Abstract

A generic design and fabrication scheme of Mo/Si multilayer-grating phaseshift reflector systems is reported. Close to optimized extreme ultraviolet (EUV, λ=13.5nm) reflectance values up to 64% are demonstrated, while the diffractive properties can be exploited in spectral filtering applications. The results can contribute to a wavelength-unspecific solution for the suppression of λ>100nm out-of-band radiation in EUV lithography.

© 2012 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. V. Banine and R. Moors, J. Phys. D 37, 3207 (2004).
  2. I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).
  3. W. A. Soer, M. J. J. Jak, A. M. Yakunin, M. M. J. W. van Herpen, and V. Y. Banine, Proc. SPIE 7271, 72712Y (2009).
  4. M. M. J. W. van Herpen, R. W. E. van de Kruijs, D. J. W. Klunder, E. Louis, A. E. Yakshin, S. Alonso van der Westen, F. Bijkerk, and V. Banine, Opt. Lett. 33, 560 (2008).
    [CrossRef]
  5. W. A. Soer, P. Gawlitza, M. M. J. W. van Herpen, M. J. J. Jak, S. Braun, P. Muys, and V. Y. Banine, Opt. Lett. 34, 3680 (2009).
    [CrossRef]
  6. V. V. Medvedev, A. E. Yakshin, R. W. E. van de Kruijs, V. M. Krivtsun, A. M. Yakunin, K. N. Koshelev, and F. Bijkerk, Opt. Lett. 36, 3344 (2011).
    [CrossRef]
  7. J. A. Liddle, F. Salmassi, P. P. Naulleau, and E. M. Gullikson, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2980 (2003).
    [CrossRef]
  8. A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, F. A. van Goor, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 7271, 72713B (2009).
  9. D. L. Voronov, M. Ahn, E. H. Anderson, R. Cambie, C.-H. Chang, E. M. Gullikson, R. K. Heilmann, F. Salmassi, M. L. Schattenburg, T. Warwick, V. V. Yashchuk, L. Zipp, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 35, 2615 (2010).
    [CrossRef]
  10. A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, S. Müllender, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. A 28, 552 (2010).
    [CrossRef]
  11. F. Salmassi, E. M. Gullikson, E. H. Anderson, and P. P. Naulleau, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 2055 (2007).
    [CrossRef]
  12. A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, K. A. Goldberg, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. B 29, 051803 (2011).
    [CrossRef]

2011 (2)

A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, K. A. Goldberg, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. B 29, 051803 (2011).
[CrossRef]

V. V. Medvedev, A. E. Yakshin, R. W. E. van de Kruijs, V. M. Krivtsun, A. M. Yakunin, K. N. Koshelev, and F. Bijkerk, Opt. Lett. 36, 3344 (2011).
[CrossRef]

2010 (2)

2009 (3)

W. A. Soer, M. J. J. Jak, A. M. Yakunin, M. M. J. W. van Herpen, and V. Y. Banine, Proc. SPIE 7271, 72712Y (2009).

A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, F. A. van Goor, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 7271, 72713B (2009).

W. A. Soer, P. Gawlitza, M. M. J. W. van Herpen, M. J. J. Jak, S. Braun, P. Muys, and V. Y. Banine, Opt. Lett. 34, 3680 (2009).
[CrossRef]

2008 (1)

2007 (2)

F. Salmassi, E. M. Gullikson, E. H. Anderson, and P. P. Naulleau, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 2055 (2007).
[CrossRef]

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).

2004 (1)

V. Banine and R. Moors, J. Phys. D 37, 3207 (2004).

2003 (1)

J. A. Liddle, F. Salmassi, P. P. Naulleau, and E. M. Gullikson, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2980 (2003).
[CrossRef]

Ahn, M.

Alonso van der Westen, S.

Anderson, E. H.

Banine, V.

Banine, V. Y.

W. A. Soer, M. J. J. Jak, A. M. Yakunin, M. M. J. W. van Herpen, and V. Y. Banine, Proc. SPIE 7271, 72712Y (2009).

W. A. Soer, P. Gawlitza, M. M. J. W. van Herpen, M. J. J. Jak, S. Braun, P. Muys, and V. Y. Banine, Opt. Lett. 34, 3680 (2009).
[CrossRef]

Bijkerk, F.

A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, K. A. Goldberg, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. B 29, 051803 (2011).
[CrossRef]

V. V. Medvedev, A. E. Yakshin, R. W. E. van de Kruijs, V. M. Krivtsun, A. M. Yakunin, K. N. Koshelev, and F. Bijkerk, Opt. Lett. 36, 3344 (2011).
[CrossRef]

A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, S. Müllender, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. A 28, 552 (2010).
[CrossRef]

A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, F. A. van Goor, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 7271, 72713B (2009).

M. M. J. W. van Herpen, R. W. E. van de Kruijs, D. J. W. Klunder, E. Louis, A. E. Yakshin, S. Alonso van der Westen, F. Bijkerk, and V. Banine, Opt. Lett. 33, 560 (2008).
[CrossRef]

Böwering, N. R.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).

Brandt, D. C.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).

Braun, S.

Bykanov, A. N.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).

Cambie, R.

Chang, C.-H.

Chavez, J. A.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).

Chrobak, C. P.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).

Ershov, A. I.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).

Fomenkov, I. V.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).

Gawlitza, P.

Goldberg, K. A.

A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, K. A. Goldberg, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. B 29, 051803 (2011).
[CrossRef]

Gullikson, E. M.

D. L. Voronov, M. Ahn, E. H. Anderson, R. Cambie, C.-H. Chang, E. M. Gullikson, R. K. Heilmann, F. Salmassi, M. L. Schattenburg, T. Warwick, V. V. Yashchuk, L. Zipp, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 35, 2615 (2010).
[CrossRef]

F. Salmassi, E. M. Gullikson, E. H. Anderson, and P. P. Naulleau, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 2055 (2007).
[CrossRef]

J. A. Liddle, F. Salmassi, P. P. Naulleau, and E. M. Gullikson, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2980 (2003).
[CrossRef]

Heilmann, R. K.

Hoffman, J. R.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).

Jak, M. J. J.

W. A. Soer, P. Gawlitza, M. M. J. W. van Herpen, M. J. J. Jak, S. Braun, P. Muys, and V. Y. Banine, Opt. Lett. 34, 3680 (2009).
[CrossRef]

W. A. Soer, M. J. J. Jak, A. M. Yakunin, M. M. J. W. van Herpen, and V. Y. Banine, Proc. SPIE 7271, 72712Y (2009).

Khodykin, O. V.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).

Klunder, D. J. W.

Koshelev, K. N.

Krivtsun, V. M.

Liddle, J. A.

J. A. Liddle, F. Salmassi, P. P. Naulleau, and E. M. Gullikson, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2980 (2003).
[CrossRef]

Louis, E.

A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, K. A. Goldberg, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. B 29, 051803 (2011).
[CrossRef]

A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, S. Müllender, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. A 28, 552 (2010).
[CrossRef]

A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, F. A. van Goor, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 7271, 72713B (2009).

M. M. J. W. van Herpen, R. W. E. van de Kruijs, D. J. W. Klunder, E. Louis, A. E. Yakshin, S. Alonso van der Westen, F. Bijkerk, and V. Banine, Opt. Lett. 33, 560 (2008).
[CrossRef]

Medvedev, V. V.

Moors, R.

V. Banine and R. Moors, J. Phys. D 37, 3207 (2004).

Müllender, S.

A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, S. Müllender, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. A 28, 552 (2010).
[CrossRef]

Muys, P.

Myers, D. W.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).

Naulleau, P. P.

F. Salmassi, E. M. Gullikson, E. H. Anderson, and P. P. Naulleau, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 2055 (2007).
[CrossRef]

J. A. Liddle, F. Salmassi, P. P. Naulleau, and E. M. Gullikson, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2980 (2003).
[CrossRef]

Padmore, H. A.

Partlo, W. N.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).

Salmassi, F.

D. L. Voronov, M. Ahn, E. H. Anderson, R. Cambie, C.-H. Chang, E. M. Gullikson, R. K. Heilmann, F. Salmassi, M. L. Schattenburg, T. Warwick, V. V. Yashchuk, L. Zipp, and H. A. Padmore, Opt. Lett. 35, 2615 (2010).
[CrossRef]

F. Salmassi, E. M. Gullikson, E. H. Anderson, and P. P. Naulleau, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 2055 (2007).
[CrossRef]

J. A. Liddle, F. Salmassi, P. P. Naulleau, and E. M. Gullikson, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2980 (2003).
[CrossRef]

Schattenburg, M. L.

Simmons, R. D.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).

Soer, W. A.

W. A. Soer, P. Gawlitza, M. M. J. W. van Herpen, M. J. J. Jak, S. Braun, P. Muys, and V. Y. Banine, Opt. Lett. 34, 3680 (2009).
[CrossRef]

W. A. Soer, M. J. J. Jak, A. M. Yakunin, M. M. J. W. van Herpen, and V. Y. Banine, Proc. SPIE 7271, 72712Y (2009).

van de Kruijs, R. W. E.

van den Boogaard, A. J. R.

A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, K. A. Goldberg, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. B 29, 051803 (2011).
[CrossRef]

A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, S. Müllender, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. A 28, 552 (2010).
[CrossRef]

A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, F. A. van Goor, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 7271, 72713B (2009).

van Goor, F. A.

A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, F. A. van Goor, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 7271, 72713B (2009).

van Herpen, M. M. J. W.

Vargas, E.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).

Vaschenko, G. O.

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).

Voronov, D. L.

Warwick, T.

Yakshin, A. E.

Yakunin, A. M.

V. V. Medvedev, A. E. Yakshin, R. W. E. van de Kruijs, V. M. Krivtsun, A. M. Yakunin, K. N. Koshelev, and F. Bijkerk, Opt. Lett. 36, 3344 (2011).
[CrossRef]

W. A. Soer, M. J. J. Jak, A. M. Yakunin, M. M. J. W. van Herpen, and V. Y. Banine, Proc. SPIE 7271, 72712Y (2009).

Yashchuk, V. V.

Zipp, L.

Zoethout, E.

A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, K. A. Goldberg, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. B 29, 051803 (2011).
[CrossRef]

A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, S. Müllender, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. A 28, 552 (2010).
[CrossRef]

J. Phys. D (1)

V. Banine and R. Moors, J. Phys. D 37, 3207 (2004).

J. Vac. Sci. Technol. A (1)

A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, S. Müllender, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. A 28, 552 (2010).
[CrossRef]

J. Vac. Sci. Technol. B (3)

F. Salmassi, E. M. Gullikson, E. H. Anderson, and P. P. Naulleau, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 2055 (2007).
[CrossRef]

A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, E. Zoethout, K. A. Goldberg, and F. Bijkerk, J. Vac. Sci. Technol. B 29, 051803 (2011).
[CrossRef]

J. A. Liddle, F. Salmassi, P. P. Naulleau, and E. M. Gullikson, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2980 (2003).
[CrossRef]

Opt. Lett. (4)

Proc. SPIE (3)

A. J. R. van den Boogaard, E. Louis, F. A. van Goor, and F. Bijkerk, Proc. SPIE 7271, 72713B (2009).

I. V. Fomenkov, D. C. Brandt, A. N. Bykanov, A. I. Ershov, W. N. Partlo, D. W. Myers, N. R. Böwering, G. O. Vaschenko, O. V. Khodykin, J. R. Hoffman, E. Vargas, R. D. Simmons, J. A. Chavez, and C. P. Chrobak, Proc. SPIE 6517, 65173J (2007).

W. A. Soer, M. J. J. Jak, A. M. Yakunin, M. M. J. W. van Herpen, and V. Y. Banine, Proc. SPIE 7271, 72712Y (2009).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1.
Fig. 1.

(a) Schematic phaseshift reflector structure. (b) Efficiency orders of diffraction versus angular position for h=70nm and normal incidence illumination.

Fig. 2.
Fig. 2.

EUV reflectance data (circles) and combined average reference reflectance for (a) PsR-VUV and (b) PsR-IR.

Fig. 3.
Fig. 3.

(a) VUV reflectance measurements of a phaseshift reflector (circles) and a reference unstructured multilayer mirror (squares) and calculations (solid lines). Also shown is a calculation of a combined PsR system response (dashed line). (b) Two-theta detector scans at 280 nm for the PsR and reference mirror, offset applied for visualization. (c) Two-theta detector scans PsR at various VUV wavelengths.

Metrics