Abstract

We report on experimental study of the shrinkage of photopolymerized micro/nanostructures fabricated by femtosecond direct laser writing in organic-inorganic resists. Blueshift of the stop-band positions of fabricated photonic crystals during the drying process, which follows the development and rinsing stages, indicates that the drying process plays an important role in the formation of the shrinkage. It is further confirmed that the shrinkage almost completely occurs during the drying process by in situ optical monitoring the structures. These findings will help to better understand, control, and even positively utilize the shrinkage in the applications of the photopolymerization-based direct laser writing technique.

© 2012 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. K. K. Seet, V. Mizeikis, S. Matsuo, S. Juodkazis, and H. Misawa, Adv. Mater. 17, 541 (2005).
    [CrossRef]
  2. B. H. Jia, D. Buso, J. van Embden, J. F. Li, and M. Gu, Adv. Mater. 22, 2463 (2010).
    [CrossRef]
  3. D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
    [CrossRef]
  4. I. Staude, M. Thiel, S. Essig, C. Wolff, K. Busch, G. von Freymann, and M. Wegener, Opt. Lett. 35, 1094 (2010).
    [CrossRef]
  5. J. K. Gansel, M. Thiel, M. S. Rill, M. Decker, K. Bade, V. Saile, G. von Freymann, S. Linden, and M. Wegener, Science 325, 1513 (2009).
    [CrossRef]
  6. M. S. Rill, C. E. Kriegler, M. Thiel, G. von Freymann, S. Linden, and M. Wegener, Opt. Lett. 34, 19 (2009).
    [CrossRef]
  7. D. Wu, S. Z. Wu, Q. D. Chen, Y. L. Zhang, J. Yao, X. Yao, L. G. Niu, J. N. Wang, L. Jiang, and H. B. Sun, Adv. Mater. 23, 545 (2011).
    [CrossRef]
  8. D. Wu, L. G. Niu, Q. D. Chen, R. Wang, and H. B. Sun, Opt. Lett. 33, 2913 (2008).
    [CrossRef]
  9. Z. P. Liu, Y. Li, Y. F. Xiao, B. B. Li, X. F. Jiang, Y. Qin, X. B. Feng, H. Yang, and Q. H. Gong, Appl. Phys. Lett. 97, 211105 (2010).
    [CrossRef]
  10. T. Kondo, S. Matsuo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, J. Photopolym. Sci. Technol. 16, 427 (2003).
    [CrossRef]
  11. R. G. Denning, C. F. Blanford, H. Urban, H. Bharaj, D. N. Sharp, and A. J. Turberfield, Adv. Funct. Mater. 21, 1593 (2011).
    [CrossRef]
  12. A. Ovsianikov, S. Z. Xiao, M. Farsari, M. Vamvakaki, C. Fotakis, and B. N. Chichkov, Opt. Express 17, 2143(2009).
    [CrossRef]
  13. Q. Sun, S. Juodkazis, N. Murazawa, V. Mizeikis, and H. Misawa, J. Micromech. Microeng. 20, 035004 (2010).
    [CrossRef]
  14. S. Juodkazis, V. Mizeikis, K. K. Seet, M. Miwa, and H. Misawa, Nanotechnology 16, 846 (2005).
    [CrossRef]
  15. S. Maruo, T. Hasegawa, and N. Yoshimura, Opt. Express 17, 20945 (2009).
    [CrossRef]
  16. M. Farsari and B. N. Chichkov, Nat. Photon. 3, 450(2009).
    [CrossRef]
  17. O. Toader and S. John, Science 292, 1133 (2001).
    [CrossRef]
  18. S. Nakanishi, S. Shoji, S. Kawata, and H. B. Sun, Appl. Phys. Lett. 91, 063112 (2007).
    [CrossRef]

2011 (2)

D. Wu, S. Z. Wu, Q. D. Chen, Y. L. Zhang, J. Yao, X. Yao, L. G. Niu, J. N. Wang, L. Jiang, and H. B. Sun, Adv. Mater. 23, 545 (2011).
[CrossRef]

R. G. Denning, C. F. Blanford, H. Urban, H. Bharaj, D. N. Sharp, and A. J. Turberfield, Adv. Funct. Mater. 21, 1593 (2011).
[CrossRef]

2010 (4)

Q. Sun, S. Juodkazis, N. Murazawa, V. Mizeikis, and H. Misawa, J. Micromech. Microeng. 20, 035004 (2010).
[CrossRef]

Z. P. Liu, Y. Li, Y. F. Xiao, B. B. Li, X. F. Jiang, Y. Qin, X. B. Feng, H. Yang, and Q. H. Gong, Appl. Phys. Lett. 97, 211105 (2010).
[CrossRef]

B. H. Jia, D. Buso, J. van Embden, J. F. Li, and M. Gu, Adv. Mater. 22, 2463 (2010).
[CrossRef]

I. Staude, M. Thiel, S. Essig, C. Wolff, K. Busch, G. von Freymann, and M. Wegener, Opt. Lett. 35, 1094 (2010).
[CrossRef]

2009 (5)

2008 (1)

2007 (1)

S. Nakanishi, S. Shoji, S. Kawata, and H. B. Sun, Appl. Phys. Lett. 91, 063112 (2007).
[CrossRef]

2006 (1)

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

2005 (2)

K. K. Seet, V. Mizeikis, S. Matsuo, S. Juodkazis, and H. Misawa, Adv. Mater. 17, 541 (2005).
[CrossRef]

S. Juodkazis, V. Mizeikis, K. K. Seet, M. Miwa, and H. Misawa, Nanotechnology 16, 846 (2005).
[CrossRef]

2003 (1)

T. Kondo, S. Matsuo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, J. Photopolym. Sci. Technol. 16, 427 (2003).
[CrossRef]

2001 (1)

O. Toader and S. John, Science 292, 1133 (2001).
[CrossRef]

Bade, K.

J. K. Gansel, M. Thiel, M. S. Rill, M. Decker, K. Bade, V. Saile, G. von Freymann, S. Linden, and M. Wegener, Science 325, 1513 (2009).
[CrossRef]

Bharaj, H.

R. G. Denning, C. F. Blanford, H. Urban, H. Bharaj, D. N. Sharp, and A. J. Turberfield, Adv. Funct. Mater. 21, 1593 (2011).
[CrossRef]

Blanford, C. F.

R. G. Denning, C. F. Blanford, H. Urban, H. Bharaj, D. N. Sharp, and A. J. Turberfield, Adv. Funct. Mater. 21, 1593 (2011).
[CrossRef]

Busch, K.

I. Staude, M. Thiel, S. Essig, C. Wolff, K. Busch, G. von Freymann, and M. Wegener, Opt. Lett. 35, 1094 (2010).
[CrossRef]

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

Buso, D.

B. H. Jia, D. Buso, J. van Embden, J. F. Li, and M. Gu, Adv. Mater. 22, 2463 (2010).
[CrossRef]

Chen, Q. D.

D. Wu, S. Z. Wu, Q. D. Chen, Y. L. Zhang, J. Yao, X. Yao, L. G. Niu, J. N. Wang, L. Jiang, and H. B. Sun, Adv. Mater. 23, 545 (2011).
[CrossRef]

D. Wu, L. G. Niu, Q. D. Chen, R. Wang, and H. B. Sun, Opt. Lett. 33, 2913 (2008).
[CrossRef]

Chichkov, B. N.

Decker, M.

J. K. Gansel, M. Thiel, M. S. Rill, M. Decker, K. Bade, V. Saile, G. von Freymann, S. Linden, and M. Wegener, Science 325, 1513 (2009).
[CrossRef]

Denning, R. G.

R. G. Denning, C. F. Blanford, H. Urban, H. Bharaj, D. N. Sharp, and A. J. Turberfield, Adv. Funct. Mater. 21, 1593 (2011).
[CrossRef]

Deubel, M.

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

Diem, M.

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

Essig, S.

Farsari, M.

Feng, X. B.

Z. P. Liu, Y. Li, Y. F. Xiao, B. B. Li, X. F. Jiang, Y. Qin, X. B. Feng, H. Yang, and Q. H. Gong, Appl. Phys. Lett. 97, 211105 (2010).
[CrossRef]

Fotakis, C.

Gansel, J. K.

J. K. Gansel, M. Thiel, M. S. Rill, M. Decker, K. Bade, V. Saile, G. von Freymann, S. Linden, and M. Wegener, Science 325, 1513 (2009).
[CrossRef]

Gerthsen, D.

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

Gong, Q. H.

Z. P. Liu, Y. Li, Y. F. Xiao, B. B. Li, X. F. Jiang, Y. Qin, X. B. Feng, H. Yang, and Q. H. Gong, Appl. Phys. Lett. 97, 211105 (2010).
[CrossRef]

Gu, M.

B. H. Jia, D. Buso, J. van Embden, J. F. Li, and M. Gu, Adv. Mater. 22, 2463 (2010).
[CrossRef]

Hasegawa, T.

Jia, B. H.

B. H. Jia, D. Buso, J. van Embden, J. F. Li, and M. Gu, Adv. Mater. 22, 2463 (2010).
[CrossRef]

Jiang, L.

D. Wu, S. Z. Wu, Q. D. Chen, Y. L. Zhang, J. Yao, X. Yao, L. G. Niu, J. N. Wang, L. Jiang, and H. B. Sun, Adv. Mater. 23, 545 (2011).
[CrossRef]

Jiang, X. F.

Z. P. Liu, Y. Li, Y. F. Xiao, B. B. Li, X. F. Jiang, Y. Qin, X. B. Feng, H. Yang, and Q. H. Gong, Appl. Phys. Lett. 97, 211105 (2010).
[CrossRef]

John, S.

O. Toader and S. John, Science 292, 1133 (2001).
[CrossRef]

Juodkazis, S.

Q. Sun, S. Juodkazis, N. Murazawa, V. Mizeikis, and H. Misawa, J. Micromech. Microeng. 20, 035004 (2010).
[CrossRef]

K. K. Seet, V. Mizeikis, S. Matsuo, S. Juodkazis, and H. Misawa, Adv. Mater. 17, 541 (2005).
[CrossRef]

S. Juodkazis, V. Mizeikis, K. K. Seet, M. Miwa, and H. Misawa, Nanotechnology 16, 846 (2005).
[CrossRef]

T. Kondo, S. Matsuo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, J. Photopolym. Sci. Technol. 16, 427 (2003).
[CrossRef]

Kawata, S.

S. Nakanishi, S. Shoji, S. Kawata, and H. B. Sun, Appl. Phys. Lett. 91, 063112 (2007).
[CrossRef]

Kondo, T.

T. Kondo, S. Matsuo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, J. Photopolym. Sci. Technol. 16, 427 (2003).
[CrossRef]

Kriegler, C. E.

Li, B. B.

Z. P. Liu, Y. Li, Y. F. Xiao, B. B. Li, X. F. Jiang, Y. Qin, X. B. Feng, H. Yang, and Q. H. Gong, Appl. Phys. Lett. 97, 211105 (2010).
[CrossRef]

Li, J. F.

B. H. Jia, D. Buso, J. van Embden, J. F. Li, and M. Gu, Adv. Mater. 22, 2463 (2010).
[CrossRef]

Li, Y.

Z. P. Liu, Y. Li, Y. F. Xiao, B. B. Li, X. F. Jiang, Y. Qin, X. B. Feng, H. Yang, and Q. H. Gong, Appl. Phys. Lett. 97, 211105 (2010).
[CrossRef]

Linden, S.

J. K. Gansel, M. Thiel, M. S. Rill, M. Decker, K. Bade, V. Saile, G. von Freymann, S. Linden, and M. Wegener, Science 325, 1513 (2009).
[CrossRef]

M. S. Rill, C. E. Kriegler, M. Thiel, G. von Freymann, S. Linden, and M. Wegener, Opt. Lett. 34, 19 (2009).
[CrossRef]

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

Liu, Z. P.

Z. P. Liu, Y. Li, Y. F. Xiao, B. B. Li, X. F. Jiang, Y. Qin, X. B. Feng, H. Yang, and Q. H. Gong, Appl. Phys. Lett. 97, 211105 (2010).
[CrossRef]

Maruo, S.

Matsuo, S.

K. K. Seet, V. Mizeikis, S. Matsuo, S. Juodkazis, and H. Misawa, Adv. Mater. 17, 541 (2005).
[CrossRef]

T. Kondo, S. Matsuo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, J. Photopolym. Sci. Technol. 16, 427 (2003).
[CrossRef]

Meisel, D. C.

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

Misawa, H.

Q. Sun, S. Juodkazis, N. Murazawa, V. Mizeikis, and H. Misawa, J. Micromech. Microeng. 20, 035004 (2010).
[CrossRef]

K. K. Seet, V. Mizeikis, S. Matsuo, S. Juodkazis, and H. Misawa, Adv. Mater. 17, 541 (2005).
[CrossRef]

S. Juodkazis, V. Mizeikis, K. K. Seet, M. Miwa, and H. Misawa, Nanotechnology 16, 846 (2005).
[CrossRef]

T. Kondo, S. Matsuo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, J. Photopolym. Sci. Technol. 16, 427 (2003).
[CrossRef]

Miwa, M.

S. Juodkazis, V. Mizeikis, K. K. Seet, M. Miwa, and H. Misawa, Nanotechnology 16, 846 (2005).
[CrossRef]

Mizeikis, V.

Q. Sun, S. Juodkazis, N. Murazawa, V. Mizeikis, and H. Misawa, J. Micromech. Microeng. 20, 035004 (2010).
[CrossRef]

K. K. Seet, V. Mizeikis, S. Matsuo, S. Juodkazis, and H. Misawa, Adv. Mater. 17, 541 (2005).
[CrossRef]

S. Juodkazis, V. Mizeikis, K. K. Seet, M. Miwa, and H. Misawa, Nanotechnology 16, 846 (2005).
[CrossRef]

T. Kondo, S. Matsuo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, J. Photopolym. Sci. Technol. 16, 427 (2003).
[CrossRef]

Murazawa, N.

Q. Sun, S. Juodkazis, N. Murazawa, V. Mizeikis, and H. Misawa, J. Micromech. Microeng. 20, 035004 (2010).
[CrossRef]

Nakanishi, S.

S. Nakanishi, S. Shoji, S. Kawata, and H. B. Sun, Appl. Phys. Lett. 91, 063112 (2007).
[CrossRef]

Niu, L. G.

D. Wu, S. Z. Wu, Q. D. Chen, Y. L. Zhang, J. Yao, X. Yao, L. G. Niu, J. N. Wang, L. Jiang, and H. B. Sun, Adv. Mater. 23, 545 (2011).
[CrossRef]

D. Wu, L. G. Niu, Q. D. Chen, R. Wang, and H. B. Sun, Opt. Lett. 33, 2913 (2008).
[CrossRef]

Ovsianikov, A.

Perez-Willard, F.

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

Qin, Y.

Z. P. Liu, Y. Li, Y. F. Xiao, B. B. Li, X. F. Jiang, Y. Qin, X. B. Feng, H. Yang, and Q. H. Gong, Appl. Phys. Lett. 97, 211105 (2010).
[CrossRef]

Rill, M. S.

J. K. Gansel, M. Thiel, M. S. Rill, M. Decker, K. Bade, V. Saile, G. von Freymann, S. Linden, and M. Wegener, Science 325, 1513 (2009).
[CrossRef]

M. S. Rill, C. E. Kriegler, M. Thiel, G. von Freymann, S. Linden, and M. Wegener, Opt. Lett. 34, 19 (2009).
[CrossRef]

Saile, V.

J. K. Gansel, M. Thiel, M. S. Rill, M. Decker, K. Bade, V. Saile, G. von Freymann, S. Linden, and M. Wegener, Science 325, 1513 (2009).
[CrossRef]

Seet, K. K.

K. K. Seet, V. Mizeikis, S. Matsuo, S. Juodkazis, and H. Misawa, Adv. Mater. 17, 541 (2005).
[CrossRef]

S. Juodkazis, V. Mizeikis, K. K. Seet, M. Miwa, and H. Misawa, Nanotechnology 16, 846 (2005).
[CrossRef]

Sharp, D. N.

R. G. Denning, C. F. Blanford, H. Urban, H. Bharaj, D. N. Sharp, and A. J. Turberfield, Adv. Funct. Mater. 21, 1593 (2011).
[CrossRef]

Shoji, S.

S. Nakanishi, S. Shoji, S. Kawata, and H. B. Sun, Appl. Phys. Lett. 91, 063112 (2007).
[CrossRef]

Staude, I.

Sun, H. B.

D. Wu, S. Z. Wu, Q. D. Chen, Y. L. Zhang, J. Yao, X. Yao, L. G. Niu, J. N. Wang, L. Jiang, and H. B. Sun, Adv. Mater. 23, 545 (2011).
[CrossRef]

D. Wu, L. G. Niu, Q. D. Chen, R. Wang, and H. B. Sun, Opt. Lett. 33, 2913 (2008).
[CrossRef]

S. Nakanishi, S. Shoji, S. Kawata, and H. B. Sun, Appl. Phys. Lett. 91, 063112 (2007).
[CrossRef]

Sun, Q.

Q. Sun, S. Juodkazis, N. Murazawa, V. Mizeikis, and H. Misawa, J. Micromech. Microeng. 20, 035004 (2010).
[CrossRef]

Thiel, M.

Toader, O.

O. Toader and S. John, Science 292, 1133 (2001).
[CrossRef]

Turberfield, A. J.

R. G. Denning, C. F. Blanford, H. Urban, H. Bharaj, D. N. Sharp, and A. J. Turberfield, Adv. Funct. Mater. 21, 1593 (2011).
[CrossRef]

Urban, H.

R. G. Denning, C. F. Blanford, H. Urban, H. Bharaj, D. N. Sharp, and A. J. Turberfield, Adv. Funct. Mater. 21, 1593 (2011).
[CrossRef]

Vamvakaki, M.

van Embden, J.

B. H. Jia, D. Buso, J. van Embden, J. F. Li, and M. Gu, Adv. Mater. 22, 2463 (2010).
[CrossRef]

von Freymann, G.

Wang, J. N.

D. Wu, S. Z. Wu, Q. D. Chen, Y. L. Zhang, J. Yao, X. Yao, L. G. Niu, J. N. Wang, L. Jiang, and H. B. Sun, Adv. Mater. 23, 545 (2011).
[CrossRef]

Wang, R.

Wegener, M.

I. Staude, M. Thiel, S. Essig, C. Wolff, K. Busch, G. von Freymann, and M. Wegener, Opt. Lett. 35, 1094 (2010).
[CrossRef]

J. K. Gansel, M. Thiel, M. S. Rill, M. Decker, K. Bade, V. Saile, G. von Freymann, S. Linden, and M. Wegener, Science 325, 1513 (2009).
[CrossRef]

M. S. Rill, C. E. Kriegler, M. Thiel, G. von Freymann, S. Linden, and M. Wegener, Opt. Lett. 34, 19 (2009).
[CrossRef]

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

Wolff, C.

Wu, D.

D. Wu, S. Z. Wu, Q. D. Chen, Y. L. Zhang, J. Yao, X. Yao, L. G. Niu, J. N. Wang, L. Jiang, and H. B. Sun, Adv. Mater. 23, 545 (2011).
[CrossRef]

D. Wu, L. G. Niu, Q. D. Chen, R. Wang, and H. B. Sun, Opt. Lett. 33, 2913 (2008).
[CrossRef]

Wu, S. Z.

D. Wu, S. Z. Wu, Q. D. Chen, Y. L. Zhang, J. Yao, X. Yao, L. G. Niu, J. N. Wang, L. Jiang, and H. B. Sun, Adv. Mater. 23, 545 (2011).
[CrossRef]

Xiao, S. Z.

Xiao, Y. F.

Z. P. Liu, Y. Li, Y. F. Xiao, B. B. Li, X. F. Jiang, Y. Qin, X. B. Feng, H. Yang, and Q. H. Gong, Appl. Phys. Lett. 97, 211105 (2010).
[CrossRef]

Yang, H.

Z. P. Liu, Y. Li, Y. F. Xiao, B. B. Li, X. F. Jiang, Y. Qin, X. B. Feng, H. Yang, and Q. H. Gong, Appl. Phys. Lett. 97, 211105 (2010).
[CrossRef]

Yao, J.

D. Wu, S. Z. Wu, Q. D. Chen, Y. L. Zhang, J. Yao, X. Yao, L. G. Niu, J. N. Wang, L. Jiang, and H. B. Sun, Adv. Mater. 23, 545 (2011).
[CrossRef]

Yao, X.

D. Wu, S. Z. Wu, Q. D. Chen, Y. L. Zhang, J. Yao, X. Yao, L. G. Niu, J. N. Wang, L. Jiang, and H. B. Sun, Adv. Mater. 23, 545 (2011).
[CrossRef]

Yoshimura, N.

Zhang, Y. L.

D. Wu, S. Z. Wu, Q. D. Chen, Y. L. Zhang, J. Yao, X. Yao, L. G. Niu, J. N. Wang, L. Jiang, and H. B. Sun, Adv. Mater. 23, 545 (2011).
[CrossRef]

Adv. Funct. Mater. (1)

R. G. Denning, C. F. Blanford, H. Urban, H. Bharaj, D. N. Sharp, and A. J. Turberfield, Adv. Funct. Mater. 21, 1593 (2011).
[CrossRef]

Adv. Mater. (4)

K. K. Seet, V. Mizeikis, S. Matsuo, S. Juodkazis, and H. Misawa, Adv. Mater. 17, 541 (2005).
[CrossRef]

B. H. Jia, D. Buso, J. van Embden, J. F. Li, and M. Gu, Adv. Mater. 22, 2463 (2010).
[CrossRef]

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

D. Wu, S. Z. Wu, Q. D. Chen, Y. L. Zhang, J. Yao, X. Yao, L. G. Niu, J. N. Wang, L. Jiang, and H. B. Sun, Adv. Mater. 23, 545 (2011).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett. (2)

Z. P. Liu, Y. Li, Y. F. Xiao, B. B. Li, X. F. Jiang, Y. Qin, X. B. Feng, H. Yang, and Q. H. Gong, Appl. Phys. Lett. 97, 211105 (2010).
[CrossRef]

S. Nakanishi, S. Shoji, S. Kawata, and H. B. Sun, Appl. Phys. Lett. 91, 063112 (2007).
[CrossRef]

J. Micromech. Microeng. (1)

Q. Sun, S. Juodkazis, N. Murazawa, V. Mizeikis, and H. Misawa, J. Micromech. Microeng. 20, 035004 (2010).
[CrossRef]

J. Photopolym. Sci. Technol. (1)

T. Kondo, S. Matsuo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, J. Photopolym. Sci. Technol. 16, 427 (2003).
[CrossRef]

Nanotechnology (1)

S. Juodkazis, V. Mizeikis, K. K. Seet, M. Miwa, and H. Misawa, Nanotechnology 16, 846 (2005).
[CrossRef]

Nat. Photon. (1)

M. Farsari and B. N. Chichkov, Nat. Photon. 3, 450(2009).
[CrossRef]

Opt. Express (2)

Opt. Lett. (3)

Science (2)

O. Toader and S. John, Science 292, 1133 (2001).
[CrossRef]

J. K. Gansel, M. Thiel, M. S. Rill, M. Decker, K. Bade, V. Saile, G. von Freymann, S. Linden, and M. Wegener, Science 325, 1513 (2009).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1.
Fig. 1.

SEM images of fabricated square spiral photonic crystals. Top view (a) and oblique view (b) of one structure fabricated with a pulse energy of 3.0 nJ. (c) Top view of one distorted structure fabricated with a pulse energy of 2.8 nJ. (d) One freestanding structure fabricated inside a cage using the same conditions as that in (c). The scale bars in (a), (b), (c), and (d) are 10 μm, 6 μm, 10 μm, and 20 μm, respectively.

Fig. 2.
Fig. 2.

(a) Schematics of the conditions for FTIR measurements of the photonic crystal in IPA. (b) Measured FTIR reflection spectra of the photonic crystal in IPA before drying and after drying but immersed in IPA for a second time.

Fig. 3.
Fig. 3.

Series of FTIR reflection spectra measured at different times after a strong stop band appears (quasi-dry).

Fig. 4.
Fig. 4.

Optical monitoring of the evolution of the drying process in IPA. The scale bar is 40 μm.

Metrics