Abstract

This Letter reports on nanomechanical and optical properties of yttrium thin films deposited on an Si (100) wafer. Elemental depth profiling by a secondary ion mass spectrometer revealed absence of formation of yttrium hydride, both on the surface and beneath. The optical properties were investigated by spectroscopic ellipsometry, and the refractive indices extracted after suitable modeling were found to be 2.51 at 546 nm. Hardness and elastic modulus of these films were found to be 7 and 142 GPa, respectively. These studies indicate that yttrium thin films are suitable for x-ray mirrors, photocathode emitters in e-beam lithography, electron microscopes, and free-electron lasers.

© 2014 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. W. A. Clay, J. R. Maldonado, P. Pianetta, J. E. P. Dahl, R. M. K. Carlson, P. R. Schreiner, A. A. Fokin, B. A. Tkachenko, N. A. Melosh, and Z.-X. Shen, Appl. Phys. Lett. 101, 241605 (2012).
    [CrossRef]
  2. M. G. Helander, Science 336, 302 (2012).
    [CrossRef]
  3. A. Lorusso, F. Gontad, A. Perrone, and N. Stankova, Phys. Rev. Spec. Top. Accel. Beams 14, 090401 (2011).
    [CrossRef]
  4. G. Caretto, P. Miglietta, V. Nassisi, A. Perrone, and M. V. Siciliano, Radiat. Eff. Defects Solids 163, 365 (2008).
    [CrossRef]
  5. L. Cultrera, G. Gatti, and A. Lorusso, Radiat. Eff. Defects Solids 165, 609 (2010).
    [CrossRef]
  6. A. Lorusso, V. Fasano, and A. Perrone, J. Vac. Sci. Technol. A 29, 031502 (2011).
    [CrossRef]
  7. B. Sae-Lao and R. Soufli, Appl. Opt. 41, 7309 (2002).
    [CrossRef]
  8. D. J. Santjojo, T. Aizawa, and S. Muraishi, Mater. Trans. 48, 1380 (2007).
    [CrossRef]
  9. A. T. M. van Gogh, D. G. Nagengast, E. S. Kooij, N. J. Koeman, J. H. Rector, R. Griessen, C. F. J. Flipse, and R. J. J. G. A. M. Smeets, Phys. Rev. B 63, 195105 (2001).
    [CrossRef]
  10. J. H. Weaver and C. G. Olson, Phys. Rev. B 15, 590 (1977).
    [CrossRef]
  11. I. I. Papirov, V. V. Vorobev, A. I. Pikalov, and N. I. Moreva, Phys. Stat. Sol. A 65, 141 (1981).
    [CrossRef]
  12. J. N. Huiberts, R. Griessen, J. H. Rector, R. J. Wijngaarden, J. P. Dekker, D. G. de Groot, and N. J. Koeman, Nature 380, 231 (1996).
    [CrossRef]
  13. D. Setoyama, M. Ito, J. Matsunaga, H. Mura, M. Uno, and S. Yamanaka, J. Alloys Compd. 394, 207 (2005).
    [CrossRef]
  14. M. Dornheim, A. Pundt, R. Kirchheim, A. J. v. d. Molen, E. S. Kooij, J. Kerssemakers, and R. Griessen, J. Appl. Phys. 93, 8958 (2003).
    [CrossRef]
  15. W. C. Oliver and G. M. Pharr, J. Mater. Res. 19, 3 (2004).
    [CrossRef]
  16. A. Wucher, Appl. Surf. Sci. 252, 6482 (2006).
    [CrossRef]
  17. A. R. Wildes, R. C. C. Ward, M. R. Wells, and B. Hjorvasson, J. Alloys Compd. 242, 49 (1996).
    [CrossRef]
  18. S. Jung, H. Choi, Y. Ju, M. Chang, M. Jo, J. Lee, J. Yoon, C. Lee, and H. Ywang, Appl. Phys. Lett. 95, 242112 (2009).
    [CrossRef]
  19. J. F. Ziegler, M. D. Ziegler, and J. P. Biersack, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 268, 1818 (2010).
    [CrossRef]
  20. F. Jose, R. Ramaseshan, S. Dash, S. Tripura Sundari, D. Jain, V. Ganesan, P. Chandramohan, M. P. Srinivasan, A. K. Tyagi, and B. Raj, Mater. Chem. Phys. 130, 1033 (2011).
    [CrossRef]
  21. S. J. van der Molen, J. W. J. Kerssemakers, J. H. Rector, N. J. Koeman, B. Dam, and R. Griessen, J. Appl. Phys. 86, 6107 (1999).
    [CrossRef]
  22. D. F. Bezuidenhout and R. Pretorius, Thin Solid Films 139, 121 (1986).
    [CrossRef]
  23. H. Bei, E. P. George, J. L. Hay, and G. M. Pharr, Phys. Rev. Lett. 95, 045501 (2005).
    [CrossRef]
  24. J. A. Thornton, J. Vac. Sci. Technol. 11, 666 (1974).
    [CrossRef]
  25. E. O. Hall, Proc. Phys. Soc. B 64, 747 (1951).
    [CrossRef]
  26. N. J. Petch, J. Iron Steel Inst. 174, 25 (1953).

2012 (2)

W. A. Clay, J. R. Maldonado, P. Pianetta, J. E. P. Dahl, R. M. K. Carlson, P. R. Schreiner, A. A. Fokin, B. A. Tkachenko, N. A. Melosh, and Z.-X. Shen, Appl. Phys. Lett. 101, 241605 (2012).
[CrossRef]

M. G. Helander, Science 336, 302 (2012).
[CrossRef]

2011 (3)

A. Lorusso, F. Gontad, A. Perrone, and N. Stankova, Phys. Rev. Spec. Top. Accel. Beams 14, 090401 (2011).
[CrossRef]

A. Lorusso, V. Fasano, and A. Perrone, J. Vac. Sci. Technol. A 29, 031502 (2011).
[CrossRef]

F. Jose, R. Ramaseshan, S. Dash, S. Tripura Sundari, D. Jain, V. Ganesan, P. Chandramohan, M. P. Srinivasan, A. K. Tyagi, and B. Raj, Mater. Chem. Phys. 130, 1033 (2011).
[CrossRef]

2010 (2)

J. F. Ziegler, M. D. Ziegler, and J. P. Biersack, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 268, 1818 (2010).
[CrossRef]

L. Cultrera, G. Gatti, and A. Lorusso, Radiat. Eff. Defects Solids 165, 609 (2010).
[CrossRef]

2009 (1)

S. Jung, H. Choi, Y. Ju, M. Chang, M. Jo, J. Lee, J. Yoon, C. Lee, and H. Ywang, Appl. Phys. Lett. 95, 242112 (2009).
[CrossRef]

2008 (1)

G. Caretto, P. Miglietta, V. Nassisi, A. Perrone, and M. V. Siciliano, Radiat. Eff. Defects Solids 163, 365 (2008).
[CrossRef]

2007 (1)

D. J. Santjojo, T. Aizawa, and S. Muraishi, Mater. Trans. 48, 1380 (2007).
[CrossRef]

2006 (1)

A. Wucher, Appl. Surf. Sci. 252, 6482 (2006).
[CrossRef]

2005 (2)

D. Setoyama, M. Ito, J. Matsunaga, H. Mura, M. Uno, and S. Yamanaka, J. Alloys Compd. 394, 207 (2005).
[CrossRef]

H. Bei, E. P. George, J. L. Hay, and G. M. Pharr, Phys. Rev. Lett. 95, 045501 (2005).
[CrossRef]

2004 (1)

W. C. Oliver and G. M. Pharr, J. Mater. Res. 19, 3 (2004).
[CrossRef]

2003 (1)

M. Dornheim, A. Pundt, R. Kirchheim, A. J. v. d. Molen, E. S. Kooij, J. Kerssemakers, and R. Griessen, J. Appl. Phys. 93, 8958 (2003).
[CrossRef]

2002 (1)

2001 (1)

A. T. M. van Gogh, D. G. Nagengast, E. S. Kooij, N. J. Koeman, J. H. Rector, R. Griessen, C. F. J. Flipse, and R. J. J. G. A. M. Smeets, Phys. Rev. B 63, 195105 (2001).
[CrossRef]

1999 (1)

S. J. van der Molen, J. W. J. Kerssemakers, J. H. Rector, N. J. Koeman, B. Dam, and R. Griessen, J. Appl. Phys. 86, 6107 (1999).
[CrossRef]

1996 (2)

J. N. Huiberts, R. Griessen, J. H. Rector, R. J. Wijngaarden, J. P. Dekker, D. G. de Groot, and N. J. Koeman, Nature 380, 231 (1996).
[CrossRef]

A. R. Wildes, R. C. C. Ward, M. R. Wells, and B. Hjorvasson, J. Alloys Compd. 242, 49 (1996).
[CrossRef]

1986 (1)

D. F. Bezuidenhout and R. Pretorius, Thin Solid Films 139, 121 (1986).
[CrossRef]

1981 (1)

I. I. Papirov, V. V. Vorobev, A. I. Pikalov, and N. I. Moreva, Phys. Stat. Sol. A 65, 141 (1981).
[CrossRef]

1977 (1)

J. H. Weaver and C. G. Olson, Phys. Rev. B 15, 590 (1977).
[CrossRef]

1974 (1)

J. A. Thornton, J. Vac. Sci. Technol. 11, 666 (1974).
[CrossRef]

1953 (1)

N. J. Petch, J. Iron Steel Inst. 174, 25 (1953).

1951 (1)

E. O. Hall, Proc. Phys. Soc. B 64, 747 (1951).
[CrossRef]

Aizawa, T.

D. J. Santjojo, T. Aizawa, and S. Muraishi, Mater. Trans. 48, 1380 (2007).
[CrossRef]

Bei, H.

H. Bei, E. P. George, J. L. Hay, and G. M. Pharr, Phys. Rev. Lett. 95, 045501 (2005).
[CrossRef]

Bezuidenhout, D. F.

D. F. Bezuidenhout and R. Pretorius, Thin Solid Films 139, 121 (1986).
[CrossRef]

Biersack, J. P.

J. F. Ziegler, M. D. Ziegler, and J. P. Biersack, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 268, 1818 (2010).
[CrossRef]

Caretto, G.

G. Caretto, P. Miglietta, V. Nassisi, A. Perrone, and M. V. Siciliano, Radiat. Eff. Defects Solids 163, 365 (2008).
[CrossRef]

Carlson, R. M. K.

W. A. Clay, J. R. Maldonado, P. Pianetta, J. E. P. Dahl, R. M. K. Carlson, P. R. Schreiner, A. A. Fokin, B. A. Tkachenko, N. A. Melosh, and Z.-X. Shen, Appl. Phys. Lett. 101, 241605 (2012).
[CrossRef]

Chandramohan, P.

F. Jose, R. Ramaseshan, S. Dash, S. Tripura Sundari, D. Jain, V. Ganesan, P. Chandramohan, M. P. Srinivasan, A. K. Tyagi, and B. Raj, Mater. Chem. Phys. 130, 1033 (2011).
[CrossRef]

Chang, M.

S. Jung, H. Choi, Y. Ju, M. Chang, M. Jo, J. Lee, J. Yoon, C. Lee, and H. Ywang, Appl. Phys. Lett. 95, 242112 (2009).
[CrossRef]

Choi, H.

S. Jung, H. Choi, Y. Ju, M. Chang, M. Jo, J. Lee, J. Yoon, C. Lee, and H. Ywang, Appl. Phys. Lett. 95, 242112 (2009).
[CrossRef]

Clay, W. A.

W. A. Clay, J. R. Maldonado, P. Pianetta, J. E. P. Dahl, R. M. K. Carlson, P. R. Schreiner, A. A. Fokin, B. A. Tkachenko, N. A. Melosh, and Z.-X. Shen, Appl. Phys. Lett. 101, 241605 (2012).
[CrossRef]

Cultrera, L.

L. Cultrera, G. Gatti, and A. Lorusso, Radiat. Eff. Defects Solids 165, 609 (2010).
[CrossRef]

Dahl, J. E. P.

W. A. Clay, J. R. Maldonado, P. Pianetta, J. E. P. Dahl, R. M. K. Carlson, P. R. Schreiner, A. A. Fokin, B. A. Tkachenko, N. A. Melosh, and Z.-X. Shen, Appl. Phys. Lett. 101, 241605 (2012).
[CrossRef]

Dam, B.

S. J. van der Molen, J. W. J. Kerssemakers, J. H. Rector, N. J. Koeman, B. Dam, and R. Griessen, J. Appl. Phys. 86, 6107 (1999).
[CrossRef]

Dash, S.

F. Jose, R. Ramaseshan, S. Dash, S. Tripura Sundari, D. Jain, V. Ganesan, P. Chandramohan, M. P. Srinivasan, A. K. Tyagi, and B. Raj, Mater. Chem. Phys. 130, 1033 (2011).
[CrossRef]

de Groot, D. G.

J. N. Huiberts, R. Griessen, J. H. Rector, R. J. Wijngaarden, J. P. Dekker, D. G. de Groot, and N. J. Koeman, Nature 380, 231 (1996).
[CrossRef]

Dekker, J. P.

J. N. Huiberts, R. Griessen, J. H. Rector, R. J. Wijngaarden, J. P. Dekker, D. G. de Groot, and N. J. Koeman, Nature 380, 231 (1996).
[CrossRef]

Dornheim, M.

M. Dornheim, A. Pundt, R. Kirchheim, A. J. v. d. Molen, E. S. Kooij, J. Kerssemakers, and R. Griessen, J. Appl. Phys. 93, 8958 (2003).
[CrossRef]

Fasano, V.

A. Lorusso, V. Fasano, and A. Perrone, J. Vac. Sci. Technol. A 29, 031502 (2011).
[CrossRef]

Flipse, C. F. J.

A. T. M. van Gogh, D. G. Nagengast, E. S. Kooij, N. J. Koeman, J. H. Rector, R. Griessen, C. F. J. Flipse, and R. J. J. G. A. M. Smeets, Phys. Rev. B 63, 195105 (2001).
[CrossRef]

Fokin, A. A.

W. A. Clay, J. R. Maldonado, P. Pianetta, J. E. P. Dahl, R. M. K. Carlson, P. R. Schreiner, A. A. Fokin, B. A. Tkachenko, N. A. Melosh, and Z.-X. Shen, Appl. Phys. Lett. 101, 241605 (2012).
[CrossRef]

Ganesan, V.

F. Jose, R. Ramaseshan, S. Dash, S. Tripura Sundari, D. Jain, V. Ganesan, P. Chandramohan, M. P. Srinivasan, A. K. Tyagi, and B. Raj, Mater. Chem. Phys. 130, 1033 (2011).
[CrossRef]

Gatti, G.

L. Cultrera, G. Gatti, and A. Lorusso, Radiat. Eff. Defects Solids 165, 609 (2010).
[CrossRef]

George, E. P.

H. Bei, E. P. George, J. L. Hay, and G. M. Pharr, Phys. Rev. Lett. 95, 045501 (2005).
[CrossRef]

Gontad, F.

A. Lorusso, F. Gontad, A. Perrone, and N. Stankova, Phys. Rev. Spec. Top. Accel. Beams 14, 090401 (2011).
[CrossRef]

Griessen, R.

M. Dornheim, A. Pundt, R. Kirchheim, A. J. v. d. Molen, E. S. Kooij, J. Kerssemakers, and R. Griessen, J. Appl. Phys. 93, 8958 (2003).
[CrossRef]

A. T. M. van Gogh, D. G. Nagengast, E. S. Kooij, N. J. Koeman, J. H. Rector, R. Griessen, C. F. J. Flipse, and R. J. J. G. A. M. Smeets, Phys. Rev. B 63, 195105 (2001).
[CrossRef]

S. J. van der Molen, J. W. J. Kerssemakers, J. H. Rector, N. J. Koeman, B. Dam, and R. Griessen, J. Appl. Phys. 86, 6107 (1999).
[CrossRef]

J. N. Huiberts, R. Griessen, J. H. Rector, R. J. Wijngaarden, J. P. Dekker, D. G. de Groot, and N. J. Koeman, Nature 380, 231 (1996).
[CrossRef]

Hall, E. O.

E. O. Hall, Proc. Phys. Soc. B 64, 747 (1951).
[CrossRef]

Hay, J. L.

H. Bei, E. P. George, J. L. Hay, and G. M. Pharr, Phys. Rev. Lett. 95, 045501 (2005).
[CrossRef]

Helander, M. G.

M. G. Helander, Science 336, 302 (2012).
[CrossRef]

Hjorvasson, B.

A. R. Wildes, R. C. C. Ward, M. R. Wells, and B. Hjorvasson, J. Alloys Compd. 242, 49 (1996).
[CrossRef]

Huiberts, J. N.

J. N. Huiberts, R. Griessen, J. H. Rector, R. J. Wijngaarden, J. P. Dekker, D. G. de Groot, and N. J. Koeman, Nature 380, 231 (1996).
[CrossRef]

Ito, M.

D. Setoyama, M. Ito, J. Matsunaga, H. Mura, M. Uno, and S. Yamanaka, J. Alloys Compd. 394, 207 (2005).
[CrossRef]

Jain, D.

F. Jose, R. Ramaseshan, S. Dash, S. Tripura Sundari, D. Jain, V. Ganesan, P. Chandramohan, M. P. Srinivasan, A. K. Tyagi, and B. Raj, Mater. Chem. Phys. 130, 1033 (2011).
[CrossRef]

Jo, M.

S. Jung, H. Choi, Y. Ju, M. Chang, M. Jo, J. Lee, J. Yoon, C. Lee, and H. Ywang, Appl. Phys. Lett. 95, 242112 (2009).
[CrossRef]

Jose, F.

F. Jose, R. Ramaseshan, S. Dash, S. Tripura Sundari, D. Jain, V. Ganesan, P. Chandramohan, M. P. Srinivasan, A. K. Tyagi, and B. Raj, Mater. Chem. Phys. 130, 1033 (2011).
[CrossRef]

Ju, Y.

S. Jung, H. Choi, Y. Ju, M. Chang, M. Jo, J. Lee, J. Yoon, C. Lee, and H. Ywang, Appl. Phys. Lett. 95, 242112 (2009).
[CrossRef]

Jung, S.

S. Jung, H. Choi, Y. Ju, M. Chang, M. Jo, J. Lee, J. Yoon, C. Lee, and H. Ywang, Appl. Phys. Lett. 95, 242112 (2009).
[CrossRef]

Kerssemakers, J.

M. Dornheim, A. Pundt, R. Kirchheim, A. J. v. d. Molen, E. S. Kooij, J. Kerssemakers, and R. Griessen, J. Appl. Phys. 93, 8958 (2003).
[CrossRef]

Kerssemakers, J. W. J.

S. J. van der Molen, J. W. J. Kerssemakers, J. H. Rector, N. J. Koeman, B. Dam, and R. Griessen, J. Appl. Phys. 86, 6107 (1999).
[CrossRef]

Kirchheim, R.

M. Dornheim, A. Pundt, R. Kirchheim, A. J. v. d. Molen, E. S. Kooij, J. Kerssemakers, and R. Griessen, J. Appl. Phys. 93, 8958 (2003).
[CrossRef]

Koeman, N. J.

A. T. M. van Gogh, D. G. Nagengast, E. S. Kooij, N. J. Koeman, J. H. Rector, R. Griessen, C. F. J. Flipse, and R. J. J. G. A. M. Smeets, Phys. Rev. B 63, 195105 (2001).
[CrossRef]

S. J. van der Molen, J. W. J. Kerssemakers, J. H. Rector, N. J. Koeman, B. Dam, and R. Griessen, J. Appl. Phys. 86, 6107 (1999).
[CrossRef]

J. N. Huiberts, R. Griessen, J. H. Rector, R. J. Wijngaarden, J. P. Dekker, D. G. de Groot, and N. J. Koeman, Nature 380, 231 (1996).
[CrossRef]

Kooij, E. S.

M. Dornheim, A. Pundt, R. Kirchheim, A. J. v. d. Molen, E. S. Kooij, J. Kerssemakers, and R. Griessen, J. Appl. Phys. 93, 8958 (2003).
[CrossRef]

A. T. M. van Gogh, D. G. Nagengast, E. S. Kooij, N. J. Koeman, J. H. Rector, R. Griessen, C. F. J. Flipse, and R. J. J. G. A. M. Smeets, Phys. Rev. B 63, 195105 (2001).
[CrossRef]

Lee, C.

S. Jung, H. Choi, Y. Ju, M. Chang, M. Jo, J. Lee, J. Yoon, C. Lee, and H. Ywang, Appl. Phys. Lett. 95, 242112 (2009).
[CrossRef]

Lee, J.

S. Jung, H. Choi, Y. Ju, M. Chang, M. Jo, J. Lee, J. Yoon, C. Lee, and H. Ywang, Appl. Phys. Lett. 95, 242112 (2009).
[CrossRef]

Lorusso, A.

A. Lorusso, V. Fasano, and A. Perrone, J. Vac. Sci. Technol. A 29, 031502 (2011).
[CrossRef]

A. Lorusso, F. Gontad, A. Perrone, and N. Stankova, Phys. Rev. Spec. Top. Accel. Beams 14, 090401 (2011).
[CrossRef]

L. Cultrera, G. Gatti, and A. Lorusso, Radiat. Eff. Defects Solids 165, 609 (2010).
[CrossRef]

Maldonado, J. R.

W. A. Clay, J. R. Maldonado, P. Pianetta, J. E. P. Dahl, R. M. K. Carlson, P. R. Schreiner, A. A. Fokin, B. A. Tkachenko, N. A. Melosh, and Z.-X. Shen, Appl. Phys. Lett. 101, 241605 (2012).
[CrossRef]

Matsunaga, J.

D. Setoyama, M. Ito, J. Matsunaga, H. Mura, M. Uno, and S. Yamanaka, J. Alloys Compd. 394, 207 (2005).
[CrossRef]

Melosh, N. A.

W. A. Clay, J. R. Maldonado, P. Pianetta, J. E. P. Dahl, R. M. K. Carlson, P. R. Schreiner, A. A. Fokin, B. A. Tkachenko, N. A. Melosh, and Z.-X. Shen, Appl. Phys. Lett. 101, 241605 (2012).
[CrossRef]

Miglietta, P.

G. Caretto, P. Miglietta, V. Nassisi, A. Perrone, and M. V. Siciliano, Radiat. Eff. Defects Solids 163, 365 (2008).
[CrossRef]

Molen, A. J. v. d.

M. Dornheim, A. Pundt, R. Kirchheim, A. J. v. d. Molen, E. S. Kooij, J. Kerssemakers, and R. Griessen, J. Appl. Phys. 93, 8958 (2003).
[CrossRef]

Moreva, N. I.

I. I. Papirov, V. V. Vorobev, A. I. Pikalov, and N. I. Moreva, Phys. Stat. Sol. A 65, 141 (1981).
[CrossRef]

Mura, H.

D. Setoyama, M. Ito, J. Matsunaga, H. Mura, M. Uno, and S. Yamanaka, J. Alloys Compd. 394, 207 (2005).
[CrossRef]

Muraishi, S.

D. J. Santjojo, T. Aizawa, and S. Muraishi, Mater. Trans. 48, 1380 (2007).
[CrossRef]

Nagengast, D. G.

A. T. M. van Gogh, D. G. Nagengast, E. S. Kooij, N. J. Koeman, J. H. Rector, R. Griessen, C. F. J. Flipse, and R. J. J. G. A. M. Smeets, Phys. Rev. B 63, 195105 (2001).
[CrossRef]

Nassisi, V.

G. Caretto, P. Miglietta, V. Nassisi, A. Perrone, and M. V. Siciliano, Radiat. Eff. Defects Solids 163, 365 (2008).
[CrossRef]

Oliver, W. C.

W. C. Oliver and G. M. Pharr, J. Mater. Res. 19, 3 (2004).
[CrossRef]

Olson, C. G.

J. H. Weaver and C. G. Olson, Phys. Rev. B 15, 590 (1977).
[CrossRef]

Papirov, I. I.

I. I. Papirov, V. V. Vorobev, A. I. Pikalov, and N. I. Moreva, Phys. Stat. Sol. A 65, 141 (1981).
[CrossRef]

Perrone, A.

A. Lorusso, V. Fasano, and A. Perrone, J. Vac. Sci. Technol. A 29, 031502 (2011).
[CrossRef]

A. Lorusso, F. Gontad, A. Perrone, and N. Stankova, Phys. Rev. Spec. Top. Accel. Beams 14, 090401 (2011).
[CrossRef]

G. Caretto, P. Miglietta, V. Nassisi, A. Perrone, and M. V. Siciliano, Radiat. Eff. Defects Solids 163, 365 (2008).
[CrossRef]

Petch, N. J.

N. J. Petch, J. Iron Steel Inst. 174, 25 (1953).

Pharr, G. M.

H. Bei, E. P. George, J. L. Hay, and G. M. Pharr, Phys. Rev. Lett. 95, 045501 (2005).
[CrossRef]

W. C. Oliver and G. M. Pharr, J. Mater. Res. 19, 3 (2004).
[CrossRef]

Pianetta, P.

W. A. Clay, J. R. Maldonado, P. Pianetta, J. E. P. Dahl, R. M. K. Carlson, P. R. Schreiner, A. A. Fokin, B. A. Tkachenko, N. A. Melosh, and Z.-X. Shen, Appl. Phys. Lett. 101, 241605 (2012).
[CrossRef]

Pikalov, A. I.

I. I. Papirov, V. V. Vorobev, A. I. Pikalov, and N. I. Moreva, Phys. Stat. Sol. A 65, 141 (1981).
[CrossRef]

Pretorius, R.

D. F. Bezuidenhout and R. Pretorius, Thin Solid Films 139, 121 (1986).
[CrossRef]

Pundt, A.

M. Dornheim, A. Pundt, R. Kirchheim, A. J. v. d. Molen, E. S. Kooij, J. Kerssemakers, and R. Griessen, J. Appl. Phys. 93, 8958 (2003).
[CrossRef]

Raj, B.

F. Jose, R. Ramaseshan, S. Dash, S. Tripura Sundari, D. Jain, V. Ganesan, P. Chandramohan, M. P. Srinivasan, A. K. Tyagi, and B. Raj, Mater. Chem. Phys. 130, 1033 (2011).
[CrossRef]

Ramaseshan, R.

F. Jose, R. Ramaseshan, S. Dash, S. Tripura Sundari, D. Jain, V. Ganesan, P. Chandramohan, M. P. Srinivasan, A. K. Tyagi, and B. Raj, Mater. Chem. Phys. 130, 1033 (2011).
[CrossRef]

Rector, J. H.

A. T. M. van Gogh, D. G. Nagengast, E. S. Kooij, N. J. Koeman, J. H. Rector, R. Griessen, C. F. J. Flipse, and R. J. J. G. A. M. Smeets, Phys. Rev. B 63, 195105 (2001).
[CrossRef]

S. J. van der Molen, J. W. J. Kerssemakers, J. H. Rector, N. J. Koeman, B. Dam, and R. Griessen, J. Appl. Phys. 86, 6107 (1999).
[CrossRef]

J. N. Huiberts, R. Griessen, J. H. Rector, R. J. Wijngaarden, J. P. Dekker, D. G. de Groot, and N. J. Koeman, Nature 380, 231 (1996).
[CrossRef]

Sae-Lao, B.

Santjojo, D. J.

D. J. Santjojo, T. Aizawa, and S. Muraishi, Mater. Trans. 48, 1380 (2007).
[CrossRef]

Schreiner, P. R.

W. A. Clay, J. R. Maldonado, P. Pianetta, J. E. P. Dahl, R. M. K. Carlson, P. R. Schreiner, A. A. Fokin, B. A. Tkachenko, N. A. Melosh, and Z.-X. Shen, Appl. Phys. Lett. 101, 241605 (2012).
[CrossRef]

Setoyama, D.

D. Setoyama, M. Ito, J. Matsunaga, H. Mura, M. Uno, and S. Yamanaka, J. Alloys Compd. 394, 207 (2005).
[CrossRef]

Shen, Z.-X.

W. A. Clay, J. R. Maldonado, P. Pianetta, J. E. P. Dahl, R. M. K. Carlson, P. R. Schreiner, A. A. Fokin, B. A. Tkachenko, N. A. Melosh, and Z.-X. Shen, Appl. Phys. Lett. 101, 241605 (2012).
[CrossRef]

Siciliano, M. V.

G. Caretto, P. Miglietta, V. Nassisi, A. Perrone, and M. V. Siciliano, Radiat. Eff. Defects Solids 163, 365 (2008).
[CrossRef]

Smeets, R. J. J. G. A. M.

A. T. M. van Gogh, D. G. Nagengast, E. S. Kooij, N. J. Koeman, J. H. Rector, R. Griessen, C. F. J. Flipse, and R. J. J. G. A. M. Smeets, Phys. Rev. B 63, 195105 (2001).
[CrossRef]

Soufli, R.

Srinivasan, M. P.

F. Jose, R. Ramaseshan, S. Dash, S. Tripura Sundari, D. Jain, V. Ganesan, P. Chandramohan, M. P. Srinivasan, A. K. Tyagi, and B. Raj, Mater. Chem. Phys. 130, 1033 (2011).
[CrossRef]

Stankova, N.

A. Lorusso, F. Gontad, A. Perrone, and N. Stankova, Phys. Rev. Spec. Top. Accel. Beams 14, 090401 (2011).
[CrossRef]

Thornton, J. A.

J. A. Thornton, J. Vac. Sci. Technol. 11, 666 (1974).
[CrossRef]

Tkachenko, B. A.

W. A. Clay, J. R. Maldonado, P. Pianetta, J. E. P. Dahl, R. M. K. Carlson, P. R. Schreiner, A. A. Fokin, B. A. Tkachenko, N. A. Melosh, and Z.-X. Shen, Appl. Phys. Lett. 101, 241605 (2012).
[CrossRef]

Tripura Sundari, S.

F. Jose, R. Ramaseshan, S. Dash, S. Tripura Sundari, D. Jain, V. Ganesan, P. Chandramohan, M. P. Srinivasan, A. K. Tyagi, and B. Raj, Mater. Chem. Phys. 130, 1033 (2011).
[CrossRef]

Tyagi, A. K.

F. Jose, R. Ramaseshan, S. Dash, S. Tripura Sundari, D. Jain, V. Ganesan, P. Chandramohan, M. P. Srinivasan, A. K. Tyagi, and B. Raj, Mater. Chem. Phys. 130, 1033 (2011).
[CrossRef]

Uno, M.

D. Setoyama, M. Ito, J. Matsunaga, H. Mura, M. Uno, and S. Yamanaka, J. Alloys Compd. 394, 207 (2005).
[CrossRef]

van der Molen, S. J.

S. J. van der Molen, J. W. J. Kerssemakers, J. H. Rector, N. J. Koeman, B. Dam, and R. Griessen, J. Appl. Phys. 86, 6107 (1999).
[CrossRef]

van Gogh, A. T. M.

A. T. M. van Gogh, D. G. Nagengast, E. S. Kooij, N. J. Koeman, J. H. Rector, R. Griessen, C. F. J. Flipse, and R. J. J. G. A. M. Smeets, Phys. Rev. B 63, 195105 (2001).
[CrossRef]

Vorobev, V. V.

I. I. Papirov, V. V. Vorobev, A. I. Pikalov, and N. I. Moreva, Phys. Stat. Sol. A 65, 141 (1981).
[CrossRef]

Ward, R. C. C.

A. R. Wildes, R. C. C. Ward, M. R. Wells, and B. Hjorvasson, J. Alloys Compd. 242, 49 (1996).
[CrossRef]

Weaver, J. H.

J. H. Weaver and C. G. Olson, Phys. Rev. B 15, 590 (1977).
[CrossRef]

Wells, M. R.

A. R. Wildes, R. C. C. Ward, M. R. Wells, and B. Hjorvasson, J. Alloys Compd. 242, 49 (1996).
[CrossRef]

Wijngaarden, R. J.

J. N. Huiberts, R. Griessen, J. H. Rector, R. J. Wijngaarden, J. P. Dekker, D. G. de Groot, and N. J. Koeman, Nature 380, 231 (1996).
[CrossRef]

Wildes, A. R.

A. R. Wildes, R. C. C. Ward, M. R. Wells, and B. Hjorvasson, J. Alloys Compd. 242, 49 (1996).
[CrossRef]

Wucher, A.

A. Wucher, Appl. Surf. Sci. 252, 6482 (2006).
[CrossRef]

Yamanaka, S.

D. Setoyama, M. Ito, J. Matsunaga, H. Mura, M. Uno, and S. Yamanaka, J. Alloys Compd. 394, 207 (2005).
[CrossRef]

Yoon, J.

S. Jung, H. Choi, Y. Ju, M. Chang, M. Jo, J. Lee, J. Yoon, C. Lee, and H. Ywang, Appl. Phys. Lett. 95, 242112 (2009).
[CrossRef]

Ywang, H.

S. Jung, H. Choi, Y. Ju, M. Chang, M. Jo, J. Lee, J. Yoon, C. Lee, and H. Ywang, Appl. Phys. Lett. 95, 242112 (2009).
[CrossRef]

Ziegler, J. F.

J. F. Ziegler, M. D. Ziegler, and J. P. Biersack, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 268, 1818 (2010).
[CrossRef]

Ziegler, M. D.

J. F. Ziegler, M. D. Ziegler, and J. P. Biersack, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 268, 1818 (2010).
[CrossRef]

Appl. Opt. (1)

Appl. Phys. Lett. (2)

W. A. Clay, J. R. Maldonado, P. Pianetta, J. E. P. Dahl, R. M. K. Carlson, P. R. Schreiner, A. A. Fokin, B. A. Tkachenko, N. A. Melosh, and Z.-X. Shen, Appl. Phys. Lett. 101, 241605 (2012).
[CrossRef]

S. Jung, H. Choi, Y. Ju, M. Chang, M. Jo, J. Lee, J. Yoon, C. Lee, and H. Ywang, Appl. Phys. Lett. 95, 242112 (2009).
[CrossRef]

Appl. Surf. Sci. (1)

A. Wucher, Appl. Surf. Sci. 252, 6482 (2006).
[CrossRef]

J. Alloys Compd. (2)

A. R. Wildes, R. C. C. Ward, M. R. Wells, and B. Hjorvasson, J. Alloys Compd. 242, 49 (1996).
[CrossRef]

D. Setoyama, M. Ito, J. Matsunaga, H. Mura, M. Uno, and S. Yamanaka, J. Alloys Compd. 394, 207 (2005).
[CrossRef]

J. Appl. Phys. (2)

M. Dornheim, A. Pundt, R. Kirchheim, A. J. v. d. Molen, E. S. Kooij, J. Kerssemakers, and R. Griessen, J. Appl. Phys. 93, 8958 (2003).
[CrossRef]

S. J. van der Molen, J. W. J. Kerssemakers, J. H. Rector, N. J. Koeman, B. Dam, and R. Griessen, J. Appl. Phys. 86, 6107 (1999).
[CrossRef]

J. Iron Steel Inst. (1)

N. J. Petch, J. Iron Steel Inst. 174, 25 (1953).

J. Mater. Res. (1)

W. C. Oliver and G. M. Pharr, J. Mater. Res. 19, 3 (2004).
[CrossRef]

J. Vac. Sci. Technol. (1)

J. A. Thornton, J. Vac. Sci. Technol. 11, 666 (1974).
[CrossRef]

J. Vac. Sci. Technol. A (1)

A. Lorusso, V. Fasano, and A. Perrone, J. Vac. Sci. Technol. A 29, 031502 (2011).
[CrossRef]

Mater. Chem. Phys. (1)

F. Jose, R. Ramaseshan, S. Dash, S. Tripura Sundari, D. Jain, V. Ganesan, P. Chandramohan, M. P. Srinivasan, A. K. Tyagi, and B. Raj, Mater. Chem. Phys. 130, 1033 (2011).
[CrossRef]

Mater. Trans. (1)

D. J. Santjojo, T. Aizawa, and S. Muraishi, Mater. Trans. 48, 1380 (2007).
[CrossRef]

Nature (1)

J. N. Huiberts, R. Griessen, J. H. Rector, R. J. Wijngaarden, J. P. Dekker, D. G. de Groot, and N. J. Koeman, Nature 380, 231 (1996).
[CrossRef]

Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B (1)

J. F. Ziegler, M. D. Ziegler, and J. P. Biersack, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 268, 1818 (2010).
[CrossRef]

Phys. Rev. B (2)

A. T. M. van Gogh, D. G. Nagengast, E. S. Kooij, N. J. Koeman, J. H. Rector, R. Griessen, C. F. J. Flipse, and R. J. J. G. A. M. Smeets, Phys. Rev. B 63, 195105 (2001).
[CrossRef]

J. H. Weaver and C. G. Olson, Phys. Rev. B 15, 590 (1977).
[CrossRef]

Phys. Rev. Lett. (1)

H. Bei, E. P. George, J. L. Hay, and G. M. Pharr, Phys. Rev. Lett. 95, 045501 (2005).
[CrossRef]

Phys. Rev. Spec. Top. Accel. Beams (1)

A. Lorusso, F. Gontad, A. Perrone, and N. Stankova, Phys. Rev. Spec. Top. Accel. Beams 14, 090401 (2011).
[CrossRef]

Phys. Stat. Sol. A (1)

I. I. Papirov, V. V. Vorobev, A. I. Pikalov, and N. I. Moreva, Phys. Stat. Sol. A 65, 141 (1981).
[CrossRef]

Proc. Phys. Soc. B (1)

E. O. Hall, Proc. Phys. Soc. B 64, 747 (1951).
[CrossRef]

Radiat. Eff. Defects Solids (2)

G. Caretto, P. Miglietta, V. Nassisi, A. Perrone, and M. V. Siciliano, Radiat. Eff. Defects Solids 163, 365 (2008).
[CrossRef]

L. Cultrera, G. Gatti, and A. Lorusso, Radiat. Eff. Defects Solids 165, 609 (2010).
[CrossRef]

Science (1)

M. G. Helander, Science 336, 302 (2012).
[CrossRef]

Thin Solid Films (1)

D. F. Bezuidenhout and R. Pretorius, Thin Solid Films 139, 121 (1986).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (7)

Fig. 1.
Fig. 1.

GIXRD patterns of yttrium thin films deposited at different TSD.

Fig. 2.
Fig. 2.

SIMS depth profile of yttrium thin film on glass substrate (film thickness 340 nm ).

Fig. 3.
Fig. 3.

SRIM simulation of Y and O mixing by 5 keV Cs ions in SIMS.

Fig. 4.
Fig. 4.

Ellipsometric parameters along with the fit results.

Fig. 5.
Fig. 5.

n and k values of yttrium and yttria [22] thin film for the energy range 1.4–5 eV.

Fig. 6.
Fig. 6.

Typical indentation profile of yttrium film with TSD 10.5 cm.

Fig. 7.
Fig. 7.

Nanomechanical properties of yttrium thin films deposited at different TSD.

Metrics