Abstract

ITO/Ag/ITO (IAI) multilayer-based transparent conductive electrodes for ultraviolet light-emitting diodes are fabricated by reactive sputtering, optimized by annealing, and characterized with respect to electrical and optical properties. Increasing the annealing temperature from 300°C to 500°C decreased the sheet resistance and increased the transmittance. This may result from an observed improvement in the crystallinity of the IAI multilayer and a reduction in the near-UV absorption coefficient of Ag. We observed the lowest sheet resistance (9.21Ω/sq) and the highest optical transmittance (88%) at 380 nm for the IAI multilayer samples annealed in N2 gas at 500°C.

© 2013 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. C.-H. Chiu, C.-C. Lin, P.-M. Tu, S.-C. Huang, C.-C. Tu, J.-C. Li, Z.-Y. Li, W.-Y. Uen, H.-W. Zan, T.-C. Lu, H.-C. Kuo, S.-C. Wang, and C.-Y. Chang, IEEE J. Quantum Electron. 48, 175 (2012).
    [CrossRef]
  2. D. J. Chae, D. Y. Kim, T. G. Kim, Y. M. Sung, and M. D. Kim, Appl. Phys. Lett. 100, 08110 (2012).
  3. H. Lu, T. Yu, G. Yuan, X. Chen, Z. Chen, G. Chen, and G. Zhang, Opt. Lett. 37, 17 (2012).
  4. J. Mckittrick, M. E. Hannah, A. Piquette, J. K. Han, J. I. Choi, M. Anc, M. Galvez, H. Lugauer, J. B. Talbot, and K. C. Mishra, ECS J. Solid State Sci. Technol. 2, R3119 (2012).
  5. T. H. Seo, S. J. Chae, B. K. Kim, G. Shin, Y. H. Lee, and E.-K. Suh, Appl. Phys. Express 5, 115101 (2012).
    [CrossRef]
  6. A. Kumar, R. Srivastave, M. N. Kamalasanan, and D. S. Mehta, Opt. Lett. 37, 4 (2012).
    [CrossRef]
  7. C. G. Granqvist, Adv. Mater. 15, 1789 (2003).
    [CrossRef]
  8. H.-D. Kim, H.-M. An, S. M. Hong, and T. G. Kim, Semicond. Sci. Technol. 27, 125020 (2012).
    [CrossRef]
  9. Y. J. Jo, C. H. Hong, and J. S. Kwak, Curr. Appl. Phys. 11, S143 (2011).
    [CrossRef]
  10. S.-Y. Jung, K. H. Kim, S.-Y. Jeong, J. Moon, S. Y. Lee, J.-O. Song, Y. T. Byun, and T. Y. Seong, Electrochem. Solid-State Lett. 13, H33 (2010).
    [CrossRef]
  11. B.-J. Kim, C. Lee, Y. Jung, K. H. Baik, M. A. Mastro, J. K. Hite, C. R. Eddy, and J. Kim, Appl. Phys. Lett. 99, 143101 (2011).
    [CrossRef]
  12. Z. Song, Q. He, S. Xiao, and L. Zhou, Appl. Phys. Lett. 101, 181110 (2012).
    [CrossRef]
  13. Z. Liu, G. Liu, H. Zhou, X. Liu, K. Huang, Y. Chen, and G. Fu, Nanotechnology 24, 155203 (2013).
    [CrossRef]
  14. M. Girtan, Solar Energy Mater. Solar Cells 100, 153 (2012).
  15. K. H. Choi, J. Y. Kim, Y. S. Lee, and H. J. Kim, Thin Solid Films 341, 152 (1999).
    [CrossRef]
  16. R. N. Chauhan, C. Singh, R. S. Anand, and J. Kumar, Int. J. Photoenergy 2012, 1 (2012).
    [CrossRef]
  17. H. Han, J. W. Mayer, and T. L. Alford, J. Appl. Phys. 100, 083715 (2006).
    [CrossRef]
  18. T.-C. Lin, S.-C. Chang, and C.-F. Chiu, Mater. Sci. Eng. B 129, 39 (2006).
    [CrossRef]
  19. J.-O. Song and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 85, 6374 (2004).
    [CrossRef]
  20. S. Diplas, A. Ulyashin, K. Maknys, A. E. Gunnaes, S. Jorgensen, D. Wright, J. F. Watts, A. Olsen, and T. G. Finstad, Thin Solid Films 515, 8539 (2007).
    [CrossRef]
  21. G. Haacke, J. Appl. Phys. 47, 4086 (1976).
    [CrossRef]
  22. M. Nisha, S. Anusha, A. Antony, R. Manoj, and M. K. Jayaraj, Appl. Surf. Sci. 252, 1430 (2005).
    [CrossRef]
  23. H. Ehrenreich and H. R. Philipp, Phys. Rev. 128, 1622 (1962).
    [CrossRef]
  24. Y.-Y. Choi, H.-K. Kim, H.-W. Koo, T.-W. Kim, and S.-N. Lee, J. Vac. Sci. Technol. A 29, 061502 (2011).
    [CrossRef]
  25. J. Tauc, R. Grigorovici, and A. Vancu, Phys. Status Solidi 15, 627 (1966).
    [CrossRef]
  26. O. Tuna, Y. Selamet, G. Aygun, and L. Ozyuzer, J. Phys. D 43, 055402 (2010).
    [CrossRef]
  27. H. Kim, C. M. Gilmore, A. Pique, J. S. Horwitz, H. Murata, Z. H. Kafafi, and D. B. Chrisey, J. Appl. Phys. 86, 11 (1999).
  28. N. Balasubramanian and A. Subrahmanyam, J. Phys. D 22, 206 (1989).
    [CrossRef]

2013

Z. Liu, G. Liu, H. Zhou, X. Liu, K. Huang, Y. Chen, and G. Fu, Nanotechnology 24, 155203 (2013).
[CrossRef]

2012

M. Girtan, Solar Energy Mater. Solar Cells 100, 153 (2012).

R. N. Chauhan, C. Singh, R. S. Anand, and J. Kumar, Int. J. Photoenergy 2012, 1 (2012).
[CrossRef]

C.-H. Chiu, C.-C. Lin, P.-M. Tu, S.-C. Huang, C.-C. Tu, J.-C. Li, Z.-Y. Li, W.-Y. Uen, H.-W. Zan, T.-C. Lu, H.-C. Kuo, S.-C. Wang, and C.-Y. Chang, IEEE J. Quantum Electron. 48, 175 (2012).
[CrossRef]

D. J. Chae, D. Y. Kim, T. G. Kim, Y. M. Sung, and M. D. Kim, Appl. Phys. Lett. 100, 08110 (2012).

H. Lu, T. Yu, G. Yuan, X. Chen, Z. Chen, G. Chen, and G. Zhang, Opt. Lett. 37, 17 (2012).

J. Mckittrick, M. E. Hannah, A. Piquette, J. K. Han, J. I. Choi, M. Anc, M. Galvez, H. Lugauer, J. B. Talbot, and K. C. Mishra, ECS J. Solid State Sci. Technol. 2, R3119 (2012).

T. H. Seo, S. J. Chae, B. K. Kim, G. Shin, Y. H. Lee, and E.-K. Suh, Appl. Phys. Express 5, 115101 (2012).
[CrossRef]

A. Kumar, R. Srivastave, M. N. Kamalasanan, and D. S. Mehta, Opt. Lett. 37, 4 (2012).
[CrossRef]

H.-D. Kim, H.-M. An, S. M. Hong, and T. G. Kim, Semicond. Sci. Technol. 27, 125020 (2012).
[CrossRef]

Z. Song, Q. He, S. Xiao, and L. Zhou, Appl. Phys. Lett. 101, 181110 (2012).
[CrossRef]

2011

B.-J. Kim, C. Lee, Y. Jung, K. H. Baik, M. A. Mastro, J. K. Hite, C. R. Eddy, and J. Kim, Appl. Phys. Lett. 99, 143101 (2011).
[CrossRef]

Y. J. Jo, C. H. Hong, and J. S. Kwak, Curr. Appl. Phys. 11, S143 (2011).
[CrossRef]

Y.-Y. Choi, H.-K. Kim, H.-W. Koo, T.-W. Kim, and S.-N. Lee, J. Vac. Sci. Technol. A 29, 061502 (2011).
[CrossRef]

2010

O. Tuna, Y. Selamet, G. Aygun, and L. Ozyuzer, J. Phys. D 43, 055402 (2010).
[CrossRef]

S.-Y. Jung, K. H. Kim, S.-Y. Jeong, J. Moon, S. Y. Lee, J.-O. Song, Y. T. Byun, and T. Y. Seong, Electrochem. Solid-State Lett. 13, H33 (2010).
[CrossRef]

2007

S. Diplas, A. Ulyashin, K. Maknys, A. E. Gunnaes, S. Jorgensen, D. Wright, J. F. Watts, A. Olsen, and T. G. Finstad, Thin Solid Films 515, 8539 (2007).
[CrossRef]

2006

H. Han, J. W. Mayer, and T. L. Alford, J. Appl. Phys. 100, 083715 (2006).
[CrossRef]

T.-C. Lin, S.-C. Chang, and C.-F. Chiu, Mater. Sci. Eng. B 129, 39 (2006).
[CrossRef]

2005

M. Nisha, S. Anusha, A. Antony, R. Manoj, and M. K. Jayaraj, Appl. Surf. Sci. 252, 1430 (2005).
[CrossRef]

2004

J.-O. Song and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 85, 6374 (2004).
[CrossRef]

2003

C. G. Granqvist, Adv. Mater. 15, 1789 (2003).
[CrossRef]

1999

K. H. Choi, J. Y. Kim, Y. S. Lee, and H. J. Kim, Thin Solid Films 341, 152 (1999).
[CrossRef]

H. Kim, C. M. Gilmore, A. Pique, J. S. Horwitz, H. Murata, Z. H. Kafafi, and D. B. Chrisey, J. Appl. Phys. 86, 11 (1999).

1989

N. Balasubramanian and A. Subrahmanyam, J. Phys. D 22, 206 (1989).
[CrossRef]

1976

G. Haacke, J. Appl. Phys. 47, 4086 (1976).
[CrossRef]

1966

J. Tauc, R. Grigorovici, and A. Vancu, Phys. Status Solidi 15, 627 (1966).
[CrossRef]

1962

H. Ehrenreich and H. R. Philipp, Phys. Rev. 128, 1622 (1962).
[CrossRef]

Alford, T. L.

H. Han, J. W. Mayer, and T. L. Alford, J. Appl. Phys. 100, 083715 (2006).
[CrossRef]

An, H.-M.

H.-D. Kim, H.-M. An, S. M. Hong, and T. G. Kim, Semicond. Sci. Technol. 27, 125020 (2012).
[CrossRef]

Anand, R. S.

R. N. Chauhan, C. Singh, R. S. Anand, and J. Kumar, Int. J. Photoenergy 2012, 1 (2012).
[CrossRef]

Anc, M.

J. Mckittrick, M. E. Hannah, A. Piquette, J. K. Han, J. I. Choi, M. Anc, M. Galvez, H. Lugauer, J. B. Talbot, and K. C. Mishra, ECS J. Solid State Sci. Technol. 2, R3119 (2012).

Antony, A.

M. Nisha, S. Anusha, A. Antony, R. Manoj, and M. K. Jayaraj, Appl. Surf. Sci. 252, 1430 (2005).
[CrossRef]

Anusha, S.

M. Nisha, S. Anusha, A. Antony, R. Manoj, and M. K. Jayaraj, Appl. Surf. Sci. 252, 1430 (2005).
[CrossRef]

Aygun, G.

O. Tuna, Y. Selamet, G. Aygun, and L. Ozyuzer, J. Phys. D 43, 055402 (2010).
[CrossRef]

Baik, K. H.

B.-J. Kim, C. Lee, Y. Jung, K. H. Baik, M. A. Mastro, J. K. Hite, C. R. Eddy, and J. Kim, Appl. Phys. Lett. 99, 143101 (2011).
[CrossRef]

Balasubramanian, N.

N. Balasubramanian and A. Subrahmanyam, J. Phys. D 22, 206 (1989).
[CrossRef]

Byun, Y. T.

S.-Y. Jung, K. H. Kim, S.-Y. Jeong, J. Moon, S. Y. Lee, J.-O. Song, Y. T. Byun, and T. Y. Seong, Electrochem. Solid-State Lett. 13, H33 (2010).
[CrossRef]

Chae, D. J.

D. J. Chae, D. Y. Kim, T. G. Kim, Y. M. Sung, and M. D. Kim, Appl. Phys. Lett. 100, 08110 (2012).

Chae, S. J.

T. H. Seo, S. J. Chae, B. K. Kim, G. Shin, Y. H. Lee, and E.-K. Suh, Appl. Phys. Express 5, 115101 (2012).
[CrossRef]

Chang, C.-Y.

C.-H. Chiu, C.-C. Lin, P.-M. Tu, S.-C. Huang, C.-C. Tu, J.-C. Li, Z.-Y. Li, W.-Y. Uen, H.-W. Zan, T.-C. Lu, H.-C. Kuo, S.-C. Wang, and C.-Y. Chang, IEEE J. Quantum Electron. 48, 175 (2012).
[CrossRef]

Chang, S.-C.

T.-C. Lin, S.-C. Chang, and C.-F. Chiu, Mater. Sci. Eng. B 129, 39 (2006).
[CrossRef]

Chauhan, R. N.

R. N. Chauhan, C. Singh, R. S. Anand, and J. Kumar, Int. J. Photoenergy 2012, 1 (2012).
[CrossRef]

Chen, G.

H. Lu, T. Yu, G. Yuan, X. Chen, Z. Chen, G. Chen, and G. Zhang, Opt. Lett. 37, 17 (2012).

Chen, X.

H. Lu, T. Yu, G. Yuan, X. Chen, Z. Chen, G. Chen, and G. Zhang, Opt. Lett. 37, 17 (2012).

Chen, Y.

Z. Liu, G. Liu, H. Zhou, X. Liu, K. Huang, Y. Chen, and G. Fu, Nanotechnology 24, 155203 (2013).
[CrossRef]

Chen, Z.

H. Lu, T. Yu, G. Yuan, X. Chen, Z. Chen, G. Chen, and G. Zhang, Opt. Lett. 37, 17 (2012).

Chiu, C.-F.

T.-C. Lin, S.-C. Chang, and C.-F. Chiu, Mater. Sci. Eng. B 129, 39 (2006).
[CrossRef]

Chiu, C.-H.

C.-H. Chiu, C.-C. Lin, P.-M. Tu, S.-C. Huang, C.-C. Tu, J.-C. Li, Z.-Y. Li, W.-Y. Uen, H.-W. Zan, T.-C. Lu, H.-C. Kuo, S.-C. Wang, and C.-Y. Chang, IEEE J. Quantum Electron. 48, 175 (2012).
[CrossRef]

Choi, J. I.

J. Mckittrick, M. E. Hannah, A. Piquette, J. K. Han, J. I. Choi, M. Anc, M. Galvez, H. Lugauer, J. B. Talbot, and K. C. Mishra, ECS J. Solid State Sci. Technol. 2, R3119 (2012).

Choi, K. H.

K. H. Choi, J. Y. Kim, Y. S. Lee, and H. J. Kim, Thin Solid Films 341, 152 (1999).
[CrossRef]

Choi, Y.-Y.

Y.-Y. Choi, H.-K. Kim, H.-W. Koo, T.-W. Kim, and S.-N. Lee, J. Vac. Sci. Technol. A 29, 061502 (2011).
[CrossRef]

Chrisey, D. B.

H. Kim, C. M. Gilmore, A. Pique, J. S. Horwitz, H. Murata, Z. H. Kafafi, and D. B. Chrisey, J. Appl. Phys. 86, 11 (1999).

Diplas, S.

S. Diplas, A. Ulyashin, K. Maknys, A. E. Gunnaes, S. Jorgensen, D. Wright, J. F. Watts, A. Olsen, and T. G. Finstad, Thin Solid Films 515, 8539 (2007).
[CrossRef]

Eddy, C. R.

B.-J. Kim, C. Lee, Y. Jung, K. H. Baik, M. A. Mastro, J. K. Hite, C. R. Eddy, and J. Kim, Appl. Phys. Lett. 99, 143101 (2011).
[CrossRef]

Ehrenreich, H.

H. Ehrenreich and H. R. Philipp, Phys. Rev. 128, 1622 (1962).
[CrossRef]

Finstad, T. G.

S. Diplas, A. Ulyashin, K. Maknys, A. E. Gunnaes, S. Jorgensen, D. Wright, J. F. Watts, A. Olsen, and T. G. Finstad, Thin Solid Films 515, 8539 (2007).
[CrossRef]

Fu, G.

Z. Liu, G. Liu, H. Zhou, X. Liu, K. Huang, Y. Chen, and G. Fu, Nanotechnology 24, 155203 (2013).
[CrossRef]

Galvez, M.

J. Mckittrick, M. E. Hannah, A. Piquette, J. K. Han, J. I. Choi, M. Anc, M. Galvez, H. Lugauer, J. B. Talbot, and K. C. Mishra, ECS J. Solid State Sci. Technol. 2, R3119 (2012).

Gilmore, C. M.

H. Kim, C. M. Gilmore, A. Pique, J. S. Horwitz, H. Murata, Z. H. Kafafi, and D. B. Chrisey, J. Appl. Phys. 86, 11 (1999).

Girtan, M.

M. Girtan, Solar Energy Mater. Solar Cells 100, 153 (2012).

Granqvist, C. G.

C. G. Granqvist, Adv. Mater. 15, 1789 (2003).
[CrossRef]

Grigorovici, R.

J. Tauc, R. Grigorovici, and A. Vancu, Phys. Status Solidi 15, 627 (1966).
[CrossRef]

Gunnaes, A. E.

S. Diplas, A. Ulyashin, K. Maknys, A. E. Gunnaes, S. Jorgensen, D. Wright, J. F. Watts, A. Olsen, and T. G. Finstad, Thin Solid Films 515, 8539 (2007).
[CrossRef]

Haacke, G.

G. Haacke, J. Appl. Phys. 47, 4086 (1976).
[CrossRef]

Han, H.

H. Han, J. W. Mayer, and T. L. Alford, J. Appl. Phys. 100, 083715 (2006).
[CrossRef]

Han, J. K.

J. Mckittrick, M. E. Hannah, A. Piquette, J. K. Han, J. I. Choi, M. Anc, M. Galvez, H. Lugauer, J. B. Talbot, and K. C. Mishra, ECS J. Solid State Sci. Technol. 2, R3119 (2012).

Hannah, M. E.

J. Mckittrick, M. E. Hannah, A. Piquette, J. K. Han, J. I. Choi, M. Anc, M. Galvez, H. Lugauer, J. B. Talbot, and K. C. Mishra, ECS J. Solid State Sci. Technol. 2, R3119 (2012).

He, Q.

Z. Song, Q. He, S. Xiao, and L. Zhou, Appl. Phys. Lett. 101, 181110 (2012).
[CrossRef]

Hite, J. K.

B.-J. Kim, C. Lee, Y. Jung, K. H. Baik, M. A. Mastro, J. K. Hite, C. R. Eddy, and J. Kim, Appl. Phys. Lett. 99, 143101 (2011).
[CrossRef]

Hong, C. H.

Y. J. Jo, C. H. Hong, and J. S. Kwak, Curr. Appl. Phys. 11, S143 (2011).
[CrossRef]

Hong, S. M.

H.-D. Kim, H.-M. An, S. M. Hong, and T. G. Kim, Semicond. Sci. Technol. 27, 125020 (2012).
[CrossRef]

Horwitz, J. S.

H. Kim, C. M. Gilmore, A. Pique, J. S. Horwitz, H. Murata, Z. H. Kafafi, and D. B. Chrisey, J. Appl. Phys. 86, 11 (1999).

Huang, K.

Z. Liu, G. Liu, H. Zhou, X. Liu, K. Huang, Y. Chen, and G. Fu, Nanotechnology 24, 155203 (2013).
[CrossRef]

Huang, S.-C.

C.-H. Chiu, C.-C. Lin, P.-M. Tu, S.-C. Huang, C.-C. Tu, J.-C. Li, Z.-Y. Li, W.-Y. Uen, H.-W. Zan, T.-C. Lu, H.-C. Kuo, S.-C. Wang, and C.-Y. Chang, IEEE J. Quantum Electron. 48, 175 (2012).
[CrossRef]

Jayaraj, M. K.

M. Nisha, S. Anusha, A. Antony, R. Manoj, and M. K. Jayaraj, Appl. Surf. Sci. 252, 1430 (2005).
[CrossRef]

Jeong, S.-Y.

S.-Y. Jung, K. H. Kim, S.-Y. Jeong, J. Moon, S. Y. Lee, J.-O. Song, Y. T. Byun, and T. Y. Seong, Electrochem. Solid-State Lett. 13, H33 (2010).
[CrossRef]

Jo, Y. J.

Y. J. Jo, C. H. Hong, and J. S. Kwak, Curr. Appl. Phys. 11, S143 (2011).
[CrossRef]

Jorgensen, S.

S. Diplas, A. Ulyashin, K. Maknys, A. E. Gunnaes, S. Jorgensen, D. Wright, J. F. Watts, A. Olsen, and T. G. Finstad, Thin Solid Films 515, 8539 (2007).
[CrossRef]

Jung, S.-Y.

S.-Y. Jung, K. H. Kim, S.-Y. Jeong, J. Moon, S. Y. Lee, J.-O. Song, Y. T. Byun, and T. Y. Seong, Electrochem. Solid-State Lett. 13, H33 (2010).
[CrossRef]

Jung, Y.

B.-J. Kim, C. Lee, Y. Jung, K. H. Baik, M. A. Mastro, J. K. Hite, C. R. Eddy, and J. Kim, Appl. Phys. Lett. 99, 143101 (2011).
[CrossRef]

Kafafi, Z. H.

H. Kim, C. M. Gilmore, A. Pique, J. S. Horwitz, H. Murata, Z. H. Kafafi, and D. B. Chrisey, J. Appl. Phys. 86, 11 (1999).

Kamalasanan, M. N.

Kim, B. K.

T. H. Seo, S. J. Chae, B. K. Kim, G. Shin, Y. H. Lee, and E.-K. Suh, Appl. Phys. Express 5, 115101 (2012).
[CrossRef]

Kim, B.-J.

B.-J. Kim, C. Lee, Y. Jung, K. H. Baik, M. A. Mastro, J. K. Hite, C. R. Eddy, and J. Kim, Appl. Phys. Lett. 99, 143101 (2011).
[CrossRef]

Kim, D. Y.

D. J. Chae, D. Y. Kim, T. G. Kim, Y. M. Sung, and M. D. Kim, Appl. Phys. Lett. 100, 08110 (2012).

Kim, H.

H. Kim, C. M. Gilmore, A. Pique, J. S. Horwitz, H. Murata, Z. H. Kafafi, and D. B. Chrisey, J. Appl. Phys. 86, 11 (1999).

Kim, H. J.

K. H. Choi, J. Y. Kim, Y. S. Lee, and H. J. Kim, Thin Solid Films 341, 152 (1999).
[CrossRef]

Kim, H.-D.

H.-D. Kim, H.-M. An, S. M. Hong, and T. G. Kim, Semicond. Sci. Technol. 27, 125020 (2012).
[CrossRef]

Kim, H.-K.

Y.-Y. Choi, H.-K. Kim, H.-W. Koo, T.-W. Kim, and S.-N. Lee, J. Vac. Sci. Technol. A 29, 061502 (2011).
[CrossRef]

Kim, J.

B.-J. Kim, C. Lee, Y. Jung, K. H. Baik, M. A. Mastro, J. K. Hite, C. R. Eddy, and J. Kim, Appl. Phys. Lett. 99, 143101 (2011).
[CrossRef]

Kim, J. Y.

K. H. Choi, J. Y. Kim, Y. S. Lee, and H. J. Kim, Thin Solid Films 341, 152 (1999).
[CrossRef]

Kim, K. H.

S.-Y. Jung, K. H. Kim, S.-Y. Jeong, J. Moon, S. Y. Lee, J.-O. Song, Y. T. Byun, and T. Y. Seong, Electrochem. Solid-State Lett. 13, H33 (2010).
[CrossRef]

Kim, M. D.

D. J. Chae, D. Y. Kim, T. G. Kim, Y. M. Sung, and M. D. Kim, Appl. Phys. Lett. 100, 08110 (2012).

Kim, T. G.

D. J. Chae, D. Y. Kim, T. G. Kim, Y. M. Sung, and M. D. Kim, Appl. Phys. Lett. 100, 08110 (2012).

H.-D. Kim, H.-M. An, S. M. Hong, and T. G. Kim, Semicond. Sci. Technol. 27, 125020 (2012).
[CrossRef]

Kim, T.-W.

Y.-Y. Choi, H.-K. Kim, H.-W. Koo, T.-W. Kim, and S.-N. Lee, J. Vac. Sci. Technol. A 29, 061502 (2011).
[CrossRef]

Koo, H.-W.

Y.-Y. Choi, H.-K. Kim, H.-W. Koo, T.-W. Kim, and S.-N. Lee, J. Vac. Sci. Technol. A 29, 061502 (2011).
[CrossRef]

Kumar, A.

Kumar, J.

R. N. Chauhan, C. Singh, R. S. Anand, and J. Kumar, Int. J. Photoenergy 2012, 1 (2012).
[CrossRef]

Kuo, H.-C.

C.-H. Chiu, C.-C. Lin, P.-M. Tu, S.-C. Huang, C.-C. Tu, J.-C. Li, Z.-Y. Li, W.-Y. Uen, H.-W. Zan, T.-C. Lu, H.-C. Kuo, S.-C. Wang, and C.-Y. Chang, IEEE J. Quantum Electron. 48, 175 (2012).
[CrossRef]

Kwak, J. S.

Y. J. Jo, C. H. Hong, and J. S. Kwak, Curr. Appl. Phys. 11, S143 (2011).
[CrossRef]

Lee, C.

B.-J. Kim, C. Lee, Y. Jung, K. H. Baik, M. A. Mastro, J. K. Hite, C. R. Eddy, and J. Kim, Appl. Phys. Lett. 99, 143101 (2011).
[CrossRef]

Lee, S. Y.

S.-Y. Jung, K. H. Kim, S.-Y. Jeong, J. Moon, S. Y. Lee, J.-O. Song, Y. T. Byun, and T. Y. Seong, Electrochem. Solid-State Lett. 13, H33 (2010).
[CrossRef]

Lee, S.-N.

Y.-Y. Choi, H.-K. Kim, H.-W. Koo, T.-W. Kim, and S.-N. Lee, J. Vac. Sci. Technol. A 29, 061502 (2011).
[CrossRef]

Lee, Y. H.

T. H. Seo, S. J. Chae, B. K. Kim, G. Shin, Y. H. Lee, and E.-K. Suh, Appl. Phys. Express 5, 115101 (2012).
[CrossRef]

Lee, Y. S.

K. H. Choi, J. Y. Kim, Y. S. Lee, and H. J. Kim, Thin Solid Films 341, 152 (1999).
[CrossRef]

Li, J.-C.

C.-H. Chiu, C.-C. Lin, P.-M. Tu, S.-C. Huang, C.-C. Tu, J.-C. Li, Z.-Y. Li, W.-Y. Uen, H.-W. Zan, T.-C. Lu, H.-C. Kuo, S.-C. Wang, and C.-Y. Chang, IEEE J. Quantum Electron. 48, 175 (2012).
[CrossRef]

Li, Z.-Y.

C.-H. Chiu, C.-C. Lin, P.-M. Tu, S.-C. Huang, C.-C. Tu, J.-C. Li, Z.-Y. Li, W.-Y. Uen, H.-W. Zan, T.-C. Lu, H.-C. Kuo, S.-C. Wang, and C.-Y. Chang, IEEE J. Quantum Electron. 48, 175 (2012).
[CrossRef]

Lin, C.-C.

C.-H. Chiu, C.-C. Lin, P.-M. Tu, S.-C. Huang, C.-C. Tu, J.-C. Li, Z.-Y. Li, W.-Y. Uen, H.-W. Zan, T.-C. Lu, H.-C. Kuo, S.-C. Wang, and C.-Y. Chang, IEEE J. Quantum Electron. 48, 175 (2012).
[CrossRef]

Lin, T.-C.

T.-C. Lin, S.-C. Chang, and C.-F. Chiu, Mater. Sci. Eng. B 129, 39 (2006).
[CrossRef]

Liu, G.

Z. Liu, G. Liu, H. Zhou, X. Liu, K. Huang, Y. Chen, and G. Fu, Nanotechnology 24, 155203 (2013).
[CrossRef]

Liu, X.

Z. Liu, G. Liu, H. Zhou, X. Liu, K. Huang, Y. Chen, and G. Fu, Nanotechnology 24, 155203 (2013).
[CrossRef]

Liu, Z.

Z. Liu, G. Liu, H. Zhou, X. Liu, K. Huang, Y. Chen, and G. Fu, Nanotechnology 24, 155203 (2013).
[CrossRef]

Lu, H.

H. Lu, T. Yu, G. Yuan, X. Chen, Z. Chen, G. Chen, and G. Zhang, Opt. Lett. 37, 17 (2012).

Lu, T.-C.

C.-H. Chiu, C.-C. Lin, P.-M. Tu, S.-C. Huang, C.-C. Tu, J.-C. Li, Z.-Y. Li, W.-Y. Uen, H.-W. Zan, T.-C. Lu, H.-C. Kuo, S.-C. Wang, and C.-Y. Chang, IEEE J. Quantum Electron. 48, 175 (2012).
[CrossRef]

Lugauer, H.

J. Mckittrick, M. E. Hannah, A. Piquette, J. K. Han, J. I. Choi, M. Anc, M. Galvez, H. Lugauer, J. B. Talbot, and K. C. Mishra, ECS J. Solid State Sci. Technol. 2, R3119 (2012).

Maknys, K.

S. Diplas, A. Ulyashin, K. Maknys, A. E. Gunnaes, S. Jorgensen, D. Wright, J. F. Watts, A. Olsen, and T. G. Finstad, Thin Solid Films 515, 8539 (2007).
[CrossRef]

Manoj, R.

M. Nisha, S. Anusha, A. Antony, R. Manoj, and M. K. Jayaraj, Appl. Surf. Sci. 252, 1430 (2005).
[CrossRef]

Mastro, M. A.

B.-J. Kim, C. Lee, Y. Jung, K. H. Baik, M. A. Mastro, J. K. Hite, C. R. Eddy, and J. Kim, Appl. Phys. Lett. 99, 143101 (2011).
[CrossRef]

Mayer, J. W.

H. Han, J. W. Mayer, and T. L. Alford, J. Appl. Phys. 100, 083715 (2006).
[CrossRef]

Mckittrick, J.

J. Mckittrick, M. E. Hannah, A. Piquette, J. K. Han, J. I. Choi, M. Anc, M. Galvez, H. Lugauer, J. B. Talbot, and K. C. Mishra, ECS J. Solid State Sci. Technol. 2, R3119 (2012).

Mehta, D. S.

Mishra, K. C.

J. Mckittrick, M. E. Hannah, A. Piquette, J. K. Han, J. I. Choi, M. Anc, M. Galvez, H. Lugauer, J. B. Talbot, and K. C. Mishra, ECS J. Solid State Sci. Technol. 2, R3119 (2012).

Moon, J.

S.-Y. Jung, K. H. Kim, S.-Y. Jeong, J. Moon, S. Y. Lee, J.-O. Song, Y. T. Byun, and T. Y. Seong, Electrochem. Solid-State Lett. 13, H33 (2010).
[CrossRef]

Murata, H.

H. Kim, C. M. Gilmore, A. Pique, J. S. Horwitz, H. Murata, Z. H. Kafafi, and D. B. Chrisey, J. Appl. Phys. 86, 11 (1999).

Nisha, M.

M. Nisha, S. Anusha, A. Antony, R. Manoj, and M. K. Jayaraj, Appl. Surf. Sci. 252, 1430 (2005).
[CrossRef]

Olsen, A.

S. Diplas, A. Ulyashin, K. Maknys, A. E. Gunnaes, S. Jorgensen, D. Wright, J. F. Watts, A. Olsen, and T. G. Finstad, Thin Solid Films 515, 8539 (2007).
[CrossRef]

Ozyuzer, L.

O. Tuna, Y. Selamet, G. Aygun, and L. Ozyuzer, J. Phys. D 43, 055402 (2010).
[CrossRef]

Philipp, H. R.

H. Ehrenreich and H. R. Philipp, Phys. Rev. 128, 1622 (1962).
[CrossRef]

Pique, A.

H. Kim, C. M. Gilmore, A. Pique, J. S. Horwitz, H. Murata, Z. H. Kafafi, and D. B. Chrisey, J. Appl. Phys. 86, 11 (1999).

Piquette, A.

J. Mckittrick, M. E. Hannah, A. Piquette, J. K. Han, J. I. Choi, M. Anc, M. Galvez, H. Lugauer, J. B. Talbot, and K. C. Mishra, ECS J. Solid State Sci. Technol. 2, R3119 (2012).

Selamet, Y.

O. Tuna, Y. Selamet, G. Aygun, and L. Ozyuzer, J. Phys. D 43, 055402 (2010).
[CrossRef]

Seo, T. H.

T. H. Seo, S. J. Chae, B. K. Kim, G. Shin, Y. H. Lee, and E.-K. Suh, Appl. Phys. Express 5, 115101 (2012).
[CrossRef]

Seong, T. Y.

S.-Y. Jung, K. H. Kim, S.-Y. Jeong, J. Moon, S. Y. Lee, J.-O. Song, Y. T. Byun, and T. Y. Seong, Electrochem. Solid-State Lett. 13, H33 (2010).
[CrossRef]

Seong, T.-Y.

J.-O. Song and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 85, 6374 (2004).
[CrossRef]

Shin, G.

T. H. Seo, S. J. Chae, B. K. Kim, G. Shin, Y. H. Lee, and E.-K. Suh, Appl. Phys. Express 5, 115101 (2012).
[CrossRef]

Singh, C.

R. N. Chauhan, C. Singh, R. S. Anand, and J. Kumar, Int. J. Photoenergy 2012, 1 (2012).
[CrossRef]

Song, J.-O.

S.-Y. Jung, K. H. Kim, S.-Y. Jeong, J. Moon, S. Y. Lee, J.-O. Song, Y. T. Byun, and T. Y. Seong, Electrochem. Solid-State Lett. 13, H33 (2010).
[CrossRef]

J.-O. Song and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 85, 6374 (2004).
[CrossRef]

Song, Z.

Z. Song, Q. He, S. Xiao, and L. Zhou, Appl. Phys. Lett. 101, 181110 (2012).
[CrossRef]

Srivastave, R.

Subrahmanyam, A.

N. Balasubramanian and A. Subrahmanyam, J. Phys. D 22, 206 (1989).
[CrossRef]

Suh, E.-K.

T. H. Seo, S. J. Chae, B. K. Kim, G. Shin, Y. H. Lee, and E.-K. Suh, Appl. Phys. Express 5, 115101 (2012).
[CrossRef]

Sung, Y. M.

D. J. Chae, D. Y. Kim, T. G. Kim, Y. M. Sung, and M. D. Kim, Appl. Phys. Lett. 100, 08110 (2012).

Talbot, J. B.

J. Mckittrick, M. E. Hannah, A. Piquette, J. K. Han, J. I. Choi, M. Anc, M. Galvez, H. Lugauer, J. B. Talbot, and K. C. Mishra, ECS J. Solid State Sci. Technol. 2, R3119 (2012).

Tauc, J.

J. Tauc, R. Grigorovici, and A. Vancu, Phys. Status Solidi 15, 627 (1966).
[CrossRef]

Tu, C.-C.

C.-H. Chiu, C.-C. Lin, P.-M. Tu, S.-C. Huang, C.-C. Tu, J.-C. Li, Z.-Y. Li, W.-Y. Uen, H.-W. Zan, T.-C. Lu, H.-C. Kuo, S.-C. Wang, and C.-Y. Chang, IEEE J. Quantum Electron. 48, 175 (2012).
[CrossRef]

Tu, P.-M.

C.-H. Chiu, C.-C. Lin, P.-M. Tu, S.-C. Huang, C.-C. Tu, J.-C. Li, Z.-Y. Li, W.-Y. Uen, H.-W. Zan, T.-C. Lu, H.-C. Kuo, S.-C. Wang, and C.-Y. Chang, IEEE J. Quantum Electron. 48, 175 (2012).
[CrossRef]

Tuna, O.

O. Tuna, Y. Selamet, G. Aygun, and L. Ozyuzer, J. Phys. D 43, 055402 (2010).
[CrossRef]

Uen, W.-Y.

C.-H. Chiu, C.-C. Lin, P.-M. Tu, S.-C. Huang, C.-C. Tu, J.-C. Li, Z.-Y. Li, W.-Y. Uen, H.-W. Zan, T.-C. Lu, H.-C. Kuo, S.-C. Wang, and C.-Y. Chang, IEEE J. Quantum Electron. 48, 175 (2012).
[CrossRef]

Ulyashin, A.

S. Diplas, A. Ulyashin, K. Maknys, A. E. Gunnaes, S. Jorgensen, D. Wright, J. F. Watts, A. Olsen, and T. G. Finstad, Thin Solid Films 515, 8539 (2007).
[CrossRef]

Vancu, A.

J. Tauc, R. Grigorovici, and A. Vancu, Phys. Status Solidi 15, 627 (1966).
[CrossRef]

Wang, S.-C.

C.-H. Chiu, C.-C. Lin, P.-M. Tu, S.-C. Huang, C.-C. Tu, J.-C. Li, Z.-Y. Li, W.-Y. Uen, H.-W. Zan, T.-C. Lu, H.-C. Kuo, S.-C. Wang, and C.-Y. Chang, IEEE J. Quantum Electron. 48, 175 (2012).
[CrossRef]

Watts, J. F.

S. Diplas, A. Ulyashin, K. Maknys, A. E. Gunnaes, S. Jorgensen, D. Wright, J. F. Watts, A. Olsen, and T. G. Finstad, Thin Solid Films 515, 8539 (2007).
[CrossRef]

Wright, D.

S. Diplas, A. Ulyashin, K. Maknys, A. E. Gunnaes, S. Jorgensen, D. Wright, J. F. Watts, A. Olsen, and T. G. Finstad, Thin Solid Films 515, 8539 (2007).
[CrossRef]

Xiao, S.

Z. Song, Q. He, S. Xiao, and L. Zhou, Appl. Phys. Lett. 101, 181110 (2012).
[CrossRef]

Yu, T.

H. Lu, T. Yu, G. Yuan, X. Chen, Z. Chen, G. Chen, and G. Zhang, Opt. Lett. 37, 17 (2012).

Yuan, G.

H. Lu, T. Yu, G. Yuan, X. Chen, Z. Chen, G. Chen, and G. Zhang, Opt. Lett. 37, 17 (2012).

Zan, H.-W.

C.-H. Chiu, C.-C. Lin, P.-M. Tu, S.-C. Huang, C.-C. Tu, J.-C. Li, Z.-Y. Li, W.-Y. Uen, H.-W. Zan, T.-C. Lu, H.-C. Kuo, S.-C. Wang, and C.-Y. Chang, IEEE J. Quantum Electron. 48, 175 (2012).
[CrossRef]

Zhang, G.

H. Lu, T. Yu, G. Yuan, X. Chen, Z. Chen, G. Chen, and G. Zhang, Opt. Lett. 37, 17 (2012).

Zhou, H.

Z. Liu, G. Liu, H. Zhou, X. Liu, K. Huang, Y. Chen, and G. Fu, Nanotechnology 24, 155203 (2013).
[CrossRef]

Zhou, L.

Z. Song, Q. He, S. Xiao, and L. Zhou, Appl. Phys. Lett. 101, 181110 (2012).
[CrossRef]

Adv. Mater.

C. G. Granqvist, Adv. Mater. 15, 1789 (2003).
[CrossRef]

Appl. Phys. Express

T. H. Seo, S. J. Chae, B. K. Kim, G. Shin, Y. H. Lee, and E.-K. Suh, Appl. Phys. Express 5, 115101 (2012).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett.

D. J. Chae, D. Y. Kim, T. G. Kim, Y. M. Sung, and M. D. Kim, Appl. Phys. Lett. 100, 08110 (2012).

B.-J. Kim, C. Lee, Y. Jung, K. H. Baik, M. A. Mastro, J. K. Hite, C. R. Eddy, and J. Kim, Appl. Phys. Lett. 99, 143101 (2011).
[CrossRef]

Z. Song, Q. He, S. Xiao, and L. Zhou, Appl. Phys. Lett. 101, 181110 (2012).
[CrossRef]

J.-O. Song and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 85, 6374 (2004).
[CrossRef]

Appl. Surf. Sci.

M. Nisha, S. Anusha, A. Antony, R. Manoj, and M. K. Jayaraj, Appl. Surf. Sci. 252, 1430 (2005).
[CrossRef]

Curr. Appl. Phys.

Y. J. Jo, C. H. Hong, and J. S. Kwak, Curr. Appl. Phys. 11, S143 (2011).
[CrossRef]

ECS J. Solid State Sci. Technol.

J. Mckittrick, M. E. Hannah, A. Piquette, J. K. Han, J. I. Choi, M. Anc, M. Galvez, H. Lugauer, J. B. Talbot, and K. C. Mishra, ECS J. Solid State Sci. Technol. 2, R3119 (2012).

Electrochem. Solid-State Lett.

S.-Y. Jung, K. H. Kim, S.-Y. Jeong, J. Moon, S. Y. Lee, J.-O. Song, Y. T. Byun, and T. Y. Seong, Electrochem. Solid-State Lett. 13, H33 (2010).
[CrossRef]

IEEE J. Quantum Electron.

C.-H. Chiu, C.-C. Lin, P.-M. Tu, S.-C. Huang, C.-C. Tu, J.-C. Li, Z.-Y. Li, W.-Y. Uen, H.-W. Zan, T.-C. Lu, H.-C. Kuo, S.-C. Wang, and C.-Y. Chang, IEEE J. Quantum Electron. 48, 175 (2012).
[CrossRef]

Int. J. Photoenergy

R. N. Chauhan, C. Singh, R. S. Anand, and J. Kumar, Int. J. Photoenergy 2012, 1 (2012).
[CrossRef]

J. Appl. Phys.

H. Han, J. W. Mayer, and T. L. Alford, J. Appl. Phys. 100, 083715 (2006).
[CrossRef]

G. Haacke, J. Appl. Phys. 47, 4086 (1976).
[CrossRef]

H. Kim, C. M. Gilmore, A. Pique, J. S. Horwitz, H. Murata, Z. H. Kafafi, and D. B. Chrisey, J. Appl. Phys. 86, 11 (1999).

J. Phys. D

N. Balasubramanian and A. Subrahmanyam, J. Phys. D 22, 206 (1989).
[CrossRef]

O. Tuna, Y. Selamet, G. Aygun, and L. Ozyuzer, J. Phys. D 43, 055402 (2010).
[CrossRef]

J. Vac. Sci. Technol. A

Y.-Y. Choi, H.-K. Kim, H.-W. Koo, T.-W. Kim, and S.-N. Lee, J. Vac. Sci. Technol. A 29, 061502 (2011).
[CrossRef]

Mater. Sci. Eng. B

T.-C. Lin, S.-C. Chang, and C.-F. Chiu, Mater. Sci. Eng. B 129, 39 (2006).
[CrossRef]

Nanotechnology

Z. Liu, G. Liu, H. Zhou, X. Liu, K. Huang, Y. Chen, and G. Fu, Nanotechnology 24, 155203 (2013).
[CrossRef]

Opt. Lett.

H. Lu, T. Yu, G. Yuan, X. Chen, Z. Chen, G. Chen, and G. Zhang, Opt. Lett. 37, 17 (2012).

A. Kumar, R. Srivastave, M. N. Kamalasanan, and D. S. Mehta, Opt. Lett. 37, 4 (2012).
[CrossRef]

Phys. Rev.

H. Ehrenreich and H. R. Philipp, Phys. Rev. 128, 1622 (1962).
[CrossRef]

Phys. Status Solidi

J. Tauc, R. Grigorovici, and A. Vancu, Phys. Status Solidi 15, 627 (1966).
[CrossRef]

Semicond. Sci. Technol.

H.-D. Kim, H.-M. An, S. M. Hong, and T. G. Kim, Semicond. Sci. Technol. 27, 125020 (2012).
[CrossRef]

Solar Energy Mater. Solar Cells

M. Girtan, Solar Energy Mater. Solar Cells 100, 153 (2012).

Thin Solid Films

K. H. Choi, J. Y. Kim, Y. S. Lee, and H. J. Kim, Thin Solid Films 341, 152 (1999).
[CrossRef]

S. Diplas, A. Ulyashin, K. Maknys, A. E. Gunnaes, S. Jorgensen, D. Wright, J. F. Watts, A. Olsen, and T. G. Finstad, Thin Solid Films 515, 8539 (2007).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (5)

Fig. 1.
Fig. 1.

Sheet resistance and resistivity of IAI multilayer as a function of annealing temperature.

Fig. 2.
Fig. 2.

IV characteristics of the IAI multilayer as a function of annealing temperature.

Fig. 3.
Fig. 3.

Cross-sectional TEM image in the interface region of IAI multilayer (a) before and after postannealing at (b) 500°C and (c) 700°C.

Fig. 4.
Fig. 4.

Optical transmittance spectra for IAI multilayer as a function of annealing temperature.

Fig. 5.
Fig. 5.

Plot of absorption coefficient versus photon energy, showing the Burstein–Moss effect in the IAI multilayer as a function of annealing temperature.

Equations (2)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

φTC=T10Rsh,
α(hv)(hvEg)1/2,

Metrics