Abstract

Flexible integrated photonic devices based on crystalline materials on plastic substrates have a promising potential in many unconventional applications. In this Letter, we demonstrate a fully integrated photonic system including ring resonators and grating couplers, based on both crystalline silicon and silicon nitride, on flexible plastic substrate by using the stamping-transfer method. A high yield has been achieved by a simple, yet reliable transfer method without significant performance degradation.

© 2014 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. H. C. Ko, M. P. Stoykovich, J. Song, V. Malyarchuk, W. M. Choi, C.-J. Yu, J. B. Geddes, J. Xiao, S. Wang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Nature 454, 748 (2008).
    [CrossRef]
  2. T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
    [CrossRef]
  3. W.-H. Yeo, Y.-S. Kim, J. Lee, A. Ameen, L. Shi, M. Li, S. Wang, R. Ma, S. H. Jin, Z. Kang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 25, 2773 (2013).
    [CrossRef]
  4. D.-H. Kim, Y.-S. Kim, J. Wu, Z. Liu, J. Song, H.-S. Kim, Y. Y. Huang, K.-C. Hwang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 21, 3703 (2009).
    [CrossRef]
  5. B. Y. Ahn, E. B. Duoss, M. J. Motala, X. Guo, S.-I. Park, Y. Xiong, J. Yoon, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, and J. A. Lewis, Science 323, 1590 (2009).
    [CrossRef]
  6. J. J. Boland, Nat. Mater. 9, 790 (2010).
    [CrossRef]
  7. T. Someya, T. Sekitani, S. Iba, Y. Kato, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A. 101, 9966 (2004).
  8. M. Ramuz, B. C. K. Tee, J. B. H. Tok, and Z. Bao, Adv. Mater. 24, 3223 (2012).
    [CrossRef]
  9. C. H. Lee and J. A. Rogers, Nature 468, 177 (2010).
    [CrossRef]
  10. K. J. Lee, M. J. Motala, M. A. Meitl, W. R. Childs, E. Menard, A. K. Shim, J. A. Rogers, and R. G. Nuzzo, Adv. Mater. 17, 2332 (2005).
    [CrossRef]
  11. S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
    [CrossRef]
  12. J. S. Yoon, L. F. Li, A. V. Semichaevsky, J. H. Ryu, H. T. Johnson, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Commun. 1318, 343 (2011).
  13. Y. Enami, C. T. Derose, D. Mathine, C. Loychik, C. Greenlee, R. A. Norwood, T. D. Kim, J. Luo, Y. Tian, A. K.-Y. Jen, and N. Peyghambarian, Nat. Photonics 1, 180 (2007).
    [CrossRef]
  14. G. Fischbeck and R. Moosburger, Electrochem. Solid State Lett. 33, 518 (1997).
  15. Y. Hida, H. Onose, and S. Imamura, IEEE Photon. Technol. Lett. 5, 782 (1993).
    [CrossRef]
  16. A. Ghaffari, A. Hosseini, X. Xu, D. Kwong, H. Subbaraman, and R. T. Chen, Opt. Express 18, 20086 (2010).
    [CrossRef]
  17. M. J. Zablocki, A. Sharkawy, O. Ebil, and D. W. Prather, Opt. Lett. 36, 58 (2011).
    [CrossRef]
  18. X. Xu, H. Subbaraman, A. Hosseini, C. Y. Lin, D. Kwong, and R. T. Chen, Opt. Lett. 37, 1020 (2012).
    [CrossRef]
  19. L. Fan, L. T. Varghese, Y. Xuan, J. Wang, B. Niu, and M. Qi, Opt. Express 20, 20564 (2012).
    [CrossRef]
  20. X. Xu, H. Subbaraman, D. Kwong, A. Hosseini, Y. Zhang, and R. T. Chen, IEEE Photon. Technol. Lett. 25, 1601 (2013).
    [CrossRef]
  21. Y. Chen, H. Li, and M. Li, Sci. Rep. 2, 622 (2012).
  22. L. Lan, Z. Yi, L. Hongtao, H. Juejun, S. Xiaochen, F. Ning-Ning, S. Danto, K. Richardson, G. Tian, and M. Haney, J. Lightwave Technol. 31, 4080 (2013).
    [CrossRef]
  23. H. J. Yang, D. Y. Zhao, S. Chuwongin, J. H. Seo, W. Q. Yang, Y. C. Shuai, J. Berggren, M. Hammar, Z. Q. Ma, and W. D. Zhou, Nat. Photonics 6, 615 (2012).

2013 (4)

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

W.-H. Yeo, Y.-S. Kim, J. Lee, A. Ameen, L. Shi, M. Li, S. Wang, R. Ma, S. H. Jin, Z. Kang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 25, 2773 (2013).
[CrossRef]

X. Xu, H. Subbaraman, D. Kwong, A. Hosseini, Y. Zhang, and R. T. Chen, IEEE Photon. Technol. Lett. 25, 1601 (2013).
[CrossRef]

L. Lan, Z. Yi, L. Hongtao, H. Juejun, S. Xiaochen, F. Ning-Ning, S. Danto, K. Richardson, G. Tian, and M. Haney, J. Lightwave Technol. 31, 4080 (2013).
[CrossRef]

2012 (6)

X. Xu, H. Subbaraman, A. Hosseini, C. Y. Lin, D. Kwong, and R. T. Chen, Opt. Lett. 37, 1020 (2012).
[CrossRef]

L. Fan, L. T. Varghese, Y. Xuan, J. Wang, B. Niu, and M. Qi, Opt. Express 20, 20564 (2012).
[CrossRef]

Y. Chen, H. Li, and M. Li, Sci. Rep. 2, 622 (2012).

H. J. Yang, D. Y. Zhao, S. Chuwongin, J. H. Seo, W. Q. Yang, Y. C. Shuai, J. Berggren, M. Hammar, Z. Q. Ma, and W. D. Zhou, Nat. Photonics 6, 615 (2012).

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

M. Ramuz, B. C. K. Tee, J. B. H. Tok, and Z. Bao, Adv. Mater. 24, 3223 (2012).
[CrossRef]

2011 (2)

J. S. Yoon, L. F. Li, A. V. Semichaevsky, J. H. Ryu, H. T. Johnson, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Commun. 1318, 343 (2011).

M. J. Zablocki, A. Sharkawy, O. Ebil, and D. W. Prather, Opt. Lett. 36, 58 (2011).
[CrossRef]

2010 (3)

A. Ghaffari, A. Hosseini, X. Xu, D. Kwong, H. Subbaraman, and R. T. Chen, Opt. Express 18, 20086 (2010).
[CrossRef]

C. H. Lee and J. A. Rogers, Nature 468, 177 (2010).
[CrossRef]

J. J. Boland, Nat. Mater. 9, 790 (2010).
[CrossRef]

2009 (2)

D.-H. Kim, Y.-S. Kim, J. Wu, Z. Liu, J. Song, H.-S. Kim, Y. Y. Huang, K.-C. Hwang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 21, 3703 (2009).
[CrossRef]

B. Y. Ahn, E. B. Duoss, M. J. Motala, X. Guo, S.-I. Park, Y. Xiong, J. Yoon, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, and J. A. Lewis, Science 323, 1590 (2009).
[CrossRef]

2008 (1)

H. C. Ko, M. P. Stoykovich, J. Song, V. Malyarchuk, W. M. Choi, C.-J. Yu, J. B. Geddes, J. Xiao, S. Wang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Nature 454, 748 (2008).
[CrossRef]

2007 (1)

Y. Enami, C. T. Derose, D. Mathine, C. Loychik, C. Greenlee, R. A. Norwood, T. D. Kim, J. Luo, Y. Tian, A. K.-Y. Jen, and N. Peyghambarian, Nat. Photonics 1, 180 (2007).
[CrossRef]

2005 (1)

K. J. Lee, M. J. Motala, M. A. Meitl, W. R. Childs, E. Menard, A. K. Shim, J. A. Rogers, and R. G. Nuzzo, Adv. Mater. 17, 2332 (2005).
[CrossRef]

2004 (1)

T. Someya, T. Sekitani, S. Iba, Y. Kato, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A. 101, 9966 (2004).

1997 (1)

G. Fischbeck and R. Moosburger, Electrochem. Solid State Lett. 33, 518 (1997).

1993 (1)

Y. Hida, H. Onose, and S. Imamura, IEEE Photon. Technol. Lett. 5, 782 (1993).
[CrossRef]

Ahn, B. Y.

B. Y. Ahn, E. B. Duoss, M. J. Motala, X. Guo, S.-I. Park, Y. Xiong, J. Yoon, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, and J. A. Lewis, Science 323, 1590 (2009).
[CrossRef]

Al-Hasani, R.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

Ameen, A.

W.-H. Yeo, Y.-S. Kim, J. Lee, A. Ameen, L. Shi, M. Li, S. Wang, R. Ma, S. H. Jin, Z. Kang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 25, 2773 (2013).
[CrossRef]

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Bao, Z.

M. Ramuz, B. C. K. Tee, J. B. H. Tok, and Z. Bao, Adv. Mater. 24, 3223 (2012).
[CrossRef]

Berggren, J.

H. J. Yang, D. Y. Zhao, S. Chuwongin, J. H. Seo, W. Q. Yang, Y. C. Shuai, J. Berggren, M. Hammar, Z. Q. Ma, and W. D. Zhou, Nat. Photonics 6, 615 (2012).

Boland, J. J.

J. J. Boland, Nat. Mater. 9, 790 (2010).
[CrossRef]

Brenckle, M. A.

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Bruchas, M. R.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

Chen, R. T.

Chen, Y.

Y. Chen, H. Li, and M. Li, Sci. Rep. 2, 622 (2012).

Cheng, H. Y.

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Childs, W. R.

K. J. Lee, M. J. Motala, M. A. Meitl, W. R. Childs, E. Menard, A. K. Shim, J. A. Rogers, and R. G. Nuzzo, Adv. Mater. 17, 2332 (2005).
[CrossRef]

Choi, W. M.

H. C. Ko, M. P. Stoykovich, J. Song, V. Malyarchuk, W. M. Choi, C.-J. Yu, J. B. Geddes, J. Xiao, S. Wang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Nature 454, 748 (2008).
[CrossRef]

Chuwongin, S.

H. J. Yang, D. Y. Zhao, S. Chuwongin, J. H. Seo, W. Q. Yang, Y. C. Shuai, J. Berggren, M. Hammar, Z. Q. Ma, and W. D. Zhou, Nat. Photonics 6, 615 (2012).

Danto, S.

Derose, C. T.

Y. Enami, C. T. Derose, D. Mathine, C. Loychik, C. Greenlee, R. A. Norwood, T. D. Kim, J. Luo, Y. Tian, A. K.-Y. Jen, and N. Peyghambarian, Nat. Photonics 1, 180 (2007).
[CrossRef]

Duoss, E. B.

B. Y. Ahn, E. B. Duoss, M. J. Motala, X. Guo, S.-I. Park, Y. Xiong, J. Yoon, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, and J. A. Lewis, Science 323, 1590 (2009).
[CrossRef]

Ebil, O.

Enami, Y.

Y. Enami, C. T. Derose, D. Mathine, C. Loychik, C. Greenlee, R. A. Norwood, T. D. Kim, J. Luo, Y. Tian, A. K.-Y. Jen, and N. Peyghambarian, Nat. Photonics 1, 180 (2007).
[CrossRef]

Fan, L.

Fischbeck, G.

G. Fischbeck and R. Moosburger, Electrochem. Solid State Lett. 33, 518 (1997).

Geddes, J. B.

H. C. Ko, M. P. Stoykovich, J. Song, V. Malyarchuk, W. M. Choi, C.-J. Yu, J. B. Geddes, J. Xiao, S. Wang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Nature 454, 748 (2008).
[CrossRef]

Ghaffari, A.

Greenlee, C.

Y. Enami, C. T. Derose, D. Mathine, C. Loychik, C. Greenlee, R. A. Norwood, T. D. Kim, J. Luo, Y. Tian, A. K.-Y. Jen, and N. Peyghambarian, Nat. Photonics 1, 180 (2007).
[CrossRef]

Guo, X.

B. Y. Ahn, E. B. Duoss, M. J. Motala, X. Guo, S.-I. Park, Y. Xiong, J. Yoon, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, and J. A. Lewis, Science 323, 1590 (2009).
[CrossRef]

Hammar, M.

H. J. Yang, D. Y. Zhao, S. Chuwongin, J. H. Seo, W. Q. Yang, Y. C. Shuai, J. Berggren, M. Hammar, Z. Q. Ma, and W. D. Zhou, Nat. Photonics 6, 615 (2012).

Haney, M.

Hida, Y.

Y. Hida, H. Onose, and S. Imamura, IEEE Photon. Technol. Lett. 5, 782 (1993).
[CrossRef]

Hongtao, L.

Hosseini, A.

Huang, X.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

Huang, Y.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

W.-H. Yeo, Y.-S. Kim, J. Lee, A. Ameen, L. Shi, M. Li, S. Wang, R. Ma, S. H. Jin, Z. Kang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 25, 2773 (2013).
[CrossRef]

H. C. Ko, M. P. Stoykovich, J. Song, V. Malyarchuk, W. M. Choi, C.-J. Yu, J. B. Geddes, J. Xiao, S. Wang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Nature 454, 748 (2008).
[CrossRef]

Huang, Y. G.

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Huang, Y. Y.

D.-H. Kim, Y.-S. Kim, J. Wu, Z. Liu, J. Song, H.-S. Kim, Y. Y. Huang, K.-C. Hwang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 21, 3703 (2009).
[CrossRef]

Hwang, K.-C.

D.-H. Kim, Y.-S. Kim, J. Wu, Z. Liu, J. Song, H.-S. Kim, Y. Y. Huang, K.-C. Hwang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 21, 3703 (2009).
[CrossRef]

Hwang, S. W.

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Iba, S.

T. Someya, T. Sekitani, S. Iba, Y. Kato, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A. 101, 9966 (2004).

Imamura, S.

Y. Hida, H. Onose, and S. Imamura, IEEE Photon. Technol. Lett. 5, 782 (1993).
[CrossRef]

Jen, A. K.-Y.

Y. Enami, C. T. Derose, D. Mathine, C. Loychik, C. Greenlee, R. A. Norwood, T. D. Kim, J. Luo, Y. Tian, A. K.-Y. Jen, and N. Peyghambarian, Nat. Photonics 1, 180 (2007).
[CrossRef]

Jin, S. H.

W.-H. Yeo, Y.-S. Kim, J. Lee, A. Ameen, L. Shi, M. Li, S. Wang, R. Ma, S. H. Jin, Z. Kang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 25, 2773 (2013).
[CrossRef]

Johnson, H. T.

J. S. Yoon, L. F. Li, A. V. Semichaevsky, J. H. Ryu, H. T. Johnson, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Commun. 1318, 343 (2011).

Juejun, H.

Jung, Y. H.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

Kang, Z.

W.-H. Yeo, Y.-S. Kim, J. Lee, A. Ameen, L. Shi, M. Li, S. Wang, R. Ma, S. H. Jin, Z. Kang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 25, 2773 (2013).
[CrossRef]

Kaplan, D. L.

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Kato, Y.

T. Someya, T. Sekitani, S. Iba, Y. Kato, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A. 101, 9966 (2004).

Kawaguchi, H.

T. Someya, T. Sekitani, S. Iba, Y. Kato, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A. 101, 9966 (2004).

Kim, D. H.

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Kim, D.-H.

D.-H. Kim, Y.-S. Kim, J. Wu, Z. Liu, J. Song, H.-S. Kim, Y. Y. Huang, K.-C. Hwang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 21, 3703 (2009).
[CrossRef]

Kim, H.-S.

D.-H. Kim, Y.-S. Kim, J. Wu, Z. Liu, J. Song, H.-S. Kim, Y. Y. Huang, K.-C. Hwang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 21, 3703 (2009).
[CrossRef]

Kim, R.-H.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

Kim, S.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

Kim, T.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

Kim, T. D.

Y. Enami, C. T. Derose, D. Mathine, C. Loychik, C. Greenlee, R. A. Norwood, T. D. Kim, J. Luo, Y. Tian, A. K.-Y. Jen, and N. Peyghambarian, Nat. Photonics 1, 180 (2007).
[CrossRef]

Kim, Y. S.

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Kim, Y.-S.

W.-H. Yeo, Y.-S. Kim, J. Lee, A. Ameen, L. Shi, M. Li, S. Wang, R. Ma, S. H. Jin, Z. Kang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 25, 2773 (2013).
[CrossRef]

D.-H. Kim, Y.-S. Kim, J. Wu, Z. Liu, J. Song, H.-S. Kim, Y. Y. Huang, K.-C. Hwang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 21, 3703 (2009).
[CrossRef]

Ko, H. C.

H. C. Ko, M. P. Stoykovich, J. Song, V. Malyarchuk, W. M. Choi, C.-J. Yu, J. B. Geddes, J. Xiao, S. Wang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Nature 454, 748 (2008).
[CrossRef]

Kwong, D.

Lan, L.

Lee, C. H.

C. H. Lee and J. A. Rogers, Nature 468, 177 (2010).
[CrossRef]

Lee, J.

W.-H. Yeo, Y.-S. Kim, J. Lee, A. Ameen, L. Shi, M. Li, S. Wang, R. Ma, S. H. Jin, Z. Kang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 25, 2773 (2013).
[CrossRef]

Lee, K. J.

K. J. Lee, M. J. Motala, M. A. Meitl, W. R. Childs, E. Menard, A. K. Shim, J. A. Rogers, and R. G. Nuzzo, Adv. Mater. 17, 2332 (2005).
[CrossRef]

Lee, S. D.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

Lewis, J. A.

B. Y. Ahn, E. B. Duoss, M. J. Motala, X. Guo, S.-I. Park, Y. Xiong, J. Yoon, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, and J. A. Lewis, Science 323, 1590 (2009).
[CrossRef]

Li, H.

Y. Chen, H. Li, and M. Li, Sci. Rep. 2, 622 (2012).

Li, L. F.

J. S. Yoon, L. F. Li, A. V. Semichaevsky, J. H. Ryu, H. T. Johnson, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Commun. 1318, 343 (2011).

Li, M.

W.-H. Yeo, Y.-S. Kim, J. Lee, A. Ameen, L. Shi, M. Li, S. Wang, R. Ma, S. H. Jin, Z. Kang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 25, 2773 (2013).
[CrossRef]

Y. Chen, H. Li, and M. Li, Sci. Rep. 2, 622 (2012).

Li, R.

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Li, Y.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

Lin, C. Y.

Liu, Z.

D.-H. Kim, Y.-S. Kim, J. Wu, Z. Liu, J. Song, H.-S. Kim, Y. Y. Huang, K.-C. Hwang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 21, 3703 (2009).
[CrossRef]

Loychik, C.

Y. Enami, C. T. Derose, D. Mathine, C. Loychik, C. Greenlee, R. A. Norwood, T. D. Kim, J. Luo, Y. Tian, A. K.-Y. Jen, and N. Peyghambarian, Nat. Photonics 1, 180 (2007).
[CrossRef]

Lu, C.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

Luo, J.

Y. Enami, C. T. Derose, D. Mathine, C. Loychik, C. Greenlee, R. A. Norwood, T. D. Kim, J. Luo, Y. Tian, A. K.-Y. Jen, and N. Peyghambarian, Nat. Photonics 1, 180 (2007).
[CrossRef]

Ma, R.

W.-H. Yeo, Y.-S. Kim, J. Lee, A. Ameen, L. Shi, M. Li, S. Wang, R. Ma, S. H. Jin, Z. Kang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 25, 2773 (2013).
[CrossRef]

Ma, Z. Q.

H. J. Yang, D. Y. Zhao, S. Chuwongin, J. H. Seo, W. Q. Yang, Y. C. Shuai, J. Berggren, M. Hammar, Z. Q. Ma, and W. D. Zhou, Nat. Photonics 6, 615 (2012).

Malyarchuk, V.

H. C. Ko, M. P. Stoykovich, J. Song, V. Malyarchuk, W. M. Choi, C.-J. Yu, J. B. Geddes, J. Xiao, S. Wang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Nature 454, 748 (2008).
[CrossRef]

Mathine, D.

Y. Enami, C. T. Derose, D. Mathine, C. Loychik, C. Greenlee, R. A. Norwood, T. D. Kim, J. Luo, Y. Tian, A. K.-Y. Jen, and N. Peyghambarian, Nat. Photonics 1, 180 (2007).
[CrossRef]

McCall, J. G.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

Meitl, M. A.

K. J. Lee, M. J. Motala, M. A. Meitl, W. R. Childs, E. Menard, A. K. Shim, J. A. Rogers, and R. G. Nuzzo, Adv. Mater. 17, 2332 (2005).
[CrossRef]

Menard, E.

K. J. Lee, M. J. Motala, M. A. Meitl, W. R. Childs, E. Menard, A. K. Shim, J. A. Rogers, and R. G. Nuzzo, Adv. Mater. 17, 2332 (2005).
[CrossRef]

Moosburger, R.

G. Fischbeck and R. Moosburger, Electrochem. Solid State Lett. 33, 518 (1997).

Motala, M. J.

B. Y. Ahn, E. B. Duoss, M. J. Motala, X. Guo, S.-I. Park, Y. Xiong, J. Yoon, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, and J. A. Lewis, Science 323, 1590 (2009).
[CrossRef]

K. J. Lee, M. J. Motala, M. A. Meitl, W. R. Childs, E. Menard, A. K. Shim, J. A. Rogers, and R. G. Nuzzo, Adv. Mater. 17, 2332 (2005).
[CrossRef]

Ning-Ning, F.

Niu, B.

Norwood, R. A.

Y. Enami, C. T. Derose, D. Mathine, C. Loychik, C. Greenlee, R. A. Norwood, T. D. Kim, J. Luo, Y. Tian, A. K.-Y. Jen, and N. Peyghambarian, Nat. Photonics 1, 180 (2007).
[CrossRef]

Nuzzo, R. G.

J. S. Yoon, L. F. Li, A. V. Semichaevsky, J. H. Ryu, H. T. Johnson, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Commun. 1318, 343 (2011).

B. Y. Ahn, E. B. Duoss, M. J. Motala, X. Guo, S.-I. Park, Y. Xiong, J. Yoon, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, and J. A. Lewis, Science 323, 1590 (2009).
[CrossRef]

K. J. Lee, M. J. Motala, M. A. Meitl, W. R. Childs, E. Menard, A. K. Shim, J. A. Rogers, and R. G. Nuzzo, Adv. Mater. 17, 2332 (2005).
[CrossRef]

Omenetto, F. G.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Onose, H.

Y. Hida, H. Onose, and S. Imamura, IEEE Photon. Technol. Lett. 5, 782 (1993).
[CrossRef]

Panilaitis, B.

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Pao, H. A.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

Park, S.-I.

B. Y. Ahn, E. B. Duoss, M. J. Motala, X. Guo, S.-I. Park, Y. Xiong, J. Yoon, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, and J. A. Lewis, Science 323, 1590 (2009).
[CrossRef]

Peyghambarian, N.

Y. Enami, C. T. Derose, D. Mathine, C. Loychik, C. Greenlee, R. A. Norwood, T. D. Kim, J. Luo, Y. Tian, A. K.-Y. Jen, and N. Peyghambarian, Nat. Photonics 1, 180 (2007).
[CrossRef]

Prather, D. W.

Qi, M.

Ramuz, M.

M. Ramuz, B. C. K. Tee, J. B. H. Tok, and Z. Bao, Adv. Mater. 24, 3223 (2012).
[CrossRef]

Richardson, K.

Rill, E.

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Rogers, J. A.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

W.-H. Yeo, Y.-S. Kim, J. Lee, A. Ameen, L. Shi, M. Li, S. Wang, R. Ma, S. H. Jin, Z. Kang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 25, 2773 (2013).
[CrossRef]

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

J. S. Yoon, L. F. Li, A. V. Semichaevsky, J. H. Ryu, H. T. Johnson, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Commun. 1318, 343 (2011).

C. H. Lee and J. A. Rogers, Nature 468, 177 (2010).
[CrossRef]

B. Y. Ahn, E. B. Duoss, M. J. Motala, X. Guo, S.-I. Park, Y. Xiong, J. Yoon, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, and J. A. Lewis, Science 323, 1590 (2009).
[CrossRef]

D.-H. Kim, Y.-S. Kim, J. Wu, Z. Liu, J. Song, H.-S. Kim, Y. Y. Huang, K.-C. Hwang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 21, 3703 (2009).
[CrossRef]

H. C. Ko, M. P. Stoykovich, J. Song, V. Malyarchuk, W. M. Choi, C.-J. Yu, J. B. Geddes, J. Xiao, S. Wang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Nature 454, 748 (2008).
[CrossRef]

K. J. Lee, M. J. Motala, M. A. Meitl, W. R. Childs, E. Menard, A. K. Shim, J. A. Rogers, and R. G. Nuzzo, Adv. Mater. 17, 2332 (2005).
[CrossRef]

Ryu, J. H.

J. S. Yoon, L. F. Li, A. V. Semichaevsky, J. H. Ryu, H. T. Johnson, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Commun. 1318, 343 (2011).

Sakurai, T.

T. Someya, T. Sekitani, S. Iba, Y. Kato, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A. 101, 9966 (2004).

Sekitani, T.

T. Someya, T. Sekitani, S. Iba, Y. Kato, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A. 101, 9966 (2004).

Semichaevsky, A. V.

J. S. Yoon, L. F. Li, A. V. Semichaevsky, J. H. Ryu, H. T. Johnson, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Commun. 1318, 343 (2011).

Seo, J. H.

H. J. Yang, D. Y. Zhao, S. Chuwongin, J. H. Seo, W. Q. Yang, Y. C. Shuai, J. Berggren, M. Hammar, Z. Q. Ma, and W. D. Zhou, Nat. Photonics 6, 615 (2012).

Sharkawy, A.

Shi, L.

W.-H. Yeo, Y.-S. Kim, J. Lee, A. Ameen, L. Shi, M. Li, S. Wang, R. Ma, S. H. Jin, Z. Kang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 25, 2773 (2013).
[CrossRef]

Shim, A. K.

K. J. Lee, M. J. Motala, M. A. Meitl, W. R. Childs, E. Menard, A. K. Shim, J. A. Rogers, and R. G. Nuzzo, Adv. Mater. 17, 2332 (2005).
[CrossRef]

Shin, G.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

Shuai, Y. C.

H. J. Yang, D. Y. Zhao, S. Chuwongin, J. H. Seo, W. Q. Yang, Y. C. Shuai, J. Berggren, M. Hammar, Z. Q. Ma, and W. D. Zhou, Nat. Photonics 6, 615 (2012).

Siuda, E. R.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

Slepian, M. J.

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Someya, T.

T. Someya, T. Sekitani, S. Iba, Y. Kato, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A. 101, 9966 (2004).

Song, I.-S.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

Song, J.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

D.-H. Kim, Y.-S. Kim, J. Wu, Z. Liu, J. Song, H.-S. Kim, Y. Y. Huang, K.-C. Hwang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 21, 3703 (2009).
[CrossRef]

H. C. Ko, M. P. Stoykovich, J. Song, V. Malyarchuk, W. M. Choi, C.-J. Yu, J. B. Geddes, J. Xiao, S. Wang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Nature 454, 748 (2008).
[CrossRef]

Song, J. K.

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Song, Y. M.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Stoykovich, M. P.

H. C. Ko, M. P. Stoykovich, J. Song, V. Malyarchuk, W. M. Choi, C.-J. Yu, J. B. Geddes, J. Xiao, S. Wang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Nature 454, 748 (2008).
[CrossRef]

Su, Y. W.

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Subbaraman, H.

Tan, M. P.

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

Tao, H.

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Tee, B. C. K.

M. Ramuz, B. C. K. Tee, J. B. H. Tok, and Z. Bao, Adv. Mater. 24, 3223 (2012).
[CrossRef]

Tian, G.

Tian, Y.

Y. Enami, C. T. Derose, D. Mathine, C. Loychik, C. Greenlee, R. A. Norwood, T. D. Kim, J. Luo, Y. Tian, A. K.-Y. Jen, and N. Peyghambarian, Nat. Photonics 1, 180 (2007).
[CrossRef]

Tok, J. B. H.

M. Ramuz, B. C. K. Tee, J. B. H. Tok, and Z. Bao, Adv. Mater. 24, 3223 (2012).
[CrossRef]

Varghese, L. T.

Wang, J.

Wang, S.

W.-H. Yeo, Y.-S. Kim, J. Lee, A. Ameen, L. Shi, M. Li, S. Wang, R. Ma, S. H. Jin, Z. Kang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 25, 2773 (2013).
[CrossRef]

H. C. Ko, M. P. Stoykovich, J. Song, V. Malyarchuk, W. M. Choi, C.-J. Yu, J. B. Geddes, J. Xiao, S. Wang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Nature 454, 748 (2008).
[CrossRef]

Won, S. M.

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Wu, J.

D.-H. Kim, Y.-S. Kim, J. Wu, Z. Liu, J. Song, H.-S. Kim, Y. Y. Huang, K.-C. Hwang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 21, 3703 (2009).
[CrossRef]

Xiao, J.

H. C. Ko, M. P. Stoykovich, J. Song, V. Malyarchuk, W. M. Choi, C.-J. Yu, J. B. Geddes, J. Xiao, S. Wang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Nature 454, 748 (2008).
[CrossRef]

Xiaochen, S.

Xiong, Y.

B. Y. Ahn, E. B. Duoss, M. J. Motala, X. Guo, S.-I. Park, Y. Xiong, J. Yoon, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, and J. A. Lewis, Science 323, 1590 (2009).
[CrossRef]

Xu, X.

Xuan, Y.

Yang, H. J.

H. J. Yang, D. Y. Zhao, S. Chuwongin, J. H. Seo, W. Q. Yang, Y. C. Shuai, J. Berggren, M. Hammar, Z. Q. Ma, and W. D. Zhou, Nat. Photonics 6, 615 (2012).

Yang, M. M.

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Yang, W. Q.

H. J. Yang, D. Y. Zhao, S. Chuwongin, J. H. Seo, W. Q. Yang, Y. C. Shuai, J. Berggren, M. Hammar, Z. Q. Ma, and W. D. Zhou, Nat. Photonics 6, 615 (2012).

Yeo, W.-H.

W.-H. Yeo, Y.-S. Kim, J. Lee, A. Ameen, L. Shi, M. Li, S. Wang, R. Ma, S. H. Jin, Z. Kang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 25, 2773 (2013).
[CrossRef]

Yi, Z.

Yoon, J.

B. Y. Ahn, E. B. Duoss, M. J. Motala, X. Guo, S.-I. Park, Y. Xiong, J. Yoon, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, and J. A. Lewis, Science 323, 1590 (2009).
[CrossRef]

Yoon, J. S.

J. S. Yoon, L. F. Li, A. V. Semichaevsky, J. H. Ryu, H. T. Johnson, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Commun. 1318, 343 (2011).

Yu, C.-J.

H. C. Ko, M. P. Stoykovich, J. Song, V. Malyarchuk, W. M. Choi, C.-J. Yu, J. B. Geddes, J. Xiao, S. Wang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Nature 454, 748 (2008).
[CrossRef]

Yu, K. J.

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Zablocki, M. J.

Zakin, M. R.

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

Zhang, Y.

X. Xu, H. Subbaraman, D. Kwong, A. Hosseini, Y. Zhang, and R. T. Chen, IEEE Photon. Technol. Lett. 25, 1601 (2013).
[CrossRef]

Zhao, D. Y.

H. J. Yang, D. Y. Zhao, S. Chuwongin, J. H. Seo, W. Q. Yang, Y. C. Shuai, J. Berggren, M. Hammar, Z. Q. Ma, and W. D. Zhou, Nat. Photonics 6, 615 (2012).

Zhou, W. D.

H. J. Yang, D. Y. Zhao, S. Chuwongin, J. H. Seo, W. Q. Yang, Y. C. Shuai, J. Berggren, M. Hammar, Z. Q. Ma, and W. D. Zhou, Nat. Photonics 6, 615 (2012).

Adv. Mater. (4)

W.-H. Yeo, Y.-S. Kim, J. Lee, A. Ameen, L. Shi, M. Li, S. Wang, R. Ma, S. H. Jin, Z. Kang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 25, 2773 (2013).
[CrossRef]

D.-H. Kim, Y.-S. Kim, J. Wu, Z. Liu, J. Song, H.-S. Kim, Y. Y. Huang, K.-C. Hwang, and J. A. Rogers, Adv. Mater. 21, 3703 (2009).
[CrossRef]

M. Ramuz, B. C. K. Tee, J. B. H. Tok, and Z. Bao, Adv. Mater. 24, 3223 (2012).
[CrossRef]

K. J. Lee, M. J. Motala, M. A. Meitl, W. R. Childs, E. Menard, A. K. Shim, J. A. Rogers, and R. G. Nuzzo, Adv. Mater. 17, 2332 (2005).
[CrossRef]

Electrochem. Solid State Lett. (1)

G. Fischbeck and R. Moosburger, Electrochem. Solid State Lett. 33, 518 (1997).

IEEE Photon. Technol. Lett. (2)

Y. Hida, H. Onose, and S. Imamura, IEEE Photon. Technol. Lett. 5, 782 (1993).
[CrossRef]

X. Xu, H. Subbaraman, D. Kwong, A. Hosseini, Y. Zhang, and R. T. Chen, IEEE Photon. Technol. Lett. 25, 1601 (2013).
[CrossRef]

J. Lightwave Technol. (1)

Nat. Commun. (1)

J. S. Yoon, L. F. Li, A. V. Semichaevsky, J. H. Ryu, H. T. Johnson, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Commun. 1318, 343 (2011).

Nat. Mater. (1)

J. J. Boland, Nat. Mater. 9, 790 (2010).
[CrossRef]

Nat. Photonics (2)

Y. Enami, C. T. Derose, D. Mathine, C. Loychik, C. Greenlee, R. A. Norwood, T. D. Kim, J. Luo, Y. Tian, A. K.-Y. Jen, and N. Peyghambarian, Nat. Photonics 1, 180 (2007).
[CrossRef]

H. J. Yang, D. Y. Zhao, S. Chuwongin, J. H. Seo, W. Q. Yang, Y. C. Shuai, J. Berggren, M. Hammar, Z. Q. Ma, and W. D. Zhou, Nat. Photonics 6, 615 (2012).

Nature (2)

C. H. Lee and J. A. Rogers, Nature 468, 177 (2010).
[CrossRef]

H. C. Ko, M. P. Stoykovich, J. Song, V. Malyarchuk, W. M. Choi, C.-J. Yu, J. B. Geddes, J. Xiao, S. Wang, Y. Huang, and J. A. Rogers, Nature 454, 748 (2008).
[CrossRef]

Opt. Express (2)

Opt. Lett. (2)

Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A. (1)

T. Someya, T. Sekitani, S. Iba, Y. Kato, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A. 101, 9966 (2004).

Sci. Rep. (1)

Y. Chen, H. Li, and M. Li, Sci. Rep. 2, 622 (2012).

Science (3)

S. W. Hwang, H. Tao, D. H. Kim, H. Y. Cheng, J. K. Song, E. Rill, M. A. Brenckle, B. Panilaitis, S. M. Won, Y. S. Kim, Y. M. Song, K. J. Yu, A. Ameen, R. Li, Y. W. Su, M. M. Yang, D. L. Kaplan, M. R. Zakin, M. J. Slepian, Y. G. Huang, F. G. Omenetto, and J. A. Rogers, Science 337, 1640 (2012).
[CrossRef]

T. Kim, J. G. McCall, Y. H. Jung, X. Huang, E. R. Siuda, Y. Li, J. Song, Y. M. Song, H. A. Pao, R.-H. Kim, C. Lu, S. D. Lee, I.-S. Song, G. Shin, R. Al-Hasani, S. Kim, M. P. Tan, Y. Huang, F. G. Omenetto, J. A. Rogers, and M. R. Bruchas, Science 340, 211 (2013).
[CrossRef]

B. Y. Ahn, E. B. Duoss, M. J. Motala, X. Guo, S.-I. Park, Y. Xiong, J. Yoon, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, and J. A. Lewis, Science 323, 1590 (2009).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1.
Fig. 1.

Fabrication process flow of flexible photonic devices. (a) Patterned photonic structure on SOI substrate using conventional e-beam lithography and RIE etch. (b) Patterned silicon nanomembrane structure with releasing hole array using photolithography. (c) Oxide layer partially undercut by using HF. (d) Silicon nanomembrane supported by photoresist pedestals after removal of BOX. (e) Using PDMS stamp to pick up the silicon nanomembrane from the SOI substrate. (f) Transfer of the silicon nanomembrane onto the receiving PET substrate.

Fig. 2.
Fig. 2.

(a) Optical image of arrays of transferred silicon nanomembrane on a flexible PET substrate. (b) Optical microscope image of four silicon nanomembrane on the PET substrate. (c)–(e) Silicon photonic circuits in nanomembrane of various shapes after being transferred onto the PET substrate. (f) Silicon nitride photonic circuit on PET substrate with partially transferred anchor structures.

Fig. 3.
Fig. 3.

(a) Transmission spectrum of transferred silicon micro-ring resonator with grating couplers on a PET substrate. (b) Optical resonance of the transferred silicon ring resonator with a loaded Q of 1.0×105. (c) Transmission spectrum of silicon nitride micro-ring resonator with grating couplers after the transfer process. (d) Comparison of optical resonance of the silicon nitride ring resonator before and after the transfer process.

Metrics