Abstract

A transmission electron microscopy study of nanogratings formed in bulk amorphous silica by direct writing with an ultrafast pulsed laser with a radiation wavelength of 1030 nm and pulse duration of 560 fs is presented. The results achieved show that the nanogratings are composed of planar nanostructures with an average periodicity of 250 nm and typical thickness of about 30 nm, consisting of alternating layers of heavily damaged material and layers of material where a dense precipitation of nanocrystals occurred. The crystallization of silica to form these nanocrystals can be explained by the large pressures and temperatures reached in these regions as a result of nanoplasma formation and recombination.

© 2013 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. E. N. Glezer and E. Mazur, Appl. Phys. Lett. 71, 882 (1997).
    [CrossRef]
  2. V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. B. Corkum, D. M. Rayner, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, B. Schreder, M. Kluge, and J. Zimmer, J. Appl. Phys. 97, 083102 (2005).
    [CrossRef]
  3. E. Bricchi and P. G. Kazansky, Appl. Phys. Lett. 88, 111119 (2006).
    [CrossRef]
  4. B. Bricchi, B. G. Klappauf, and P. G. Kazansky, Opt. Lett. 29, 119 (2004).
    [CrossRef]
  5. M. Budiman, E. M. Hsu, H. K. Haugen, and G. A. Botton, Appl. Phys. A 98, 849 (2010).
    [CrossRef]
  6. C. Hnatovsky, E. Simova, P. P. Rajeev, D. M. Rayner, P. B. Corkum, and R. S. Taylor, Opt. Lett. 32, 1459 (2007).
    [CrossRef]
  7. K. Itoh, W. Watanabe, S. Nolte, and C. B. Schaffer, MRS Bull. 31, 620 (2006).
    [CrossRef]
  8. Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. R. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).
    [CrossRef]
  9. K. M. Davis, K. Miura, N. Sugimoto, and K. Hirao, Opt. Lett. 21, 1729 (1996).
    [CrossRef]
  10. P. Balling and J. Schou, Rep. Prog. Phys. 76, 036502 (2013).
    [CrossRef]
  11. L. Sudrie, M. Franco, B. Prade, and A. Mysyrewicz, Opt. Commun. 171, 279 (1999).
    [CrossRef]
  12. B. Poumellec, M. Lancry, A. Chahid-Erraji, and P. G. Kazansky, Opt. Mater. Express 1, 766 (2011).
    [CrossRef]
  13. V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
    [CrossRef]
  14. S. Richter, M. Heinrich, S. Doring, A. Tunnermann, S. Nolte, and U. Peschel, J. Laser Appl. 24, 042008 (2012).
    [CrossRef]
  15. S. Juodkazis, H. Misawa, T. Hashimoto, E. G. Gamaly, and B. Luther-Davies, Appl. Phys. Lett. 88, 201909 (2006).
    [CrossRef]
  16. E. N. Glezer, M. Milosavljevic, L. Huang, R. J. Finlay, T. H. Her, J. P. Callan, and E. Mazur, Opt. Lett. 21, 2023 (1996).
    [CrossRef]
  17. S. Juodkazis, K. Nishimura, S. Tanaka, H. Misawa, E. G. Gamaly, B. Luther-Davies, L. Hallo, P. Nicolai, and V. T. Tikhonchuk, Phys. Rev. Lett. 96, 166101 (2006).
    [CrossRef]
  18. R. Taylor, C. Hnatovsky, and E. Simova, Laser Photon. Rev. 2, 26 (2008).
    [CrossRef]
  19. J. Canning, Laser Photon. Rev. 2, 275 (2008).
    [CrossRef]
  20. P. P. Rajeev, M. Gertsvolf, C. Hnatovsky, E. Simova, R. S. Taylor, P. B. Corkum, D. M. Rayner, and V. R. Bhardwaj, J. Phys. B 40, S273 (2007).
    [CrossRef]
  21. J. Canning, M. Lancry, K. Cook, A. Weickman, F. Brisset, and B. Poumellec, Opt. Mater. Express 1, 998 (2011).
    [CrossRef]
  22. S. Richter, A. Plech, M. Steinert, M. Heinrich, S. Doring, F. Zimmermann, U. Peschel, E. B. Kley, A. Tunnermann, and S. Nolte, Laser Photon. Rev. 6, 787 (2012).
    [CrossRef]
  23. S. Richter, M. Heinrich, S. Doring, A. Tunnermann, and S. Nolte, Appl. Phys. A 104, 503 (2011).
    [CrossRef]
  24. P. Sigmund, Phys. Rev. 184, 383 (1969).
    [CrossRef]
  25. A. Salleo, S. T. Taylor, M. C. Martin, W. R. Panero, R. Jeanloz, T. Sands, and F. Y. Genin, Nat. Mater. 2, 796 (2003).
    [CrossRef]
  26. T. Mizutani, J. Non-Cryst. Solids 181, 123 (1995).
    [CrossRef]

2013 (1)

P. Balling and J. Schou, Rep. Prog. Phys. 76, 036502 (2013).
[CrossRef]

2012 (2)

S. Richter, M. Heinrich, S. Doring, A. Tunnermann, S. Nolte, and U. Peschel, J. Laser Appl. 24, 042008 (2012).
[CrossRef]

S. Richter, A. Plech, M. Steinert, M. Heinrich, S. Doring, F. Zimmermann, U. Peschel, E. B. Kley, A. Tunnermann, and S. Nolte, Laser Photon. Rev. 6, 787 (2012).
[CrossRef]

2011 (3)

2010 (1)

M. Budiman, E. M. Hsu, H. K. Haugen, and G. A. Botton, Appl. Phys. A 98, 849 (2010).
[CrossRef]

2008 (2)

R. Taylor, C. Hnatovsky, and E. Simova, Laser Photon. Rev. 2, 26 (2008).
[CrossRef]

J. Canning, Laser Photon. Rev. 2, 275 (2008).
[CrossRef]

2007 (2)

P. P. Rajeev, M. Gertsvolf, C. Hnatovsky, E. Simova, R. S. Taylor, P. B. Corkum, D. M. Rayner, and V. R. Bhardwaj, J. Phys. B 40, S273 (2007).
[CrossRef]

C. Hnatovsky, E. Simova, P. P. Rajeev, D. M. Rayner, P. B. Corkum, and R. S. Taylor, Opt. Lett. 32, 1459 (2007).
[CrossRef]

2006 (5)

K. Itoh, W. Watanabe, S. Nolte, and C. B. Schaffer, MRS Bull. 31, 620 (2006).
[CrossRef]

E. Bricchi and P. G. Kazansky, Appl. Phys. Lett. 88, 111119 (2006).
[CrossRef]

S. Juodkazis, H. Misawa, T. Hashimoto, E. G. Gamaly, and B. Luther-Davies, Appl. Phys. Lett. 88, 201909 (2006).
[CrossRef]

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
[CrossRef]

S. Juodkazis, K. Nishimura, S. Tanaka, H. Misawa, E. G. Gamaly, B. Luther-Davies, L. Hallo, P. Nicolai, and V. T. Tikhonchuk, Phys. Rev. Lett. 96, 166101 (2006).
[CrossRef]

2005 (1)

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. B. Corkum, D. M. Rayner, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, B. Schreder, M. Kluge, and J. Zimmer, J. Appl. Phys. 97, 083102 (2005).
[CrossRef]

2004 (1)

2003 (2)

Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. R. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).
[CrossRef]

A. Salleo, S. T. Taylor, M. C. Martin, W. R. Panero, R. Jeanloz, T. Sands, and F. Y. Genin, Nat. Mater. 2, 796 (2003).
[CrossRef]

1999 (1)

L. Sudrie, M. Franco, B. Prade, and A. Mysyrewicz, Opt. Commun. 171, 279 (1999).
[CrossRef]

1997 (1)

E. N. Glezer and E. Mazur, Appl. Phys. Lett. 71, 882 (1997).
[CrossRef]

1996 (2)

1995 (1)

T. Mizutani, J. Non-Cryst. Solids 181, 123 (1995).
[CrossRef]

1969 (1)

P. Sigmund, Phys. Rev. 184, 383 (1969).
[CrossRef]

Balling, P.

P. Balling and J. Schou, Rep. Prog. Phys. 76, 036502 (2013).
[CrossRef]

Bhardwaj, V. R.

P. P. Rajeev, M. Gertsvolf, C. Hnatovsky, E. Simova, R. S. Taylor, P. B. Corkum, D. M. Rayner, and V. R. Bhardwaj, J. Phys. B 40, S273 (2007).
[CrossRef]

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
[CrossRef]

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. B. Corkum, D. M. Rayner, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, B. Schreder, M. Kluge, and J. Zimmer, J. Appl. Phys. 97, 083102 (2005).
[CrossRef]

Botton, G. A.

M. Budiman, E. M. Hsu, H. K. Haugen, and G. A. Botton, Appl. Phys. A 98, 849 (2010).
[CrossRef]

Bricchi, B.

Bricchi, E.

E. Bricchi and P. G. Kazansky, Appl. Phys. Lett. 88, 111119 (2006).
[CrossRef]

Brisset, F.

Budiman, M.

M. Budiman, E. M. Hsu, H. K. Haugen, and G. A. Botton, Appl. Phys. A 98, 849 (2010).
[CrossRef]

Callan, J. P.

Canning, J.

Chahid-Erraji, A.

Cook, K.

Corkum, P. B.

P. P. Rajeev, M. Gertsvolf, C. Hnatovsky, E. Simova, R. S. Taylor, P. B. Corkum, D. M. Rayner, and V. R. Bhardwaj, J. Phys. B 40, S273 (2007).
[CrossRef]

C. Hnatovsky, E. Simova, P. P. Rajeev, D. M. Rayner, P. B. Corkum, and R. S. Taylor, Opt. Lett. 32, 1459 (2007).
[CrossRef]

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
[CrossRef]

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. B. Corkum, D. M. Rayner, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, B. Schreder, M. Kluge, and J. Zimmer, J. Appl. Phys. 97, 083102 (2005).
[CrossRef]

Davis, K. M.

Doring, S.

S. Richter, M. Heinrich, S. Doring, A. Tunnermann, S. Nolte, and U. Peschel, J. Laser Appl. 24, 042008 (2012).
[CrossRef]

S. Richter, A. Plech, M. Steinert, M. Heinrich, S. Doring, F. Zimmermann, U. Peschel, E. B. Kley, A. Tunnermann, and S. Nolte, Laser Photon. Rev. 6, 787 (2012).
[CrossRef]

S. Richter, M. Heinrich, S. Doring, A. Tunnermann, and S. Nolte, Appl. Phys. A 104, 503 (2011).
[CrossRef]

Finlay, R. J.

Franco, M.

L. Sudrie, M. Franco, B. Prade, and A. Mysyrewicz, Opt. Commun. 171, 279 (1999).
[CrossRef]

Gamaly, E. G.

S. Juodkazis, H. Misawa, T. Hashimoto, E. G. Gamaly, and B. Luther-Davies, Appl. Phys. Lett. 88, 201909 (2006).
[CrossRef]

S. Juodkazis, K. Nishimura, S. Tanaka, H. Misawa, E. G. Gamaly, B. Luther-Davies, L. Hallo, P. Nicolai, and V. T. Tikhonchuk, Phys. Rev. Lett. 96, 166101 (2006).
[CrossRef]

Genin, F. Y.

A. Salleo, S. T. Taylor, M. C. Martin, W. R. Panero, R. Jeanloz, T. Sands, and F. Y. Genin, Nat. Mater. 2, 796 (2003).
[CrossRef]

Gertsvolf, M.

P. P. Rajeev, M. Gertsvolf, C. Hnatovsky, E. Simova, R. S. Taylor, P. B. Corkum, D. M. Rayner, and V. R. Bhardwaj, J. Phys. B 40, S273 (2007).
[CrossRef]

Glezer, E. N.

Hallo, L.

S. Juodkazis, K. Nishimura, S. Tanaka, H. Misawa, E. G. Gamaly, B. Luther-Davies, L. Hallo, P. Nicolai, and V. T. Tikhonchuk, Phys. Rev. Lett. 96, 166101 (2006).
[CrossRef]

Hashimoto, T.

S. Juodkazis, H. Misawa, T. Hashimoto, E. G. Gamaly, and B. Luther-Davies, Appl. Phys. Lett. 88, 201909 (2006).
[CrossRef]

Haugen, H. K.

M. Budiman, E. M. Hsu, H. K. Haugen, and G. A. Botton, Appl. Phys. A 98, 849 (2010).
[CrossRef]

Heinrich, M.

S. Richter, M. Heinrich, S. Doring, A. Tunnermann, S. Nolte, and U. Peschel, J. Laser Appl. 24, 042008 (2012).
[CrossRef]

S. Richter, A. Plech, M. Steinert, M. Heinrich, S. Doring, F. Zimmermann, U. Peschel, E. B. Kley, A. Tunnermann, and S. Nolte, Laser Photon. Rev. 6, 787 (2012).
[CrossRef]

S. Richter, M. Heinrich, S. Doring, A. Tunnermann, and S. Nolte, Appl. Phys. A 104, 503 (2011).
[CrossRef]

Her, T. H.

Hirao, K.

Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. R. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).
[CrossRef]

K. M. Davis, K. Miura, N. Sugimoto, and K. Hirao, Opt. Lett. 21, 1729 (1996).
[CrossRef]

Hnatovsky, C.

R. Taylor, C. Hnatovsky, and E. Simova, Laser Photon. Rev. 2, 26 (2008).
[CrossRef]

P. P. Rajeev, M. Gertsvolf, C. Hnatovsky, E. Simova, R. S. Taylor, P. B. Corkum, D. M. Rayner, and V. R. Bhardwaj, J. Phys. B 40, S273 (2007).
[CrossRef]

C. Hnatovsky, E. Simova, P. P. Rajeev, D. M. Rayner, P. B. Corkum, and R. S. Taylor, Opt. Lett. 32, 1459 (2007).
[CrossRef]

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
[CrossRef]

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. B. Corkum, D. M. Rayner, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, B. Schreder, M. Kluge, and J. Zimmer, J. Appl. Phys. 97, 083102 (2005).
[CrossRef]

Hsu, E. M.

M. Budiman, E. M. Hsu, H. K. Haugen, and G. A. Botton, Appl. Phys. A 98, 849 (2010).
[CrossRef]

Huang, L.

Itoh, K.

K. Itoh, W. Watanabe, S. Nolte, and C. B. Schaffer, MRS Bull. 31, 620 (2006).
[CrossRef]

Jeanloz, R.

A. Salleo, S. T. Taylor, M. C. Martin, W. R. Panero, R. Jeanloz, T. Sands, and F. Y. Genin, Nat. Mater. 2, 796 (2003).
[CrossRef]

Juodkazis, S.

S. Juodkazis, K. Nishimura, S. Tanaka, H. Misawa, E. G. Gamaly, B. Luther-Davies, L. Hallo, P. Nicolai, and V. T. Tikhonchuk, Phys. Rev. Lett. 96, 166101 (2006).
[CrossRef]

S. Juodkazis, H. Misawa, T. Hashimoto, E. G. Gamaly, and B. Luther-Davies, Appl. Phys. Lett. 88, 201909 (2006).
[CrossRef]

Kazansky, P. G.

B. Poumellec, M. Lancry, A. Chahid-Erraji, and P. G. Kazansky, Opt. Mater. Express 1, 766 (2011).
[CrossRef]

E. Bricchi and P. G. Kazansky, Appl. Phys. Lett. 88, 111119 (2006).
[CrossRef]

B. Bricchi, B. G. Klappauf, and P. G. Kazansky, Opt. Lett. 29, 119 (2004).
[CrossRef]

Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. R. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).
[CrossRef]

Klappauf, B. G.

Kley, E. B.

S. Richter, A. Plech, M. Steinert, M. Heinrich, S. Doring, F. Zimmermann, U. Peschel, E. B. Kley, A. Tunnermann, and S. Nolte, Laser Photon. Rev. 6, 787 (2012).
[CrossRef]

Kluge, M.

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. B. Corkum, D. M. Rayner, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, B. Schreder, M. Kluge, and J. Zimmer, J. Appl. Phys. 97, 083102 (2005).
[CrossRef]

Lancry, M.

Luther-Davies, B.

S. Juodkazis, K. Nishimura, S. Tanaka, H. Misawa, E. G. Gamaly, B. Luther-Davies, L. Hallo, P. Nicolai, and V. T. Tikhonchuk, Phys. Rev. Lett. 96, 166101 (2006).
[CrossRef]

S. Juodkazis, H. Misawa, T. Hashimoto, E. G. Gamaly, and B. Luther-Davies, Appl. Phys. Lett. 88, 201909 (2006).
[CrossRef]

Martin, M. C.

A. Salleo, S. T. Taylor, M. C. Martin, W. R. Panero, R. Jeanloz, T. Sands, and F. Y. Genin, Nat. Mater. 2, 796 (2003).
[CrossRef]

Mazur, E.

Milosavljevic, M.

Misawa, H.

S. Juodkazis, H. Misawa, T. Hashimoto, E. G. Gamaly, and B. Luther-Davies, Appl. Phys. Lett. 88, 201909 (2006).
[CrossRef]

S. Juodkazis, K. Nishimura, S. Tanaka, H. Misawa, E. G. Gamaly, B. Luther-Davies, L. Hallo, P. Nicolai, and V. T. Tikhonchuk, Phys. Rev. Lett. 96, 166101 (2006).
[CrossRef]

Miura, K.

Mizutani, T.

T. Mizutani, J. Non-Cryst. Solids 181, 123 (1995).
[CrossRef]

Mysyrewicz, A.

L. Sudrie, M. Franco, B. Prade, and A. Mysyrewicz, Opt. Commun. 171, 279 (1999).
[CrossRef]

Nicolai, P.

S. Juodkazis, K. Nishimura, S. Tanaka, H. Misawa, E. G. Gamaly, B. Luther-Davies, L. Hallo, P. Nicolai, and V. T. Tikhonchuk, Phys. Rev. Lett. 96, 166101 (2006).
[CrossRef]

Nishimura, K.

S. Juodkazis, K. Nishimura, S. Tanaka, H. Misawa, E. G. Gamaly, B. Luther-Davies, L. Hallo, P. Nicolai, and V. T. Tikhonchuk, Phys. Rev. Lett. 96, 166101 (2006).
[CrossRef]

Nolte, S.

S. Richter, A. Plech, M. Steinert, M. Heinrich, S. Doring, F. Zimmermann, U. Peschel, E. B. Kley, A. Tunnermann, and S. Nolte, Laser Photon. Rev. 6, 787 (2012).
[CrossRef]

S. Richter, M. Heinrich, S. Doring, A. Tunnermann, S. Nolte, and U. Peschel, J. Laser Appl. 24, 042008 (2012).
[CrossRef]

S. Richter, M. Heinrich, S. Doring, A. Tunnermann, and S. Nolte, Appl. Phys. A 104, 503 (2011).
[CrossRef]

K. Itoh, W. Watanabe, S. Nolte, and C. B. Schaffer, MRS Bull. 31, 620 (2006).
[CrossRef]

Panero, W. R.

A. Salleo, S. T. Taylor, M. C. Martin, W. R. Panero, R. Jeanloz, T. Sands, and F. Y. Genin, Nat. Mater. 2, 796 (2003).
[CrossRef]

Peschel, U.

S. Richter, A. Plech, M. Steinert, M. Heinrich, S. Doring, F. Zimmermann, U. Peschel, E. B. Kley, A. Tunnermann, and S. Nolte, Laser Photon. Rev. 6, 787 (2012).
[CrossRef]

S. Richter, M. Heinrich, S. Doring, A. Tunnermann, S. Nolte, and U. Peschel, J. Laser Appl. 24, 042008 (2012).
[CrossRef]

Plech, A.

S. Richter, A. Plech, M. Steinert, M. Heinrich, S. Doring, F. Zimmermann, U. Peschel, E. B. Kley, A. Tunnermann, and S. Nolte, Laser Photon. Rev. 6, 787 (2012).
[CrossRef]

Poumellec, B.

Prade, B.

L. Sudrie, M. Franco, B. Prade, and A. Mysyrewicz, Opt. Commun. 171, 279 (1999).
[CrossRef]

Qiu, J. R.

Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. R. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).
[CrossRef]

Rajeev, P. P.

C. Hnatovsky, E. Simova, P. P. Rajeev, D. M. Rayner, P. B. Corkum, and R. S. Taylor, Opt. Lett. 32, 1459 (2007).
[CrossRef]

P. P. Rajeev, M. Gertsvolf, C. Hnatovsky, E. Simova, R. S. Taylor, P. B. Corkum, D. M. Rayner, and V. R. Bhardwaj, J. Phys. B 40, S273 (2007).
[CrossRef]

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
[CrossRef]

Rayner, D. M.

C. Hnatovsky, E. Simova, P. P. Rajeev, D. M. Rayner, P. B. Corkum, and R. S. Taylor, Opt. Lett. 32, 1459 (2007).
[CrossRef]

P. P. Rajeev, M. Gertsvolf, C. Hnatovsky, E. Simova, R. S. Taylor, P. B. Corkum, D. M. Rayner, and V. R. Bhardwaj, J. Phys. B 40, S273 (2007).
[CrossRef]

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
[CrossRef]

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. B. Corkum, D. M. Rayner, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, B. Schreder, M. Kluge, and J. Zimmer, J. Appl. Phys. 97, 083102 (2005).
[CrossRef]

Richter, S.

S. Richter, M. Heinrich, S. Doring, A. Tunnermann, S. Nolte, and U. Peschel, J. Laser Appl. 24, 042008 (2012).
[CrossRef]

S. Richter, A. Plech, M. Steinert, M. Heinrich, S. Doring, F. Zimmermann, U. Peschel, E. B. Kley, A. Tunnermann, and S. Nolte, Laser Photon. Rev. 6, 787 (2012).
[CrossRef]

S. Richter, M. Heinrich, S. Doring, A. Tunnermann, and S. Nolte, Appl. Phys. A 104, 503 (2011).
[CrossRef]

Salleo, A.

A. Salleo, S. T. Taylor, M. C. Martin, W. R. Panero, R. Jeanloz, T. Sands, and F. Y. Genin, Nat. Mater. 2, 796 (2003).
[CrossRef]

Sands, T.

A. Salleo, S. T. Taylor, M. C. Martin, W. R. Panero, R. Jeanloz, T. Sands, and F. Y. Genin, Nat. Mater. 2, 796 (2003).
[CrossRef]

Schaffer, C. B.

K. Itoh, W. Watanabe, S. Nolte, and C. B. Schaffer, MRS Bull. 31, 620 (2006).
[CrossRef]

Schou, J.

P. Balling and J. Schou, Rep. Prog. Phys. 76, 036502 (2013).
[CrossRef]

Schreder, B.

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. B. Corkum, D. M. Rayner, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, B. Schreder, M. Kluge, and J. Zimmer, J. Appl. Phys. 97, 083102 (2005).
[CrossRef]

Shimotsuma, Y.

Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. R. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).
[CrossRef]

Sigmund, P.

P. Sigmund, Phys. Rev. 184, 383 (1969).
[CrossRef]

Simova, E.

R. Taylor, C. Hnatovsky, and E. Simova, Laser Photon. Rev. 2, 26 (2008).
[CrossRef]

P. P. Rajeev, M. Gertsvolf, C. Hnatovsky, E. Simova, R. S. Taylor, P. B. Corkum, D. M. Rayner, and V. R. Bhardwaj, J. Phys. B 40, S273 (2007).
[CrossRef]

C. Hnatovsky, E. Simova, P. P. Rajeev, D. M. Rayner, P. B. Corkum, and R. S. Taylor, Opt. Lett. 32, 1459 (2007).
[CrossRef]

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
[CrossRef]

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. B. Corkum, D. M. Rayner, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, B. Schreder, M. Kluge, and J. Zimmer, J. Appl. Phys. 97, 083102 (2005).
[CrossRef]

Steinert, M.

S. Richter, A. Plech, M. Steinert, M. Heinrich, S. Doring, F. Zimmermann, U. Peschel, E. B. Kley, A. Tunnermann, and S. Nolte, Laser Photon. Rev. 6, 787 (2012).
[CrossRef]

Sudrie, L.

L. Sudrie, M. Franco, B. Prade, and A. Mysyrewicz, Opt. Commun. 171, 279 (1999).
[CrossRef]

Sugimoto, N.

Tanaka, S.

S. Juodkazis, K. Nishimura, S. Tanaka, H. Misawa, E. G. Gamaly, B. Luther-Davies, L. Hallo, P. Nicolai, and V. T. Tikhonchuk, Phys. Rev. Lett. 96, 166101 (2006).
[CrossRef]

Taylor, R.

R. Taylor, C. Hnatovsky, and E. Simova, Laser Photon. Rev. 2, 26 (2008).
[CrossRef]

Taylor, R. S.

P. P. Rajeev, M. Gertsvolf, C. Hnatovsky, E. Simova, R. S. Taylor, P. B. Corkum, D. M. Rayner, and V. R. Bhardwaj, J. Phys. B 40, S273 (2007).
[CrossRef]

C. Hnatovsky, E. Simova, P. P. Rajeev, D. M. Rayner, P. B. Corkum, and R. S. Taylor, Opt. Lett. 32, 1459 (2007).
[CrossRef]

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
[CrossRef]

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. B. Corkum, D. M. Rayner, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, B. Schreder, M. Kluge, and J. Zimmer, J. Appl. Phys. 97, 083102 (2005).
[CrossRef]

Taylor, S. T.

A. Salleo, S. T. Taylor, M. C. Martin, W. R. Panero, R. Jeanloz, T. Sands, and F. Y. Genin, Nat. Mater. 2, 796 (2003).
[CrossRef]

Tikhonchuk, V. T.

S. Juodkazis, K. Nishimura, S. Tanaka, H. Misawa, E. G. Gamaly, B. Luther-Davies, L. Hallo, P. Nicolai, and V. T. Tikhonchuk, Phys. Rev. Lett. 96, 166101 (2006).
[CrossRef]

Tunnermann, A.

S. Richter, A. Plech, M. Steinert, M. Heinrich, S. Doring, F. Zimmermann, U. Peschel, E. B. Kley, A. Tunnermann, and S. Nolte, Laser Photon. Rev. 6, 787 (2012).
[CrossRef]

S. Richter, M. Heinrich, S. Doring, A. Tunnermann, S. Nolte, and U. Peschel, J. Laser Appl. 24, 042008 (2012).
[CrossRef]

S. Richter, M. Heinrich, S. Doring, A. Tunnermann, and S. Nolte, Appl. Phys. A 104, 503 (2011).
[CrossRef]

Watanabe, W.

K. Itoh, W. Watanabe, S. Nolte, and C. B. Schaffer, MRS Bull. 31, 620 (2006).
[CrossRef]

Weickman, A.

Zimmer, J.

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. B. Corkum, D. M. Rayner, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, B. Schreder, M. Kluge, and J. Zimmer, J. Appl. Phys. 97, 083102 (2005).
[CrossRef]

Zimmermann, F.

S. Richter, A. Plech, M. Steinert, M. Heinrich, S. Doring, F. Zimmermann, U. Peschel, E. B. Kley, A. Tunnermann, and S. Nolte, Laser Photon. Rev. 6, 787 (2012).
[CrossRef]

Appl. Phys. A (2)

M. Budiman, E. M. Hsu, H. K. Haugen, and G. A. Botton, Appl. Phys. A 98, 849 (2010).
[CrossRef]

S. Richter, M. Heinrich, S. Doring, A. Tunnermann, and S. Nolte, Appl. Phys. A 104, 503 (2011).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett. (3)

E. N. Glezer and E. Mazur, Appl. Phys. Lett. 71, 882 (1997).
[CrossRef]

E. Bricchi and P. G. Kazansky, Appl. Phys. Lett. 88, 111119 (2006).
[CrossRef]

S. Juodkazis, H. Misawa, T. Hashimoto, E. G. Gamaly, and B. Luther-Davies, Appl. Phys. Lett. 88, 201909 (2006).
[CrossRef]

J. Appl. Phys. (1)

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. B. Corkum, D. M. Rayner, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, B. Schreder, M. Kluge, and J. Zimmer, J. Appl. Phys. 97, 083102 (2005).
[CrossRef]

J. Laser Appl. (1)

S. Richter, M. Heinrich, S. Doring, A. Tunnermann, S. Nolte, and U. Peschel, J. Laser Appl. 24, 042008 (2012).
[CrossRef]

J. Non-Cryst. Solids (1)

T. Mizutani, J. Non-Cryst. Solids 181, 123 (1995).
[CrossRef]

J. Phys. B (1)

P. P. Rajeev, M. Gertsvolf, C. Hnatovsky, E. Simova, R. S. Taylor, P. B. Corkum, D. M. Rayner, and V. R. Bhardwaj, J. Phys. B 40, S273 (2007).
[CrossRef]

Laser Photon. Rev. (3)

S. Richter, A. Plech, M. Steinert, M. Heinrich, S. Doring, F. Zimmermann, U. Peschel, E. B. Kley, A. Tunnermann, and S. Nolte, Laser Photon. Rev. 6, 787 (2012).
[CrossRef]

R. Taylor, C. Hnatovsky, and E. Simova, Laser Photon. Rev. 2, 26 (2008).
[CrossRef]

J. Canning, Laser Photon. Rev. 2, 275 (2008).
[CrossRef]

MRS Bull. (1)

K. Itoh, W. Watanabe, S. Nolte, and C. B. Schaffer, MRS Bull. 31, 620 (2006).
[CrossRef]

Nat. Mater. (1)

A. Salleo, S. T. Taylor, M. C. Martin, W. R. Panero, R. Jeanloz, T. Sands, and F. Y. Genin, Nat. Mater. 2, 796 (2003).
[CrossRef]

Opt. Commun. (1)

L. Sudrie, M. Franco, B. Prade, and A. Mysyrewicz, Opt. Commun. 171, 279 (1999).
[CrossRef]

Opt. Lett. (4)

Opt. Mater. Express (2)

Phys. Rev. (1)

P. Sigmund, Phys. Rev. 184, 383 (1969).
[CrossRef]

Phys. Rev. Lett. (3)

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
[CrossRef]

S. Juodkazis, K. Nishimura, S. Tanaka, H. Misawa, E. G. Gamaly, B. Luther-Davies, L. Hallo, P. Nicolai, and V. T. Tikhonchuk, Phys. Rev. Lett. 96, 166101 (2006).
[CrossRef]

Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. R. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).
[CrossRef]

Rep. Prog. Phys. (1)

P. Balling and J. Schou, Rep. Prog. Phys. 76, 036502 (2013).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1.
Fig. 1.

(a) Schematic of the nanograting inscription process. The sample is translated in the y axis with a scanning speed of s=0.1mm/s. Nanogratings are engraved using a laser pulse energy of 5 μJ and a pulse repetition rate of 10 kHz. (b) Schematic of the preparation of TEM samples. A 70 μm thick disk containing nanogratings is made by mechanical polishing and further thinned by ion milling until TEM visualization is possible. (c) TEM micrograph of self-organized nanogratings in fused silica. The nanogratings are composed of parallel dark and light nanoplanes oriented perpendicularly to the laser radiation polarization (E).

Fig. 2.
Fig. 2.

TEM image showing bright and dark nanoplanes composing a nanograting.

Fig. 3.
Fig. 3.

(a) High-magnification TEM image of nanograting nanoplanes showing the presence of nanoparticles. The inset depicts a high-resolution TEM image of a single nanoparticle and shows a nanocrystal with a lattice interplanar spacing of about 0.21 nm. (b) High-magnification TEM image of pristine silica showing that nanoparticles do not exist prior to the laser treatment.

Metrics