Abstract

We demonstrate sub-micrometer processing of two kinds of thin films, polymethyl methacrylate (PMMA) and metal nano-particle resist, by focusing high-order harmonics of near-IR femtosecond laser pulses in the extreme ultraviolet (XUV) wavelength region (27.2–34.3 nm) on the thin film samples using an ellipsoidal focusing mirror. The ablation threshold fluences for the PMMA sample and the metal nano-particle resist per XUV pulse obtained by the accumulation of 200 XUV pulses were determined to be ${0.42}\;{{\rm mJ/cm}^2}$ and ${0.17}\;{{\rm mJ/cm}^2}$, respectively. The diameters (FWHM) of a hole created by the ablation on the PMMA film at the focus were 0.67 µm and 0.44 µm along the horizontal direction and the vertical direction, respectively. The fluence dependence of the Raman microscope spectra of the processed holes on the PMMA sample showed that the chemical modification, in which ${\rm C} {=} {\rm C}$ double bonds are formed associated with the scission of the PMMA polymer chains, is achieved by the irradiation of the XUV pulses.

© 2020 Optical Society of America under the terms of the OSA Open Access Publishing Agreement

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. A. J. Nelson, S. Toleikis, H. Chapman, S. Bajt, J. Krzywinski, J. Chaupsky, L. Juha, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, T. Burian, M. Kozlova, R. R. Faustlin, B. Nagler, S. M. Vinko, T. Whitcher, T. Dzelzainis, O. Renner, K. Saksl, A. R. Khorsand, P. A. Heimann, R. Sobierajski, D. Klinger, M. Jurek, J. Pelka, B. Iwan, J. Andreasson, N. Timneanu, M. Fajardo, J. S. Wark, D. Riley, T. Tschentscher, J. Hajdu, and R. W. Lee, Opt. Express 17, 18271 (2009).
    [Crossref]
  2. H. Mimura, Y. Takei, T. Kume, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Senba, H. Kishimoto, and H. Ohashi, Rev. Sci. Instrum. 89, 093104 (2018).
    [Crossref]
  3. D. Attwood, Soft X-rays and Extreme Ultraviolet Radiation—Principles and Applications (Cambridge University, 2000).
  4. R. R. Gattass and E. Mazur, Nat. Photonics 2, 219 (2008).
    [Crossref]
  5. T. Shibuya, T. Takahashi, K. Sakaue, T.-H. Dinh, H. Hara, T. Higashiguchi, M. Ishino, Y. Koshiba, M. Nishikino, H. Ogawa, M. Tanaka, M. Washio, Y. Kobayashi, and R. Kuroda, Appl. Phys. Lett. 113, 171902 (2018).
    [Crossref]
  6. G. Vaschenko, A. G. Etxarri, C. S. Menoni, J. J. Rocca, O. Hemberg, S. Bloom, W. Chao, E. H. Anderson, D. T. Attwood, Y. Lu, and B. Parkinson, Opt. Lett. 31, 3615 (2006).
    [Crossref]
  7. M. Ishino, A. Y. Faenov, M. Tanaka, S. Tamotsu, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. A. Pikuz, T. Kaihori, and T. Kawachi, Appl. Phys. A 110, 179 (2013).
    [Crossref]
  8. F. Barkusky, C. Peth, A. Bayer, and K. Mann, J. Appl. Phys. 101, 124908 (2007).
    [Crossref]
  9. N. Tanaka, M. Masuda, R. Deguchi, M. Murakami, A. Sunahara, S. Fujioka, A. Yogo, and H. Nishimura, Appl. Phys. Lett. 107, 114101 (2015).
    [Crossref]
  10. J. Chalupsky, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hajkova, S. Koptyaev, J. Krasa, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, Opt. Express 15, 6036 (2007).
    [Crossref]
  11. J. Chalupsky, L. Juha, V. Hajkova, J. Cihelka, L. Vysin, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tshentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, Opt. Express 17, 208 (2009).
    [Crossref]
  12. J. Krzywinski, D. Cocco, S. Moeller, and D. Ratner, Opt. Express 23, 5397 (2015).
    [Crossref]
  13. R. Sobierajski, I. Jacyna, P. Dluzewski, M. T. Klepka, D. Klinger, J. B. Pelka, T. Burian, V. Hajkova, L. Juha, K. Saksl, V. Vozda, I. Makhotkin, E. Louis, B. Faatz, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. Enkisch, M. Hermann, S. Strobel, R. A. Loch, and J. Chalupsky, Opt. Express 24, 15468 (2016).
    [Crossref]
  14. I. A. Makhotkin, I. Milov, J. Chalupsky, K. Tiedtke, H. Enkisch, G. de Vries, F. Scholze, F. Siewert, J. M. Sturm, K. V. Nikolaev, R. W. E. van de Kruijs, M. A. Smithers, H. A. G. M. van Wolferen, E. G. Keim, E. Louis, I. Jacyna, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, V. Hajkova, V. Vozda, T. Burian, K. Saksl, B. Faatz, B. Keitel, E. Plonjes, S. Schreiber, S. Toleikis, R. Loch, M. Hermann, S. Strobel, R. Donker, T. Mey, and R. Sobierajski, J. Opt. Soc. Am. B 35, 2799 (2018).
    [Crossref]
  15. T. Makimura, Y. Kenmotsu, H. Miyamoto, H. Niino, and K. Murakami, Surf. Sci. 593, 248 (2005).
    [Crossref]
  16. T. Makimura, S. Uchida, K. Murakami, and H. Niino, Appl. Phys. Lett. 89, 101118 (2006).
    [Crossref]
  17. T. Mocek, B. Rus, M. Kozlava, J. Polan, P. Homer, L. Juha, V. Hajkova, and J. Chalupsky, Opt. Lett. 33, 1087 (2008).
    [Crossref]
  18. J. Gautier, P. Zeitoun, A. S. Morlens, S. Sebban, C. Valentin, E. Papalazarou, J. P. Goddet, G. Lambert, T. Marchenko, and M. Fajardo, UVX 2008(2009) (2009), p. 45.
  19. H. Mashiko, A. Suda, and K. Midorikawa, Opt. Lett. 29, 1927 (2004).
    [Crossref]
  20. M. De Grazia, H. Merdji, T. Auguste, B. Carré, J. Gaudin, G. Geoffroy, S. Guizard, F. Krejci, J. Kuba, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, M. Ledinský, and L. Juha, Proc. SPIE 8077, 80770L (2011).
    [Crossref]
  21. J. Ewald, M. Wieland, T. Nisius, L. Henning, T. Feigl, M. Drescher, and T. Wilhein, J. Phys: Conf. Ser. 499, 012008 (2014).
    [Crossref]
  22. H. Motoyama, A. Iwasaki, Y. Takei, T. Kume, S. Egawa, T. Sato, K. Yamanouchi, and H. Mimura, Appl. Phys. Lett. 114, 241102 (2019).
    [Crossref]
  23. J. R. Sutherland, E. L. Christensen, N. D. Powers, S. E. Rhynard, J. C. Painter, and J. Peatross, Opt. Express 12, 4430 (2004).
    [Crossref]
  24. Y. Yamashita, T. Chikyow, J. J. Santillan, and T. Itani, Jpn. J. Appl. Phys. 58, SDDC01 (2019).
    [Crossref]
  25. M. Toriumi, T. Kawasaki, T. Imai, K. Tsukiyama, J. J. Santillan, and T. Itani, Proc. SPIE 10586, 105860E (2018).
    [Crossref]
  26. J. J. Santillan and T. Itani, Proc. SPIE 10586, 105860F (2018).
    [Crossref]
  27. S. Preuss, A. Demchuk, and M. Stuke, Appl. Phys. A 61, 33 (1995).
    [Crossref]
  28. S. Baudach, J. Bonse, J. Kruger, and W. Kautek, Appl. Surf. Sci. 154–155, 555 (2000).
    [Crossref]
  29. B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, Atomic Data and Nuclear Data Tables 54, 181 (1993).
    [Crossref]
  30. B. Schneider, J. Stokr, P. Schmidt, M. Mihailov, S. Dirlikov, and N. Peeva, Polymer 20, 705 (1979).
    [Crossref]
  31. C. Wochnowski, S. Metev, and G. Sepold, Appl. Surf. Sci. 154-155, 706 (2000).
    [Crossref]
  32. C. Peth, F. Barkusky, and K. Mann, J. Phys. D 41, 105202 (2008).
    [Crossref]

2019 (2)

H. Motoyama, A. Iwasaki, Y. Takei, T. Kume, S. Egawa, T. Sato, K. Yamanouchi, and H. Mimura, Appl. Phys. Lett. 114, 241102 (2019).
[Crossref]

Y. Yamashita, T. Chikyow, J. J. Santillan, and T. Itani, Jpn. J. Appl. Phys. 58, SDDC01 (2019).
[Crossref]

2018 (5)

M. Toriumi, T. Kawasaki, T. Imai, K. Tsukiyama, J. J. Santillan, and T. Itani, Proc. SPIE 10586, 105860E (2018).
[Crossref]

J. J. Santillan and T. Itani, Proc. SPIE 10586, 105860F (2018).
[Crossref]

H. Mimura, Y. Takei, T. Kume, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Senba, H. Kishimoto, and H. Ohashi, Rev. Sci. Instrum. 89, 093104 (2018).
[Crossref]

T. Shibuya, T. Takahashi, K. Sakaue, T.-H. Dinh, H. Hara, T. Higashiguchi, M. Ishino, Y. Koshiba, M. Nishikino, H. Ogawa, M. Tanaka, M. Washio, Y. Kobayashi, and R. Kuroda, Appl. Phys. Lett. 113, 171902 (2018).
[Crossref]

I. A. Makhotkin, I. Milov, J. Chalupsky, K. Tiedtke, H. Enkisch, G. de Vries, F. Scholze, F. Siewert, J. M. Sturm, K. V. Nikolaev, R. W. E. van de Kruijs, M. A. Smithers, H. A. G. M. van Wolferen, E. G. Keim, E. Louis, I. Jacyna, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, V. Hajkova, V. Vozda, T. Burian, K. Saksl, B. Faatz, B. Keitel, E. Plonjes, S. Schreiber, S. Toleikis, R. Loch, M. Hermann, S. Strobel, R. Donker, T. Mey, and R. Sobierajski, J. Opt. Soc. Am. B 35, 2799 (2018).
[Crossref]

2016 (1)

2015 (2)

J. Krzywinski, D. Cocco, S. Moeller, and D. Ratner, Opt. Express 23, 5397 (2015).
[Crossref]

N. Tanaka, M. Masuda, R. Deguchi, M. Murakami, A. Sunahara, S. Fujioka, A. Yogo, and H. Nishimura, Appl. Phys. Lett. 107, 114101 (2015).
[Crossref]

2014 (1)

J. Ewald, M. Wieland, T. Nisius, L. Henning, T. Feigl, M. Drescher, and T. Wilhein, J. Phys: Conf. Ser. 499, 012008 (2014).
[Crossref]

2013 (1)

M. Ishino, A. Y. Faenov, M. Tanaka, S. Tamotsu, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. A. Pikuz, T. Kaihori, and T. Kawachi, Appl. Phys. A 110, 179 (2013).
[Crossref]

2011 (1)

M. De Grazia, H. Merdji, T. Auguste, B. Carré, J. Gaudin, G. Geoffroy, S. Guizard, F. Krejci, J. Kuba, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, M. Ledinský, and L. Juha, Proc. SPIE 8077, 80770L (2011).
[Crossref]

2009 (2)

2008 (3)

T. Mocek, B. Rus, M. Kozlava, J. Polan, P. Homer, L. Juha, V. Hajkova, and J. Chalupsky, Opt. Lett. 33, 1087 (2008).
[Crossref]

R. R. Gattass and E. Mazur, Nat. Photonics 2, 219 (2008).
[Crossref]

C. Peth, F. Barkusky, and K. Mann, J. Phys. D 41, 105202 (2008).
[Crossref]

2007 (2)

2006 (2)

2005 (1)

T. Makimura, Y. Kenmotsu, H. Miyamoto, H. Niino, and K. Murakami, Surf. Sci. 593, 248 (2005).
[Crossref]

2004 (2)

2000 (2)

C. Wochnowski, S. Metev, and G. Sepold, Appl. Surf. Sci. 154-155, 706 (2000).
[Crossref]

S. Baudach, J. Bonse, J. Kruger, and W. Kautek, Appl. Surf. Sci. 154–155, 555 (2000).
[Crossref]

1995 (1)

S. Preuss, A. Demchuk, and M. Stuke, Appl. Phys. A 61, 33 (1995).
[Crossref]

1993 (1)

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, Atomic Data and Nuclear Data Tables 54, 181 (1993).
[Crossref]

1979 (1)

B. Schneider, J. Stokr, P. Schmidt, M. Mihailov, S. Dirlikov, and N. Peeva, Polymer 20, 705 (1979).
[Crossref]

Anderson, E. H.

Andreasson, J.

Attwood, D.

D. Attwood, Soft X-rays and Extreme Ultraviolet Radiation—Principles and Applications (Cambridge University, 2000).

Attwood, D. T.

Auguste, T.

M. De Grazia, H. Merdji, T. Auguste, B. Carré, J. Gaudin, G. Geoffroy, S. Guizard, F. Krejci, J. Kuba, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, M. Ledinský, and L. Juha, Proc. SPIE 8077, 80770L (2011).
[Crossref]

Bajt, S.

Barkusky, F.

C. Peth, F. Barkusky, and K. Mann, J. Phys. D 41, 105202 (2008).
[Crossref]

F. Barkusky, C. Peth, A. Bayer, and K. Mann, J. Appl. Phys. 101, 124908 (2007).
[Crossref]

Baudach, S.

S. Baudach, J. Bonse, J. Kruger, and W. Kautek, Appl. Surf. Sci. 154–155, 555 (2000).
[Crossref]

Bayer, A.

F. Barkusky, C. Peth, A. Bayer, and K. Mann, J. Appl. Phys. 101, 124908 (2007).
[Crossref]

Bergh, M.

Bionta, R. M.

Bloom, S.

Bonse, J.

S. Baudach, J. Bonse, J. Kruger, and W. Kautek, Appl. Surf. Sci. 154–155, 555 (2000).
[Crossref]

Burian, T.

Caleman, C.

Carré, B.

M. De Grazia, H. Merdji, T. Auguste, B. Carré, J. Gaudin, G. Geoffroy, S. Guizard, F. Krejci, J. Kuba, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, M. Ledinský, and L. Juha, Proc. SPIE 8077, 80770L (2011).
[Crossref]

Chalupsky, J.

I. A. Makhotkin, I. Milov, J. Chalupsky, K. Tiedtke, H. Enkisch, G. de Vries, F. Scholze, F. Siewert, J. M. Sturm, K. V. Nikolaev, R. W. E. van de Kruijs, M. A. Smithers, H. A. G. M. van Wolferen, E. G. Keim, E. Louis, I. Jacyna, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, V. Hajkova, V. Vozda, T. Burian, K. Saksl, B. Faatz, B. Keitel, E. Plonjes, S. Schreiber, S. Toleikis, R. Loch, M. Hermann, S. Strobel, R. Donker, T. Mey, and R. Sobierajski, J. Opt. Soc. Am. B 35, 2799 (2018).
[Crossref]

R. Sobierajski, I. Jacyna, P. Dluzewski, M. T. Klepka, D. Klinger, J. B. Pelka, T. Burian, V. Hajkova, L. Juha, K. Saksl, V. Vozda, I. Makhotkin, E. Louis, B. Faatz, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. Enkisch, M. Hermann, S. Strobel, R. A. Loch, and J. Chalupsky, Opt. Express 24, 15468 (2016).
[Crossref]

M. De Grazia, H. Merdji, T. Auguste, B. Carré, J. Gaudin, G. Geoffroy, S. Guizard, F. Krejci, J. Kuba, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, M. Ledinský, and L. Juha, Proc. SPIE 8077, 80770L (2011).
[Crossref]

J. Chalupsky, L. Juha, V. Hajkova, J. Cihelka, L. Vysin, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tshentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, Opt. Express 17, 208 (2009).
[Crossref]

T. Mocek, B. Rus, M. Kozlava, J. Polan, P. Homer, L. Juha, V. Hajkova, and J. Chalupsky, Opt. Lett. 33, 1087 (2008).
[Crossref]

J. Chalupsky, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hajkova, S. Koptyaev, J. Krasa, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, Opt. Express 15, 6036 (2007).
[Crossref]

Chao, W.

Chapman, H.

Chaupsky, J.

Chikyow, T.

Y. Yamashita, T. Chikyow, J. J. Santillan, and T. Itani, Jpn. J. Appl. Phys. 58, SDDC01 (2019).
[Crossref]

Christensen, E. L.

Cihelka, J.

Cocco, D.

Davis, J. C.

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, Atomic Data and Nuclear Data Tables 54, 181 (1993).
[Crossref]

De Grazia, M.

M. De Grazia, H. Merdji, T. Auguste, B. Carré, J. Gaudin, G. Geoffroy, S. Guizard, F. Krejci, J. Kuba, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, M. Ledinský, and L. Juha, Proc. SPIE 8077, 80770L (2011).
[Crossref]

de Vries, G.

Deguchi, R.

N. Tanaka, M. Masuda, R. Deguchi, M. Murakami, A. Sunahara, S. Fujioka, A. Yogo, and H. Nishimura, Appl. Phys. Lett. 107, 114101 (2015).
[Crossref]

Demchuk, A.

S. Preuss, A. Demchuk, and M. Stuke, Appl. Phys. A 61, 33 (1995).
[Crossref]

Dinh, T.-H.

T. Shibuya, T. Takahashi, K. Sakaue, T.-H. Dinh, H. Hara, T. Higashiguchi, M. Ishino, Y. Koshiba, M. Nishikino, H. Ogawa, M. Tanaka, M. Washio, Y. Kobayashi, and R. Kuroda, Appl. Phys. Lett. 113, 171902 (2018).
[Crossref]

Dirlikov, S.

B. Schneider, J. Stokr, P. Schmidt, M. Mihailov, S. Dirlikov, and N. Peeva, Polymer 20, 705 (1979).
[Crossref]

Dluzewski, P.

Donker, R.

Drescher, M.

J. Ewald, M. Wieland, T. Nisius, L. Henning, T. Feigl, M. Drescher, and T. Wilhein, J. Phys: Conf. Ser. 499, 012008 (2014).
[Crossref]

Dzelzainis, T.

Egawa, S.

H. Motoyama, A. Iwasaki, Y. Takei, T. Kume, S. Egawa, T. Sato, K. Yamanouchi, and H. Mimura, Appl. Phys. Lett. 114, 241102 (2019).
[Crossref]

H. Mimura, Y. Takei, T. Kume, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Senba, H. Kishimoto, and H. Ohashi, Rev. Sci. Instrum. 89, 093104 (2018).
[Crossref]

Enkisch, H.

Etxarri, A. G.

Ewald, J.

J. Ewald, M. Wieland, T. Nisius, L. Henning, T. Feigl, M. Drescher, and T. Wilhein, J. Phys: Conf. Ser. 499, 012008 (2014).
[Crossref]

Faatz, B.

Faenov, A. Y.

M. Ishino, A. Y. Faenov, M. Tanaka, S. Tamotsu, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. A. Pikuz, T. Kaihori, and T. Kawachi, Appl. Phys. A 110, 179 (2013).
[Crossref]

Fajardo, M.

Faustlin, R. R.

Feigl, T.

J. Ewald, M. Wieland, T. Nisius, L. Henning, T. Feigl, M. Drescher, and T. Wilhein, J. Phys: Conf. Ser. 499, 012008 (2014).
[Crossref]

Fujioka, S.

N. Tanaka, M. Masuda, R. Deguchi, M. Murakami, A. Sunahara, S. Fujioka, A. Yogo, and H. Nishimura, Appl. Phys. Lett. 107, 114101 (2015).
[Crossref]

Gattass, R. R.

R. R. Gattass and E. Mazur, Nat. Photonics 2, 219 (2008).
[Crossref]

Gaudin, J.

M. De Grazia, H. Merdji, T. Auguste, B. Carré, J. Gaudin, G. Geoffroy, S. Guizard, F. Krejci, J. Kuba, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, M. Ledinský, and L. Juha, Proc. SPIE 8077, 80770L (2011).
[Crossref]

Gautier, J.

Geoffroy, G.

M. De Grazia, H. Merdji, T. Auguste, B. Carré, J. Gaudin, G. Geoffroy, S. Guizard, F. Krejci, J. Kuba, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, M. Ledinský, and L. Juha, Proc. SPIE 8077, 80770L (2011).
[Crossref]

Goddet, J. P.

J. Gautier, P. Zeitoun, A. S. Morlens, S. Sebban, C. Valentin, E. Papalazarou, J. P. Goddet, G. Lambert, T. Marchenko, and M. Fajardo, UVX 2008(2009) (2009), p. 45.

Guizard, S.

M. De Grazia, H. Merdji, T. Auguste, B. Carré, J. Gaudin, G. Geoffroy, S. Guizard, F. Krejci, J. Kuba, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, M. Ledinský, and L. Juha, Proc. SPIE 8077, 80770L (2011).
[Crossref]

Gullikson, E. M.

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, Atomic Data and Nuclear Data Tables 54, 181 (1993).
[Crossref]

Hajdu, J.

Hajkova, V.

I. A. Makhotkin, I. Milov, J. Chalupsky, K. Tiedtke, H. Enkisch, G. de Vries, F. Scholze, F. Siewert, J. M. Sturm, K. V. Nikolaev, R. W. E. van de Kruijs, M. A. Smithers, H. A. G. M. van Wolferen, E. G. Keim, E. Louis, I. Jacyna, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, V. Hajkova, V. Vozda, T. Burian, K. Saksl, B. Faatz, B. Keitel, E. Plonjes, S. Schreiber, S. Toleikis, R. Loch, M. Hermann, S. Strobel, R. Donker, T. Mey, and R. Sobierajski, J. Opt. Soc. Am. B 35, 2799 (2018).
[Crossref]

R. Sobierajski, I. Jacyna, P. Dluzewski, M. T. Klepka, D. Klinger, J. B. Pelka, T. Burian, V. Hajkova, L. Juha, K. Saksl, V. Vozda, I. Makhotkin, E. Louis, B. Faatz, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. Enkisch, M. Hermann, S. Strobel, R. A. Loch, and J. Chalupsky, Opt. Express 24, 15468 (2016).
[Crossref]

M. De Grazia, H. Merdji, T. Auguste, B. Carré, J. Gaudin, G. Geoffroy, S. Guizard, F. Krejci, J. Kuba, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, M. Ledinský, and L. Juha, Proc. SPIE 8077, 80770L (2011).
[Crossref]

J. Chalupsky, L. Juha, V. Hajkova, J. Cihelka, L. Vysin, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tshentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, Opt. Express 17, 208 (2009).
[Crossref]

A. J. Nelson, S. Toleikis, H. Chapman, S. Bajt, J. Krzywinski, J. Chaupsky, L. Juha, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, T. Burian, M. Kozlova, R. R. Faustlin, B. Nagler, S. M. Vinko, T. Whitcher, T. Dzelzainis, O. Renner, K. Saksl, A. R. Khorsand, P. A. Heimann, R. Sobierajski, D. Klinger, M. Jurek, J. Pelka, B. Iwan, J. Andreasson, N. Timneanu, M. Fajardo, J. S. Wark, D. Riley, T. Tschentscher, J. Hajdu, and R. W. Lee, Opt. Express 17, 18271 (2009).
[Crossref]

T. Mocek, B. Rus, M. Kozlava, J. Polan, P. Homer, L. Juha, V. Hajkova, and J. Chalupsky, Opt. Lett. 33, 1087 (2008).
[Crossref]

J. Chalupsky, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hajkova, S. Koptyaev, J. Krasa, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, Opt. Express 15, 6036 (2007).
[Crossref]

Hara, H.

T. Shibuya, T. Takahashi, K. Sakaue, T.-H. Dinh, H. Hara, T. Higashiguchi, M. Ishino, Y. Koshiba, M. Nishikino, H. Ogawa, M. Tanaka, M. Washio, Y. Kobayashi, and R. Kuroda, Appl. Phys. Lett. 113, 171902 (2018).
[Crossref]

Hasegawa, N.

M. Ishino, A. Y. Faenov, M. Tanaka, S. Tamotsu, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. A. Pikuz, T. Kaihori, and T. Kawachi, Appl. Phys. A 110, 179 (2013).
[Crossref]

Hau-Riege, S. P.

Heimann, P. A.

Hemberg, O.

Henke, B. L.

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, Atomic Data and Nuclear Data Tables 54, 181 (1993).
[Crossref]

Henning, L.

J. Ewald, M. Wieland, T. Nisius, L. Henning, T. Feigl, M. Drescher, and T. Wilhein, J. Phys: Conf. Ser. 499, 012008 (2014).
[Crossref]

Hermann, M.

Higashiguchi, T.

T. Shibuya, T. Takahashi, K. Sakaue, T.-H. Dinh, H. Hara, T. Higashiguchi, M. Ishino, Y. Koshiba, M. Nishikino, H. Ogawa, M. Tanaka, M. Washio, Y. Kobayashi, and R. Kuroda, Appl. Phys. Lett. 113, 171902 (2018).
[Crossref]

Homer, P.

Imai, T.

M. Toriumi, T. Kawasaki, T. Imai, K. Tsukiyama, J. J. Santillan, and T. Itani, Proc. SPIE 10586, 105860E (2018).
[Crossref]

Ishino, M.

T. Shibuya, T. Takahashi, K. Sakaue, T.-H. Dinh, H. Hara, T. Higashiguchi, M. Ishino, Y. Koshiba, M. Nishikino, H. Ogawa, M. Tanaka, M. Washio, Y. Kobayashi, and R. Kuroda, Appl. Phys. Lett. 113, 171902 (2018).
[Crossref]

M. Ishino, A. Y. Faenov, M. Tanaka, S. Tamotsu, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. A. Pikuz, T. Kaihori, and T. Kawachi, Appl. Phys. A 110, 179 (2013).
[Crossref]

Itani, T.

Y. Yamashita, T. Chikyow, J. J. Santillan, and T. Itani, Jpn. J. Appl. Phys. 58, SDDC01 (2019).
[Crossref]

M. Toriumi, T. Kawasaki, T. Imai, K. Tsukiyama, J. J. Santillan, and T. Itani, Proc. SPIE 10586, 105860E (2018).
[Crossref]

J. J. Santillan and T. Itani, Proc. SPIE 10586, 105860F (2018).
[Crossref]

Iwan, B.

Iwasaki, A.

H. Motoyama, A. Iwasaki, Y. Takei, T. Kume, S. Egawa, T. Sato, K. Yamanouchi, and H. Mimura, Appl. Phys. Lett. 114, 241102 (2019).
[Crossref]

Jacyna, I.

Juha, L.

I. A. Makhotkin, I. Milov, J. Chalupsky, K. Tiedtke, H. Enkisch, G. de Vries, F. Scholze, F. Siewert, J. M. Sturm, K. V. Nikolaev, R. W. E. van de Kruijs, M. A. Smithers, H. A. G. M. van Wolferen, E. G. Keim, E. Louis, I. Jacyna, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, V. Hajkova, V. Vozda, T. Burian, K. Saksl, B. Faatz, B. Keitel, E. Plonjes, S. Schreiber, S. Toleikis, R. Loch, M. Hermann, S. Strobel, R. Donker, T. Mey, and R. Sobierajski, J. Opt. Soc. Am. B 35, 2799 (2018).
[Crossref]

R. Sobierajski, I. Jacyna, P. Dluzewski, M. T. Klepka, D. Klinger, J. B. Pelka, T. Burian, V. Hajkova, L. Juha, K. Saksl, V. Vozda, I. Makhotkin, E. Louis, B. Faatz, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. Enkisch, M. Hermann, S. Strobel, R. A. Loch, and J. Chalupsky, Opt. Express 24, 15468 (2016).
[Crossref]

M. De Grazia, H. Merdji, T. Auguste, B. Carré, J. Gaudin, G. Geoffroy, S. Guizard, F. Krejci, J. Kuba, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, M. Ledinský, and L. Juha, Proc. SPIE 8077, 80770L (2011).
[Crossref]

J. Chalupsky, L. Juha, V. Hajkova, J. Cihelka, L. Vysin, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tshentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, Opt. Express 17, 208 (2009).
[Crossref]

A. J. Nelson, S. Toleikis, H. Chapman, S. Bajt, J. Krzywinski, J. Chaupsky, L. Juha, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, T. Burian, M. Kozlova, R. R. Faustlin, B. Nagler, S. M. Vinko, T. Whitcher, T. Dzelzainis, O. Renner, K. Saksl, A. R. Khorsand, P. A. Heimann, R. Sobierajski, D. Klinger, M. Jurek, J. Pelka, B. Iwan, J. Andreasson, N. Timneanu, M. Fajardo, J. S. Wark, D. Riley, T. Tschentscher, J. Hajdu, and R. W. Lee, Opt. Express 17, 18271 (2009).
[Crossref]

T. Mocek, B. Rus, M. Kozlava, J. Polan, P. Homer, L. Juha, V. Hajkova, and J. Chalupsky, Opt. Lett. 33, 1087 (2008).
[Crossref]

J. Chalupsky, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hajkova, S. Koptyaev, J. Krasa, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, Opt. Express 15, 6036 (2007).
[Crossref]

Jurek, M.

I. A. Makhotkin, I. Milov, J. Chalupsky, K. Tiedtke, H. Enkisch, G. de Vries, F. Scholze, F. Siewert, J. M. Sturm, K. V. Nikolaev, R. W. E. van de Kruijs, M. A. Smithers, H. A. G. M. van Wolferen, E. G. Keim, E. Louis, I. Jacyna, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, V. Hajkova, V. Vozda, T. Burian, K. Saksl, B. Faatz, B. Keitel, E. Plonjes, S. Schreiber, S. Toleikis, R. Loch, M. Hermann, S. Strobel, R. Donker, T. Mey, and R. Sobierajski, J. Opt. Soc. Am. B 35, 2799 (2018).
[Crossref]

A. J. Nelson, S. Toleikis, H. Chapman, S. Bajt, J. Krzywinski, J. Chaupsky, L. Juha, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, T. Burian, M. Kozlova, R. R. Faustlin, B. Nagler, S. M. Vinko, T. Whitcher, T. Dzelzainis, O. Renner, K. Saksl, A. R. Khorsand, P. A. Heimann, R. Sobierajski, D. Klinger, M. Jurek, J. Pelka, B. Iwan, J. Andreasson, N. Timneanu, M. Fajardo, J. S. Wark, D. Riley, T. Tschentscher, J. Hajdu, and R. W. Lee, Opt. Express 17, 18271 (2009).
[Crossref]

J. Chalupsky, L. Juha, V. Hajkova, J. Cihelka, L. Vysin, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tshentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, Opt. Express 17, 208 (2009).
[Crossref]

J. Chalupsky, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hajkova, S. Koptyaev, J. Krasa, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, Opt. Express 15, 6036 (2007).
[Crossref]

Kaihori, T.

M. Ishino, A. Y. Faenov, M. Tanaka, S. Tamotsu, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. A. Pikuz, T. Kaihori, and T. Kawachi, Appl. Phys. A 110, 179 (2013).
[Crossref]

Kautek, W.

S. Baudach, J. Bonse, J. Kruger, and W. Kautek, Appl. Surf. Sci. 154–155, 555 (2000).
[Crossref]

Kawachi, T.

M. Ishino, A. Y. Faenov, M. Tanaka, S. Tamotsu, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. A. Pikuz, T. Kaihori, and T. Kawachi, Appl. Phys. A 110, 179 (2013).
[Crossref]

Kawasaki, T.

M. Toriumi, T. Kawasaki, T. Imai, K. Tsukiyama, J. J. Santillan, and T. Itani, Proc. SPIE 10586, 105860E (2018).
[Crossref]

Keim, E. G.

Keitel, B.

Kenmotsu, Y.

T. Makimura, Y. Kenmotsu, H. Miyamoto, H. Niino, and K. Murakami, Surf. Sci. 593, 248 (2005).
[Crossref]

Khorsand, A. R.

Kishimoto, H.

H. Mimura, Y. Takei, T. Kume, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Senba, H. Kishimoto, and H. Ohashi, Rev. Sci. Instrum. 89, 093104 (2018).
[Crossref]

Klepka, M. T.

Klinger, D.

Kobayashi, Y.

T. Shibuya, T. Takahashi, K. Sakaue, T.-H. Dinh, H. Hara, T. Higashiguchi, M. Ishino, Y. Koshiba, M. Nishikino, H. Ogawa, M. Tanaka, M. Washio, Y. Kobayashi, and R. Kuroda, Appl. Phys. Lett. 113, 171902 (2018).
[Crossref]

Koptyaev, S.

Koshiba, Y.

T. Shibuya, T. Takahashi, K. Sakaue, T.-H. Dinh, H. Hara, T. Higashiguchi, M. Ishino, Y. Koshiba, M. Nishikino, H. Ogawa, M. Tanaka, M. Washio, Y. Kobayashi, and R. Kuroda, Appl. Phys. Lett. 113, 171902 (2018).
[Crossref]

Kozlava, M.

Kozlova, M.

Krasa, J.

Krejci, F.

M. De Grazia, H. Merdji, T. Auguste, B. Carré, J. Gaudin, G. Geoffroy, S. Guizard, F. Krejci, J. Kuba, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, M. Ledinský, and L. Juha, Proc. SPIE 8077, 80770L (2011).
[Crossref]

Kruger, J.

S. Baudach, J. Bonse, J. Kruger, and W. Kautek, Appl. Surf. Sci. 154–155, 555 (2000).
[Crossref]

Krzywinski, J.

Kuba, J.

Kume, T.

H. Motoyama, A. Iwasaki, Y. Takei, T. Kume, S. Egawa, T. Sato, K. Yamanouchi, and H. Mimura, Appl. Phys. Lett. 114, 241102 (2019).
[Crossref]

H. Mimura, Y. Takei, T. Kume, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Senba, H. Kishimoto, and H. Ohashi, Rev. Sci. Instrum. 89, 093104 (2018).
[Crossref]

Kuroda, R.

T. Shibuya, T. Takahashi, K. Sakaue, T.-H. Dinh, H. Hara, T. Higashiguchi, M. Ishino, Y. Koshiba, M. Nishikino, H. Ogawa, M. Tanaka, M. Washio, Y. Kobayashi, and R. Kuroda, Appl. Phys. Lett. 113, 171902 (2018).
[Crossref]

Lambert, G.

J. Gautier, P. Zeitoun, A. S. Morlens, S. Sebban, C. Valentin, E. Papalazarou, J. P. Goddet, G. Lambert, T. Marchenko, and M. Fajardo, UVX 2008(2009) (2009), p. 45.

Ledinský, M.

M. De Grazia, H. Merdji, T. Auguste, B. Carré, J. Gaudin, G. Geoffroy, S. Guizard, F. Krejci, J. Kuba, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, M. Ledinský, and L. Juha, Proc. SPIE 8077, 80770L (2011).
[Crossref]

Lee, R. W.

Loch, R.

Loch, R. A.

London, R. A.

Louis, E.

Lu, Y.

Makhotkin, I.

Makhotkin, I. A.

Makimura, T.

T. Makimura, S. Uchida, K. Murakami, and H. Niino, Appl. Phys. Lett. 89, 101118 (2006).
[Crossref]

T. Makimura, Y. Kenmotsu, H. Miyamoto, H. Niino, and K. Murakami, Surf. Sci. 593, 248 (2005).
[Crossref]

Mann, K.

C. Peth, F. Barkusky, and K. Mann, J. Phys. D 41, 105202 (2008).
[Crossref]

F. Barkusky, C. Peth, A. Bayer, and K. Mann, J. Appl. Phys. 101, 124908 (2007).
[Crossref]

Marchenko, T.

J. Gautier, P. Zeitoun, A. S. Morlens, S. Sebban, C. Valentin, E. Papalazarou, J. P. Goddet, G. Lambert, T. Marchenko, and M. Fajardo, UVX 2008(2009) (2009), p. 45.

Mashiko, H.

Masuda, M.

N. Tanaka, M. Masuda, R. Deguchi, M. Murakami, A. Sunahara, S. Fujioka, A. Yogo, and H. Nishimura, Appl. Phys. Lett. 107, 114101 (2015).
[Crossref]

Matsuzawa, Y.

H. Mimura, Y. Takei, T. Kume, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Senba, H. Kishimoto, and H. Ohashi, Rev. Sci. Instrum. 89, 093104 (2018).
[Crossref]

Mazur, E.

R. R. Gattass and E. Mazur, Nat. Photonics 2, 219 (2008).
[Crossref]

Menoni, C. S.

Merdji, H.

M. De Grazia, H. Merdji, T. Auguste, B. Carré, J. Gaudin, G. Geoffroy, S. Guizard, F. Krejci, J. Kuba, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, M. Ledinský, and L. Juha, Proc. SPIE 8077, 80770L (2011).
[Crossref]

Metev, S.

C. Wochnowski, S. Metev, and G. Sepold, Appl. Surf. Sci. 154-155, 706 (2000).
[Crossref]

Mey, T.

Meyer-ter-Vehn, J.

Midorikawa, K.

Mihailov, M.

B. Schneider, J. Stokr, P. Schmidt, M. Mihailov, S. Dirlikov, and N. Peeva, Polymer 20, 705 (1979).
[Crossref]

Milov, I.

Mimura, H.

H. Motoyama, A. Iwasaki, Y. Takei, T. Kume, S. Egawa, T. Sato, K. Yamanouchi, and H. Mimura, Appl. Phys. Lett. 114, 241102 (2019).
[Crossref]

H. Mimura, Y. Takei, T. Kume, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Senba, H. Kishimoto, and H. Ohashi, Rev. Sci. Instrum. 89, 093104 (2018).
[Crossref]

Miyamoto, H.

T. Makimura, Y. Kenmotsu, H. Miyamoto, H. Niino, and K. Murakami, Surf. Sci. 593, 248 (2005).
[Crossref]

Mocek, T.

Moeller, S.

Morlens, A. S.

J. Gautier, P. Zeitoun, A. S. Morlens, S. Sebban, C. Valentin, E. Papalazarou, J. P. Goddet, G. Lambert, T. Marchenko, and M. Fajardo, UVX 2008(2009) (2009), p. 45.

Motoyama, H.

H. Motoyama, A. Iwasaki, Y. Takei, T. Kume, S. Egawa, T. Sato, K. Yamanouchi, and H. Mimura, Appl. Phys. Lett. 114, 241102 (2019).
[Crossref]

H. Mimura, Y. Takei, T. Kume, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Senba, H. Kishimoto, and H. Ohashi, Rev. Sci. Instrum. 89, 093104 (2018).
[Crossref]

Murakami, K.

T. Makimura, S. Uchida, K. Murakami, and H. Niino, Appl. Phys. Lett. 89, 101118 (2006).
[Crossref]

T. Makimura, Y. Kenmotsu, H. Miyamoto, H. Niino, and K. Murakami, Surf. Sci. 593, 248 (2005).
[Crossref]

Murakami, M.

N. Tanaka, M. Masuda, R. Deguchi, M. Murakami, A. Sunahara, S. Fujioka, A. Yogo, and H. Nishimura, Appl. Phys. Lett. 107, 114101 (2015).
[Crossref]

Nagler, B.

Nelson, A. J.

Nietubyc, R.

Niino, H.

T. Makimura, S. Uchida, K. Murakami, and H. Niino, Appl. Phys. Lett. 89, 101118 (2006).
[Crossref]

T. Makimura, Y. Kenmotsu, H. Miyamoto, H. Niino, and K. Murakami, Surf. Sci. 593, 248 (2005).
[Crossref]

Nikolaev, K. V.

Nishikino, M.

T. Shibuya, T. Takahashi, K. Sakaue, T.-H. Dinh, H. Hara, T. Higashiguchi, M. Ishino, Y. Koshiba, M. Nishikino, H. Ogawa, M. Tanaka, M. Washio, Y. Kobayashi, and R. Kuroda, Appl. Phys. Lett. 113, 171902 (2018).
[Crossref]

M. Ishino, A. Y. Faenov, M. Tanaka, S. Tamotsu, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. A. Pikuz, T. Kaihori, and T. Kawachi, Appl. Phys. A 110, 179 (2013).
[Crossref]

Nishimura, H.

N. Tanaka, M. Masuda, R. Deguchi, M. Murakami, A. Sunahara, S. Fujioka, A. Yogo, and H. Nishimura, Appl. Phys. Lett. 107, 114101 (2015).
[Crossref]

Nisius, T.

J. Ewald, M. Wieland, T. Nisius, L. Henning, T. Feigl, M. Drescher, and T. Wilhein, J. Phys: Conf. Ser. 499, 012008 (2014).
[Crossref]

Ogawa, H.

T. Shibuya, T. Takahashi, K. Sakaue, T.-H. Dinh, H. Hara, T. Higashiguchi, M. Ishino, Y. Koshiba, M. Nishikino, H. Ogawa, M. Tanaka, M. Washio, Y. Kobayashi, and R. Kuroda, Appl. Phys. Lett. 113, 171902 (2018).
[Crossref]

Ohashi, H.

H. Mimura, Y. Takei, T. Kume, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Senba, H. Kishimoto, and H. Ohashi, Rev. Sci. Instrum. 89, 093104 (2018).
[Crossref]

Painter, J. C.

Papalazarou, E.

Parkinson, B.

Peatross, J.

Peeva, N.

B. Schneider, J. Stokr, P. Schmidt, M. Mihailov, S. Dirlikov, and N. Peeva, Polymer 20, 705 (1979).
[Crossref]

Pelka, J.

Pelka, J. B.

I. A. Makhotkin, I. Milov, J. Chalupsky, K. Tiedtke, H. Enkisch, G. de Vries, F. Scholze, F. Siewert, J. M. Sturm, K. V. Nikolaev, R. W. E. van de Kruijs, M. A. Smithers, H. A. G. M. van Wolferen, E. G. Keim, E. Louis, I. Jacyna, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, V. Hajkova, V. Vozda, T. Burian, K. Saksl, B. Faatz, B. Keitel, E. Plonjes, S. Schreiber, S. Toleikis, R. Loch, M. Hermann, S. Strobel, R. Donker, T. Mey, and R. Sobierajski, J. Opt. Soc. Am. B 35, 2799 (2018).
[Crossref]

R. Sobierajski, I. Jacyna, P. Dluzewski, M. T. Klepka, D. Klinger, J. B. Pelka, T. Burian, V. Hajkova, L. Juha, K. Saksl, V. Vozda, I. Makhotkin, E. Louis, B. Faatz, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. Enkisch, M. Hermann, S. Strobel, R. A. Loch, and J. Chalupsky, Opt. Express 24, 15468 (2016).
[Crossref]

J. Chalupsky, L. Juha, V. Hajkova, J. Cihelka, L. Vysin, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tshentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, Opt. Express 17, 208 (2009).
[Crossref]

J. Chalupsky, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hajkova, S. Koptyaev, J. Krasa, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, Opt. Express 15, 6036 (2007).
[Crossref]

Peth, C.

C. Peth, F. Barkusky, and K. Mann, J. Phys. D 41, 105202 (2008).
[Crossref]

F. Barkusky, C. Peth, A. Bayer, and K. Mann, J. Appl. Phys. 101, 124908 (2007).
[Crossref]

Pikuz, T. A.

M. Ishino, A. Y. Faenov, M. Tanaka, S. Tamotsu, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. A. Pikuz, T. Kaihori, and T. Kawachi, Appl. Phys. A 110, 179 (2013).
[Crossref]

Plonjes, E.

Polan, J.

Powers, N. D.

Preuss, S.

S. Preuss, A. Demchuk, and M. Stuke, Appl. Phys. A 61, 33 (1995).
[Crossref]

Ratner, D.

Renner, O.

Rey, G.

Rhynard, S. E.

Riley, D.

Rocca, J. J.

Rus, B.

Sakaue, K.

T. Shibuya, T. Takahashi, K. Sakaue, T.-H. Dinh, H. Hara, T. Higashiguchi, M. Ishino, Y. Koshiba, M. Nishikino, H. Ogawa, M. Tanaka, M. Washio, Y. Kobayashi, and R. Kuroda, Appl. Phys. Lett. 113, 171902 (2018).
[Crossref]

Saksl, K.

Santillan, J. J.

Y. Yamashita, T. Chikyow, J. J. Santillan, and T. Itani, Jpn. J. Appl. Phys. 58, SDDC01 (2019).
[Crossref]

M. Toriumi, T. Kawasaki, T. Imai, K. Tsukiyama, J. J. Santillan, and T. Itani, Proc. SPIE 10586, 105860E (2018).
[Crossref]

J. J. Santillan and T. Itani, Proc. SPIE 10586, 105860F (2018).
[Crossref]

Sato, T.

H. Motoyama, A. Iwasaki, Y. Takei, T. Kume, S. Egawa, T. Sato, K. Yamanouchi, and H. Mimura, Appl. Phys. Lett. 114, 241102 (2019).
[Crossref]

Schmidt, P.

B. Schneider, J. Stokr, P. Schmidt, M. Mihailov, S. Dirlikov, and N. Peeva, Polymer 20, 705 (1979).
[Crossref]

Schneider, B.

B. Schneider, J. Stokr, P. Schmidt, M. Mihailov, S. Dirlikov, and N. Peeva, Polymer 20, 705 (1979).
[Crossref]

Scholze, F.

Schreiber, S.

Sebban, S.

Senba, Y.

H. Mimura, Y. Takei, T. Kume, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Senba, H. Kishimoto, and H. Ohashi, Rev. Sci. Instrum. 89, 093104 (2018).
[Crossref]

Sepold, G.

C. Wochnowski, S. Metev, and G. Sepold, Appl. Surf. Sci. 154-155, 706 (2000).
[Crossref]

Shibuya, T.

T. Shibuya, T. Takahashi, K. Sakaue, T.-H. Dinh, H. Hara, T. Higashiguchi, M. Ishino, Y. Koshiba, M. Nishikino, H. Ogawa, M. Tanaka, M. Washio, Y. Kobayashi, and R. Kuroda, Appl. Phys. Lett. 113, 171902 (2018).
[Crossref]

Siewert, F.

Smithers, M. A.

Sobierajski, R.

I. A. Makhotkin, I. Milov, J. Chalupsky, K. Tiedtke, H. Enkisch, G. de Vries, F. Scholze, F. Siewert, J. M. Sturm, K. V. Nikolaev, R. W. E. van de Kruijs, M. A. Smithers, H. A. G. M. van Wolferen, E. G. Keim, E. Louis, I. Jacyna, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, V. Hajkova, V. Vozda, T. Burian, K. Saksl, B. Faatz, B. Keitel, E. Plonjes, S. Schreiber, S. Toleikis, R. Loch, M. Hermann, S. Strobel, R. Donker, T. Mey, and R. Sobierajski, J. Opt. Soc. Am. B 35, 2799 (2018).
[Crossref]

R. Sobierajski, I. Jacyna, P. Dluzewski, M. T. Klepka, D. Klinger, J. B. Pelka, T. Burian, V. Hajkova, L. Juha, K. Saksl, V. Vozda, I. Makhotkin, E. Louis, B. Faatz, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. Enkisch, M. Hermann, S. Strobel, R. A. Loch, and J. Chalupsky, Opt. Express 24, 15468 (2016).
[Crossref]

A. J. Nelson, S. Toleikis, H. Chapman, S. Bajt, J. Krzywinski, J. Chaupsky, L. Juha, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, T. Burian, M. Kozlova, R. R. Faustlin, B. Nagler, S. M. Vinko, T. Whitcher, T. Dzelzainis, O. Renner, K. Saksl, A. R. Khorsand, P. A. Heimann, R. Sobierajski, D. Klinger, M. Jurek, J. Pelka, B. Iwan, J. Andreasson, N. Timneanu, M. Fajardo, J. S. Wark, D. Riley, T. Tschentscher, J. Hajdu, and R. W. Lee, Opt. Express 17, 18271 (2009).
[Crossref]

J. Chalupsky, L. Juha, V. Hajkova, J. Cihelka, L. Vysin, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tshentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, Opt. Express 17, 208 (2009).
[Crossref]

J. Chalupsky, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hajkova, S. Koptyaev, J. Krasa, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, Opt. Express 15, 6036 (2007).
[Crossref]

Sokolowski-Tinten, K.

Stojanovic, N.

Stokr, J.

B. Schneider, J. Stokr, P. Schmidt, M. Mihailov, S. Dirlikov, and N. Peeva, Polymer 20, 705 (1979).
[Crossref]

Strobel, S.

Stuke, M.

S. Preuss, A. Demchuk, and M. Stuke, Appl. Phys. A 61, 33 (1995).
[Crossref]

Sturm, J. M.

Suda, A.

Sunahara, A.

N. Tanaka, M. Masuda, R. Deguchi, M. Murakami, A. Sunahara, S. Fujioka, A. Yogo, and H. Nishimura, Appl. Phys. Lett. 107, 114101 (2015).
[Crossref]

Sutherland, J. R.

Takahashi, T.

T. Shibuya, T. Takahashi, K. Sakaue, T.-H. Dinh, H. Hara, T. Higashiguchi, M. Ishino, Y. Koshiba, M. Nishikino, H. Ogawa, M. Tanaka, M. Washio, Y. Kobayashi, and R. Kuroda, Appl. Phys. Lett. 113, 171902 (2018).
[Crossref]

Takei, Y.

H. Motoyama, A. Iwasaki, Y. Takei, T. Kume, S. Egawa, T. Sato, K. Yamanouchi, and H. Mimura, Appl. Phys. Lett. 114, 241102 (2019).
[Crossref]

H. Mimura, Y. Takei, T. Kume, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Senba, H. Kishimoto, and H. Ohashi, Rev. Sci. Instrum. 89, 093104 (2018).
[Crossref]

Takeo, Y.

H. Mimura, Y. Takei, T. Kume, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Senba, H. Kishimoto, and H. Ohashi, Rev. Sci. Instrum. 89, 093104 (2018).
[Crossref]

Tamotsu, S.

M. Ishino, A. Y. Faenov, M. Tanaka, S. Tamotsu, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. A. Pikuz, T. Kaihori, and T. Kawachi, Appl. Phys. A 110, 179 (2013).
[Crossref]

Tanaka, M.

T. Shibuya, T. Takahashi, K. Sakaue, T.-H. Dinh, H. Hara, T. Higashiguchi, M. Ishino, Y. Koshiba, M. Nishikino, H. Ogawa, M. Tanaka, M. Washio, Y. Kobayashi, and R. Kuroda, Appl. Phys. Lett. 113, 171902 (2018).
[Crossref]

M. Ishino, A. Y. Faenov, M. Tanaka, S. Tamotsu, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. A. Pikuz, T. Kaihori, and T. Kawachi, Appl. Phys. A 110, 179 (2013).
[Crossref]

Tanaka, N.

N. Tanaka, M. Masuda, R. Deguchi, M. Murakami, A. Sunahara, S. Fujioka, A. Yogo, and H. Nishimura, Appl. Phys. Lett. 107, 114101 (2015).
[Crossref]

Tiedtke, K.

I. A. Makhotkin, I. Milov, J. Chalupsky, K. Tiedtke, H. Enkisch, G. de Vries, F. Scholze, F. Siewert, J. M. Sturm, K. V. Nikolaev, R. W. E. van de Kruijs, M. A. Smithers, H. A. G. M. van Wolferen, E. G. Keim, E. Louis, I. Jacyna, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, V. Hajkova, V. Vozda, T. Burian, K. Saksl, B. Faatz, B. Keitel, E. Plonjes, S. Schreiber, S. Toleikis, R. Loch, M. Hermann, S. Strobel, R. Donker, T. Mey, and R. Sobierajski, J. Opt. Soc. Am. B 35, 2799 (2018).
[Crossref]

R. Sobierajski, I. Jacyna, P. Dluzewski, M. T. Klepka, D. Klinger, J. B. Pelka, T. Burian, V. Hajkova, L. Juha, K. Saksl, V. Vozda, I. Makhotkin, E. Louis, B. Faatz, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. Enkisch, M. Hermann, S. Strobel, R. A. Loch, and J. Chalupsky, Opt. Express 24, 15468 (2016).
[Crossref]

J. Chalupsky, L. Juha, V. Hajkova, J. Cihelka, L. Vysin, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tshentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, Opt. Express 17, 208 (2009).
[Crossref]

J. Chalupsky, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hajkova, S. Koptyaev, J. Krasa, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, Opt. Express 15, 6036 (2007).
[Crossref]

Timneanu, N.

Toleikis, S.

I. A. Makhotkin, I. Milov, J. Chalupsky, K. Tiedtke, H. Enkisch, G. de Vries, F. Scholze, F. Siewert, J. M. Sturm, K. V. Nikolaev, R. W. E. van de Kruijs, M. A. Smithers, H. A. G. M. van Wolferen, E. G. Keim, E. Louis, I. Jacyna, M. Jurek, D. Klinger, J. B. Pelka, L. Juha, V. Hajkova, V. Vozda, T. Burian, K. Saksl, B. Faatz, B. Keitel, E. Plonjes, S. Schreiber, S. Toleikis, R. Loch, M. Hermann, S. Strobel, R. Donker, T. Mey, and R. Sobierajski, J. Opt. Soc. Am. B 35, 2799 (2018).
[Crossref]

R. Sobierajski, I. Jacyna, P. Dluzewski, M. T. Klepka, D. Klinger, J. B. Pelka, T. Burian, V. Hajkova, L. Juha, K. Saksl, V. Vozda, I. Makhotkin, E. Louis, B. Faatz, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. Enkisch, M. Hermann, S. Strobel, R. A. Loch, and J. Chalupsky, Opt. Express 24, 15468 (2016).
[Crossref]

A. J. Nelson, S. Toleikis, H. Chapman, S. Bajt, J. Krzywinski, J. Chaupsky, L. Juha, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, T. Burian, M. Kozlova, R. R. Faustlin, B. Nagler, S. M. Vinko, T. Whitcher, T. Dzelzainis, O. Renner, K. Saksl, A. R. Khorsand, P. A. Heimann, R. Sobierajski, D. Klinger, M. Jurek, J. Pelka, B. Iwan, J. Andreasson, N. Timneanu, M. Fajardo, J. S. Wark, D. Riley, T. Tschentscher, J. Hajdu, and R. W. Lee, Opt. Express 17, 18271 (2009).
[Crossref]

J. Chalupsky, L. Juha, V. Hajkova, J. Cihelka, L. Vysin, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tshentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, Opt. Express 17, 208 (2009).
[Crossref]

J. Chalupsky, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hajkova, S. Koptyaev, J. Krasa, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, Opt. Express 15, 6036 (2007).
[Crossref]

Toriumi, M.

M. Toriumi, T. Kawasaki, T. Imai, K. Tsukiyama, J. J. Santillan, and T. Itani, Proc. SPIE 10586, 105860E (2018).
[Crossref]

Tronnier, A.

Tschentscher, T.

Tshentscher, T.

Tsukiyama, K.

M. Toriumi, T. Kawasaki, T. Imai, K. Tsukiyama, J. J. Santillan, and T. Itani, Proc. SPIE 10586, 105860E (2018).
[Crossref]

Uchida, S.

T. Makimura, S. Uchida, K. Murakami, and H. Niino, Appl. Phys. Lett. 89, 101118 (2006).
[Crossref]

Valentin, C.

van de Kruijs, R. W. E.

van Wolferen, H. A. G. M.

Vaschenko, G.

Velyhan, A.

Vinko, S. M.

Vozda, V.

Vysin, L.

Wabnitz, H.

Wark, J. S.

Washio, M.

T. Shibuya, T. Takahashi, K. Sakaue, T.-H. Dinh, H. Hara, T. Higashiguchi, M. Ishino, Y. Koshiba, M. Nishikino, H. Ogawa, M. Tanaka, M. Washio, Y. Kobayashi, and R. Kuroda, Appl. Phys. Lett. 113, 171902 (2018).
[Crossref]

Whitcher, T.

Wieland, M.

J. Ewald, M. Wieland, T. Nisius, L. Henning, T. Feigl, M. Drescher, and T. Wilhein, J. Phys: Conf. Ser. 499, 012008 (2014).
[Crossref]

Wilhein, T.

J. Ewald, M. Wieland, T. Nisius, L. Henning, T. Feigl, M. Drescher, and T. Wilhein, J. Phys: Conf. Ser. 499, 012008 (2014).
[Crossref]

Wochnowski, C.

C. Wochnowski, S. Metev, and G. Sepold, Appl. Surf. Sci. 154-155, 706 (2000).
[Crossref]

Yamaguchi, G.

H. Mimura, Y. Takei, T. Kume, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Senba, H. Kishimoto, and H. Ohashi, Rev. Sci. Instrum. 89, 093104 (2018).
[Crossref]

Yamanouchi, K.

H. Motoyama, A. Iwasaki, Y. Takei, T. Kume, S. Egawa, T. Sato, K. Yamanouchi, and H. Mimura, Appl. Phys. Lett. 114, 241102 (2019).
[Crossref]

Yamashita, Y.

Y. Yamashita, T. Chikyow, J. J. Santillan, and T. Itani, Jpn. J. Appl. Phys. 58, SDDC01 (2019).
[Crossref]

Yogo, A.

N. Tanaka, M. Masuda, R. Deguchi, M. Murakami, A. Sunahara, S. Fujioka, A. Yogo, and H. Nishimura, Appl. Phys. Lett. 107, 114101 (2015).
[Crossref]

Zastrau, U.

Zeitoun, P.

Appl. Phys. A (2)

M. Ishino, A. Y. Faenov, M. Tanaka, S. Tamotsu, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. A. Pikuz, T. Kaihori, and T. Kawachi, Appl. Phys. A 110, 179 (2013).
[Crossref]

S. Preuss, A. Demchuk, and M. Stuke, Appl. Phys. A 61, 33 (1995).
[Crossref]

Appl. Phys. Lett. (4)

N. Tanaka, M. Masuda, R. Deguchi, M. Murakami, A. Sunahara, S. Fujioka, A. Yogo, and H. Nishimura, Appl. Phys. Lett. 107, 114101 (2015).
[Crossref]

T. Shibuya, T. Takahashi, K. Sakaue, T.-H. Dinh, H. Hara, T. Higashiguchi, M. Ishino, Y. Koshiba, M. Nishikino, H. Ogawa, M. Tanaka, M. Washio, Y. Kobayashi, and R. Kuroda, Appl. Phys. Lett. 113, 171902 (2018).
[Crossref]

T. Makimura, S. Uchida, K. Murakami, and H. Niino, Appl. Phys. Lett. 89, 101118 (2006).
[Crossref]

H. Motoyama, A. Iwasaki, Y. Takei, T. Kume, S. Egawa, T. Sato, K. Yamanouchi, and H. Mimura, Appl. Phys. Lett. 114, 241102 (2019).
[Crossref]

Appl. Surf. Sci. (2)

S. Baudach, J. Bonse, J. Kruger, and W. Kautek, Appl. Surf. Sci. 154–155, 555 (2000).
[Crossref]

C. Wochnowski, S. Metev, and G. Sepold, Appl. Surf. Sci. 154-155, 706 (2000).
[Crossref]

Atomic Data and Nuclear Data Tables (1)

B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis, Atomic Data and Nuclear Data Tables 54, 181 (1993).
[Crossref]

J. Appl. Phys. (1)

F. Barkusky, C. Peth, A. Bayer, and K. Mann, J. Appl. Phys. 101, 124908 (2007).
[Crossref]

J. Opt. Soc. Am. B (1)

J. Phys. D (1)

C. Peth, F. Barkusky, and K. Mann, J. Phys. D 41, 105202 (2008).
[Crossref]

J. Phys: Conf. Ser. (1)

J. Ewald, M. Wieland, T. Nisius, L. Henning, T. Feigl, M. Drescher, and T. Wilhein, J. Phys: Conf. Ser. 499, 012008 (2014).
[Crossref]

Jpn. J. Appl. Phys. (1)

Y. Yamashita, T. Chikyow, J. J. Santillan, and T. Itani, Jpn. J. Appl. Phys. 58, SDDC01 (2019).
[Crossref]

Nat. Photonics (1)

R. R. Gattass and E. Mazur, Nat. Photonics 2, 219 (2008).
[Crossref]

Opt. Express (6)

J. R. Sutherland, E. L. Christensen, N. D. Powers, S. E. Rhynard, J. C. Painter, and J. Peatross, Opt. Express 12, 4430 (2004).
[Crossref]

J. Chalupsky, L. Juha, J. Kuba, J. Cihelka, V. Hajkova, S. Koptyaev, J. Krasa, A. Velyhan, M. Bergh, C. Caleman, J. Hajdu, R. M. Bionta, H. Chapman, S. P. Hau-Riege, R. A. London, M. Jurek, J. Krzywinski, R. Nietubyc, J. B. Pelka, R. Sobierajski, J. Meyer-ter-Vehn, A. Tronnier, K. Sokolowski-Tinten, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, H. Wabnitz, and U. Zastrau, Opt. Express 15, 6036 (2007).
[Crossref]

J. Krzywinski, D. Cocco, S. Moeller, and D. Ratner, Opt. Express 23, 5397 (2015).
[Crossref]

R. Sobierajski, I. Jacyna, P. Dluzewski, M. T. Klepka, D. Klinger, J. B. Pelka, T. Burian, V. Hajkova, L. Juha, K. Saksl, V. Vozda, I. Makhotkin, E. Louis, B. Faatz, K. Tiedtke, S. Toleikis, H. Enkisch, M. Hermann, S. Strobel, R. A. Loch, and J. Chalupsky, Opt. Express 24, 15468 (2016).
[Crossref]

J. Chalupsky, L. Juha, V. Hajkova, J. Cihelka, L. Vysin, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tshentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, and P. Zeitoun, Opt. Express 17, 208 (2009).
[Crossref]

A. J. Nelson, S. Toleikis, H. Chapman, S. Bajt, J. Krzywinski, J. Chaupsky, L. Juha, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, T. Burian, M. Kozlova, R. R. Faustlin, B. Nagler, S. M. Vinko, T. Whitcher, T. Dzelzainis, O. Renner, K. Saksl, A. R. Khorsand, P. A. Heimann, R. Sobierajski, D. Klinger, M. Jurek, J. Pelka, B. Iwan, J. Andreasson, N. Timneanu, M. Fajardo, J. S. Wark, D. Riley, T. Tschentscher, J. Hajdu, and R. W. Lee, Opt. Express 17, 18271 (2009).
[Crossref]

Opt. Lett. (3)

Polymer (1)

B. Schneider, J. Stokr, P. Schmidt, M. Mihailov, S. Dirlikov, and N. Peeva, Polymer 20, 705 (1979).
[Crossref]

Proc. SPIE (3)

M. Toriumi, T. Kawasaki, T. Imai, K. Tsukiyama, J. J. Santillan, and T. Itani, Proc. SPIE 10586, 105860E (2018).
[Crossref]

J. J. Santillan and T. Itani, Proc. SPIE 10586, 105860F (2018).
[Crossref]

M. De Grazia, H. Merdji, T. Auguste, B. Carré, J. Gaudin, G. Geoffroy, S. Guizard, F. Krejci, J. Kuba, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, M. Ledinský, and L. Juha, Proc. SPIE 8077, 80770L (2011).
[Crossref]

Rev. Sci. Instrum. (1)

H. Mimura, Y. Takei, T. Kume, Y. Takeo, H. Motoyama, S. Egawa, Y. Matsuzawa, G. Yamaguchi, Y. Senba, H. Kishimoto, and H. Ohashi, Rev. Sci. Instrum. 89, 093104 (2018).
[Crossref]

Surf. Sci. (1)

T. Makimura, Y. Kenmotsu, H. Miyamoto, H. Niino, and K. Murakami, Surf. Sci. 593, 248 (2005).
[Crossref]

Other (2)

D. Attwood, Soft X-rays and Extreme Ultraviolet Radiation—Principles and Applications (Cambridge University, 2000).

J. Gautier, P. Zeitoun, A. S. Morlens, S. Sebban, C. Valentin, E. Papalazarou, J. P. Goddet, G. Lambert, T. Marchenko, and M. Fajardo, UVX 2008(2009) (2009), p. 45.

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1.
Fig. 1. (a) Profiles along the $x$ (horizontal) direction and the $y$ (vertical) direction of the XUV pulses as a function of the position along the $z$ direction. The solid lines represent the best-fit curves obtained using the $z$ dependence of a Gaussian beam profile. (b) and (c) The focal spot profiles at $z = {14.6}\;\unicode{x00B5}{\rm m}$ as a function of the position along the $x$ direction and the $y$ direction, respectively. The solid lines represent the best-fit Gaussian profiles.
Fig. 2.
Fig. 2. AFM image of the depth profile of the hole created on the surface of the PMMA sample by the irradiation of the 200 XUV pulses at the fluence of ${2.48}\;{{\rm mJ/cm}^2}$ ( $z = {14.6}\;\unicode{x00B5}{\rm m}$ ) with the profiles of the cross sections along the horizontal direction and the vertical direction.
Fig. 3.
Fig. 3. Surface removal rates of the PMMA sample (a) and the metal nanoparticle resist (b) by the irradiation of the focused XUV pulses (27.2–34.3 nm) as a function of the single-shot fluence. In each frame, a dotted straight line represents a best-fit line represented by Eq. (1) for the data in the low fluence region (the evaporation regime) and a solid line represents a best-fit line for the data in the high fluence region (the ablation regime).
Fig. 4.
Fig. 4. Raman microscope spectra of the PMMA sample. The black line represents the Raman microscope spectrum of the area of the PMMA sample that was not irradiated with the XUV pulses. The blue, green, and red lines represent the spectra of the holes created by the XUV irradiation when the fluences are ${2.48}\;{{\rm mJ/cm}^2}$ , ${0.65}\;{{\rm mJ/cm}^2}$ , and ${0.13}\;{{\rm mJ/cm}^2}$ . The peaks at ${1730}\;{{\rm cm}^{- 1}}$ , ${1640}\;{{\rm cm}^{- 1}}$ , and ${1450}\;{{\rm cm}^{- 1}}$ are assigned to the vibrational modes of the ${\rm C} {=} {\rm O}$ stretching, ${\rm C} {=} {\rm C}$ stretching, and ${{\rm CH}_2}$ bending, respectively. The peak appearing at ${1556}\;{{\rm cm}^{- 1}}$ marked with an asterisk is assigned to the vibrational frequency of ${{\rm O}_2}$ in the air.

Equations (2)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

d = ( 1 α e f f ) log F F t h ,
F t h ( N ) = F t h ( 1 ) N s 1 ,

Metrics