Abstract

In this Letter, we demonstrate for the first time (to our best knowledge) stamp printing of silicon nanomembrane (SiNM)-based in-plane photonic devices onto a flexible substrate using a modified transfer printing method that utilizes a suspended configuration, which can adjust the adhesion between the released SiNM and the “handle” silicon wafer. With this method, 230 nm thick, 30 μm wide, and up to 5.7 cm long SiNM-based waveguides are transferred to flexible Kapton films with >90% transfer yield. The propagation loss of the transferred waveguides is measured to be 1.1dB/cm. Scalability of this approach to transfer intricate structures, such as photonic crystal waveguides and multimode interference couplers with a minimum feature size of 200 nm and 2 μm, respectively, is also demonstrated.

© 2012 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. F. Cavallo and M. G. Lagally, Soft Matter 6, 439 (2010).
    [CrossRef]
  2. J. A. Rogers, M. G. Lagally, and R. G. Nuzzo, Nature 477, 45 (2011).
    [CrossRef]
  3. G. X. Qin, H. C. Yuan, G. K. Celler, W. D. Zhou, and Z. Q. Ma, J. Phys. D 42, 234006 (2009).
    [CrossRef]
  4. M. A. Meitl, Z. T. Zhu, V. Kumar, K. J. Lee, X. Feng, Y. Y. Huang, I. Adesida, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Mater. 5, 33 (2005).
    [CrossRef]
  5. D. H. Kim, J. H. Ahn, W. M. Choi, H. S. Kim, T. H. Kim, J. Z. Song, Y. G. Y. Huang, Z. J. Liu, C. Lu, and J. A. Rogers, Science 320, 507 (2008).
    [CrossRef]
  6. J. A. Rogers, Z. Bao, K. Baldwin, A. Dodabalapur, B. Crone, V. R. Raju, V. Kuck, H. Katz, K. Amundson, J. Ewing, and P. Drzaic, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 98, 4835 (2001).
    [CrossRef]
  7. W. D. Zhou, Z. Q. Ma, H. J. Yang, Z. X. Qiang, G. X. Qin, H. Q. Pang, L. Chen, W. Q. Yang, S. Chuwongin, and D. Y. Zhao, J. Phys. D 42, 234007 (2009).
    [CrossRef]
  8. T. Someya, Y. Kato, S. Iba, Y. Noguchi, T. Sekitani, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, IEEE Trans. Electron. Dev. 52, 2502 (2005).
    [CrossRef]
  9. M. J. Zablocki, A. Sharkawy, O. Ebil, and D. W. Prather, Opt. Lett. 36, 58 (2011).
    [CrossRef]
  10. A. Ghaffari, A. Hosseini, X. C. Xu, D. Kwong, H. Subbaraman, and R. T. Chen, Opt. Express 18, 20086 (2010).
    [CrossRef]
  11. Y. Yang, Y. Hwang, H. A. Cho, J. H. Song, S. J. Park, J. A. Rogers, and H. C. Ko, Small 7, 484 (2011).
    [CrossRef]

2011 (3)

J. A. Rogers, M. G. Lagally, and R. G. Nuzzo, Nature 477, 45 (2011).
[CrossRef]

Y. Yang, Y. Hwang, H. A. Cho, J. H. Song, S. J. Park, J. A. Rogers, and H. C. Ko, Small 7, 484 (2011).
[CrossRef]

M. J. Zablocki, A. Sharkawy, O. Ebil, and D. W. Prather, Opt. Lett. 36, 58 (2011).
[CrossRef]

2010 (2)

2009 (2)

W. D. Zhou, Z. Q. Ma, H. J. Yang, Z. X. Qiang, G. X. Qin, H. Q. Pang, L. Chen, W. Q. Yang, S. Chuwongin, and D. Y. Zhao, J. Phys. D 42, 234007 (2009).
[CrossRef]

G. X. Qin, H. C. Yuan, G. K. Celler, W. D. Zhou, and Z. Q. Ma, J. Phys. D 42, 234006 (2009).
[CrossRef]

2008 (1)

D. H. Kim, J. H. Ahn, W. M. Choi, H. S. Kim, T. H. Kim, J. Z. Song, Y. G. Y. Huang, Z. J. Liu, C. Lu, and J. A. Rogers, Science 320, 507 (2008).
[CrossRef]

2005 (2)

M. A. Meitl, Z. T. Zhu, V. Kumar, K. J. Lee, X. Feng, Y. Y. Huang, I. Adesida, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Mater. 5, 33 (2005).
[CrossRef]

T. Someya, Y. Kato, S. Iba, Y. Noguchi, T. Sekitani, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, IEEE Trans. Electron. Dev. 52, 2502 (2005).
[CrossRef]

2001 (1)

J. A. Rogers, Z. Bao, K. Baldwin, A. Dodabalapur, B. Crone, V. R. Raju, V. Kuck, H. Katz, K. Amundson, J. Ewing, and P. Drzaic, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 98, 4835 (2001).
[CrossRef]

Adesida, I.

M. A. Meitl, Z. T. Zhu, V. Kumar, K. J. Lee, X. Feng, Y. Y. Huang, I. Adesida, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Mater. 5, 33 (2005).
[CrossRef]

Ahn, J. H.

D. H. Kim, J. H. Ahn, W. M. Choi, H. S. Kim, T. H. Kim, J. Z. Song, Y. G. Y. Huang, Z. J. Liu, C. Lu, and J. A. Rogers, Science 320, 507 (2008).
[CrossRef]

Amundson, K.

J. A. Rogers, Z. Bao, K. Baldwin, A. Dodabalapur, B. Crone, V. R. Raju, V. Kuck, H. Katz, K. Amundson, J. Ewing, and P. Drzaic, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 98, 4835 (2001).
[CrossRef]

Baldwin, K.

J. A. Rogers, Z. Bao, K. Baldwin, A. Dodabalapur, B. Crone, V. R. Raju, V. Kuck, H. Katz, K. Amundson, J. Ewing, and P. Drzaic, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 98, 4835 (2001).
[CrossRef]

Bao, Z.

J. A. Rogers, Z. Bao, K. Baldwin, A. Dodabalapur, B. Crone, V. R. Raju, V. Kuck, H. Katz, K. Amundson, J. Ewing, and P. Drzaic, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 98, 4835 (2001).
[CrossRef]

Cavallo, F.

F. Cavallo and M. G. Lagally, Soft Matter 6, 439 (2010).
[CrossRef]

Celler, G. K.

G. X. Qin, H. C. Yuan, G. K. Celler, W. D. Zhou, and Z. Q. Ma, J. Phys. D 42, 234006 (2009).
[CrossRef]

Chen, L.

W. D. Zhou, Z. Q. Ma, H. J. Yang, Z. X. Qiang, G. X. Qin, H. Q. Pang, L. Chen, W. Q. Yang, S. Chuwongin, and D. Y. Zhao, J. Phys. D 42, 234007 (2009).
[CrossRef]

Chen, R. T.

Cho, H. A.

Y. Yang, Y. Hwang, H. A. Cho, J. H. Song, S. J. Park, J. A. Rogers, and H. C. Ko, Small 7, 484 (2011).
[CrossRef]

Choi, W. M.

D. H. Kim, J. H. Ahn, W. M. Choi, H. S. Kim, T. H. Kim, J. Z. Song, Y. G. Y. Huang, Z. J. Liu, C. Lu, and J. A. Rogers, Science 320, 507 (2008).
[CrossRef]

Chuwongin, S.

W. D. Zhou, Z. Q. Ma, H. J. Yang, Z. X. Qiang, G. X. Qin, H. Q. Pang, L. Chen, W. Q. Yang, S. Chuwongin, and D. Y. Zhao, J. Phys. D 42, 234007 (2009).
[CrossRef]

Crone, B.

J. A. Rogers, Z. Bao, K. Baldwin, A. Dodabalapur, B. Crone, V. R. Raju, V. Kuck, H. Katz, K. Amundson, J. Ewing, and P. Drzaic, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 98, 4835 (2001).
[CrossRef]

Dodabalapur, A.

J. A. Rogers, Z. Bao, K. Baldwin, A. Dodabalapur, B. Crone, V. R. Raju, V. Kuck, H. Katz, K. Amundson, J. Ewing, and P. Drzaic, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 98, 4835 (2001).
[CrossRef]

Drzaic, P.

J. A. Rogers, Z. Bao, K. Baldwin, A. Dodabalapur, B. Crone, V. R. Raju, V. Kuck, H. Katz, K. Amundson, J. Ewing, and P. Drzaic, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 98, 4835 (2001).
[CrossRef]

Ebil, O.

Ewing, J.

J. A. Rogers, Z. Bao, K. Baldwin, A. Dodabalapur, B. Crone, V. R. Raju, V. Kuck, H. Katz, K. Amundson, J. Ewing, and P. Drzaic, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 98, 4835 (2001).
[CrossRef]

Feng, X.

M. A. Meitl, Z. T. Zhu, V. Kumar, K. J. Lee, X. Feng, Y. Y. Huang, I. Adesida, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Mater. 5, 33 (2005).
[CrossRef]

Ghaffari, A.

Hosseini, A.

Huang, Y. G. Y.

D. H. Kim, J. H. Ahn, W. M. Choi, H. S. Kim, T. H. Kim, J. Z. Song, Y. G. Y. Huang, Z. J. Liu, C. Lu, and J. A. Rogers, Science 320, 507 (2008).
[CrossRef]

Huang, Y. Y.

M. A. Meitl, Z. T. Zhu, V. Kumar, K. J. Lee, X. Feng, Y. Y. Huang, I. Adesida, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Mater. 5, 33 (2005).
[CrossRef]

Hwang, Y.

Y. Yang, Y. Hwang, H. A. Cho, J. H. Song, S. J. Park, J. A. Rogers, and H. C. Ko, Small 7, 484 (2011).
[CrossRef]

Iba, S.

T. Someya, Y. Kato, S. Iba, Y. Noguchi, T. Sekitani, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, IEEE Trans. Electron. Dev. 52, 2502 (2005).
[CrossRef]

Kato, Y.

T. Someya, Y. Kato, S. Iba, Y. Noguchi, T. Sekitani, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, IEEE Trans. Electron. Dev. 52, 2502 (2005).
[CrossRef]

Katz, H.

J. A. Rogers, Z. Bao, K. Baldwin, A. Dodabalapur, B. Crone, V. R. Raju, V. Kuck, H. Katz, K. Amundson, J. Ewing, and P. Drzaic, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 98, 4835 (2001).
[CrossRef]

Kawaguchi, H.

T. Someya, Y. Kato, S. Iba, Y. Noguchi, T. Sekitani, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, IEEE Trans. Electron. Dev. 52, 2502 (2005).
[CrossRef]

Kim, D. H.

D. H. Kim, J. H. Ahn, W. M. Choi, H. S. Kim, T. H. Kim, J. Z. Song, Y. G. Y. Huang, Z. J. Liu, C. Lu, and J. A. Rogers, Science 320, 507 (2008).
[CrossRef]

Kim, H. S.

D. H. Kim, J. H. Ahn, W. M. Choi, H. S. Kim, T. H. Kim, J. Z. Song, Y. G. Y. Huang, Z. J. Liu, C. Lu, and J. A. Rogers, Science 320, 507 (2008).
[CrossRef]

Kim, T. H.

D. H. Kim, J. H. Ahn, W. M. Choi, H. S. Kim, T. H. Kim, J. Z. Song, Y. G. Y. Huang, Z. J. Liu, C. Lu, and J. A. Rogers, Science 320, 507 (2008).
[CrossRef]

Ko, H. C.

Y. Yang, Y. Hwang, H. A. Cho, J. H. Song, S. J. Park, J. A. Rogers, and H. C. Ko, Small 7, 484 (2011).
[CrossRef]

Kuck, V.

J. A. Rogers, Z. Bao, K. Baldwin, A. Dodabalapur, B. Crone, V. R. Raju, V. Kuck, H. Katz, K. Amundson, J. Ewing, and P. Drzaic, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 98, 4835 (2001).
[CrossRef]

Kumar, V.

M. A. Meitl, Z. T. Zhu, V. Kumar, K. J. Lee, X. Feng, Y. Y. Huang, I. Adesida, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Mater. 5, 33 (2005).
[CrossRef]

Kwong, D.

Lagally, M. G.

J. A. Rogers, M. G. Lagally, and R. G. Nuzzo, Nature 477, 45 (2011).
[CrossRef]

F. Cavallo and M. G. Lagally, Soft Matter 6, 439 (2010).
[CrossRef]

Lee, K. J.

M. A. Meitl, Z. T. Zhu, V. Kumar, K. J. Lee, X. Feng, Y. Y. Huang, I. Adesida, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Mater. 5, 33 (2005).
[CrossRef]

Liu, Z. J.

D. H. Kim, J. H. Ahn, W. M. Choi, H. S. Kim, T. H. Kim, J. Z. Song, Y. G. Y. Huang, Z. J. Liu, C. Lu, and J. A. Rogers, Science 320, 507 (2008).
[CrossRef]

Lu, C.

D. H. Kim, J. H. Ahn, W. M. Choi, H. S. Kim, T. H. Kim, J. Z. Song, Y. G. Y. Huang, Z. J. Liu, C. Lu, and J. A. Rogers, Science 320, 507 (2008).
[CrossRef]

Ma, Z. Q.

G. X. Qin, H. C. Yuan, G. K. Celler, W. D. Zhou, and Z. Q. Ma, J. Phys. D 42, 234006 (2009).
[CrossRef]

W. D. Zhou, Z. Q. Ma, H. J. Yang, Z. X. Qiang, G. X. Qin, H. Q. Pang, L. Chen, W. Q. Yang, S. Chuwongin, and D. Y. Zhao, J. Phys. D 42, 234007 (2009).
[CrossRef]

Meitl, M. A.

M. A. Meitl, Z. T. Zhu, V. Kumar, K. J. Lee, X. Feng, Y. Y. Huang, I. Adesida, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Mater. 5, 33 (2005).
[CrossRef]

Noguchi, Y.

T. Someya, Y. Kato, S. Iba, Y. Noguchi, T. Sekitani, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, IEEE Trans. Electron. Dev. 52, 2502 (2005).
[CrossRef]

Nuzzo, R. G.

J. A. Rogers, M. G. Lagally, and R. G. Nuzzo, Nature 477, 45 (2011).
[CrossRef]

M. A. Meitl, Z. T. Zhu, V. Kumar, K. J. Lee, X. Feng, Y. Y. Huang, I. Adesida, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Mater. 5, 33 (2005).
[CrossRef]

Pang, H. Q.

W. D. Zhou, Z. Q. Ma, H. J. Yang, Z. X. Qiang, G. X. Qin, H. Q. Pang, L. Chen, W. Q. Yang, S. Chuwongin, and D. Y. Zhao, J. Phys. D 42, 234007 (2009).
[CrossRef]

Park, S. J.

Y. Yang, Y. Hwang, H. A. Cho, J. H. Song, S. J. Park, J. A. Rogers, and H. C. Ko, Small 7, 484 (2011).
[CrossRef]

Prather, D. W.

Qiang, Z. X.

W. D. Zhou, Z. Q. Ma, H. J. Yang, Z. X. Qiang, G. X. Qin, H. Q. Pang, L. Chen, W. Q. Yang, S. Chuwongin, and D. Y. Zhao, J. Phys. D 42, 234007 (2009).
[CrossRef]

Qin, G. X.

W. D. Zhou, Z. Q. Ma, H. J. Yang, Z. X. Qiang, G. X. Qin, H. Q. Pang, L. Chen, W. Q. Yang, S. Chuwongin, and D. Y. Zhao, J. Phys. D 42, 234007 (2009).
[CrossRef]

G. X. Qin, H. C. Yuan, G. K. Celler, W. D. Zhou, and Z. Q. Ma, J. Phys. D 42, 234006 (2009).
[CrossRef]

Raju, V. R.

J. A. Rogers, Z. Bao, K. Baldwin, A. Dodabalapur, B. Crone, V. R. Raju, V. Kuck, H. Katz, K. Amundson, J. Ewing, and P. Drzaic, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 98, 4835 (2001).
[CrossRef]

Rogers, J. A.

J. A. Rogers, M. G. Lagally, and R. G. Nuzzo, Nature 477, 45 (2011).
[CrossRef]

Y. Yang, Y. Hwang, H. A. Cho, J. H. Song, S. J. Park, J. A. Rogers, and H. C. Ko, Small 7, 484 (2011).
[CrossRef]

D. H. Kim, J. H. Ahn, W. M. Choi, H. S. Kim, T. H. Kim, J. Z. Song, Y. G. Y. Huang, Z. J. Liu, C. Lu, and J. A. Rogers, Science 320, 507 (2008).
[CrossRef]

M. A. Meitl, Z. T. Zhu, V. Kumar, K. J. Lee, X. Feng, Y. Y. Huang, I. Adesida, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Mater. 5, 33 (2005).
[CrossRef]

J. A. Rogers, Z. Bao, K. Baldwin, A. Dodabalapur, B. Crone, V. R. Raju, V. Kuck, H. Katz, K. Amundson, J. Ewing, and P. Drzaic, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 98, 4835 (2001).
[CrossRef]

Sakurai, T.

T. Someya, Y. Kato, S. Iba, Y. Noguchi, T. Sekitani, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, IEEE Trans. Electron. Dev. 52, 2502 (2005).
[CrossRef]

Sekitani, T.

T. Someya, Y. Kato, S. Iba, Y. Noguchi, T. Sekitani, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, IEEE Trans. Electron. Dev. 52, 2502 (2005).
[CrossRef]

Sharkawy, A.

Someya, T.

T. Someya, Y. Kato, S. Iba, Y. Noguchi, T. Sekitani, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, IEEE Trans. Electron. Dev. 52, 2502 (2005).
[CrossRef]

Song, J. H.

Y. Yang, Y. Hwang, H. A. Cho, J. H. Song, S. J. Park, J. A. Rogers, and H. C. Ko, Small 7, 484 (2011).
[CrossRef]

Song, J. Z.

D. H. Kim, J. H. Ahn, W. M. Choi, H. S. Kim, T. H. Kim, J. Z. Song, Y. G. Y. Huang, Z. J. Liu, C. Lu, and J. A. Rogers, Science 320, 507 (2008).
[CrossRef]

Subbaraman, H.

Xu, X. C.

Yang, H. J.

W. D. Zhou, Z. Q. Ma, H. J. Yang, Z. X. Qiang, G. X. Qin, H. Q. Pang, L. Chen, W. Q. Yang, S. Chuwongin, and D. Y. Zhao, J. Phys. D 42, 234007 (2009).
[CrossRef]

Yang, W. Q.

W. D. Zhou, Z. Q. Ma, H. J. Yang, Z. X. Qiang, G. X. Qin, H. Q. Pang, L. Chen, W. Q. Yang, S. Chuwongin, and D. Y. Zhao, J. Phys. D 42, 234007 (2009).
[CrossRef]

Yang, Y.

Y. Yang, Y. Hwang, H. A. Cho, J. H. Song, S. J. Park, J. A. Rogers, and H. C. Ko, Small 7, 484 (2011).
[CrossRef]

Yuan, H. C.

G. X. Qin, H. C. Yuan, G. K. Celler, W. D. Zhou, and Z. Q. Ma, J. Phys. D 42, 234006 (2009).
[CrossRef]

Zablocki, M. J.

Zhao, D. Y.

W. D. Zhou, Z. Q. Ma, H. J. Yang, Z. X. Qiang, G. X. Qin, H. Q. Pang, L. Chen, W. Q. Yang, S. Chuwongin, and D. Y. Zhao, J. Phys. D 42, 234007 (2009).
[CrossRef]

Zhou, W. D.

W. D. Zhou, Z. Q. Ma, H. J. Yang, Z. X. Qiang, G. X. Qin, H. Q. Pang, L. Chen, W. Q. Yang, S. Chuwongin, and D. Y. Zhao, J. Phys. D 42, 234007 (2009).
[CrossRef]

G. X. Qin, H. C. Yuan, G. K. Celler, W. D. Zhou, and Z. Q. Ma, J. Phys. D 42, 234006 (2009).
[CrossRef]

Zhu, Z. T.

M. A. Meitl, Z. T. Zhu, V. Kumar, K. J. Lee, X. Feng, Y. Y. Huang, I. Adesida, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Mater. 5, 33 (2005).
[CrossRef]

IEEE Trans. Electron. Dev. (1)

T. Someya, Y. Kato, S. Iba, Y. Noguchi, T. Sekitani, H. Kawaguchi, and T. Sakurai, IEEE Trans. Electron. Dev. 52, 2502 (2005).
[CrossRef]

J. Phys. D (2)

W. D. Zhou, Z. Q. Ma, H. J. Yang, Z. X. Qiang, G. X. Qin, H. Q. Pang, L. Chen, W. Q. Yang, S. Chuwongin, and D. Y. Zhao, J. Phys. D 42, 234007 (2009).
[CrossRef]

G. X. Qin, H. C. Yuan, G. K. Celler, W. D. Zhou, and Z. Q. Ma, J. Phys. D 42, 234006 (2009).
[CrossRef]

Nat. Mater. (1)

M. A. Meitl, Z. T. Zhu, V. Kumar, K. J. Lee, X. Feng, Y. Y. Huang, I. Adesida, R. G. Nuzzo, and J. A. Rogers, Nat. Mater. 5, 33 (2005).
[CrossRef]

Nature (1)

J. A. Rogers, M. G. Lagally, and R. G. Nuzzo, Nature 477, 45 (2011).
[CrossRef]

Opt. Express (1)

Opt. Lett. (1)

Proc. Natl. Acad. Sci. USA (1)

J. A. Rogers, Z. Bao, K. Baldwin, A. Dodabalapur, B. Crone, V. R. Raju, V. Kuck, H. Katz, K. Amundson, J. Ewing, and P. Drzaic, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 98, 4835 (2001).
[CrossRef]

Science (1)

D. H. Kim, J. H. Ahn, W. M. Choi, H. S. Kim, T. H. Kim, J. Z. Song, Y. G. Y. Huang, Z. J. Liu, C. Lu, and J. A. Rogers, Science 320, 507 (2008).
[CrossRef]

Small (1)

Y. Yang, Y. Hwang, H. A. Cho, J. H. Song, S. J. Park, J. A. Rogers, and H. C. Ko, Small 7, 484 (2011).
[CrossRef]

Soft Matter (1)

F. Cavallo and M. G. Lagally, Soft Matter 6, 439 (2010).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1.
Fig. 1.

Schematic illustration of the stamp printing process exploiting a suspension structure. (a) Patterned SOI chip. (b) Illustration of chip after first undercut etching. (c) Application and patterning of the supporting layer. (d) SiNM suspension on pedestals after complete undercut etching. (e) Peeling up of the released SiNM with PDMS stamp. (f) Printing of SiNM devices onto a polyimide film.

Fig. 2.
Fig. 2.

(a)–(c) SEM image of the cross section of the SiNM. (a) After BOE etching for 5 min. (b) After spin casting the photoresist. (c) After full undercut etching and removing the photoresist with oxygen plasma. (d) Transferred SiNM waveguide showing good flexibility and the PDMS “inked” with SiNM (inset).

Fig. 3.
Fig. 3.

(a) SEM image of the cross section of the waveguide after transfer. (b) Output spot captured by an topside-down IR camera. (c) Insertion loss of 7 mm SiNM-based flexible waveguide (red lower curve) and the SOI-based waveguide (blue upper curve) (d) Structure used to measure the propagation loss of the waveguide.

Fig. 4.
Fig. 4.

(a) Transferred 1×6 MMI couplers. (b) Transferred PCW.

Metrics