Abstract

The laser-damage thresholds of single material and nanolaminate thin films were compared under continuous-wave (CW) illumination conditions. Nanolaminate films consist of uniform material interrupted by the periodic insertion of one or more atomic layers of an alternative material. Hafnia and titania were used as the base materials, and the films were deposited using atomic-layer deposition. The nanolaminates were less polycrystalline than the uniform films, as quantified using x-ray diffraction. It was found that the nanolaminate films had reduced laser-damage thresholds on smooth and patterned substrates as compared to uniform single-material films. This behavior is unusual as prior art indicates that amorphous (less polycrystalline) materials have higher laser-damage thresholds under short-pulse excitation. It is speculated that this may indicate that local thermal conduction affects breakdown more strongly under CW excitation than the dielectric properties that are important for short-pulse excitation.

© 2013 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. S. Chao, W.-H. Wang, M.-Y. Hsu, and L.-C. Wang, J. Opt. Soc. Am. A 16, 1477 (1999).
    [CrossRef]
  2. R. Tateno, H. Okada, T. Otobe, K. Kawase, J. K. Koga, A. Kosuge, K. Nagashima, A. Sugiyama, and K. Kashiwagi, J. Appl. Phys. 112, 123103 (2012).
    [CrossRef]
  3. B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. B 53, 1749 (1996).
    [CrossRef]
  4. D. W. Fradin and M. Bass, Appl. Phys. Lett. 22, 206 (1973).
    [CrossRef]
  5. D. W. Fradin and M. Bass, Appl. Phys. Lett. 23, 604 (1973).
    [CrossRef]
  6. D. W. Fradin, E. Yablonovitch, and M. Bass, Appl. Opt. 12, 700 (1973).
    [CrossRef]
  7. M. J. Soileau and M. Bass, IEEE J. Quantum Electron. 16, 814 (1980).
    [CrossRef]
  8. D. W. Fradin, N. Bloembergen, and J. P. Letellier, Appl. Phys. Lett. 22, 635 (1973).
    [CrossRef]
  9. B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. Lett. 74, 2248 (1995).
    [CrossRef]
  10. J. Zhao, X. Li, H. Liu, R. Jiang, Z. Liu, Z. Hu, H. Gong, and J. Fang, Appl. Phys. Lett. 74, 1081 (1999).
    [CrossRef]
  11. H. Qi, Q. Wang, X. Zhang, Z. Liu, Z. Liu, J. Chang, W. Xia, and G. Jin, J. Appl. Phys. 103, 033106 (2008).
    [CrossRef]
  12. K. H. Lee, W. S. Shin, and E. C. Kang, Appl. Opt. 52, 2055 (2013).
    [CrossRef]
  13. J. R. Palmer, Opt. Eng. 22, 224435 (1983).
    [CrossRef]
  14. K. E. Puttick, R. Holm, D. Ristau, U. Natzschka, G. Kiriakidis, N. Garawal, E. Judd, D. Holland, D. Greening, N. Ellis, M. Wilkinson, M. Garcia Pamies, and C. Sanviti, Proc. SPIE 3244, 188 (1998).
    [CrossRef]
  15. H. Gong, C. F. Li, and Z. Y. Li, Proc. SPIE 3578, 576 (1999).
    [CrossRef]
  16. R. S. Shah, J. J. Rey, and A. F. Stewart, Proc. SPIE 6403, 640305 (2007).
    [CrossRef]
  17. S. S. Kim, N. T. Gabriel, W. S. Chan, and J. J. Talghader, Opt. Lett. 34, 2162 (2009).
    [CrossRef]
  18. S.-i. Zaitsu, S. Motokoshi, T. Jitsuno, M. Nakatsuka, and T. Yamanaka, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 1034 (2004).
    [CrossRef]
  19. D. M. Hausmann and R. G. Gordon, J. Cryst. Growth 249, 251 (2003).
    [CrossRef]
  20. N. T. Gabriel and J. J. Talghader, J. Appl. Phys. 110, 043526 (2011).
    [CrossRef]
  21. M. K. Poutous, A. J. Pung, P. Srinivasan, Z. A. Roth, and E. G. Johnson, Opt. Express 18, 27764 (2010).
    [CrossRef]
  22. H. Jiao, T. Ding, and Q. Zhang, Opt. Express 19, 4059 (2011).
    [CrossRef]
  23. A. Rosencwaig and J. B. Willis, Appl. Phys. Lett. 36, 667 (1980).
    [CrossRef]
  24. T. W. Murray and J. W. Wagner, J. Appl. Phys. 85, 2031 (1999).
    [CrossRef]
  25. J. Chen, X. Ni, J. Lu, and B. Bian, Opt. Commun. 176, 437 (2000).
    [CrossRef]
  26. J. F. Herbstman, A. J. Hunt, and S. M. Yalisove, Appl. Phys. Lett. 93, 011112 (2008).
    [CrossRef]
  27. S.-M. Lee, D. G. Cahill, and T. H. Allen, Phys. Rev. B 52, 253 (1995).
    [CrossRef]
  28. R. R. Austin, R. Michaud, A. H. Guenther, and J. Putman, Appl. Opt. 12, 665 (1973).
    [CrossRef]
  29. D. Mitchell, D. Attard, K. Finnie, G. Triani, C. Barb, C. Depagne, and J. Bartlett, Appl. Surf. Sci. 243, 265 (2005).
    [CrossRef]
  30. R. Raghavan, M. Bechelany, M. Parlinska, D. Frey, W. M. Mook, A. Beyer, J. Michler, and I. Utke, Appl. Phys. Lett. 100, 191912 (2012).
    [CrossRef]

2013

2012

R. Tateno, H. Okada, T. Otobe, K. Kawase, J. K. Koga, A. Kosuge, K. Nagashima, A. Sugiyama, and K. Kashiwagi, J. Appl. Phys. 112, 123103 (2012).
[CrossRef]

R. Raghavan, M. Bechelany, M. Parlinska, D. Frey, W. M. Mook, A. Beyer, J. Michler, and I. Utke, Appl. Phys. Lett. 100, 191912 (2012).
[CrossRef]

2011

N. T. Gabriel and J. J. Talghader, J. Appl. Phys. 110, 043526 (2011).
[CrossRef]

H. Jiao, T. Ding, and Q. Zhang, Opt. Express 19, 4059 (2011).
[CrossRef]

2010

2009

2008

H. Qi, Q. Wang, X. Zhang, Z. Liu, Z. Liu, J. Chang, W. Xia, and G. Jin, J. Appl. Phys. 103, 033106 (2008).
[CrossRef]

J. F. Herbstman, A. J. Hunt, and S. M. Yalisove, Appl. Phys. Lett. 93, 011112 (2008).
[CrossRef]

2007

R. S. Shah, J. J. Rey, and A. F. Stewart, Proc. SPIE 6403, 640305 (2007).
[CrossRef]

2005

D. Mitchell, D. Attard, K. Finnie, G. Triani, C. Barb, C. Depagne, and J. Bartlett, Appl. Surf. Sci. 243, 265 (2005).
[CrossRef]

2004

S.-i. Zaitsu, S. Motokoshi, T. Jitsuno, M. Nakatsuka, and T. Yamanaka, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 1034 (2004).
[CrossRef]

2003

D. M. Hausmann and R. G. Gordon, J. Cryst. Growth 249, 251 (2003).
[CrossRef]

2000

J. Chen, X. Ni, J. Lu, and B. Bian, Opt. Commun. 176, 437 (2000).
[CrossRef]

1999

T. W. Murray and J. W. Wagner, J. Appl. Phys. 85, 2031 (1999).
[CrossRef]

H. Gong, C. F. Li, and Z. Y. Li, Proc. SPIE 3578, 576 (1999).
[CrossRef]

J. Zhao, X. Li, H. Liu, R. Jiang, Z. Liu, Z. Hu, H. Gong, and J. Fang, Appl. Phys. Lett. 74, 1081 (1999).
[CrossRef]

S. Chao, W.-H. Wang, M.-Y. Hsu, and L.-C. Wang, J. Opt. Soc. Am. A 16, 1477 (1999).
[CrossRef]

1998

K. E. Puttick, R. Holm, D. Ristau, U. Natzschka, G. Kiriakidis, N. Garawal, E. Judd, D. Holland, D. Greening, N. Ellis, M. Wilkinson, M. Garcia Pamies, and C. Sanviti, Proc. SPIE 3244, 188 (1998).
[CrossRef]

1996

B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. B 53, 1749 (1996).
[CrossRef]

1995

B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. Lett. 74, 2248 (1995).
[CrossRef]

S.-M. Lee, D. G. Cahill, and T. H. Allen, Phys. Rev. B 52, 253 (1995).
[CrossRef]

1983

J. R. Palmer, Opt. Eng. 22, 224435 (1983).
[CrossRef]

1980

M. J. Soileau and M. Bass, IEEE J. Quantum Electron. 16, 814 (1980).
[CrossRef]

A. Rosencwaig and J. B. Willis, Appl. Phys. Lett. 36, 667 (1980).
[CrossRef]

1973

R. R. Austin, R. Michaud, A. H. Guenther, and J. Putman, Appl. Opt. 12, 665 (1973).
[CrossRef]

D. W. Fradin, N. Bloembergen, and J. P. Letellier, Appl. Phys. Lett. 22, 635 (1973).
[CrossRef]

D. W. Fradin and M. Bass, Appl. Phys. Lett. 22, 206 (1973).
[CrossRef]

D. W. Fradin and M. Bass, Appl. Phys. Lett. 23, 604 (1973).
[CrossRef]

D. W. Fradin, E. Yablonovitch, and M. Bass, Appl. Opt. 12, 700 (1973).
[CrossRef]

Allen, T. H.

S.-M. Lee, D. G. Cahill, and T. H. Allen, Phys. Rev. B 52, 253 (1995).
[CrossRef]

Attard, D.

D. Mitchell, D. Attard, K. Finnie, G. Triani, C. Barb, C. Depagne, and J. Bartlett, Appl. Surf. Sci. 243, 265 (2005).
[CrossRef]

Austin, R. R.

Barb, C.

D. Mitchell, D. Attard, K. Finnie, G. Triani, C. Barb, C. Depagne, and J. Bartlett, Appl. Surf. Sci. 243, 265 (2005).
[CrossRef]

Bartlett, J.

D. Mitchell, D. Attard, K. Finnie, G. Triani, C. Barb, C. Depagne, and J. Bartlett, Appl. Surf. Sci. 243, 265 (2005).
[CrossRef]

Bass, M.

M. J. Soileau and M. Bass, IEEE J. Quantum Electron. 16, 814 (1980).
[CrossRef]

D. W. Fradin and M. Bass, Appl. Phys. Lett. 22, 206 (1973).
[CrossRef]

D. W. Fradin and M. Bass, Appl. Phys. Lett. 23, 604 (1973).
[CrossRef]

D. W. Fradin, E. Yablonovitch, and M. Bass, Appl. Opt. 12, 700 (1973).
[CrossRef]

Bechelany, M.

R. Raghavan, M. Bechelany, M. Parlinska, D. Frey, W. M. Mook, A. Beyer, J. Michler, and I. Utke, Appl. Phys. Lett. 100, 191912 (2012).
[CrossRef]

Beyer, A.

R. Raghavan, M. Bechelany, M. Parlinska, D. Frey, W. M. Mook, A. Beyer, J. Michler, and I. Utke, Appl. Phys. Lett. 100, 191912 (2012).
[CrossRef]

Bian, B.

J. Chen, X. Ni, J. Lu, and B. Bian, Opt. Commun. 176, 437 (2000).
[CrossRef]

Bloembergen, N.

D. W. Fradin, N. Bloembergen, and J. P. Letellier, Appl. Phys. Lett. 22, 635 (1973).
[CrossRef]

Cahill, D. G.

S.-M. Lee, D. G. Cahill, and T. H. Allen, Phys. Rev. B 52, 253 (1995).
[CrossRef]

Chan, W. S.

Chang, J.

H. Qi, Q. Wang, X. Zhang, Z. Liu, Z. Liu, J. Chang, W. Xia, and G. Jin, J. Appl. Phys. 103, 033106 (2008).
[CrossRef]

Chao, S.

Chen, J.

J. Chen, X. Ni, J. Lu, and B. Bian, Opt. Commun. 176, 437 (2000).
[CrossRef]

Depagne, C.

D. Mitchell, D. Attard, K. Finnie, G. Triani, C. Barb, C. Depagne, and J. Bartlett, Appl. Surf. Sci. 243, 265 (2005).
[CrossRef]

Ding, T.

Ellis, N.

K. E. Puttick, R. Holm, D. Ristau, U. Natzschka, G. Kiriakidis, N. Garawal, E. Judd, D. Holland, D. Greening, N. Ellis, M. Wilkinson, M. Garcia Pamies, and C. Sanviti, Proc. SPIE 3244, 188 (1998).
[CrossRef]

Fang, J.

J. Zhao, X. Li, H. Liu, R. Jiang, Z. Liu, Z. Hu, H. Gong, and J. Fang, Appl. Phys. Lett. 74, 1081 (1999).
[CrossRef]

Feit, M. D.

B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. B 53, 1749 (1996).
[CrossRef]

B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. Lett. 74, 2248 (1995).
[CrossRef]

Finnie, K.

D. Mitchell, D. Attard, K. Finnie, G. Triani, C. Barb, C. Depagne, and J. Bartlett, Appl. Surf. Sci. 243, 265 (2005).
[CrossRef]

Fradin, D. W.

D. W. Fradin, N. Bloembergen, and J. P. Letellier, Appl. Phys. Lett. 22, 635 (1973).
[CrossRef]

D. W. Fradin, E. Yablonovitch, and M. Bass, Appl. Opt. 12, 700 (1973).
[CrossRef]

D. W. Fradin and M. Bass, Appl. Phys. Lett. 23, 604 (1973).
[CrossRef]

D. W. Fradin and M. Bass, Appl. Phys. Lett. 22, 206 (1973).
[CrossRef]

Frey, D.

R. Raghavan, M. Bechelany, M. Parlinska, D. Frey, W. M. Mook, A. Beyer, J. Michler, and I. Utke, Appl. Phys. Lett. 100, 191912 (2012).
[CrossRef]

Gabriel, N. T.

N. T. Gabriel and J. J. Talghader, J. Appl. Phys. 110, 043526 (2011).
[CrossRef]

S. S. Kim, N. T. Gabriel, W. S. Chan, and J. J. Talghader, Opt. Lett. 34, 2162 (2009).
[CrossRef]

Garawal, N.

K. E. Puttick, R. Holm, D. Ristau, U. Natzschka, G. Kiriakidis, N. Garawal, E. Judd, D. Holland, D. Greening, N. Ellis, M. Wilkinson, M. Garcia Pamies, and C. Sanviti, Proc. SPIE 3244, 188 (1998).
[CrossRef]

Garcia Pamies, M.

K. E. Puttick, R. Holm, D. Ristau, U. Natzschka, G. Kiriakidis, N. Garawal, E. Judd, D. Holland, D. Greening, N. Ellis, M. Wilkinson, M. Garcia Pamies, and C. Sanviti, Proc. SPIE 3244, 188 (1998).
[CrossRef]

Gong, H.

J. Zhao, X. Li, H. Liu, R. Jiang, Z. Liu, Z. Hu, H. Gong, and J. Fang, Appl. Phys. Lett. 74, 1081 (1999).
[CrossRef]

H. Gong, C. F. Li, and Z. Y. Li, Proc. SPIE 3578, 576 (1999).
[CrossRef]

Gordon, R. G.

D. M. Hausmann and R. G. Gordon, J. Cryst. Growth 249, 251 (2003).
[CrossRef]

Greening, D.

K. E. Puttick, R. Holm, D. Ristau, U. Natzschka, G. Kiriakidis, N. Garawal, E. Judd, D. Holland, D. Greening, N. Ellis, M. Wilkinson, M. Garcia Pamies, and C. Sanviti, Proc. SPIE 3244, 188 (1998).
[CrossRef]

Guenther, A. H.

Hausmann, D. M.

D. M. Hausmann and R. G. Gordon, J. Cryst. Growth 249, 251 (2003).
[CrossRef]

Herbstman, J. F.

J. F. Herbstman, A. J. Hunt, and S. M. Yalisove, Appl. Phys. Lett. 93, 011112 (2008).
[CrossRef]

Herman, S.

B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. B 53, 1749 (1996).
[CrossRef]

Holland, D.

K. E. Puttick, R. Holm, D. Ristau, U. Natzschka, G. Kiriakidis, N. Garawal, E. Judd, D. Holland, D. Greening, N. Ellis, M. Wilkinson, M. Garcia Pamies, and C. Sanviti, Proc. SPIE 3244, 188 (1998).
[CrossRef]

Holm, R.

K. E. Puttick, R. Holm, D. Ristau, U. Natzschka, G. Kiriakidis, N. Garawal, E. Judd, D. Holland, D. Greening, N. Ellis, M. Wilkinson, M. Garcia Pamies, and C. Sanviti, Proc. SPIE 3244, 188 (1998).
[CrossRef]

Hsu, M.-Y.

Hu, Z.

J. Zhao, X. Li, H. Liu, R. Jiang, Z. Liu, Z. Hu, H. Gong, and J. Fang, Appl. Phys. Lett. 74, 1081 (1999).
[CrossRef]

Hunt, A. J.

J. F. Herbstman, A. J. Hunt, and S. M. Yalisove, Appl. Phys. Lett. 93, 011112 (2008).
[CrossRef]

Jiang, R.

J. Zhao, X. Li, H. Liu, R. Jiang, Z. Liu, Z. Hu, H. Gong, and J. Fang, Appl. Phys. Lett. 74, 1081 (1999).
[CrossRef]

Jiao, H.

Jin, G.

H. Qi, Q. Wang, X. Zhang, Z. Liu, Z. Liu, J. Chang, W. Xia, and G. Jin, J. Appl. Phys. 103, 033106 (2008).
[CrossRef]

Jitsuno, T.

S.-i. Zaitsu, S. Motokoshi, T. Jitsuno, M. Nakatsuka, and T. Yamanaka, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 1034 (2004).
[CrossRef]

Johnson, E. G.

Judd, E.

K. E. Puttick, R. Holm, D. Ristau, U. Natzschka, G. Kiriakidis, N. Garawal, E. Judd, D. Holland, D. Greening, N. Ellis, M. Wilkinson, M. Garcia Pamies, and C. Sanviti, Proc. SPIE 3244, 188 (1998).
[CrossRef]

Kang, E. C.

Kashiwagi, K.

R. Tateno, H. Okada, T. Otobe, K. Kawase, J. K. Koga, A. Kosuge, K. Nagashima, A. Sugiyama, and K. Kashiwagi, J. Appl. Phys. 112, 123103 (2012).
[CrossRef]

Kawase, K.

R. Tateno, H. Okada, T. Otobe, K. Kawase, J. K. Koga, A. Kosuge, K. Nagashima, A. Sugiyama, and K. Kashiwagi, J. Appl. Phys. 112, 123103 (2012).
[CrossRef]

Kim, S. S.

Kiriakidis, G.

K. E. Puttick, R. Holm, D. Ristau, U. Natzschka, G. Kiriakidis, N. Garawal, E. Judd, D. Holland, D. Greening, N. Ellis, M. Wilkinson, M. Garcia Pamies, and C. Sanviti, Proc. SPIE 3244, 188 (1998).
[CrossRef]

Koga, J. K.

R. Tateno, H. Okada, T. Otobe, K. Kawase, J. K. Koga, A. Kosuge, K. Nagashima, A. Sugiyama, and K. Kashiwagi, J. Appl. Phys. 112, 123103 (2012).
[CrossRef]

Kosuge, A.

R. Tateno, H. Okada, T. Otobe, K. Kawase, J. K. Koga, A. Kosuge, K. Nagashima, A. Sugiyama, and K. Kashiwagi, J. Appl. Phys. 112, 123103 (2012).
[CrossRef]

Lee, K. H.

Lee, S.-M.

S.-M. Lee, D. G. Cahill, and T. H. Allen, Phys. Rev. B 52, 253 (1995).
[CrossRef]

Letellier, J. P.

D. W. Fradin, N. Bloembergen, and J. P. Letellier, Appl. Phys. Lett. 22, 635 (1973).
[CrossRef]

Li, C. F.

H. Gong, C. F. Li, and Z. Y. Li, Proc. SPIE 3578, 576 (1999).
[CrossRef]

Li, X.

J. Zhao, X. Li, H. Liu, R. Jiang, Z. Liu, Z. Hu, H. Gong, and J. Fang, Appl. Phys. Lett. 74, 1081 (1999).
[CrossRef]

Li, Z. Y.

H. Gong, C. F. Li, and Z. Y. Li, Proc. SPIE 3578, 576 (1999).
[CrossRef]

Liu, H.

J. Zhao, X. Li, H. Liu, R. Jiang, Z. Liu, Z. Hu, H. Gong, and J. Fang, Appl. Phys. Lett. 74, 1081 (1999).
[CrossRef]

Liu, Z.

H. Qi, Q. Wang, X. Zhang, Z. Liu, Z. Liu, J. Chang, W. Xia, and G. Jin, J. Appl. Phys. 103, 033106 (2008).
[CrossRef]

H. Qi, Q. Wang, X. Zhang, Z. Liu, Z. Liu, J. Chang, W. Xia, and G. Jin, J. Appl. Phys. 103, 033106 (2008).
[CrossRef]

J. Zhao, X. Li, H. Liu, R. Jiang, Z. Liu, Z. Hu, H. Gong, and J. Fang, Appl. Phys. Lett. 74, 1081 (1999).
[CrossRef]

Lu, J.

J. Chen, X. Ni, J. Lu, and B. Bian, Opt. Commun. 176, 437 (2000).
[CrossRef]

Michaud, R.

Michler, J.

R. Raghavan, M. Bechelany, M. Parlinska, D. Frey, W. M. Mook, A. Beyer, J. Michler, and I. Utke, Appl. Phys. Lett. 100, 191912 (2012).
[CrossRef]

Mitchell, D.

D. Mitchell, D. Attard, K. Finnie, G. Triani, C. Barb, C. Depagne, and J. Bartlett, Appl. Surf. Sci. 243, 265 (2005).
[CrossRef]

Mook, W. M.

R. Raghavan, M. Bechelany, M. Parlinska, D. Frey, W. M. Mook, A. Beyer, J. Michler, and I. Utke, Appl. Phys. Lett. 100, 191912 (2012).
[CrossRef]

Motokoshi, S.

S.-i. Zaitsu, S. Motokoshi, T. Jitsuno, M. Nakatsuka, and T. Yamanaka, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 1034 (2004).
[CrossRef]

Murray, T. W.

T. W. Murray and J. W. Wagner, J. Appl. Phys. 85, 2031 (1999).
[CrossRef]

Nagashima, K.

R. Tateno, H. Okada, T. Otobe, K. Kawase, J. K. Koga, A. Kosuge, K. Nagashima, A. Sugiyama, and K. Kashiwagi, J. Appl. Phys. 112, 123103 (2012).
[CrossRef]

Nakatsuka, M.

S.-i. Zaitsu, S. Motokoshi, T. Jitsuno, M. Nakatsuka, and T. Yamanaka, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 1034 (2004).
[CrossRef]

Natzschka, U.

K. E. Puttick, R. Holm, D. Ristau, U. Natzschka, G. Kiriakidis, N. Garawal, E. Judd, D. Holland, D. Greening, N. Ellis, M. Wilkinson, M. Garcia Pamies, and C. Sanviti, Proc. SPIE 3244, 188 (1998).
[CrossRef]

Ni, X.

J. Chen, X. Ni, J. Lu, and B. Bian, Opt. Commun. 176, 437 (2000).
[CrossRef]

Okada, H.

R. Tateno, H. Okada, T. Otobe, K. Kawase, J. K. Koga, A. Kosuge, K. Nagashima, A. Sugiyama, and K. Kashiwagi, J. Appl. Phys. 112, 123103 (2012).
[CrossRef]

Otobe, T.

R. Tateno, H. Okada, T. Otobe, K. Kawase, J. K. Koga, A. Kosuge, K. Nagashima, A. Sugiyama, and K. Kashiwagi, J. Appl. Phys. 112, 123103 (2012).
[CrossRef]

Palmer, J. R.

J. R. Palmer, Opt. Eng. 22, 224435 (1983).
[CrossRef]

Parlinska, M.

R. Raghavan, M. Bechelany, M. Parlinska, D. Frey, W. M. Mook, A. Beyer, J. Michler, and I. Utke, Appl. Phys. Lett. 100, 191912 (2012).
[CrossRef]

Perry, M. D.

B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. B 53, 1749 (1996).
[CrossRef]

B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. Lett. 74, 2248 (1995).
[CrossRef]

Poutous, M. K.

Pung, A. J.

Putman, J.

Puttick, K. E.

K. E. Puttick, R. Holm, D. Ristau, U. Natzschka, G. Kiriakidis, N. Garawal, E. Judd, D. Holland, D. Greening, N. Ellis, M. Wilkinson, M. Garcia Pamies, and C. Sanviti, Proc. SPIE 3244, 188 (1998).
[CrossRef]

Qi, H.

H. Qi, Q. Wang, X. Zhang, Z. Liu, Z. Liu, J. Chang, W. Xia, and G. Jin, J. Appl. Phys. 103, 033106 (2008).
[CrossRef]

Raghavan, R.

R. Raghavan, M. Bechelany, M. Parlinska, D. Frey, W. M. Mook, A. Beyer, J. Michler, and I. Utke, Appl. Phys. Lett. 100, 191912 (2012).
[CrossRef]

Rey, J. J.

R. S. Shah, J. J. Rey, and A. F. Stewart, Proc. SPIE 6403, 640305 (2007).
[CrossRef]

Ristau, D.

K. E. Puttick, R. Holm, D. Ristau, U. Natzschka, G. Kiriakidis, N. Garawal, E. Judd, D. Holland, D. Greening, N. Ellis, M. Wilkinson, M. Garcia Pamies, and C. Sanviti, Proc. SPIE 3244, 188 (1998).
[CrossRef]

Rosencwaig, A.

A. Rosencwaig and J. B. Willis, Appl. Phys. Lett. 36, 667 (1980).
[CrossRef]

Roth, Z. A.

Rubenchik, A. M.

B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. B 53, 1749 (1996).
[CrossRef]

B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. Lett. 74, 2248 (1995).
[CrossRef]

Sanviti, C.

K. E. Puttick, R. Holm, D. Ristau, U. Natzschka, G. Kiriakidis, N. Garawal, E. Judd, D. Holland, D. Greening, N. Ellis, M. Wilkinson, M. Garcia Pamies, and C. Sanviti, Proc. SPIE 3244, 188 (1998).
[CrossRef]

Shah, R. S.

R. S. Shah, J. J. Rey, and A. F. Stewart, Proc. SPIE 6403, 640305 (2007).
[CrossRef]

Shin, W. S.

Shore, B. W.

B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. B 53, 1749 (1996).
[CrossRef]

B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. Lett. 74, 2248 (1995).
[CrossRef]

Soileau, M. J.

M. J. Soileau and M. Bass, IEEE J. Quantum Electron. 16, 814 (1980).
[CrossRef]

Srinivasan, P.

Stewart, A. F.

R. S. Shah, J. J. Rey, and A. F. Stewart, Proc. SPIE 6403, 640305 (2007).
[CrossRef]

Stuart, B. C.

B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. B 53, 1749 (1996).
[CrossRef]

B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. Lett. 74, 2248 (1995).
[CrossRef]

Sugiyama, A.

R. Tateno, H. Okada, T. Otobe, K. Kawase, J. K. Koga, A. Kosuge, K. Nagashima, A. Sugiyama, and K. Kashiwagi, J. Appl. Phys. 112, 123103 (2012).
[CrossRef]

Talghader, J. J.

N. T. Gabriel and J. J. Talghader, J. Appl. Phys. 110, 043526 (2011).
[CrossRef]

S. S. Kim, N. T. Gabriel, W. S. Chan, and J. J. Talghader, Opt. Lett. 34, 2162 (2009).
[CrossRef]

Tateno, R.

R. Tateno, H. Okada, T. Otobe, K. Kawase, J. K. Koga, A. Kosuge, K. Nagashima, A. Sugiyama, and K. Kashiwagi, J. Appl. Phys. 112, 123103 (2012).
[CrossRef]

Triani, G.

D. Mitchell, D. Attard, K. Finnie, G. Triani, C. Barb, C. Depagne, and J. Bartlett, Appl. Surf. Sci. 243, 265 (2005).
[CrossRef]

Utke, I.

R. Raghavan, M. Bechelany, M. Parlinska, D. Frey, W. M. Mook, A. Beyer, J. Michler, and I. Utke, Appl. Phys. Lett. 100, 191912 (2012).
[CrossRef]

Wagner, J. W.

T. W. Murray and J. W. Wagner, J. Appl. Phys. 85, 2031 (1999).
[CrossRef]

Wang, L.-C.

Wang, Q.

H. Qi, Q. Wang, X. Zhang, Z. Liu, Z. Liu, J. Chang, W. Xia, and G. Jin, J. Appl. Phys. 103, 033106 (2008).
[CrossRef]

Wang, W.-H.

Wilkinson, M.

K. E. Puttick, R. Holm, D. Ristau, U. Natzschka, G. Kiriakidis, N. Garawal, E. Judd, D. Holland, D. Greening, N. Ellis, M. Wilkinson, M. Garcia Pamies, and C. Sanviti, Proc. SPIE 3244, 188 (1998).
[CrossRef]

Willis, J. B.

A. Rosencwaig and J. B. Willis, Appl. Phys. Lett. 36, 667 (1980).
[CrossRef]

Xia, W.

H. Qi, Q. Wang, X. Zhang, Z. Liu, Z. Liu, J. Chang, W. Xia, and G. Jin, J. Appl. Phys. 103, 033106 (2008).
[CrossRef]

Yablonovitch, E.

Yalisove, S. M.

J. F. Herbstman, A. J. Hunt, and S. M. Yalisove, Appl. Phys. Lett. 93, 011112 (2008).
[CrossRef]

Yamanaka, T.

S.-i. Zaitsu, S. Motokoshi, T. Jitsuno, M. Nakatsuka, and T. Yamanaka, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 1034 (2004).
[CrossRef]

Zaitsu, S.-i.

S.-i. Zaitsu, S. Motokoshi, T. Jitsuno, M. Nakatsuka, and T. Yamanaka, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 1034 (2004).
[CrossRef]

Zhang, Q.

Zhang, X.

H. Qi, Q. Wang, X. Zhang, Z. Liu, Z. Liu, J. Chang, W. Xia, and G. Jin, J. Appl. Phys. 103, 033106 (2008).
[CrossRef]

Zhao, J.

J. Zhao, X. Li, H. Liu, R. Jiang, Z. Liu, Z. Hu, H. Gong, and J. Fang, Appl. Phys. Lett. 74, 1081 (1999).
[CrossRef]

Appl. Opt.

Appl. Phys. Lett.

R. Raghavan, M. Bechelany, M. Parlinska, D. Frey, W. M. Mook, A. Beyer, J. Michler, and I. Utke, Appl. Phys. Lett. 100, 191912 (2012).
[CrossRef]

A. Rosencwaig and J. B. Willis, Appl. Phys. Lett. 36, 667 (1980).
[CrossRef]

J. F. Herbstman, A. J. Hunt, and S. M. Yalisove, Appl. Phys. Lett. 93, 011112 (2008).
[CrossRef]

J. Zhao, X. Li, H. Liu, R. Jiang, Z. Liu, Z. Hu, H. Gong, and J. Fang, Appl. Phys. Lett. 74, 1081 (1999).
[CrossRef]

D. W. Fradin, N. Bloembergen, and J. P. Letellier, Appl. Phys. Lett. 22, 635 (1973).
[CrossRef]

D. W. Fradin and M. Bass, Appl. Phys. Lett. 22, 206 (1973).
[CrossRef]

D. W. Fradin and M. Bass, Appl. Phys. Lett. 23, 604 (1973).
[CrossRef]

Appl. Surf. Sci.

D. Mitchell, D. Attard, K. Finnie, G. Triani, C. Barb, C. Depagne, and J. Bartlett, Appl. Surf. Sci. 243, 265 (2005).
[CrossRef]

IEEE J. Quantum Electron.

M. J. Soileau and M. Bass, IEEE J. Quantum Electron. 16, 814 (1980).
[CrossRef]

J. Appl. Phys.

R. Tateno, H. Okada, T. Otobe, K. Kawase, J. K. Koga, A. Kosuge, K. Nagashima, A. Sugiyama, and K. Kashiwagi, J. Appl. Phys. 112, 123103 (2012).
[CrossRef]

H. Qi, Q. Wang, X. Zhang, Z. Liu, Z. Liu, J. Chang, W. Xia, and G. Jin, J. Appl. Phys. 103, 033106 (2008).
[CrossRef]

T. W. Murray and J. W. Wagner, J. Appl. Phys. 85, 2031 (1999).
[CrossRef]

N. T. Gabriel and J. J. Talghader, J. Appl. Phys. 110, 043526 (2011).
[CrossRef]

J. Cryst. Growth

D. M. Hausmann and R. G. Gordon, J. Cryst. Growth 249, 251 (2003).
[CrossRef]

J. Opt. Soc. Am. A

Jpn. J. Appl. Phys.

S.-i. Zaitsu, S. Motokoshi, T. Jitsuno, M. Nakatsuka, and T. Yamanaka, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 1034 (2004).
[CrossRef]

Opt. Commun.

J. Chen, X. Ni, J. Lu, and B. Bian, Opt. Commun. 176, 437 (2000).
[CrossRef]

Opt. Eng.

J. R. Palmer, Opt. Eng. 22, 224435 (1983).
[CrossRef]

Opt. Express

Opt. Lett.

Phys. Rev. B

B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. B 53, 1749 (1996).
[CrossRef]

S.-M. Lee, D. G. Cahill, and T. H. Allen, Phys. Rev. B 52, 253 (1995).
[CrossRef]

Phys. Rev. Lett.

B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. Lett. 74, 2248 (1995).
[CrossRef]

Proc. SPIE

K. E. Puttick, R. Holm, D. Ristau, U. Natzschka, G. Kiriakidis, N. Garawal, E. Judd, D. Holland, D. Greening, N. Ellis, M. Wilkinson, M. Garcia Pamies, and C. Sanviti, Proc. SPIE 3244, 188 (1998).
[CrossRef]

H. Gong, C. F. Li, and Z. Y. Li, Proc. SPIE 3578, 576 (1999).
[CrossRef]

R. S. Shah, J. J. Rey, and A. F. Stewart, Proc. SPIE 6403, 640305 (2007).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (5)

Fig. 1.
Fig. 1.

AFM measurement results for titania, titania/alumina nanolaminate (NL), hafnia, and hafnia/alumina nanolaminate. Note change of scale bar between measurements.

Fig. 2.
Fig. 2.

XRD measurement results for thin films (from bottom): hafnia/alumina nanolaminate, uniform hafnia, titania/alumina nanolaminate, and uniform titania.

Fig. 3.
Fig. 3.

Laser damage experimental setup.

Fig. 4.
Fig. 4.

Optical microscope images of uniform titania-coated and nanolaminate titania-coated patterned-substrate damage test arrays. Each of the five horizontal rows comprising five test sites was tested with a constant irradiance.

Fig. 5.
Fig. 5.

SEM images of hafnia nanolaminate laser-damage test-site morphologies after irradiation (a) near threshold and (b) well above threshold. Note change of scale.

Tables (2)

Tables Icon

Table 1. Unpatterned Substrate LIDT

Tables Icon

Table 2. Patterned Substrate LIDT

Metrics