Abstract

Residual p-type doping from carbon has been identified as the root cause of excess absorption losses in (Al)GaAs/AlGaAs Bragg mirrors for high-finesse optical cavities when grown by metalorganic vapor phase epitaxy (MOVPE). Through optimization of the growth parameters with the aim of realizing low carbon uptake, we have shown a path for decreasing the parasitic background absorption in these mirrors from 100 to the 10 ppm range near 1064 nm. This significant reduction is realized via compensation of the carbon acceptors by intentional doping with the donor silicon in the uppermost layer pairs of 40-period GaAs/AlGaAs Bragg mirrors. Thus, we find that such compensation enables MOVPE-derived multilayer mirrors with the potential for a high cavity finesse (>100,000 in the near infrared) approaching the performance levels found with Bragg mirrors grown by molecular beam epitaxy (MBE).

Published by The Optical Society under the terms of the Creative Commons Attribution 4.0 License. Further distribution of this work must maintain attribution to the author(s) and the published article's title, journal citation, and DOI.

Full Article  |  PDF Article
OSA Recommended Articles
AlGaN photonics: recent advances in materials and ultraviolet devices

Dabing Li, Ke Jiang, Xiaojuan Sun, and Chunlei Guo
Adv. Opt. Photon. 10(1) 43-110 (2018)

Low-operating-energy directly modulated lasers for short-distance optical interconnects

Shinji Matsuo and Takaaki Kakitsuka
Adv. Opt. Photon. 10(3) 567-643 (2018)

Metal-cavity surface-emitting microlaser with hybrid metal-DBR reflectors

Chien-Yao Lu, Shun Lien Chuang, Alex Mutig, and Dieter Bimberg
Opt. Lett. 36(13) 2447-2449 (2011)

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. A. Knigge, M. Zorn, M. Weyers, and G. Tränkle, Electron. Lett. 38, 882 (2002).
    [Crossref]
  2. F. Saas, V. Talalaev, U. Griebner, J. W. Tomm, M. Zorn, and M. Weyers, Appl. Phys. Lett. 89, 151120 (2006).
    [Crossref]
  3. M. Zorn, P. Klopp, F. Saas, A. Ginolas, O. Krüger, U. Griebner, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 310, 5187 (2008).
    [Crossref]
  4. G. D. Cole, W. Zhang, M. J. Martin, J. Ye, and M. Aspelmeyer, Nat. Photonics 7, 644 (2013).
    [Crossref]
  5. A. Diebold, T. Zengerle, C. G. E. Alfieri, C. Schriber, F. Emaury, M. Mangold, M. Hoffmann, C. J. Saraceno, M. Golling, D. Follman, G. D. Cole, M. Aspelmeyer, T. Südmeyer, and U. Keller, Opt. Express 24, 10512 (2016).
    [Crossref]
  6. B. J. Bjork, T. Q. Bui, O. H. Heckl, P. B. Changala, B. Spaun, P. Heu, D. Follman, C. Deutsch, G. D. Cole, M. Aspelmeyer, M. Okumura, and J. Ye, Science 354, 444 (2016).
    [Crossref]
  7. M. Marchiò, R. Flaminio, L. Pinard, D. Forest, C. Deutsch, P. Heu, D. Follman, and G. D. Cole, Opt. Express 26, 611 (2018).
    [Crossref]
  8. G. D. Cole, S. Gröblacher, K. Gugler, S. Gigan, and M. Aspelmeyer, Appl. Phys. Lett. 92, 261108 (2008).
    [Crossref]
  9. G. D. Cole, Y. Bai, M. Aspelmeyer, and E. A. Fitzgerald, Appl. Phys. Lett. 96, 261102 (2010).
    [Crossref]
  10. A. Alexandrovski, M. Fejer, A. Markosian, and R. Route, Proc. SPIE 7193, 7193D (2009).
    [Crossref]
  11. D. I. Babic and S. W. Corzine, IEEE J. Quantum Electron. 28, 514 (1992).
    [Crossref]
  12. G. D. Cole, I. Wilson-Rae, M. R. Vanner, S. Gröblacher, J. Pohl, M. Zorn, M. Weyers, A. Peters, and M. Aspelmeyer, IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (2010), p. 5442339.
  13. T. F. Kuech, M. A. Tischler, R. Potemski, F. Cardone, and G. Scilla, J. Cryst. Growth 98, 174 (1989).
    [Crossref]
  14. A. Bhattacharya, M. Nasarek, U. Zeimer, A. Klein, M. Zorn, F. Bugge, S. Gramlich, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 274, 331 (2005).
    [Crossref]
  15. F. Reinhardt, B. Dwir, and E. Kapon, Appl. Phys. Lett. 68, 3168 (1996).
    [Crossref]
  16. G. D. Cole, W. Zhang, B. J. Bjork, D. Follman, P. Heu, C. Deutsch, L. Sonderhouse, J. Robinson, C. Franz, A. Alexandrovski, M. Notcutt, O. H. Heckl, J. Ye, and M. Aspelmeyer, Optica 3, 647 (2016).
    [Crossref]
  17. D. I. Babic, J. Piprek, K. Streubel, R. P. Mirin, N. M. Margalit, D. E. Mars, J. E. Bowers, and E. L. Hu, IEEE J. Quantum Electron. 33, 1369 (1997).
    [Crossref]
  18. H. C. Casey, D. D. Sell, and K. W. Wecht, J. Appl. Phys. 46, 205 (1975).
    [Crossref]
  19. A. Maaßdorf and M. Weyers, J. Cryst. Growth 414, 10 (2015).
    [Crossref]

2018 (1)

M. Marchiò, R. Flaminio, L. Pinard, D. Forest, C. Deutsch, P. Heu, D. Follman, and G. D. Cole, Opt. Express 26, 611 (2018).
[Crossref]

2016 (3)

2015 (1)

A. Maaßdorf and M. Weyers, J. Cryst. Growth 414, 10 (2015).
[Crossref]

2013 (1)

G. D. Cole, W. Zhang, M. J. Martin, J. Ye, and M. Aspelmeyer, Nat. Photonics 7, 644 (2013).
[Crossref]

2010 (1)

G. D. Cole, Y. Bai, M. Aspelmeyer, and E. A. Fitzgerald, Appl. Phys. Lett. 96, 261102 (2010).
[Crossref]

2009 (1)

A. Alexandrovski, M. Fejer, A. Markosian, and R. Route, Proc. SPIE 7193, 7193D (2009).
[Crossref]

2008 (2)

G. D. Cole, S. Gröblacher, K. Gugler, S. Gigan, and M. Aspelmeyer, Appl. Phys. Lett. 92, 261108 (2008).
[Crossref]

M. Zorn, P. Klopp, F. Saas, A. Ginolas, O. Krüger, U. Griebner, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 310, 5187 (2008).
[Crossref]

2006 (1)

F. Saas, V. Talalaev, U. Griebner, J. W. Tomm, M. Zorn, and M. Weyers, Appl. Phys. Lett. 89, 151120 (2006).
[Crossref]

2005 (1)

A. Bhattacharya, M. Nasarek, U. Zeimer, A. Klein, M. Zorn, F. Bugge, S. Gramlich, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 274, 331 (2005).
[Crossref]

2002 (1)

A. Knigge, M. Zorn, M. Weyers, and G. Tränkle, Electron. Lett. 38, 882 (2002).
[Crossref]

1997 (1)

D. I. Babic, J. Piprek, K. Streubel, R. P. Mirin, N. M. Margalit, D. E. Mars, J. E. Bowers, and E. L. Hu, IEEE J. Quantum Electron. 33, 1369 (1997).
[Crossref]

1996 (1)

F. Reinhardt, B. Dwir, and E. Kapon, Appl. Phys. Lett. 68, 3168 (1996).
[Crossref]

1992 (1)

D. I. Babic and S. W. Corzine, IEEE J. Quantum Electron. 28, 514 (1992).
[Crossref]

1989 (1)

T. F. Kuech, M. A. Tischler, R. Potemski, F. Cardone, and G. Scilla, J. Cryst. Growth 98, 174 (1989).
[Crossref]

1975 (1)

H. C. Casey, D. D. Sell, and K. W. Wecht, J. Appl. Phys. 46, 205 (1975).
[Crossref]

Alexandrovski, A.

Alfieri, C. G. E.

Aspelmeyer, M.

A. Diebold, T. Zengerle, C. G. E. Alfieri, C. Schriber, F. Emaury, M. Mangold, M. Hoffmann, C. J. Saraceno, M. Golling, D. Follman, G. D. Cole, M. Aspelmeyer, T. Südmeyer, and U. Keller, Opt. Express 24, 10512 (2016).
[Crossref]

G. D. Cole, W. Zhang, B. J. Bjork, D. Follman, P. Heu, C. Deutsch, L. Sonderhouse, J. Robinson, C. Franz, A. Alexandrovski, M. Notcutt, O. H. Heckl, J. Ye, and M. Aspelmeyer, Optica 3, 647 (2016).
[Crossref]

B. J. Bjork, T. Q. Bui, O. H. Heckl, P. B. Changala, B. Spaun, P. Heu, D. Follman, C. Deutsch, G. D. Cole, M. Aspelmeyer, M. Okumura, and J. Ye, Science 354, 444 (2016).
[Crossref]

G. D. Cole, W. Zhang, M. J. Martin, J. Ye, and M. Aspelmeyer, Nat. Photonics 7, 644 (2013).
[Crossref]

G. D. Cole, Y. Bai, M. Aspelmeyer, and E. A. Fitzgerald, Appl. Phys. Lett. 96, 261102 (2010).
[Crossref]

G. D. Cole, S. Gröblacher, K. Gugler, S. Gigan, and M. Aspelmeyer, Appl. Phys. Lett. 92, 261108 (2008).
[Crossref]

G. D. Cole, I. Wilson-Rae, M. R. Vanner, S. Gröblacher, J. Pohl, M. Zorn, M. Weyers, A. Peters, and M. Aspelmeyer, IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (2010), p. 5442339.

Babic, D. I.

D. I. Babic, J. Piprek, K. Streubel, R. P. Mirin, N. M. Margalit, D. E. Mars, J. E. Bowers, and E. L. Hu, IEEE J. Quantum Electron. 33, 1369 (1997).
[Crossref]

D. I. Babic and S. W. Corzine, IEEE J. Quantum Electron. 28, 514 (1992).
[Crossref]

Bai, Y.

G. D. Cole, Y. Bai, M. Aspelmeyer, and E. A. Fitzgerald, Appl. Phys. Lett. 96, 261102 (2010).
[Crossref]

Bhattacharya, A.

A. Bhattacharya, M. Nasarek, U. Zeimer, A. Klein, M. Zorn, F. Bugge, S. Gramlich, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 274, 331 (2005).
[Crossref]

Bjork, B. J.

B. J. Bjork, T. Q. Bui, O. H. Heckl, P. B. Changala, B. Spaun, P. Heu, D. Follman, C. Deutsch, G. D. Cole, M. Aspelmeyer, M. Okumura, and J. Ye, Science 354, 444 (2016).
[Crossref]

G. D. Cole, W. Zhang, B. J. Bjork, D. Follman, P. Heu, C. Deutsch, L. Sonderhouse, J. Robinson, C. Franz, A. Alexandrovski, M. Notcutt, O. H. Heckl, J. Ye, and M. Aspelmeyer, Optica 3, 647 (2016).
[Crossref]

Bowers, J. E.

D. I. Babic, J. Piprek, K. Streubel, R. P. Mirin, N. M. Margalit, D. E. Mars, J. E. Bowers, and E. L. Hu, IEEE J. Quantum Electron. 33, 1369 (1997).
[Crossref]

Bugge, F.

A. Bhattacharya, M. Nasarek, U. Zeimer, A. Klein, M. Zorn, F. Bugge, S. Gramlich, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 274, 331 (2005).
[Crossref]

Bui, T. Q.

B. J. Bjork, T. Q. Bui, O. H. Heckl, P. B. Changala, B. Spaun, P. Heu, D. Follman, C. Deutsch, G. D. Cole, M. Aspelmeyer, M. Okumura, and J. Ye, Science 354, 444 (2016).
[Crossref]

Cardone, F.

T. F. Kuech, M. A. Tischler, R. Potemski, F. Cardone, and G. Scilla, J. Cryst. Growth 98, 174 (1989).
[Crossref]

Casey, H. C.

H. C. Casey, D. D. Sell, and K. W. Wecht, J. Appl. Phys. 46, 205 (1975).
[Crossref]

Changala, P. B.

B. J. Bjork, T. Q. Bui, O. H. Heckl, P. B. Changala, B. Spaun, P. Heu, D. Follman, C. Deutsch, G. D. Cole, M. Aspelmeyer, M. Okumura, and J. Ye, Science 354, 444 (2016).
[Crossref]

Cole, G. D.

M. Marchiò, R. Flaminio, L. Pinard, D. Forest, C. Deutsch, P. Heu, D. Follman, and G. D. Cole, Opt. Express 26, 611 (2018).
[Crossref]

B. J. Bjork, T. Q. Bui, O. H. Heckl, P. B. Changala, B. Spaun, P. Heu, D. Follman, C. Deutsch, G. D. Cole, M. Aspelmeyer, M. Okumura, and J. Ye, Science 354, 444 (2016).
[Crossref]

G. D. Cole, W. Zhang, B. J. Bjork, D. Follman, P. Heu, C. Deutsch, L. Sonderhouse, J. Robinson, C. Franz, A. Alexandrovski, M. Notcutt, O. H. Heckl, J. Ye, and M. Aspelmeyer, Optica 3, 647 (2016).
[Crossref]

A. Diebold, T. Zengerle, C. G. E. Alfieri, C. Schriber, F. Emaury, M. Mangold, M. Hoffmann, C. J. Saraceno, M. Golling, D. Follman, G. D. Cole, M. Aspelmeyer, T. Südmeyer, and U. Keller, Opt. Express 24, 10512 (2016).
[Crossref]

G. D. Cole, W. Zhang, M. J. Martin, J. Ye, and M. Aspelmeyer, Nat. Photonics 7, 644 (2013).
[Crossref]

G. D. Cole, Y. Bai, M. Aspelmeyer, and E. A. Fitzgerald, Appl. Phys. Lett. 96, 261102 (2010).
[Crossref]

G. D. Cole, S. Gröblacher, K. Gugler, S. Gigan, and M. Aspelmeyer, Appl. Phys. Lett. 92, 261108 (2008).
[Crossref]

G. D. Cole, I. Wilson-Rae, M. R. Vanner, S. Gröblacher, J. Pohl, M. Zorn, M. Weyers, A. Peters, and M. Aspelmeyer, IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (2010), p. 5442339.

Corzine, S. W.

D. I. Babic and S. W. Corzine, IEEE J. Quantum Electron. 28, 514 (1992).
[Crossref]

Deutsch, C.

M. Marchiò, R. Flaminio, L. Pinard, D. Forest, C. Deutsch, P. Heu, D. Follman, and G. D. Cole, Opt. Express 26, 611 (2018).
[Crossref]

B. J. Bjork, T. Q. Bui, O. H. Heckl, P. B. Changala, B. Spaun, P. Heu, D. Follman, C. Deutsch, G. D. Cole, M. Aspelmeyer, M. Okumura, and J. Ye, Science 354, 444 (2016).
[Crossref]

G. D. Cole, W. Zhang, B. J. Bjork, D. Follman, P. Heu, C. Deutsch, L. Sonderhouse, J. Robinson, C. Franz, A. Alexandrovski, M. Notcutt, O. H. Heckl, J. Ye, and M. Aspelmeyer, Optica 3, 647 (2016).
[Crossref]

Diebold, A.

Dwir, B.

F. Reinhardt, B. Dwir, and E. Kapon, Appl. Phys. Lett. 68, 3168 (1996).
[Crossref]

Emaury, F.

Fejer, M.

A. Alexandrovski, M. Fejer, A. Markosian, and R. Route, Proc. SPIE 7193, 7193D (2009).
[Crossref]

Fitzgerald, E. A.

G. D. Cole, Y. Bai, M. Aspelmeyer, and E. A. Fitzgerald, Appl. Phys. Lett. 96, 261102 (2010).
[Crossref]

Flaminio, R.

M. Marchiò, R. Flaminio, L. Pinard, D. Forest, C. Deutsch, P. Heu, D. Follman, and G. D. Cole, Opt. Express 26, 611 (2018).
[Crossref]

Follman, D.

Forest, D.

M. Marchiò, R. Flaminio, L. Pinard, D. Forest, C. Deutsch, P. Heu, D. Follman, and G. D. Cole, Opt. Express 26, 611 (2018).
[Crossref]

Franz, C.

Gigan, S.

G. D. Cole, S. Gröblacher, K. Gugler, S. Gigan, and M. Aspelmeyer, Appl. Phys. Lett. 92, 261108 (2008).
[Crossref]

Ginolas, A.

M. Zorn, P. Klopp, F. Saas, A. Ginolas, O. Krüger, U. Griebner, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 310, 5187 (2008).
[Crossref]

Golling, M.

Gramlich, S.

A. Bhattacharya, M. Nasarek, U. Zeimer, A. Klein, M. Zorn, F. Bugge, S. Gramlich, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 274, 331 (2005).
[Crossref]

Griebner, U.

M. Zorn, P. Klopp, F. Saas, A. Ginolas, O. Krüger, U. Griebner, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 310, 5187 (2008).
[Crossref]

F. Saas, V. Talalaev, U. Griebner, J. W. Tomm, M. Zorn, and M. Weyers, Appl. Phys. Lett. 89, 151120 (2006).
[Crossref]

Gröblacher, S.

G. D. Cole, S. Gröblacher, K. Gugler, S. Gigan, and M. Aspelmeyer, Appl. Phys. Lett. 92, 261108 (2008).
[Crossref]

G. D. Cole, I. Wilson-Rae, M. R. Vanner, S. Gröblacher, J. Pohl, M. Zorn, M. Weyers, A. Peters, and M. Aspelmeyer, IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (2010), p. 5442339.

Gugler, K.

G. D. Cole, S. Gröblacher, K. Gugler, S. Gigan, and M. Aspelmeyer, Appl. Phys. Lett. 92, 261108 (2008).
[Crossref]

Heckl, O. H.

B. J. Bjork, T. Q. Bui, O. H. Heckl, P. B. Changala, B. Spaun, P. Heu, D. Follman, C. Deutsch, G. D. Cole, M. Aspelmeyer, M. Okumura, and J. Ye, Science 354, 444 (2016).
[Crossref]

G. D. Cole, W. Zhang, B. J. Bjork, D. Follman, P. Heu, C. Deutsch, L. Sonderhouse, J. Robinson, C. Franz, A. Alexandrovski, M. Notcutt, O. H. Heckl, J. Ye, and M. Aspelmeyer, Optica 3, 647 (2016).
[Crossref]

Heu, P.

M. Marchiò, R. Flaminio, L. Pinard, D. Forest, C. Deutsch, P. Heu, D. Follman, and G. D. Cole, Opt. Express 26, 611 (2018).
[Crossref]

B. J. Bjork, T. Q. Bui, O. H. Heckl, P. B. Changala, B. Spaun, P. Heu, D. Follman, C. Deutsch, G. D. Cole, M. Aspelmeyer, M. Okumura, and J. Ye, Science 354, 444 (2016).
[Crossref]

G. D. Cole, W. Zhang, B. J. Bjork, D. Follman, P. Heu, C. Deutsch, L. Sonderhouse, J. Robinson, C. Franz, A. Alexandrovski, M. Notcutt, O. H. Heckl, J. Ye, and M. Aspelmeyer, Optica 3, 647 (2016).
[Crossref]

Hoffmann, M.

Hu, E. L.

D. I. Babic, J. Piprek, K. Streubel, R. P. Mirin, N. M. Margalit, D. E. Mars, J. E. Bowers, and E. L. Hu, IEEE J. Quantum Electron. 33, 1369 (1997).
[Crossref]

Kapon, E.

F. Reinhardt, B. Dwir, and E. Kapon, Appl. Phys. Lett. 68, 3168 (1996).
[Crossref]

Keller, U.

Klein, A.

A. Bhattacharya, M. Nasarek, U. Zeimer, A. Klein, M. Zorn, F. Bugge, S. Gramlich, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 274, 331 (2005).
[Crossref]

Klopp, P.

M. Zorn, P. Klopp, F. Saas, A. Ginolas, O. Krüger, U. Griebner, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 310, 5187 (2008).
[Crossref]

Knigge, A.

A. Knigge, M. Zorn, M. Weyers, and G. Tränkle, Electron. Lett. 38, 882 (2002).
[Crossref]

Krüger, O.

M. Zorn, P. Klopp, F. Saas, A. Ginolas, O. Krüger, U. Griebner, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 310, 5187 (2008).
[Crossref]

Kuech, T. F.

T. F. Kuech, M. A. Tischler, R. Potemski, F. Cardone, and G. Scilla, J. Cryst. Growth 98, 174 (1989).
[Crossref]

Maaßdorf, A.

A. Maaßdorf and M. Weyers, J. Cryst. Growth 414, 10 (2015).
[Crossref]

Mangold, M.

Marchiò, M.

M. Marchiò, R. Flaminio, L. Pinard, D. Forest, C. Deutsch, P. Heu, D. Follman, and G. D. Cole, Opt. Express 26, 611 (2018).
[Crossref]

Margalit, N. M.

D. I. Babic, J. Piprek, K. Streubel, R. P. Mirin, N. M. Margalit, D. E. Mars, J. E. Bowers, and E. L. Hu, IEEE J. Quantum Electron. 33, 1369 (1997).
[Crossref]

Markosian, A.

A. Alexandrovski, M. Fejer, A. Markosian, and R. Route, Proc. SPIE 7193, 7193D (2009).
[Crossref]

Mars, D. E.

D. I. Babic, J. Piprek, K. Streubel, R. P. Mirin, N. M. Margalit, D. E. Mars, J. E. Bowers, and E. L. Hu, IEEE J. Quantum Electron. 33, 1369 (1997).
[Crossref]

Martin, M. J.

G. D. Cole, W. Zhang, M. J. Martin, J. Ye, and M. Aspelmeyer, Nat. Photonics 7, 644 (2013).
[Crossref]

Mirin, R. P.

D. I. Babic, J. Piprek, K. Streubel, R. P. Mirin, N. M. Margalit, D. E. Mars, J. E. Bowers, and E. L. Hu, IEEE J. Quantum Electron. 33, 1369 (1997).
[Crossref]

Nasarek, M.

A. Bhattacharya, M. Nasarek, U. Zeimer, A. Klein, M. Zorn, F. Bugge, S. Gramlich, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 274, 331 (2005).
[Crossref]

Notcutt, M.

Okumura, M.

B. J. Bjork, T. Q. Bui, O. H. Heckl, P. B. Changala, B. Spaun, P. Heu, D. Follman, C. Deutsch, G. D. Cole, M. Aspelmeyer, M. Okumura, and J. Ye, Science 354, 444 (2016).
[Crossref]

Peters, A.

G. D. Cole, I. Wilson-Rae, M. R. Vanner, S. Gröblacher, J. Pohl, M. Zorn, M. Weyers, A. Peters, and M. Aspelmeyer, IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (2010), p. 5442339.

Pinard, L.

M. Marchiò, R. Flaminio, L. Pinard, D. Forest, C. Deutsch, P. Heu, D. Follman, and G. D. Cole, Opt. Express 26, 611 (2018).
[Crossref]

Piprek, J.

D. I. Babic, J. Piprek, K. Streubel, R. P. Mirin, N. M. Margalit, D. E. Mars, J. E. Bowers, and E. L. Hu, IEEE J. Quantum Electron. 33, 1369 (1997).
[Crossref]

Pohl, J.

G. D. Cole, I. Wilson-Rae, M. R. Vanner, S. Gröblacher, J. Pohl, M. Zorn, M. Weyers, A. Peters, and M. Aspelmeyer, IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (2010), p. 5442339.

Potemski, R.

T. F. Kuech, M. A. Tischler, R. Potemski, F. Cardone, and G. Scilla, J. Cryst. Growth 98, 174 (1989).
[Crossref]

Reinhardt, F.

F. Reinhardt, B. Dwir, and E. Kapon, Appl. Phys. Lett. 68, 3168 (1996).
[Crossref]

Robinson, J.

Route, R.

A. Alexandrovski, M. Fejer, A. Markosian, and R. Route, Proc. SPIE 7193, 7193D (2009).
[Crossref]

Saas, F.

M. Zorn, P. Klopp, F. Saas, A. Ginolas, O. Krüger, U. Griebner, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 310, 5187 (2008).
[Crossref]

F. Saas, V. Talalaev, U. Griebner, J. W. Tomm, M. Zorn, and M. Weyers, Appl. Phys. Lett. 89, 151120 (2006).
[Crossref]

Saraceno, C. J.

Schriber, C.

Scilla, G.

T. F. Kuech, M. A. Tischler, R. Potemski, F. Cardone, and G. Scilla, J. Cryst. Growth 98, 174 (1989).
[Crossref]

Sell, D. D.

H. C. Casey, D. D. Sell, and K. W. Wecht, J. Appl. Phys. 46, 205 (1975).
[Crossref]

Sonderhouse, L.

Spaun, B.

B. J. Bjork, T. Q. Bui, O. H. Heckl, P. B. Changala, B. Spaun, P. Heu, D. Follman, C. Deutsch, G. D. Cole, M. Aspelmeyer, M. Okumura, and J. Ye, Science 354, 444 (2016).
[Crossref]

Streubel, K.

D. I. Babic, J. Piprek, K. Streubel, R. P. Mirin, N. M. Margalit, D. E. Mars, J. E. Bowers, and E. L. Hu, IEEE J. Quantum Electron. 33, 1369 (1997).
[Crossref]

Südmeyer, T.

Talalaev, V.

F. Saas, V. Talalaev, U. Griebner, J. W. Tomm, M. Zorn, and M. Weyers, Appl. Phys. Lett. 89, 151120 (2006).
[Crossref]

Tischler, M. A.

T. F. Kuech, M. A. Tischler, R. Potemski, F. Cardone, and G. Scilla, J. Cryst. Growth 98, 174 (1989).
[Crossref]

Tomm, J. W.

F. Saas, V. Talalaev, U. Griebner, J. W. Tomm, M. Zorn, and M. Weyers, Appl. Phys. Lett. 89, 151120 (2006).
[Crossref]

Tränkle, G.

A. Knigge, M. Zorn, M. Weyers, and G. Tränkle, Electron. Lett. 38, 882 (2002).
[Crossref]

Vanner, M. R.

G. D. Cole, I. Wilson-Rae, M. R. Vanner, S. Gröblacher, J. Pohl, M. Zorn, M. Weyers, A. Peters, and M. Aspelmeyer, IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (2010), p. 5442339.

Wecht, K. W.

H. C. Casey, D. D. Sell, and K. W. Wecht, J. Appl. Phys. 46, 205 (1975).
[Crossref]

Weyers, M.

A. Maaßdorf and M. Weyers, J. Cryst. Growth 414, 10 (2015).
[Crossref]

M. Zorn, P. Klopp, F. Saas, A. Ginolas, O. Krüger, U. Griebner, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 310, 5187 (2008).
[Crossref]

F. Saas, V. Talalaev, U. Griebner, J. W. Tomm, M. Zorn, and M. Weyers, Appl. Phys. Lett. 89, 151120 (2006).
[Crossref]

A. Bhattacharya, M. Nasarek, U. Zeimer, A. Klein, M. Zorn, F. Bugge, S. Gramlich, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 274, 331 (2005).
[Crossref]

A. Knigge, M. Zorn, M. Weyers, and G. Tränkle, Electron. Lett. 38, 882 (2002).
[Crossref]

G. D. Cole, I. Wilson-Rae, M. R. Vanner, S. Gröblacher, J. Pohl, M. Zorn, M. Weyers, A. Peters, and M. Aspelmeyer, IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (2010), p. 5442339.

Wilson-Rae, I.

G. D. Cole, I. Wilson-Rae, M. R. Vanner, S. Gröblacher, J. Pohl, M. Zorn, M. Weyers, A. Peters, and M. Aspelmeyer, IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (2010), p. 5442339.

Ye, J.

B. J. Bjork, T. Q. Bui, O. H. Heckl, P. B. Changala, B. Spaun, P. Heu, D. Follman, C. Deutsch, G. D. Cole, M. Aspelmeyer, M. Okumura, and J. Ye, Science 354, 444 (2016).
[Crossref]

G. D. Cole, W. Zhang, B. J. Bjork, D. Follman, P. Heu, C. Deutsch, L. Sonderhouse, J. Robinson, C. Franz, A. Alexandrovski, M. Notcutt, O. H. Heckl, J. Ye, and M. Aspelmeyer, Optica 3, 647 (2016).
[Crossref]

G. D. Cole, W. Zhang, M. J. Martin, J. Ye, and M. Aspelmeyer, Nat. Photonics 7, 644 (2013).
[Crossref]

Zeimer, U.

A. Bhattacharya, M. Nasarek, U. Zeimer, A. Klein, M. Zorn, F. Bugge, S. Gramlich, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 274, 331 (2005).
[Crossref]

Zengerle, T.

Zhang, W.

Zorn, M.

M. Zorn, P. Klopp, F. Saas, A. Ginolas, O. Krüger, U. Griebner, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 310, 5187 (2008).
[Crossref]

F. Saas, V. Talalaev, U. Griebner, J. W. Tomm, M. Zorn, and M. Weyers, Appl. Phys. Lett. 89, 151120 (2006).
[Crossref]

A. Bhattacharya, M. Nasarek, U. Zeimer, A. Klein, M. Zorn, F. Bugge, S. Gramlich, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 274, 331 (2005).
[Crossref]

A. Knigge, M. Zorn, M. Weyers, and G. Tränkle, Electron. Lett. 38, 882 (2002).
[Crossref]

G. D. Cole, I. Wilson-Rae, M. R. Vanner, S. Gröblacher, J. Pohl, M. Zorn, M. Weyers, A. Peters, and M. Aspelmeyer, IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (2010), p. 5442339.

Appl. Phys. Lett. (4)

F. Saas, V. Talalaev, U. Griebner, J. W. Tomm, M. Zorn, and M. Weyers, Appl. Phys. Lett. 89, 151120 (2006).
[Crossref]

G. D. Cole, S. Gröblacher, K. Gugler, S. Gigan, and M. Aspelmeyer, Appl. Phys. Lett. 92, 261108 (2008).
[Crossref]

G. D. Cole, Y. Bai, M. Aspelmeyer, and E. A. Fitzgerald, Appl. Phys. Lett. 96, 261102 (2010).
[Crossref]

F. Reinhardt, B. Dwir, and E. Kapon, Appl. Phys. Lett. 68, 3168 (1996).
[Crossref]

Electron. Lett. (1)

A. Knigge, M. Zorn, M. Weyers, and G. Tränkle, Electron. Lett. 38, 882 (2002).
[Crossref]

IEEE J. Quantum Electron. (2)

D. I. Babic, J. Piprek, K. Streubel, R. P. Mirin, N. M. Margalit, D. E. Mars, J. E. Bowers, and E. L. Hu, IEEE J. Quantum Electron. 33, 1369 (1997).
[Crossref]

D. I. Babic and S. W. Corzine, IEEE J. Quantum Electron. 28, 514 (1992).
[Crossref]

J. Appl. Phys. (1)

H. C. Casey, D. D. Sell, and K. W. Wecht, J. Appl. Phys. 46, 205 (1975).
[Crossref]

J. Cryst. Growth (4)

A. Maaßdorf and M. Weyers, J. Cryst. Growth 414, 10 (2015).
[Crossref]

T. F. Kuech, M. A. Tischler, R. Potemski, F. Cardone, and G. Scilla, J. Cryst. Growth 98, 174 (1989).
[Crossref]

A. Bhattacharya, M. Nasarek, U. Zeimer, A. Klein, M. Zorn, F. Bugge, S. Gramlich, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 274, 331 (2005).
[Crossref]

M. Zorn, P. Klopp, F. Saas, A. Ginolas, O. Krüger, U. Griebner, and M. Weyers, J. Cryst. Growth 310, 5187 (2008).
[Crossref]

Nat. Photonics (1)

G. D. Cole, W. Zhang, M. J. Martin, J. Ye, and M. Aspelmeyer, Nat. Photonics 7, 644 (2013).
[Crossref]

Opt. Express (2)

Optica (1)

Proc. SPIE (1)

A. Alexandrovski, M. Fejer, A. Markosian, and R. Route, Proc. SPIE 7193, 7193D (2009).
[Crossref]

Science (1)

B. J. Bjork, T. Q. Bui, O. H. Heckl, P. B. Changala, B. Spaun, P. Heu, D. Follman, C. Deutsch, G. D. Cole, M. Aspelmeyer, M. Okumura, and J. Ye, Science 354, 444 (2016).
[Crossref]

Other (1)

G. D. Cole, I. Wilson-Rae, M. R. Vanner, S. Gröblacher, J. Pohl, M. Zorn, M. Weyers, A. Peters, and M. Aspelmeyer, IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) (2010), p. 5442339.

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1.
Fig. 1. X-ray diffraction and reflectance analysis of the baseline mirror structure. (a) HRXRD measurement and simulation of an Al0.92Ga0.08As/Al0.12Ga0.88As DBR with 41 layer pairs; (b) measured reflectivity spectrum compared to simulated spectrum [based on HRXRD results shown in (a)].
Fig. 2.
Fig. 2. Carbon uptake in MOVPE-grown ternary AlGaAs alloys as a function of growth temperature, as well as an overview of the as-grown mirror surface quality. (a) Carbon concentration from SIMS versus growth temperature for high (x=0.92) and medium (x=0.5) Al content. (b) Optical microscopy images of two mirrors with identical 40-fold bottom layer pairs Al0.92Ga0.08As/Al0.12Ga0.88As and additional six top layer pairs of Al0.5Ga0.5As/Al0.12Ga0.88As grown at 770°C (left) and 650°C (right) together with measured absorption.
Fig. 3.
Fig. 3. Sheet resistivity of 10 Al0.92Ga0.08As/GaAs layer pairs (on semi-insulating substrate) versus flow rate of the dopant source disilane (a) grown at 770°C and (b) grown at 720°C. The absorption values of these 10 layers grown in parallel on base mirrors without compensation by Si doping (36 pairs) are given at each data point. The asterisk in (b) marks the value for a stack grown at 770°C without Si doping.

Metrics