Abstract

An alternate multilayer (AML) grating has been prepared by coating an ion etched lamellar grating with a B4C/Mo2C multilayer (ML) having a layer thickness close to the groove depth. Such a structure behaves as a 2D synthetic crystal and can reach very high efficiencies when the Bragg condition is satisfied. This AML coated grating has been characterized at the SOLEIL Metrology and Tests Beamline between 0.7 and 1.7 keV and at the four-crystal monochromator beamline of Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) at BESSY II between 1.75 and 3.4 keV. A peak diffraction efficiency of nearly 27% was measured at 2.2 keV. The measured efficiencies are well reproduced by numerical simulations made with the electromagnetic propagation code CARPEM. Such AML gratings, paired with a matched ML mirror, constitute efficient monochromators for intermediate energy photons. They will extend the accessible energy for many applications as x-ray absorption spectroscopy or x-ray magnetic circular dichroism experiments.

© 2014 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. T. M. Mooney, T. Toellner, W. Sturhahn, E. E. Alp, and S. D. Shastri, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. A 347, 348 (1994).
    [CrossRef]
  2. Y. V. Shvyd’ko, S. Stoupin, A. Cunsolo, A. H. Said, and X. Huang, Nat. Phys. 6, 196 (2010).
    [CrossRef]
  3. D. Cocco, A. Bianco, B. Kaulich, F. Schaefers, M. Mertin, G. Reichardt, B. Nelles, and K. F. Heidemann, AIP Conf. Proc. 879, 497 (2007).
    [CrossRef]
  4. B. Lagarde, F. Sirotti, A. Taleb-Ibrahimi, C. Miron, and F. Polack, J. Phys. Conf. Ser. 425, 152022 (2013).
    [CrossRef]
  5. J. F. Seely, M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 36, 8206 (1997).
    [CrossRef]
  6. M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 22, 834 (1997).
  7. D. L. Voronov, M. Ahn, E. H. Anderson, R. Cambie, C. H. Chang, E. M. Gullikson, R. K. Heilmann, F. Salmassi, M. L. Schattenburg, T. Warwick, V. V. Yashchuk, L. Zipp, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 2615, 35 (2010).
  8. D. L. Voronov, E. H. Anderson, R. Cambie, S. Cabrini, S. D. Dhuey, L. I. Goray, E. M. Gullikson, F. Salmassi, T. Warwick, V. V. Yashchuk, and H. A. Padmore, Opt. Express 19, 6320 (2011).
    [CrossRef]
  9. D. L. Voronov, E. H. Anderson, E. M. Gullikson, F. Salmassi, T. Warwick, V. V. Yashchuk, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 37, 1628 (2012).
    [CrossRef]
  10. R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, Ph. Jonnard, G. Julié, L. Mollard, G. Rolland, C. Remond, Ph. Troussel, R. Marmoret, and E. O. Filatova, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 541, 590 (2005).
    [CrossRef]
  11. R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, M.-F. Ravet, A. Raynal, F. Delmotte, F. Bridou, G. Julié, A. Bosseboeuf, and Ph. Troussel, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 458, 650 (2001).
    [CrossRef]
  12. A. Bianco, G. Sostero, B. Nelles, K. F. Heidemann, and D. Cocco, Proc. SPIE 5918, 591810 (2005).
    [CrossRef]
  13. D. L. Voronov, S. Diez, P. Lum, S. A. Hidalgo, T. Warwick, N. A. Artemiev, and H. A. Padmore, Proc. SPIE 8848, 88480Q (2013).
    [CrossRef]
  14. F. Polack, M. Idir, E. Jourdain, and A. Liard-Cloup, “Two-dimensional diffraction network with alternating multilayer stacks and method for the production thereof and spectroscopic devices comprising said networks,” European patent applicationEP1700141 (July 17, 2005).
  15. F. Polack, B. Lagarde, M. Idir, A. Liard Cloup, and E. Jourdain, AIP Conf. Proc. 879, 639 (2007).
    [CrossRef]
  16. F. Polack, B. Lagarde, M. Idir, A. Liard-Cloup, E. Jourdain, and M. Roulliay, AIP Conf. Proc. 879, 489 (2007).
    [CrossRef]
  17. A. Patteli, J. Ravagnana, V. Rigatoa, G. Salmasoa, D. Silvestrinia, E. Bontempic, and L. E. Deperoc, Appl. Surf. Sci. 238, 262 (2004).
    [CrossRef]
  18. H. Maury, P. Jonnard, J.-M. André, J. Gautier, M. Roulliay, F. Bridou, F. Delmotte, M.-F. Ravet-Krill, A. Jérome, and P. Holliger, Thin Solid Films 514, 278 (2006).
    [CrossRef]
  19. F. Choueikani, F. Bridou, B. Lagarde, E. Meltchakov, F. Polack, P. Mercere, and F. Delmotte, Appl. Phys. A 111, 191 (2013).
    [CrossRef]
  20. A. Mirone, E. Delcamp, M. Idir, G. Cauchon, F. Polack, P. Dhez, and C. Bizeuil, Appl. Opt. 37, 5816 (1998).
    [CrossRef]
  21. S. Ducourtieux and B. Poyet, Meas. Sci. Technol. 22, 094010 (2011).
    [CrossRef]
  22. J. Gautier, F. Delmotte, F. Bridou, M. F. Ravet, F. Varniere, M. Rouilliay, A. Jerome, and I. Vickridge, Appl. Phys. A 88, 719 (2007).
    [CrossRef]
  23. M. Idir, P. Mercere, T. Moreno, A. Delmotte, P. Da Silva, and M. H. Modi, AIP Conf. Proc. 1234, 485 (2009).
  24. M. Krumrey and G. Ulm, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 1175 (2001).
    [CrossRef]
  25. P. Ohresser, E. Otero, F. Choueikani, K. Chen, S. Stanescu, F. Deschamps, T. Moreno, F. Polack, B. Lagarde, J.-P. Daguerre, F. Marteau, F. Scheurer, L. Joly, J. P. Kappler, and B. Mulle, Rev. Sci. Instrum. 85, 013106 (2014).
    [CrossRef]

2014

P. Ohresser, E. Otero, F. Choueikani, K. Chen, S. Stanescu, F. Deschamps, T. Moreno, F. Polack, B. Lagarde, J.-P. Daguerre, F. Marteau, F. Scheurer, L. Joly, J. P. Kappler, and B. Mulle, Rev. Sci. Instrum. 85, 013106 (2014).
[CrossRef]

2013

B. Lagarde, F. Sirotti, A. Taleb-Ibrahimi, C. Miron, and F. Polack, J. Phys. Conf. Ser. 425, 152022 (2013).
[CrossRef]

D. L. Voronov, S. Diez, P. Lum, S. A. Hidalgo, T. Warwick, N. A. Artemiev, and H. A. Padmore, Proc. SPIE 8848, 88480Q (2013).
[CrossRef]

F. Choueikani, F. Bridou, B. Lagarde, E. Meltchakov, F. Polack, P. Mercere, and F. Delmotte, Appl. Phys. A 111, 191 (2013).
[CrossRef]

2012

2011

2010

D. L. Voronov, M. Ahn, E. H. Anderson, R. Cambie, C. H. Chang, E. M. Gullikson, R. K. Heilmann, F. Salmassi, M. L. Schattenburg, T. Warwick, V. V. Yashchuk, L. Zipp, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 2615, 35 (2010).

Y. V. Shvyd’ko, S. Stoupin, A. Cunsolo, A. H. Said, and X. Huang, Nat. Phys. 6, 196 (2010).
[CrossRef]

2009

M. Idir, P. Mercere, T. Moreno, A. Delmotte, P. Da Silva, and M. H. Modi, AIP Conf. Proc. 1234, 485 (2009).

2007

J. Gautier, F. Delmotte, F. Bridou, M. F. Ravet, F. Varniere, M. Rouilliay, A. Jerome, and I. Vickridge, Appl. Phys. A 88, 719 (2007).
[CrossRef]

D. Cocco, A. Bianco, B. Kaulich, F. Schaefers, M. Mertin, G. Reichardt, B. Nelles, and K. F. Heidemann, AIP Conf. Proc. 879, 497 (2007).
[CrossRef]

F. Polack, B. Lagarde, M. Idir, A. Liard Cloup, and E. Jourdain, AIP Conf. Proc. 879, 639 (2007).
[CrossRef]

F. Polack, B. Lagarde, M. Idir, A. Liard-Cloup, E. Jourdain, and M. Roulliay, AIP Conf. Proc. 879, 489 (2007).
[CrossRef]

2006

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. André, J. Gautier, M. Roulliay, F. Bridou, F. Delmotte, M.-F. Ravet-Krill, A. Jérome, and P. Holliger, Thin Solid Films 514, 278 (2006).
[CrossRef]

2005

A. Bianco, G. Sostero, B. Nelles, K. F. Heidemann, and D. Cocco, Proc. SPIE 5918, 591810 (2005).
[CrossRef]

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, Ph. Jonnard, G. Julié, L. Mollard, G. Rolland, C. Remond, Ph. Troussel, R. Marmoret, and E. O. Filatova, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 541, 590 (2005).
[CrossRef]

2004

A. Patteli, J. Ravagnana, V. Rigatoa, G. Salmasoa, D. Silvestrinia, E. Bontempic, and L. E. Deperoc, Appl. Surf. Sci. 238, 262 (2004).
[CrossRef]

2001

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, M.-F. Ravet, A. Raynal, F. Delmotte, F. Bridou, G. Julié, A. Bosseboeuf, and Ph. Troussel, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 458, 650 (2001).
[CrossRef]

M. Krumrey and G. Ulm, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 1175 (2001).
[CrossRef]

1998

1997

J. F. Seely, M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 36, 8206 (1997).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 22, 834 (1997).

1994

T. M. Mooney, T. Toellner, W. Sturhahn, E. E. Alp, and S. D. Shastri, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. A 347, 348 (1994).
[CrossRef]

Ahn, M.

D. L. Voronov, M. Ahn, E. H. Anderson, R. Cambie, C. H. Chang, E. M. Gullikson, R. K. Heilmann, F. Salmassi, M. L. Schattenburg, T. Warwick, V. V. Yashchuk, L. Zipp, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 2615, 35 (2010).

Alp, E. E.

T. M. Mooney, T. Toellner, W. Sturhahn, E. E. Alp, and S. D. Shastri, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. A 347, 348 (1994).
[CrossRef]

Anderson, E. H.

André, J.-M.

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. André, J. Gautier, M. Roulliay, F. Bridou, F. Delmotte, M.-F. Ravet-Krill, A. Jérome, and P. Holliger, Thin Solid Films 514, 278 (2006).
[CrossRef]

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, Ph. Jonnard, G. Julié, L. Mollard, G. Rolland, C. Remond, Ph. Troussel, R. Marmoret, and E. O. Filatova, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 541, 590 (2005).
[CrossRef]

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, M.-F. Ravet, A. Raynal, F. Delmotte, F. Bridou, G. Julié, A. Bosseboeuf, and Ph. Troussel, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 458, 650 (2001).
[CrossRef]

Artemiev, N. A.

D. L. Voronov, S. Diez, P. Lum, S. A. Hidalgo, T. Warwick, N. A. Artemiev, and H. A. Padmore, Proc. SPIE 8848, 88480Q (2013).
[CrossRef]

Barchewitz, R.

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, Ph. Jonnard, G. Julié, L. Mollard, G. Rolland, C. Remond, Ph. Troussel, R. Marmoret, and E. O. Filatova, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 541, 590 (2005).
[CrossRef]

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, M.-F. Ravet, A. Raynal, F. Delmotte, F. Bridou, G. Julié, A. Bosseboeuf, and Ph. Troussel, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 458, 650 (2001).
[CrossRef]

Benbalagh, R.

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, Ph. Jonnard, G. Julié, L. Mollard, G. Rolland, C. Remond, Ph. Troussel, R. Marmoret, and E. O. Filatova, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 541, 590 (2005).
[CrossRef]

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, M.-F. Ravet, A. Raynal, F. Delmotte, F. Bridou, G. Julié, A. Bosseboeuf, and Ph. Troussel, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 458, 650 (2001).
[CrossRef]

Bianco, A.

D. Cocco, A. Bianco, B. Kaulich, F. Schaefers, M. Mertin, G. Reichardt, B. Nelles, and K. F. Heidemann, AIP Conf. Proc. 879, 497 (2007).
[CrossRef]

A. Bianco, G. Sostero, B. Nelles, K. F. Heidemann, and D. Cocco, Proc. SPIE 5918, 591810 (2005).
[CrossRef]

Bizeuil, C.

Bontempic, E.

A. Patteli, J. Ravagnana, V. Rigatoa, G. Salmasoa, D. Silvestrinia, E. Bontempic, and L. E. Deperoc, Appl. Surf. Sci. 238, 262 (2004).
[CrossRef]

Bosseboeuf, A.

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, M.-F. Ravet, A. Raynal, F. Delmotte, F. Bridou, G. Julié, A. Bosseboeuf, and Ph. Troussel, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 458, 650 (2001).
[CrossRef]

Bridou, F.

F. Choueikani, F. Bridou, B. Lagarde, E. Meltchakov, F. Polack, P. Mercere, and F. Delmotte, Appl. Phys. A 111, 191 (2013).
[CrossRef]

J. Gautier, F. Delmotte, F. Bridou, M. F. Ravet, F. Varniere, M. Rouilliay, A. Jerome, and I. Vickridge, Appl. Phys. A 88, 719 (2007).
[CrossRef]

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. André, J. Gautier, M. Roulliay, F. Bridou, F. Delmotte, M.-F. Ravet-Krill, A. Jérome, and P. Holliger, Thin Solid Films 514, 278 (2006).
[CrossRef]

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, M.-F. Ravet, A. Raynal, F. Delmotte, F. Bridou, G. Julié, A. Bosseboeuf, and Ph. Troussel, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 458, 650 (2001).
[CrossRef]

Cabrini, S.

Cambie, R.

D. L. Voronov, E. H. Anderson, R. Cambie, S. Cabrini, S. D. Dhuey, L. I. Goray, E. M. Gullikson, F. Salmassi, T. Warwick, V. V. Yashchuk, and H. A. Padmore, Opt. Express 19, 6320 (2011).
[CrossRef]

D. L. Voronov, M. Ahn, E. H. Anderson, R. Cambie, C. H. Chang, E. M. Gullikson, R. K. Heilmann, F. Salmassi, M. L. Schattenburg, T. Warwick, V. V. Yashchuk, L. Zipp, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 2615, 35 (2010).

Cauchon, G.

Chang, C. H.

D. L. Voronov, M. Ahn, E. H. Anderson, R. Cambie, C. H. Chang, E. M. Gullikson, R. K. Heilmann, F. Salmassi, M. L. Schattenburg, T. Warwick, V. V. Yashchuk, L. Zipp, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 2615, 35 (2010).

Chen, K.

P. Ohresser, E. Otero, F. Choueikani, K. Chen, S. Stanescu, F. Deschamps, T. Moreno, F. Polack, B. Lagarde, J.-P. Daguerre, F. Marteau, F. Scheurer, L. Joly, J. P. Kappler, and B. Mulle, Rev. Sci. Instrum. 85, 013106 (2014).
[CrossRef]

Choueikani, F.

P. Ohresser, E. Otero, F. Choueikani, K. Chen, S. Stanescu, F. Deschamps, T. Moreno, F. Polack, B. Lagarde, J.-P. Daguerre, F. Marteau, F. Scheurer, L. Joly, J. P. Kappler, and B. Mulle, Rev. Sci. Instrum. 85, 013106 (2014).
[CrossRef]

F. Choueikani, F. Bridou, B. Lagarde, E. Meltchakov, F. Polack, P. Mercere, and F. Delmotte, Appl. Phys. A 111, 191 (2013).
[CrossRef]

Cocco, D.

D. Cocco, A. Bianco, B. Kaulich, F. Schaefers, M. Mertin, G. Reichardt, B. Nelles, and K. F. Heidemann, AIP Conf. Proc. 879, 497 (2007).
[CrossRef]

A. Bianco, G. Sostero, B. Nelles, K. F. Heidemann, and D. Cocco, Proc. SPIE 5918, 591810 (2005).
[CrossRef]

Cruddace, R. G.

J. F. Seely, M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 36, 8206 (1997).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 22, 834 (1997).

Cunsolo, A.

Y. V. Shvyd’ko, S. Stoupin, A. Cunsolo, A. H. Said, and X. Huang, Nat. Phys. 6, 196 (2010).
[CrossRef]

Da Silva, P.

M. Idir, P. Mercere, T. Moreno, A. Delmotte, P. Da Silva, and M. H. Modi, AIP Conf. Proc. 1234, 485 (2009).

Daguerre, J.-P.

P. Ohresser, E. Otero, F. Choueikani, K. Chen, S. Stanescu, F. Deschamps, T. Moreno, F. Polack, B. Lagarde, J.-P. Daguerre, F. Marteau, F. Scheurer, L. Joly, J. P. Kappler, and B. Mulle, Rev. Sci. Instrum. 85, 013106 (2014).
[CrossRef]

Delcamp, E.

Delmotte, A.

M. Idir, P. Mercere, T. Moreno, A. Delmotte, P. Da Silva, and M. H. Modi, AIP Conf. Proc. 1234, 485 (2009).

Delmotte, F.

F. Choueikani, F. Bridou, B. Lagarde, E. Meltchakov, F. Polack, P. Mercere, and F. Delmotte, Appl. Phys. A 111, 191 (2013).
[CrossRef]

J. Gautier, F. Delmotte, F. Bridou, M. F. Ravet, F. Varniere, M. Rouilliay, A. Jerome, and I. Vickridge, Appl. Phys. A 88, 719 (2007).
[CrossRef]

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. André, J. Gautier, M. Roulliay, F. Bridou, F. Delmotte, M.-F. Ravet-Krill, A. Jérome, and P. Holliger, Thin Solid Films 514, 278 (2006).
[CrossRef]

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, M.-F. Ravet, A. Raynal, F. Delmotte, F. Bridou, G. Julié, A. Bosseboeuf, and Ph. Troussel, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 458, 650 (2001).
[CrossRef]

Deperoc, L. E.

A. Patteli, J. Ravagnana, V. Rigatoa, G. Salmasoa, D. Silvestrinia, E. Bontempic, and L. E. Deperoc, Appl. Surf. Sci. 238, 262 (2004).
[CrossRef]

Deschamps, F.

P. Ohresser, E. Otero, F. Choueikani, K. Chen, S. Stanescu, F. Deschamps, T. Moreno, F. Polack, B. Lagarde, J.-P. Daguerre, F. Marteau, F. Scheurer, L. Joly, J. P. Kappler, and B. Mulle, Rev. Sci. Instrum. 85, 013106 (2014).
[CrossRef]

Dhez, P.

Dhuey, S. D.

Diez, S.

D. L. Voronov, S. Diez, P. Lum, S. A. Hidalgo, T. Warwick, N. A. Artemiev, and H. A. Padmore, Proc. SPIE 8848, 88480Q (2013).
[CrossRef]

Ducourtieux, S.

S. Ducourtieux and B. Poyet, Meas. Sci. Technol. 22, 094010 (2011).
[CrossRef]

Filatova, E. O.

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, Ph. Jonnard, G. Julié, L. Mollard, G. Rolland, C. Remond, Ph. Troussel, R. Marmoret, and E. O. Filatova, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 541, 590 (2005).
[CrossRef]

Gautier, J.

J. Gautier, F. Delmotte, F. Bridou, M. F. Ravet, F. Varniere, M. Rouilliay, A. Jerome, and I. Vickridge, Appl. Phys. A 88, 719 (2007).
[CrossRef]

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. André, J. Gautier, M. Roulliay, F. Bridou, F. Delmotte, M.-F. Ravet-Krill, A. Jérome, and P. Holliger, Thin Solid Films 514, 278 (2006).
[CrossRef]

Goray, L. I.

Gullikson, E. M.

Heidemann, K. F.

D. Cocco, A. Bianco, B. Kaulich, F. Schaefers, M. Mertin, G. Reichardt, B. Nelles, and K. F. Heidemann, AIP Conf. Proc. 879, 497 (2007).
[CrossRef]

A. Bianco, G. Sostero, B. Nelles, K. F. Heidemann, and D. Cocco, Proc. SPIE 5918, 591810 (2005).
[CrossRef]

J. F. Seely, M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 36, 8206 (1997).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 22, 834 (1997).

Heilmann, R. K.

D. L. Voronov, M. Ahn, E. H. Anderson, R. Cambie, C. H. Chang, E. M. Gullikson, R. K. Heilmann, F. Salmassi, M. L. Schattenburg, T. Warwick, V. V. Yashchuk, L. Zipp, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 2615, 35 (2010).

Heinzmann, U.

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 22, 834 (1997).

J. F. Seely, M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 36, 8206 (1997).
[CrossRef]

Hidalgo, S. A.

D. L. Voronov, S. Diez, P. Lum, S. A. Hidalgo, T. Warwick, N. A. Artemiev, and H. A. Padmore, Proc. SPIE 8848, 88480Q (2013).
[CrossRef]

Holliger, P.

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. André, J. Gautier, M. Roulliay, F. Bridou, F. Delmotte, M.-F. Ravet-Krill, A. Jérome, and P. Holliger, Thin Solid Films 514, 278 (2006).
[CrossRef]

Huang, X.

Y. V. Shvyd’ko, S. Stoupin, A. Cunsolo, A. H. Said, and X. Huang, Nat. Phys. 6, 196 (2010).
[CrossRef]

Hunter, W. R.

J. F. Seely, M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 36, 8206 (1997).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 22, 834 (1997).

Idir, M.

M. Idir, P. Mercere, T. Moreno, A. Delmotte, P. Da Silva, and M. H. Modi, AIP Conf. Proc. 1234, 485 (2009).

F. Polack, B. Lagarde, M. Idir, A. Liard Cloup, and E. Jourdain, AIP Conf. Proc. 879, 639 (2007).
[CrossRef]

F. Polack, B. Lagarde, M. Idir, A. Liard-Cloup, E. Jourdain, and M. Roulliay, AIP Conf. Proc. 879, 489 (2007).
[CrossRef]

A. Mirone, E. Delcamp, M. Idir, G. Cauchon, F. Polack, P. Dhez, and C. Bizeuil, Appl. Opt. 37, 5816 (1998).
[CrossRef]

F. Polack, M. Idir, E. Jourdain, and A. Liard-Cloup, “Two-dimensional diffraction network with alternating multilayer stacks and method for the production thereof and spectroscopic devices comprising said networks,” European patent applicationEP1700141 (July 17, 2005).

Jerome, A.

J. Gautier, F. Delmotte, F. Bridou, M. F. Ravet, F. Varniere, M. Rouilliay, A. Jerome, and I. Vickridge, Appl. Phys. A 88, 719 (2007).
[CrossRef]

Jérome, A.

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. André, J. Gautier, M. Roulliay, F. Bridou, F. Delmotte, M.-F. Ravet-Krill, A. Jérome, and P. Holliger, Thin Solid Films 514, 278 (2006).
[CrossRef]

Joly, L.

P. Ohresser, E. Otero, F. Choueikani, K. Chen, S. Stanescu, F. Deschamps, T. Moreno, F. Polack, B. Lagarde, J.-P. Daguerre, F. Marteau, F. Scheurer, L. Joly, J. P. Kappler, and B. Mulle, Rev. Sci. Instrum. 85, 013106 (2014).
[CrossRef]

Jonnard, P.

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. André, J. Gautier, M. Roulliay, F. Bridou, F. Delmotte, M.-F. Ravet-Krill, A. Jérome, and P. Holliger, Thin Solid Films 514, 278 (2006).
[CrossRef]

Jonnard, Ph.

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, Ph. Jonnard, G. Julié, L. Mollard, G. Rolland, C. Remond, Ph. Troussel, R. Marmoret, and E. O. Filatova, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 541, 590 (2005).
[CrossRef]

Jourdain, E.

F. Polack, B. Lagarde, M. Idir, A. Liard-Cloup, E. Jourdain, and M. Roulliay, AIP Conf. Proc. 879, 489 (2007).
[CrossRef]

F. Polack, B. Lagarde, M. Idir, A. Liard Cloup, and E. Jourdain, AIP Conf. Proc. 879, 639 (2007).
[CrossRef]

F. Polack, M. Idir, E. Jourdain, and A. Liard-Cloup, “Two-dimensional diffraction network with alternating multilayer stacks and method for the production thereof and spectroscopic devices comprising said networks,” European patent applicationEP1700141 (July 17, 2005).

Julié, G.

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, Ph. Jonnard, G. Julié, L. Mollard, G. Rolland, C. Remond, Ph. Troussel, R. Marmoret, and E. O. Filatova, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 541, 590 (2005).
[CrossRef]

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, M.-F. Ravet, A. Raynal, F. Delmotte, F. Bridou, G. Julié, A. Bosseboeuf, and Ph. Troussel, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 458, 650 (2001).
[CrossRef]

Kappler, J. P.

P. Ohresser, E. Otero, F. Choueikani, K. Chen, S. Stanescu, F. Deschamps, T. Moreno, F. Polack, B. Lagarde, J.-P. Daguerre, F. Marteau, F. Scheurer, L. Joly, J. P. Kappler, and B. Mulle, Rev. Sci. Instrum. 85, 013106 (2014).
[CrossRef]

Kaulich, B.

D. Cocco, A. Bianco, B. Kaulich, F. Schaefers, M. Mertin, G. Reichardt, B. Nelles, and K. F. Heidemann, AIP Conf. Proc. 879, 497 (2007).
[CrossRef]

Kleineberg, U.

J. F. Seely, M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 36, 8206 (1997).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 22, 834 (1997).

Kowalski, M. P.

J. F. Seely, M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 36, 8206 (1997).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 22, 834 (1997).

Krumrey, M.

M. Krumrey and G. Ulm, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 1175 (2001).
[CrossRef]

Lagarde, B.

P. Ohresser, E. Otero, F. Choueikani, K. Chen, S. Stanescu, F. Deschamps, T. Moreno, F. Polack, B. Lagarde, J.-P. Daguerre, F. Marteau, F. Scheurer, L. Joly, J. P. Kappler, and B. Mulle, Rev. Sci. Instrum. 85, 013106 (2014).
[CrossRef]

B. Lagarde, F. Sirotti, A. Taleb-Ibrahimi, C. Miron, and F. Polack, J. Phys. Conf. Ser. 425, 152022 (2013).
[CrossRef]

F. Choueikani, F. Bridou, B. Lagarde, E. Meltchakov, F. Polack, P. Mercere, and F. Delmotte, Appl. Phys. A 111, 191 (2013).
[CrossRef]

F. Polack, B. Lagarde, M. Idir, A. Liard-Cloup, E. Jourdain, and M. Roulliay, AIP Conf. Proc. 879, 489 (2007).
[CrossRef]

F. Polack, B. Lagarde, M. Idir, A. Liard Cloup, and E. Jourdain, AIP Conf. Proc. 879, 639 (2007).
[CrossRef]

Liard Cloup, A.

F. Polack, B. Lagarde, M. Idir, A. Liard Cloup, and E. Jourdain, AIP Conf. Proc. 879, 639 (2007).
[CrossRef]

Liard-Cloup, A.

F. Polack, B. Lagarde, M. Idir, A. Liard-Cloup, E. Jourdain, and M. Roulliay, AIP Conf. Proc. 879, 489 (2007).
[CrossRef]

F. Polack, M. Idir, E. Jourdain, and A. Liard-Cloup, “Two-dimensional diffraction network with alternating multilayer stacks and method for the production thereof and spectroscopic devices comprising said networks,” European patent applicationEP1700141 (July 17, 2005).

Lum, P.

D. L. Voronov, S. Diez, P. Lum, S. A. Hidalgo, T. Warwick, N. A. Artemiev, and H. A. Padmore, Proc. SPIE 8848, 88480Q (2013).
[CrossRef]

Marmoret, R.

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, Ph. Jonnard, G. Julié, L. Mollard, G. Rolland, C. Remond, Ph. Troussel, R. Marmoret, and E. O. Filatova, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 541, 590 (2005).
[CrossRef]

Marteau, F.

P. Ohresser, E. Otero, F. Choueikani, K. Chen, S. Stanescu, F. Deschamps, T. Moreno, F. Polack, B. Lagarde, J.-P. Daguerre, F. Marteau, F. Scheurer, L. Joly, J. P. Kappler, and B. Mulle, Rev. Sci. Instrum. 85, 013106 (2014).
[CrossRef]

Maury, H.

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. André, J. Gautier, M. Roulliay, F. Bridou, F. Delmotte, M.-F. Ravet-Krill, A. Jérome, and P. Holliger, Thin Solid Films 514, 278 (2006).
[CrossRef]

Meltchakov, E.

F. Choueikani, F. Bridou, B. Lagarde, E. Meltchakov, F. Polack, P. Mercere, and F. Delmotte, Appl. Phys. A 111, 191 (2013).
[CrossRef]

Menke, D.

J. F. Seely, M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 36, 8206 (1997).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 22, 834 (1997).

Mercere, P.

F. Choueikani, F. Bridou, B. Lagarde, E. Meltchakov, F. Polack, P. Mercere, and F. Delmotte, Appl. Phys. A 111, 191 (2013).
[CrossRef]

M. Idir, P. Mercere, T. Moreno, A. Delmotte, P. Da Silva, and M. H. Modi, AIP Conf. Proc. 1234, 485 (2009).

Mertin, M.

D. Cocco, A. Bianco, B. Kaulich, F. Schaefers, M. Mertin, G. Reichardt, B. Nelles, and K. F. Heidemann, AIP Conf. Proc. 879, 497 (2007).
[CrossRef]

Miron, C.

B. Lagarde, F. Sirotti, A. Taleb-Ibrahimi, C. Miron, and F. Polack, J. Phys. Conf. Ser. 425, 152022 (2013).
[CrossRef]

Mirone, A.

Modi, M. H.

M. Idir, P. Mercere, T. Moreno, A. Delmotte, P. Da Silva, and M. H. Modi, AIP Conf. Proc. 1234, 485 (2009).

Mollard, L.

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, Ph. Jonnard, G. Julié, L. Mollard, G. Rolland, C. Remond, Ph. Troussel, R. Marmoret, and E. O. Filatova, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 541, 590 (2005).
[CrossRef]

Mooney, T. M.

T. M. Mooney, T. Toellner, W. Sturhahn, E. E. Alp, and S. D. Shastri, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. A 347, 348 (1994).
[CrossRef]

Moreno, T.

P. Ohresser, E. Otero, F. Choueikani, K. Chen, S. Stanescu, F. Deschamps, T. Moreno, F. Polack, B. Lagarde, J.-P. Daguerre, F. Marteau, F. Scheurer, L. Joly, J. P. Kappler, and B. Mulle, Rev. Sci. Instrum. 85, 013106 (2014).
[CrossRef]

M. Idir, P. Mercere, T. Moreno, A. Delmotte, P. Da Silva, and M. H. Modi, AIP Conf. Proc. 1234, 485 (2009).

Mulle, B.

P. Ohresser, E. Otero, F. Choueikani, K. Chen, S. Stanescu, F. Deschamps, T. Moreno, F. Polack, B. Lagarde, J.-P. Daguerre, F. Marteau, F. Scheurer, L. Joly, J. P. Kappler, and B. Mulle, Rev. Sci. Instrum. 85, 013106 (2014).
[CrossRef]

Nelles, B.

D. Cocco, A. Bianco, B. Kaulich, F. Schaefers, M. Mertin, G. Reichardt, B. Nelles, and K. F. Heidemann, AIP Conf. Proc. 879, 497 (2007).
[CrossRef]

A. Bianco, G. Sostero, B. Nelles, K. F. Heidemann, and D. Cocco, Proc. SPIE 5918, 591810 (2005).
[CrossRef]

Ohresser, P.

P. Ohresser, E. Otero, F. Choueikani, K. Chen, S. Stanescu, F. Deschamps, T. Moreno, F. Polack, B. Lagarde, J.-P. Daguerre, F. Marteau, F. Scheurer, L. Joly, J. P. Kappler, and B. Mulle, Rev. Sci. Instrum. 85, 013106 (2014).
[CrossRef]

Osterried, K.

J. F. Seely, M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 36, 8206 (1997).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 22, 834 (1997).

Otero, E.

P. Ohresser, E. Otero, F. Choueikani, K. Chen, S. Stanescu, F. Deschamps, T. Moreno, F. Polack, B. Lagarde, J.-P. Daguerre, F. Marteau, F. Scheurer, L. Joly, J. P. Kappler, and B. Mulle, Rev. Sci. Instrum. 85, 013106 (2014).
[CrossRef]

Padmore, H. A.

D. L. Voronov, S. Diez, P. Lum, S. A. Hidalgo, T. Warwick, N. A. Artemiev, and H. A. Padmore, Proc. SPIE 8848, 88480Q (2013).
[CrossRef]

D. L. Voronov, E. H. Anderson, E. M. Gullikson, F. Salmassi, T. Warwick, V. V. Yashchuk, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 37, 1628 (2012).
[CrossRef]

D. L. Voronov, E. H. Anderson, R. Cambie, S. Cabrini, S. D. Dhuey, L. I. Goray, E. M. Gullikson, F. Salmassi, T. Warwick, V. V. Yashchuk, and H. A. Padmore, Opt. Express 19, 6320 (2011).
[CrossRef]

D. L. Voronov, M. Ahn, E. H. Anderson, R. Cambie, C. H. Chang, E. M. Gullikson, R. K. Heilmann, F. Salmassi, M. L. Schattenburg, T. Warwick, V. V. Yashchuk, L. Zipp, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 2615, 35 (2010).

Patteli, A.

A. Patteli, J. Ravagnana, V. Rigatoa, G. Salmasoa, D. Silvestrinia, E. Bontempic, and L. E. Deperoc, Appl. Surf. Sci. 238, 262 (2004).
[CrossRef]

Polack, F.

P. Ohresser, E. Otero, F. Choueikani, K. Chen, S. Stanescu, F. Deschamps, T. Moreno, F. Polack, B. Lagarde, J.-P. Daguerre, F. Marteau, F. Scheurer, L. Joly, J. P. Kappler, and B. Mulle, Rev. Sci. Instrum. 85, 013106 (2014).
[CrossRef]

F. Choueikani, F. Bridou, B. Lagarde, E. Meltchakov, F. Polack, P. Mercere, and F. Delmotte, Appl. Phys. A 111, 191 (2013).
[CrossRef]

B. Lagarde, F. Sirotti, A. Taleb-Ibrahimi, C. Miron, and F. Polack, J. Phys. Conf. Ser. 425, 152022 (2013).
[CrossRef]

F. Polack, B. Lagarde, M. Idir, A. Liard-Cloup, E. Jourdain, and M. Roulliay, AIP Conf. Proc. 879, 489 (2007).
[CrossRef]

F. Polack, B. Lagarde, M. Idir, A. Liard Cloup, and E. Jourdain, AIP Conf. Proc. 879, 639 (2007).
[CrossRef]

A. Mirone, E. Delcamp, M. Idir, G. Cauchon, F. Polack, P. Dhez, and C. Bizeuil, Appl. Opt. 37, 5816 (1998).
[CrossRef]

F. Polack, M. Idir, E. Jourdain, and A. Liard-Cloup, “Two-dimensional diffraction network with alternating multilayer stacks and method for the production thereof and spectroscopic devices comprising said networks,” European patent applicationEP1700141 (July 17, 2005).

Poyet, B.

S. Ducourtieux and B. Poyet, Meas. Sci. Technol. 22, 094010 (2011).
[CrossRef]

Ravagnana, J.

A. Patteli, J. Ravagnana, V. Rigatoa, G. Salmasoa, D. Silvestrinia, E. Bontempic, and L. E. Deperoc, Appl. Surf. Sci. 238, 262 (2004).
[CrossRef]

Ravet, M. F.

J. Gautier, F. Delmotte, F. Bridou, M. F. Ravet, F. Varniere, M. Rouilliay, A. Jerome, and I. Vickridge, Appl. Phys. A 88, 719 (2007).
[CrossRef]

Ravet, M.-F.

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, M.-F. Ravet, A. Raynal, F. Delmotte, F. Bridou, G. Julié, A. Bosseboeuf, and Ph. Troussel, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 458, 650 (2001).
[CrossRef]

Ravet-Krill, M.-F.

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. André, J. Gautier, M. Roulliay, F. Bridou, F. Delmotte, M.-F. Ravet-Krill, A. Jérome, and P. Holliger, Thin Solid Films 514, 278 (2006).
[CrossRef]

Raynal, A.

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, M.-F. Ravet, A. Raynal, F. Delmotte, F. Bridou, G. Julié, A. Bosseboeuf, and Ph. Troussel, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 458, 650 (2001).
[CrossRef]

Reichardt, G.

D. Cocco, A. Bianco, B. Kaulich, F. Schaefers, M. Mertin, G. Reichardt, B. Nelles, and K. F. Heidemann, AIP Conf. Proc. 879, 497 (2007).
[CrossRef]

Remond, C.

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, Ph. Jonnard, G. Julié, L. Mollard, G. Rolland, C. Remond, Ph. Troussel, R. Marmoret, and E. O. Filatova, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 541, 590 (2005).
[CrossRef]

Rife, J. C.

J. F. Seely, M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 36, 8206 (1997).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 22, 834 (1997).

Rigatoa, V.

A. Patteli, J. Ravagnana, V. Rigatoa, G. Salmasoa, D. Silvestrinia, E. Bontempic, and L. E. Deperoc, Appl. Surf. Sci. 238, 262 (2004).
[CrossRef]

Rolland, G.

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, Ph. Jonnard, G. Julié, L. Mollard, G. Rolland, C. Remond, Ph. Troussel, R. Marmoret, and E. O. Filatova, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 541, 590 (2005).
[CrossRef]

Rouilliay, M.

J. Gautier, F. Delmotte, F. Bridou, M. F. Ravet, F. Varniere, M. Rouilliay, A. Jerome, and I. Vickridge, Appl. Phys. A 88, 719 (2007).
[CrossRef]

Roulliay, M.

F. Polack, B. Lagarde, M. Idir, A. Liard-Cloup, E. Jourdain, and M. Roulliay, AIP Conf. Proc. 879, 489 (2007).
[CrossRef]

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. André, J. Gautier, M. Roulliay, F. Bridou, F. Delmotte, M.-F. Ravet-Krill, A. Jérome, and P. Holliger, Thin Solid Films 514, 278 (2006).
[CrossRef]

Said, A. H.

Y. V. Shvyd’ko, S. Stoupin, A. Cunsolo, A. H. Said, and X. Huang, Nat. Phys. 6, 196 (2010).
[CrossRef]

Salmasoa, G.

A. Patteli, J. Ravagnana, V. Rigatoa, G. Salmasoa, D. Silvestrinia, E. Bontempic, and L. E. Deperoc, Appl. Surf. Sci. 238, 262 (2004).
[CrossRef]

Salmassi, F.

Schaefers, F.

D. Cocco, A. Bianco, B. Kaulich, F. Schaefers, M. Mertin, G. Reichardt, B. Nelles, and K. F. Heidemann, AIP Conf. Proc. 879, 497 (2007).
[CrossRef]

Schattenburg, M. L.

D. L. Voronov, M. Ahn, E. H. Anderson, R. Cambie, C. H. Chang, E. M. Gullikson, R. K. Heilmann, F. Salmassi, M. L. Schattenburg, T. Warwick, V. V. Yashchuk, L. Zipp, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 2615, 35 (2010).

Scheurer, F.

P. Ohresser, E. Otero, F. Choueikani, K. Chen, S. Stanescu, F. Deschamps, T. Moreno, F. Polack, B. Lagarde, J.-P. Daguerre, F. Marteau, F. Scheurer, L. Joly, J. P. Kappler, and B. Mulle, Rev. Sci. Instrum. 85, 013106 (2014).
[CrossRef]

Seely, J. F.

J. F. Seely, M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, J. C. Rife, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 36, 8206 (1997).
[CrossRef]

M. P. Kowalski, R. G. Cruddace, J. F. Seely, J. C. Rife, K. F. Heidemann, U. Heinzmann, U. Kleineberg, K. Osterried, D. Menke, and W. R. Hunter, Appl. Opt. 22, 834 (1997).

Shastri, S. D.

T. M. Mooney, T. Toellner, W. Sturhahn, E. E. Alp, and S. D. Shastri, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. A 347, 348 (1994).
[CrossRef]

Shvyd’ko, Y. V.

Y. V. Shvyd’ko, S. Stoupin, A. Cunsolo, A. H. Said, and X. Huang, Nat. Phys. 6, 196 (2010).
[CrossRef]

Silvestrinia, D.

A. Patteli, J. Ravagnana, V. Rigatoa, G. Salmasoa, D. Silvestrinia, E. Bontempic, and L. E. Deperoc, Appl. Surf. Sci. 238, 262 (2004).
[CrossRef]

Sirotti, F.

B. Lagarde, F. Sirotti, A. Taleb-Ibrahimi, C. Miron, and F. Polack, J. Phys. Conf. Ser. 425, 152022 (2013).
[CrossRef]

Sostero, G.

A. Bianco, G. Sostero, B. Nelles, K. F. Heidemann, and D. Cocco, Proc. SPIE 5918, 591810 (2005).
[CrossRef]

Stanescu, S.

P. Ohresser, E. Otero, F. Choueikani, K. Chen, S. Stanescu, F. Deschamps, T. Moreno, F. Polack, B. Lagarde, J.-P. Daguerre, F. Marteau, F. Scheurer, L. Joly, J. P. Kappler, and B. Mulle, Rev. Sci. Instrum. 85, 013106 (2014).
[CrossRef]

Stoupin, S.

Y. V. Shvyd’ko, S. Stoupin, A. Cunsolo, A. H. Said, and X. Huang, Nat. Phys. 6, 196 (2010).
[CrossRef]

Sturhahn, W.

T. M. Mooney, T. Toellner, W. Sturhahn, E. E. Alp, and S. D. Shastri, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. A 347, 348 (1994).
[CrossRef]

Taleb-Ibrahimi, A.

B. Lagarde, F. Sirotti, A. Taleb-Ibrahimi, C. Miron, and F. Polack, J. Phys. Conf. Ser. 425, 152022 (2013).
[CrossRef]

Toellner, T.

T. M. Mooney, T. Toellner, W. Sturhahn, E. E. Alp, and S. D. Shastri, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. A 347, 348 (1994).
[CrossRef]

Troussel, Ph.

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, Ph. Jonnard, G. Julié, L. Mollard, G. Rolland, C. Remond, Ph. Troussel, R. Marmoret, and E. O. Filatova, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 541, 590 (2005).
[CrossRef]

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, M.-F. Ravet, A. Raynal, F. Delmotte, F. Bridou, G. Julié, A. Bosseboeuf, and Ph. Troussel, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 458, 650 (2001).
[CrossRef]

Ulm, G.

M. Krumrey and G. Ulm, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 1175 (2001).
[CrossRef]

Varniere, F.

J. Gautier, F. Delmotte, F. Bridou, M. F. Ravet, F. Varniere, M. Rouilliay, A. Jerome, and I. Vickridge, Appl. Phys. A 88, 719 (2007).
[CrossRef]

Vickridge, I.

J. Gautier, F. Delmotte, F. Bridou, M. F. Ravet, F. Varniere, M. Rouilliay, A. Jerome, and I. Vickridge, Appl. Phys. A 88, 719 (2007).
[CrossRef]

Voronov, D. L.

D. L. Voronov, S. Diez, P. Lum, S. A. Hidalgo, T. Warwick, N. A. Artemiev, and H. A. Padmore, Proc. SPIE 8848, 88480Q (2013).
[CrossRef]

D. L. Voronov, E. H. Anderson, E. M. Gullikson, F. Salmassi, T. Warwick, V. V. Yashchuk, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 37, 1628 (2012).
[CrossRef]

D. L. Voronov, E. H. Anderson, R. Cambie, S. Cabrini, S. D. Dhuey, L. I. Goray, E. M. Gullikson, F. Salmassi, T. Warwick, V. V. Yashchuk, and H. A. Padmore, Opt. Express 19, 6320 (2011).
[CrossRef]

D. L. Voronov, M. Ahn, E. H. Anderson, R. Cambie, C. H. Chang, E. M. Gullikson, R. K. Heilmann, F. Salmassi, M. L. Schattenburg, T. Warwick, V. V. Yashchuk, L. Zipp, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 2615, 35 (2010).

Warwick, T.

D. L. Voronov, S. Diez, P. Lum, S. A. Hidalgo, T. Warwick, N. A. Artemiev, and H. A. Padmore, Proc. SPIE 8848, 88480Q (2013).
[CrossRef]

D. L. Voronov, E. H. Anderson, E. M. Gullikson, F. Salmassi, T. Warwick, V. V. Yashchuk, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 37, 1628 (2012).
[CrossRef]

D. L. Voronov, E. H. Anderson, R. Cambie, S. Cabrini, S. D. Dhuey, L. I. Goray, E. M. Gullikson, F. Salmassi, T. Warwick, V. V. Yashchuk, and H. A. Padmore, Opt. Express 19, 6320 (2011).
[CrossRef]

D. L. Voronov, M. Ahn, E. H. Anderson, R. Cambie, C. H. Chang, E. M. Gullikson, R. K. Heilmann, F. Salmassi, M. L. Schattenburg, T. Warwick, V. V. Yashchuk, L. Zipp, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 2615, 35 (2010).

Yashchuk, V. V.

Zipp, L.

D. L. Voronov, M. Ahn, E. H. Anderson, R. Cambie, C. H. Chang, E. M. Gullikson, R. K. Heilmann, F. Salmassi, M. L. Schattenburg, T. Warwick, V. V. Yashchuk, L. Zipp, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 2615, 35 (2010).

AIP Conf. Proc.

D. Cocco, A. Bianco, B. Kaulich, F. Schaefers, M. Mertin, G. Reichardt, B. Nelles, and K. F. Heidemann, AIP Conf. Proc. 879, 497 (2007).
[CrossRef]

F. Polack, B. Lagarde, M. Idir, A. Liard Cloup, and E. Jourdain, AIP Conf. Proc. 879, 639 (2007).
[CrossRef]

F. Polack, B. Lagarde, M. Idir, A. Liard-Cloup, E. Jourdain, and M. Roulliay, AIP Conf. Proc. 879, 489 (2007).
[CrossRef]

M. Idir, P. Mercere, T. Moreno, A. Delmotte, P. Da Silva, and M. H. Modi, AIP Conf. Proc. 1234, 485 (2009).

Appl. Opt.

Appl. Phys. A

F. Choueikani, F. Bridou, B. Lagarde, E. Meltchakov, F. Polack, P. Mercere, and F. Delmotte, Appl. Phys. A 111, 191 (2013).
[CrossRef]

J. Gautier, F. Delmotte, F. Bridou, M. F. Ravet, F. Varniere, M. Rouilliay, A. Jerome, and I. Vickridge, Appl. Phys. A 88, 719 (2007).
[CrossRef]

Appl. Surf. Sci.

A. Patteli, J. Ravagnana, V. Rigatoa, G. Salmasoa, D. Silvestrinia, E. Bontempic, and L. E. Deperoc, Appl. Surf. Sci. 238, 262 (2004).
[CrossRef]

J. Phys. Conf. Ser.

B. Lagarde, F. Sirotti, A. Taleb-Ibrahimi, C. Miron, and F. Polack, J. Phys. Conf. Ser. 425, 152022 (2013).
[CrossRef]

Meas. Sci. Technol.

S. Ducourtieux and B. Poyet, Meas. Sci. Technol. 22, 094010 (2011).
[CrossRef]

Nat. Phys.

Y. V. Shvyd’ko, S. Stoupin, A. Cunsolo, A. H. Said, and X. Huang, Nat. Phys. 6, 196 (2010).
[CrossRef]

Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, Ph. Jonnard, G. Julié, L. Mollard, G. Rolland, C. Remond, Ph. Troussel, R. Marmoret, and E. O. Filatova, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 541, 590 (2005).
[CrossRef]

R. Benbalagh, J.-M. André, R. Barchewitz, M.-F. Ravet, A. Raynal, F. Delmotte, F. Bridou, G. Julié, A. Bosseboeuf, and Ph. Troussel, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 458, 650 (2001).
[CrossRef]

M. Krumrey and G. Ulm, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 467-468, 1175 (2001).
[CrossRef]

Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. A

T. M. Mooney, T. Toellner, W. Sturhahn, E. E. Alp, and S. D. Shastri, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. A 347, 348 (1994).
[CrossRef]

Opt. Express

Opt. Lett.

D. L. Voronov, E. H. Anderson, E. M. Gullikson, F. Salmassi, T. Warwick, V. V. Yashchuk, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 37, 1628 (2012).
[CrossRef]

D. L. Voronov, M. Ahn, E. H. Anderson, R. Cambie, C. H. Chang, E. M. Gullikson, R. K. Heilmann, F. Salmassi, M. L. Schattenburg, T. Warwick, V. V. Yashchuk, L. Zipp, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 2615, 35 (2010).

Proc. SPIE

A. Bianco, G. Sostero, B. Nelles, K. F. Heidemann, and D. Cocco, Proc. SPIE 5918, 591810 (2005).
[CrossRef]

D. L. Voronov, S. Diez, P. Lum, S. A. Hidalgo, T. Warwick, N. A. Artemiev, and H. A. Padmore, Proc. SPIE 8848, 88480Q (2013).
[CrossRef]

Rev. Sci. Instrum.

P. Ohresser, E. Otero, F. Choueikani, K. Chen, S. Stanescu, F. Deschamps, T. Moreno, F. Polack, B. Lagarde, J.-P. Daguerre, F. Marteau, F. Scheurer, L. Joly, J. P. Kappler, and B. Mulle, Rev. Sci. Instrum. 85, 013106 (2014).
[CrossRef]

Thin Solid Films

H. Maury, P. Jonnard, J.-M. André, J. Gautier, M. Roulliay, F. Bridou, F. Delmotte, M.-F. Ravet-Krill, A. Jérome, and P. Holliger, Thin Solid Films 514, 278 (2006).
[CrossRef]

Other

F. Polack, M. Idir, E. Jourdain, and A. Liard-Cloup, “Two-dimensional diffraction network with alternating multilayer stacks and method for the production thereof and spectroscopic devices comprising said networks,” European patent applicationEP1700141 (July 17, 2005).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (5)

Fig. 1.
Fig. 1.

Cross-section of a simple binary model of an ideal AML grating, realized on a lamellar grating of equal lands and grooves by deposition of an ML whose thickness of each material is equal to the grove depth d. Also indicated are the pitch p and the groove width c of the grating. The oblique straight line marks the orientation of the (1,1) Bragg plane. The unit cell of the ideal lattice is shown in the right inset.

Fig. 2.
Fig. 2.

CARPEM computations of diffraction efficiencies of the same lamellar 2400lines/mm grating with a groove depth d=2.5nm, a duty cycle Γ=c/p=0.48, coated with a 30 period ML, with materials and thicknesses (nm) as indicated in the graph legend.

Fig. 3.
Fig. 3.

Measured and calculated (with a rectangular profile) efficiency of the first diffraction order versus the photon energy in the range from 0.7 to 3.4 keV for a grating rotation angle Ω=0.692deg and a duty cycle Γ=0.48.

Fig. 4.
Fig. 4.

Detector scan measured at the PTB FCM beamline for a constant incidence of 7.8 deg, a fixed energy of 2.2 keV and Ω of 0.692 deg satisfying the Bragg condition.

Fig. 5.
Fig. 5.

Reflectivity profile of the first diffraction order at 2.2 keV. The values measured at PTB FCM beamline are compared to CARPEM simulations with the same parameters as in Fig. 3.

Tables (1)

Tables Icon

Table 1. AFM Measurements Performed on Lamellar Grating Used as Substratea

Equations (1)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

θ(m,n)=tan1(2mdnp),

Metrics