Abstract

A novel buried photomixer for integrated photonic terahertz devices is proposed. The active region of the mesa-structure InGaAs photomixer is buried in an InP layer grown by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) to improve heat dissipation, which is an important problem for terahertz photomixers. The proposed photomixer shows good thermal properties compared to a conventional planar-type photomixer. The MOCVD regrowth process indicates the possibility for THz photomixers to be integrated monolithically with conventional photonic devices.

© 2013 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. B. Ferguson and X.-C. Zhang, Nat. Mater. 1, 26 (2002).
  2. M. Y. Glyavin, N. S. Ginzburg, A. L. Goldenberg, G. G. Denisov, A. G. Luchinin, V. N. Manuilov, V. E. Zapevalov, and I. V. Zotova, Terahertz Sci. Technol. 5, 67 (2012).
  3. A. Dobriu, M. Yamashita, Y. N. Ohshima, Y. Morita, C. Otani, and K. Kawase, Appl. Opt. 43, 5638 (2004).
  4. B. A. Knyazev, G. N. Kulipanov, and N. A. Vinokurov, Meas. Sci. Technol. 21, 054017 (2010).
  5. E. R. Brown, K. A. McIntosh, K. B. Nichols, and C. L. Dennis, Appl. Phys. Lett. 66, 285 (1995).
    [CrossRef]
  6. C. Baker, I. S. Gregory, M. J. Evans, W. R. Tribe, E. H. Linfield, and M. Missous, Opt. Express 13, 9639 (2005).
    [CrossRef]
  7. N. Kim, J. Shin, E. Sim, C. W. Lee, D.-S. Yee, M. Y. Jeon, Y. Jang, and K. H. Park, Opt. Express 17, 13851 (2009).
    [CrossRef]
  8. N. Kim, H.-C. Ryu, D. Lee, S.-P. Han, H. Ko, K. Moon, J.-W. Park, M. Y. Jeon, and K. H. Park, Laser Phys. Lett. 10, 085805 (2013).
    [CrossRef]
  9. J. Mangeney, A. Merigault, N. Zerounian, P. Crozat, K. Blary, and J. F. Lampin, Appl. Phys. Lett. 91, 241102 (2007).
    [CrossRef]
  10. J. E. Barnason, T. L. J. Chan, A. W. M. Lee, E. R. Brown, D. C. Driscoll, M. Hanson, A. C. Gossard, and R. E. Muller, Appl. Phys. Lett. 85, 3983 (2004).
    [CrossRef]
  11. A. Schwagmann, Z.-Y. Zaho, F. Ospald, H. Lu, D. C. Driscoll, M. P. Hanson, A. C. Gossard, and J. H. Smet, Appl. Phys. Lett. 96, 141108 (2010).
    [CrossRef]
  12. M. R. Melloch, J. M. Woodall, E. S. Harmon, N. Otsuka, F. H. Pollak, D. D. Nolte, R. M. Feenstra, and M. A. Lutz, Annu. Rev. Mater. Sci. 25, 547 (1995).
    [CrossRef]
  13. R. A. Metzger, A. S. Brown, L. G. McCray, and J. A. Henige, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 798 (1993).
    [CrossRef]
  14. C. Baker, I. S. Gregory, W. R. Tribe, I. V. Bradley, M. J. Evans, E. H. Linfeld, and M. Missous, Appl. Phys. Lett. 85, 4965 (2004).
    [CrossRef]
  15. E. S. Harmon, M. R. Melloch, J. M. Woodall, D. D. Nolte, N. Otsuka, and C. L. Chang, Appl. Phys. Lett. 63, 2248 (1993).
    [CrossRef]
  16. P. Pačebutas, A. Bičiūnas, S. Balakauskas, A. Krotkus, G. Andriukaitis, D. Lorenc, A. Pugžlys, and A. Baltuška, Appl. Phys. Lett. 97, 031111 (2010).
    [CrossRef]
  17. A. Takazato, M. Kamakura, T. Matsui, J. Kitagawa, and Y. Kadoya, Appl. Phys. Lett. 91, 011102 (2007).
    [CrossRef]
  18. R. Takahashi, Y. Kawamura, and H. Iwamura, Appl. Phys. Lett. 68, 153 (1996).
    [CrossRef]
  19. H. Roehle, R. J. B. Dietz, H. J. Hensel, J. Böttcher, H. Künzel, D. Stanze, M. Schell, and B. Satorius, Opt. Express 18, 2296 (2010).
    [CrossRef]
  20. B. Heshmat, H. Pahlevaninezhad, Y. Pang, M. Masnadi-Shirazi, R. B. Lewis, T. Tiedje, R. Gordon, and T. E. Darcie, Nano Lett. 12, 6255 (2012).
  21. S. Verghese, K. A. Mclntosh, and E. R. Brown, Appl. Phys. Lett. 71, 2743 (1997).
    [CrossRef]
  22. S. A. Daffaie, O. Yilmazoglu, F. Küppers, and H. Hartnagel, in 37th International Conference on Infrared, Milimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Wollongong, Australia, September 23–28, 2012, Mon-C-1–2.
  23. E. Peyatavit, S. Lepilliet, F. Hindle, C. Coinon, T. Akalin, G. Ducournau, G. Mouret, and J.-F. Lampin, in 37th International Conference on Infrared, Milimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Wollongong, Australia, September 23–28, 2012, Thu-C-1–2.
  24. S.-P. Han, N. Kim, H. Ko, H.-C. Ryu, J.-W. Park, Y. J. Yoon, J.-H. Shin, D. H. Lee, S.-H. Moon, S.-W. Choi, H. S. Chun, and K. H. Park, Opt. Express 20, 18432 (2012).
    [CrossRef]

2013

N. Kim, H.-C. Ryu, D. Lee, S.-P. Han, H. Ko, K. Moon, J.-W. Park, M. Y. Jeon, and K. H. Park, Laser Phys. Lett. 10, 085805 (2013).
[CrossRef]

2012

M. Y. Glyavin, N. S. Ginzburg, A. L. Goldenberg, G. G. Denisov, A. G. Luchinin, V. N. Manuilov, V. E. Zapevalov, and I. V. Zotova, Terahertz Sci. Technol. 5, 67 (2012).

B. Heshmat, H. Pahlevaninezhad, Y. Pang, M. Masnadi-Shirazi, R. B. Lewis, T. Tiedje, R. Gordon, and T. E. Darcie, Nano Lett. 12, 6255 (2012).

S.-P. Han, N. Kim, H. Ko, H.-C. Ryu, J.-W. Park, Y. J. Yoon, J.-H. Shin, D. H. Lee, S.-H. Moon, S.-W. Choi, H. S. Chun, and K. H. Park, Opt. Express 20, 18432 (2012).
[CrossRef]

2010

B. A. Knyazev, G. N. Kulipanov, and N. A. Vinokurov, Meas. Sci. Technol. 21, 054017 (2010).

A. Schwagmann, Z.-Y. Zaho, F. Ospald, H. Lu, D. C. Driscoll, M. P. Hanson, A. C. Gossard, and J. H. Smet, Appl. Phys. Lett. 96, 141108 (2010).
[CrossRef]

P. Pačebutas, A. Bičiūnas, S. Balakauskas, A. Krotkus, G. Andriukaitis, D. Lorenc, A. Pugžlys, and A. Baltuška, Appl. Phys. Lett. 97, 031111 (2010).
[CrossRef]

H. Roehle, R. J. B. Dietz, H. J. Hensel, J. Böttcher, H. Künzel, D. Stanze, M. Schell, and B. Satorius, Opt. Express 18, 2296 (2010).
[CrossRef]

2009

2007

A. Takazato, M. Kamakura, T. Matsui, J. Kitagawa, and Y. Kadoya, Appl. Phys. Lett. 91, 011102 (2007).
[CrossRef]

J. Mangeney, A. Merigault, N. Zerounian, P. Crozat, K. Blary, and J. F. Lampin, Appl. Phys. Lett. 91, 241102 (2007).
[CrossRef]

2005

2004

J. E. Barnason, T. L. J. Chan, A. W. M. Lee, E. R. Brown, D. C. Driscoll, M. Hanson, A. C. Gossard, and R. E. Muller, Appl. Phys. Lett. 85, 3983 (2004).
[CrossRef]

A. Dobriu, M. Yamashita, Y. N. Ohshima, Y. Morita, C. Otani, and K. Kawase, Appl. Opt. 43, 5638 (2004).

C. Baker, I. S. Gregory, W. R. Tribe, I. V. Bradley, M. J. Evans, E. H. Linfeld, and M. Missous, Appl. Phys. Lett. 85, 4965 (2004).
[CrossRef]

2002

B. Ferguson and X.-C. Zhang, Nat. Mater. 1, 26 (2002).

1997

S. Verghese, K. A. Mclntosh, and E. R. Brown, Appl. Phys. Lett. 71, 2743 (1997).
[CrossRef]

1996

R. Takahashi, Y. Kawamura, and H. Iwamura, Appl. Phys. Lett. 68, 153 (1996).
[CrossRef]

1995

M. R. Melloch, J. M. Woodall, E. S. Harmon, N. Otsuka, F. H. Pollak, D. D. Nolte, R. M. Feenstra, and M. A. Lutz, Annu. Rev. Mater. Sci. 25, 547 (1995).
[CrossRef]

E. R. Brown, K. A. McIntosh, K. B. Nichols, and C. L. Dennis, Appl. Phys. Lett. 66, 285 (1995).
[CrossRef]

1993

R. A. Metzger, A. S. Brown, L. G. McCray, and J. A. Henige, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 798 (1993).
[CrossRef]

E. S. Harmon, M. R. Melloch, J. M. Woodall, D. D. Nolte, N. Otsuka, and C. L. Chang, Appl. Phys. Lett. 63, 2248 (1993).
[CrossRef]

Akalin, T.

E. Peyatavit, S. Lepilliet, F. Hindle, C. Coinon, T. Akalin, G. Ducournau, G. Mouret, and J.-F. Lampin, in 37th International Conference on Infrared, Milimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Wollongong, Australia, September 23–28, 2012, Thu-C-1–2.

Andriukaitis, G.

P. Pačebutas, A. Bičiūnas, S. Balakauskas, A. Krotkus, G. Andriukaitis, D. Lorenc, A. Pugžlys, and A. Baltuška, Appl. Phys. Lett. 97, 031111 (2010).
[CrossRef]

Baker, C.

C. Baker, I. S. Gregory, M. J. Evans, W. R. Tribe, E. H. Linfield, and M. Missous, Opt. Express 13, 9639 (2005).
[CrossRef]

C. Baker, I. S. Gregory, W. R. Tribe, I. V. Bradley, M. J. Evans, E. H. Linfeld, and M. Missous, Appl. Phys. Lett. 85, 4965 (2004).
[CrossRef]

Balakauskas, S.

P. Pačebutas, A. Bičiūnas, S. Balakauskas, A. Krotkus, G. Andriukaitis, D. Lorenc, A. Pugžlys, and A. Baltuška, Appl. Phys. Lett. 97, 031111 (2010).
[CrossRef]

Baltuška, A.

P. Pačebutas, A. Bičiūnas, S. Balakauskas, A. Krotkus, G. Andriukaitis, D. Lorenc, A. Pugžlys, and A. Baltuška, Appl. Phys. Lett. 97, 031111 (2010).
[CrossRef]

Barnason, J. E.

J. E. Barnason, T. L. J. Chan, A. W. M. Lee, E. R. Brown, D. C. Driscoll, M. Hanson, A. C. Gossard, and R. E. Muller, Appl. Phys. Lett. 85, 3983 (2004).
[CrossRef]

Biciunas, A.

P. Pačebutas, A. Bičiūnas, S. Balakauskas, A. Krotkus, G. Andriukaitis, D. Lorenc, A. Pugžlys, and A. Baltuška, Appl. Phys. Lett. 97, 031111 (2010).
[CrossRef]

Blary, K.

J. Mangeney, A. Merigault, N. Zerounian, P. Crozat, K. Blary, and J. F. Lampin, Appl. Phys. Lett. 91, 241102 (2007).
[CrossRef]

Böttcher, J.

Bradley, I. V.

C. Baker, I. S. Gregory, W. R. Tribe, I. V. Bradley, M. J. Evans, E. H. Linfeld, and M. Missous, Appl. Phys. Lett. 85, 4965 (2004).
[CrossRef]

Brown, A. S.

R. A. Metzger, A. S. Brown, L. G. McCray, and J. A. Henige, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 798 (1993).
[CrossRef]

Brown, E. R.

J. E. Barnason, T. L. J. Chan, A. W. M. Lee, E. R. Brown, D. C. Driscoll, M. Hanson, A. C. Gossard, and R. E. Muller, Appl. Phys. Lett. 85, 3983 (2004).
[CrossRef]

S. Verghese, K. A. Mclntosh, and E. R. Brown, Appl. Phys. Lett. 71, 2743 (1997).
[CrossRef]

E. R. Brown, K. A. McIntosh, K. B. Nichols, and C. L. Dennis, Appl. Phys. Lett. 66, 285 (1995).
[CrossRef]

Chan, T. L. J.

J. E. Barnason, T. L. J. Chan, A. W. M. Lee, E. R. Brown, D. C. Driscoll, M. Hanson, A. C. Gossard, and R. E. Muller, Appl. Phys. Lett. 85, 3983 (2004).
[CrossRef]

Chang, C. L.

E. S. Harmon, M. R. Melloch, J. M. Woodall, D. D. Nolte, N. Otsuka, and C. L. Chang, Appl. Phys. Lett. 63, 2248 (1993).
[CrossRef]

Choi, S.-W.

Chun, H. S.

Coinon, C.

E. Peyatavit, S. Lepilliet, F. Hindle, C. Coinon, T. Akalin, G. Ducournau, G. Mouret, and J.-F. Lampin, in 37th International Conference on Infrared, Milimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Wollongong, Australia, September 23–28, 2012, Thu-C-1–2.

Crozat, P.

J. Mangeney, A. Merigault, N. Zerounian, P. Crozat, K. Blary, and J. F. Lampin, Appl. Phys. Lett. 91, 241102 (2007).
[CrossRef]

Daffaie, S. A.

S. A. Daffaie, O. Yilmazoglu, F. Küppers, and H. Hartnagel, in 37th International Conference on Infrared, Milimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Wollongong, Australia, September 23–28, 2012, Mon-C-1–2.

Darcie, T. E.

B. Heshmat, H. Pahlevaninezhad, Y. Pang, M. Masnadi-Shirazi, R. B. Lewis, T. Tiedje, R. Gordon, and T. E. Darcie, Nano Lett. 12, 6255 (2012).

Denisov, G. G.

M. Y. Glyavin, N. S. Ginzburg, A. L. Goldenberg, G. G. Denisov, A. G. Luchinin, V. N. Manuilov, V. E. Zapevalov, and I. V. Zotova, Terahertz Sci. Technol. 5, 67 (2012).

Dennis, C. L.

E. R. Brown, K. A. McIntosh, K. B. Nichols, and C. L. Dennis, Appl. Phys. Lett. 66, 285 (1995).
[CrossRef]

Dietz, R. J. B.

Dobriu, A.

A. Dobriu, M. Yamashita, Y. N. Ohshima, Y. Morita, C. Otani, and K. Kawase, Appl. Opt. 43, 5638 (2004).

Driscoll, D. C.

A. Schwagmann, Z.-Y. Zaho, F. Ospald, H. Lu, D. C. Driscoll, M. P. Hanson, A. C. Gossard, and J. H. Smet, Appl. Phys. Lett. 96, 141108 (2010).
[CrossRef]

J. E. Barnason, T. L. J. Chan, A. W. M. Lee, E. R. Brown, D. C. Driscoll, M. Hanson, A. C. Gossard, and R. E. Muller, Appl. Phys. Lett. 85, 3983 (2004).
[CrossRef]

Ducournau, G.

E. Peyatavit, S. Lepilliet, F. Hindle, C. Coinon, T. Akalin, G. Ducournau, G. Mouret, and J.-F. Lampin, in 37th International Conference on Infrared, Milimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Wollongong, Australia, September 23–28, 2012, Thu-C-1–2.

Evans, M. J.

C. Baker, I. S. Gregory, M. J. Evans, W. R. Tribe, E. H. Linfield, and M. Missous, Opt. Express 13, 9639 (2005).
[CrossRef]

C. Baker, I. S. Gregory, W. R. Tribe, I. V. Bradley, M. J. Evans, E. H. Linfeld, and M. Missous, Appl. Phys. Lett. 85, 4965 (2004).
[CrossRef]

Feenstra, R. M.

M. R. Melloch, J. M. Woodall, E. S. Harmon, N. Otsuka, F. H. Pollak, D. D. Nolte, R. M. Feenstra, and M. A. Lutz, Annu. Rev. Mater. Sci. 25, 547 (1995).
[CrossRef]

Ferguson, B.

B. Ferguson and X.-C. Zhang, Nat. Mater. 1, 26 (2002).

Ginzburg, N. S.

M. Y. Glyavin, N. S. Ginzburg, A. L. Goldenberg, G. G. Denisov, A. G. Luchinin, V. N. Manuilov, V. E. Zapevalov, and I. V. Zotova, Terahertz Sci. Technol. 5, 67 (2012).

Glyavin, M. Y.

M. Y. Glyavin, N. S. Ginzburg, A. L. Goldenberg, G. G. Denisov, A. G. Luchinin, V. N. Manuilov, V. E. Zapevalov, and I. V. Zotova, Terahertz Sci. Technol. 5, 67 (2012).

Goldenberg, A. L.

M. Y. Glyavin, N. S. Ginzburg, A. L. Goldenberg, G. G. Denisov, A. G. Luchinin, V. N. Manuilov, V. E. Zapevalov, and I. V. Zotova, Terahertz Sci. Technol. 5, 67 (2012).

Gordon, R.

B. Heshmat, H. Pahlevaninezhad, Y. Pang, M. Masnadi-Shirazi, R. B. Lewis, T. Tiedje, R. Gordon, and T. E. Darcie, Nano Lett. 12, 6255 (2012).

Gossard, A. C.

A. Schwagmann, Z.-Y. Zaho, F. Ospald, H. Lu, D. C. Driscoll, M. P. Hanson, A. C. Gossard, and J. H. Smet, Appl. Phys. Lett. 96, 141108 (2010).
[CrossRef]

J. E. Barnason, T. L. J. Chan, A. W. M. Lee, E. R. Brown, D. C. Driscoll, M. Hanson, A. C. Gossard, and R. E. Muller, Appl. Phys. Lett. 85, 3983 (2004).
[CrossRef]

Gregory, I. S.

C. Baker, I. S. Gregory, M. J. Evans, W. R. Tribe, E. H. Linfield, and M. Missous, Opt. Express 13, 9639 (2005).
[CrossRef]

C. Baker, I. S. Gregory, W. R. Tribe, I. V. Bradley, M. J. Evans, E. H. Linfeld, and M. Missous, Appl. Phys. Lett. 85, 4965 (2004).
[CrossRef]

Han, S.-P.

N. Kim, H.-C. Ryu, D. Lee, S.-P. Han, H. Ko, K. Moon, J.-W. Park, M. Y. Jeon, and K. H. Park, Laser Phys. Lett. 10, 085805 (2013).
[CrossRef]

S.-P. Han, N. Kim, H. Ko, H.-C. Ryu, J.-W. Park, Y. J. Yoon, J.-H. Shin, D. H. Lee, S.-H. Moon, S.-W. Choi, H. S. Chun, and K. H. Park, Opt. Express 20, 18432 (2012).
[CrossRef]

Hanson, M.

J. E. Barnason, T. L. J. Chan, A. W. M. Lee, E. R. Brown, D. C. Driscoll, M. Hanson, A. C. Gossard, and R. E. Muller, Appl. Phys. Lett. 85, 3983 (2004).
[CrossRef]

Hanson, M. P.

A. Schwagmann, Z.-Y. Zaho, F. Ospald, H. Lu, D. C. Driscoll, M. P. Hanson, A. C. Gossard, and J. H. Smet, Appl. Phys. Lett. 96, 141108 (2010).
[CrossRef]

Harmon, E. S.

M. R. Melloch, J. M. Woodall, E. S. Harmon, N. Otsuka, F. H. Pollak, D. D. Nolte, R. M. Feenstra, and M. A. Lutz, Annu. Rev. Mater. Sci. 25, 547 (1995).
[CrossRef]

E. S. Harmon, M. R. Melloch, J. M. Woodall, D. D. Nolte, N. Otsuka, and C. L. Chang, Appl. Phys. Lett. 63, 2248 (1993).
[CrossRef]

Hartnagel, H.

S. A. Daffaie, O. Yilmazoglu, F. Küppers, and H. Hartnagel, in 37th International Conference on Infrared, Milimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Wollongong, Australia, September 23–28, 2012, Mon-C-1–2.

Henige, J. A.

R. A. Metzger, A. S. Brown, L. G. McCray, and J. A. Henige, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 798 (1993).
[CrossRef]

Hensel, H. J.

Heshmat, B.

B. Heshmat, H. Pahlevaninezhad, Y. Pang, M. Masnadi-Shirazi, R. B. Lewis, T. Tiedje, R. Gordon, and T. E. Darcie, Nano Lett. 12, 6255 (2012).

Hindle, F.

E. Peyatavit, S. Lepilliet, F. Hindle, C. Coinon, T. Akalin, G. Ducournau, G. Mouret, and J.-F. Lampin, in 37th International Conference on Infrared, Milimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Wollongong, Australia, September 23–28, 2012, Thu-C-1–2.

Iwamura, H.

R. Takahashi, Y. Kawamura, and H. Iwamura, Appl. Phys. Lett. 68, 153 (1996).
[CrossRef]

Jang, Y.

Jeon, M. Y.

N. Kim, H.-C. Ryu, D. Lee, S.-P. Han, H. Ko, K. Moon, J.-W. Park, M. Y. Jeon, and K. H. Park, Laser Phys. Lett. 10, 085805 (2013).
[CrossRef]

N. Kim, J. Shin, E. Sim, C. W. Lee, D.-S. Yee, M. Y. Jeon, Y. Jang, and K. H. Park, Opt. Express 17, 13851 (2009).
[CrossRef]

Kadoya, Y.

A. Takazato, M. Kamakura, T. Matsui, J. Kitagawa, and Y. Kadoya, Appl. Phys. Lett. 91, 011102 (2007).
[CrossRef]

Kamakura, M.

A. Takazato, M. Kamakura, T. Matsui, J. Kitagawa, and Y. Kadoya, Appl. Phys. Lett. 91, 011102 (2007).
[CrossRef]

Kawamura, Y.

R. Takahashi, Y. Kawamura, and H. Iwamura, Appl. Phys. Lett. 68, 153 (1996).
[CrossRef]

Kawase, K.

A. Dobriu, M. Yamashita, Y. N. Ohshima, Y. Morita, C. Otani, and K. Kawase, Appl. Opt. 43, 5638 (2004).

Kim, N.

Kitagawa, J.

A. Takazato, M. Kamakura, T. Matsui, J. Kitagawa, and Y. Kadoya, Appl. Phys. Lett. 91, 011102 (2007).
[CrossRef]

Knyazev, B. A.

B. A. Knyazev, G. N. Kulipanov, and N. A. Vinokurov, Meas. Sci. Technol. 21, 054017 (2010).

Ko, H.

N. Kim, H.-C. Ryu, D. Lee, S.-P. Han, H. Ko, K. Moon, J.-W. Park, M. Y. Jeon, and K. H. Park, Laser Phys. Lett. 10, 085805 (2013).
[CrossRef]

S.-P. Han, N. Kim, H. Ko, H.-C. Ryu, J.-W. Park, Y. J. Yoon, J.-H. Shin, D. H. Lee, S.-H. Moon, S.-W. Choi, H. S. Chun, and K. H. Park, Opt. Express 20, 18432 (2012).
[CrossRef]

Krotkus, A.

P. Pačebutas, A. Bičiūnas, S. Balakauskas, A. Krotkus, G. Andriukaitis, D. Lorenc, A. Pugžlys, and A. Baltuška, Appl. Phys. Lett. 97, 031111 (2010).
[CrossRef]

Kulipanov, G. N.

B. A. Knyazev, G. N. Kulipanov, and N. A. Vinokurov, Meas. Sci. Technol. 21, 054017 (2010).

Künzel, H.

Küppers, F.

S. A. Daffaie, O. Yilmazoglu, F. Küppers, and H. Hartnagel, in 37th International Conference on Infrared, Milimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Wollongong, Australia, September 23–28, 2012, Mon-C-1–2.

Lampin, J. F.

J. Mangeney, A. Merigault, N. Zerounian, P. Crozat, K. Blary, and J. F. Lampin, Appl. Phys. Lett. 91, 241102 (2007).
[CrossRef]

Lampin, J.-F.

E. Peyatavit, S. Lepilliet, F. Hindle, C. Coinon, T. Akalin, G. Ducournau, G. Mouret, and J.-F. Lampin, in 37th International Conference on Infrared, Milimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Wollongong, Australia, September 23–28, 2012, Thu-C-1–2.

Lee, A. W. M.

J. E. Barnason, T. L. J. Chan, A. W. M. Lee, E. R. Brown, D. C. Driscoll, M. Hanson, A. C. Gossard, and R. E. Muller, Appl. Phys. Lett. 85, 3983 (2004).
[CrossRef]

Lee, C. W.

Lee, D.

N. Kim, H.-C. Ryu, D. Lee, S.-P. Han, H. Ko, K. Moon, J.-W. Park, M. Y. Jeon, and K. H. Park, Laser Phys. Lett. 10, 085805 (2013).
[CrossRef]

Lee, D. H.

Lepilliet, S.

E. Peyatavit, S. Lepilliet, F. Hindle, C. Coinon, T. Akalin, G. Ducournau, G. Mouret, and J.-F. Lampin, in 37th International Conference on Infrared, Milimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Wollongong, Australia, September 23–28, 2012, Thu-C-1–2.

Lewis, R. B.

B. Heshmat, H. Pahlevaninezhad, Y. Pang, M. Masnadi-Shirazi, R. B. Lewis, T. Tiedje, R. Gordon, and T. E. Darcie, Nano Lett. 12, 6255 (2012).

Linfeld, E. H.

C. Baker, I. S. Gregory, W. R. Tribe, I. V. Bradley, M. J. Evans, E. H. Linfeld, and M. Missous, Appl. Phys. Lett. 85, 4965 (2004).
[CrossRef]

Linfield, E. H.

Lorenc, D.

P. Pačebutas, A. Bičiūnas, S. Balakauskas, A. Krotkus, G. Andriukaitis, D. Lorenc, A. Pugžlys, and A. Baltuška, Appl. Phys. Lett. 97, 031111 (2010).
[CrossRef]

Lu, H.

A. Schwagmann, Z.-Y. Zaho, F. Ospald, H. Lu, D. C. Driscoll, M. P. Hanson, A. C. Gossard, and J. H. Smet, Appl. Phys. Lett. 96, 141108 (2010).
[CrossRef]

Luchinin, A. G.

M. Y. Glyavin, N. S. Ginzburg, A. L. Goldenberg, G. G. Denisov, A. G. Luchinin, V. N. Manuilov, V. E. Zapevalov, and I. V. Zotova, Terahertz Sci. Technol. 5, 67 (2012).

Lutz, M. A.

M. R. Melloch, J. M. Woodall, E. S. Harmon, N. Otsuka, F. H. Pollak, D. D. Nolte, R. M. Feenstra, and M. A. Lutz, Annu. Rev. Mater. Sci. 25, 547 (1995).
[CrossRef]

Mangeney, J.

J. Mangeney, A. Merigault, N. Zerounian, P. Crozat, K. Blary, and J. F. Lampin, Appl. Phys. Lett. 91, 241102 (2007).
[CrossRef]

Manuilov, V. N.

M. Y. Glyavin, N. S. Ginzburg, A. L. Goldenberg, G. G. Denisov, A. G. Luchinin, V. N. Manuilov, V. E. Zapevalov, and I. V. Zotova, Terahertz Sci. Technol. 5, 67 (2012).

Masnadi-Shirazi, M.

B. Heshmat, H. Pahlevaninezhad, Y. Pang, M. Masnadi-Shirazi, R. B. Lewis, T. Tiedje, R. Gordon, and T. E. Darcie, Nano Lett. 12, 6255 (2012).

Matsui, T.

A. Takazato, M. Kamakura, T. Matsui, J. Kitagawa, and Y. Kadoya, Appl. Phys. Lett. 91, 011102 (2007).
[CrossRef]

McCray, L. G.

R. A. Metzger, A. S. Brown, L. G. McCray, and J. A. Henige, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 798 (1993).
[CrossRef]

McIntosh, K. A.

E. R. Brown, K. A. McIntosh, K. B. Nichols, and C. L. Dennis, Appl. Phys. Lett. 66, 285 (1995).
[CrossRef]

Mclntosh, K. A.

S. Verghese, K. A. Mclntosh, and E. R. Brown, Appl. Phys. Lett. 71, 2743 (1997).
[CrossRef]

Melloch, M. R.

M. R. Melloch, J. M. Woodall, E. S. Harmon, N. Otsuka, F. H. Pollak, D. D. Nolte, R. M. Feenstra, and M. A. Lutz, Annu. Rev. Mater. Sci. 25, 547 (1995).
[CrossRef]

E. S. Harmon, M. R. Melloch, J. M. Woodall, D. D. Nolte, N. Otsuka, and C. L. Chang, Appl. Phys. Lett. 63, 2248 (1993).
[CrossRef]

Merigault, A.

J. Mangeney, A. Merigault, N. Zerounian, P. Crozat, K. Blary, and J. F. Lampin, Appl. Phys. Lett. 91, 241102 (2007).
[CrossRef]

Metzger, R. A.

R. A. Metzger, A. S. Brown, L. G. McCray, and J. A. Henige, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 798 (1993).
[CrossRef]

Missous, M.

C. Baker, I. S. Gregory, M. J. Evans, W. R. Tribe, E. H. Linfield, and M. Missous, Opt. Express 13, 9639 (2005).
[CrossRef]

C. Baker, I. S. Gregory, W. R. Tribe, I. V. Bradley, M. J. Evans, E. H. Linfeld, and M. Missous, Appl. Phys. Lett. 85, 4965 (2004).
[CrossRef]

Moon, K.

N. Kim, H.-C. Ryu, D. Lee, S.-P. Han, H. Ko, K. Moon, J.-W. Park, M. Y. Jeon, and K. H. Park, Laser Phys. Lett. 10, 085805 (2013).
[CrossRef]

Moon, S.-H.

Morita, Y.

A. Dobriu, M. Yamashita, Y. N. Ohshima, Y. Morita, C. Otani, and K. Kawase, Appl. Opt. 43, 5638 (2004).

Mouret, G.

E. Peyatavit, S. Lepilliet, F. Hindle, C. Coinon, T. Akalin, G. Ducournau, G. Mouret, and J.-F. Lampin, in 37th International Conference on Infrared, Milimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Wollongong, Australia, September 23–28, 2012, Thu-C-1–2.

Muller, R. E.

J. E. Barnason, T. L. J. Chan, A. W. M. Lee, E. R. Brown, D. C. Driscoll, M. Hanson, A. C. Gossard, and R. E. Muller, Appl. Phys. Lett. 85, 3983 (2004).
[CrossRef]

Nichols, K. B.

E. R. Brown, K. A. McIntosh, K. B. Nichols, and C. L. Dennis, Appl. Phys. Lett. 66, 285 (1995).
[CrossRef]

Nolte, D. D.

M. R. Melloch, J. M. Woodall, E. S. Harmon, N. Otsuka, F. H. Pollak, D. D. Nolte, R. M. Feenstra, and M. A. Lutz, Annu. Rev. Mater. Sci. 25, 547 (1995).
[CrossRef]

E. S. Harmon, M. R. Melloch, J. M. Woodall, D. D. Nolte, N. Otsuka, and C. L. Chang, Appl. Phys. Lett. 63, 2248 (1993).
[CrossRef]

Ohshima, Y. N.

A. Dobriu, M. Yamashita, Y. N. Ohshima, Y. Morita, C. Otani, and K. Kawase, Appl. Opt. 43, 5638 (2004).

Ospald, F.

A. Schwagmann, Z.-Y. Zaho, F. Ospald, H. Lu, D. C. Driscoll, M. P. Hanson, A. C. Gossard, and J. H. Smet, Appl. Phys. Lett. 96, 141108 (2010).
[CrossRef]

Otani, C.

A. Dobriu, M. Yamashita, Y. N. Ohshima, Y. Morita, C. Otani, and K. Kawase, Appl. Opt. 43, 5638 (2004).

Otsuka, N.

M. R. Melloch, J. M. Woodall, E. S. Harmon, N. Otsuka, F. H. Pollak, D. D. Nolte, R. M. Feenstra, and M. A. Lutz, Annu. Rev. Mater. Sci. 25, 547 (1995).
[CrossRef]

E. S. Harmon, M. R. Melloch, J. M. Woodall, D. D. Nolte, N. Otsuka, and C. L. Chang, Appl. Phys. Lett. 63, 2248 (1993).
[CrossRef]

Pacebutas, P.

P. Pačebutas, A. Bičiūnas, S. Balakauskas, A. Krotkus, G. Andriukaitis, D. Lorenc, A. Pugžlys, and A. Baltuška, Appl. Phys. Lett. 97, 031111 (2010).
[CrossRef]

Pahlevaninezhad, H.

B. Heshmat, H. Pahlevaninezhad, Y. Pang, M. Masnadi-Shirazi, R. B. Lewis, T. Tiedje, R. Gordon, and T. E. Darcie, Nano Lett. 12, 6255 (2012).

Pang, Y.

B. Heshmat, H. Pahlevaninezhad, Y. Pang, M. Masnadi-Shirazi, R. B. Lewis, T. Tiedje, R. Gordon, and T. E. Darcie, Nano Lett. 12, 6255 (2012).

Park, J.-W.

N. Kim, H.-C. Ryu, D. Lee, S.-P. Han, H. Ko, K. Moon, J.-W. Park, M. Y. Jeon, and K. H. Park, Laser Phys. Lett. 10, 085805 (2013).
[CrossRef]

S.-P. Han, N. Kim, H. Ko, H.-C. Ryu, J.-W. Park, Y. J. Yoon, J.-H. Shin, D. H. Lee, S.-H. Moon, S.-W. Choi, H. S. Chun, and K. H. Park, Opt. Express 20, 18432 (2012).
[CrossRef]

Park, K. H.

Peyatavit, E.

E. Peyatavit, S. Lepilliet, F. Hindle, C. Coinon, T. Akalin, G. Ducournau, G. Mouret, and J.-F. Lampin, in 37th International Conference on Infrared, Milimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Wollongong, Australia, September 23–28, 2012, Thu-C-1–2.

Pollak, F. H.

M. R. Melloch, J. M. Woodall, E. S. Harmon, N. Otsuka, F. H. Pollak, D. D. Nolte, R. M. Feenstra, and M. A. Lutz, Annu. Rev. Mater. Sci. 25, 547 (1995).
[CrossRef]

Pugžlys, A.

P. Pačebutas, A. Bičiūnas, S. Balakauskas, A. Krotkus, G. Andriukaitis, D. Lorenc, A. Pugžlys, and A. Baltuška, Appl. Phys. Lett. 97, 031111 (2010).
[CrossRef]

Roehle, H.

Ryu, H.-C.

N. Kim, H.-C. Ryu, D. Lee, S.-P. Han, H. Ko, K. Moon, J.-W. Park, M. Y. Jeon, and K. H. Park, Laser Phys. Lett. 10, 085805 (2013).
[CrossRef]

S.-P. Han, N. Kim, H. Ko, H.-C. Ryu, J.-W. Park, Y. J. Yoon, J.-H. Shin, D. H. Lee, S.-H. Moon, S.-W. Choi, H. S. Chun, and K. H. Park, Opt. Express 20, 18432 (2012).
[CrossRef]

Satorius, B.

Schell, M.

Schwagmann, A.

A. Schwagmann, Z.-Y. Zaho, F. Ospald, H. Lu, D. C. Driscoll, M. P. Hanson, A. C. Gossard, and J. H. Smet, Appl. Phys. Lett. 96, 141108 (2010).
[CrossRef]

Shin, J.

Shin, J.-H.

Sim, E.

Smet, J. H.

A. Schwagmann, Z.-Y. Zaho, F. Ospald, H. Lu, D. C. Driscoll, M. P. Hanson, A. C. Gossard, and J. H. Smet, Appl. Phys. Lett. 96, 141108 (2010).
[CrossRef]

Stanze, D.

Takahashi, R.

R. Takahashi, Y. Kawamura, and H. Iwamura, Appl. Phys. Lett. 68, 153 (1996).
[CrossRef]

Takazato, A.

A. Takazato, M. Kamakura, T. Matsui, J. Kitagawa, and Y. Kadoya, Appl. Phys. Lett. 91, 011102 (2007).
[CrossRef]

Tiedje, T.

B. Heshmat, H. Pahlevaninezhad, Y. Pang, M. Masnadi-Shirazi, R. B. Lewis, T. Tiedje, R. Gordon, and T. E. Darcie, Nano Lett. 12, 6255 (2012).

Tribe, W. R.

C. Baker, I. S. Gregory, M. J. Evans, W. R. Tribe, E. H. Linfield, and M. Missous, Opt. Express 13, 9639 (2005).
[CrossRef]

C. Baker, I. S. Gregory, W. R. Tribe, I. V. Bradley, M. J. Evans, E. H. Linfeld, and M. Missous, Appl. Phys. Lett. 85, 4965 (2004).
[CrossRef]

Verghese, S.

S. Verghese, K. A. Mclntosh, and E. R. Brown, Appl. Phys. Lett. 71, 2743 (1997).
[CrossRef]

Vinokurov, N. A.

B. A. Knyazev, G. N. Kulipanov, and N. A. Vinokurov, Meas. Sci. Technol. 21, 054017 (2010).

Woodall, J. M.

M. R. Melloch, J. M. Woodall, E. S. Harmon, N. Otsuka, F. H. Pollak, D. D. Nolte, R. M. Feenstra, and M. A. Lutz, Annu. Rev. Mater. Sci. 25, 547 (1995).
[CrossRef]

E. S. Harmon, M. R. Melloch, J. M. Woodall, D. D. Nolte, N. Otsuka, and C. L. Chang, Appl. Phys. Lett. 63, 2248 (1993).
[CrossRef]

Yamashita, M.

A. Dobriu, M. Yamashita, Y. N. Ohshima, Y. Morita, C. Otani, and K. Kawase, Appl. Opt. 43, 5638 (2004).

Yee, D.-S.

Yilmazoglu, O.

S. A. Daffaie, O. Yilmazoglu, F. Küppers, and H. Hartnagel, in 37th International Conference on Infrared, Milimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Wollongong, Australia, September 23–28, 2012, Mon-C-1–2.

Yoon, Y. J.

Zaho, Z.-Y.

A. Schwagmann, Z.-Y. Zaho, F. Ospald, H. Lu, D. C. Driscoll, M. P. Hanson, A. C. Gossard, and J. H. Smet, Appl. Phys. Lett. 96, 141108 (2010).
[CrossRef]

Zapevalov, V. E.

M. Y. Glyavin, N. S. Ginzburg, A. L. Goldenberg, G. G. Denisov, A. G. Luchinin, V. N. Manuilov, V. E. Zapevalov, and I. V. Zotova, Terahertz Sci. Technol. 5, 67 (2012).

Zerounian, N.

J. Mangeney, A. Merigault, N. Zerounian, P. Crozat, K. Blary, and J. F. Lampin, Appl. Phys. Lett. 91, 241102 (2007).
[CrossRef]

Zhang, X.-C.

B. Ferguson and X.-C. Zhang, Nat. Mater. 1, 26 (2002).

Zotova, I. V.

M. Y. Glyavin, N. S. Ginzburg, A. L. Goldenberg, G. G. Denisov, A. G. Luchinin, V. N. Manuilov, V. E. Zapevalov, and I. V. Zotova, Terahertz Sci. Technol. 5, 67 (2012).

Annu. Rev. Mater. Sci.

M. R. Melloch, J. M. Woodall, E. S. Harmon, N. Otsuka, F. H. Pollak, D. D. Nolte, R. M. Feenstra, and M. A. Lutz, Annu. Rev. Mater. Sci. 25, 547 (1995).
[CrossRef]

Appl. Opt.

A. Dobriu, M. Yamashita, Y. N. Ohshima, Y. Morita, C. Otani, and K. Kawase, Appl. Opt. 43, 5638 (2004).

Appl. Phys. Lett.

E. R. Brown, K. A. McIntosh, K. B. Nichols, and C. L. Dennis, Appl. Phys. Lett. 66, 285 (1995).
[CrossRef]

J. Mangeney, A. Merigault, N. Zerounian, P. Crozat, K. Blary, and J. F. Lampin, Appl. Phys. Lett. 91, 241102 (2007).
[CrossRef]

J. E. Barnason, T. L. J. Chan, A. W. M. Lee, E. R. Brown, D. C. Driscoll, M. Hanson, A. C. Gossard, and R. E. Muller, Appl. Phys. Lett. 85, 3983 (2004).
[CrossRef]

A. Schwagmann, Z.-Y. Zaho, F. Ospald, H. Lu, D. C. Driscoll, M. P. Hanson, A. C. Gossard, and J. H. Smet, Appl. Phys. Lett. 96, 141108 (2010).
[CrossRef]

C. Baker, I. S. Gregory, W. R. Tribe, I. V. Bradley, M. J. Evans, E. H. Linfeld, and M. Missous, Appl. Phys. Lett. 85, 4965 (2004).
[CrossRef]

E. S. Harmon, M. R. Melloch, J. M. Woodall, D. D. Nolte, N. Otsuka, and C. L. Chang, Appl. Phys. Lett. 63, 2248 (1993).
[CrossRef]

P. Pačebutas, A. Bičiūnas, S. Balakauskas, A. Krotkus, G. Andriukaitis, D. Lorenc, A. Pugžlys, and A. Baltuška, Appl. Phys. Lett. 97, 031111 (2010).
[CrossRef]

A. Takazato, M. Kamakura, T. Matsui, J. Kitagawa, and Y. Kadoya, Appl. Phys. Lett. 91, 011102 (2007).
[CrossRef]

R. Takahashi, Y. Kawamura, and H. Iwamura, Appl. Phys. Lett. 68, 153 (1996).
[CrossRef]

S. Verghese, K. A. Mclntosh, and E. R. Brown, Appl. Phys. Lett. 71, 2743 (1997).
[CrossRef]

J. Vac. Sci. Technol. B

R. A. Metzger, A. S. Brown, L. G. McCray, and J. A. Henige, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 798 (1993).
[CrossRef]

Laser Phys. Lett.

N. Kim, H.-C. Ryu, D. Lee, S.-P. Han, H. Ko, K. Moon, J.-W. Park, M. Y. Jeon, and K. H. Park, Laser Phys. Lett. 10, 085805 (2013).
[CrossRef]

Meas. Sci. Technol.

B. A. Knyazev, G. N. Kulipanov, and N. A. Vinokurov, Meas. Sci. Technol. 21, 054017 (2010).

Nano Lett.

B. Heshmat, H. Pahlevaninezhad, Y. Pang, M. Masnadi-Shirazi, R. B. Lewis, T. Tiedje, R. Gordon, and T. E. Darcie, Nano Lett. 12, 6255 (2012).

Nat. Mater.

B. Ferguson and X.-C. Zhang, Nat. Mater. 1, 26 (2002).

Opt. Express

Terahertz Sci. Technol.

M. Y. Glyavin, N. S. Ginzburg, A. L. Goldenberg, G. G. Denisov, A. G. Luchinin, V. N. Manuilov, V. E. Zapevalov, and I. V. Zotova, Terahertz Sci. Technol. 5, 67 (2012).

Other

S. A. Daffaie, O. Yilmazoglu, F. Küppers, and H. Hartnagel, in 37th International Conference on Infrared, Milimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Wollongong, Australia, September 23–28, 2012, Mon-C-1–2.

E. Peyatavit, S. Lepilliet, F. Hindle, C. Coinon, T. Akalin, G. Ducournau, G. Mouret, and J.-F. Lampin, in 37th International Conference on Infrared, Milimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Wollongong, Australia, September 23–28, 2012, Thu-C-1–2.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (5)

Fig. 1.
Fig. 1.

(a) Carrier concentrations (blue) and Hall mobilities (black) of the as-grown and RTA-annealed LTG-In0.53Ga0.47As samples. The carrier is n-type.

Fig. 2.
Fig. 2.

(a) The transient transmittance of two LTG-In0.53Ga0.47As samples. The annealed sample data are offset for clarity. Inset shows the TEM photograph of arsenic clusters after annealing at 560°C. (b) Carrier lifetime (black) and XRD mismatch (blue) as a function of annealing temperature.

Fig. 3.
Fig. 3.

(a) SEM image of the 20μm×20μm mesa structure, the inset shows the SiO2 mask overhang. (b) Photograph taken in Normaski mode of the LTG-InGaAs mesa after InP regrowth. (c) Photograph of the fabricated buried-mesa-type InGaAs photomixer with a mesa size of 15μm×15μm. (d) Schematic of the buried-mesa-type photomixer.

Fig. 4.
Fig. 4.

(a) THz-TDS measurement setup. DCF, dispersion-compensating fiber; SMF, single-mode fiber. (b) FFT amplitude spectra of the buried-mesa-type and reference photomixers. (c) CW THz power as a function of the photocurrent.

Fig. 5.
Fig. 5.

Thermal images of the buried-mesa-type photomixer (a) before and (b) after the optical input is applied. (c) and (d) Corresponding thermal images of the reference photomixer. Note that the log-periodic antenna has been integrated because of experimental restrictions.

Metrics