Abstract

In the present work, an approach of fabricating pseudoperiodic antireflective subwavelength structures (ARS) on fluorescent SiC by using self-assembled etch mask is demonstrated. By applying the pseudoperiodic (ARS), the average surface reflectance at 6° incidence over the spectral range of 390–785 nm is dramatically suppressed from 20.5% to 1.62%, and the hydrophobic surface with a large contact angle of 98° is also achieved. The angle-resolved photoluminescence study presents a considerable omnidirectional luminescence enhancement with an integral intensity enhancement of 66.3% and a fairly preserved spatial emission pattern.

© 2012 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. H. Zhao, J. Zhang, G. Liu, and N. Tansu, Appl. Phys. 98, 151115 (2011).
    [CrossRef]
  2. H. Zhao, G. Liu, J. Zhang, J. D. Poplawsky, V. Dierolf, and N. Tansu, Opt. Express 19, A991 (2011).
    [CrossRef]
  3. X. Li, R. Song, Y. Ee, P. Kumnorkaew, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, IEEE Photon. J. 3, 489 (2011).
    [CrossRef]
  4. C. Shen, K. Li, Q. Hou, H. Feng, and X. Dong, IEEE Photon. Technol. Lett. 22, 884 (2010).
    [CrossRef]
  5. H. Kuo, C. Hung, H. Chen, K. Chen, C. Wang, C. Sher, C. Yeh, C. Lin, C. Chen, and Y. Cheng, Opt. Express 19, A930 (2011).
    [CrossRef]
  6. H. Menkara, R. A. Gilstrap, T. Morris, M. Minkara, B. K. Wagner, and C. J. Summers, Opt. Express 19, A972(2011).
    [CrossRef]
  7. R. Mueller-Mach, G. Mueller, M. R. Krames, H. A. Höppe, F. Stadler, W. Schnick, T. Juestel, and P. Schmidt, Phys. Stat. Sol. A 202, 1727 (2005).
    [CrossRef]
  8. S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
    [CrossRef]
  9. Y. Ou, V. Jokubavicius, S. Kamiyama, C. Liu, R. W. Berg, M. Linnarsson, R. Yakimova, M. Syväjärvi, and H. Ou, Opt. Mater. Express 1, 1439 (2011).
    [CrossRef]
  10. S. Kamiyama, M. Iwaya, T. Takeuchi, I. Akasaki, M. Syväjärvi, and R. Yakimova, J. Semicond. 32, 013004(2011).
    [CrossRef]
  11. Y. Ou, D. Corell, C. Dam-Hansen, P. Petersen, and H. Ou, Opt. Express 19, A166 (2011).
    [CrossRef]
  12. X. Li, J. Gao, L. Xue, and Y. Han, Adv. Funct. Mater. 20, 259 (2010).
    [CrossRef]
  13. S. A. Boden and D. M. Bagnall, Appl. Phys. Lett. 93, 133108 (2008).
    [CrossRef]
  14. L. Sainiemi, V. Jokinen, A. Shah, M. Shpak, S. Aura, P. Suvanto, and S. Franssila, Adv. Mater. 23, 122 (2011).
    [CrossRef]
  15. J. W. Leem, Y. M. Song, and J. S. Yu, Opt. Express 19, A1155 (2011).
    [CrossRef]
  16. H. Park, D. Shin, G. Kang, S. Baek, K. Kim, and W. J. Padilla, Adv. Mater. 23, 5796 (2011).
    [CrossRef]
  17. Y. Ou, V. Jokubavicius, P. Hens, M. Kaiser, P. Wellmann, R. Yakimova, M. Syväjärvi, and H. Ou, Opt. Express 20, 7575 (2012).
    [CrossRef]
  18. J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).
    [CrossRef]
  19. J. Zhu, C.-M. Hsu, Z. Yu, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 10, 1979 (2010).
  20. E. Matioli, S. Brinkley, K. M. Kelchner, S. Nakamura, S. DenBaars, J. Speck, and C. Weisbuch, Appl. Phys. Lett. 98, 251112 (2011).
    [CrossRef]
  21. Y. K. Ee, P. Kumnorkaew, R. A. Arif, H. Tong, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, Opt. Express 17, 13747 (2009).
    [CrossRef]
  22. Y. K. Ee, P. Kumnorkaew, R. A. Arif, H. Tong, H. Zhao, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 15, 1218 (2009).
    [CrossRef]

2012 (1)

2011 (12)

E. Matioli, S. Brinkley, K. M. Kelchner, S. Nakamura, S. DenBaars, J. Speck, and C. Weisbuch, Appl. Phys. Lett. 98, 251112 (2011).
[CrossRef]

X. Li, R. Song, Y. Ee, P. Kumnorkaew, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, IEEE Photon. J. 3, 489 (2011).
[CrossRef]

H. Zhao, J. Zhang, G. Liu, and N. Tansu, Appl. Phys. 98, 151115 (2011).
[CrossRef]

L. Sainiemi, V. Jokinen, A. Shah, M. Shpak, S. Aura, P. Suvanto, and S. Franssila, Adv. Mater. 23, 122 (2011).
[CrossRef]

S. Kamiyama, M. Iwaya, T. Takeuchi, I. Akasaki, M. Syväjärvi, and R. Yakimova, J. Semicond. 32, 013004(2011).
[CrossRef]

H. Park, D. Shin, G. Kang, S. Baek, K. Kim, and W. J. Padilla, Adv. Mater. 23, 5796 (2011).
[CrossRef]

Y. Ou, D. Corell, C. Dam-Hansen, P. Petersen, and H. Ou, Opt. Express 19, A166 (2011).
[CrossRef]

H. Kuo, C. Hung, H. Chen, K. Chen, C. Wang, C. Sher, C. Yeh, C. Lin, C. Chen, and Y. Cheng, Opt. Express 19, A930 (2011).
[CrossRef]

H. Menkara, R. A. Gilstrap, T. Morris, M. Minkara, B. K. Wagner, and C. J. Summers, Opt. Express 19, A972(2011).
[CrossRef]

H. Zhao, G. Liu, J. Zhang, J. D. Poplawsky, V. Dierolf, and N. Tansu, Opt. Express 19, A991 (2011).
[CrossRef]

J. W. Leem, Y. M. Song, and J. S. Yu, Opt. Express 19, A1155 (2011).
[CrossRef]

Y. Ou, V. Jokubavicius, S. Kamiyama, C. Liu, R. W. Berg, M. Linnarsson, R. Yakimova, M. Syväjärvi, and H. Ou, Opt. Mater. Express 1, 1439 (2011).
[CrossRef]

2010 (3)

X. Li, J. Gao, L. Xue, and Y. Han, Adv. Funct. Mater. 20, 259 (2010).
[CrossRef]

J. Zhu, C.-M. Hsu, Z. Yu, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 10, 1979 (2010).

C. Shen, K. Li, Q. Hou, H. Feng, and X. Dong, IEEE Photon. Technol. Lett. 22, 884 (2010).
[CrossRef]

2009 (3)

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).
[CrossRef]

Y. K. Ee, P. Kumnorkaew, R. A. Arif, H. Tong, H. Zhao, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 15, 1218 (2009).
[CrossRef]

Y. K. Ee, P. Kumnorkaew, R. A. Arif, H. Tong, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, Opt. Express 17, 13747 (2009).
[CrossRef]

2008 (1)

S. A. Boden and D. M. Bagnall, Appl. Phys. Lett. 93, 133108 (2008).
[CrossRef]

2006 (1)

S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
[CrossRef]

2005 (1)

R. Mueller-Mach, G. Mueller, M. R. Krames, H. A. Höppe, F. Stadler, W. Schnick, T. Juestel, and P. Schmidt, Phys. Stat. Sol. A 202, 1727 (2005).
[CrossRef]

Akasaki, I.

S. Kamiyama, M. Iwaya, T. Takeuchi, I. Akasaki, M. Syväjärvi, and R. Yakimova, J. Semicond. 32, 013004(2011).
[CrossRef]

S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
[CrossRef]

Amano, H.

S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
[CrossRef]

Arif, R. A.

Y. K. Ee, P. Kumnorkaew, R. A. Arif, H. Tong, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, Opt. Express 17, 13747 (2009).
[CrossRef]

Y. K. Ee, P. Kumnorkaew, R. A. Arif, H. Tong, H. Zhao, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 15, 1218 (2009).
[CrossRef]

Aura, S.

L. Sainiemi, V. Jokinen, A. Shah, M. Shpak, S. Aura, P. Suvanto, and S. Franssila, Adv. Mater. 23, 122 (2011).
[CrossRef]

Baek, S.

H. Park, D. Shin, G. Kang, S. Baek, K. Kim, and W. J. Padilla, Adv. Mater. 23, 5796 (2011).
[CrossRef]

Bagnall, D. M.

S. A. Boden and D. M. Bagnall, Appl. Phys. Lett. 93, 133108 (2008).
[CrossRef]

Berg, R. W.

Bergman, J. P.

S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
[CrossRef]

Boden, S. A.

S. A. Boden and D. M. Bagnall, Appl. Phys. Lett. 93, 133108 (2008).
[CrossRef]

Brinkley, S.

E. Matioli, S. Brinkley, K. M. Kelchner, S. Nakamura, S. DenBaars, J. Speck, and C. Weisbuch, Appl. Phys. Lett. 98, 251112 (2011).
[CrossRef]

Burkhard, G. F.

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).
[CrossRef]

Chen, C.

Chen, H.

Chen, K.

Cheng, Y.

Chichibu, S. F.

S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
[CrossRef]

Connor, S. T.

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).
[CrossRef]

Corell, D.

Cui, Y.

J. Zhu, C.-M. Hsu, Z. Yu, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 10, 1979 (2010).

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).
[CrossRef]

Dam-Hansen, C.

DenBaars, S.

E. Matioli, S. Brinkley, K. M. Kelchner, S. Nakamura, S. DenBaars, J. Speck, and C. Weisbuch, Appl. Phys. Lett. 98, 251112 (2011).
[CrossRef]

Dierolf, V.

Dong, X.

C. Shen, K. Li, Q. Hou, H. Feng, and X. Dong, IEEE Photon. Technol. Lett. 22, 884 (2010).
[CrossRef]

Ee, Y.

X. Li, R. Song, Y. Ee, P. Kumnorkaew, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, IEEE Photon. J. 3, 489 (2011).
[CrossRef]

Ee, Y. K.

Y. K. Ee, P. Kumnorkaew, R. A. Arif, H. Tong, H. Zhao, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 15, 1218 (2009).
[CrossRef]

Y. K. Ee, P. Kumnorkaew, R. A. Arif, H. Tong, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, Opt. Express 17, 13747 (2009).
[CrossRef]

Fan, S.

J. Zhu, C.-M. Hsu, Z. Yu, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 10, 1979 (2010).

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).
[CrossRef]

Feng, H.

C. Shen, K. Li, Q. Hou, H. Feng, and X. Dong, IEEE Photon. Technol. Lett. 22, 884 (2010).
[CrossRef]

Franssila, S.

L. Sainiemi, V. Jokinen, A. Shah, M. Shpak, S. Aura, P. Suvanto, and S. Franssila, Adv. Mater. 23, 122 (2011).
[CrossRef]

Furusho, T.

S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
[CrossRef]

Gao, J.

X. Li, J. Gao, L. Xue, and Y. Han, Adv. Funct. Mater. 20, 259 (2010).
[CrossRef]

Gilchrist, J. F.

X. Li, R. Song, Y. Ee, P. Kumnorkaew, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, IEEE Photon. J. 3, 489 (2011).
[CrossRef]

Y. K. Ee, P. Kumnorkaew, R. A. Arif, H. Tong, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, Opt. Express 17, 13747 (2009).
[CrossRef]

Y. K. Ee, P. Kumnorkaew, R. A. Arif, H. Tong, H. Zhao, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 15, 1218 (2009).
[CrossRef]

Gilstrap, R. A.

Han, Y.

X. Li, J. Gao, L. Xue, and Y. Han, Adv. Funct. Mater. 20, 259 (2010).
[CrossRef]

Henry, A.

S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
[CrossRef]

Hens, P.

Höppe, H. A.

R. Mueller-Mach, G. Mueller, M. R. Krames, H. A. Höppe, F. Stadler, W. Schnick, T. Juestel, and P. Schmidt, Phys. Stat. Sol. A 202, 1727 (2005).
[CrossRef]

Hou, Q.

C. Shen, K. Li, Q. Hou, H. Feng, and X. Dong, IEEE Photon. Technol. Lett. 22, 884 (2010).
[CrossRef]

Hsu, C.-M.

J. Zhu, C.-M. Hsu, Z. Yu, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 10, 1979 (2010).

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).
[CrossRef]

Hung, C.

Ivanov, I. G.

S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
[CrossRef]

Iwaya, M.

S. Kamiyama, M. Iwaya, T. Takeuchi, I. Akasaki, M. Syväjärvi, and R. Yakimova, J. Semicond. 32, 013004(2011).
[CrossRef]

S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
[CrossRef]

Jokinen, V.

L. Sainiemi, V. Jokinen, A. Shah, M. Shpak, S. Aura, P. Suvanto, and S. Franssila, Adv. Mater. 23, 122 (2011).
[CrossRef]

Jokubavicius, V.

Juestel, T.

R. Mueller-Mach, G. Mueller, M. R. Krames, H. A. Höppe, F. Stadler, W. Schnick, T. Juestel, and P. Schmidt, Phys. Stat. Sol. A 202, 1727 (2005).
[CrossRef]

Kaiser, M.

Kamiyama, S.

Y. Ou, V. Jokubavicius, S. Kamiyama, C. Liu, R. W. Berg, M. Linnarsson, R. Yakimova, M. Syväjärvi, and H. Ou, Opt. Mater. Express 1, 1439 (2011).
[CrossRef]

S. Kamiyama, M. Iwaya, T. Takeuchi, I. Akasaki, M. Syväjärvi, and R. Yakimova, J. Semicond. 32, 013004(2011).
[CrossRef]

S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
[CrossRef]

Kang, G.

H. Park, D. Shin, G. Kang, S. Baek, K. Kim, and W. J. Padilla, Adv. Mater. 23, 5796 (2011).
[CrossRef]

Kelchner, K. M.

E. Matioli, S. Brinkley, K. M. Kelchner, S. Nakamura, S. DenBaars, J. Speck, and C. Weisbuch, Appl. Phys. Lett. 98, 251112 (2011).
[CrossRef]

Kim, K.

H. Park, D. Shin, G. Kang, S. Baek, K. Kim, and W. J. Padilla, Adv. Mater. 23, 5796 (2011).
[CrossRef]

Kimoto, T.

S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
[CrossRef]

Kinoshita, H.

S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
[CrossRef]

Krames, M. R.

R. Mueller-Mach, G. Mueller, M. R. Krames, H. A. Höppe, F. Stadler, W. Schnick, T. Juestel, and P. Schmidt, Phys. Stat. Sol. A 202, 1727 (2005).
[CrossRef]

Kumnorkaew, P.

X. Li, R. Song, Y. Ee, P. Kumnorkaew, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, IEEE Photon. J. 3, 489 (2011).
[CrossRef]

Y. K. Ee, P. Kumnorkaew, R. A. Arif, H. Tong, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, Opt. Express 17, 13747 (2009).
[CrossRef]

Y. K. Ee, P. Kumnorkaew, R. A. Arif, H. Tong, H. Zhao, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 15, 1218 (2009).
[CrossRef]

Kuo, H.

Leem, J. W.

Li, K.

C. Shen, K. Li, Q. Hou, H. Feng, and X. Dong, IEEE Photon. Technol. Lett. 22, 884 (2010).
[CrossRef]

Li, X.

X. Li, R. Song, Y. Ee, P. Kumnorkaew, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, IEEE Photon. J. 3, 489 (2011).
[CrossRef]

X. Li, J. Gao, L. Xue, and Y. Han, Adv. Funct. Mater. 20, 259 (2010).
[CrossRef]

Lin, C.

Linnarsson, M.

Liu, C.

Liu, G.

Maeda, T.

S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
[CrossRef]

Matioli, E.

E. Matioli, S. Brinkley, K. M. Kelchner, S. Nakamura, S. DenBaars, J. Speck, and C. Weisbuch, Appl. Phys. Lett. 98, 251112 (2011).
[CrossRef]

McGehee, M.

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).
[CrossRef]

Menkara, H.

Minkara, M.

Monemar, B.

S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
[CrossRef]

Morris, T.

Mueller, G.

R. Mueller-Mach, G. Mueller, M. R. Krames, H. A. Höppe, F. Stadler, W. Schnick, T. Juestel, and P. Schmidt, Phys. Stat. Sol. A 202, 1727 (2005).
[CrossRef]

Mueller-Mach, R.

R. Mueller-Mach, G. Mueller, M. R. Krames, H. A. Höppe, F. Stadler, W. Schnick, T. Juestel, and P. Schmidt, Phys. Stat. Sol. A 202, 1727 (2005).
[CrossRef]

Nakamura, S.

E. Matioli, S. Brinkley, K. M. Kelchner, S. Nakamura, S. DenBaars, J. Speck, and C. Weisbuch, Appl. Phys. Lett. 98, 251112 (2011).
[CrossRef]

Nakamura, Y.

S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
[CrossRef]

Onuma, T.

S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
[CrossRef]

Ou, H.

Ou, Y.

Padilla, W. J.

H. Park, D. Shin, G. Kang, S. Baek, K. Kim, and W. J. Padilla, Adv. Mater. 23, 5796 (2011).
[CrossRef]

Park, H.

H. Park, D. Shin, G. Kang, S. Baek, K. Kim, and W. J. Padilla, Adv. Mater. 23, 5796 (2011).
[CrossRef]

Petersen, P.

Poplawsky, J. D.

Sainiemi, L.

L. Sainiemi, V. Jokinen, A. Shah, M. Shpak, S. Aura, P. Suvanto, and S. Franssila, Adv. Mater. 23, 122 (2011).
[CrossRef]

Schmidt, P.

R. Mueller-Mach, G. Mueller, M. R. Krames, H. A. Höppe, F. Stadler, W. Schnick, T. Juestel, and P. Schmidt, Phys. Stat. Sol. A 202, 1727 (2005).
[CrossRef]

Schnick, W.

R. Mueller-Mach, G. Mueller, M. R. Krames, H. A. Höppe, F. Stadler, W. Schnick, T. Juestel, and P. Schmidt, Phys. Stat. Sol. A 202, 1727 (2005).
[CrossRef]

Shah, A.

L. Sainiemi, V. Jokinen, A. Shah, M. Shpak, S. Aura, P. Suvanto, and S. Franssila, Adv. Mater. 23, 122 (2011).
[CrossRef]

Shen, C.

C. Shen, K. Li, Q. Hou, H. Feng, and X. Dong, IEEE Photon. Technol. Lett. 22, 884 (2010).
[CrossRef]

Sher, C.

Shin, D.

H. Park, D. Shin, G. Kang, S. Baek, K. Kim, and W. J. Padilla, Adv. Mater. 23, 5796 (2011).
[CrossRef]

Shpak, M.

L. Sainiemi, V. Jokinen, A. Shah, M. Shpak, S. Aura, P. Suvanto, and S. Franssila, Adv. Mater. 23, 122 (2011).
[CrossRef]

Song, R.

X. Li, R. Song, Y. Ee, P. Kumnorkaew, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, IEEE Photon. J. 3, 489 (2011).
[CrossRef]

Song, Y. M.

Speck, J.

E. Matioli, S. Brinkley, K. M. Kelchner, S. Nakamura, S. DenBaars, J. Speck, and C. Weisbuch, Appl. Phys. Lett. 98, 251112 (2011).
[CrossRef]

Stadler, F.

R. Mueller-Mach, G. Mueller, M. R. Krames, H. A. Höppe, F. Stadler, W. Schnick, T. Juestel, and P. Schmidt, Phys. Stat. Sol. A 202, 1727 (2005).
[CrossRef]

Suda, J.

S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
[CrossRef]

Summers, C. J.

Suvanto, P.

L. Sainiemi, V. Jokinen, A. Shah, M. Shpak, S. Aura, P. Suvanto, and S. Franssila, Adv. Mater. 23, 122 (2011).
[CrossRef]

Syväjärvi, M.

Takeuchi, T.

S. Kamiyama, M. Iwaya, T. Takeuchi, I. Akasaki, M. Syväjärvi, and R. Yakimova, J. Semicond. 32, 013004(2011).
[CrossRef]

Tansu, N.

H. Zhao, J. Zhang, G. Liu, and N. Tansu, Appl. Phys. 98, 151115 (2011).
[CrossRef]

X. Li, R. Song, Y. Ee, P. Kumnorkaew, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, IEEE Photon. J. 3, 489 (2011).
[CrossRef]

H. Zhao, G. Liu, J. Zhang, J. D. Poplawsky, V. Dierolf, and N. Tansu, Opt. Express 19, A991 (2011).
[CrossRef]

Y. K. Ee, P. Kumnorkaew, R. A. Arif, H. Tong, H. Zhao, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 15, 1218 (2009).
[CrossRef]

Y. K. Ee, P. Kumnorkaew, R. A. Arif, H. Tong, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, Opt. Express 17, 13747 (2009).
[CrossRef]

Tong, H.

Y. K. Ee, P. Kumnorkaew, R. A. Arif, H. Tong, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, Opt. Express 17, 13747 (2009).
[CrossRef]

Y. K. Ee, P. Kumnorkaew, R. A. Arif, H. Tong, H. Zhao, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 15, 1218 (2009).
[CrossRef]

Wagner, B. K.

Wang, C.

Wang, Q.

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).
[CrossRef]

Weisbuch, C.

E. Matioli, S. Brinkley, K. M. Kelchner, S. Nakamura, S. DenBaars, J. Speck, and C. Weisbuch, Appl. Phys. Lett. 98, 251112 (2011).
[CrossRef]

Wellmann, P.

Xu, Y.

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).
[CrossRef]

Xue, L.

X. Li, J. Gao, L. Xue, and Y. Han, Adv. Funct. Mater. 20, 259 (2010).
[CrossRef]

Yakimova, R.

Yeh, C.

Yoshimoto, M.

S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
[CrossRef]

Yu, J. S.

Yu, Z.

J. Zhu, C.-M. Hsu, Z. Yu, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 10, 1979 (2010).

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).
[CrossRef]

Zhang, J.

Zhao, H.

H. Zhao, G. Liu, J. Zhang, J. D. Poplawsky, V. Dierolf, and N. Tansu, Opt. Express 19, A991 (2011).
[CrossRef]

H. Zhao, J. Zhang, G. Liu, and N. Tansu, Appl. Phys. 98, 151115 (2011).
[CrossRef]

Y. K. Ee, P. Kumnorkaew, R. A. Arif, H. Tong, H. Zhao, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 15, 1218 (2009).
[CrossRef]

Zhu, J.

J. Zhu, C.-M. Hsu, Z. Yu, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 10, 1979 (2010).

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).
[CrossRef]

Adv. Funct. Mater. (1)

X. Li, J. Gao, L. Xue, and Y. Han, Adv. Funct. Mater. 20, 259 (2010).
[CrossRef]

Adv. Mater. (2)

L. Sainiemi, V. Jokinen, A. Shah, M. Shpak, S. Aura, P. Suvanto, and S. Franssila, Adv. Mater. 23, 122 (2011).
[CrossRef]

H. Park, D. Shin, G. Kang, S. Baek, K. Kim, and W. J. Padilla, Adv. Mater. 23, 5796 (2011).
[CrossRef]

Appl. Phys. (1)

H. Zhao, J. Zhang, G. Liu, and N. Tansu, Appl. Phys. 98, 151115 (2011).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett. (2)

S. A. Boden and D. M. Bagnall, Appl. Phys. Lett. 93, 133108 (2008).
[CrossRef]

E. Matioli, S. Brinkley, K. M. Kelchner, S. Nakamura, S. DenBaars, J. Speck, and C. Weisbuch, Appl. Phys. Lett. 98, 251112 (2011).
[CrossRef]

IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. (1)

Y. K. Ee, P. Kumnorkaew, R. A. Arif, H. Tong, H. Zhao, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 15, 1218 (2009).
[CrossRef]

IEEE Photon. J. (1)

X. Li, R. Song, Y. Ee, P. Kumnorkaew, J. F. Gilchrist, and N. Tansu, IEEE Photon. J. 3, 489 (2011).
[CrossRef]

IEEE Photon. Technol. Lett. (1)

C. Shen, K. Li, Q. Hou, H. Feng, and X. Dong, IEEE Photon. Technol. Lett. 22, 884 (2010).
[CrossRef]

J. Appl. Phys. (1)

S. Kamiyama, T. Maeda, Y. Nakamura, M. Iwaya, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, T. Furusho, M. Yoshimoto, T. Kimoto, J. Suda, A. Henry, I. G. Ivanov, J. P. Bergman, B. Monemar, T. Onuma, and S. F. Chichibu, J. Appl. Phys. 99, 093108 (2006).
[CrossRef]

J. Semicond. (1)

S. Kamiyama, M. Iwaya, T. Takeuchi, I. Akasaki, M. Syväjärvi, and R. Yakimova, J. Semicond. 32, 013004(2011).
[CrossRef]

Nano Lett. (2)

J. Zhu, Z. Yu, G. F. Burkhard, C.-M. Hsu, S. T. Connor, Y. Xu, Q. Wang, M. McGehee, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 9, 279 (2009).
[CrossRef]

J. Zhu, C.-M. Hsu, Z. Yu, S. Fan, and Y. Cui, Nano Lett. 10, 1979 (2010).

Opt. Express (7)

Opt. Mater. Express (1)

Phys. Stat. Sol. A (1)

R. Mueller-Mach, G. Mueller, M. R. Krames, H. A. Höppe, F. Stadler, W. Schnick, T. Juestel, and P. Schmidt, Phys. Stat. Sol. A 202, 1727 (2005).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1.
Fig. 1.

Schematic illustrations of the pseudoperiodic SiC ARS fabrication process steps: (a) Au film deposition, (b) rapid thermal processing, and (c) RIE and corresponding SEM figures.

Fig. 2.
Fig. 2.

(a) Surface reflectance of the bare and ARS SiC samples measured at near-normal incidence of 6°, inset: photograph of the bare (top half) and ARS SiC (bottom half). Water droplet contact angle measurements on (b) bare SiC (49°) and (c) ARS SiC (98°).

Fig. 3.
Fig. 3.

(a) PL spectra of the bare and ARS SiC measured at 0°. (b) Luminescence enhancement of the SiC at different emission angle after introducing the ARS. Inset: spatial emission patterns for both bare and ARS SiC.

Metrics