Abstract

In this Letter, we report on a fiber-optic Fabry–Perot interferometric pressure sensor with its external diaphragm surface thinned and roughened by a femtosecond laser. The laser-roughened surface helps to eliminate outer reflections from the external diaphragm surface and makes the sensor immune to variations in the ambient refractive index. The sensor is demonstrated to measure pressure in a high-temperature environment with low-temperature dependence.

© 2013 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

Corrections

Yinan Zhang, Lei Yuan, Xinwei Lan, Amardeep Kaur, Jie Huang, and Hai Xiao, "High-temperature fiber-optic Fabry–Perot interferometric pressure sensor fabricated by femtosecond laser: erratum," Opt. Lett. 39, 17-17 (2014)
https://www.osapublishing.org/ol/abstract.cfm?uri=ol-39-1-17

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. T. T. Zhu, D. Wu, M. Liu, and D. W. Duan, Sensors 12, 8 (2012).
    [CrossRef]
  2. C. E. Lee and H. F. Taylor, Fiber Optic Smart Structures (Wiley, 1995).
  3. S. H. Aref, H. Latifi, M. I. Zibaii, and M. Afshari, Opt. Commun. 269, 322 (2007).
    [CrossRef]
  4. X. Wang, B. Li, Z. Xiao, S. H. Lee, H. Roman, O. L. Russo, K. K. Chin, and K. R. Farmer, J. Micromech. Microeng. 15, 521 (2005).
    [CrossRef]
  5. T. Bae, R. A. Atkins, H. F. Taylor, and W. N. Gibler, Appl. Opt. 42, 6 (2003).
  6. M. J. Gander, W. N. Macpherson, J. S. Barton, R. L. Reuben, J. D. C. Jones, R. Stevens, K. S. Chana, S. J. Anderson, and T. V. Jones, IEEE Sens. J. 3, 102 (2003).
    [CrossRef]
  7. J. Deng, H. Xiao, H. Huo, M. Luo, R. May, A. Wang, and Y. Liu, Opt. Laser Technol. 33, 305 (2001).
    [CrossRef]
  8. J. Zhou, S. Dasgupta, H. Kobayashi, J. M. Wolff, H. E. Jackson, and J. T. Boyd, Opt. Eng. 40, 4 (2001).
  9. S. Watson, M. J. Gander, W. N. MacPherson, J. S. Barton, J. D. C. Jones, T. Klotzbuecher, T. Braune, J. Ott, and F. Schmitz, Appl. Opt. 45, 5590 (2006).
    [CrossRef]
  10. W. Wang, N. Wu, Y. Tian, C. Niezrecki, and X. Wang, Opt. Express 18, 9 (2010).
  11. H. Bae, L. Dunlap, J. Wong, and M. Yu, IEEE Sens. J. 12, 5 (2012).
    [CrossRef]
  12. B. Yu, D. W. Kim, J. Deng, H. Xiao, and A. Wang, Appl. Opt. 42, 16 (2003).
  13. E. Cibula and D. Ðonlagic, Appl. Opt. 44, 2736 (2005).
    [CrossRef]
  14. X. Wang, J. Xu, Y. Zhu, K. L. Cooper, and A. Wang, Opt. Lett. 31, 7 (2006).
  15. F. Xu, D. Ren, X. Shi, C. Li, W. Lu, L. Lu, L. Lu, and B. Yu, Opt. Lett. 37, 2 (2012).
  16. J. Ma, W. Jin, H. L. Ho, and J. Y. Dai, Opt. Lett. 37, 13 (2012).
    [CrossRef]
  17. T. Wei, Y. Han, H. L. Tsai, and H. Xiao, Opt. Lett. 33, 6 (2008).
  18. L. Yuan, T. Wei, Q. Han, H. Wang, J. Huang, L. Jiang, and H. Xiao, Opt. Lett. 37, 21 (2012).
  19. M. D. Giovanni, Flat and Corrugated Diaphragm Design Handbook (M. Dekker, 1982).
  20. Y. Huang, T. Wei, Z. Zhou, Y. Zhang, G. Chen, and H. Xiao, Meas. Sci. Technol. 21, 10 (2010).
  21. D. Koutsoyiannis, Eur. J. Phys. 33, 2 (2012).

2012 (6)

T. T. Zhu, D. Wu, M. Liu, and D. W. Duan, Sensors 12, 8 (2012).
[CrossRef]

H. Bae, L. Dunlap, J. Wong, and M. Yu, IEEE Sens. J. 12, 5 (2012).
[CrossRef]

F. Xu, D. Ren, X. Shi, C. Li, W. Lu, L. Lu, L. Lu, and B. Yu, Opt. Lett. 37, 2 (2012).

J. Ma, W. Jin, H. L. Ho, and J. Y. Dai, Opt. Lett. 37, 13 (2012).
[CrossRef]

L. Yuan, T. Wei, Q. Han, H. Wang, J. Huang, L. Jiang, and H. Xiao, Opt. Lett. 37, 21 (2012).

D. Koutsoyiannis, Eur. J. Phys. 33, 2 (2012).

2010 (2)

Y. Huang, T. Wei, Z. Zhou, Y. Zhang, G. Chen, and H. Xiao, Meas. Sci. Technol. 21, 10 (2010).

W. Wang, N. Wu, Y. Tian, C. Niezrecki, and X. Wang, Opt. Express 18, 9 (2010).

2008 (1)

T. Wei, Y. Han, H. L. Tsai, and H. Xiao, Opt. Lett. 33, 6 (2008).

2007 (1)

S. H. Aref, H. Latifi, M. I. Zibaii, and M. Afshari, Opt. Commun. 269, 322 (2007).
[CrossRef]

2006 (2)

2005 (2)

E. Cibula and D. Ðonlagic, Appl. Opt. 44, 2736 (2005).
[CrossRef]

X. Wang, B. Li, Z. Xiao, S. H. Lee, H. Roman, O. L. Russo, K. K. Chin, and K. R. Farmer, J. Micromech. Microeng. 15, 521 (2005).
[CrossRef]

2003 (3)

T. Bae, R. A. Atkins, H. F. Taylor, and W. N. Gibler, Appl. Opt. 42, 6 (2003).

M. J. Gander, W. N. Macpherson, J. S. Barton, R. L. Reuben, J. D. C. Jones, R. Stevens, K. S. Chana, S. J. Anderson, and T. V. Jones, IEEE Sens. J. 3, 102 (2003).
[CrossRef]

B. Yu, D. W. Kim, J. Deng, H. Xiao, and A. Wang, Appl. Opt. 42, 16 (2003).

2001 (2)

J. Deng, H. Xiao, H. Huo, M. Luo, R. May, A. Wang, and Y. Liu, Opt. Laser Technol. 33, 305 (2001).
[CrossRef]

J. Zhou, S. Dasgupta, H. Kobayashi, J. M. Wolff, H. E. Jackson, and J. T. Boyd, Opt. Eng. 40, 4 (2001).

Afshari, M.

S. H. Aref, H. Latifi, M. I. Zibaii, and M. Afshari, Opt. Commun. 269, 322 (2007).
[CrossRef]

Anderson, S. J.

M. J. Gander, W. N. Macpherson, J. S. Barton, R. L. Reuben, J. D. C. Jones, R. Stevens, K. S. Chana, S. J. Anderson, and T. V. Jones, IEEE Sens. J. 3, 102 (2003).
[CrossRef]

Aref, S. H.

S. H. Aref, H. Latifi, M. I. Zibaii, and M. Afshari, Opt. Commun. 269, 322 (2007).
[CrossRef]

Atkins, R. A.

T. Bae, R. A. Atkins, H. F. Taylor, and W. N. Gibler, Appl. Opt. 42, 6 (2003).

Bae, H.

H. Bae, L. Dunlap, J. Wong, and M. Yu, IEEE Sens. J. 12, 5 (2012).
[CrossRef]

Bae, T.

T. Bae, R. A. Atkins, H. F. Taylor, and W. N. Gibler, Appl. Opt. 42, 6 (2003).

Barton, J. S.

S. Watson, M. J. Gander, W. N. MacPherson, J. S. Barton, J. D. C. Jones, T. Klotzbuecher, T. Braune, J. Ott, and F. Schmitz, Appl. Opt. 45, 5590 (2006).
[CrossRef]

M. J. Gander, W. N. Macpherson, J. S. Barton, R. L. Reuben, J. D. C. Jones, R. Stevens, K. S. Chana, S. J. Anderson, and T. V. Jones, IEEE Sens. J. 3, 102 (2003).
[CrossRef]

Boyd, J. T.

J. Zhou, S. Dasgupta, H. Kobayashi, J. M. Wolff, H. E. Jackson, and J. T. Boyd, Opt. Eng. 40, 4 (2001).

Braune, T.

Chana, K. S.

M. J. Gander, W. N. Macpherson, J. S. Barton, R. L. Reuben, J. D. C. Jones, R. Stevens, K. S. Chana, S. J. Anderson, and T. V. Jones, IEEE Sens. J. 3, 102 (2003).
[CrossRef]

Chen, G.

Y. Huang, T. Wei, Z. Zhou, Y. Zhang, G. Chen, and H. Xiao, Meas. Sci. Technol. 21, 10 (2010).

Chin, K. K.

X. Wang, B. Li, Z. Xiao, S. H. Lee, H. Roman, O. L. Russo, K. K. Chin, and K. R. Farmer, J. Micromech. Microeng. 15, 521 (2005).
[CrossRef]

Cibula, E.

Cooper, K. L.

X. Wang, J. Xu, Y. Zhu, K. L. Cooper, and A. Wang, Opt. Lett. 31, 7 (2006).

Dai, J. Y.

Dasgupta, S.

J. Zhou, S. Dasgupta, H. Kobayashi, J. M. Wolff, H. E. Jackson, and J. T. Boyd, Opt. Eng. 40, 4 (2001).

Deng, J.

B. Yu, D. W. Kim, J. Deng, H. Xiao, and A. Wang, Appl. Opt. 42, 16 (2003).

J. Deng, H. Xiao, H. Huo, M. Luo, R. May, A. Wang, and Y. Liu, Opt. Laser Technol. 33, 305 (2001).
[CrossRef]

Ðonlagic, D.

Duan, D. W.

T. T. Zhu, D. Wu, M. Liu, and D. W. Duan, Sensors 12, 8 (2012).
[CrossRef]

Dunlap, L.

H. Bae, L. Dunlap, J. Wong, and M. Yu, IEEE Sens. J. 12, 5 (2012).
[CrossRef]

Farmer, K. R.

X. Wang, B. Li, Z. Xiao, S. H. Lee, H. Roman, O. L. Russo, K. K. Chin, and K. R. Farmer, J. Micromech. Microeng. 15, 521 (2005).
[CrossRef]

Gander, M. J.

S. Watson, M. J. Gander, W. N. MacPherson, J. S. Barton, J. D. C. Jones, T. Klotzbuecher, T. Braune, J. Ott, and F. Schmitz, Appl. Opt. 45, 5590 (2006).
[CrossRef]

M. J. Gander, W. N. Macpherson, J. S. Barton, R. L. Reuben, J. D. C. Jones, R. Stevens, K. S. Chana, S. J. Anderson, and T. V. Jones, IEEE Sens. J. 3, 102 (2003).
[CrossRef]

Gibler, W. N.

T. Bae, R. A. Atkins, H. F. Taylor, and W. N. Gibler, Appl. Opt. 42, 6 (2003).

Giovanni, M. D.

M. D. Giovanni, Flat and Corrugated Diaphragm Design Handbook (M. Dekker, 1982).

Han, Q.

L. Yuan, T. Wei, Q. Han, H. Wang, J. Huang, L. Jiang, and H. Xiao, Opt. Lett. 37, 21 (2012).

Han, Y.

T. Wei, Y. Han, H. L. Tsai, and H. Xiao, Opt. Lett. 33, 6 (2008).

Ho, H. L.

Huang, J.

L. Yuan, T. Wei, Q. Han, H. Wang, J. Huang, L. Jiang, and H. Xiao, Opt. Lett. 37, 21 (2012).

Huang, Y.

Y. Huang, T. Wei, Z. Zhou, Y. Zhang, G. Chen, and H. Xiao, Meas. Sci. Technol. 21, 10 (2010).

Huo, H.

J. Deng, H. Xiao, H. Huo, M. Luo, R. May, A. Wang, and Y. Liu, Opt. Laser Technol. 33, 305 (2001).
[CrossRef]

Jackson, H. E.

J. Zhou, S. Dasgupta, H. Kobayashi, J. M. Wolff, H. E. Jackson, and J. T. Boyd, Opt. Eng. 40, 4 (2001).

Jiang, L.

L. Yuan, T. Wei, Q. Han, H. Wang, J. Huang, L. Jiang, and H. Xiao, Opt. Lett. 37, 21 (2012).

Jin, W.

Jones, J. D. C.

S. Watson, M. J. Gander, W. N. MacPherson, J. S. Barton, J. D. C. Jones, T. Klotzbuecher, T. Braune, J. Ott, and F. Schmitz, Appl. Opt. 45, 5590 (2006).
[CrossRef]

M. J. Gander, W. N. Macpherson, J. S. Barton, R. L. Reuben, J. D. C. Jones, R. Stevens, K. S. Chana, S. J. Anderson, and T. V. Jones, IEEE Sens. J. 3, 102 (2003).
[CrossRef]

Jones, T. V.

M. J. Gander, W. N. Macpherson, J. S. Barton, R. L. Reuben, J. D. C. Jones, R. Stevens, K. S. Chana, S. J. Anderson, and T. V. Jones, IEEE Sens. J. 3, 102 (2003).
[CrossRef]

Kim, D. W.

B. Yu, D. W. Kim, J. Deng, H. Xiao, and A. Wang, Appl. Opt. 42, 16 (2003).

Klotzbuecher, T.

Kobayashi, H.

J. Zhou, S. Dasgupta, H. Kobayashi, J. M. Wolff, H. E. Jackson, and J. T. Boyd, Opt. Eng. 40, 4 (2001).

Koutsoyiannis, D.

D. Koutsoyiannis, Eur. J. Phys. 33, 2 (2012).

Latifi, H.

S. H. Aref, H. Latifi, M. I. Zibaii, and M. Afshari, Opt. Commun. 269, 322 (2007).
[CrossRef]

Lee, C. E.

C. E. Lee and H. F. Taylor, Fiber Optic Smart Structures (Wiley, 1995).

Lee, S. H.

X. Wang, B. Li, Z. Xiao, S. H. Lee, H. Roman, O. L. Russo, K. K. Chin, and K. R. Farmer, J. Micromech. Microeng. 15, 521 (2005).
[CrossRef]

Li, B.

X. Wang, B. Li, Z. Xiao, S. H. Lee, H. Roman, O. L. Russo, K. K. Chin, and K. R. Farmer, J. Micromech. Microeng. 15, 521 (2005).
[CrossRef]

Li, C.

F. Xu, D. Ren, X. Shi, C. Li, W. Lu, L. Lu, L. Lu, and B. Yu, Opt. Lett. 37, 2 (2012).

Liu, M.

T. T. Zhu, D. Wu, M. Liu, and D. W. Duan, Sensors 12, 8 (2012).
[CrossRef]

Liu, Y.

J. Deng, H. Xiao, H. Huo, M. Luo, R. May, A. Wang, and Y. Liu, Opt. Laser Technol. 33, 305 (2001).
[CrossRef]

Lu, L.

F. Xu, D. Ren, X. Shi, C. Li, W. Lu, L. Lu, L. Lu, and B. Yu, Opt. Lett. 37, 2 (2012).

F. Xu, D. Ren, X. Shi, C. Li, W. Lu, L. Lu, L. Lu, and B. Yu, Opt. Lett. 37, 2 (2012).

Lu, W.

F. Xu, D. Ren, X. Shi, C. Li, W. Lu, L. Lu, L. Lu, and B. Yu, Opt. Lett. 37, 2 (2012).

Luo, M.

J. Deng, H. Xiao, H. Huo, M. Luo, R. May, A. Wang, and Y. Liu, Opt. Laser Technol. 33, 305 (2001).
[CrossRef]

Ma, J.

MacPherson, W. N.

S. Watson, M. J. Gander, W. N. MacPherson, J. S. Barton, J. D. C. Jones, T. Klotzbuecher, T. Braune, J. Ott, and F. Schmitz, Appl. Opt. 45, 5590 (2006).
[CrossRef]

M. J. Gander, W. N. Macpherson, J. S. Barton, R. L. Reuben, J. D. C. Jones, R. Stevens, K. S. Chana, S. J. Anderson, and T. V. Jones, IEEE Sens. J. 3, 102 (2003).
[CrossRef]

May, R.

J. Deng, H. Xiao, H. Huo, M. Luo, R. May, A. Wang, and Y. Liu, Opt. Laser Technol. 33, 305 (2001).
[CrossRef]

Niezrecki, C.

W. Wang, N. Wu, Y. Tian, C. Niezrecki, and X. Wang, Opt. Express 18, 9 (2010).

Ott, J.

Ren, D.

F. Xu, D. Ren, X. Shi, C. Li, W. Lu, L. Lu, L. Lu, and B. Yu, Opt. Lett. 37, 2 (2012).

Reuben, R. L.

M. J. Gander, W. N. Macpherson, J. S. Barton, R. L. Reuben, J. D. C. Jones, R. Stevens, K. S. Chana, S. J. Anderson, and T. V. Jones, IEEE Sens. J. 3, 102 (2003).
[CrossRef]

Roman, H.

X. Wang, B. Li, Z. Xiao, S. H. Lee, H. Roman, O. L. Russo, K. K. Chin, and K. R. Farmer, J. Micromech. Microeng. 15, 521 (2005).
[CrossRef]

Russo, O. L.

X. Wang, B. Li, Z. Xiao, S. H. Lee, H. Roman, O. L. Russo, K. K. Chin, and K. R. Farmer, J. Micromech. Microeng. 15, 521 (2005).
[CrossRef]

Schmitz, F.

Shi, X.

F. Xu, D. Ren, X. Shi, C. Li, W. Lu, L. Lu, L. Lu, and B. Yu, Opt. Lett. 37, 2 (2012).

Stevens, R.

M. J. Gander, W. N. Macpherson, J. S. Barton, R. L. Reuben, J. D. C. Jones, R. Stevens, K. S. Chana, S. J. Anderson, and T. V. Jones, IEEE Sens. J. 3, 102 (2003).
[CrossRef]

Taylor, H. F.

T. Bae, R. A. Atkins, H. F. Taylor, and W. N. Gibler, Appl. Opt. 42, 6 (2003).

C. E. Lee and H. F. Taylor, Fiber Optic Smart Structures (Wiley, 1995).

Tian, Y.

W. Wang, N. Wu, Y. Tian, C. Niezrecki, and X. Wang, Opt. Express 18, 9 (2010).

Tsai, H. L.

T. Wei, Y. Han, H. L. Tsai, and H. Xiao, Opt. Lett. 33, 6 (2008).

Wang, A.

X. Wang, J. Xu, Y. Zhu, K. L. Cooper, and A. Wang, Opt. Lett. 31, 7 (2006).

B. Yu, D. W. Kim, J. Deng, H. Xiao, and A. Wang, Appl. Opt. 42, 16 (2003).

J. Deng, H. Xiao, H. Huo, M. Luo, R. May, A. Wang, and Y. Liu, Opt. Laser Technol. 33, 305 (2001).
[CrossRef]

Wang, H.

L. Yuan, T. Wei, Q. Han, H. Wang, J. Huang, L. Jiang, and H. Xiao, Opt. Lett. 37, 21 (2012).

Wang, W.

W. Wang, N. Wu, Y. Tian, C. Niezrecki, and X. Wang, Opt. Express 18, 9 (2010).

Wang, X.

W. Wang, N. Wu, Y. Tian, C. Niezrecki, and X. Wang, Opt. Express 18, 9 (2010).

X. Wang, J. Xu, Y. Zhu, K. L. Cooper, and A. Wang, Opt. Lett. 31, 7 (2006).

X. Wang, B. Li, Z. Xiao, S. H. Lee, H. Roman, O. L. Russo, K. K. Chin, and K. R. Farmer, J. Micromech. Microeng. 15, 521 (2005).
[CrossRef]

Watson, S.

Wei, T.

L. Yuan, T. Wei, Q. Han, H. Wang, J. Huang, L. Jiang, and H. Xiao, Opt. Lett. 37, 21 (2012).

Y. Huang, T. Wei, Z. Zhou, Y. Zhang, G. Chen, and H. Xiao, Meas. Sci. Technol. 21, 10 (2010).

T. Wei, Y. Han, H. L. Tsai, and H. Xiao, Opt. Lett. 33, 6 (2008).

Wolff, J. M.

J. Zhou, S. Dasgupta, H. Kobayashi, J. M. Wolff, H. E. Jackson, and J. T. Boyd, Opt. Eng. 40, 4 (2001).

Wong, J.

H. Bae, L. Dunlap, J. Wong, and M. Yu, IEEE Sens. J. 12, 5 (2012).
[CrossRef]

Wu, D.

T. T. Zhu, D. Wu, M. Liu, and D. W. Duan, Sensors 12, 8 (2012).
[CrossRef]

Wu, N.

W. Wang, N. Wu, Y. Tian, C. Niezrecki, and X. Wang, Opt. Express 18, 9 (2010).

Xiao, H.

L. Yuan, T. Wei, Q. Han, H. Wang, J. Huang, L. Jiang, and H. Xiao, Opt. Lett. 37, 21 (2012).

Y. Huang, T. Wei, Z. Zhou, Y. Zhang, G. Chen, and H. Xiao, Meas. Sci. Technol. 21, 10 (2010).

T. Wei, Y. Han, H. L. Tsai, and H. Xiao, Opt. Lett. 33, 6 (2008).

B. Yu, D. W. Kim, J. Deng, H. Xiao, and A. Wang, Appl. Opt. 42, 16 (2003).

J. Deng, H. Xiao, H. Huo, M. Luo, R. May, A. Wang, and Y. Liu, Opt. Laser Technol. 33, 305 (2001).
[CrossRef]

Xiao, Z.

X. Wang, B. Li, Z. Xiao, S. H. Lee, H. Roman, O. L. Russo, K. K. Chin, and K. R. Farmer, J. Micromech. Microeng. 15, 521 (2005).
[CrossRef]

Xu, F.

F. Xu, D. Ren, X. Shi, C. Li, W. Lu, L. Lu, L. Lu, and B. Yu, Opt. Lett. 37, 2 (2012).

Xu, J.

X. Wang, J. Xu, Y. Zhu, K. L. Cooper, and A. Wang, Opt. Lett. 31, 7 (2006).

Yu, B.

F. Xu, D. Ren, X. Shi, C. Li, W. Lu, L. Lu, L. Lu, and B. Yu, Opt. Lett. 37, 2 (2012).

B. Yu, D. W. Kim, J. Deng, H. Xiao, and A. Wang, Appl. Opt. 42, 16 (2003).

Yu, M.

H. Bae, L. Dunlap, J. Wong, and M. Yu, IEEE Sens. J. 12, 5 (2012).
[CrossRef]

Yuan, L.

L. Yuan, T. Wei, Q. Han, H. Wang, J. Huang, L. Jiang, and H. Xiao, Opt. Lett. 37, 21 (2012).

Zhang, Y.

Y. Huang, T. Wei, Z. Zhou, Y. Zhang, G. Chen, and H. Xiao, Meas. Sci. Technol. 21, 10 (2010).

Zhou, J.

J. Zhou, S. Dasgupta, H. Kobayashi, J. M. Wolff, H. E. Jackson, and J. T. Boyd, Opt. Eng. 40, 4 (2001).

Zhou, Z.

Y. Huang, T. Wei, Z. Zhou, Y. Zhang, G. Chen, and H. Xiao, Meas. Sci. Technol. 21, 10 (2010).

Zhu, T. T.

T. T. Zhu, D. Wu, M. Liu, and D. W. Duan, Sensors 12, 8 (2012).
[CrossRef]

Zhu, Y.

X. Wang, J. Xu, Y. Zhu, K. L. Cooper, and A. Wang, Opt. Lett. 31, 7 (2006).

Zibaii, M. I.

S. H. Aref, H. Latifi, M. I. Zibaii, and M. Afshari, Opt. Commun. 269, 322 (2007).
[CrossRef]

Appl. Opt. (4)

T. Bae, R. A. Atkins, H. F. Taylor, and W. N. Gibler, Appl. Opt. 42, 6 (2003).

S. Watson, M. J. Gander, W. N. MacPherson, J. S. Barton, J. D. C. Jones, T. Klotzbuecher, T. Braune, J. Ott, and F. Schmitz, Appl. Opt. 45, 5590 (2006).
[CrossRef]

B. Yu, D. W. Kim, J. Deng, H. Xiao, and A. Wang, Appl. Opt. 42, 16 (2003).

E. Cibula and D. Ðonlagic, Appl. Opt. 44, 2736 (2005).
[CrossRef]

Eur. J. Phys. (1)

D. Koutsoyiannis, Eur. J. Phys. 33, 2 (2012).

IEEE Sens. J. (2)

H. Bae, L. Dunlap, J. Wong, and M. Yu, IEEE Sens. J. 12, 5 (2012).
[CrossRef]

M. J. Gander, W. N. Macpherson, J. S. Barton, R. L. Reuben, J. D. C. Jones, R. Stevens, K. S. Chana, S. J. Anderson, and T. V. Jones, IEEE Sens. J. 3, 102 (2003).
[CrossRef]

J. Micromech. Microeng. (1)

X. Wang, B. Li, Z. Xiao, S. H. Lee, H. Roman, O. L. Russo, K. K. Chin, and K. R. Farmer, J. Micromech. Microeng. 15, 521 (2005).
[CrossRef]

Meas. Sci. Technol. (1)

Y. Huang, T. Wei, Z. Zhou, Y. Zhang, G. Chen, and H. Xiao, Meas. Sci. Technol. 21, 10 (2010).

Opt. Commun. (1)

S. H. Aref, H. Latifi, M. I. Zibaii, and M. Afshari, Opt. Commun. 269, 322 (2007).
[CrossRef]

Opt. Eng. (1)

J. Zhou, S. Dasgupta, H. Kobayashi, J. M. Wolff, H. E. Jackson, and J. T. Boyd, Opt. Eng. 40, 4 (2001).

Opt. Express (1)

W. Wang, N. Wu, Y. Tian, C. Niezrecki, and X. Wang, Opt. Express 18, 9 (2010).

Opt. Laser Technol. (1)

J. Deng, H. Xiao, H. Huo, M. Luo, R. May, A. Wang, and Y. Liu, Opt. Laser Technol. 33, 305 (2001).
[CrossRef]

Opt. Lett. (5)

X. Wang, J. Xu, Y. Zhu, K. L. Cooper, and A. Wang, Opt. Lett. 31, 7 (2006).

F. Xu, D. Ren, X. Shi, C. Li, W. Lu, L. Lu, L. Lu, and B. Yu, Opt. Lett. 37, 2 (2012).

J. Ma, W. Jin, H. L. Ho, and J. Y. Dai, Opt. Lett. 37, 13 (2012).
[CrossRef]

T. Wei, Y. Han, H. L. Tsai, and H. Xiao, Opt. Lett. 33, 6 (2008).

L. Yuan, T. Wei, Q. Han, H. Wang, J. Huang, L. Jiang, and H. Xiao, Opt. Lett. 37, 21 (2012).

Sensors (1)

T. T. Zhu, D. Wu, M. Liu, and D. W. Duan, Sensors 12, 8 (2012).
[CrossRef]

Other (2)

C. E. Lee and H. F. Taylor, Fiber Optic Smart Structures (Wiley, 1995).

M. D. Giovanni, Flat and Corrugated Diaphragm Design Handbook (M. Dekker, 1982).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (5)

Fig. 1.
Fig. 1.

(a) Schematic of the pressure sensor. (b) SEM image of the cut-out view of the sensor head.

Fig. 2.
Fig. 2.

Typical interference spectra of the fiber FPI sensor in air and water. (a) Before laser ablation of the diaphragm. (b) After laser ablation of the diaphragm.

Fig. 3.
Fig. 3.

Pressure-induced interferogram shift of FPI sensor.

Fig. 4.
Fig. 4.

Sensor response to temperature changes.

Fig. 5.
Fig. 5.

Measured and calculated water vapor pressures at different temperatures. CAL P: theoretical pressure; MEA P: measured pressure; ΔP: difference of MEA P and CAL P.

Equations (4)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

S=3(1μ2)a416Eh3(μm/Pa),
Δd=Δλvλvd,
Δλv=3(1μ2)λva416Eh3dP.
P=P0exp[24.921(1T0T)](T0T)5.06,

Metrics