Abstract

An extreme ultraviolet multilayer mirror with an integrated spectral filter for the IR range is presented and experimentally evaluated. The system consists of an IR-transparent B4C/Si multilayer stack which is used both as EUV-reflective coating and as a phase shift layer of the resonant IR antireflective (AR) coating. The AR coating is optimized in our particular case to suppress CO2 laser radiation at a wavelength of 10.6 μm, and a suppression of more than two orders of magnitude is demonstrated. The method allows high suppression over a large angular acceptance range, relevant for application in lithography systems.

© 2012 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. E. Louis, A. E. Yakshin, T. Tsarfati, and F. Bijkerk, Progr. Surf. Sci. 86, 255 (2011).
    [CrossRef]
  2. V. Y. Banine, K. N. Koshelev, and G. H. P. M. Swinkels, J. Phys. D 44, 253001 (2011).
    [CrossRef]
  3. M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, N. N. Tsybin, and S. Y. Zuev, Proc. SPIE 7025, 702502 (2008).
    [CrossRef]
  4. W. A. Soer, M. J. J. Jak, A. M. Yakunin, M. M. J. W. van Herpen, and V. Y. Banine, Proc. SPIE 7271, 72712Y (2009).
    [CrossRef]
  5. V. P. Belik, Yu. M. Zadiranov, N. D. Il’inskaya, A. V. Korlyakov, V. V. Luchinin, M. A. Markosov, R. P. Seisyan, and E. M. Sher, Tech. Phys. Lett. 33, 508 (2007).
    [CrossRef]
  6. A. R. J. van den Boogaard, E. Louis, F. A. van Goor, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 7271, 72713B (2009).
    [CrossRef]
  7. M. M. J. W. van Herpen, R. W. E. van de Kruijs, D. J. W. Klunder, E. Louis, A. E. Yakshin, S. A. van der Westen, F. Bijkerk, and V. Y. Banine, Opt. Lett. 33, 560 (2008).
    [CrossRef]
  8. W. A. Soer, P. Gawlitza, M. M. J. W van Herpen, M. J. J. Jak, S. Braun, P. Muys, and V. Y. Banine, Opt. Lett. 34, 3680 (2010).
    [CrossRef]
  9. V. V. Medvedev, A. E. Yakshin, R. W. E. van de Kruijs, V. M. Krivtsun, A. M. Yakunin, K. N. Koshelev, and F. Bijkerk, Opt. Lett. 36, 3344 (2011).
    [CrossRef]
  10. A. R. J. van den Boogaard, F. A. van Goor, E. Louis, and F. Bijkerk, Opt. Lett. 37, 160 (2012).
  11. J. M. Slaughter, B. S. Medower, R. N. Watts, C. Tario, T. B. Lucatorto, and C. M. Falco, Opt. Lett. 19, 1786 (1994).
    [CrossRef]
  12. X. Bozec, L. Moine, R. Wevers, S. Djidel, R. Mercier Ythier, R. Geyl, and V. Patoz, Proc. SPIE 7969, 79690A (2011).
    [CrossRef]
  13. H. Dupoisot and J. Morizet, Appl. Opt. 18, 2701 (1979).
    [CrossRef]
  14. E. D. Palik, ed., Handbook of Optical Constants of Solids (Academic, 1985).
  15. G. A. Samara, H. L. Tardy, E. L. Venturini, T. L. Aselage, and D. Emin, Phys. Rev. B 48, 1468 (1993).
    [CrossRef]
  16. A. M. Yakunin and W. A. Soer, Philips Research Laboratories, High Tech Campus 4, 5656 AE Eindhoven, The Netherlands (personal communication, 2008).
  17. K. M. Pitman, A. M. Hofmeister, A. B. Corman, and A. K. Speck, Astron. Astrophys. 483, 661 (2008).
    [CrossRef]
  18. A. R. J. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, S. Mullender, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. A 28, 552 (2010).
    [CrossRef]
  19. V. I. T. A. de Rooij-Lohmann, A. E. Yakshin, E. Zoethout, J. Verhoeven, and F. Bijkerk, Appl. Surf. Sci. 257, 6251 (2011).

2012 (1)

2011 (5)

X. Bozec, L. Moine, R. Wevers, S. Djidel, R. Mercier Ythier, R. Geyl, and V. Patoz, Proc. SPIE 7969, 79690A (2011).
[CrossRef]

V. I. T. A. de Rooij-Lohmann, A. E. Yakshin, E. Zoethout, J. Verhoeven, and F. Bijkerk, Appl. Surf. Sci. 257, 6251 (2011).

E. Louis, A. E. Yakshin, T. Tsarfati, and F. Bijkerk, Progr. Surf. Sci. 86, 255 (2011).
[CrossRef]

V. Y. Banine, K. N. Koshelev, and G. H. P. M. Swinkels, J. Phys. D 44, 253001 (2011).
[CrossRef]

V. V. Medvedev, A. E. Yakshin, R. W. E. van de Kruijs, V. M. Krivtsun, A. M. Yakunin, K. N. Koshelev, and F. Bijkerk, Opt. Lett. 36, 3344 (2011).
[CrossRef]

2010 (2)

W. A. Soer, P. Gawlitza, M. M. J. W van Herpen, M. J. J. Jak, S. Braun, P. Muys, and V. Y. Banine, Opt. Lett. 34, 3680 (2010).
[CrossRef]

A. R. J. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, S. Mullender, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. A 28, 552 (2010).
[CrossRef]

2009 (2)

A. R. J. van den Boogaard, E. Louis, F. A. van Goor, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 7271, 72713B (2009).
[CrossRef]

W. A. Soer, M. J. J. Jak, A. M. Yakunin, M. M. J. W. van Herpen, and V. Y. Banine, Proc. SPIE 7271, 72712Y (2009).
[CrossRef]

2008 (3)

M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, N. N. Tsybin, and S. Y. Zuev, Proc. SPIE 7025, 702502 (2008).
[CrossRef]

M. M. J. W. van Herpen, R. W. E. van de Kruijs, D. J. W. Klunder, E. Louis, A. E. Yakshin, S. A. van der Westen, F. Bijkerk, and V. Y. Banine, Opt. Lett. 33, 560 (2008).
[CrossRef]

K. M. Pitman, A. M. Hofmeister, A. B. Corman, and A. K. Speck, Astron. Astrophys. 483, 661 (2008).
[CrossRef]

2007 (1)

V. P. Belik, Yu. M. Zadiranov, N. D. Il’inskaya, A. V. Korlyakov, V. V. Luchinin, M. A. Markosov, R. P. Seisyan, and E. M. Sher, Tech. Phys. Lett. 33, 508 (2007).
[CrossRef]

1994 (1)

1993 (1)

G. A. Samara, H. L. Tardy, E. L. Venturini, T. L. Aselage, and D. Emin, Phys. Rev. B 48, 1468 (1993).
[CrossRef]

1979 (1)

Aselage, T. L.

G. A. Samara, H. L. Tardy, E. L. Venturini, T. L. Aselage, and D. Emin, Phys. Rev. B 48, 1468 (1993).
[CrossRef]

Banine, V. Y.

V. Y. Banine, K. N. Koshelev, and G. H. P. M. Swinkels, J. Phys. D 44, 253001 (2011).
[CrossRef]

W. A. Soer, M. J. J. Jak, A. M. Yakunin, M. M. J. W. van Herpen, and V. Y. Banine, Proc. SPIE 7271, 72712Y (2009).
[CrossRef]

M. M. J. W. van Herpen, R. W. E. van de Kruijs, D. J. W. Klunder, E. Louis, A. E. Yakshin, S. A. van der Westen, F. Bijkerk, and V. Y. Banine, Opt. Lett. 33, 560 (2008).
[CrossRef]

Belik, V. P.

V. P. Belik, Yu. M. Zadiranov, N. D. Il’inskaya, A. V. Korlyakov, V. V. Luchinin, M. A. Markosov, R. P. Seisyan, and E. M. Sher, Tech. Phys. Lett. 33, 508 (2007).
[CrossRef]

Bibishkin, M. S.

M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, N. N. Tsybin, and S. Y. Zuev, Proc. SPIE 7025, 702502 (2008).
[CrossRef]

Bijkerk, F.

A. R. J. van den Boogaard, F. A. van Goor, E. Louis, and F. Bijkerk, Opt. Lett. 37, 160 (2012).

V. V. Medvedev, A. E. Yakshin, R. W. E. van de Kruijs, V. M. Krivtsun, A. M. Yakunin, K. N. Koshelev, and F. Bijkerk, Opt. Lett. 36, 3344 (2011).
[CrossRef]

E. Louis, A. E. Yakshin, T. Tsarfati, and F. Bijkerk, Progr. Surf. Sci. 86, 255 (2011).
[CrossRef]

V. I. T. A. de Rooij-Lohmann, A. E. Yakshin, E. Zoethout, J. Verhoeven, and F. Bijkerk, Appl. Surf. Sci. 257, 6251 (2011).

A. R. J. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, S. Mullender, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. A 28, 552 (2010).
[CrossRef]

A. R. J. van den Boogaard, E. Louis, F. A. van Goor, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 7271, 72713B (2009).
[CrossRef]

M. M. J. W. van Herpen, R. W. E. van de Kruijs, D. J. W. Klunder, E. Louis, A. E. Yakshin, S. A. van der Westen, F. Bijkerk, and V. Y. Banine, Opt. Lett. 33, 560 (2008).
[CrossRef]

Bozec, X.

X. Bozec, L. Moine, R. Wevers, S. Djidel, R. Mercier Ythier, R. Geyl, and V. Patoz, Proc. SPIE 7969, 79690A (2011).
[CrossRef]

Chkhalo, N. I.

M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, N. N. Tsybin, and S. Y. Zuev, Proc. SPIE 7025, 702502 (2008).
[CrossRef]

Corman, A. B.

K. M. Pitman, A. M. Hofmeister, A. B. Corman, and A. K. Speck, Astron. Astrophys. 483, 661 (2008).
[CrossRef]

de Rooij-Lohmann, V. I. T. A.

V. I. T. A. de Rooij-Lohmann, A. E. Yakshin, E. Zoethout, J. Verhoeven, and F. Bijkerk, Appl. Surf. Sci. 257, 6251 (2011).

Djidel, S.

X. Bozec, L. Moine, R. Wevers, S. Djidel, R. Mercier Ythier, R. Geyl, and V. Patoz, Proc. SPIE 7969, 79690A (2011).
[CrossRef]

Dupoisot, H.

Emin, D.

G. A. Samara, H. L. Tardy, E. L. Venturini, T. L. Aselage, and D. Emin, Phys. Rev. B 48, 1468 (1993).
[CrossRef]

Falco, C. M.

Geyl, R.

X. Bozec, L. Moine, R. Wevers, S. Djidel, R. Mercier Ythier, R. Geyl, and V. Patoz, Proc. SPIE 7969, 79690A (2011).
[CrossRef]

Gusev, S. A.

M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, N. N. Tsybin, and S. Y. Zuev, Proc. SPIE 7025, 702502 (2008).
[CrossRef]

Hofmeister, A. M.

K. M. Pitman, A. M. Hofmeister, A. B. Corman, and A. K. Speck, Astron. Astrophys. 483, 661 (2008).
[CrossRef]

Il’inskaya, N. D.

V. P. Belik, Yu. M. Zadiranov, N. D. Il’inskaya, A. V. Korlyakov, V. V. Luchinin, M. A. Markosov, R. P. Seisyan, and E. M. Sher, Tech. Phys. Lett. 33, 508 (2007).
[CrossRef]

Jak, M. J. J.

W. A. Soer, M. J. J. Jak, A. M. Yakunin, M. M. J. W. van Herpen, and V. Y. Banine, Proc. SPIE 7271, 72712Y (2009).
[CrossRef]

Kluenkov, E. B.

M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, N. N. Tsybin, and S. Y. Zuev, Proc. SPIE 7025, 702502 (2008).
[CrossRef]

Klunder, D. J. W.

Korlyakov, A. V.

V. P. Belik, Yu. M. Zadiranov, N. D. Il’inskaya, A. V. Korlyakov, V. V. Luchinin, M. A. Markosov, R. P. Seisyan, and E. M. Sher, Tech. Phys. Lett. 33, 508 (2007).
[CrossRef]

Koshelev, K. N.

Krivtsun, V. M.

Lopatin, A. Y.

M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, N. N. Tsybin, and S. Y. Zuev, Proc. SPIE 7025, 702502 (2008).
[CrossRef]

Louis, E.

A. R. J. van den Boogaard, F. A. van Goor, E. Louis, and F. Bijkerk, Opt. Lett. 37, 160 (2012).

E. Louis, A. E. Yakshin, T. Tsarfati, and F. Bijkerk, Progr. Surf. Sci. 86, 255 (2011).
[CrossRef]

A. R. J. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, S. Mullender, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. A 28, 552 (2010).
[CrossRef]

A. R. J. van den Boogaard, E. Louis, F. A. van Goor, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 7271, 72713B (2009).
[CrossRef]

M. M. J. W. van Herpen, R. W. E. van de Kruijs, D. J. W. Klunder, E. Louis, A. E. Yakshin, S. A. van der Westen, F. Bijkerk, and V. Y. Banine, Opt. Lett. 33, 560 (2008).
[CrossRef]

Lucatorto, T. B.

Luchin, V. I.

M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, N. N. Tsybin, and S. Y. Zuev, Proc. SPIE 7025, 702502 (2008).
[CrossRef]

Luchinin, V. V.

V. P. Belik, Yu. M. Zadiranov, N. D. Il’inskaya, A. V. Korlyakov, V. V. Luchinin, M. A. Markosov, R. P. Seisyan, and E. M. Sher, Tech. Phys. Lett. 33, 508 (2007).
[CrossRef]

Markosov, M. A.

V. P. Belik, Yu. M. Zadiranov, N. D. Il’inskaya, A. V. Korlyakov, V. V. Luchinin, M. A. Markosov, R. P. Seisyan, and E. M. Sher, Tech. Phys. Lett. 33, 508 (2007).
[CrossRef]

Medower, B. S.

Medvedev, V. V.

Moine, L.

X. Bozec, L. Moine, R. Wevers, S. Djidel, R. Mercier Ythier, R. Geyl, and V. Patoz, Proc. SPIE 7969, 79690A (2011).
[CrossRef]

Morizet, J.

Mullender, S.

A. R. J. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, S. Mullender, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. A 28, 552 (2010).
[CrossRef]

Patoz, V.

X. Bozec, L. Moine, R. Wevers, S. Djidel, R. Mercier Ythier, R. Geyl, and V. Patoz, Proc. SPIE 7969, 79690A (2011).
[CrossRef]

Pestov, A. E.

M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, N. N. Tsybin, and S. Y. Zuev, Proc. SPIE 7025, 702502 (2008).
[CrossRef]

Pitman, K. M.

K. M. Pitman, A. M. Hofmeister, A. B. Corman, and A. K. Speck, Astron. Astrophys. 483, 661 (2008).
[CrossRef]

Salashchenko, N. N.

M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, N. N. Tsybin, and S. Y. Zuev, Proc. SPIE 7025, 702502 (2008).
[CrossRef]

Samara, G. A.

G. A. Samara, H. L. Tardy, E. L. Venturini, T. L. Aselage, and D. Emin, Phys. Rev. B 48, 1468 (1993).
[CrossRef]

Seisyan, R. P.

V. P. Belik, Yu. M. Zadiranov, N. D. Il’inskaya, A. V. Korlyakov, V. V. Luchinin, M. A. Markosov, R. P. Seisyan, and E. M. Sher, Tech. Phys. Lett. 33, 508 (2007).
[CrossRef]

Sher, E. M.

V. P. Belik, Yu. M. Zadiranov, N. D. Il’inskaya, A. V. Korlyakov, V. V. Luchinin, M. A. Markosov, R. P. Seisyan, and E. M. Sher, Tech. Phys. Lett. 33, 508 (2007).
[CrossRef]

Shmaenok, L. A.

M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, N. N. Tsybin, and S. Y. Zuev, Proc. SPIE 7025, 702502 (2008).
[CrossRef]

Slaughter, J. M.

Soer, W. A.

W. A. Soer, M. J. J. Jak, A. M. Yakunin, M. M. J. W. van Herpen, and V. Y. Banine, Proc. SPIE 7271, 72712Y (2009).
[CrossRef]

A. M. Yakunin and W. A. Soer, Philips Research Laboratories, High Tech Campus 4, 5656 AE Eindhoven, The Netherlands (personal communication, 2008).

Speck, A. K.

K. M. Pitman, A. M. Hofmeister, A. B. Corman, and A. K. Speck, Astron. Astrophys. 483, 661 (2008).
[CrossRef]

Swinkels, G. H. P. M.

V. Y. Banine, K. N. Koshelev, and G. H. P. M. Swinkels, J. Phys. D 44, 253001 (2011).
[CrossRef]

Tardy, H. L.

G. A. Samara, H. L. Tardy, E. L. Venturini, T. L. Aselage, and D. Emin, Phys. Rev. B 48, 1468 (1993).
[CrossRef]

Tario, C.

Tsarfati, T.

E. Louis, A. E. Yakshin, T. Tsarfati, and F. Bijkerk, Progr. Surf. Sci. 86, 255 (2011).
[CrossRef]

Tsybin, N. N.

M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, N. N. Tsybin, and S. Y. Zuev, Proc. SPIE 7025, 702502 (2008).
[CrossRef]

van de Kruijs, R. W. E.

van den Boogaard, A. R. J.

A. R. J. van den Boogaard, F. A. van Goor, E. Louis, and F. Bijkerk, Opt. Lett. 37, 160 (2012).

A. R. J. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, S. Mullender, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. A 28, 552 (2010).
[CrossRef]

A. R. J. van den Boogaard, E. Louis, F. A. van Goor, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 7271, 72713B (2009).
[CrossRef]

van der Westen, S. A.

van Goor, F. A.

A. R. J. van den Boogaard, F. A. van Goor, E. Louis, and F. Bijkerk, Opt. Lett. 37, 160 (2012).

A. R. J. van den Boogaard, E. Louis, F. A. van Goor, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 7271, 72713B (2009).
[CrossRef]

van Herpen, M. M. J. W.

Venturini, E. L.

G. A. Samara, H. L. Tardy, E. L. Venturini, T. L. Aselage, and D. Emin, Phys. Rev. B 48, 1468 (1993).
[CrossRef]

Verhoeven, J.

V. I. T. A. de Rooij-Lohmann, A. E. Yakshin, E. Zoethout, J. Verhoeven, and F. Bijkerk, Appl. Surf. Sci. 257, 6251 (2011).

Watts, R. N.

Wevers, R.

X. Bozec, L. Moine, R. Wevers, S. Djidel, R. Mercier Ythier, R. Geyl, and V. Patoz, Proc. SPIE 7969, 79690A (2011).
[CrossRef]

Yakshin, A. E.

Yakunin, A. M.

V. V. Medvedev, A. E. Yakshin, R. W. E. van de Kruijs, V. M. Krivtsun, A. M. Yakunin, K. N. Koshelev, and F. Bijkerk, Opt. Lett. 36, 3344 (2011).
[CrossRef]

W. A. Soer, M. J. J. Jak, A. M. Yakunin, M. M. J. W. van Herpen, and V. Y. Banine, Proc. SPIE 7271, 72712Y (2009).
[CrossRef]

A. M. Yakunin and W. A. Soer, Philips Research Laboratories, High Tech Campus 4, 5656 AE Eindhoven, The Netherlands (personal communication, 2008).

Ythier, R. Mercier

X. Bozec, L. Moine, R. Wevers, S. Djidel, R. Mercier Ythier, R. Geyl, and V. Patoz, Proc. SPIE 7969, 79690A (2011).
[CrossRef]

Zadiranov, Yu. M.

V. P. Belik, Yu. M. Zadiranov, N. D. Il’inskaya, A. V. Korlyakov, V. V. Luchinin, M. A. Markosov, R. P. Seisyan, and E. M. Sher, Tech. Phys. Lett. 33, 508 (2007).
[CrossRef]

Zoethout, E.

V. I. T. A. de Rooij-Lohmann, A. E. Yakshin, E. Zoethout, J. Verhoeven, and F. Bijkerk, Appl. Surf. Sci. 257, 6251 (2011).

A. R. J. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, S. Mullender, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. A 28, 552 (2010).
[CrossRef]

Zuev, S. Y.

M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, N. N. Tsybin, and S. Y. Zuev, Proc. SPIE 7025, 702502 (2008).
[CrossRef]

Tech. Phys. Lett. (1)

V. P. Belik, Yu. M. Zadiranov, N. D. Il’inskaya, A. V. Korlyakov, V. V. Luchinin, M. A. Markosov, R. P. Seisyan, and E. M. Sher, Tech. Phys. Lett. 33, 508 (2007).
[CrossRef]

Appl. Opt. (1)

Appl. Surf. Sci. (1)

V. I. T. A. de Rooij-Lohmann, A. E. Yakshin, E. Zoethout, J. Verhoeven, and F. Bijkerk, Appl. Surf. Sci. 257, 6251 (2011).

Astron. Astrophys. (1)

K. M. Pitman, A. M. Hofmeister, A. B. Corman, and A. K. Speck, Astron. Astrophys. 483, 661 (2008).
[CrossRef]

J. Phys. D (1)

V. Y. Banine, K. N. Koshelev, and G. H. P. M. Swinkels, J. Phys. D 44, 253001 (2011).
[CrossRef]

J. Vac. Sci. Technol. A (1)

A. R. J. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, S. Mullender, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. A 28, 552 (2010).
[CrossRef]

Opt. Lett. (5)

Phys. Rev. B (1)

G. A. Samara, H. L. Tardy, E. L. Venturini, T. L. Aselage, and D. Emin, Phys. Rev. B 48, 1468 (1993).
[CrossRef]

Proc. SPIE (4)

X. Bozec, L. Moine, R. Wevers, S. Djidel, R. Mercier Ythier, R. Geyl, and V. Patoz, Proc. SPIE 7969, 79690A (2011).
[CrossRef]

M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, N. N. Tsybin, and S. Y. Zuev, Proc. SPIE 7025, 702502 (2008).
[CrossRef]

W. A. Soer, M. J. J. Jak, A. M. Yakunin, M. M. J. W. van Herpen, and V. Y. Banine, Proc. SPIE 7271, 72712Y (2009).
[CrossRef]

A. R. J. van den Boogaard, E. Louis, F. A. van Goor, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 7271, 72713B (2009).
[CrossRef]

Progr. Surf. Sci. (1)

E. Louis, A. E. Yakshin, T. Tsarfati, and F. Bijkerk, Progr. Surf. Sci. 86, 255 (2011).
[CrossRef]

Other (2)

A. M. Yakunin and W. A. Soer, Philips Research Laboratories, High Tech Campus 4, 5656 AE Eindhoven, The Netherlands (personal communication, 2008).

E. D. Palik, ed., Handbook of Optical Constants of Solids (Academic, 1985).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1.
Fig. 1.

Sketch of the hybrid EUV multilayer—IR AR coating.

Fig. 2.
Fig. 2.

Calculated dependence of the optical response of the mirror at 10.6 μm wavelength on the number of B4C/Si periods for the case of infinitely thick Si (a) and SiC (b) substrates. Mo layer thickness is 10 nm. The reflection (R), transmission (determined as T=1RA), and absorption (A) coefficients are plotted as solid lines, dashed lines, and dashed-dotted lines, respectively. All simulations are performed for normal incidence.

Fig. 3.
Fig. 3.

Calculated reflectance of 10.6 μm radiation as a function of angle of incidence.

Fig. 4.
Fig. 4.

Measured reflectance and transmittance as a function of wavenumber for the sample with 10 nm Mo layer and 103 periods of B4C/Si multilayer.

Metrics