Abstract

A reliable method, combining a wet etch process and real-time damage event imaging during a raster scan laser damage test, has been developed to directly determine the most dangerous precursor inducing low-density laser damage at 355 nm in fused silica. It is revealed that 16% of laser damage sites were initiated at the place of the scratches, 49% initiated at the digs, and 35% initiated at invisible defects. The morphologies of dangerous scratches and digs were compared with those of moderate ones. It is found that local sharp variation at the edge, twist, or inside of a subsurface defect is the most dangerous laser damage precursor.

© 2013 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. B 53, 1749 (1996).
    [CrossRef]
  2. J. Neauport, C. Ambard, P. Cormont, N. Darbois, J. Destribats, C. Luitot, and O. Rondeau, Opt. Express 17, 20448 (2009).
    [CrossRef]
  3. A. K. Burnham, L. Hackel, P. Wegner, T. Parham, L. Hrubesh, B. Penetrante, P. Whitman, S. Demos, J. Menapace, M. Runkel, M. Fluss, M. Feit, M. Key, and T. Biesiada, Proc. SPIE 4679, 173 (2001).
    [CrossRef]
  4. S. Papernov and A. W. Schmid, Proc. SPIE 7132, 71321J (2008).
    [CrossRef]
  5. G. Hu, Y. Zhao, D. Li, Q. Xiao, J. Shao, and Z. Fan, Surf. Interface Anal. 42, 1465 (2010).
    [CrossRef]
  6. T. I. Suratwala, P. E. Miller, J. D. Bude, W. A. Steele, N. Shen, M. V. Monticelli, M. D. Feit, T. A. Laurence, M. A. Norton, C. W. Carr, and L. L. Wong, J. Am. Ceram. Soc. 94, 416 (2011).
    [CrossRef]
  7. T. Suratwala, R. Steele, M. D. Feit, L. Wong, P. Miller, J. Menapace, and P. Davis, J. Non-Cryst. Solids 354, 2023 (2008).
    [CrossRef]
  8. T. Suratwala, L. Wong, P. Miller, M. D. Feit, J. Menapace, R. Steele, P. Davis, and D. Walmer, J. Non-Cryst. Solids 352, 5601 (2006).
    [CrossRef]
  9. D. W. Camp, M. R. Kozlowski, L. M. Sheehan, M. Nichols, M. Dovik, R. Raether, and I. Thomas, Proc. SPIE 3244, 356 (1998).
    [CrossRef]
  10. C. L. Battersby, L. M. Sheehan, and M. R. Kozlowski, Proc. SPIE 3578, 446 (1998).
    [CrossRef]
  11. H. Bercegol, R. Courchinoux, M. Josse, and J. L. Rullier, Proc. SPIE 5647, 78 (2004).
    [CrossRef]
  12. H. Bercegol and P. Grua, Proc. SPIE 7132, 71321B (2008).
    [CrossRef]
  13. H. Bercegol, P. Grua, D. Hébert, and J.-P. Morreeuw, Proc. SPIE 6720, 672003 (2007).
    [CrossRef]
  14. T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, T. Feldman, and P. E. Miller, Appl. Phys. Lett. 94, 151114 (2009).
    [CrossRef]
  15. T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, P. E. Miller, W. A. Steele, G. Guss, J. J. Adams, L. L. Wong, M. D. Feit, and T. I. Suratwala, Proc. SPIE 7504, 750416 (2009).
    [CrossRef]
  16. P. E. Miller, T. I. Suratwala, J. D. Bude, T. A. Laurence, N. Shen, W. A. Steele, M. D. Feit, J. A. Menapace, and L. L. Wong, Proc. SPIE 7504, 75040X (2009).
    [CrossRef]
  17. J. E. Wolfe and S. E. Schrauth, Proc. SPIE 6403, 640328 (2007).
    [CrossRef]
  18. G. Hu, Y. Zhao, J. Shao, K. Yi, D. Li, X. Liu, and Q. Xiao, J. Opt. Soc. Am. B 30, 1186 (2013).
    [CrossRef]
  19. P. E. Miller, J. D. Bude, T. I. Suratwala, N. Shen, T. A. Laurence, W. A. Steele, J. Menapace, M. D. Feit, and L. L. Wong, Opt. Lett. 35, 2702 (2010).
    [CrossRef]
  20. S. O. Kucheyev and S. G. Demos, Appl. Phys. Lett. 82, 3230 (2003).
    [CrossRef]
  21. L. Skuja, J. Non-Cryst. Solids 239, 16 (1998).
    [CrossRef]

2013 (1)

2011 (1)

T. I. Suratwala, P. E. Miller, J. D. Bude, W. A. Steele, N. Shen, M. V. Monticelli, M. D. Feit, T. A. Laurence, M. A. Norton, C. W. Carr, and L. L. Wong, J. Am. Ceram. Soc. 94, 416 (2011).
[CrossRef]

2010 (2)

2009 (4)

T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, T. Feldman, and P. E. Miller, Appl. Phys. Lett. 94, 151114 (2009).
[CrossRef]

T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, P. E. Miller, W. A. Steele, G. Guss, J. J. Adams, L. L. Wong, M. D. Feit, and T. I. Suratwala, Proc. SPIE 7504, 750416 (2009).
[CrossRef]

P. E. Miller, T. I. Suratwala, J. D. Bude, T. A. Laurence, N. Shen, W. A. Steele, M. D. Feit, J. A. Menapace, and L. L. Wong, Proc. SPIE 7504, 75040X (2009).
[CrossRef]

J. Neauport, C. Ambard, P. Cormont, N. Darbois, J. Destribats, C. Luitot, and O. Rondeau, Opt. Express 17, 20448 (2009).
[CrossRef]

2008 (3)

S. Papernov and A. W. Schmid, Proc. SPIE 7132, 71321J (2008).
[CrossRef]

T. Suratwala, R. Steele, M. D. Feit, L. Wong, P. Miller, J. Menapace, and P. Davis, J. Non-Cryst. Solids 354, 2023 (2008).
[CrossRef]

H. Bercegol and P. Grua, Proc. SPIE 7132, 71321B (2008).
[CrossRef]

2007 (2)

H. Bercegol, P. Grua, D. Hébert, and J.-P. Morreeuw, Proc. SPIE 6720, 672003 (2007).
[CrossRef]

J. E. Wolfe and S. E. Schrauth, Proc. SPIE 6403, 640328 (2007).
[CrossRef]

2006 (1)

T. Suratwala, L. Wong, P. Miller, M. D. Feit, J. Menapace, R. Steele, P. Davis, and D. Walmer, J. Non-Cryst. Solids 352, 5601 (2006).
[CrossRef]

2004 (1)

H. Bercegol, R. Courchinoux, M. Josse, and J. L. Rullier, Proc. SPIE 5647, 78 (2004).
[CrossRef]

2003 (1)

S. O. Kucheyev and S. G. Demos, Appl. Phys. Lett. 82, 3230 (2003).
[CrossRef]

2001 (1)

A. K. Burnham, L. Hackel, P. Wegner, T. Parham, L. Hrubesh, B. Penetrante, P. Whitman, S. Demos, J. Menapace, M. Runkel, M. Fluss, M. Feit, M. Key, and T. Biesiada, Proc. SPIE 4679, 173 (2001).
[CrossRef]

1998 (3)

D. W. Camp, M. R. Kozlowski, L. M. Sheehan, M. Nichols, M. Dovik, R. Raether, and I. Thomas, Proc. SPIE 3244, 356 (1998).
[CrossRef]

C. L. Battersby, L. M. Sheehan, and M. R. Kozlowski, Proc. SPIE 3578, 446 (1998).
[CrossRef]

L. Skuja, J. Non-Cryst. Solids 239, 16 (1998).
[CrossRef]

1996 (1)

B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. B 53, 1749 (1996).
[CrossRef]

Adams, J. J.

T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, P. E. Miller, W. A. Steele, G. Guss, J. J. Adams, L. L. Wong, M. D. Feit, and T. I. Suratwala, Proc. SPIE 7504, 750416 (2009).
[CrossRef]

Ambard, C.

Battersby, C. L.

C. L. Battersby, L. M. Sheehan, and M. R. Kozlowski, Proc. SPIE 3578, 446 (1998).
[CrossRef]

Bercegol, H.

H. Bercegol and P. Grua, Proc. SPIE 7132, 71321B (2008).
[CrossRef]

H. Bercegol, P. Grua, D. Hébert, and J.-P. Morreeuw, Proc. SPIE 6720, 672003 (2007).
[CrossRef]

H. Bercegol, R. Courchinoux, M. Josse, and J. L. Rullier, Proc. SPIE 5647, 78 (2004).
[CrossRef]

Biesiada, T.

A. K. Burnham, L. Hackel, P. Wegner, T. Parham, L. Hrubesh, B. Penetrante, P. Whitman, S. Demos, J. Menapace, M. Runkel, M. Fluss, M. Feit, M. Key, and T. Biesiada, Proc. SPIE 4679, 173 (2001).
[CrossRef]

Bude, J. D.

T. I. Suratwala, P. E. Miller, J. D. Bude, W. A. Steele, N. Shen, M. V. Monticelli, M. D. Feit, T. A. Laurence, M. A. Norton, C. W. Carr, and L. L. Wong, J. Am. Ceram. Soc. 94, 416 (2011).
[CrossRef]

P. E. Miller, J. D. Bude, T. I. Suratwala, N. Shen, T. A. Laurence, W. A. Steele, J. Menapace, M. D. Feit, and L. L. Wong, Opt. Lett. 35, 2702 (2010).
[CrossRef]

T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, T. Feldman, and P. E. Miller, Appl. Phys. Lett. 94, 151114 (2009).
[CrossRef]

T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, P. E. Miller, W. A. Steele, G. Guss, J. J. Adams, L. L. Wong, M. D. Feit, and T. I. Suratwala, Proc. SPIE 7504, 750416 (2009).
[CrossRef]

P. E. Miller, T. I. Suratwala, J. D. Bude, T. A. Laurence, N. Shen, W. A. Steele, M. D. Feit, J. A. Menapace, and L. L. Wong, Proc. SPIE 7504, 75040X (2009).
[CrossRef]

Burnham, A. K.

A. K. Burnham, L. Hackel, P. Wegner, T. Parham, L. Hrubesh, B. Penetrante, P. Whitman, S. Demos, J. Menapace, M. Runkel, M. Fluss, M. Feit, M. Key, and T. Biesiada, Proc. SPIE 4679, 173 (2001).
[CrossRef]

Camp, D. W.

D. W. Camp, M. R. Kozlowski, L. M. Sheehan, M. Nichols, M. Dovik, R. Raether, and I. Thomas, Proc. SPIE 3244, 356 (1998).
[CrossRef]

Carr, C. W.

T. I. Suratwala, P. E. Miller, J. D. Bude, W. A. Steele, N. Shen, M. V. Monticelli, M. D. Feit, T. A. Laurence, M. A. Norton, C. W. Carr, and L. L. Wong, J. Am. Ceram. Soc. 94, 416 (2011).
[CrossRef]

Cormont, P.

Courchinoux, R.

H. Bercegol, R. Courchinoux, M. Josse, and J. L. Rullier, Proc. SPIE 5647, 78 (2004).
[CrossRef]

Darbois, N.

Davis, P.

T. Suratwala, R. Steele, M. D. Feit, L. Wong, P. Miller, J. Menapace, and P. Davis, J. Non-Cryst. Solids 354, 2023 (2008).
[CrossRef]

T. Suratwala, L. Wong, P. Miller, M. D. Feit, J. Menapace, R. Steele, P. Davis, and D. Walmer, J. Non-Cryst. Solids 352, 5601 (2006).
[CrossRef]

Demos, S.

A. K. Burnham, L. Hackel, P. Wegner, T. Parham, L. Hrubesh, B. Penetrante, P. Whitman, S. Demos, J. Menapace, M. Runkel, M. Fluss, M. Feit, M. Key, and T. Biesiada, Proc. SPIE 4679, 173 (2001).
[CrossRef]

Demos, S. G.

S. O. Kucheyev and S. G. Demos, Appl. Phys. Lett. 82, 3230 (2003).
[CrossRef]

Destribats, J.

Dovik, M.

D. W. Camp, M. R. Kozlowski, L. M. Sheehan, M. Nichols, M. Dovik, R. Raether, and I. Thomas, Proc. SPIE 3244, 356 (1998).
[CrossRef]

Fan, Z.

G. Hu, Y. Zhao, D. Li, Q. Xiao, J. Shao, and Z. Fan, Surf. Interface Anal. 42, 1465 (2010).
[CrossRef]

Feit, M.

A. K. Burnham, L. Hackel, P. Wegner, T. Parham, L. Hrubesh, B. Penetrante, P. Whitman, S. Demos, J. Menapace, M. Runkel, M. Fluss, M. Feit, M. Key, and T. Biesiada, Proc. SPIE 4679, 173 (2001).
[CrossRef]

Feit, M. D.

T. I. Suratwala, P. E. Miller, J. D. Bude, W. A. Steele, N. Shen, M. V. Monticelli, M. D. Feit, T. A. Laurence, M. A. Norton, C. W. Carr, and L. L. Wong, J. Am. Ceram. Soc. 94, 416 (2011).
[CrossRef]

P. E. Miller, J. D. Bude, T. I. Suratwala, N. Shen, T. A. Laurence, W. A. Steele, J. Menapace, M. D. Feit, and L. L. Wong, Opt. Lett. 35, 2702 (2010).
[CrossRef]

T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, P. E. Miller, W. A. Steele, G. Guss, J. J. Adams, L. L. Wong, M. D. Feit, and T. I. Suratwala, Proc. SPIE 7504, 750416 (2009).
[CrossRef]

P. E. Miller, T. I. Suratwala, J. D. Bude, T. A. Laurence, N. Shen, W. A. Steele, M. D. Feit, J. A. Menapace, and L. L. Wong, Proc. SPIE 7504, 75040X (2009).
[CrossRef]

T. Suratwala, R. Steele, M. D. Feit, L. Wong, P. Miller, J. Menapace, and P. Davis, J. Non-Cryst. Solids 354, 2023 (2008).
[CrossRef]

T. Suratwala, L. Wong, P. Miller, M. D. Feit, J. Menapace, R. Steele, P. Davis, and D. Walmer, J. Non-Cryst. Solids 352, 5601 (2006).
[CrossRef]

B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. B 53, 1749 (1996).
[CrossRef]

Feldman, T.

T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, T. Feldman, and P. E. Miller, Appl. Phys. Lett. 94, 151114 (2009).
[CrossRef]

Fluss, M.

A. K. Burnham, L. Hackel, P. Wegner, T. Parham, L. Hrubesh, B. Penetrante, P. Whitman, S. Demos, J. Menapace, M. Runkel, M. Fluss, M. Feit, M. Key, and T. Biesiada, Proc. SPIE 4679, 173 (2001).
[CrossRef]

Grua, P.

H. Bercegol and P. Grua, Proc. SPIE 7132, 71321B (2008).
[CrossRef]

H. Bercegol, P. Grua, D. Hébert, and J.-P. Morreeuw, Proc. SPIE 6720, 672003 (2007).
[CrossRef]

Guss, G.

T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, P. E. Miller, W. A. Steele, G. Guss, J. J. Adams, L. L. Wong, M. D. Feit, and T. I. Suratwala, Proc. SPIE 7504, 750416 (2009).
[CrossRef]

Hackel, L.

A. K. Burnham, L. Hackel, P. Wegner, T. Parham, L. Hrubesh, B. Penetrante, P. Whitman, S. Demos, J. Menapace, M. Runkel, M. Fluss, M. Feit, M. Key, and T. Biesiada, Proc. SPIE 4679, 173 (2001).
[CrossRef]

Hébert, D.

H. Bercegol, P. Grua, D. Hébert, and J.-P. Morreeuw, Proc. SPIE 6720, 672003 (2007).
[CrossRef]

Herman, S.

B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. B 53, 1749 (1996).
[CrossRef]

Hrubesh, L.

A. K. Burnham, L. Hackel, P. Wegner, T. Parham, L. Hrubesh, B. Penetrante, P. Whitman, S. Demos, J. Menapace, M. Runkel, M. Fluss, M. Feit, M. Key, and T. Biesiada, Proc. SPIE 4679, 173 (2001).
[CrossRef]

Hu, G.

G. Hu, Y. Zhao, J. Shao, K. Yi, D. Li, X. Liu, and Q. Xiao, J. Opt. Soc. Am. B 30, 1186 (2013).
[CrossRef]

G. Hu, Y. Zhao, D. Li, Q. Xiao, J. Shao, and Z. Fan, Surf. Interface Anal. 42, 1465 (2010).
[CrossRef]

Josse, M.

H. Bercegol, R. Courchinoux, M. Josse, and J. L. Rullier, Proc. SPIE 5647, 78 (2004).
[CrossRef]

Key, M.

A. K. Burnham, L. Hackel, P. Wegner, T. Parham, L. Hrubesh, B. Penetrante, P. Whitman, S. Demos, J. Menapace, M. Runkel, M. Fluss, M. Feit, M. Key, and T. Biesiada, Proc. SPIE 4679, 173 (2001).
[CrossRef]

Kozlowski, M. R.

C. L. Battersby, L. M. Sheehan, and M. R. Kozlowski, Proc. SPIE 3578, 446 (1998).
[CrossRef]

D. W. Camp, M. R. Kozlowski, L. M. Sheehan, M. Nichols, M. Dovik, R. Raether, and I. Thomas, Proc. SPIE 3244, 356 (1998).
[CrossRef]

Kucheyev, S. O.

S. O. Kucheyev and S. G. Demos, Appl. Phys. Lett. 82, 3230 (2003).
[CrossRef]

Laurence, T. A.

T. I. Suratwala, P. E. Miller, J. D. Bude, W. A. Steele, N. Shen, M. V. Monticelli, M. D. Feit, T. A. Laurence, M. A. Norton, C. W. Carr, and L. L. Wong, J. Am. Ceram. Soc. 94, 416 (2011).
[CrossRef]

P. E. Miller, J. D. Bude, T. I. Suratwala, N. Shen, T. A. Laurence, W. A. Steele, J. Menapace, M. D. Feit, and L. L. Wong, Opt. Lett. 35, 2702 (2010).
[CrossRef]

P. E. Miller, T. I. Suratwala, J. D. Bude, T. A. Laurence, N. Shen, W. A. Steele, M. D. Feit, J. A. Menapace, and L. L. Wong, Proc. SPIE 7504, 75040X (2009).
[CrossRef]

T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, T. Feldman, and P. E. Miller, Appl. Phys. Lett. 94, 151114 (2009).
[CrossRef]

T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, P. E. Miller, W. A. Steele, G. Guss, J. J. Adams, L. L. Wong, M. D. Feit, and T. I. Suratwala, Proc. SPIE 7504, 750416 (2009).
[CrossRef]

Li, D.

G. Hu, Y. Zhao, J. Shao, K. Yi, D. Li, X. Liu, and Q. Xiao, J. Opt. Soc. Am. B 30, 1186 (2013).
[CrossRef]

G. Hu, Y. Zhao, D. Li, Q. Xiao, J. Shao, and Z. Fan, Surf. Interface Anal. 42, 1465 (2010).
[CrossRef]

Liu, X.

Luitot, C.

Menapace, J.

P. E. Miller, J. D. Bude, T. I. Suratwala, N. Shen, T. A. Laurence, W. A. Steele, J. Menapace, M. D. Feit, and L. L. Wong, Opt. Lett. 35, 2702 (2010).
[CrossRef]

T. Suratwala, R. Steele, M. D. Feit, L. Wong, P. Miller, J. Menapace, and P. Davis, J. Non-Cryst. Solids 354, 2023 (2008).
[CrossRef]

T. Suratwala, L. Wong, P. Miller, M. D. Feit, J. Menapace, R. Steele, P. Davis, and D. Walmer, J. Non-Cryst. Solids 352, 5601 (2006).
[CrossRef]

A. K. Burnham, L. Hackel, P. Wegner, T. Parham, L. Hrubesh, B. Penetrante, P. Whitman, S. Demos, J. Menapace, M. Runkel, M. Fluss, M. Feit, M. Key, and T. Biesiada, Proc. SPIE 4679, 173 (2001).
[CrossRef]

Menapace, J. A.

P. E. Miller, T. I. Suratwala, J. D. Bude, T. A. Laurence, N. Shen, W. A. Steele, M. D. Feit, J. A. Menapace, and L. L. Wong, Proc. SPIE 7504, 75040X (2009).
[CrossRef]

Miller, P.

T. Suratwala, R. Steele, M. D. Feit, L. Wong, P. Miller, J. Menapace, and P. Davis, J. Non-Cryst. Solids 354, 2023 (2008).
[CrossRef]

T. Suratwala, L. Wong, P. Miller, M. D. Feit, J. Menapace, R. Steele, P. Davis, and D. Walmer, J. Non-Cryst. Solids 352, 5601 (2006).
[CrossRef]

Miller, P. E.

T. I. Suratwala, P. E. Miller, J. D. Bude, W. A. Steele, N. Shen, M. V. Monticelli, M. D. Feit, T. A. Laurence, M. A. Norton, C. W. Carr, and L. L. Wong, J. Am. Ceram. Soc. 94, 416 (2011).
[CrossRef]

P. E. Miller, J. D. Bude, T. I. Suratwala, N. Shen, T. A. Laurence, W. A. Steele, J. Menapace, M. D. Feit, and L. L. Wong, Opt. Lett. 35, 2702 (2010).
[CrossRef]

P. E. Miller, T. I. Suratwala, J. D. Bude, T. A. Laurence, N. Shen, W. A. Steele, M. D. Feit, J. A. Menapace, and L. L. Wong, Proc. SPIE 7504, 75040X (2009).
[CrossRef]

T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, T. Feldman, and P. E. Miller, Appl. Phys. Lett. 94, 151114 (2009).
[CrossRef]

T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, P. E. Miller, W. A. Steele, G. Guss, J. J. Adams, L. L. Wong, M. D. Feit, and T. I. Suratwala, Proc. SPIE 7504, 750416 (2009).
[CrossRef]

Monticelli, M. V.

T. I. Suratwala, P. E. Miller, J. D. Bude, W. A. Steele, N. Shen, M. V. Monticelli, M. D. Feit, T. A. Laurence, M. A. Norton, C. W. Carr, and L. L. Wong, J. Am. Ceram. Soc. 94, 416 (2011).
[CrossRef]

Morreeuw, J.-P.

H. Bercegol, P. Grua, D. Hébert, and J.-P. Morreeuw, Proc. SPIE 6720, 672003 (2007).
[CrossRef]

Neauport, J.

Nichols, M.

D. W. Camp, M. R. Kozlowski, L. M. Sheehan, M. Nichols, M. Dovik, R. Raether, and I. Thomas, Proc. SPIE 3244, 356 (1998).
[CrossRef]

Norton, M. A.

T. I. Suratwala, P. E. Miller, J. D. Bude, W. A. Steele, N. Shen, M. V. Monticelli, M. D. Feit, T. A. Laurence, M. A. Norton, C. W. Carr, and L. L. Wong, J. Am. Ceram. Soc. 94, 416 (2011).
[CrossRef]

Papernov, S.

S. Papernov and A. W. Schmid, Proc. SPIE 7132, 71321J (2008).
[CrossRef]

Parham, T.

A. K. Burnham, L. Hackel, P. Wegner, T. Parham, L. Hrubesh, B. Penetrante, P. Whitman, S. Demos, J. Menapace, M. Runkel, M. Fluss, M. Feit, M. Key, and T. Biesiada, Proc. SPIE 4679, 173 (2001).
[CrossRef]

Penetrante, B.

A. K. Burnham, L. Hackel, P. Wegner, T. Parham, L. Hrubesh, B. Penetrante, P. Whitman, S. Demos, J. Menapace, M. Runkel, M. Fluss, M. Feit, M. Key, and T. Biesiada, Proc. SPIE 4679, 173 (2001).
[CrossRef]

Perry, M. D.

B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. B 53, 1749 (1996).
[CrossRef]

Raether, R.

D. W. Camp, M. R. Kozlowski, L. M. Sheehan, M. Nichols, M. Dovik, R. Raether, and I. Thomas, Proc. SPIE 3244, 356 (1998).
[CrossRef]

Rondeau, O.

Rubenchik, A. M.

B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. B 53, 1749 (1996).
[CrossRef]

Rullier, J. L.

H. Bercegol, R. Courchinoux, M. Josse, and J. L. Rullier, Proc. SPIE 5647, 78 (2004).
[CrossRef]

Runkel, M.

A. K. Burnham, L. Hackel, P. Wegner, T. Parham, L. Hrubesh, B. Penetrante, P. Whitman, S. Demos, J. Menapace, M. Runkel, M. Fluss, M. Feit, M. Key, and T. Biesiada, Proc. SPIE 4679, 173 (2001).
[CrossRef]

Schmid, A. W.

S. Papernov and A. W. Schmid, Proc. SPIE 7132, 71321J (2008).
[CrossRef]

Schrauth, S. E.

J. E. Wolfe and S. E. Schrauth, Proc. SPIE 6403, 640328 (2007).
[CrossRef]

Shao, J.

G. Hu, Y. Zhao, J. Shao, K. Yi, D. Li, X. Liu, and Q. Xiao, J. Opt. Soc. Am. B 30, 1186 (2013).
[CrossRef]

G. Hu, Y. Zhao, D. Li, Q. Xiao, J. Shao, and Z. Fan, Surf. Interface Anal. 42, 1465 (2010).
[CrossRef]

Sheehan, L. M.

C. L. Battersby, L. M. Sheehan, and M. R. Kozlowski, Proc. SPIE 3578, 446 (1998).
[CrossRef]

D. W. Camp, M. R. Kozlowski, L. M. Sheehan, M. Nichols, M. Dovik, R. Raether, and I. Thomas, Proc. SPIE 3244, 356 (1998).
[CrossRef]

Shen, N.

T. I. Suratwala, P. E. Miller, J. D. Bude, W. A. Steele, N. Shen, M. V. Monticelli, M. D. Feit, T. A. Laurence, M. A. Norton, C. W. Carr, and L. L. Wong, J. Am. Ceram. Soc. 94, 416 (2011).
[CrossRef]

P. E. Miller, J. D. Bude, T. I. Suratwala, N. Shen, T. A. Laurence, W. A. Steele, J. Menapace, M. D. Feit, and L. L. Wong, Opt. Lett. 35, 2702 (2010).
[CrossRef]

T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, T. Feldman, and P. E. Miller, Appl. Phys. Lett. 94, 151114 (2009).
[CrossRef]

T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, P. E. Miller, W. A. Steele, G. Guss, J. J. Adams, L. L. Wong, M. D. Feit, and T. I. Suratwala, Proc. SPIE 7504, 750416 (2009).
[CrossRef]

P. E. Miller, T. I. Suratwala, J. D. Bude, T. A. Laurence, N. Shen, W. A. Steele, M. D. Feit, J. A. Menapace, and L. L. Wong, Proc. SPIE 7504, 75040X (2009).
[CrossRef]

Shore, B. W.

B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. B 53, 1749 (1996).
[CrossRef]

Skuja, L.

L. Skuja, J. Non-Cryst. Solids 239, 16 (1998).
[CrossRef]

Steele, R.

T. Suratwala, R. Steele, M. D. Feit, L. Wong, P. Miller, J. Menapace, and P. Davis, J. Non-Cryst. Solids 354, 2023 (2008).
[CrossRef]

T. Suratwala, L. Wong, P. Miller, M. D. Feit, J. Menapace, R. Steele, P. Davis, and D. Walmer, J. Non-Cryst. Solids 352, 5601 (2006).
[CrossRef]

Steele, W. A.

T. I. Suratwala, P. E. Miller, J. D. Bude, W. A. Steele, N. Shen, M. V. Monticelli, M. D. Feit, T. A. Laurence, M. A. Norton, C. W. Carr, and L. L. Wong, J. Am. Ceram. Soc. 94, 416 (2011).
[CrossRef]

P. E. Miller, J. D. Bude, T. I. Suratwala, N. Shen, T. A. Laurence, W. A. Steele, J. Menapace, M. D. Feit, and L. L. Wong, Opt. Lett. 35, 2702 (2010).
[CrossRef]

P. E. Miller, T. I. Suratwala, J. D. Bude, T. A. Laurence, N. Shen, W. A. Steele, M. D. Feit, J. A. Menapace, and L. L. Wong, Proc. SPIE 7504, 75040X (2009).
[CrossRef]

T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, P. E. Miller, W. A. Steele, G. Guss, J. J. Adams, L. L. Wong, M. D. Feit, and T. I. Suratwala, Proc. SPIE 7504, 750416 (2009).
[CrossRef]

Stuart, B. C.

B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. B 53, 1749 (1996).
[CrossRef]

Suratwala, T.

T. Suratwala, R. Steele, M. D. Feit, L. Wong, P. Miller, J. Menapace, and P. Davis, J. Non-Cryst. Solids 354, 2023 (2008).
[CrossRef]

T. Suratwala, L. Wong, P. Miller, M. D. Feit, J. Menapace, R. Steele, P. Davis, and D. Walmer, J. Non-Cryst. Solids 352, 5601 (2006).
[CrossRef]

Suratwala, T. I.

T. I. Suratwala, P. E. Miller, J. D. Bude, W. A. Steele, N. Shen, M. V. Monticelli, M. D. Feit, T. A. Laurence, M. A. Norton, C. W. Carr, and L. L. Wong, J. Am. Ceram. Soc. 94, 416 (2011).
[CrossRef]

P. E. Miller, J. D. Bude, T. I. Suratwala, N. Shen, T. A. Laurence, W. A. Steele, J. Menapace, M. D. Feit, and L. L. Wong, Opt. Lett. 35, 2702 (2010).
[CrossRef]

T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, P. E. Miller, W. A. Steele, G. Guss, J. J. Adams, L. L. Wong, M. D. Feit, and T. I. Suratwala, Proc. SPIE 7504, 750416 (2009).
[CrossRef]

P. E. Miller, T. I. Suratwala, J. D. Bude, T. A. Laurence, N. Shen, W. A. Steele, M. D. Feit, J. A. Menapace, and L. L. Wong, Proc. SPIE 7504, 75040X (2009).
[CrossRef]

Thomas, I.

D. W. Camp, M. R. Kozlowski, L. M. Sheehan, M. Nichols, M. Dovik, R. Raether, and I. Thomas, Proc. SPIE 3244, 356 (1998).
[CrossRef]

Walmer, D.

T. Suratwala, L. Wong, P. Miller, M. D. Feit, J. Menapace, R. Steele, P. Davis, and D. Walmer, J. Non-Cryst. Solids 352, 5601 (2006).
[CrossRef]

Wegner, P.

A. K. Burnham, L. Hackel, P. Wegner, T. Parham, L. Hrubesh, B. Penetrante, P. Whitman, S. Demos, J. Menapace, M. Runkel, M. Fluss, M. Feit, M. Key, and T. Biesiada, Proc. SPIE 4679, 173 (2001).
[CrossRef]

Whitman, P.

A. K. Burnham, L. Hackel, P. Wegner, T. Parham, L. Hrubesh, B. Penetrante, P. Whitman, S. Demos, J. Menapace, M. Runkel, M. Fluss, M. Feit, M. Key, and T. Biesiada, Proc. SPIE 4679, 173 (2001).
[CrossRef]

Wolfe, J. E.

J. E. Wolfe and S. E. Schrauth, Proc. SPIE 6403, 640328 (2007).
[CrossRef]

Wong, L.

T. Suratwala, R. Steele, M. D. Feit, L. Wong, P. Miller, J. Menapace, and P. Davis, J. Non-Cryst. Solids 354, 2023 (2008).
[CrossRef]

T. Suratwala, L. Wong, P. Miller, M. D. Feit, J. Menapace, R. Steele, P. Davis, and D. Walmer, J. Non-Cryst. Solids 352, 5601 (2006).
[CrossRef]

Wong, L. L.

T. I. Suratwala, P. E. Miller, J. D. Bude, W. A. Steele, N. Shen, M. V. Monticelli, M. D. Feit, T. A. Laurence, M. A. Norton, C. W. Carr, and L. L. Wong, J. Am. Ceram. Soc. 94, 416 (2011).
[CrossRef]

P. E. Miller, J. D. Bude, T. I. Suratwala, N. Shen, T. A. Laurence, W. A. Steele, J. Menapace, M. D. Feit, and L. L. Wong, Opt. Lett. 35, 2702 (2010).
[CrossRef]

P. E. Miller, T. I. Suratwala, J. D. Bude, T. A. Laurence, N. Shen, W. A. Steele, M. D. Feit, J. A. Menapace, and L. L. Wong, Proc. SPIE 7504, 75040X (2009).
[CrossRef]

T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, P. E. Miller, W. A. Steele, G. Guss, J. J. Adams, L. L. Wong, M. D. Feit, and T. I. Suratwala, Proc. SPIE 7504, 750416 (2009).
[CrossRef]

Xiao, Q.

G. Hu, Y. Zhao, J. Shao, K. Yi, D. Li, X. Liu, and Q. Xiao, J. Opt. Soc. Am. B 30, 1186 (2013).
[CrossRef]

G. Hu, Y. Zhao, D. Li, Q. Xiao, J. Shao, and Z. Fan, Surf. Interface Anal. 42, 1465 (2010).
[CrossRef]

Yi, K.

Zhao, Y.

G. Hu, Y. Zhao, J. Shao, K. Yi, D. Li, X. Liu, and Q. Xiao, J. Opt. Soc. Am. B 30, 1186 (2013).
[CrossRef]

G. Hu, Y. Zhao, D. Li, Q. Xiao, J. Shao, and Z. Fan, Surf. Interface Anal. 42, 1465 (2010).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett. (2)

T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, T. Feldman, and P. E. Miller, Appl. Phys. Lett. 94, 151114 (2009).
[CrossRef]

S. O. Kucheyev and S. G. Demos, Appl. Phys. Lett. 82, 3230 (2003).
[CrossRef]

J. Am. Ceram. Soc. (1)

T. I. Suratwala, P. E. Miller, J. D. Bude, W. A. Steele, N. Shen, M. V. Monticelli, M. D. Feit, T. A. Laurence, M. A. Norton, C. W. Carr, and L. L. Wong, J. Am. Ceram. Soc. 94, 416 (2011).
[CrossRef]

J. Non-Cryst. Solids (3)

T. Suratwala, R. Steele, M. D. Feit, L. Wong, P. Miller, J. Menapace, and P. Davis, J. Non-Cryst. Solids 354, 2023 (2008).
[CrossRef]

T. Suratwala, L. Wong, P. Miller, M. D. Feit, J. Menapace, R. Steele, P. Davis, and D. Walmer, J. Non-Cryst. Solids 352, 5601 (2006).
[CrossRef]

L. Skuja, J. Non-Cryst. Solids 239, 16 (1998).
[CrossRef]

J. Opt. Soc. Am. B (1)

Opt. Express (1)

Opt. Lett. (1)

Phys. Rev. B (1)

B. C. Stuart, M. D. Feit, S. Herman, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. B 53, 1749 (1996).
[CrossRef]

Proc. SPIE (10)

A. K. Burnham, L. Hackel, P. Wegner, T. Parham, L. Hrubesh, B. Penetrante, P. Whitman, S. Demos, J. Menapace, M. Runkel, M. Fluss, M. Feit, M. Key, and T. Biesiada, Proc. SPIE 4679, 173 (2001).
[CrossRef]

S. Papernov and A. W. Schmid, Proc. SPIE 7132, 71321J (2008).
[CrossRef]

T. A. Laurence, J. D. Bude, N. Shen, P. E. Miller, W. A. Steele, G. Guss, J. J. Adams, L. L. Wong, M. D. Feit, and T. I. Suratwala, Proc. SPIE 7504, 750416 (2009).
[CrossRef]

P. E. Miller, T. I. Suratwala, J. D. Bude, T. A. Laurence, N. Shen, W. A. Steele, M. D. Feit, J. A. Menapace, and L. L. Wong, Proc. SPIE 7504, 75040X (2009).
[CrossRef]

J. E. Wolfe and S. E. Schrauth, Proc. SPIE 6403, 640328 (2007).
[CrossRef]

D. W. Camp, M. R. Kozlowski, L. M. Sheehan, M. Nichols, M. Dovik, R. Raether, and I. Thomas, Proc. SPIE 3244, 356 (1998).
[CrossRef]

C. L. Battersby, L. M. Sheehan, and M. R. Kozlowski, Proc. SPIE 3578, 446 (1998).
[CrossRef]

H. Bercegol, R. Courchinoux, M. Josse, and J. L. Rullier, Proc. SPIE 5647, 78 (2004).
[CrossRef]

H. Bercegol and P. Grua, Proc. SPIE 7132, 71321B (2008).
[CrossRef]

H. Bercegol, P. Grua, D. Hébert, and J.-P. Morreeuw, Proc. SPIE 6720, 672003 (2007).
[CrossRef]

Surf. Interface Anal. (1)

G. Hu, Y. Zhao, D. Li, Q. Xiao, J. Shao, and Z. Fan, Surf. Interface Anal. 42, 1465 (2010).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (6)

Fig. 1.
Fig. 1.

Schematic of laser damage test experimental bench used for fused silica.

Fig. 2.
Fig. 2.

Images captured after (a) (N1)th pulse and (b) Nth pulse irradiation. The box represents the same area in consecutive images captured while the optic was moving.

Fig. 3.
Fig. 3.

Damage density versus laser fluence detected on the six samples.

Fig. 4.
Fig. 4.

Consecutive images captured during laser irradiation while the optic was moving. It revealed that laser damage sites were induced by (a) a dig, (b) a scratch, and (c) an invisible defect.

Fig. 5.
Fig. 5.

On-line detected images of (a) dotted-line scratch consisting of circular-shaped pits, (b) dotted-line scratch consisting of elliptical-shaped pits, (c) continuous straight line scratch, (d) indentation, (e) bent-line scratch, and (f) trailing indentation scratch. The position of damage initiation is marked with a circle.

Fig. 6.
Fig. 6.

On-line detected images of (a) small point digs, (b) shadow digs, (c) circular digs, and (d) polygon digs.

Metrics