Abstract

We design and demonstrate a compact and low-power, band-engineered, electro-optic (EO) polymer refilled silicon slot photonic crystal waveguide (PCW) modulator. The EO polymer is engineered for large EO activity and near-infrared transparency. A PCW step coupler is used for optimum coupling to the slow-light mode of the band-engineered PCW. The half-wave switching voltage is measured to be Vπ=0.97±0.02V over an optical spectrum range of 8 nm, corresponding to the effective in-device r33 of 1190pm/V and Vπ×L=0.291±0.006V×mm in a push–pull configuration. Excluding the slow-light effect, we estimate that the EO polymer is poled with an efficiency of 89pm/V in the slot.

© 2013 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. Y. Shi, C. Zhang, H. Zhang, J. H. Bechtel, L. R. Dalton, B. H. Robinson, and W. H. Steier, Science 288, 119 (2000).
    [CrossRef]
  2. D. Chen, H. R. Fetterman, A. Chen, W. H. Steier, L. R. Dalton, W. Wang, and Y. Shi, Appl. Phys. Lett. 70, 3335 (1997).
    [CrossRef]
  3. X. Zhang, A. Hosseini, X. Lin, H. Subbaraman, and R. T. Chen, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 19, 3401115 (2013).
    [CrossRef]
  4. R. Ding, T. Baehr-Jones, W.-J. Kim, A. Spott, M. Fournier, J.-M. Fedeli, S. Huang, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and L. Dalton, J. Lightwave Technol. 29, 1112 (2011).
    [CrossRef]
  5. M. Gould, T. Baehr-Jones, R. Ding, S. Huang, J. Luo, A. K.-Y. Jen, J.-M. Fedeli, M. Fournier, and M. Hochberg, Opt. Express 19, 3952 (2011).
    [CrossRef]
  6. J. H. Wülbern, S. Prorok, J. Hampe, A. Petrov, M. Eich, J. Luo, A. K.-Y. Jen, M. Jenett, and A. Jacob, Opt. Lett. 35, 2753 (2010).
    [CrossRef]
  7. X. Wang, C.-Y. Lin, S. Chakravarty, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and R. T. Chen, Opt. Lett. 36, 882 (2011).
    [CrossRef]
  8. H. C. Nguyen, Y. Sakai, M. Shinkawa, N. Ishikura, and T. Baba, Opt. Express 19, 13000 (2011).
    [CrossRef]
  9. J. H. Wulbern, J. Hampe, A. Petrov, M. Eich, J. Luo, A. K.-Y. Jen, A. Di Falco, T. F. Krauss, and J. Bruns, Appl. Phys. Lett. 94, 241107 (2009).
    [CrossRef]
  10. H. C. Nguyen, Y. Sakai, M. Shinkawa, N. Ishikura, and T. Baba, IEEE J. Quantum Electron. 48, 210 (2012).
    [CrossRef]
  11. A. Hosseini, X. Xu, H. Subbaraman, C.-Y. Lin, S. Rahimi, and R. T. Chen, Opt. Express 20, 12318 (2012).
    [CrossRef]
  12. S. Rahimi, A. Hosseini, X. Xu, H. Subbaraman, and R. T. Chen, Opt. Express 19, 21832 (2011).
    [CrossRef]
  13. Y. Hamachi, S. Kubo, and T. Baba, Opt. Lett. 34, 1072 (2009).
    [CrossRef]
  14. S. Schulz, L. O’Faolain, D. Beggs, T. White, A. Melloni, and T. Krauss, J. Opt. 12, 104004 (2010).
    [CrossRef]
  15. A. Y. Petrov and M. Eich, Appl. Phys. Lett. 85, 4866 (2004).
    [CrossRef]
  16. J. Luo, X.-H. Zhou, and A. K.-Y. Jen, J. Mater. Chem. 19, 7410 (2009).
    [CrossRef]
  17. A. Hosseini, X. Xu, D. N. Kwong, H. Subbaraman, W. Jiang, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 98, 031107 (2011).
    [CrossRef]
  18. A. Hosseini, D. Kwong, C.-Y. Lin, B. S. Lee, and R. T. Chen, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 16, 61 (2010).
    [CrossRef]
  19. X. Xu, H. Subbaraman, J. Covey, D. Kwong, A. Hosseini, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 101, 031109 (2012).
    [CrossRef]
  20. X. Zhang, B. Lee, C.-y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, and R. T. Chen, IEEE Photon. J. 4, 2214 (2012).
    [CrossRef]
  21. C.-Y. Lin, X. Wang, S. Chakravarty, B. S. Lee, W. Lai, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 97, 093304 (2010).
    [CrossRef]
  22. C. Greenlee, A. Guilmo, A. Opadeyi, R. Himmelhuber, R. A. Norwood, M. Fallahi, J. Luo, S. Huang, X.-H. Zhou, and A. K.-Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 97, 041109 (2010).
    [CrossRef]
  23. R. Palmer, L. Alloatti, D. Korn, W. Heni, P. C. Schindler, J. Bolten, M. Karl, M. Waldow, T. Wahlbrink, W. Freude, C. Koos, and J. Leuthold, IEEE Photon. J. 5, 2200409 (2013).
    [CrossRef]
  24. B. Snyder and P. O’Brien, “Planar fiber packaging method for silicon photonic integrated circuits,” in Optical Fiber Communication Conference and Exposition (OFC/NFOEC), 2012 and the National Fiber Optic Engineers Conference (IEEE, 2012), pp. 1–3.
  25. R. Dinu, D. Jin, G. M. Yu, B. Q. Chen, D. Y. Huang, H. Chen, A. Barklund, E. Miller, C. L. Wei, and J. Vemagiri, J. Lightwave Technol. 27, 1527 (2009).
    [CrossRef]
  26. D. Jin, H. Chen, A. Barklund, J. Mallari, G. Yu, E. Miller, and R. Dinu, Proc. SPIE 7599, 75990H (2010).
    [CrossRef]
  27. S. Takahashi, B. Bhola, A. Yick, W. H. Steier, J. Luo, A. K.-Y. Jen, D. Jin, and R. Dinu, J. Lightwave Technol. 27, 1045 (2009).
    [CrossRef]

2013 (2)

X. Zhang, A. Hosseini, X. Lin, H. Subbaraman, and R. T. Chen, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 19, 3401115 (2013).
[CrossRef]

R. Palmer, L. Alloatti, D. Korn, W. Heni, P. C. Schindler, J. Bolten, M. Karl, M. Waldow, T. Wahlbrink, W. Freude, C. Koos, and J. Leuthold, IEEE Photon. J. 5, 2200409 (2013).
[CrossRef]

2012 (4)

X. Xu, H. Subbaraman, J. Covey, D. Kwong, A. Hosseini, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 101, 031109 (2012).
[CrossRef]

X. Zhang, B. Lee, C.-y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, and R. T. Chen, IEEE Photon. J. 4, 2214 (2012).
[CrossRef]

H. C. Nguyen, Y. Sakai, M. Shinkawa, N. Ishikura, and T. Baba, IEEE J. Quantum Electron. 48, 210 (2012).
[CrossRef]

A. Hosseini, X. Xu, H. Subbaraman, C.-Y. Lin, S. Rahimi, and R. T. Chen, Opt. Express 20, 12318 (2012).
[CrossRef]

2011 (6)

2010 (6)

A. Hosseini, D. Kwong, C.-Y. Lin, B. S. Lee, and R. T. Chen, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 16, 61 (2010).
[CrossRef]

S. Schulz, L. O’Faolain, D. Beggs, T. White, A. Melloni, and T. Krauss, J. Opt. 12, 104004 (2010).
[CrossRef]

C.-Y. Lin, X. Wang, S. Chakravarty, B. S. Lee, W. Lai, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 97, 093304 (2010).
[CrossRef]

C. Greenlee, A. Guilmo, A. Opadeyi, R. Himmelhuber, R. A. Norwood, M. Fallahi, J. Luo, S. Huang, X.-H. Zhou, and A. K.-Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 97, 041109 (2010).
[CrossRef]

D. Jin, H. Chen, A. Barklund, J. Mallari, G. Yu, E. Miller, and R. Dinu, Proc. SPIE 7599, 75990H (2010).
[CrossRef]

J. H. Wülbern, S. Prorok, J. Hampe, A. Petrov, M. Eich, J. Luo, A. K.-Y. Jen, M. Jenett, and A. Jacob, Opt. Lett. 35, 2753 (2010).
[CrossRef]

2009 (5)

2004 (1)

A. Y. Petrov and M. Eich, Appl. Phys. Lett. 85, 4866 (2004).
[CrossRef]

2000 (1)

Y. Shi, C. Zhang, H. Zhang, J. H. Bechtel, L. R. Dalton, B. H. Robinson, and W. H. Steier, Science 288, 119 (2000).
[CrossRef]

1997 (1)

D. Chen, H. R. Fetterman, A. Chen, W. H. Steier, L. R. Dalton, W. Wang, and Y. Shi, Appl. Phys. Lett. 70, 3335 (1997).
[CrossRef]

Alloatti, L.

R. Palmer, L. Alloatti, D. Korn, W. Heni, P. C. Schindler, J. Bolten, M. Karl, M. Waldow, T. Wahlbrink, W. Freude, C. Koos, and J. Leuthold, IEEE Photon. J. 5, 2200409 (2013).
[CrossRef]

Baba, T.

Baehr-Jones, T.

Barklund, A.

Bechtel, J. H.

Y. Shi, C. Zhang, H. Zhang, J. H. Bechtel, L. R. Dalton, B. H. Robinson, and W. H. Steier, Science 288, 119 (2000).
[CrossRef]

Beggs, D.

S. Schulz, L. O’Faolain, D. Beggs, T. White, A. Melloni, and T. Krauss, J. Opt. 12, 104004 (2010).
[CrossRef]

Bhola, B.

Bolten, J.

R. Palmer, L. Alloatti, D. Korn, W. Heni, P. C. Schindler, J. Bolten, M. Karl, M. Waldow, T. Wahlbrink, W. Freude, C. Koos, and J. Leuthold, IEEE Photon. J. 5, 2200409 (2013).
[CrossRef]

Bruns, J.

J. H. Wulbern, J. Hampe, A. Petrov, M. Eich, J. Luo, A. K.-Y. Jen, A. Di Falco, T. F. Krauss, and J. Bruns, Appl. Phys. Lett. 94, 241107 (2009).
[CrossRef]

Chakravarty, S.

X. Wang, C.-Y. Lin, S. Chakravarty, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and R. T. Chen, Opt. Lett. 36, 882 (2011).
[CrossRef]

C.-Y. Lin, X. Wang, S. Chakravarty, B. S. Lee, W. Lai, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 97, 093304 (2010).
[CrossRef]

Chen, A.

D. Chen, H. R. Fetterman, A. Chen, W. H. Steier, L. R. Dalton, W. Wang, and Y. Shi, Appl. Phys. Lett. 70, 3335 (1997).
[CrossRef]

Chen, B. Q.

Chen, D.

D. Chen, H. R. Fetterman, A. Chen, W. H. Steier, L. R. Dalton, W. Wang, and Y. Shi, Appl. Phys. Lett. 70, 3335 (1997).
[CrossRef]

Chen, H.

Chen, R. T.

X. Zhang, A. Hosseini, X. Lin, H. Subbaraman, and R. T. Chen, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 19, 3401115 (2013).
[CrossRef]

X. Xu, H. Subbaraman, J. Covey, D. Kwong, A. Hosseini, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 101, 031109 (2012).
[CrossRef]

X. Zhang, B. Lee, C.-y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, and R. T. Chen, IEEE Photon. J. 4, 2214 (2012).
[CrossRef]

A. Hosseini, X. Xu, H. Subbaraman, C.-Y. Lin, S. Rahimi, and R. T. Chen, Opt. Express 20, 12318 (2012).
[CrossRef]

S. Rahimi, A. Hosseini, X. Xu, H. Subbaraman, and R. T. Chen, Opt. Express 19, 21832 (2011).
[CrossRef]

A. Hosseini, X. Xu, D. N. Kwong, H. Subbaraman, W. Jiang, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 98, 031107 (2011).
[CrossRef]

X. Wang, C.-Y. Lin, S. Chakravarty, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and R. T. Chen, Opt. Lett. 36, 882 (2011).
[CrossRef]

A. Hosseini, D. Kwong, C.-Y. Lin, B. S. Lee, and R. T. Chen, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 16, 61 (2010).
[CrossRef]

C.-Y. Lin, X. Wang, S. Chakravarty, B. S. Lee, W. Lai, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 97, 093304 (2010).
[CrossRef]

Covey, J.

X. Xu, H. Subbaraman, J. Covey, D. Kwong, A. Hosseini, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 101, 031109 (2012).
[CrossRef]

Dalton, L.

Dalton, L. R.

Y. Shi, C. Zhang, H. Zhang, J. H. Bechtel, L. R. Dalton, B. H. Robinson, and W. H. Steier, Science 288, 119 (2000).
[CrossRef]

D. Chen, H. R. Fetterman, A. Chen, W. H. Steier, L. R. Dalton, W. Wang, and Y. Shi, Appl. Phys. Lett. 70, 3335 (1997).
[CrossRef]

Di Falco, A.

J. H. Wulbern, J. Hampe, A. Petrov, M. Eich, J. Luo, A. K.-Y. Jen, A. Di Falco, T. F. Krauss, and J. Bruns, Appl. Phys. Lett. 94, 241107 (2009).
[CrossRef]

Ding, R.

Dinu, R.

Eich, M.

J. H. Wülbern, S. Prorok, J. Hampe, A. Petrov, M. Eich, J. Luo, A. K.-Y. Jen, M. Jenett, and A. Jacob, Opt. Lett. 35, 2753 (2010).
[CrossRef]

J. H. Wulbern, J. Hampe, A. Petrov, M. Eich, J. Luo, A. K.-Y. Jen, A. Di Falco, T. F. Krauss, and J. Bruns, Appl. Phys. Lett. 94, 241107 (2009).
[CrossRef]

A. Y. Petrov and M. Eich, Appl. Phys. Lett. 85, 4866 (2004).
[CrossRef]

Fallahi, M.

C. Greenlee, A. Guilmo, A. Opadeyi, R. Himmelhuber, R. A. Norwood, M. Fallahi, J. Luo, S. Huang, X.-H. Zhou, and A. K.-Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 97, 041109 (2010).
[CrossRef]

Fedeli, J.-M.

Fetterman, H. R.

D. Chen, H. R. Fetterman, A. Chen, W. H. Steier, L. R. Dalton, W. Wang, and Y. Shi, Appl. Phys. Lett. 70, 3335 (1997).
[CrossRef]

Fournier, M.

Freude, W.

R. Palmer, L. Alloatti, D. Korn, W. Heni, P. C. Schindler, J. Bolten, M. Karl, M. Waldow, T. Wahlbrink, W. Freude, C. Koos, and J. Leuthold, IEEE Photon. J. 5, 2200409 (2013).
[CrossRef]

Gould, M.

Greenlee, C.

C. Greenlee, A. Guilmo, A. Opadeyi, R. Himmelhuber, R. A. Norwood, M. Fallahi, J. Luo, S. Huang, X.-H. Zhou, and A. K.-Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 97, 041109 (2010).
[CrossRef]

Guilmo, A.

C. Greenlee, A. Guilmo, A. Opadeyi, R. Himmelhuber, R. A. Norwood, M. Fallahi, J. Luo, S. Huang, X.-H. Zhou, and A. K.-Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 97, 041109 (2010).
[CrossRef]

Hamachi, Y.

Hampe, J.

J. H. Wülbern, S. Prorok, J. Hampe, A. Petrov, M. Eich, J. Luo, A. K.-Y. Jen, M. Jenett, and A. Jacob, Opt. Lett. 35, 2753 (2010).
[CrossRef]

J. H. Wulbern, J. Hampe, A. Petrov, M. Eich, J. Luo, A. K.-Y. Jen, A. Di Falco, T. F. Krauss, and J. Bruns, Appl. Phys. Lett. 94, 241107 (2009).
[CrossRef]

Heni, W.

R. Palmer, L. Alloatti, D. Korn, W. Heni, P. C. Schindler, J. Bolten, M. Karl, M. Waldow, T. Wahlbrink, W. Freude, C. Koos, and J. Leuthold, IEEE Photon. J. 5, 2200409 (2013).
[CrossRef]

Himmelhuber, R.

C. Greenlee, A. Guilmo, A. Opadeyi, R. Himmelhuber, R. A. Norwood, M. Fallahi, J. Luo, S. Huang, X.-H. Zhou, and A. K.-Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 97, 041109 (2010).
[CrossRef]

Hochberg, M.

Hosseini, A.

X. Zhang, A. Hosseini, X. Lin, H. Subbaraman, and R. T. Chen, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 19, 3401115 (2013).
[CrossRef]

X. Zhang, B. Lee, C.-y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, and R. T. Chen, IEEE Photon. J. 4, 2214 (2012).
[CrossRef]

X. Xu, H. Subbaraman, J. Covey, D. Kwong, A. Hosseini, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 101, 031109 (2012).
[CrossRef]

A. Hosseini, X. Xu, H. Subbaraman, C.-Y. Lin, S. Rahimi, and R. T. Chen, Opt. Express 20, 12318 (2012).
[CrossRef]

S. Rahimi, A. Hosseini, X. Xu, H. Subbaraman, and R. T. Chen, Opt. Express 19, 21832 (2011).
[CrossRef]

A. Hosseini, X. Xu, D. N. Kwong, H. Subbaraman, W. Jiang, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 98, 031107 (2011).
[CrossRef]

A. Hosseini, D. Kwong, C.-Y. Lin, B. S. Lee, and R. T. Chen, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 16, 61 (2010).
[CrossRef]

Huang, D. Y.

Huang, S.

Ishikura, N.

H. C. Nguyen, Y. Sakai, M. Shinkawa, N. Ishikura, and T. Baba, IEEE J. Quantum Electron. 48, 210 (2012).
[CrossRef]

H. C. Nguyen, Y. Sakai, M. Shinkawa, N. Ishikura, and T. Baba, Opt. Express 19, 13000 (2011).
[CrossRef]

Jacob, A.

Jen, A. K.-Y.

X. Wang, C.-Y. Lin, S. Chakravarty, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and R. T. Chen, Opt. Lett. 36, 882 (2011).
[CrossRef]

M. Gould, T. Baehr-Jones, R. Ding, S. Huang, J. Luo, A. K.-Y. Jen, J.-M. Fedeli, M. Fournier, and M. Hochberg, Opt. Express 19, 3952 (2011).
[CrossRef]

R. Ding, T. Baehr-Jones, W.-J. Kim, A. Spott, M. Fournier, J.-M. Fedeli, S. Huang, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and L. Dalton, J. Lightwave Technol. 29, 1112 (2011).
[CrossRef]

J. H. Wülbern, S. Prorok, J. Hampe, A. Petrov, M. Eich, J. Luo, A. K.-Y. Jen, M. Jenett, and A. Jacob, Opt. Lett. 35, 2753 (2010).
[CrossRef]

C.-Y. Lin, X. Wang, S. Chakravarty, B. S. Lee, W. Lai, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 97, 093304 (2010).
[CrossRef]

C. Greenlee, A. Guilmo, A. Opadeyi, R. Himmelhuber, R. A. Norwood, M. Fallahi, J. Luo, S. Huang, X.-H. Zhou, and A. K.-Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 97, 041109 (2010).
[CrossRef]

S. Takahashi, B. Bhola, A. Yick, W. H. Steier, J. Luo, A. K.-Y. Jen, D. Jin, and R. Dinu, J. Lightwave Technol. 27, 1045 (2009).
[CrossRef]

J. Luo, X.-H. Zhou, and A. K.-Y. Jen, J. Mater. Chem. 19, 7410 (2009).
[CrossRef]

J. H. Wulbern, J. Hampe, A. Petrov, M. Eich, J. Luo, A. K.-Y. Jen, A. Di Falco, T. F. Krauss, and J. Bruns, Appl. Phys. Lett. 94, 241107 (2009).
[CrossRef]

Jenett, M.

Jiang, W.

A. Hosseini, X. Xu, D. N. Kwong, H. Subbaraman, W. Jiang, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 98, 031107 (2011).
[CrossRef]

Jin, D.

Karl, M.

R. Palmer, L. Alloatti, D. Korn, W. Heni, P. C. Schindler, J. Bolten, M. Karl, M. Waldow, T. Wahlbrink, W. Freude, C. Koos, and J. Leuthold, IEEE Photon. J. 5, 2200409 (2013).
[CrossRef]

Kim, W.-J.

Koos, C.

R. Palmer, L. Alloatti, D. Korn, W. Heni, P. C. Schindler, J. Bolten, M. Karl, M. Waldow, T. Wahlbrink, W. Freude, C. Koos, and J. Leuthold, IEEE Photon. J. 5, 2200409 (2013).
[CrossRef]

Korn, D.

R. Palmer, L. Alloatti, D. Korn, W. Heni, P. C. Schindler, J. Bolten, M. Karl, M. Waldow, T. Wahlbrink, W. Freude, C. Koos, and J. Leuthold, IEEE Photon. J. 5, 2200409 (2013).
[CrossRef]

Krauss, T.

S. Schulz, L. O’Faolain, D. Beggs, T. White, A. Melloni, and T. Krauss, J. Opt. 12, 104004 (2010).
[CrossRef]

Krauss, T. F.

J. H. Wulbern, J. Hampe, A. Petrov, M. Eich, J. Luo, A. K.-Y. Jen, A. Di Falco, T. F. Krauss, and J. Bruns, Appl. Phys. Lett. 94, 241107 (2009).
[CrossRef]

Kubo, S.

Kwong, D.

X. Xu, H. Subbaraman, J. Covey, D. Kwong, A. Hosseini, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 101, 031109 (2012).
[CrossRef]

A. Hosseini, D. Kwong, C.-Y. Lin, B. S. Lee, and R. T. Chen, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 16, 61 (2010).
[CrossRef]

Kwong, D. N.

A. Hosseini, X. Xu, D. N. Kwong, H. Subbaraman, W. Jiang, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 98, 031107 (2011).
[CrossRef]

Lai, W.

C.-Y. Lin, X. Wang, S. Chakravarty, B. S. Lee, W. Lai, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 97, 093304 (2010).
[CrossRef]

Lee, B.

X. Zhang, B. Lee, C.-y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, and R. T. Chen, IEEE Photon. J. 4, 2214 (2012).
[CrossRef]

Lee, B. S.

A. Hosseini, D. Kwong, C.-Y. Lin, B. S. Lee, and R. T. Chen, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 16, 61 (2010).
[CrossRef]

C.-Y. Lin, X. Wang, S. Chakravarty, B. S. Lee, W. Lai, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 97, 093304 (2010).
[CrossRef]

Leuthold, J.

R. Palmer, L. Alloatti, D. Korn, W. Heni, P. C. Schindler, J. Bolten, M. Karl, M. Waldow, T. Wahlbrink, W. Freude, C. Koos, and J. Leuthold, IEEE Photon. J. 5, 2200409 (2013).
[CrossRef]

Lin, C.-y.

X. Zhang, B. Lee, C.-y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, and R. T. Chen, IEEE Photon. J. 4, 2214 (2012).
[CrossRef]

A. Hosseini, X. Xu, H. Subbaraman, C.-Y. Lin, S. Rahimi, and R. T. Chen, Opt. Express 20, 12318 (2012).
[CrossRef]

X. Wang, C.-Y. Lin, S. Chakravarty, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and R. T. Chen, Opt. Lett. 36, 882 (2011).
[CrossRef]

A. Hosseini, D. Kwong, C.-Y. Lin, B. S. Lee, and R. T. Chen, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 16, 61 (2010).
[CrossRef]

C.-Y. Lin, X. Wang, S. Chakravarty, B. S. Lee, W. Lai, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 97, 093304 (2010).
[CrossRef]

Lin, X.

X. Zhang, A. Hosseini, X. Lin, H. Subbaraman, and R. T. Chen, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 19, 3401115 (2013).
[CrossRef]

Luo, J.

R. Ding, T. Baehr-Jones, W.-J. Kim, A. Spott, M. Fournier, J.-M. Fedeli, S. Huang, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and L. Dalton, J. Lightwave Technol. 29, 1112 (2011).
[CrossRef]

M. Gould, T. Baehr-Jones, R. Ding, S. Huang, J. Luo, A. K.-Y. Jen, J.-M. Fedeli, M. Fournier, and M. Hochberg, Opt. Express 19, 3952 (2011).
[CrossRef]

X. Wang, C.-Y. Lin, S. Chakravarty, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and R. T. Chen, Opt. Lett. 36, 882 (2011).
[CrossRef]

J. H. Wülbern, S. Prorok, J. Hampe, A. Petrov, M. Eich, J. Luo, A. K.-Y. Jen, M. Jenett, and A. Jacob, Opt. Lett. 35, 2753 (2010).
[CrossRef]

C.-Y. Lin, X. Wang, S. Chakravarty, B. S. Lee, W. Lai, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 97, 093304 (2010).
[CrossRef]

C. Greenlee, A. Guilmo, A. Opadeyi, R. Himmelhuber, R. A. Norwood, M. Fallahi, J. Luo, S. Huang, X.-H. Zhou, and A. K.-Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 97, 041109 (2010).
[CrossRef]

J. Luo, X.-H. Zhou, and A. K.-Y. Jen, J. Mater. Chem. 19, 7410 (2009).
[CrossRef]

J. H. Wulbern, J. Hampe, A. Petrov, M. Eich, J. Luo, A. K.-Y. Jen, A. Di Falco, T. F. Krauss, and J. Bruns, Appl. Phys. Lett. 94, 241107 (2009).
[CrossRef]

S. Takahashi, B. Bhola, A. Yick, W. H. Steier, J. Luo, A. K.-Y. Jen, D. Jin, and R. Dinu, J. Lightwave Technol. 27, 1045 (2009).
[CrossRef]

Mallari, J.

D. Jin, H. Chen, A. Barklund, J. Mallari, G. Yu, E. Miller, and R. Dinu, Proc. SPIE 7599, 75990H (2010).
[CrossRef]

Melloni, A.

S. Schulz, L. O’Faolain, D. Beggs, T. White, A. Melloni, and T. Krauss, J. Opt. 12, 104004 (2010).
[CrossRef]

Miller, E.

Nguyen, H. C.

H. C. Nguyen, Y. Sakai, M. Shinkawa, N. Ishikura, and T. Baba, IEEE J. Quantum Electron. 48, 210 (2012).
[CrossRef]

H. C. Nguyen, Y. Sakai, M. Shinkawa, N. Ishikura, and T. Baba, Opt. Express 19, 13000 (2011).
[CrossRef]

Norwood, R. A.

C. Greenlee, A. Guilmo, A. Opadeyi, R. Himmelhuber, R. A. Norwood, M. Fallahi, J. Luo, S. Huang, X.-H. Zhou, and A. K.-Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 97, 041109 (2010).
[CrossRef]

O’Brien, P.

B. Snyder and P. O’Brien, “Planar fiber packaging method for silicon photonic integrated circuits,” in Optical Fiber Communication Conference and Exposition (OFC/NFOEC), 2012 and the National Fiber Optic Engineers Conference (IEEE, 2012), pp. 1–3.

O’Faolain, L.

S. Schulz, L. O’Faolain, D. Beggs, T. White, A. Melloni, and T. Krauss, J. Opt. 12, 104004 (2010).
[CrossRef]

Opadeyi, A.

C. Greenlee, A. Guilmo, A. Opadeyi, R. Himmelhuber, R. A. Norwood, M. Fallahi, J. Luo, S. Huang, X.-H. Zhou, and A. K.-Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 97, 041109 (2010).
[CrossRef]

Palmer, R.

R. Palmer, L. Alloatti, D. Korn, W. Heni, P. C. Schindler, J. Bolten, M. Karl, M. Waldow, T. Wahlbrink, W. Freude, C. Koos, and J. Leuthold, IEEE Photon. J. 5, 2200409 (2013).
[CrossRef]

Petrov, A.

J. H. Wülbern, S. Prorok, J. Hampe, A. Petrov, M. Eich, J. Luo, A. K.-Y. Jen, M. Jenett, and A. Jacob, Opt. Lett. 35, 2753 (2010).
[CrossRef]

J. H. Wulbern, J. Hampe, A. Petrov, M. Eich, J. Luo, A. K.-Y. Jen, A. Di Falco, T. F. Krauss, and J. Bruns, Appl. Phys. Lett. 94, 241107 (2009).
[CrossRef]

Petrov, A. Y.

A. Y. Petrov and M. Eich, Appl. Phys. Lett. 85, 4866 (2004).
[CrossRef]

Prorok, S.

Rahimi, S.

Robinson, B. H.

Y. Shi, C. Zhang, H. Zhang, J. H. Bechtel, L. R. Dalton, B. H. Robinson, and W. H. Steier, Science 288, 119 (2000).
[CrossRef]

Sakai, Y.

H. C. Nguyen, Y. Sakai, M. Shinkawa, N. Ishikura, and T. Baba, IEEE J. Quantum Electron. 48, 210 (2012).
[CrossRef]

H. C. Nguyen, Y. Sakai, M. Shinkawa, N. Ishikura, and T. Baba, Opt. Express 19, 13000 (2011).
[CrossRef]

Schindler, P. C.

R. Palmer, L. Alloatti, D. Korn, W. Heni, P. C. Schindler, J. Bolten, M. Karl, M. Waldow, T. Wahlbrink, W. Freude, C. Koos, and J. Leuthold, IEEE Photon. J. 5, 2200409 (2013).
[CrossRef]

Schulz, S.

S. Schulz, L. O’Faolain, D. Beggs, T. White, A. Melloni, and T. Krauss, J. Opt. 12, 104004 (2010).
[CrossRef]

Shi, Y.

Y. Shi, C. Zhang, H. Zhang, J. H. Bechtel, L. R. Dalton, B. H. Robinson, and W. H. Steier, Science 288, 119 (2000).
[CrossRef]

D. Chen, H. R. Fetterman, A. Chen, W. H. Steier, L. R. Dalton, W. Wang, and Y. Shi, Appl. Phys. Lett. 70, 3335 (1997).
[CrossRef]

Shinkawa, M.

H. C. Nguyen, Y. Sakai, M. Shinkawa, N. Ishikura, and T. Baba, IEEE J. Quantum Electron. 48, 210 (2012).
[CrossRef]

H. C. Nguyen, Y. Sakai, M. Shinkawa, N. Ishikura, and T. Baba, Opt. Express 19, 13000 (2011).
[CrossRef]

Snyder, B.

B. Snyder and P. O’Brien, “Planar fiber packaging method for silicon photonic integrated circuits,” in Optical Fiber Communication Conference and Exposition (OFC/NFOEC), 2012 and the National Fiber Optic Engineers Conference (IEEE, 2012), pp. 1–3.

Spott, A.

Steier, W. H.

S. Takahashi, B. Bhola, A. Yick, W. H. Steier, J. Luo, A. K.-Y. Jen, D. Jin, and R. Dinu, J. Lightwave Technol. 27, 1045 (2009).
[CrossRef]

Y. Shi, C. Zhang, H. Zhang, J. H. Bechtel, L. R. Dalton, B. H. Robinson, and W. H. Steier, Science 288, 119 (2000).
[CrossRef]

D. Chen, H. R. Fetterman, A. Chen, W. H. Steier, L. R. Dalton, W. Wang, and Y. Shi, Appl. Phys. Lett. 70, 3335 (1997).
[CrossRef]

Subbaraman, H.

X. Zhang, A. Hosseini, X. Lin, H. Subbaraman, and R. T. Chen, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 19, 3401115 (2013).
[CrossRef]

A. Hosseini, X. Xu, H. Subbaraman, C.-Y. Lin, S. Rahimi, and R. T. Chen, Opt. Express 20, 12318 (2012).
[CrossRef]

X. Xu, H. Subbaraman, J. Covey, D. Kwong, A. Hosseini, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 101, 031109 (2012).
[CrossRef]

A. Hosseini, X. Xu, D. N. Kwong, H. Subbaraman, W. Jiang, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 98, 031107 (2011).
[CrossRef]

S. Rahimi, A. Hosseini, X. Xu, H. Subbaraman, and R. T. Chen, Opt. Express 19, 21832 (2011).
[CrossRef]

Takahashi, S.

Vemagiri, J.

Wahlbrink, T.

R. Palmer, L. Alloatti, D. Korn, W. Heni, P. C. Schindler, J. Bolten, M. Karl, M. Waldow, T. Wahlbrink, W. Freude, C. Koos, and J. Leuthold, IEEE Photon. J. 5, 2200409 (2013).
[CrossRef]

Waldow, M.

R. Palmer, L. Alloatti, D. Korn, W. Heni, P. C. Schindler, J. Bolten, M. Karl, M. Waldow, T. Wahlbrink, W. Freude, C. Koos, and J. Leuthold, IEEE Photon. J. 5, 2200409 (2013).
[CrossRef]

Wang, A. X.

X. Zhang, B. Lee, C.-y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, and R. T. Chen, IEEE Photon. J. 4, 2214 (2012).
[CrossRef]

Wang, W.

D. Chen, H. R. Fetterman, A. Chen, W. H. Steier, L. R. Dalton, W. Wang, and Y. Shi, Appl. Phys. Lett. 70, 3335 (1997).
[CrossRef]

Wang, X.

X. Wang, C.-Y. Lin, S. Chakravarty, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and R. T. Chen, Opt. Lett. 36, 882 (2011).
[CrossRef]

C.-Y. Lin, X. Wang, S. Chakravarty, B. S. Lee, W. Lai, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 97, 093304 (2010).
[CrossRef]

Wei, C. L.

White, T.

S. Schulz, L. O’Faolain, D. Beggs, T. White, A. Melloni, and T. Krauss, J. Opt. 12, 104004 (2010).
[CrossRef]

Wulbern, J. H.

J. H. Wulbern, J. Hampe, A. Petrov, M. Eich, J. Luo, A. K.-Y. Jen, A. Di Falco, T. F. Krauss, and J. Bruns, Appl. Phys. Lett. 94, 241107 (2009).
[CrossRef]

Wülbern, J. H.

Xu, X.

A. Hosseini, X. Xu, H. Subbaraman, C.-Y. Lin, S. Rahimi, and R. T. Chen, Opt. Express 20, 12318 (2012).
[CrossRef]

X. Xu, H. Subbaraman, J. Covey, D. Kwong, A. Hosseini, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 101, 031109 (2012).
[CrossRef]

S. Rahimi, A. Hosseini, X. Xu, H. Subbaraman, and R. T. Chen, Opt. Express 19, 21832 (2011).
[CrossRef]

A. Hosseini, X. Xu, D. N. Kwong, H. Subbaraman, W. Jiang, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 98, 031107 (2011).
[CrossRef]

Yick, A.

Yu, G.

D. Jin, H. Chen, A. Barklund, J. Mallari, G. Yu, E. Miller, and R. Dinu, Proc. SPIE 7599, 75990H (2010).
[CrossRef]

Yu, G. M.

Zhang, C.

Y. Shi, C. Zhang, H. Zhang, J. H. Bechtel, L. R. Dalton, B. H. Robinson, and W. H. Steier, Science 288, 119 (2000).
[CrossRef]

Zhang, H.

Y. Shi, C. Zhang, H. Zhang, J. H. Bechtel, L. R. Dalton, B. H. Robinson, and W. H. Steier, Science 288, 119 (2000).
[CrossRef]

Zhang, X.

X. Zhang, A. Hosseini, X. Lin, H. Subbaraman, and R. T. Chen, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 19, 3401115 (2013).
[CrossRef]

X. Zhang, B. Lee, C.-y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, and R. T. Chen, IEEE Photon. J. 4, 2214 (2012).
[CrossRef]

Zhou, X.-H.

C. Greenlee, A. Guilmo, A. Opadeyi, R. Himmelhuber, R. A. Norwood, M. Fallahi, J. Luo, S. Huang, X.-H. Zhou, and A. K.-Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 97, 041109 (2010).
[CrossRef]

J. Luo, X.-H. Zhou, and A. K.-Y. Jen, J. Mater. Chem. 19, 7410 (2009).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett. (7)

D. Chen, H. R. Fetterman, A. Chen, W. H. Steier, L. R. Dalton, W. Wang, and Y. Shi, Appl. Phys. Lett. 70, 3335 (1997).
[CrossRef]

J. H. Wulbern, J. Hampe, A. Petrov, M. Eich, J. Luo, A. K.-Y. Jen, A. Di Falco, T. F. Krauss, and J. Bruns, Appl. Phys. Lett. 94, 241107 (2009).
[CrossRef]

A. Y. Petrov and M. Eich, Appl. Phys. Lett. 85, 4866 (2004).
[CrossRef]

A. Hosseini, X. Xu, D. N. Kwong, H. Subbaraman, W. Jiang, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 98, 031107 (2011).
[CrossRef]

C.-Y. Lin, X. Wang, S. Chakravarty, B. S. Lee, W. Lai, J. Luo, A. K.-Y. Jen, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 97, 093304 (2010).
[CrossRef]

C. Greenlee, A. Guilmo, A. Opadeyi, R. Himmelhuber, R. A. Norwood, M. Fallahi, J. Luo, S. Huang, X.-H. Zhou, and A. K.-Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 97, 041109 (2010).
[CrossRef]

X. Xu, H. Subbaraman, J. Covey, D. Kwong, A. Hosseini, and R. T. Chen, Appl. Phys. Lett. 101, 031109 (2012).
[CrossRef]

IEEE J. Quantum Electron. (1)

H. C. Nguyen, Y. Sakai, M. Shinkawa, N. Ishikura, and T. Baba, IEEE J. Quantum Electron. 48, 210 (2012).
[CrossRef]

IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. (2)

X. Zhang, A. Hosseini, X. Lin, H. Subbaraman, and R. T. Chen, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 19, 3401115 (2013).
[CrossRef]

A. Hosseini, D. Kwong, C.-Y. Lin, B. S. Lee, and R. T. Chen, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 16, 61 (2010).
[CrossRef]

IEEE Photon. J. (2)

X. Zhang, B. Lee, C.-y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, and R. T. Chen, IEEE Photon. J. 4, 2214 (2012).
[CrossRef]

R. Palmer, L. Alloatti, D. Korn, W. Heni, P. C. Schindler, J. Bolten, M. Karl, M. Waldow, T. Wahlbrink, W. Freude, C. Koos, and J. Leuthold, IEEE Photon. J. 5, 2200409 (2013).
[CrossRef]

J. Lightwave Technol. (3)

J. Mater. Chem. (1)

J. Luo, X.-H. Zhou, and A. K.-Y. Jen, J. Mater. Chem. 19, 7410 (2009).
[CrossRef]

J. Opt. (1)

S. Schulz, L. O’Faolain, D. Beggs, T. White, A. Melloni, and T. Krauss, J. Opt. 12, 104004 (2010).
[CrossRef]

Opt. Express (4)

Opt. Lett. (3)

Proc. SPIE (1)

D. Jin, H. Chen, A. Barklund, J. Mallari, G. Yu, E. Miller, and R. Dinu, Proc. SPIE 7599, 75990H (2010).
[CrossRef]

Science (1)

Y. Shi, C. Zhang, H. Zhang, J. H. Bechtel, L. R. Dalton, B. H. Robinson, and W. H. Steier, Science 288, 119 (2000).
[CrossRef]

Other (1)

B. Snyder and P. O’Brien, “Planar fiber packaging method for silicon photonic integrated circuits,” in Optical Fiber Communication Conference and Exposition (OFC/NFOEC), 2012 and the National Fiber Optic Engineers Conference (IEEE, 2012), pp. 1–3.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1.
Fig. 1.

(a) Layout of the PCW coupler (mode converter+PCW coupler). The black area corresponds to un-etched silicon. (b) Band diagram of the engineered slow-light PCW and the PCW coupler.

Fig. 2.
Fig. 2.

Scanning electron microscopy (SEM) images of the fabricated device. (a) Tiled view of a local area of the silicon slot PCW modulator. (b) Top view of the slot PCW area. (c) Cross-sectional view of the EO polymer refilled silicon slot PCW. PCs, photonic crystals. (d) Zoom-in image of the dashed square area in (c).

Fig. 3.
Fig. 3.

(a) Top view of fabricated slot PCW MZI modulator. The red circuit connection indicates the push–pull poling configuration and the induced r33 direction, and the black circuit connection indicates the modulation configuration. Vp, poling voltage; Vd, diving voltage. (b) The temperature-dependent leakage current in the EO polymer poling process.

Fig. 4.
Fig. 4.

(a) Measured Vπ and corresponding calculated effective in-device r33 versus wavelength (at 100 kHz). HD SL, high-dispersion slow light; LD SL, low-dispersion slow light; LD FL, low-dispersion fast light. (b) Normalized device response versus wavelength (at 100 kHz). The green dashed line indicates the trend of the response change over different wavelength. The simulated ng versus wavelength is also overlaid.

Equations (2)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

r33-effective=λSwn3VπσL=1190pmV,
L=λ2σng(nΔn),

Metrics