Abstract

The present work demonstrates an electro-optic polymer-based Mach–Zehnder (MZ) modulator fabricated utilizing advanced ultraviolet (UV) imprinting and aligned ink-jet printing technologies for patterning and layer deposition. The bottom electrode layer is designed and directly ink-jet printed on the substrate to form the patterned layer. The waveguide structure is formed into a bottom cladding polymer using a transparent flexible mold-based UV imprinting method. All other layers can be ink-jet printed. The top electrode is aligned and printed over the MZ arm. The modulator demonstrates a V-pi of 8 V at 3 kHz. This technology shows great potential in minimizing the fabrication complexity and roll-to-roll compatibility for manufacturing low cost, lightweight, and conformal modulators at high throughput.

© 2013 Optical Society of America

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. E. L. Wooten, K. M. Kissa, A. Yi-Yan, E. J. Murphy, D. A. Lafaw, P. F. Hallemeier, D. Maack, D. V. Attanasio, D. J. Fritz, G. J. McBrien, and D. E. Bossi, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 6, 69 (2000).
  2. S. Rao, G. Coppola, M. A. Gioffre, and F. G. Della Corte, Opt. Express 20, 9351 (2012).
    [CrossRef]
  3. H. Chen, B. Chen, D. Huang, D. Jin, J. D. Luo, A. K. Y. Jen, and R. Dinu, Appl. Phys. Lett. 93, 043507 (2008).
    [CrossRef]
  4. X. L. Wang, C. Y. Lin, S. Chakravarty, J. D. Luo, A. K. Y. Jen, and R. T. Chen, Opt. Lett. 36, 882 (2011).
    [CrossRef]
  5. X. Y. Zhang, B. Lee, C. Y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, X. H. Lin, and R. T. Chen, Proc. SPIE 128267 (2012).
    [CrossRef]
  6. X. Lin, A. Hosseini, A. X. Wang, and R. T. Chen, in Photonics Conference (IEEE, 2012), pp. 280–281.
  7. G. T. Paloczi, Y. Huang, A. Yariv, J. Luo, and A. K. Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 85, 1662 (2004).
    [CrossRef]
  8. T. Ling, S. L. Chen, and L. J. Guo, Appl. Phys. Lett. 98, 204103 (2011).
    [CrossRef]
  9. K. L. Lai, S. F. Hsiao, M. H. Hon, and I. C. Leu, Microelectron. Eng. 94, 33 (2012).
    [CrossRef]
  10. T. Ling, S. L. Chen, and L. J. Guo, Opt. Express 19, 861 (2011).
    [CrossRef]
  11. P. C. Kao, S. Y. Chu, T. Y. Chen, C. Y. Zhan, F. C. Hong, C. Y. Chang, L. C. Hsu, W. C. Liao, and M. H. Hon, IEEE Trans. Electron. Devices 52, 1722 (2005).
    [CrossRef]
  12. Y. Ekinci, H. H. Solak, C. David, and H. Sigg, Opt. Express 14, 2323 (2006).
    [CrossRef]
  13. X. Lin, T. Ling, H. Subbaraman, L. J. Guo, and R. T. Chen, Opt. Express 21, 2110 (2013).
    [CrossRef]
  14. X. Y. Zhang, B. Lee, C. Y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, and R. T. Chen, IEEE J. Photon. 4, 2214 (2012).
    [CrossRef]
  15. D. Y. Huang, D. L. Jin, B. Q. Chen, H. Chen, D. Tolstedt, S. Condon, A. Barklund, G. M. Yu, E. Miller, R. Dinu, J. D. Luo, Z. W. Shi, T. D. Kim, S. Huang, and A. K. Y. Jen, Proc. SPIE 87049 (2008).
    [CrossRef]

2013 (1)

2012 (4)

S. Rao, G. Coppola, M. A. Gioffre, and F. G. Della Corte, Opt. Express 20, 9351 (2012).
[CrossRef]

X. Y. Zhang, B. Lee, C. Y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, X. H. Lin, and R. T. Chen, Proc. SPIE 128267 (2012).
[CrossRef]

K. L. Lai, S. F. Hsiao, M. H. Hon, and I. C. Leu, Microelectron. Eng. 94, 33 (2012).
[CrossRef]

X. Y. Zhang, B. Lee, C. Y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, and R. T. Chen, IEEE J. Photon. 4, 2214 (2012).
[CrossRef]

2011 (3)

2008 (2)

D. Y. Huang, D. L. Jin, B. Q. Chen, H. Chen, D. Tolstedt, S. Condon, A. Barklund, G. M. Yu, E. Miller, R. Dinu, J. D. Luo, Z. W. Shi, T. D. Kim, S. Huang, and A. K. Y. Jen, Proc. SPIE 87049 (2008).
[CrossRef]

H. Chen, B. Chen, D. Huang, D. Jin, J. D. Luo, A. K. Y. Jen, and R. Dinu, Appl. Phys. Lett. 93, 043507 (2008).
[CrossRef]

2006 (1)

2005 (1)

P. C. Kao, S. Y. Chu, T. Y. Chen, C. Y. Zhan, F. C. Hong, C. Y. Chang, L. C. Hsu, W. C. Liao, and M. H. Hon, IEEE Trans. Electron. Devices 52, 1722 (2005).
[CrossRef]

2004 (1)

G. T. Paloczi, Y. Huang, A. Yariv, J. Luo, and A. K. Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 85, 1662 (2004).
[CrossRef]

2000 (1)

E. L. Wooten, K. M. Kissa, A. Yi-Yan, E. J. Murphy, D. A. Lafaw, P. F. Hallemeier, D. Maack, D. V. Attanasio, D. J. Fritz, G. J. McBrien, and D. E. Bossi, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 6, 69 (2000).

Attanasio, D. V.

E. L. Wooten, K. M. Kissa, A. Yi-Yan, E. J. Murphy, D. A. Lafaw, P. F. Hallemeier, D. Maack, D. V. Attanasio, D. J. Fritz, G. J. McBrien, and D. E. Bossi, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 6, 69 (2000).

Barklund, A.

D. Y. Huang, D. L. Jin, B. Q. Chen, H. Chen, D. Tolstedt, S. Condon, A. Barklund, G. M. Yu, E. Miller, R. Dinu, J. D. Luo, Z. W. Shi, T. D. Kim, S. Huang, and A. K. Y. Jen, Proc. SPIE 87049 (2008).
[CrossRef]

Bossi, D. E.

E. L. Wooten, K. M. Kissa, A. Yi-Yan, E. J. Murphy, D. A. Lafaw, P. F. Hallemeier, D. Maack, D. V. Attanasio, D. J. Fritz, G. J. McBrien, and D. E. Bossi, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 6, 69 (2000).

Chakravarty, S.

Chang, C. Y.

P. C. Kao, S. Y. Chu, T. Y. Chen, C. Y. Zhan, F. C. Hong, C. Y. Chang, L. C. Hsu, W. C. Liao, and M. H. Hon, IEEE Trans. Electron. Devices 52, 1722 (2005).
[CrossRef]

Chen, B.

H. Chen, B. Chen, D. Huang, D. Jin, J. D. Luo, A. K. Y. Jen, and R. Dinu, Appl. Phys. Lett. 93, 043507 (2008).
[CrossRef]

Chen, B. Q.

D. Y. Huang, D. L. Jin, B. Q. Chen, H. Chen, D. Tolstedt, S. Condon, A. Barklund, G. M. Yu, E. Miller, R. Dinu, J. D. Luo, Z. W. Shi, T. D. Kim, S. Huang, and A. K. Y. Jen, Proc. SPIE 87049 (2008).
[CrossRef]

Chen, H.

D. Y. Huang, D. L. Jin, B. Q. Chen, H. Chen, D. Tolstedt, S. Condon, A. Barklund, G. M. Yu, E. Miller, R. Dinu, J. D. Luo, Z. W. Shi, T. D. Kim, S. Huang, and A. K. Y. Jen, Proc. SPIE 87049 (2008).
[CrossRef]

H. Chen, B. Chen, D. Huang, D. Jin, J. D. Luo, A. K. Y. Jen, and R. Dinu, Appl. Phys. Lett. 93, 043507 (2008).
[CrossRef]

Chen, R. T.

X. Lin, T. Ling, H. Subbaraman, L. J. Guo, and R. T. Chen, Opt. Express 21, 2110 (2013).
[CrossRef]

X. Y. Zhang, B. Lee, C. Y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, and R. T. Chen, IEEE J. Photon. 4, 2214 (2012).
[CrossRef]

X. Y. Zhang, B. Lee, C. Y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, X. H. Lin, and R. T. Chen, Proc. SPIE 128267 (2012).
[CrossRef]

X. L. Wang, C. Y. Lin, S. Chakravarty, J. D. Luo, A. K. Y. Jen, and R. T. Chen, Opt. Lett. 36, 882 (2011).
[CrossRef]

X. Lin, A. Hosseini, A. X. Wang, and R. T. Chen, in Photonics Conference (IEEE, 2012), pp. 280–281.

Chen, S. L.

T. Ling, S. L. Chen, and L. J. Guo, Appl. Phys. Lett. 98, 204103 (2011).
[CrossRef]

T. Ling, S. L. Chen, and L. J. Guo, Opt. Express 19, 861 (2011).
[CrossRef]

Chen, T. Y.

P. C. Kao, S. Y. Chu, T. Y. Chen, C. Y. Zhan, F. C. Hong, C. Y. Chang, L. C. Hsu, W. C. Liao, and M. H. Hon, IEEE Trans. Electron. Devices 52, 1722 (2005).
[CrossRef]

Chu, S. Y.

P. C. Kao, S. Y. Chu, T. Y. Chen, C. Y. Zhan, F. C. Hong, C. Y. Chang, L. C. Hsu, W. C. Liao, and M. H. Hon, IEEE Trans. Electron. Devices 52, 1722 (2005).
[CrossRef]

Condon, S.

D. Y. Huang, D. L. Jin, B. Q. Chen, H. Chen, D. Tolstedt, S. Condon, A. Barklund, G. M. Yu, E. Miller, R. Dinu, J. D. Luo, Z. W. Shi, T. D. Kim, S. Huang, and A. K. Y. Jen, Proc. SPIE 87049 (2008).
[CrossRef]

Coppola, G.

David, C.

Della Corte, F. G.

Dinu, R.

D. Y. Huang, D. L. Jin, B. Q. Chen, H. Chen, D. Tolstedt, S. Condon, A. Barklund, G. M. Yu, E. Miller, R. Dinu, J. D. Luo, Z. W. Shi, T. D. Kim, S. Huang, and A. K. Y. Jen, Proc. SPIE 87049 (2008).
[CrossRef]

H. Chen, B. Chen, D. Huang, D. Jin, J. D. Luo, A. K. Y. Jen, and R. Dinu, Appl. Phys. Lett. 93, 043507 (2008).
[CrossRef]

Ekinci, Y.

Fritz, D. J.

E. L. Wooten, K. M. Kissa, A. Yi-Yan, E. J. Murphy, D. A. Lafaw, P. F. Hallemeier, D. Maack, D. V. Attanasio, D. J. Fritz, G. J. McBrien, and D. E. Bossi, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 6, 69 (2000).

Gioffre, M. A.

Guo, L. J.

Hallemeier, P. F.

E. L. Wooten, K. M. Kissa, A. Yi-Yan, E. J. Murphy, D. A. Lafaw, P. F. Hallemeier, D. Maack, D. V. Attanasio, D. J. Fritz, G. J. McBrien, and D. E. Bossi, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 6, 69 (2000).

Hon, M. H.

K. L. Lai, S. F. Hsiao, M. H. Hon, and I. C. Leu, Microelectron. Eng. 94, 33 (2012).
[CrossRef]

P. C. Kao, S. Y. Chu, T. Y. Chen, C. Y. Zhan, F. C. Hong, C. Y. Chang, L. C. Hsu, W. C. Liao, and M. H. Hon, IEEE Trans. Electron. Devices 52, 1722 (2005).
[CrossRef]

Hong, F. C.

P. C. Kao, S. Y. Chu, T. Y. Chen, C. Y. Zhan, F. C. Hong, C. Y. Chang, L. C. Hsu, W. C. Liao, and M. H. Hon, IEEE Trans. Electron. Devices 52, 1722 (2005).
[CrossRef]

Hosseini, A.

X. Y. Zhang, B. Lee, C. Y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, X. H. Lin, and R. T. Chen, Proc. SPIE 128267 (2012).
[CrossRef]

X. Y. Zhang, B. Lee, C. Y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, and R. T. Chen, IEEE J. Photon. 4, 2214 (2012).
[CrossRef]

X. Lin, A. Hosseini, A. X. Wang, and R. T. Chen, in Photonics Conference (IEEE, 2012), pp. 280–281.

Hsiao, S. F.

K. L. Lai, S. F. Hsiao, M. H. Hon, and I. C. Leu, Microelectron. Eng. 94, 33 (2012).
[CrossRef]

Hsu, L. C.

P. C. Kao, S. Y. Chu, T. Y. Chen, C. Y. Zhan, F. C. Hong, C. Y. Chang, L. C. Hsu, W. C. Liao, and M. H. Hon, IEEE Trans. Electron. Devices 52, 1722 (2005).
[CrossRef]

Huang, D.

H. Chen, B. Chen, D. Huang, D. Jin, J. D. Luo, A. K. Y. Jen, and R. Dinu, Appl. Phys. Lett. 93, 043507 (2008).
[CrossRef]

Huang, D. Y.

D. Y. Huang, D. L. Jin, B. Q. Chen, H. Chen, D. Tolstedt, S. Condon, A. Barklund, G. M. Yu, E. Miller, R. Dinu, J. D. Luo, Z. W. Shi, T. D. Kim, S. Huang, and A. K. Y. Jen, Proc. SPIE 87049 (2008).
[CrossRef]

Huang, S.

D. Y. Huang, D. L. Jin, B. Q. Chen, H. Chen, D. Tolstedt, S. Condon, A. Barklund, G. M. Yu, E. Miller, R. Dinu, J. D. Luo, Z. W. Shi, T. D. Kim, S. Huang, and A. K. Y. Jen, Proc. SPIE 87049 (2008).
[CrossRef]

Huang, Y.

G. T. Paloczi, Y. Huang, A. Yariv, J. Luo, and A. K. Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 85, 1662 (2004).
[CrossRef]

Jen, A. K. Y.

X. L. Wang, C. Y. Lin, S. Chakravarty, J. D. Luo, A. K. Y. Jen, and R. T. Chen, Opt. Lett. 36, 882 (2011).
[CrossRef]

D. Y. Huang, D. L. Jin, B. Q. Chen, H. Chen, D. Tolstedt, S. Condon, A. Barklund, G. M. Yu, E. Miller, R. Dinu, J. D. Luo, Z. W. Shi, T. D. Kim, S. Huang, and A. K. Y. Jen, Proc. SPIE 87049 (2008).
[CrossRef]

H. Chen, B. Chen, D. Huang, D. Jin, J. D. Luo, A. K. Y. Jen, and R. Dinu, Appl. Phys. Lett. 93, 043507 (2008).
[CrossRef]

G. T. Paloczi, Y. Huang, A. Yariv, J. Luo, and A. K. Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 85, 1662 (2004).
[CrossRef]

Jin, D.

H. Chen, B. Chen, D. Huang, D. Jin, J. D. Luo, A. K. Y. Jen, and R. Dinu, Appl. Phys. Lett. 93, 043507 (2008).
[CrossRef]

Jin, D. L.

D. Y. Huang, D. L. Jin, B. Q. Chen, H. Chen, D. Tolstedt, S. Condon, A. Barklund, G. M. Yu, E. Miller, R. Dinu, J. D. Luo, Z. W. Shi, T. D. Kim, S. Huang, and A. K. Y. Jen, Proc. SPIE 87049 (2008).
[CrossRef]

Kao, P. C.

P. C. Kao, S. Y. Chu, T. Y. Chen, C. Y. Zhan, F. C. Hong, C. Y. Chang, L. C. Hsu, W. C. Liao, and M. H. Hon, IEEE Trans. Electron. Devices 52, 1722 (2005).
[CrossRef]

Kim, T. D.

D. Y. Huang, D. L. Jin, B. Q. Chen, H. Chen, D. Tolstedt, S. Condon, A. Barklund, G. M. Yu, E. Miller, R. Dinu, J. D. Luo, Z. W. Shi, T. D. Kim, S. Huang, and A. K. Y. Jen, Proc. SPIE 87049 (2008).
[CrossRef]

Kissa, K. M.

E. L. Wooten, K. M. Kissa, A. Yi-Yan, E. J. Murphy, D. A. Lafaw, P. F. Hallemeier, D. Maack, D. V. Attanasio, D. J. Fritz, G. J. McBrien, and D. E. Bossi, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 6, 69 (2000).

Lafaw, D. A.

E. L. Wooten, K. M. Kissa, A. Yi-Yan, E. J. Murphy, D. A. Lafaw, P. F. Hallemeier, D. Maack, D. V. Attanasio, D. J. Fritz, G. J. McBrien, and D. E. Bossi, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 6, 69 (2000).

Lai, K. L.

K. L. Lai, S. F. Hsiao, M. H. Hon, and I. C. Leu, Microelectron. Eng. 94, 33 (2012).
[CrossRef]

Lee, B.

X. Y. Zhang, B. Lee, C. Y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, X. H. Lin, and R. T. Chen, Proc. SPIE 128267 (2012).
[CrossRef]

X. Y. Zhang, B. Lee, C. Y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, and R. T. Chen, IEEE J. Photon. 4, 2214 (2012).
[CrossRef]

Leu, I. C.

K. L. Lai, S. F. Hsiao, M. H. Hon, and I. C. Leu, Microelectron. Eng. 94, 33 (2012).
[CrossRef]

Liao, W. C.

P. C. Kao, S. Y. Chu, T. Y. Chen, C. Y. Zhan, F. C. Hong, C. Y. Chang, L. C. Hsu, W. C. Liao, and M. H. Hon, IEEE Trans. Electron. Devices 52, 1722 (2005).
[CrossRef]

Lin, C. Y.

X. Y. Zhang, B. Lee, C. Y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, X. H. Lin, and R. T. Chen, Proc. SPIE 128267 (2012).
[CrossRef]

X. Y. Zhang, B. Lee, C. Y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, and R. T. Chen, IEEE J. Photon. 4, 2214 (2012).
[CrossRef]

X. L. Wang, C. Y. Lin, S. Chakravarty, J. D. Luo, A. K. Y. Jen, and R. T. Chen, Opt. Lett. 36, 882 (2011).
[CrossRef]

Lin, X.

X. Lin, T. Ling, H. Subbaraman, L. J. Guo, and R. T. Chen, Opt. Express 21, 2110 (2013).
[CrossRef]

X. Lin, A. Hosseini, A. X. Wang, and R. T. Chen, in Photonics Conference (IEEE, 2012), pp. 280–281.

Lin, X. H.

X. Y. Zhang, B. Lee, C. Y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, X. H. Lin, and R. T. Chen, Proc. SPIE 128267 (2012).
[CrossRef]

Ling, T.

Luo, J.

G. T. Paloczi, Y. Huang, A. Yariv, J. Luo, and A. K. Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 85, 1662 (2004).
[CrossRef]

Luo, J. D.

X. L. Wang, C. Y. Lin, S. Chakravarty, J. D. Luo, A. K. Y. Jen, and R. T. Chen, Opt. Lett. 36, 882 (2011).
[CrossRef]

D. Y. Huang, D. L. Jin, B. Q. Chen, H. Chen, D. Tolstedt, S. Condon, A. Barklund, G. M. Yu, E. Miller, R. Dinu, J. D. Luo, Z. W. Shi, T. D. Kim, S. Huang, and A. K. Y. Jen, Proc. SPIE 87049 (2008).
[CrossRef]

H. Chen, B. Chen, D. Huang, D. Jin, J. D. Luo, A. K. Y. Jen, and R. Dinu, Appl. Phys. Lett. 93, 043507 (2008).
[CrossRef]

Maack, D.

E. L. Wooten, K. M. Kissa, A. Yi-Yan, E. J. Murphy, D. A. Lafaw, P. F. Hallemeier, D. Maack, D. V. Attanasio, D. J. Fritz, G. J. McBrien, and D. E. Bossi, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 6, 69 (2000).

McBrien, G. J.

E. L. Wooten, K. M. Kissa, A. Yi-Yan, E. J. Murphy, D. A. Lafaw, P. F. Hallemeier, D. Maack, D. V. Attanasio, D. J. Fritz, G. J. McBrien, and D. E. Bossi, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 6, 69 (2000).

Miller, E.

D. Y. Huang, D. L. Jin, B. Q. Chen, H. Chen, D. Tolstedt, S. Condon, A. Barklund, G. M. Yu, E. Miller, R. Dinu, J. D. Luo, Z. W. Shi, T. D. Kim, S. Huang, and A. K. Y. Jen, Proc. SPIE 87049 (2008).
[CrossRef]

Murphy, E. J.

E. L. Wooten, K. M. Kissa, A. Yi-Yan, E. J. Murphy, D. A. Lafaw, P. F. Hallemeier, D. Maack, D. V. Attanasio, D. J. Fritz, G. J. McBrien, and D. E. Bossi, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 6, 69 (2000).

Paloczi, G. T.

G. T. Paloczi, Y. Huang, A. Yariv, J. Luo, and A. K. Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 85, 1662 (2004).
[CrossRef]

Rao, S.

Shi, Z. W.

D. Y. Huang, D. L. Jin, B. Q. Chen, H. Chen, D. Tolstedt, S. Condon, A. Barklund, G. M. Yu, E. Miller, R. Dinu, J. D. Luo, Z. W. Shi, T. D. Kim, S. Huang, and A. K. Y. Jen, Proc. SPIE 87049 (2008).
[CrossRef]

Sigg, H.

Solak, H. H.

Subbaraman, H.

Tolstedt, D.

D. Y. Huang, D. L. Jin, B. Q. Chen, H. Chen, D. Tolstedt, S. Condon, A. Barklund, G. M. Yu, E. Miller, R. Dinu, J. D. Luo, Z. W. Shi, T. D. Kim, S. Huang, and A. K. Y. Jen, Proc. SPIE 87049 (2008).
[CrossRef]

Wang, A. X.

X. Y. Zhang, B. Lee, C. Y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, and R. T. Chen, IEEE J. Photon. 4, 2214 (2012).
[CrossRef]

X. Y. Zhang, B. Lee, C. Y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, X. H. Lin, and R. T. Chen, Proc. SPIE 128267 (2012).
[CrossRef]

X. Lin, A. Hosseini, A. X. Wang, and R. T. Chen, in Photonics Conference (IEEE, 2012), pp. 280–281.

Wang, X. L.

Wooten, E. L.

E. L. Wooten, K. M. Kissa, A. Yi-Yan, E. J. Murphy, D. A. Lafaw, P. F. Hallemeier, D. Maack, D. V. Attanasio, D. J. Fritz, G. J. McBrien, and D. E. Bossi, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 6, 69 (2000).

Yariv, A.

G. T. Paloczi, Y. Huang, A. Yariv, J. Luo, and A. K. Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 85, 1662 (2004).
[CrossRef]

Yi-Yan, A.

E. L. Wooten, K. M. Kissa, A. Yi-Yan, E. J. Murphy, D. A. Lafaw, P. F. Hallemeier, D. Maack, D. V. Attanasio, D. J. Fritz, G. J. McBrien, and D. E. Bossi, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 6, 69 (2000).

Yu, G. M.

D. Y. Huang, D. L. Jin, B. Q. Chen, H. Chen, D. Tolstedt, S. Condon, A. Barklund, G. M. Yu, E. Miller, R. Dinu, J. D. Luo, Z. W. Shi, T. D. Kim, S. Huang, and A. K. Y. Jen, Proc. SPIE 87049 (2008).
[CrossRef]

Zhan, C. Y.

P. C. Kao, S. Y. Chu, T. Y. Chen, C. Y. Zhan, F. C. Hong, C. Y. Chang, L. C. Hsu, W. C. Liao, and M. H. Hon, IEEE Trans. Electron. Devices 52, 1722 (2005).
[CrossRef]

Zhang, X. Y.

X. Y. Zhang, B. Lee, C. Y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, X. H. Lin, and R. T. Chen, Proc. SPIE 128267 (2012).
[CrossRef]

X. Y. Zhang, B. Lee, C. Y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, and R. T. Chen, IEEE J. Photon. 4, 2214 (2012).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett. (3)

H. Chen, B. Chen, D. Huang, D. Jin, J. D. Luo, A. K. Y. Jen, and R. Dinu, Appl. Phys. Lett. 93, 043507 (2008).
[CrossRef]

G. T. Paloczi, Y. Huang, A. Yariv, J. Luo, and A. K. Y. Jen, Appl. Phys. Lett. 85, 1662 (2004).
[CrossRef]

T. Ling, S. L. Chen, and L. J. Guo, Appl. Phys. Lett. 98, 204103 (2011).
[CrossRef]

IEEE J. Photon. (1)

X. Y. Zhang, B. Lee, C. Y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, and R. T. Chen, IEEE J. Photon. 4, 2214 (2012).
[CrossRef]

IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. (1)

E. L. Wooten, K. M. Kissa, A. Yi-Yan, E. J. Murphy, D. A. Lafaw, P. F. Hallemeier, D. Maack, D. V. Attanasio, D. J. Fritz, G. J. McBrien, and D. E. Bossi, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 6, 69 (2000).

IEEE Trans. Electron. Devices (1)

P. C. Kao, S. Y. Chu, T. Y. Chen, C. Y. Zhan, F. C. Hong, C. Y. Chang, L. C. Hsu, W. C. Liao, and M. H. Hon, IEEE Trans. Electron. Devices 52, 1722 (2005).
[CrossRef]

Microelectron. Eng. (1)

K. L. Lai, S. F. Hsiao, M. H. Hon, and I. C. Leu, Microelectron. Eng. 94, 33 (2012).
[CrossRef]

Opt. Express (4)

Opt. Lett. (1)

Proc. SPIE (2)

X. Y. Zhang, B. Lee, C. Y. Lin, A. X. Wang, A. Hosseini, X. H. Lin, and R. T. Chen, Proc. SPIE 128267 (2012).
[CrossRef]

D. Y. Huang, D. L. Jin, B. Q. Chen, H. Chen, D. Tolstedt, S. Condon, A. Barklund, G. M. Yu, E. Miller, R. Dinu, J. D. Luo, Z. W. Shi, T. D. Kim, S. Huang, and A. K. Y. Jen, Proc. SPIE 87049 (2008).
[CrossRef]

Other (1)

X. Lin, A. Hosseini, A. X. Wang, and R. T. Chen, in Photonics Conference (IEEE, 2012), pp. 280–281.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Metrics