Abstract

Large-aperture focusing of Al Kα 1.49 keV x-ray photons using micropore optics made from a dry-etched 4 in. (100 mm) silicon wafer is demonstrated. Sidewalls of the micropores are smoothed with high-temperature annealing to work as x-ray mirrors. The wafer is bent to a spherical shape to collect parallel x rays into a focus. Our result supports that this new type of optics allows for the manufacturing of ultralight-weight and high-performance x-ray imaging optics with large apertures at low cost.

© 2012 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. M. Bavdaz, M. Collon, M. Beijersbergen, K. Wallace, and E. Wille, X-Ray Opt. Instrum. 2010, 1 (2010).
    [CrossRef]
  2. P. J. Potts and M. West, Portable X-ray Fluorescence Spectrometry: Capabilities for In Situ Analysis (The Royal Society of Chemistry, 2008).
  3. S. W. Wilkins, A. W. Stevenson, K. A. Nugent, H. Chapman, and S. Steenstrup, Rev. Sci. Instrum. 60, 1026 (1989).
    [CrossRef]
  4. G. J. Price, A. N. Brunton, M. W. Beijersbergen, G. W. Fraser, M. Bavdaz, J.-P. Boutot, R. Fairbend, S.-O. Flyckt, A. Peacock, and E. Tomaselli, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 490, 276 (2002).
    [CrossRef]
  5. Y. Ezoe, M. Koshiishi, M. Mita, K. Mitsuda, A. Hoshino, Y. Ishisaki, Z. Yang, T. Takano, and R. Maeda, Appl. Opt. 45, 8932 (2006).
    [CrossRef]
  6. Y. Ezoe, I. Mitsuishi, U. Takagi, M. Koshiishi, K. Mitsuda, N. Y. Yamasaki, T. Ohashi, F. Kato, S. Sugiyama, R. E. Riveros, H. Yamaguchi, S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Morishita, K. Nakajima, and R. Maeda, Microsyst. Technol. 16, 1633 (2010).
    [CrossRef]
  7. H. G. Yamaguchi, R. E. Riveros, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, N. Yamasaki, K. Mitsud, and F. Hashimoto, CIRP Ann 59, 351 (2010).
    [CrossRef]
  8. R. E. Riveros, H. Yamaguchi, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, F. Kato, S. Sugiyama, N. Yamasaki, and K. Mitsuda, Appl. Opt. 49, 3511 (2010).
    [CrossRef]
  9. I. Mitsuishi, Y. Ezoe, U. Takagi, K. Ishizu, T. Moriyama, T. Hayashi, T. Sato, K. Morishita, K. Nakajima, N. Y. Yamasaki, and K. Mitsuda, IEEE J. Quantum Electron., 46, 1309 (2010).
    [CrossRef]
  10. I. Mitsuishi, Y. Ezoe, K. Ishizu, T. Moriyama, M. Mita, N. Y. Yamasaki, K. Mitsuda, M. Horade, S. Sugiyama, R. Riveros, H. Yamaguchi, Y. Kanamori, K. Morishita, and K. Nakajima, in Proceedings of Transducers ’11 (2011), Vol. 1, 566–569.
  11. J. R. P. Angel, Astrophys. J. 233, 364 (1979).
    [CrossRef]
  12. D. Spiga and G. Pareschi, Proc. SPIE 7437, 74371M (2009).
    [CrossRef]

2010 (5)

Y. Ezoe, I. Mitsuishi, U. Takagi, M. Koshiishi, K. Mitsuda, N. Y. Yamasaki, T. Ohashi, F. Kato, S. Sugiyama, R. E. Riveros, H. Yamaguchi, S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Morishita, K. Nakajima, and R. Maeda, Microsyst. Technol. 16, 1633 (2010).
[CrossRef]

H. G. Yamaguchi, R. E. Riveros, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, N. Yamasaki, K. Mitsud, and F. Hashimoto, CIRP Ann 59, 351 (2010).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, U. Takagi, K. Ishizu, T. Moriyama, T. Hayashi, T. Sato, K. Morishita, K. Nakajima, N. Y. Yamasaki, and K. Mitsuda, IEEE J. Quantum Electron., 46, 1309 (2010).
[CrossRef]

M. Bavdaz, M. Collon, M. Beijersbergen, K. Wallace, and E. Wille, X-Ray Opt. Instrum. 2010, 1 (2010).
[CrossRef]

R. E. Riveros, H. Yamaguchi, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, F. Kato, S. Sugiyama, N. Yamasaki, and K. Mitsuda, Appl. Opt. 49, 3511 (2010).
[CrossRef]

2009 (1)

D. Spiga and G. Pareschi, Proc. SPIE 7437, 74371M (2009).
[CrossRef]

2006 (1)

2002 (1)

G. J. Price, A. N. Brunton, M. W. Beijersbergen, G. W. Fraser, M. Bavdaz, J.-P. Boutot, R. Fairbend, S.-O. Flyckt, A. Peacock, and E. Tomaselli, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 490, 276 (2002).
[CrossRef]

1989 (1)

S. W. Wilkins, A. W. Stevenson, K. A. Nugent, H. Chapman, and S. Steenstrup, Rev. Sci. Instrum. 60, 1026 (1989).
[CrossRef]

1979 (1)

J. R. P. Angel, Astrophys. J. 233, 364 (1979).
[CrossRef]

Angel, J. R. P.

J. R. P. Angel, Astrophys. J. 233, 364 (1979).
[CrossRef]

Bavdaz, M.

M. Bavdaz, M. Collon, M. Beijersbergen, K. Wallace, and E. Wille, X-Ray Opt. Instrum. 2010, 1 (2010).
[CrossRef]

G. J. Price, A. N. Brunton, M. W. Beijersbergen, G. W. Fraser, M. Bavdaz, J.-P. Boutot, R. Fairbend, S.-O. Flyckt, A. Peacock, and E. Tomaselli, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 490, 276 (2002).
[CrossRef]

Beijersbergen, M.

M. Bavdaz, M. Collon, M. Beijersbergen, K. Wallace, and E. Wille, X-Ray Opt. Instrum. 2010, 1 (2010).
[CrossRef]

Beijersbergen, M. W.

G. J. Price, A. N. Brunton, M. W. Beijersbergen, G. W. Fraser, M. Bavdaz, J.-P. Boutot, R. Fairbend, S.-O. Flyckt, A. Peacock, and E. Tomaselli, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 490, 276 (2002).
[CrossRef]

Boutot, J.-P.

G. J. Price, A. N. Brunton, M. W. Beijersbergen, G. W. Fraser, M. Bavdaz, J.-P. Boutot, R. Fairbend, S.-O. Flyckt, A. Peacock, and E. Tomaselli, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 490, 276 (2002).
[CrossRef]

Brunton, A. N.

G. J. Price, A. N. Brunton, M. W. Beijersbergen, G. W. Fraser, M. Bavdaz, J.-P. Boutot, R. Fairbend, S.-O. Flyckt, A. Peacock, and E. Tomaselli, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 490, 276 (2002).
[CrossRef]

Chapman, H.

S. W. Wilkins, A. W. Stevenson, K. A. Nugent, H. Chapman, and S. Steenstrup, Rev. Sci. Instrum. 60, 1026 (1989).
[CrossRef]

Collon, M.

M. Bavdaz, M. Collon, M. Beijersbergen, K. Wallace, and E. Wille, X-Ray Opt. Instrum. 2010, 1 (2010).
[CrossRef]

Ezoe, Y.

R. E. Riveros, H. Yamaguchi, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, F. Kato, S. Sugiyama, N. Yamasaki, and K. Mitsuda, Appl. Opt. 49, 3511 (2010).
[CrossRef]

Y. Ezoe, I. Mitsuishi, U. Takagi, M. Koshiishi, K. Mitsuda, N. Y. Yamasaki, T. Ohashi, F. Kato, S. Sugiyama, R. E. Riveros, H. Yamaguchi, S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Morishita, K. Nakajima, and R. Maeda, Microsyst. Technol. 16, 1633 (2010).
[CrossRef]

H. G. Yamaguchi, R. E. Riveros, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, N. Yamasaki, K. Mitsud, and F. Hashimoto, CIRP Ann 59, 351 (2010).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, U. Takagi, K. Ishizu, T. Moriyama, T. Hayashi, T. Sato, K. Morishita, K. Nakajima, N. Y. Yamasaki, and K. Mitsuda, IEEE J. Quantum Electron., 46, 1309 (2010).
[CrossRef]

Y. Ezoe, M. Koshiishi, M. Mita, K. Mitsuda, A. Hoshino, Y. Ishisaki, Z. Yang, T. Takano, and R. Maeda, Appl. Opt. 45, 8932 (2006).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, K. Ishizu, T. Moriyama, M. Mita, N. Y. Yamasaki, K. Mitsuda, M. Horade, S. Sugiyama, R. Riveros, H. Yamaguchi, Y. Kanamori, K. Morishita, and K. Nakajima, in Proceedings of Transducers ’11 (2011), Vol. 1, 566–569.

Fairbend, R.

G. J. Price, A. N. Brunton, M. W. Beijersbergen, G. W. Fraser, M. Bavdaz, J.-P. Boutot, R. Fairbend, S.-O. Flyckt, A. Peacock, and E. Tomaselli, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 490, 276 (2002).
[CrossRef]

Flyckt, S.-O.

G. J. Price, A. N. Brunton, M. W. Beijersbergen, G. W. Fraser, M. Bavdaz, J.-P. Boutot, R. Fairbend, S.-O. Flyckt, A. Peacock, and E. Tomaselli, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 490, 276 (2002).
[CrossRef]

Fraser, G. W.

G. J. Price, A. N. Brunton, M. W. Beijersbergen, G. W. Fraser, M. Bavdaz, J.-P. Boutot, R. Fairbend, S.-O. Flyckt, A. Peacock, and E. Tomaselli, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 490, 276 (2002).
[CrossRef]

Fujihira, S.

Y. Ezoe, I. Mitsuishi, U. Takagi, M. Koshiishi, K. Mitsuda, N. Y. Yamasaki, T. Ohashi, F. Kato, S. Sugiyama, R. E. Riveros, H. Yamaguchi, S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Morishita, K. Nakajima, and R. Maeda, Microsyst. Technol. 16, 1633 (2010).
[CrossRef]

Hashimoto, F.

H. G. Yamaguchi, R. E. Riveros, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, N. Yamasaki, K. Mitsud, and F. Hashimoto, CIRP Ann 59, 351 (2010).
[CrossRef]

Hayashi, T.

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, U. Takagi, K. Ishizu, T. Moriyama, T. Hayashi, T. Sato, K. Morishita, K. Nakajima, N. Y. Yamasaki, and K. Mitsuda, IEEE J. Quantum Electron., 46, 1309 (2010).
[CrossRef]

Horade, M.

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, K. Ishizu, T. Moriyama, M. Mita, N. Y. Yamasaki, K. Mitsuda, M. Horade, S. Sugiyama, R. Riveros, H. Yamaguchi, Y. Kanamori, K. Morishita, and K. Nakajima, in Proceedings of Transducers ’11 (2011), Vol. 1, 566–569.

Hoshino, A.

Ishisaki, Y.

Ishizu, K.

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, U. Takagi, K. Ishizu, T. Moriyama, T. Hayashi, T. Sato, K. Morishita, K. Nakajima, N. Y. Yamasaki, and K. Mitsuda, IEEE J. Quantum Electron., 46, 1309 (2010).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, K. Ishizu, T. Moriyama, M. Mita, N. Y. Yamasaki, K. Mitsuda, M. Horade, S. Sugiyama, R. Riveros, H. Yamaguchi, Y. Kanamori, K. Morishita, and K. Nakajima, in Proceedings of Transducers ’11 (2011), Vol. 1, 566–569.

Kanamori, Y.

Y. Ezoe, I. Mitsuishi, U. Takagi, M. Koshiishi, K. Mitsuda, N. Y. Yamasaki, T. Ohashi, F. Kato, S. Sugiyama, R. E. Riveros, H. Yamaguchi, S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Morishita, K. Nakajima, and R. Maeda, Microsyst. Technol. 16, 1633 (2010).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, K. Ishizu, T. Moriyama, M. Mita, N. Y. Yamasaki, K. Mitsuda, M. Horade, S. Sugiyama, R. Riveros, H. Yamaguchi, Y. Kanamori, K. Morishita, and K. Nakajima, in Proceedings of Transducers ’11 (2011), Vol. 1, 566–569.

Kato, F.

Y. Ezoe, I. Mitsuishi, U. Takagi, M. Koshiishi, K. Mitsuda, N. Y. Yamasaki, T. Ohashi, F. Kato, S. Sugiyama, R. E. Riveros, H. Yamaguchi, S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Morishita, K. Nakajima, and R. Maeda, Microsyst. Technol. 16, 1633 (2010).
[CrossRef]

R. E. Riveros, H. Yamaguchi, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, F. Kato, S. Sugiyama, N. Yamasaki, and K. Mitsuda, Appl. Opt. 49, 3511 (2010).
[CrossRef]

Koshiishi, M.

Y. Ezoe, I. Mitsuishi, U. Takagi, M. Koshiishi, K. Mitsuda, N. Y. Yamasaki, T. Ohashi, F. Kato, S. Sugiyama, R. E. Riveros, H. Yamaguchi, S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Morishita, K. Nakajima, and R. Maeda, Microsyst. Technol. 16, 1633 (2010).
[CrossRef]

Y. Ezoe, M. Koshiishi, M. Mita, K. Mitsuda, A. Hoshino, Y. Ishisaki, Z. Yang, T. Takano, and R. Maeda, Appl. Opt. 45, 8932 (2006).
[CrossRef]

Maeda, R.

Y. Ezoe, I. Mitsuishi, U. Takagi, M. Koshiishi, K. Mitsuda, N. Y. Yamasaki, T. Ohashi, F. Kato, S. Sugiyama, R. E. Riveros, H. Yamaguchi, S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Morishita, K. Nakajima, and R. Maeda, Microsyst. Technol. 16, 1633 (2010).
[CrossRef]

Y. Ezoe, M. Koshiishi, M. Mita, K. Mitsuda, A. Hoshino, Y. Ishisaki, Z. Yang, T. Takano, and R. Maeda, Appl. Opt. 45, 8932 (2006).
[CrossRef]

Mita, M.

Y. Ezoe, M. Koshiishi, M. Mita, K. Mitsuda, A. Hoshino, Y. Ishisaki, Z. Yang, T. Takano, and R. Maeda, Appl. Opt. 45, 8932 (2006).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, K. Ishizu, T. Moriyama, M. Mita, N. Y. Yamasaki, K. Mitsuda, M. Horade, S. Sugiyama, R. Riveros, H. Yamaguchi, Y. Kanamori, K. Morishita, and K. Nakajima, in Proceedings of Transducers ’11 (2011), Vol. 1, 566–569.

Mitsud, K.

H. G. Yamaguchi, R. E. Riveros, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, N. Yamasaki, K. Mitsud, and F. Hashimoto, CIRP Ann 59, 351 (2010).
[CrossRef]

Mitsuda, K.

Y. Ezoe, I. Mitsuishi, U. Takagi, M. Koshiishi, K. Mitsuda, N. Y. Yamasaki, T. Ohashi, F. Kato, S. Sugiyama, R. E. Riveros, H. Yamaguchi, S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Morishita, K. Nakajima, and R. Maeda, Microsyst. Technol. 16, 1633 (2010).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, U. Takagi, K. Ishizu, T. Moriyama, T. Hayashi, T. Sato, K. Morishita, K. Nakajima, N. Y. Yamasaki, and K. Mitsuda, IEEE J. Quantum Electron., 46, 1309 (2010).
[CrossRef]

R. E. Riveros, H. Yamaguchi, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, F. Kato, S. Sugiyama, N. Yamasaki, and K. Mitsuda, Appl. Opt. 49, 3511 (2010).
[CrossRef]

Y. Ezoe, M. Koshiishi, M. Mita, K. Mitsuda, A. Hoshino, Y. Ishisaki, Z. Yang, T. Takano, and R. Maeda, Appl. Opt. 45, 8932 (2006).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, K. Ishizu, T. Moriyama, M. Mita, N. Y. Yamasaki, K. Mitsuda, M. Horade, S. Sugiyama, R. Riveros, H. Yamaguchi, Y. Kanamori, K. Morishita, and K. Nakajima, in Proceedings of Transducers ’11 (2011), Vol. 1, 566–569.

Mitsuishi, I.

Y. Ezoe, I. Mitsuishi, U. Takagi, M. Koshiishi, K. Mitsuda, N. Y. Yamasaki, T. Ohashi, F. Kato, S. Sugiyama, R. E. Riveros, H. Yamaguchi, S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Morishita, K. Nakajima, and R. Maeda, Microsyst. Technol. 16, 1633 (2010).
[CrossRef]

H. G. Yamaguchi, R. E. Riveros, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, N. Yamasaki, K. Mitsud, and F. Hashimoto, CIRP Ann 59, 351 (2010).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, U. Takagi, K. Ishizu, T. Moriyama, T. Hayashi, T. Sato, K. Morishita, K. Nakajima, N. Y. Yamasaki, and K. Mitsuda, IEEE J. Quantum Electron., 46, 1309 (2010).
[CrossRef]

R. E. Riveros, H. Yamaguchi, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, F. Kato, S. Sugiyama, N. Yamasaki, and K. Mitsuda, Appl. Opt. 49, 3511 (2010).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, K. Ishizu, T. Moriyama, M. Mita, N. Y. Yamasaki, K. Mitsuda, M. Horade, S. Sugiyama, R. Riveros, H. Yamaguchi, Y. Kanamori, K. Morishita, and K. Nakajima, in Proceedings of Transducers ’11 (2011), Vol. 1, 566–569.

Morishita, K.

Y. Ezoe, I. Mitsuishi, U. Takagi, M. Koshiishi, K. Mitsuda, N. Y. Yamasaki, T. Ohashi, F. Kato, S. Sugiyama, R. E. Riveros, H. Yamaguchi, S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Morishita, K. Nakajima, and R. Maeda, Microsyst. Technol. 16, 1633 (2010).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, U. Takagi, K. Ishizu, T. Moriyama, T. Hayashi, T. Sato, K. Morishita, K. Nakajima, N. Y. Yamasaki, and K. Mitsuda, IEEE J. Quantum Electron., 46, 1309 (2010).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, K. Ishizu, T. Moriyama, M. Mita, N. Y. Yamasaki, K. Mitsuda, M. Horade, S. Sugiyama, R. Riveros, H. Yamaguchi, Y. Kanamori, K. Morishita, and K. Nakajima, in Proceedings of Transducers ’11 (2011), Vol. 1, 566–569.

Moriyama, T.

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, U. Takagi, K. Ishizu, T. Moriyama, T. Hayashi, T. Sato, K. Morishita, K. Nakajima, N. Y. Yamasaki, and K. Mitsuda, IEEE J. Quantum Electron., 46, 1309 (2010).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, K. Ishizu, T. Moriyama, M. Mita, N. Y. Yamasaki, K. Mitsuda, M. Horade, S. Sugiyama, R. Riveros, H. Yamaguchi, Y. Kanamori, K. Morishita, and K. Nakajima, in Proceedings of Transducers ’11 (2011), Vol. 1, 566–569.

Nakajima, K.

Y. Ezoe, I. Mitsuishi, U. Takagi, M. Koshiishi, K. Mitsuda, N. Y. Yamasaki, T. Ohashi, F. Kato, S. Sugiyama, R. E. Riveros, H. Yamaguchi, S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Morishita, K. Nakajima, and R. Maeda, Microsyst. Technol. 16, 1633 (2010).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, U. Takagi, K. Ishizu, T. Moriyama, T. Hayashi, T. Sato, K. Morishita, K. Nakajima, N. Y. Yamasaki, and K. Mitsuda, IEEE J. Quantum Electron., 46, 1309 (2010).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, K. Ishizu, T. Moriyama, M. Mita, N. Y. Yamasaki, K. Mitsuda, M. Horade, S. Sugiyama, R. Riveros, H. Yamaguchi, Y. Kanamori, K. Morishita, and K. Nakajima, in Proceedings of Transducers ’11 (2011), Vol. 1, 566–569.

Nugent, K. A.

S. W. Wilkins, A. W. Stevenson, K. A. Nugent, H. Chapman, and S. Steenstrup, Rev. Sci. Instrum. 60, 1026 (1989).
[CrossRef]

Ohashi, T.

Y. Ezoe, I. Mitsuishi, U. Takagi, M. Koshiishi, K. Mitsuda, N. Y. Yamasaki, T. Ohashi, F. Kato, S. Sugiyama, R. E. Riveros, H. Yamaguchi, S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Morishita, K. Nakajima, and R. Maeda, Microsyst. Technol. 16, 1633 (2010).
[CrossRef]

Pareschi, G.

D. Spiga and G. Pareschi, Proc. SPIE 7437, 74371M (2009).
[CrossRef]

Peacock, A.

G. J. Price, A. N. Brunton, M. W. Beijersbergen, G. W. Fraser, M. Bavdaz, J.-P. Boutot, R. Fairbend, S.-O. Flyckt, A. Peacock, and E. Tomaselli, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 490, 276 (2002).
[CrossRef]

Potts, P. J.

P. J. Potts and M. West, Portable X-ray Fluorescence Spectrometry: Capabilities for In Situ Analysis (The Royal Society of Chemistry, 2008).

Price, G. J.

G. J. Price, A. N. Brunton, M. W. Beijersbergen, G. W. Fraser, M. Bavdaz, J.-P. Boutot, R. Fairbend, S.-O. Flyckt, A. Peacock, and E. Tomaselli, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 490, 276 (2002).
[CrossRef]

Riveros, R.

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, K. Ishizu, T. Moriyama, M. Mita, N. Y. Yamasaki, K. Mitsuda, M. Horade, S. Sugiyama, R. Riveros, H. Yamaguchi, Y. Kanamori, K. Morishita, and K. Nakajima, in Proceedings of Transducers ’11 (2011), Vol. 1, 566–569.

Riveros, R. E.

Y. Ezoe, I. Mitsuishi, U. Takagi, M. Koshiishi, K. Mitsuda, N. Y. Yamasaki, T. Ohashi, F. Kato, S. Sugiyama, R. E. Riveros, H. Yamaguchi, S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Morishita, K. Nakajima, and R. Maeda, Microsyst. Technol. 16, 1633 (2010).
[CrossRef]

H. G. Yamaguchi, R. E. Riveros, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, N. Yamasaki, K. Mitsud, and F. Hashimoto, CIRP Ann 59, 351 (2010).
[CrossRef]

R. E. Riveros, H. Yamaguchi, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, F. Kato, S. Sugiyama, N. Yamasaki, and K. Mitsuda, Appl. Opt. 49, 3511 (2010).
[CrossRef]

Sato, T.

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, U. Takagi, K. Ishizu, T. Moriyama, T. Hayashi, T. Sato, K. Morishita, K. Nakajima, N. Y. Yamasaki, and K. Mitsuda, IEEE J. Quantum Electron., 46, 1309 (2010).
[CrossRef]

Spiga, D.

D. Spiga and G. Pareschi, Proc. SPIE 7437, 74371M (2009).
[CrossRef]

Steenstrup, S.

S. W. Wilkins, A. W. Stevenson, K. A. Nugent, H. Chapman, and S. Steenstrup, Rev. Sci. Instrum. 60, 1026 (1989).
[CrossRef]

Stevenson, A. W.

S. W. Wilkins, A. W. Stevenson, K. A. Nugent, H. Chapman, and S. Steenstrup, Rev. Sci. Instrum. 60, 1026 (1989).
[CrossRef]

Sugiyama, S.

Y. Ezoe, I. Mitsuishi, U. Takagi, M. Koshiishi, K. Mitsuda, N. Y. Yamasaki, T. Ohashi, F. Kato, S. Sugiyama, R. E. Riveros, H. Yamaguchi, S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Morishita, K. Nakajima, and R. Maeda, Microsyst. Technol. 16, 1633 (2010).
[CrossRef]

R. E. Riveros, H. Yamaguchi, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, F. Kato, S. Sugiyama, N. Yamasaki, and K. Mitsuda, Appl. Opt. 49, 3511 (2010).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, K. Ishizu, T. Moriyama, M. Mita, N. Y. Yamasaki, K. Mitsuda, M. Horade, S. Sugiyama, R. Riveros, H. Yamaguchi, Y. Kanamori, K. Morishita, and K. Nakajima, in Proceedings of Transducers ’11 (2011), Vol. 1, 566–569.

Takagi, U.

Y. Ezoe, I. Mitsuishi, U. Takagi, M. Koshiishi, K. Mitsuda, N. Y. Yamasaki, T. Ohashi, F. Kato, S. Sugiyama, R. E. Riveros, H. Yamaguchi, S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Morishita, K. Nakajima, and R. Maeda, Microsyst. Technol. 16, 1633 (2010).
[CrossRef]

H. G. Yamaguchi, R. E. Riveros, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, N. Yamasaki, K. Mitsud, and F. Hashimoto, CIRP Ann 59, 351 (2010).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, U. Takagi, K. Ishizu, T. Moriyama, T. Hayashi, T. Sato, K. Morishita, K. Nakajima, N. Y. Yamasaki, and K. Mitsuda, IEEE J. Quantum Electron., 46, 1309 (2010).
[CrossRef]

R. E. Riveros, H. Yamaguchi, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, F. Kato, S. Sugiyama, N. Yamasaki, and K. Mitsuda, Appl. Opt. 49, 3511 (2010).
[CrossRef]

Takano, T.

Tomaselli, E.

G. J. Price, A. N. Brunton, M. W. Beijersbergen, G. W. Fraser, M. Bavdaz, J.-P. Boutot, R. Fairbend, S.-O. Flyckt, A. Peacock, and E. Tomaselli, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 490, 276 (2002).
[CrossRef]

Wallace, K.

M. Bavdaz, M. Collon, M. Beijersbergen, K. Wallace, and E. Wille, X-Ray Opt. Instrum. 2010, 1 (2010).
[CrossRef]

West, M.

P. J. Potts and M. West, Portable X-ray Fluorescence Spectrometry: Capabilities for In Situ Analysis (The Royal Society of Chemistry, 2008).

Wilkins, S. W.

S. W. Wilkins, A. W. Stevenson, K. A. Nugent, H. Chapman, and S. Steenstrup, Rev. Sci. Instrum. 60, 1026 (1989).
[CrossRef]

Wille, E.

M. Bavdaz, M. Collon, M. Beijersbergen, K. Wallace, and E. Wille, X-Ray Opt. Instrum. 2010, 1 (2010).
[CrossRef]

Yamaguchi, H.

R. E. Riveros, H. Yamaguchi, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, F. Kato, S. Sugiyama, N. Yamasaki, and K. Mitsuda, Appl. Opt. 49, 3511 (2010).
[CrossRef]

Y. Ezoe, I. Mitsuishi, U. Takagi, M. Koshiishi, K. Mitsuda, N. Y. Yamasaki, T. Ohashi, F. Kato, S. Sugiyama, R. E. Riveros, H. Yamaguchi, S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Morishita, K. Nakajima, and R. Maeda, Microsyst. Technol. 16, 1633 (2010).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, K. Ishizu, T. Moriyama, M. Mita, N. Y. Yamasaki, K. Mitsuda, M. Horade, S. Sugiyama, R. Riveros, H. Yamaguchi, Y. Kanamori, K. Morishita, and K. Nakajima, in Proceedings of Transducers ’11 (2011), Vol. 1, 566–569.

Yamaguchi, H. G.

H. G. Yamaguchi, R. E. Riveros, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, N. Yamasaki, K. Mitsud, and F. Hashimoto, CIRP Ann 59, 351 (2010).
[CrossRef]

Yamasaki, N.

H. G. Yamaguchi, R. E. Riveros, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, N. Yamasaki, K. Mitsud, and F. Hashimoto, CIRP Ann 59, 351 (2010).
[CrossRef]

R. E. Riveros, H. Yamaguchi, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, F. Kato, S. Sugiyama, N. Yamasaki, and K. Mitsuda, Appl. Opt. 49, 3511 (2010).
[CrossRef]

Yamasaki, N. Y.

Y. Ezoe, I. Mitsuishi, U. Takagi, M. Koshiishi, K. Mitsuda, N. Y. Yamasaki, T. Ohashi, F. Kato, S. Sugiyama, R. E. Riveros, H. Yamaguchi, S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Morishita, K. Nakajima, and R. Maeda, Microsyst. Technol. 16, 1633 (2010).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, U. Takagi, K. Ishizu, T. Moriyama, T. Hayashi, T. Sato, K. Morishita, K. Nakajima, N. Y. Yamasaki, and K. Mitsuda, IEEE J. Quantum Electron., 46, 1309 (2010).
[CrossRef]

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, K. Ishizu, T. Moriyama, M. Mita, N. Y. Yamasaki, K. Mitsuda, M. Horade, S. Sugiyama, R. Riveros, H. Yamaguchi, Y. Kanamori, K. Morishita, and K. Nakajima, in Proceedings of Transducers ’11 (2011), Vol. 1, 566–569.

Yang, Z.

Appl. Opt. (2)

Astrophys. J. (1)

J. R. P. Angel, Astrophys. J. 233, 364 (1979).
[CrossRef]

CIRP Ann (1)

H. G. Yamaguchi, R. E. Riveros, I. Mitsuishi, U. Takagi, Y. Ezoe, N. Yamasaki, K. Mitsud, and F. Hashimoto, CIRP Ann 59, 351 (2010).
[CrossRef]

IEEE J. Quantum Electron. (1)

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, U. Takagi, K. Ishizu, T. Moriyama, T. Hayashi, T. Sato, K. Morishita, K. Nakajima, N. Y. Yamasaki, and K. Mitsuda, IEEE J. Quantum Electron., 46, 1309 (2010).
[CrossRef]

Microsyst. Technol. (1)

Y. Ezoe, I. Mitsuishi, U. Takagi, M. Koshiishi, K. Mitsuda, N. Y. Yamasaki, T. Ohashi, F. Kato, S. Sugiyama, R. E. Riveros, H. Yamaguchi, S. Fujihira, Y. Kanamori, K. Morishita, K. Nakajima, and R. Maeda, Microsyst. Technol. 16, 1633 (2010).
[CrossRef]

Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A (1)

G. J. Price, A. N. Brunton, M. W. Beijersbergen, G. W. Fraser, M. Bavdaz, J.-P. Boutot, R. Fairbend, S.-O. Flyckt, A. Peacock, and E. Tomaselli, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 490, 276 (2002).
[CrossRef]

Proc. SPIE (1)

D. Spiga and G. Pareschi, Proc. SPIE 7437, 74371M (2009).
[CrossRef]

Rev. Sci. Instrum. (1)

S. W. Wilkins, A. W. Stevenson, K. A. Nugent, H. Chapman, and S. Steenstrup, Rev. Sci. Instrum. 60, 1026 (1989).
[CrossRef]

X-Ray Opt. Instrum. (1)

M. Bavdaz, M. Collon, M. Beijersbergen, K. Wallace, and E. Wille, X-Ray Opt. Instrum. 2010, 1 (2010).
[CrossRef]

Other (2)

P. J. Potts and M. West, Portable X-ray Fluorescence Spectrometry: Capabilities for In Situ Analysis (The Royal Society of Chemistry, 2008).

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, K. Ishizu, T. Moriyama, M. Mita, N. Y. Yamasaki, K. Mitsuda, M. Horade, S. Sugiyama, R. Riveros, H. Yamaguchi, Y. Kanamori, K. Morishita, and K. Nakajima, in Proceedings of Transducers ’11 (2011), Vol. 1, 566–569.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1.
Fig. 1.

Schematic and photograph of the 4 in. silicon optics.

Fig. 2.
Fig. 2.

Atomic force microscope images of the sidewall.

Fig. 3.
Fig. 3.

Schematic of experimental setup and photograph of the inside of the detecting chamber.

Fig. 4.
Fig. 4.

Focused x-ray image of the 4 in. silicon optics measured at 1.49 keV. X-ray irradiation areas are shown inside the top panel. Side panels show cross-sectional profiles in the horizontal and vertical directions. Horizontal and vertical lines indicate the position of the peak.

Metrics