Abstract

We report the synthesis, fabrication, and testing of a 320×256 focal plane array (FPA) of back-illuminated, solar-blind, p-i-n, AlxGa1xN–based detectors, fully realized within our research laboratory. We implemented a pulse atomic layer deposition technique for the metalorganic chemical vapor deposition growth of thick, high-quality, crack-free, high Al composition AlxGa1xN layers. The FPA is hybridized to a matching ISC 9809 readout integrated circuit and operated in a SE-IR camera system. Solar-blind operation is observed throughout the array with peak detection occurring at wavelengths of 256 nm and lower, and falling off three orders of magnitude by 285nm. By developing an opaque masking technology, the visible response of the ROIC is significantly reduced; thus the need for external filtering to achieve solar- and visible-blind operation is eliminated. This allows the FPA to achieve high external quantum efficiency (EQE); at 254 nm, average pixels showed unbiased peak responsivity of 75mA/W, which corresponds to an EQE of 37%. Finally, the uniformity of the FPA and imaging properties are investigated.

© 2012 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. A. Lacis and J. Hansen, J. Atmos. Sci. 31, 118 (1974).
    [CrossRef]
  2. W. Harm, Radiat. Res. 40, 63 (1969).
    [CrossRef]
  3. B. Yang, K. Heng, T. Li, C. J. Collins, S. Wang, R. D. Dupuis, J. C. Campbell, M. J. Schurman, and I. T. Ferguson, IEEE J. Quantum Electron. 36, 1229 (2000).
    [CrossRef]
  4. J. D. Brown, J. Boney, J. Matthews, P. Srinivasan, and J. F. Schetzina, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 5, 6 (2000).
  5. P. Lamarre, A. Hairston, S. P. Tobin, K. K. Wong, A. K. Sood, M. B. Reine, M. Pophristic, R. Birkham, I. T. Ferguson, R. Singh, C. R. Eddy, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, P. Kozodoy, and E. J. Tarsa, Phys. Status Solidi. A 188, 289 (2001).
    [CrossRef]
  6. J. P. Long, S. Varadaraajan, J. Matthews, and J. F. Schetzina, Opto-Electron. Rev. 10, 251 (2002).
  7. M. B. Reine, A. Hairston, P. Lamarre, K. K. Wong, S. P. Tobin, A. K. Sood, C. Cooke, M. Pophristic, S. Guo, B. Peres, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, T. Li, and S. P. DenBaars, Proc. SPIE 6119, 01 (2006).
  8. R. McClintock, K. Mayes, A. Yasan, D. Shiell, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 86, 011117 (2005).
    [CrossRef]
  9. Y. Y. Gang, Z. Yan, C. K. Hui, L. X. Yang, Z. D. Gang, and Y. Hui, Sci. China Ser. E-Technol. Sci. 51, 820 (2008).
  10. J. L. Reverchon, S. Bansropus, J. P. Truffer, E. Costard, E. Frayssinet, J. Brault, J. Y. Duboz, A. Giuliani, and M. Idir, Proc. SPIE 7961,109 (2010).
  11. “ISC9809 320×256 low background ROIC,” Indego Systems, Inc. www.indigosystems.com/product/roic|9809.html (2003).
  12. H. Jia, Y. Xu, Y. Kang, and X. Li, Semicond. Sci. Technol. 21, 112 (2006).
    [CrossRef]
  13. C. Bayram, N. Péré-Laperne, R. McClintock, B. Fain, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 94, 121902 (2009).
    [CrossRef]
  14. K. Mayes, A. Yasan, R. McClintock, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 1046(2004).
    [CrossRef]
  15. R. McClintock, A. Yasan, K. Mayes, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Proc. SPIE 5359, 434 (2004).

2010

J. L. Reverchon, S. Bansropus, J. P. Truffer, E. Costard, E. Frayssinet, J. Brault, J. Y. Duboz, A. Giuliani, and M. Idir, Proc. SPIE 7961,109 (2010).

2009

C. Bayram, N. Péré-Laperne, R. McClintock, B. Fain, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 94, 121902 (2009).
[CrossRef]

2008

Y. Y. Gang, Z. Yan, C. K. Hui, L. X. Yang, Z. D. Gang, and Y. Hui, Sci. China Ser. E-Technol. Sci. 51, 820 (2008).

2006

H. Jia, Y. Xu, Y. Kang, and X. Li, Semicond. Sci. Technol. 21, 112 (2006).
[CrossRef]

M. B. Reine, A. Hairston, P. Lamarre, K. K. Wong, S. P. Tobin, A. K. Sood, C. Cooke, M. Pophristic, S. Guo, B. Peres, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, T. Li, and S. P. DenBaars, Proc. SPIE 6119, 01 (2006).

2005

R. McClintock, K. Mayes, A. Yasan, D. Shiell, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 86, 011117 (2005).
[CrossRef]

2004

K. Mayes, A. Yasan, R. McClintock, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 1046(2004).
[CrossRef]

R. McClintock, A. Yasan, K. Mayes, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Proc. SPIE 5359, 434 (2004).

2002

J. P. Long, S. Varadaraajan, J. Matthews, and J. F. Schetzina, Opto-Electron. Rev. 10, 251 (2002).

2001

P. Lamarre, A. Hairston, S. P. Tobin, K. K. Wong, A. K. Sood, M. B. Reine, M. Pophristic, R. Birkham, I. T. Ferguson, R. Singh, C. R. Eddy, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, P. Kozodoy, and E. J. Tarsa, Phys. Status Solidi. A 188, 289 (2001).
[CrossRef]

2000

B. Yang, K. Heng, T. Li, C. J. Collins, S. Wang, R. D. Dupuis, J. C. Campbell, M. J. Schurman, and I. T. Ferguson, IEEE J. Quantum Electron. 36, 1229 (2000).
[CrossRef]

J. D. Brown, J. Boney, J. Matthews, P. Srinivasan, and J. F. Schetzina, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 5, 6 (2000).

1974

A. Lacis and J. Hansen, J. Atmos. Sci. 31, 118 (1974).
[CrossRef]

1969

W. Harm, Radiat. Res. 40, 63 (1969).
[CrossRef]

Bansropus, S.

J. L. Reverchon, S. Bansropus, J. P. Truffer, E. Costard, E. Frayssinet, J. Brault, J. Y. Duboz, A. Giuliani, and M. Idir, Proc. SPIE 7961,109 (2010).

Bayram, C.

C. Bayram, N. Péré-Laperne, R. McClintock, B. Fain, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 94, 121902 (2009).
[CrossRef]

Birkham, R.

P. Lamarre, A. Hairston, S. P. Tobin, K. K. Wong, A. K. Sood, M. B. Reine, M. Pophristic, R. Birkham, I. T. Ferguson, R. Singh, C. R. Eddy, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, P. Kozodoy, and E. J. Tarsa, Phys. Status Solidi. A 188, 289 (2001).
[CrossRef]

Boney, J.

J. D. Brown, J. Boney, J. Matthews, P. Srinivasan, and J. F. Schetzina, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 5, 6 (2000).

Brault, J.

J. L. Reverchon, S. Bansropus, J. P. Truffer, E. Costard, E. Frayssinet, J. Brault, J. Y. Duboz, A. Giuliani, and M. Idir, Proc. SPIE 7961,109 (2010).

Brown, J. D.

J. D. Brown, J. Boney, J. Matthews, P. Srinivasan, and J. F. Schetzina, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 5, 6 (2000).

Campbell, J. C.

B. Yang, K. Heng, T. Li, C. J. Collins, S. Wang, R. D. Dupuis, J. C. Campbell, M. J. Schurman, and I. T. Ferguson, IEEE J. Quantum Electron. 36, 1229 (2000).
[CrossRef]

Chowdhury, U.

M. B. Reine, A. Hairston, P. Lamarre, K. K. Wong, S. P. Tobin, A. K. Sood, C. Cooke, M. Pophristic, S. Guo, B. Peres, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, T. Li, and S. P. DenBaars, Proc. SPIE 6119, 01 (2006).

P. Lamarre, A. Hairston, S. P. Tobin, K. K. Wong, A. K. Sood, M. B. Reine, M. Pophristic, R. Birkham, I. T. Ferguson, R. Singh, C. R. Eddy, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, P. Kozodoy, and E. J. Tarsa, Phys. Status Solidi. A 188, 289 (2001).
[CrossRef]

Collins, C. J.

B. Yang, K. Heng, T. Li, C. J. Collins, S. Wang, R. D. Dupuis, J. C. Campbell, M. J. Schurman, and I. T. Ferguson, IEEE J. Quantum Electron. 36, 1229 (2000).
[CrossRef]

Cooke, C.

M. B. Reine, A. Hairston, P. Lamarre, K. K. Wong, S. P. Tobin, A. K. Sood, C. Cooke, M. Pophristic, S. Guo, B. Peres, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, T. Li, and S. P. DenBaars, Proc. SPIE 6119, 01 (2006).

Costard, E.

J. L. Reverchon, S. Bansropus, J. P. Truffer, E. Costard, E. Frayssinet, J. Brault, J. Y. Duboz, A. Giuliani, and M. Idir, Proc. SPIE 7961,109 (2010).

Darvish, S. R.

K. Mayes, A. Yasan, R. McClintock, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 1046(2004).
[CrossRef]

R. McClintock, A. Yasan, K. Mayes, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Proc. SPIE 5359, 434 (2004).

DenBaars, S. P.

M. B. Reine, A. Hairston, P. Lamarre, K. K. Wong, S. P. Tobin, A. K. Sood, C. Cooke, M. Pophristic, S. Guo, B. Peres, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, T. Li, and S. P. DenBaars, Proc. SPIE 6119, 01 (2006).

Duboz, J. Y.

J. L. Reverchon, S. Bansropus, J. P. Truffer, E. Costard, E. Frayssinet, J. Brault, J. Y. Duboz, A. Giuliani, and M. Idir, Proc. SPIE 7961,109 (2010).

Dupuis, R. D.

M. B. Reine, A. Hairston, P. Lamarre, K. K. Wong, S. P. Tobin, A. K. Sood, C. Cooke, M. Pophristic, S. Guo, B. Peres, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, T. Li, and S. P. DenBaars, Proc. SPIE 6119, 01 (2006).

P. Lamarre, A. Hairston, S. P. Tobin, K. K. Wong, A. K. Sood, M. B. Reine, M. Pophristic, R. Birkham, I. T. Ferguson, R. Singh, C. R. Eddy, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, P. Kozodoy, and E. J. Tarsa, Phys. Status Solidi. A 188, 289 (2001).
[CrossRef]

B. Yang, K. Heng, T. Li, C. J. Collins, S. Wang, R. D. Dupuis, J. C. Campbell, M. J. Schurman, and I. T. Ferguson, IEEE J. Quantum Electron. 36, 1229 (2000).
[CrossRef]

Eddy, C. R.

P. Lamarre, A. Hairston, S. P. Tobin, K. K. Wong, A. K. Sood, M. B. Reine, M. Pophristic, R. Birkham, I. T. Ferguson, R. Singh, C. R. Eddy, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, P. Kozodoy, and E. J. Tarsa, Phys. Status Solidi. A 188, 289 (2001).
[CrossRef]

Fain, B.

C. Bayram, N. Péré-Laperne, R. McClintock, B. Fain, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 94, 121902 (2009).
[CrossRef]

Ferguson, I. T.

P. Lamarre, A. Hairston, S. P. Tobin, K. K. Wong, A. K. Sood, M. B. Reine, M. Pophristic, R. Birkham, I. T. Ferguson, R. Singh, C. R. Eddy, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, P. Kozodoy, and E. J. Tarsa, Phys. Status Solidi. A 188, 289 (2001).
[CrossRef]

B. Yang, K. Heng, T. Li, C. J. Collins, S. Wang, R. D. Dupuis, J. C. Campbell, M. J. Schurman, and I. T. Ferguson, IEEE J. Quantum Electron. 36, 1229 (2000).
[CrossRef]

Frayssinet, E.

J. L. Reverchon, S. Bansropus, J. P. Truffer, E. Costard, E. Frayssinet, J. Brault, J. Y. Duboz, A. Giuliani, and M. Idir, Proc. SPIE 7961,109 (2010).

Gang, Y. Y.

Y. Y. Gang, Z. Yan, C. K. Hui, L. X. Yang, Z. D. Gang, and Y. Hui, Sci. China Ser. E-Technol. Sci. 51, 820 (2008).

Gang, Z. D.

Y. Y. Gang, Z. Yan, C. K. Hui, L. X. Yang, Z. D. Gang, and Y. Hui, Sci. China Ser. E-Technol. Sci. 51, 820 (2008).

Giuliani, A.

J. L. Reverchon, S. Bansropus, J. P. Truffer, E. Costard, E. Frayssinet, J. Brault, J. Y. Duboz, A. Giuliani, and M. Idir, Proc. SPIE 7961,109 (2010).

Guo, S.

M. B. Reine, A. Hairston, P. Lamarre, K. K. Wong, S. P. Tobin, A. K. Sood, C. Cooke, M. Pophristic, S. Guo, B. Peres, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, T. Li, and S. P. DenBaars, Proc. SPIE 6119, 01 (2006).

Hairston, A.

M. B. Reine, A. Hairston, P. Lamarre, K. K. Wong, S. P. Tobin, A. K. Sood, C. Cooke, M. Pophristic, S. Guo, B. Peres, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, T. Li, and S. P. DenBaars, Proc. SPIE 6119, 01 (2006).

P. Lamarre, A. Hairston, S. P. Tobin, K. K. Wong, A. K. Sood, M. B. Reine, M. Pophristic, R. Birkham, I. T. Ferguson, R. Singh, C. R. Eddy, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, P. Kozodoy, and E. J. Tarsa, Phys. Status Solidi. A 188, 289 (2001).
[CrossRef]

Hansen, J.

A. Lacis and J. Hansen, J. Atmos. Sci. 31, 118 (1974).
[CrossRef]

Harm, W.

W. Harm, Radiat. Res. 40, 63 (1969).
[CrossRef]

Heng, K.

B. Yang, K. Heng, T. Li, C. J. Collins, S. Wang, R. D. Dupuis, J. C. Campbell, M. J. Schurman, and I. T. Ferguson, IEEE J. Quantum Electron. 36, 1229 (2000).
[CrossRef]

Hui, C. K.

Y. Y. Gang, Z. Yan, C. K. Hui, L. X. Yang, Z. D. Gang, and Y. Hui, Sci. China Ser. E-Technol. Sci. 51, 820 (2008).

Hui, Y.

Y. Y. Gang, Z. Yan, C. K. Hui, L. X. Yang, Z. D. Gang, and Y. Hui, Sci. China Ser. E-Technol. Sci. 51, 820 (2008).

Idir, M.

J. L. Reverchon, S. Bansropus, J. P. Truffer, E. Costard, E. Frayssinet, J. Brault, J. Y. Duboz, A. Giuliani, and M. Idir, Proc. SPIE 7961,109 (2010).

Jia, H.

H. Jia, Y. Xu, Y. Kang, and X. Li, Semicond. Sci. Technol. 21, 112 (2006).
[CrossRef]

Kang, Y.

H. Jia, Y. Xu, Y. Kang, and X. Li, Semicond. Sci. Technol. 21, 112 (2006).
[CrossRef]

Kozodoy, P.

P. Lamarre, A. Hairston, S. P. Tobin, K. K. Wong, A. K. Sood, M. B. Reine, M. Pophristic, R. Birkham, I. T. Ferguson, R. Singh, C. R. Eddy, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, P. Kozodoy, and E. J. Tarsa, Phys. Status Solidi. A 188, 289 (2001).
[CrossRef]

Kung, P.

R. McClintock, K. Mayes, A. Yasan, D. Shiell, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 86, 011117 (2005).
[CrossRef]

K. Mayes, A. Yasan, R. McClintock, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 1046(2004).
[CrossRef]

R. McClintock, A. Yasan, K. Mayes, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Proc. SPIE 5359, 434 (2004).

Lacis, A.

A. Lacis and J. Hansen, J. Atmos. Sci. 31, 118 (1974).
[CrossRef]

Lamarre, P.

M. B. Reine, A. Hairston, P. Lamarre, K. K. Wong, S. P. Tobin, A. K. Sood, C. Cooke, M. Pophristic, S. Guo, B. Peres, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, T. Li, and S. P. DenBaars, Proc. SPIE 6119, 01 (2006).

P. Lamarre, A. Hairston, S. P. Tobin, K. K. Wong, A. K. Sood, M. B. Reine, M. Pophristic, R. Birkham, I. T. Ferguson, R. Singh, C. R. Eddy, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, P. Kozodoy, and E. J. Tarsa, Phys. Status Solidi. A 188, 289 (2001).
[CrossRef]

Li, T.

M. B. Reine, A. Hairston, P. Lamarre, K. K. Wong, S. P. Tobin, A. K. Sood, C. Cooke, M. Pophristic, S. Guo, B. Peres, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, T. Li, and S. P. DenBaars, Proc. SPIE 6119, 01 (2006).

B. Yang, K. Heng, T. Li, C. J. Collins, S. Wang, R. D. Dupuis, J. C. Campbell, M. J. Schurman, and I. T. Ferguson, IEEE J. Quantum Electron. 36, 1229 (2000).
[CrossRef]

Li, X.

H. Jia, Y. Xu, Y. Kang, and X. Li, Semicond. Sci. Technol. 21, 112 (2006).
[CrossRef]

Long, J. P.

J. P. Long, S. Varadaraajan, J. Matthews, and J. F. Schetzina, Opto-Electron. Rev. 10, 251 (2002).

Matthews, J.

J. P. Long, S. Varadaraajan, J. Matthews, and J. F. Schetzina, Opto-Electron. Rev. 10, 251 (2002).

J. D. Brown, J. Boney, J. Matthews, P. Srinivasan, and J. F. Schetzina, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 5, 6 (2000).

Mayes, K.

R. McClintock, K. Mayes, A. Yasan, D. Shiell, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 86, 011117 (2005).
[CrossRef]

K. Mayes, A. Yasan, R. McClintock, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 1046(2004).
[CrossRef]

R. McClintock, A. Yasan, K. Mayes, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Proc. SPIE 5359, 434 (2004).

McClintock, R.

C. Bayram, N. Péré-Laperne, R. McClintock, B. Fain, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 94, 121902 (2009).
[CrossRef]

R. McClintock, K. Mayes, A. Yasan, D. Shiell, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 86, 011117 (2005).
[CrossRef]

K. Mayes, A. Yasan, R. McClintock, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 1046(2004).
[CrossRef]

R. McClintock, A. Yasan, K. Mayes, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Proc. SPIE 5359, 434 (2004).

Péré-Laperne, N.

C. Bayram, N. Péré-Laperne, R. McClintock, B. Fain, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 94, 121902 (2009).
[CrossRef]

Peres, B.

M. B. Reine, A. Hairston, P. Lamarre, K. K. Wong, S. P. Tobin, A. K. Sood, C. Cooke, M. Pophristic, S. Guo, B. Peres, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, T. Li, and S. P. DenBaars, Proc. SPIE 6119, 01 (2006).

Pophristic, M.

M. B. Reine, A. Hairston, P. Lamarre, K. K. Wong, S. P. Tobin, A. K. Sood, C. Cooke, M. Pophristic, S. Guo, B. Peres, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, T. Li, and S. P. DenBaars, Proc. SPIE 6119, 01 (2006).

P. Lamarre, A. Hairston, S. P. Tobin, K. K. Wong, A. K. Sood, M. B. Reine, M. Pophristic, R. Birkham, I. T. Ferguson, R. Singh, C. R. Eddy, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, P. Kozodoy, and E. J. Tarsa, Phys. Status Solidi. A 188, 289 (2001).
[CrossRef]

Razeghi, M.

C. Bayram, N. Péré-Laperne, R. McClintock, B. Fain, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 94, 121902 (2009).
[CrossRef]

R. McClintock, K. Mayes, A. Yasan, D. Shiell, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 86, 011117 (2005).
[CrossRef]

K. Mayes, A. Yasan, R. McClintock, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 1046(2004).
[CrossRef]

R. McClintock, A. Yasan, K. Mayes, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Proc. SPIE 5359, 434 (2004).

Reine, M. B.

M. B. Reine, A. Hairston, P. Lamarre, K. K. Wong, S. P. Tobin, A. K. Sood, C. Cooke, M. Pophristic, S. Guo, B. Peres, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, T. Li, and S. P. DenBaars, Proc. SPIE 6119, 01 (2006).

P. Lamarre, A. Hairston, S. P. Tobin, K. K. Wong, A. K. Sood, M. B. Reine, M. Pophristic, R. Birkham, I. T. Ferguson, R. Singh, C. R. Eddy, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, P. Kozodoy, and E. J. Tarsa, Phys. Status Solidi. A 188, 289 (2001).
[CrossRef]

Reverchon, J. L.

J. L. Reverchon, S. Bansropus, J. P. Truffer, E. Costard, E. Frayssinet, J. Brault, J. Y. Duboz, A. Giuliani, and M. Idir, Proc. SPIE 7961,109 (2010).

Schetzina, J. F.

J. P. Long, S. Varadaraajan, J. Matthews, and J. F. Schetzina, Opto-Electron. Rev. 10, 251 (2002).

J. D. Brown, J. Boney, J. Matthews, P. Srinivasan, and J. F. Schetzina, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 5, 6 (2000).

Schurman, M. J.

B. Yang, K. Heng, T. Li, C. J. Collins, S. Wang, R. D. Dupuis, J. C. Campbell, M. J. Schurman, and I. T. Ferguson, IEEE J. Quantum Electron. 36, 1229 (2000).
[CrossRef]

Shiell, D.

R. McClintock, K. Mayes, A. Yasan, D. Shiell, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 86, 011117 (2005).
[CrossRef]

K. Mayes, A. Yasan, R. McClintock, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 1046(2004).
[CrossRef]

R. McClintock, A. Yasan, K. Mayes, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Proc. SPIE 5359, 434 (2004).

Singh, R.

P. Lamarre, A. Hairston, S. P. Tobin, K. K. Wong, A. K. Sood, M. B. Reine, M. Pophristic, R. Birkham, I. T. Ferguson, R. Singh, C. R. Eddy, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, P. Kozodoy, and E. J. Tarsa, Phys. Status Solidi. A 188, 289 (2001).
[CrossRef]

Sood, A. K.

M. B. Reine, A. Hairston, P. Lamarre, K. K. Wong, S. P. Tobin, A. K. Sood, C. Cooke, M. Pophristic, S. Guo, B. Peres, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, T. Li, and S. P. DenBaars, Proc. SPIE 6119, 01 (2006).

P. Lamarre, A. Hairston, S. P. Tobin, K. K. Wong, A. K. Sood, M. B. Reine, M. Pophristic, R. Birkham, I. T. Ferguson, R. Singh, C. R. Eddy, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, P. Kozodoy, and E. J. Tarsa, Phys. Status Solidi. A 188, 289 (2001).
[CrossRef]

Srinivasan, P.

J. D. Brown, J. Boney, J. Matthews, P. Srinivasan, and J. F. Schetzina, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 5, 6 (2000).

Tarsa, E. J.

P. Lamarre, A. Hairston, S. P. Tobin, K. K. Wong, A. K. Sood, M. B. Reine, M. Pophristic, R. Birkham, I. T. Ferguson, R. Singh, C. R. Eddy, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, P. Kozodoy, and E. J. Tarsa, Phys. Status Solidi. A 188, 289 (2001).
[CrossRef]

Tobin, S. P.

M. B. Reine, A. Hairston, P. Lamarre, K. K. Wong, S. P. Tobin, A. K. Sood, C. Cooke, M. Pophristic, S. Guo, B. Peres, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, T. Li, and S. P. DenBaars, Proc. SPIE 6119, 01 (2006).

P. Lamarre, A. Hairston, S. P. Tobin, K. K. Wong, A. K. Sood, M. B. Reine, M. Pophristic, R. Birkham, I. T. Ferguson, R. Singh, C. R. Eddy, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, P. Kozodoy, and E. J. Tarsa, Phys. Status Solidi. A 188, 289 (2001).
[CrossRef]

Truffer, J. P.

J. L. Reverchon, S. Bansropus, J. P. Truffer, E. Costard, E. Frayssinet, J. Brault, J. Y. Duboz, A. Giuliani, and M. Idir, Proc. SPIE 7961,109 (2010).

Varadaraajan, S.

J. P. Long, S. Varadaraajan, J. Matthews, and J. F. Schetzina, Opto-Electron. Rev. 10, 251 (2002).

Wang, S.

B. Yang, K. Heng, T. Li, C. J. Collins, S. Wang, R. D. Dupuis, J. C. Campbell, M. J. Schurman, and I. T. Ferguson, IEEE J. Quantum Electron. 36, 1229 (2000).
[CrossRef]

Wong, K. K.

M. B. Reine, A. Hairston, P. Lamarre, K. K. Wong, S. P. Tobin, A. K. Sood, C. Cooke, M. Pophristic, S. Guo, B. Peres, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, T. Li, and S. P. DenBaars, Proc. SPIE 6119, 01 (2006).

P. Lamarre, A. Hairston, S. P. Tobin, K. K. Wong, A. K. Sood, M. B. Reine, M. Pophristic, R. Birkham, I. T. Ferguson, R. Singh, C. R. Eddy, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, P. Kozodoy, and E. J. Tarsa, Phys. Status Solidi. A 188, 289 (2001).
[CrossRef]

Wong, M. M.

M. B. Reine, A. Hairston, P. Lamarre, K. K. Wong, S. P. Tobin, A. K. Sood, C. Cooke, M. Pophristic, S. Guo, B. Peres, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, T. Li, and S. P. DenBaars, Proc. SPIE 6119, 01 (2006).

P. Lamarre, A. Hairston, S. P. Tobin, K. K. Wong, A. K. Sood, M. B. Reine, M. Pophristic, R. Birkham, I. T. Ferguson, R. Singh, C. R. Eddy, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, P. Kozodoy, and E. J. Tarsa, Phys. Status Solidi. A 188, 289 (2001).
[CrossRef]

Xu, Y.

H. Jia, Y. Xu, Y. Kang, and X. Li, Semicond. Sci. Technol. 21, 112 (2006).
[CrossRef]

Yan, Z.

Y. Y. Gang, Z. Yan, C. K. Hui, L. X. Yang, Z. D. Gang, and Y. Hui, Sci. China Ser. E-Technol. Sci. 51, 820 (2008).

Yang, B.

B. Yang, K. Heng, T. Li, C. J. Collins, S. Wang, R. D. Dupuis, J. C. Campbell, M. J. Schurman, and I. T. Ferguson, IEEE J. Quantum Electron. 36, 1229 (2000).
[CrossRef]

Yang, L. X.

Y. Y. Gang, Z. Yan, C. K. Hui, L. X. Yang, Z. D. Gang, and Y. Hui, Sci. China Ser. E-Technol. Sci. 51, 820 (2008).

Yasan, A.

R. McClintock, K. Mayes, A. Yasan, D. Shiell, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 86, 011117 (2005).
[CrossRef]

K. Mayes, A. Yasan, R. McClintock, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 1046(2004).
[CrossRef]

R. McClintock, A. Yasan, K. Mayes, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Proc. SPIE 5359, 434 (2004).

Appl. Phys. Lett.

R. McClintock, K. Mayes, A. Yasan, D. Shiell, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 86, 011117 (2005).
[CrossRef]

C. Bayram, N. Péré-Laperne, R. McClintock, B. Fain, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 94, 121902 (2009).
[CrossRef]

K. Mayes, A. Yasan, R. McClintock, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 1046(2004).
[CrossRef]

IEEE J. Quantum Electron.

B. Yang, K. Heng, T. Li, C. J. Collins, S. Wang, R. D. Dupuis, J. C. Campbell, M. J. Schurman, and I. T. Ferguson, IEEE J. Quantum Electron. 36, 1229 (2000).
[CrossRef]

J. Atmos. Sci.

A. Lacis and J. Hansen, J. Atmos. Sci. 31, 118 (1974).
[CrossRef]

MRS Internet J. Nitride Semicond. Res.

J. D. Brown, J. Boney, J. Matthews, P. Srinivasan, and J. F. Schetzina, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 5, 6 (2000).

Opto-Electron. Rev.

J. P. Long, S. Varadaraajan, J. Matthews, and J. F. Schetzina, Opto-Electron. Rev. 10, 251 (2002).

Phys. Status Solidi. A

P. Lamarre, A. Hairston, S. P. Tobin, K. K. Wong, A. K. Sood, M. B. Reine, M. Pophristic, R. Birkham, I. T. Ferguson, R. Singh, C. R. Eddy, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, P. Kozodoy, and E. J. Tarsa, Phys. Status Solidi. A 188, 289 (2001).
[CrossRef]

Proc. SPIE

M. B. Reine, A. Hairston, P. Lamarre, K. K. Wong, S. P. Tobin, A. K. Sood, C. Cooke, M. Pophristic, S. Guo, B. Peres, U. Chowdhury, M. M. Wong, R. D. Dupuis, T. Li, and S. P. DenBaars, Proc. SPIE 6119, 01 (2006).

R. McClintock, A. Yasan, K. Mayes, D. Shiell, S. R. Darvish, P. Kung, and M. Razeghi, Proc. SPIE 5359, 434 (2004).

J. L. Reverchon, S. Bansropus, J. P. Truffer, E. Costard, E. Frayssinet, J. Brault, J. Y. Duboz, A. Giuliani, and M. Idir, Proc. SPIE 7961,109 (2010).

Radiat. Res.

W. Harm, Radiat. Res. 40, 63 (1969).
[CrossRef]

Sci. China Ser. E-Technol. Sci.

Y. Y. Gang, Z. Yan, C. K. Hui, L. X. Yang, Z. D. Gang, and Y. Hui, Sci. China Ser. E-Technol. Sci. 51, 820 (2008).

Semicond. Sci. Technol.

H. Jia, Y. Xu, Y. Kang, and X. Li, Semicond. Sci. Technol. 21, 112 (2006).
[CrossRef]

Other

“ISC9809 320×256 low background ROIC,” Indego Systems, Inc. www.indigosystems.com/product/roic|9809.html (2003).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (5)

Fig. 1.
Fig. 1.

I-V curve of the photodetector showing dark current in semilog scale. The inset; shows the cross-sectional diagram of the device structure, turn-on voltage (Von), series resistance (Rs), and ideality factor (η).

Fig. 2.
Fig. 2.

Responsivity versus wavelength for two pixels: black dashed line (D1: average pixel) shows a peak responsivity of 75mA/W (EQE of 37%) at a wavelength of 254 nm under zero bias. Colored lines (D2) show bias dependent responsivity of a higher performance device. The inset shows the EQE plot of the same data.

Fig. 3.
Fig. 3.

Spatial map (320×256) of the peak-detection wavelength.

Fig. 4.
Fig. 4.

Spatial map (320×256) of the external quantum efficiency. (b) Histogram of the same data showing the EQE distribution.

Fig. 5.
Fig. 5.

Image of U.S. dime illuminated by 254 nm UV light from a germicidal lamp.

Metrics