  Aeschlimann, C. M.  Schneider, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrafast element-specific magnetization dynamics of complex magnetic materials on a table-top,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 189, 164–170 (2013).
[CrossRef]

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

D.  Nardi, M.  Travagliati, M. E.  Siemens, Q.  Li, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, G.  Ferrini, F.  Parmigiani, F.  Banfi, “Probing thermomechanics at the nanoscale: impulsively excited pseudosurface acoustic waves in hypersonic phononic crystals,” Nano Lett. 11, 4126–4133 (2011).
[CrossRef]

M. D.  Seaberg, D. E.  Adams, E. L.  Townsend, D. A.  Raymondson, W. F.  Schlotter, Y.  Liu, C. S.  Menoni, L.  Rong, C.-C.  Chen, J.  Miao, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrahigh 22  nm resolution coherent diffractive imaging using a desktop 13  nm high harmonic source,” Opt. Express 19, 22470–22479 (2011).
[CrossRef]

R. A.  Bartels, A.  Paul, H.  Green, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, S.  Backus, I. P.  Christov, Y.  Liu, D.  Attwood, C.  Jacobsen, “Generation of spatially coherent light at extreme ultraviolet wavelengths,” Science 297, 376–378 (2002).

Kern, C.

Kevan, S.

J. J.  Turner, X.  Huang, O.  Krupin, K. A.  Seu, D.  Parks, S.  Kevan, E.  Lima, K.  Kisslinger, I.  McNulty, R.  Gambino, S.  Mangin, S.  Roy, P.  Fischer, “X-ray diffraction microscopy of magnetic structures,” Phys. Rev. Lett. 107, 033904 (2011).
[CrossRef]

Kevan, S. D.

S.  Roy, D.  Parks, K. A.  Seu, R.  Su, J. J.  Turner, W.  Chao, E. H.  Anderson, S.  Cabrini, S. D.  Kevan, “Lensless x-ray imaging in reflection geometry,” Nat. Photonics 5, 243–245 (2011).
[CrossRef]

Kim, S.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Kinoshita, H.

T.  Harada, M.  Nakasuji, Y.  Nagata, T.  Watanabe, H.  Kinoshita, “Phase imaging of extreme-ultraviolet mask using coherent extreme-ultraviolet scatterometry microscope,” Jpn. J. Appl. Phys. 52, 06GB02 (2013).
[CrossRef]

Kirz, J.

J.  Nelson, X.  Huang, J.  Steinbrener, D.  Shapiro, J.  Kirz, S.  Marchesini, A. M.  Neiman, J. J.  Turner, C.  Jacobsen, “High-resolution x-ray diffraction microscopy of specifically labeled yeast cells,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 7235–7239 (2010).
[CrossRef]

J.  Miao, P.  Charalambous, J.  Kirz, “Extending the methodology of x-ray crystallography to allow imaging of micrometre-sized non-crystalline specimens,” Nature 400, 342–344 (1999).
[CrossRef]

Kisslinger, K.

J. J.  Turner, X.  Huang, O.  Krupin, K. A.  Seu, D.  Parks, S.  Kevan, E.  Lima, K.  Kisslinger, I.  McNulty, R.  Gambino, S.  Mangin, S.  Roy, P.  Fischer, “X-ray diffraction microscopy of magnetic structures,” Phys. Rev. Lett. 107, 033904 (2011).
[CrossRef]

Korsunsky, A. M.

J. N.  Clark, L.  Beitra, G.  Xiong, A.  Higginbotham, D. M.  Fritz, H. T.  Lemke, D.  Zhu, M.  Chollet, G. J.  Williams, M.  Messerschmidt, B.  Abbey, R. J.  Harder, A. M.  Korsunsky, J. S.  Wark, I. K.  Robinson, “Ultrafast three-dimensional imaging of lattice dynamics in individual gold nanocrystals,” Science 341, 56–59 (2013).
[CrossRef]

Kraus, B.

M. J.  Humphry, B.  Kraus, A. C.  Hurst, A. M.  Maiden, J. M.  Rodenburg, “Ptychographic electron microscopy using high-angle dark-field scattering for sub-nanometre resolution imaging,” Nat. Commun. 3, 730 (2012).
[CrossRef]

Krupin, O.

J. J.  Turner, X.  Huang, O.  Krupin, K. A.  Seu, D.  Parks, S.  Kevan, E.  Lima, K.  Kisslinger, I.  McNulty, R.  Gambino, S.  Mangin, S.  Roy, P.  Fischer, “X-ray diffraction microscopy of magnetic structures,” Phys. Rev. Lett. 107, 033904 (2011).
[CrossRef]

La-o-vorakiat, C.

S.  Mathias, C.  La-o-vorakiat, J. M.  Shaw, E.  Turgut, P.  Grychtol, R.  Adam, D.  Rudolf, H. T.  Nembach, T. J.  Silva, M.  Aeschlimann, C. M.  Schneider, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrafast element-specific magnetization dynamics of complex magnetic materials on a table-top,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 189, 164–170 (2013).
[CrossRef]

Lee, T.-K.

H.  Jiang, C.  Song, C.-C.  Chen, R.  Xu, K. S.  Raines, B. P.  Fahimian, C.-H.  Lu, T.-K.  Lee, A.  Nakashima, J.  Urano, T.  Ishikawa, F.  Tamanoi, J.  Miao, “Quantitative 3D imaging of whole, unstained cells by using x-ray diffraction microscopy,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 11234–11239 (2010).
[CrossRef]

Lemke, H. T.

J. N.  Clark, L.  Beitra, G.  Xiong, A.  Higginbotham, D. M.  Fritz, H. T.  Lemke, D.  Zhu, M.  Chollet, G. J.  Williams, M.  Messerschmidt, B.  Abbey, R. J.  Harder, A. M.  Korsunsky, J. S.  Wark, I. K.  Robinson, “Ultrafast three-dimensional imaging of lattice dynamics in individual gold nanocrystals,” Science 341, 56–59 (2013).
[CrossRef]

Lemons, J.

M.  Advincula, X.  Fan, J.  Lemons, R.  Advincula, “Surface modification of surface sol-gel derived titanium oxide films by self-assembled monolayers (SAMs) and non-specific protein adsorption studies,” Colloids Surf. B: Biointerfaces 42, 29–43 (2005).

Li, Q.

D.  Nardi, M.  Travagliati, M. E.  Siemens, Q.  Li, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, G.  Ferrini, F.  Parmigiani, F.  Banfi, “Probing thermomechanics at the nanoscale: impulsively excited pseudosurface acoustic waves in hypersonic phononic crystals,” Nano Lett. 11, 4126–4133 (2011).
[CrossRef]

Lima, E.

J. J.  Turner, X.  Huang, O.  Krupin, K. A.  Seu, D.  Parks, S.  Kevan, E.  Lima, K.  Kisslinger, I.  McNulty, R.  Gambino, S.  Mangin, S.  Roy, P.  Fischer, “X-ray diffraction microscopy of magnetic structures,” Phys. Rev. Lett. 107, 033904 (2011).
[CrossRef]

Liu, Y.

M. D.  Seaberg, D. E.  Adams, E. L.  Townsend, D. A.  Raymondson, W. F.  Schlotter, Y.  Liu, C. S.  Menoni, L.  Rong, C.-C.  Chen, J.  Miao, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrahigh 22  nm resolution coherent diffractive imaging using a desktop 13  nm high harmonic source,” Opt. Express 19, 22470–22479 (2011).
[CrossRef]

R. A.  Bartels, A.  Paul, H.  Green, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, S.  Backus, I. P.  Christov, Y.  Liu, D.  Attwood, C.  Jacobsen, “Generation of spatially coherent light at extreme ultraviolet wavelengths,” Science 297, 376–378 (2002).

Lu, C.-H.

H.  Jiang, C.  Song, C.-C.  Chen, R.  Xu, K. S.  Raines, B. P.  Fahimian, C.-H.  Lu, T.-K.  Lee, A.  Nakashima, J.  Urano, T.  Ishikawa, F.  Tamanoi, J.  Miao, “Quantitative 3D imaging of whole, unstained cells by using x-ray diffraction microscopy,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 11234–11239 (2010).
[CrossRef]

Maiden, A. M.

M. J.  Humphry, B.  Kraus, A. C.  Hurst, A. M.  Maiden, J. M.  Rodenburg, “Ptychographic electron microscopy using high-angle dark-field scattering for sub-nanometre resolution imaging,” Nat. Commun. 3, 730 (2012).
[CrossRef]

A. M.  Maiden, M. J.  Humphry, F.  Zhang, J. M.  Rodenburg, “Superresolution imaging via ptychography,” J. Opt. Soc. Am. A 28, 604–612 (2011).
[CrossRef]

A. M.  Maiden, J. M.  Rodenburg, “An improved ptychographical phase retrieval algorithm for diffractive imaging,” Ultramicroscopy 109, 1256–1262 (2009).
[CrossRef]

Mangin, S.

J. J.  Turner, X.  Huang, O.  Krupin, K. A.  Seu, D.  Parks, S.  Kevan, E.  Lima, K.  Kisslinger, I.  McNulty, R.  Gambino, S.  Mangin, S.  Roy, P.  Fischer, “X-ray diffraction microscopy of magnetic structures,” Phys. Rev. Lett. 107, 033904 (2011).
[CrossRef]

Marchesini, S.

J.  Nelson, X.  Huang, J.  Steinbrener, D.  Shapiro, J.  Kirz, S.  Marchesini, A. M.  Neiman, J. J.  Turner, C.  Jacobsen, “High-resolution x-ray diffraction microscopy of specifically labeled yeast cells,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 7235–7239 (2010).
[CrossRef]

Martin, L. S.

Mastropietro, F.

P.  Godard, G.  Carbone, M.  Allain, F.  Mastropietro, G.  Chen, L.  Capello, A.  Diaz, T. H.  Metzger, J.  Stangl, V.  Chamard, “Three-dimensional high-resolution quantitative microscopy of extended crystals,” Nat. Commun. 2, 568 (2011).
[CrossRef]

Masuda, M.

T.  Ohtsuka, M.  Masuda, N.  Sato, “Ellipsometric study of anodic oxide films on titanium in hydrochloric acid, sulfuric acid, and phosphate solution,” J. Electrochem. Soc. 132, 787–792 (1985).
[CrossRef]

Mathias, S.

S.  Mathias, C.  La-o-vorakiat, J. M.  Shaw, E.  Turgut, P.  Grychtol, R.  Adam, D.  Rudolf, H. T.  Nembach, T. J.  Silva, M.  Aeschlimann, C. M.  Schneider, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrafast element-specific magnetization dynamics of complex magnetic materials on a table-top,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 189, 164–170 (2013).
[CrossRef]

McNulty, I.

S. O.  Hruszkewycz, M. V.  Holt, C. E.  Murray, J.  Bruley, J.  Holt, A.  Tripathi, O. G.  Shpyrko, I.  McNulty, M. J.  Highland, P. H.  Fuoss, “Quantitative nanoscale imaging of lattice distortions in epitaxial semiconductor heterostructures using nanofocused x-ray Bragg projection ptychography,” Nano Lett. 12, 5148–5154 (2012).
[CrossRef]

J. J.  Turner, X.  Huang, O.  Krupin, K. A.  Seu, D.  Parks, S.  Kevan, E.  Lima, K.  Kisslinger, I.  McNulty, R.  Gambino, S.  Mangin, S.  Roy, P.  Fischer, “X-ray diffraction microscopy of magnetic structures,” Phys. Rev. Lett. 107, 033904 (2011).
[CrossRef]

D. J.  Vine, G. J.  Williams, B.  Abbey, M. A.  Pfeifer, J. N.  Clark, M. D.  de Jonge, I.  McNulty, A. G.  Peele, K. A.  Nugent, “Ptychographic Fresnel coherent diffractive imaging,” Phys. Rev. A 80, 063823 (2009).
[CrossRef]

B.  Abbey, K. A.  Nugent, G. J.  Williams, J. N.  Clark, A. G.  Peele, M. A.  Pfeifer, M.  de Jonge, I.  McNulty, “Keyhole coherent diffractive imaging,” Nat. Phys. 4, 394–398 (2008).
[CrossRef]

Menoni, C. S.

Menzel, A.

Messerschmidt, M.

J. N.  Clark, L.  Beitra, G.  Xiong, A.  Higginbotham, D. M.  Fritz, H. T.  Lemke, D.  Zhu, M.  Chollet, G. J.  Williams, M.  Messerschmidt, B.  Abbey, R. J.  Harder, A. M.  Korsunsky, J. S.  Wark, I. K.  Robinson, “Ultrafast three-dimensional imaging of lattice dynamics in individual gold nanocrystals,” Science 341, 56–59 (2013).
[CrossRef]

Metzger, T. H.

P.  Godard, G.  Carbone, M.  Allain, F.  Mastropietro, G.  Chen, L.  Capello, A.  Diaz, T. H.  Metzger, J.  Stangl, V.  Chamard, “Three-dimensional high-resolution quantitative microscopy of extended crystals,” Nat. Commun. 2, 568 (2011).
[CrossRef]

Miao, J.

M. D.  Seaberg, D. E.  Adams, E. L.  Townsend, D. A.  Raymondson, W. F.  Schlotter, Y.  Liu, C. S.  Menoni, L.  Rong, C.-C.  Chen, J.  Miao, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrahigh 22  nm resolution coherent diffractive imaging using a desktop 13  nm high harmonic source,” Opt. Express 19, 22470–22479 (2011).
[CrossRef]

H.  Jiang, C.  Song, C.-C.  Chen, R.  Xu, K. S.  Raines, B. P.  Fahimian, C.-H.  Lu, T.-K.  Lee, A.  Nakashima, J.  Urano, T.  Ishikawa, F.  Tamanoi, J.  Miao, “Quantitative 3D imaging of whole, unstained cells by using x-ray diffraction microscopy,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 11234–11239 (2010).
[CrossRef]

J.  Miao, P.  Charalambous, J.  Kirz, “Extending the methodology of x-ray crystallography to allow imaging of micrometre-sized non-crystalline specimens,” Nature 400, 342–344 (1999).
[CrossRef]

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Mücke, O. D.

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

Murnane, M.

Murnane, M. M.

B.  Zhang, M. D.  Seaberg, D. E.  Adams, D. F.  Gardner, E. R.  Shanblatt, J. M.  Shaw, W.  Chao, E. M.  Gullikson, F.  Salmassi, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Full field tabletop EUV coherent diffractive imaging in a transmission geometry,” Opt. Express 21, 21970–21980 (2013).
[CrossRef]

S.  Mathias, C.  La-o-vorakiat, J. M.  Shaw, E.  Turgut, P.  Grychtol, R.  Adam, D.  Rudolf, H. T.  Nembach, T. J.  Silva, M.  Aeschlimann, C. M.  Schneider, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrafast element-specific magnetization dynamics of complex magnetic materials on a table-top,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 189, 164–170 (2013).
[CrossRef]

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

D.  Nardi, M.  Travagliati, M. E.  Siemens, Q.  Li, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, G.  Ferrini, F.  Parmigiani, F.  Banfi, “Probing thermomechanics at the nanoscale: impulsively excited pseudosurface acoustic waves in hypersonic phononic crystals,” Nano Lett. 11, 4126–4133 (2011).
[CrossRef]

M. D.  Seaberg, D. E.  Adams, E. L.  Townsend, D. A.  Raymondson, W. F.  Schlotter, Y.  Liu, C. S.  Menoni, L.  Rong, C.-C.  Chen, J.  Miao, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrahigh 22  nm resolution coherent diffractive imaging using a desktop 13  nm high harmonic source,” Opt. Express 19, 22470–22479 (2011).
[CrossRef]

R. A.  Bartels, A.  Paul, H.  Green, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, S.  Backus, I. P.  Christov, Y.  Liu, D.  Attwood, C.  Jacobsen, “Generation of spatially coherent light at extreme ultraviolet wavelengths,” Science 297, 376–378 (2002).

Murray, C. E.

S. O.  Hruszkewycz, M. V.  Holt, C. E.  Murray, J.  Bruley, J.  Holt, A.  Tripathi, O. G.  Shpyrko, I.  McNulty, M. J.  Highland, P. H.  Fuoss, “Quantitative nanoscale imaging of lattice distortions in epitaxial semiconductor heterostructures using nanofocused x-ray Bragg projection ptychography,” Nano Lett. 12, 5148–5154 (2012).
[CrossRef]

Nagata, Y.

T.  Harada, M.  Nakasuji, Y.  Nagata, T.  Watanabe, H.  Kinoshita, “Phase imaging of extreme-ultraviolet mask using coherent extreme-ultraviolet scatterometry microscope,” Jpn. J. Appl. Phys. 52, 06GB02 (2013).
[CrossRef]

Nakasako, M.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Nakashima, A.

H.  Jiang, C.  Song, C.-C.  Chen, R.  Xu, K. S.  Raines, B. P.  Fahimian, C.-H.  Lu, T.-K.  Lee, A.  Nakashima, J.  Urano, T.  Ishikawa, F.  Tamanoi, J.  Miao, “Quantitative 3D imaging of whole, unstained cells by using x-ray diffraction microscopy,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 11234–11239 (2010).
[CrossRef]

Nakasuji, M.

T.  Harada, M.  Nakasuji, Y.  Nagata, T.  Watanabe, H.  Kinoshita, “Phase imaging of extreme-ultraviolet mask using coherent extreme-ultraviolet scatterometry microscope,” Jpn. J. Appl. Phys. 52, 06GB02 (2013).
[CrossRef]

Nam, D.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Nardi, D.

D.  Nardi, M.  Travagliati, M. E.  Siemens, Q.  Li, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, G.  Ferrini, F.  Parmigiani, F.  Banfi, “Probing thermomechanics at the nanoscale: impulsively excited pseudosurface acoustic waves in hypersonic phononic crystals,” Nano Lett. 11, 4126–4133 (2011).
[CrossRef]

Neiman, A. M.

J.  Nelson, X.  Huang, J.  Steinbrener, D.  Shapiro, J.  Kirz, S.  Marchesini, A. M.  Neiman, J. J.  Turner, C.  Jacobsen, “High-resolution x-ray diffraction microscopy of specifically labeled yeast cells,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 7235–7239 (2010).
[CrossRef]

Nelson, J.

J.  Nelson, X.  Huang, J.  Steinbrener, D.  Shapiro, J.  Kirz, S.  Marchesini, A. M.  Neiman, J. J.  Turner, C.  Jacobsen, “High-resolution x-ray diffraction microscopy of specifically labeled yeast cells,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 7235–7239 (2010).
[CrossRef]

Nembach, H. T.

S.  Mathias, C.  La-o-vorakiat, J. M.  Shaw, E.  Turgut, P.  Grychtol, R.  Adam, D.  Rudolf, H. T.  Nembach, T. J.  Silva, M.  Aeschlimann, C. M.  Schneider, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrafast element-specific magnetization dynamics of complex magnetic materials on a table-top,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 189, 164–170 (2013).
[CrossRef]

Nugent, K. A.

D. J.  Vine, G. J.  Williams, B.  Abbey, M. A.  Pfeifer, J. N.  Clark, M. D.  de Jonge, I.  McNulty, A. G.  Peele, K. A.  Nugent, “Ptychographic Fresnel coherent diffractive imaging,” Phys. Rev. A 80, 063823 (2009).
[CrossRef]

B.  Abbey, K. A.  Nugent, G. J.  Williams, J. N.  Clark, A. G.  Peele, M. A.  Pfeifer, M.  de Jonge, I.  McNulty, “Keyhole coherent diffractive imaging,” Nat. Phys. 4, 394–398 (2008).
[CrossRef]

Ocola, L.

T.  Sun, Z.  Jiang, J.  Strzalka, L.  Ocola, J.  Wang, “Three-dimensional coherent x-ray surface scattering imaging near total external reflection,” Nat. Photonics 6, 586–590 (2012).
[CrossRef]

Ohtsuka, T.

T.  Ohtsuka, M.  Masuda, N.  Sato, “Ellipsometric study of anodic oxide films on titanium in hydrochloric acid, sulfuric acid, and phosphate solution,” J. Electrochem. Soc. 132, 787–792 (1985).
[CrossRef]

Oroguchi, T.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Park, J.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Parks, D.

S.  Roy, D.  Parks, K. A.  Seu, R.  Su, J. J.  Turner, W.  Chao, E. H.  Anderson, S.  Cabrini, S. D.  Kevan, “Lensless x-ray imaging in reflection geometry,” Nat. Photonics 5, 243–245 (2011).
[CrossRef]

J. J.  Turner, X.  Huang, O.  Krupin, K. A.  Seu, D.  Parks, S.  Kevan, E.  Lima, K.  Kisslinger, I.  McNulty, R.  Gambino, S.  Mangin, S.  Roy, P.  Fischer, “X-ray diffraction microscopy of magnetic structures,” Phys. Rev. Lett. 107, 033904 (2011).
[CrossRef]

Parmigiani, F.

D.  Nardi, M.  Travagliati, M. E.  Siemens, Q.  Li, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, G.  Ferrini, F.  Parmigiani, F.  Banfi, “Probing thermomechanics at the nanoscale: impulsively excited pseudosurface acoustic waves in hypersonic phononic crystals,” Nano Lett. 11, 4126–4133 (2011).
[CrossRef]

Paul, A.

R. A.  Bartels, A.  Paul, H.  Green, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, S.  Backus, I. P.  Christov, Y.  Liu, D.  Attwood, C.  Jacobsen, “Generation of spatially coherent light at extreme ultraviolet wavelengths,” Science 297, 376–378 (2002).

Peele, A. G.

D. J.  Vine, G. J.  Williams, B.  Abbey, M. A.  Pfeifer, J. N.  Clark, M. D.  de Jonge, I.  McNulty, A. G.  Peele, K. A.  Nugent, “Ptychographic Fresnel coherent diffractive imaging,” Phys. Rev. A 80, 063823 (2009).
[CrossRef]

B.  Abbey, K. A.  Nugent, G. J.  Williams, J. N.  Clark, A. G.  Peele, M. A.  Pfeifer, M.  de Jonge, I.  McNulty, “Keyhole coherent diffractive imaging,” Nat. Phys. 4, 394–398 (2008).
[CrossRef]

Peterson, I.

Pfeifer, M. A.

D. J.  Vine, G. J.  Williams, B.  Abbey, M. A.  Pfeifer, J. N.  Clark, M. D.  de Jonge, I.  McNulty, A. G.  Peele, K. A.  Nugent, “Ptychographic Fresnel coherent diffractive imaging,” Phys. Rev. A 80, 063823 (2009).
[CrossRef]

B.  Abbey, K. A.  Nugent, G. J.  Williams, J. N.  Clark, A. G.  Peele, M. A.  Pfeifer, M.  de Jonge, I.  McNulty, “Keyhole coherent diffractive imaging,” Nat. Phys. 4, 394–398 (2008).
[CrossRef]

Pfeiffer, F.

P.  Thibault, M.  Dierolf, O.  Bunk, A.  Menzel, F.  Pfeiffer, “Probe retrieval in ptychographic coherent diffractive imaging,” Ultramicroscopy 109, 338–343 (2009).
[CrossRef]

Pike, W. T.

D.  Claus, D. J.  Robinson, D. G.  Chetwynd, Y.  Shuo, W. T.  Pike, J. J.  De, J. T.  Garcia, J. M.  Rodenburg, “Dual wavelength optical metrology using ptychography,” J. Opt. 15, 035702 (2013).
[CrossRef]

Plaja, L.

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

Popmintchev, D.

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

Popmintchev, T.

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

Pugzlys, A.

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

Raines, K. S.

H.  Jiang, C.  Song, C.-C.  Chen, R.  Xu, K. S.  Raines, B. P.  Fahimian, C.-H.  Lu, T.-K.  Lee, A.  Nakashima, J.  Urano, T.  Ishikawa, F.  Tamanoi, J.  Miao, “Quantitative 3D imaging of whole, unstained cells by using x-ray diffraction microscopy,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 11234–11239 (2010).
[CrossRef]

Raymondson, D. A.

Robinson, D. J.

D.  Claus, D. J.  Robinson, D. G.  Chetwynd, Y.  Shuo, W. T.  Pike, J. J.  De, J. T.  Garcia, J. M.  Rodenburg, “Dual wavelength optical metrology using ptychography,” J. Opt. 15, 035702 (2013).
[CrossRef]

Robinson, I. K.

J. N.  Clark, L.  Beitra, G.  Xiong, A.  Higginbotham, D. M.  Fritz, H. T.  Lemke, D.  Zhu, M.  Chollet, G. J.  Williams, M.  Messerschmidt, B.  Abbey, R. J.  Harder, A. M.  Korsunsky, J. S.  Wark, I. K.  Robinson, “Ultrafast three-dimensional imaging of lattice dynamics in individual gold nanocrystals,” Science 341, 56–59 (2013).
[CrossRef]

F.  Zhang, I.  Peterson, J.  Vila-comamala, A.  Diaz, R.  Bean, B.  Chen, A.  Menzel, I. K.  Robinson, J. M.  Rodenburg, “Translation position determination in ptychographic coherent diffraction imaging,” Opt. Express 21, 13592–13606 (2013).
[CrossRef]

Rodenburg, J. M.

D. J.  Batey, D.  Claus, J. M.  Rodenburg, “Information multiplexing in ptychography,” Ultramicroscopy 138, 13–21 (2014).
[CrossRef]

F.  Zhang, I.  Peterson, J.  Vila-comamala, A.  Diaz, R.  Bean, B.  Chen, A.  Menzel, I. K.  Robinson, J. M.  Rodenburg, “Translation position determination in ptychographic coherent diffraction imaging,” Opt. Express 21, 13592–13606 (2013).
[CrossRef]

D.  Claus, D. J.  Robinson, D. G.  Chetwynd, Y.  Shuo, W. T.  Pike, J. J.  De, J. T.  Garcia, J. M.  Rodenburg, “Dual wavelength optical metrology using ptychography,” J. Opt. 15, 035702 (2013).
[CrossRef]

M. J.  Humphry, B.  Kraus, A. C.  Hurst, A. M.  Maiden, J. M.  Rodenburg, “Ptychographic electron microscopy using high-angle dark-field scattering for sub-nanometre resolution imaging,” Nat. Commun. 3, 730 (2012).
[CrossRef]

A. M.  Maiden, M. J.  Humphry, F.  Zhang, J. M.  Rodenburg, “Superresolution imaging via ptychography,” J. Opt. Soc. Am. A 28, 604–612 (2011).
[CrossRef]

A. M.  Maiden, J. M.  Rodenburg, “An improved ptychographical phase retrieval algorithm for diffractive imaging,” Ultramicroscopy 109, 1256–1262 (2009).
[CrossRef]

Rodriguez, J. A.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Rong, L.

Roy, S.

J. J.  Turner, X.  Huang, O.  Krupin, K. A.  Seu, D.  Parks, S.  Kevan, E.  Lima, K.  Kisslinger, I.  McNulty, R.  Gambino, S.  Mangin, S.  Roy, P.  Fischer, “X-ray diffraction microscopy of magnetic structures,” Phys. Rev. Lett. 107, 033904 (2011).
[CrossRef]

S.  Roy, D.  Parks, K. A.  Seu, R.  Su, J. J.  Turner, W.  Chao, E. H.  Anderson, S.  Cabrini, S. D.  Kevan, “Lensless x-ray imaging in reflection geometry,” Nat. Photonics 5, 243–245 (2011).
[CrossRef]

Rudolf, D.

S.  Mathias, C.  La-o-vorakiat, J. M.  Shaw, E.  Turgut, P.  Grychtol, R.  Adam, D.  Rudolf, H. T.  Nembach, T. J.  Silva, M.  Aeschlimann, C. M.  Schneider, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrafast element-specific magnetization dynamics of complex magnetic materials on a table-top,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 189, 164–170 (2013).
[CrossRef]

Salmassi, F.

Sato, N.

T.  Ohtsuka, M.  Masuda, N.  Sato, “Ellipsometric study of anodic oxide films on titanium in hydrochloric acid, sulfuric acid, and phosphate solution,” J. Electrochem. Soc. 132, 787–792 (1985).
[CrossRef]

Sato, T.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Schlotter, W. F.

Schneider, C. M.

S.  Mathias, C.  La-o-vorakiat, J. M.  Shaw, E.  Turgut, P.  Grychtol, R.  Adam, D.  Rudolf, H. T.  Nembach, T. J.  Silva, M.  Aeschlimann, C. M.  Schneider, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrafast element-specific magnetization dynamics of complex magnetic materials on a table-top,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 189, 164–170 (2013).
[CrossRef]

Schrauth, S. E.

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

Seaberg, M. D.

Seu, K. A.

J. J.  Turner, X.  Huang, O.  Krupin, K. A.  Seu, D.  Parks, S.  Kevan, E.  Lima, K.  Kisslinger, I.  McNulty, R.  Gambino, S.  Mangin, S.  Roy, P.  Fischer, “X-ray diffraction microscopy of magnetic structures,” Phys. Rev. Lett. 107, 033904 (2011).
[CrossRef]

S.  Roy, D.  Parks, K. A.  Seu, R.  Su, J. J.  Turner, W.  Chao, E. H.  Anderson, S.  Cabrini, S. D.  Kevan, “Lensless x-ray imaging in reflection geometry,” Nat. Photonics 5, 243–245 (2011).
[CrossRef]

Shanblatt, E. R.

Shapiro, D.

J.  Nelson, X.  Huang, J.  Steinbrener, D.  Shapiro, J.  Kirz, S.  Marchesini, A. M.  Neiman, J. J.  Turner, C.  Jacobsen, “High-resolution x-ray diffraction microscopy of specifically labeled yeast cells,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 7235–7239 (2010).
[CrossRef]

Shaw, J. M.

B.  Zhang, M. D.  Seaberg, D. E.  Adams, D. F.  Gardner, E. R.  Shanblatt, J. M.  Shaw, W.  Chao, E. M.  Gullikson, F.  Salmassi, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Full field tabletop EUV coherent diffractive imaging in a transmission geometry,” Opt. Express 21, 21970–21980 (2013).
[CrossRef]

S.  Mathias, C.  La-o-vorakiat, J. M.  Shaw, E.  Turgut, P.  Grychtol, R.  Adam, D.  Rudolf, H. T.  Nembach, T. J.  Silva, M.  Aeschlimann, C. M.  Schneider, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrafast element-specific magnetization dynamics of complex magnetic materials on a table-top,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 189, 164–170 (2013).
[CrossRef]

Shim, B.

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

Shpyrko, O. G.

S. O.  Hruszkewycz, M. V.  Holt, C. E.  Murray, J.  Bruley, J.  Holt, A.  Tripathi, O. G.  Shpyrko, I.  McNulty, M. J.  Highland, P. H.  Fuoss, “Quantitative nanoscale imaging of lattice distortions in epitaxial semiconductor heterostructures using nanofocused x-ray Bragg projection ptychography,” Nano Lett. 12, 5148–5154 (2012).
[CrossRef]

Shuo, Y.

D.  Claus, D. J.  Robinson, D. G.  Chetwynd, Y.  Shuo, W. T.  Pike, J. J.  De, J. T.  Garcia, J. M.  Rodenburg, “Dual wavelength optical metrology using ptychography,” J. Opt. 15, 035702 (2013).
[CrossRef]

Siemens, M. E.

D.  Nardi, M.  Travagliati, M. E.  Siemens, Q.  Li, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, G.  Ferrini, F.  Parmigiani, F.  Banfi, “Probing thermomechanics at the nanoscale: impulsively excited pseudosurface acoustic waves in hypersonic phononic crystals,” Nano Lett. 11, 4126–4133 (2011).
[CrossRef]

Silva, T. J.

S.  Mathias, C.  La-o-vorakiat, J. M.  Shaw, E.  Turgut, P.  Grychtol, R.  Adam, D.  Rudolf, H. T.  Nembach, T. J.  Silva, M.  Aeschlimann, C. M.  Schneider, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrafast element-specific magnetization dynamics of complex magnetic materials on a table-top,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 189, 164–170 (2013).
[CrossRef]

Song, C.

H.  Jiang, C.  Song, C.-C.  Chen, R.  Xu, K. S.  Raines, B. P.  Fahimian, C.-H.  Lu, T.-K.  Lee, A.  Nakashima, J.  Urano, T.  Ishikawa, F.  Tamanoi, J.  Miao, “Quantitative 3D imaging of whole, unstained cells by using x-ray diffraction microscopy,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 11234–11239 (2010).
[CrossRef]

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Spielmann, C.

Stangl, J.

P.  Godard, G.  Carbone, M.  Allain, F.  Mastropietro, G.  Chen, L.  Capello, A.  Diaz, T. H.  Metzger, J.  Stangl, V.  Chamard, “Three-dimensional high-resolution quantitative microscopy of extended crystals,” Nat. Commun. 2, 568 (2011).
[CrossRef]

Steinbrener, J.

J.  Nelson, X.  Huang, J.  Steinbrener, D.  Shapiro, J.  Kirz, S.  Marchesini, A. M.  Neiman, J. J.  Turner, C.  Jacobsen, “High-resolution x-ray diffraction microscopy of specifically labeled yeast cells,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 7235–7239 (2010).
[CrossRef]

Strzalka, J.

T.  Sun, Z.  Jiang, J.  Strzalka, L.  Ocola, J.  Wang, “Three-dimensional coherent x-ray surface scattering imaging near total external reflection,” Nat. Photonics 6, 586–590 (2012).
[CrossRef]

Su, R.

S.  Roy, D.  Parks, K. A.  Seu, R.  Su, J. J.  Turner, W.  Chao, E. H.  Anderson, S.  Cabrini, S. D.  Kevan, “Lensless x-ray imaging in reflection geometry,” Nat. Photonics 5, 243–245 (2011).
[CrossRef]

Sun, T.

T.  Sun, Z.  Jiang, J.  Strzalka, L.  Ocola, J.  Wang, “Three-dimensional coherent x-ray surface scattering imaging near total external reflection,” Nat. Photonics 6, 586–590 (2012).
[CrossRef]

Suzuki, A.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Takahashi, Y.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Takayama, Y.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Tamanoi, F.

H.  Jiang, C.  Song, C.-C.  Chen, R.  Xu, K. S.  Raines, B. P.  Fahimian, C.-H.  Lu, T.-K.  Lee, A.  Nakashima, J.  Urano, T.  Ishikawa, F.  Tamanoi, J.  Miao, “Quantitative 3D imaging of whole, unstained cells by using x-ray diffraction microscopy,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 11234–11239 (2010).
[CrossRef]

Thibault, P.

P.  Thibault, M.  Dierolf, O.  Bunk, A.  Menzel, F.  Pfeiffer, “Probe retrieval in ptychographic coherent diffractive imaging,” Ultramicroscopy 109, 338–343 (2009).
[CrossRef]

Togashi, T.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Tono, K.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Townsend, E. L.

Travagliati, M.

D.  Nardi, M.  Travagliati, M. E.  Siemens, Q.  Li, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, G.  Ferrini, F.  Parmigiani, F.  Banfi, “Probing thermomechanics at the nanoscale: impulsively excited pseudosurface acoustic waves in hypersonic phononic crystals,” Nano Lett. 11, 4126–4133 (2011).
[CrossRef]

Tripathi, A.

S. O.  Hruszkewycz, M. V.  Holt, C. E.  Murray, J.  Bruley, J.  Holt, A.  Tripathi, O. G.  Shpyrko, I.  McNulty, M. J.  Highland, P. H.  Fuoss, “Quantitative nanoscale imaging of lattice distortions in epitaxial semiconductor heterostructures using nanofocused x-ray Bragg projection ptychography,” Nano Lett. 12, 5148–5154 (2012).
[CrossRef]

Turgut, E.

S.  Mathias, C.  La-o-vorakiat, J. M.  Shaw, E.  Turgut, P.  Grychtol, R.  Adam, D.  Rudolf, H. T.  Nembach, T. J.  Silva, M.  Aeschlimann, C. M.  Schneider, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrafast element-specific magnetization dynamics of complex magnetic materials on a table-top,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 189, 164–170 (2013).
[CrossRef]

Turner, J. J.

S.  Roy, D.  Parks, K. A.  Seu, R.  Su, J. J.  Turner, W.  Chao, E. H.  Anderson, S.  Cabrini, S. D.  Kevan, “Lensless x-ray imaging in reflection geometry,” Nat. Photonics 5, 243–245 (2011).
[CrossRef]

J. J.  Turner, X.  Huang, O.  Krupin, K. A.  Seu, D.  Parks, S.  Kevan, E.  Lima, K.  Kisslinger, I.  McNulty, R.  Gambino, S.  Mangin, S.  Roy, P.  Fischer, “X-ray diffraction microscopy of magnetic structures,” Phys. Rev. Lett. 107, 033904 (2011).
[CrossRef]

J.  Nelson, X.  Huang, J.  Steinbrener, D.  Shapiro, J.  Kirz, S.  Marchesini, A. M.  Neiman, J. J.  Turner, C.  Jacobsen, “High-resolution x-ray diffraction microscopy of specifically labeled yeast cells,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 7235–7239 (2010).
[CrossRef]

Urano, J.

H.  Jiang, C.  Song, C.-C.  Chen, R.  Xu, K. S.  Raines, B. P.  Fahimian, C.-H.  Lu, T.-K.  Lee, A.  Nakashima, J.  Urano, T.  Ishikawa, F.  Tamanoi, J.  Miao, “Quantitative 3D imaging of whole, unstained cells by using x-ray diffraction microscopy,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 11234–11239 (2010).
[CrossRef]

Vila-comamala, J.

Vine, D. J.

D. J.  Vine, G. J.  Williams, B.  Abbey, M. A.  Pfeifer, J. N.  Clark, M. D.  de Jonge, I.  McNulty, A. G.  Peele, K. A.  Nugent, “Ptychographic Fresnel coherent diffractive imaging,” Phys. Rev. A 80, 063823 (2009).
[CrossRef]

Wang, J.

T.  Sun, Z.  Jiang, J.  Strzalka, L.  Ocola, J.  Wang, “Three-dimensional coherent x-ray surface scattering imaging near total external reflection,” Nat. Photonics 6, 586–590 (2012).
[CrossRef]

Wark, J. S.

J. N.  Clark, L.  Beitra, G.  Xiong, A.  Higginbotham, D. M.  Fritz, H. T.  Lemke, D.  Zhu, M.  Chollet, G. J.  Williams, M.  Messerschmidt, B.  Abbey, R. J.  Harder, A. M.  Korsunsky, J. S.  Wark, I. K.  Robinson, “Ultrafast three-dimensional imaging of lattice dynamics in individual gold nanocrystals,” Science 341, 56–59 (2013).
[CrossRef]

Watanabe, T.

T.  Harada, M.  Nakasuji, Y.  Nagata, T.  Watanabe, H.  Kinoshita, “Phase imaging of extreme-ultraviolet mask using coherent extreme-ultraviolet scatterometry microscope,” Jpn. J. Appl. Phys. 52, 06GB02 (2013).
[CrossRef]

Williams, G. J.

J. N.  Clark, L.  Beitra, G.  Xiong, A.  Higginbotham, D. M.  Fritz, H. T.  Lemke, D.  Zhu, M.  Chollet, G. J.  Williams, M.  Messerschmidt, B.  Abbey, R. J.  Harder, A. M.  Korsunsky, J. S.  Wark, I. K.  Robinson, “Ultrafast three-dimensional imaging of lattice dynamics in individual gold nanocrystals,” Science 341, 56–59 (2013).
[CrossRef]

D. J.  Vine, G. J.  Williams, B.  Abbey, M. A.  Pfeifer, J. N.  Clark, M. D.  de Jonge, I.  McNulty, A. G.  Peele, K. A.  Nugent, “Ptychographic Fresnel coherent diffractive imaging,” Phys. Rev. A 80, 063823 (2009).
[CrossRef]

B.  Abbey, K. A.  Nugent, G. J.  Williams, J. N.  Clark, A. G.  Peele, M. A.  Pfeifer, M.  de Jonge, I.  McNulty, “Keyhole coherent diffractive imaging,” Nat. Phys. 4, 394–398 (2008).
[CrossRef]

Wolf, E.

M.  Born, E.  Wolf, Principles of Optics, 7th ed. (Cambridge University, 1999).

Xiong, G.

J. N.  Clark, L.  Beitra, G.  Xiong, A.  Higginbotham, D. M.  Fritz, H. T.  Lemke, D.  Zhu, M.  Chollet, G. J.  Williams, M.  Messerschmidt, B.  Abbey, R. J.  Harder, A. M.  Korsunsky, J. S.  Wark, I. K.  Robinson, “Ultrafast three-dimensional imaging of lattice dynamics in individual gold nanocrystals,” Science 341, 56–59 (2013).
[CrossRef]

Xu, R.

H.  Jiang, C.  Song, C.-C.  Chen, R.  Xu, K. S.  Raines, B. P.  Fahimian, C.-H.  Lu, T.-K.  Lee, A.  Nakashima, J.  Urano, T.  Ishikawa, F.  Tamanoi, J.  Miao, “Quantitative 3D imaging of whole, unstained cells by using x-ray diffraction microscopy,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 11234–11239 (2010).
[CrossRef]

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Yabashi, M.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Yamamoto, M.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Yonekura, K.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Zhang, B.

Zhang, F.

Zhu, D.

J. N.  Clark, L.  Beitra, G.  Xiong, A.  Higginbotham, D. M.  Fritz, H. T.  Lemke, D.  Zhu, M.  Chollet, G. J.  Williams, M.  Messerschmidt, B.  Abbey, R. J.  Harder, A. M.  Korsunsky, J. S.  Wark, I. K.  Robinson, “Ultrafast three-dimensional imaging of lattice dynamics in individual gold nanocrystals,” Science 341, 56–59 (2013).
[CrossRef]

Zou, Y.

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

Zürch, M.

At. Data Nucl. Data Tables

B. L.  Henke, E. M.  Gullikson, J. C.  Davis, “X-ray interactions: photoabsorption, scattering, transmission, and reflection at E = 50–30,000  eV, Z = 1-92,” At. Data Nucl. Data Tables 54, 181–342 (1993).
[CrossRef]

Colloids Surf. B: Biointerfaces

M.  Advincula, X.  Fan, J.  Lemons, R.  Advincula, “Surface modification of surface sol-gel derived titanium oxide films by self-assembled monolayers (SAMs) and non-specific protein adsorption studies,” Colloids Surf. B: Biointerfaces 42, 29–43 (2005).

J. Electrochem. Soc.

T.  Ohtsuka, M.  Masuda, N.  Sato, “Ellipsometric study of anodic oxide films on titanium in hydrochloric acid, sulfuric acid, and phosphate solution,” J. Electrochem. Soc. 132, 787–792 (1985).
[CrossRef]

J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom.

S.  Mathias, C.  La-o-vorakiat, J. M.  Shaw, E.  Turgut, P.  Grychtol, R.  Adam, D.  Rudolf, H. T.  Nembach, T. J.  Silva, M.  Aeschlimann, C. M.  Schneider, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, “Ultrafast element-specific magnetization dynamics of complex magnetic materials on a table-top,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 189, 164–170 (2013).
[CrossRef]

J. Opt.

D.  Claus, D. J.  Robinson, D. G.  Chetwynd, Y.  Shuo, W. T.  Pike, J. J.  De, J. T.  Garcia, J. M.  Rodenburg, “Dual wavelength optical metrology using ptychography,” J. Opt. 15, 035702 (2013).
[CrossRef]

J. Opt. Soc. Am. A

Jpn. J. Appl. Phys.

T.  Harada, M.  Nakasuji, Y.  Nagata, T.  Watanabe, H.  Kinoshita, “Phase imaging of extreme-ultraviolet mask using coherent extreme-ultraviolet scatterometry microscope,” Jpn. J. Appl. Phys. 52, 06GB02 (2013).
[CrossRef]

Nano Lett.

D.  Nardi, M.  Travagliati, M. E.  Siemens, Q.  Li, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, G.  Ferrini, F.  Parmigiani, F.  Banfi, “Probing thermomechanics at the nanoscale: impulsively excited pseudosurface acoustic waves in hypersonic phononic crystals,” Nano Lett. 11, 4126–4133 (2011).
[CrossRef]

S. O.  Hruszkewycz, M. V.  Holt, C. E.  Murray, J.  Bruley, J.  Holt, A.  Tripathi, O. G.  Shpyrko, I.  McNulty, M. J.  Highland, P. H.  Fuoss, “Quantitative nanoscale imaging of lattice distortions in epitaxial semiconductor heterostructures using nanofocused x-ray Bragg projection ptychography,” Nano Lett. 12, 5148–5154 (2012).
[CrossRef]

Nat. Commun.

P.  Godard, G.  Carbone, M.  Allain, F.  Mastropietro, G.  Chen, L.  Capello, A.  Diaz, T. H.  Metzger, J.  Stangl, V.  Chamard, “Three-dimensional high-resolution quantitative microscopy of extended crystals,” Nat. Commun. 2, 568 (2011).
[CrossRef]

M. J.  Humphry, B.  Kraus, A. C.  Hurst, A. M.  Maiden, J. M.  Rodenburg, “Ptychographic electron microscopy using high-angle dark-field scattering for sub-nanometre resolution imaging,” Nat. Commun. 3, 730 (2012).
[CrossRef]

Nat. Photonics

S.  Roy, D.  Parks, K. A.  Seu, R.  Su, J. J.  Turner, W.  Chao, E. H.  Anderson, S.  Cabrini, S. D.  Kevan, “Lensless x-ray imaging in reflection geometry,” Nat. Photonics 5, 243–245 (2011).
[CrossRef]

T.  Sun, Z.  Jiang, J.  Strzalka, L.  Ocola, J.  Wang, “Three-dimensional coherent x-ray surface scattering imaging near total external reflection,” Nat. Photonics 6, 586–590 (2012).
[CrossRef]

Nat. Phys.

B.  Abbey, K. A.  Nugent, G. J.  Williams, J. N.  Clark, A. G.  Peele, M. A.  Pfeifer, M.  de Jonge, I.  McNulty, “Keyhole coherent diffractive imaging,” Nat. Phys. 4, 394–398 (2008).
[CrossRef]

Nature

J.  Miao, P.  Charalambous, J.  Kirz, “Extending the methodology of x-ray crystallography to allow imaging of micrometre-sized non-crystalline specimens,” Nature 400, 342–344 (1999).
[CrossRef]

Opt. Express

Phys. Rev. A

D. J.  Vine, G. J.  Williams, B.  Abbey, M. A.  Pfeifer, J. N.  Clark, M. D.  de Jonge, I.  McNulty, A. G.  Peele, K. A.  Nugent, “Ptychographic Fresnel coherent diffractive imaging,” Phys. Rev. A 80, 063823 (2009).
[CrossRef]

Phys. Rev. Lett.

J. J.  Turner, X.  Huang, O.  Krupin, K. A.  Seu, D.  Parks, S.  Kevan, E.  Lima, K.  Kisslinger, I.  McNulty, R.  Gambino, S.  Mangin, S.  Roy, P.  Fischer, “X-ray diffraction microscopy of magnetic structures,” Phys. Rev. Lett. 107, 033904 (2011).
[CrossRef]

Proc. Natl. Acad. Sci. USA

H.  Jiang, C.  Song, C.-C.  Chen, R.  Xu, K. S.  Raines, B. P.  Fahimian, C.-H.  Lu, T.-K.  Lee, A.  Nakashima, J.  Urano, T.  Ishikawa, F.  Tamanoi, J.  Miao, “Quantitative 3D imaging of whole, unstained cells by using x-ray diffraction microscopy,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 11234–11239 (2010).
[CrossRef]

J.  Nelson, X.  Huang, J.  Steinbrener, D.  Shapiro, J.  Kirz, S.  Marchesini, A. M.  Neiman, J. J.  Turner, C.  Jacobsen, “High-resolution x-ray diffraction microscopy of specifically labeled yeast cells,” Proc. Natl. Acad. Sci. USA 107, 7235–7239 (2010).
[CrossRef]

Science

J. N.  Clark, L.  Beitra, G.  Xiong, A.  Higginbotham, D. M.  Fritz, H. T.  Lemke, D.  Zhu, M.  Chollet, G. J.  Williams, M.  Messerschmidt, B.  Abbey, R. J.  Harder, A. M.  Korsunsky, J. S.  Wark, I. K.  Robinson, “Ultrafast three-dimensional imaging of lattice dynamics in individual gold nanocrystals,” Science 341, 56–59 (2013).
[CrossRef]

T.  Popmintchev, M.-C.  Chen, D.  Popmintchev, P.  Arpin, S.  Brown, S.  Alisauskas, G.  Andriukaitis, T.  Balciunas, O. D.  Mücke, A.  Pugzlys, A.  Baltuska, B.  Shim, S. E.  Schrauth, A.  Gaeta, C.  Hernández-Garíca, L.  Plaja, A.  Becker, A.  Jaron-Becker, M. M.  Murnane, H. C.  Kapteyn, “Bright coherent ultrahigh harmonics in the keV x-ray regime from mid-infrared femtosecond lasers,” Science 336, 1287–1291 (2012).
[CrossRef]

R. A.  Bartels, A.  Paul, H.  Green, H. C.  Kapteyn, M. M.  Murnane, S.  Backus, I. P.  Christov, Y.  Liu, D.  Attwood, C.  Jacobsen, “Generation of spatially coherent light at extreme ultraviolet wavelengths,” Science 297, 376–378 (2002).

Ultramicroscopy

P.  Thibault, M.  Dierolf, O.  Bunk, A.  Menzel, F.  Pfeiffer, “Probe retrieval in ptychographic coherent diffractive imaging,” Ultramicroscopy 109, 338–343 (2009).
[CrossRef]

D. J.  Batey, D.  Claus, J. M.  Rodenburg, “Information multiplexing in ptychography,” Ultramicroscopy 138, 13–21 (2014).
[CrossRef]

A. M.  Maiden, J. M.  Rodenburg, “An improved ptychographical phase retrieval algorithm for diffractive imaging,” Ultramicroscopy 109, 1256–1262 (2009).
[CrossRef]

Other

R.  Xu, H.  Jiang, C.  Song, J. A.  Rodriguez, Z.  Huang, C.-C.  Chen, D.  Nam, J.  Park, M.  Gallagher-Jones, S.  Kim, S.  Kim, A.  Suzuki, Y.  Takayama, T.  Oroguchi, Y.  Takahashi, J.  Fan, Y.  Zou, T.  Hatsui, Y.  Inubushi, T.  Kameshima, K.  Yonekura, K.  Tono, T.  Togashi, T.  Sato, M.  Yamamoto, M.  Nakasako, M.  Yabashi, T.  Ishikawa, J.  Miao, “Single-shot 3D structure determination of nanocrystals with femtosecond x-ray free electron laser pulses,” arXiv:1310.8594 (2013).

M.  Born, E.  Wolf, Principles of Optics, 7th ed. (Cambridge University, 1999).

G.  Haugstad, Atomic Force Microscopy: Understanding Basic Modes and Advanced Applications (Wiley, 2012).

Supplementary Material (1)

» Supplement 1: PDF (2800 KB)     

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1.
Fig. 1.

Experimental setup for reflection-mode Fresnel ptychography. The EUV beam propagates through an adjustable 1 mm aperture; a single harmonic is selected using a pair of multilayer mirrors centered at 29.5 nm and focused onto the sample. The scattered light is collected on a CCD detector placed directly after the sample. The inset shows a height profile reconstructed through ptychography.

Fig. 2.
Fig. 2.

Diffraction data and ptychographic reconstruction. (a) Representative diffraction pattern, scaled to the 1 / 4 power, taken from the 90-scan dataset. (b) SEM image of the Ti-patterned Si sample. Note that the large defect circled in the SEM image resulted from contamination after the ptychography measurement. (c) Reconstructed amplitude (thresholded at 5%) of the HHG beam. The inset shows the reconstructed phase (displayed modulo- 2 π ). (d) Ptychographic reconstruction of the object shown in part (b). The reconstruction is plotted as the complex amplitude, where brightness represents reflected amplitude and hue represents the phase of the reconstruction. Note that the majority of defects seen in the SEM image of the Ti nanostructures are reproduced in the ptychographic reconstruction. The scale bar in (b) is shared among (b)–(d).

Fig. 3.
Fig. 3.

Height profile comparison between CDI and AFM. (a) 3D profile of the object based on ptychographic reconstruction and (b) 3D profile of the object based on an AFM measurement. Any features taller than 40 nm were thresholded to 40 nm for the 3D rendering. (c) Histograms of the height profiles shown in (a) and (b). The histograms were used to calculate the average feature thickness of 32.7 nm based on the both the CDI and AFM measurements. The scale axis shown in (a) is shared by both (a) and (b). Note that the large debris spot on the right of the AFM image was introduced after the CDI image was taken.

Metrics