Abstract

Mid-infrared photonics in silicon needs low-loss integrated waveguides. While monocrystalline germanium waveguides on silicon have been proposed, experimental realization has not been reported. Here we demonstrate a germanium strip waveguide on a silicon substrate. It is designed for single mode transmission of light in transverse magnetic (TM) polarization generated from quantum cascade lasers at a wavelength of 5.8 μm. The propagation losses were measured with the Fabry–Perot resonance method. The lowest achieved propagation loss is 2.5dB/cm, while the bending loss is measured to be 0.12 dB for a 90° bend with a radius of 115 μm.

© 2012 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. J. Faist, F. Capasso, D. L. Sivco, C. Sirtori, A. L. Hutchinson, and A. Y. Cho, Science 264, 553 (1994).
    [CrossRef]
  2. B. G. Lee, M. A. Belkin, R. Audet, J. MacArthur, L. Diehl, C. Pflügl, F. Capasso, D. C. Oakley, D. Chapman, A. Napoleone, D. Bour, S. Corzine, G. Höfler, and J. Faist, Appl. Phys. Lett. 91, 231101 (2007).
    [CrossRef]
  3. A. Evans, J. S. Yu, J. David, L. Doris, K. Mi, S. Slivken, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 314 (2004).
    [CrossRef]
  4. D. Hofstetter, F. R. Giorgetta, E. Baumann, Q. Yang, C. Manz, and K. Köhler, Appl. Phys. Lett. 93, 221106 (2008).
    [CrossRef]
  5. D. Stanaszek, J. Piotrowski, A. Piotrowski, W. Gawron, Z. Orman, R. Paliwoda, M. Brudnowski, J. Pawluczyk, and M. Pedzinska, Proc. SPIE 7482, 4820M (2009).
    [CrossRef]
  6. R. Voelkel and M. Eisner, Proc. SPIE 4440, 40 (2001).
    [CrossRef]
  7. T. Baehr-Jones, A. Spott, R. Ilic, A. Spott, B. Penkov, W. Asher, and M. Hochberg, Opt. Express 18, 12127 (2010).
    [CrossRef]
  8. I. Paiss, F. Moser, and A. Katzir, Proc. SPIE 1420, 141 (1991).
    [CrossRef]
  9. X. Gai, T. Han, A. Prasad, S. Madden, D.-Y. Choi, R. Wang, D. Bulla, and B. Luther-Davies, Opt. Express 18, 26635 (2010).
    [CrossRef]
  10. G. Z. Mashanovich, M. M. Milošević, M. Nedeljkovic, N. Owens, B. Xiong, E. J. Teo, and Y. Hu, Opt. Express 19, 7112 (2011).
    [CrossRef]
  11. P. Mehta, M. Krishnamurthi, N. Healy, N. F. Baril, J. R. Sparks, P. J. A. Sazio, V. Gopalan, J. V. Badding, and A. C. Peacock, Appl. Phys. Lett. 97, 071117 (2010).
    [CrossRef]
  12. W. S. C. Chang and K. W. Loh, Appl. Opt. 10, 2361 (1971).
    [CrossRef]
  13. S. E. Plunkett, S. Propst, and M. S. Braiman, Appl. Opt. 36, 4055 (1997).
    [CrossRef]
  14. R. A. Soref, S. J. Emelett, and W. R. Buchwald, J. Opt. A 8, 840 (2006).
    [CrossRef]
  15. J. M. Hartmann, A. Abbadie, N. Cherkashin, H. Grampeix, and L. Clavelier, Semicond. Sci. Technol. 24, 055002 (2009).
    [CrossRef]
  16. G. Tittelbach, B. Richter, and W. Karthe, Pure Appl. Opt. 2, 683 (1993).
    [CrossRef]
  17. J. Buus, IEEE J. Quantum Electron. QE-17, 2256 (1981).
    [CrossRef]
  18. G. A. Slack and S. F. Bartram, J. Appl. Phys. 46, 89 (1975).
    [CrossRef]
  19. H. H. Li, J. Phys. Chem. Ref. Data 9, 561 (1980).
    [CrossRef]
  20. P. Del’Haye, A. Schliesser, O. Arcizet, T. Wilken, R. Holzwarth, and T. J. Kippenberg, Nature 450, 1214 (2007).
    [CrossRef]
  21. J. Liu, X. Sun, R. Camacho-Aguilera, L. C. Kimerling, and J. Michel, Opt. Lett. 35, 679 (2010).
    [CrossRef]

2011

2010

2009

D. Stanaszek, J. Piotrowski, A. Piotrowski, W. Gawron, Z. Orman, R. Paliwoda, M. Brudnowski, J. Pawluczyk, and M. Pedzinska, Proc. SPIE 7482, 4820M (2009).
[CrossRef]

J. M. Hartmann, A. Abbadie, N. Cherkashin, H. Grampeix, and L. Clavelier, Semicond. Sci. Technol. 24, 055002 (2009).
[CrossRef]

2008

D. Hofstetter, F. R. Giorgetta, E. Baumann, Q. Yang, C. Manz, and K. Köhler, Appl. Phys. Lett. 93, 221106 (2008).
[CrossRef]

2007

B. G. Lee, M. A. Belkin, R. Audet, J. MacArthur, L. Diehl, C. Pflügl, F. Capasso, D. C. Oakley, D. Chapman, A. Napoleone, D. Bour, S. Corzine, G. Höfler, and J. Faist, Appl. Phys. Lett. 91, 231101 (2007).
[CrossRef]

P. Del’Haye, A. Schliesser, O. Arcizet, T. Wilken, R. Holzwarth, and T. J. Kippenberg, Nature 450, 1214 (2007).
[CrossRef]

2006

R. A. Soref, S. J. Emelett, and W. R. Buchwald, J. Opt. A 8, 840 (2006).
[CrossRef]

2004

A. Evans, J. S. Yu, J. David, L. Doris, K. Mi, S. Slivken, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 314 (2004).
[CrossRef]

2001

R. Voelkel and M. Eisner, Proc. SPIE 4440, 40 (2001).
[CrossRef]

1997

1994

J. Faist, F. Capasso, D. L. Sivco, C. Sirtori, A. L. Hutchinson, and A. Y. Cho, Science 264, 553 (1994).
[CrossRef]

1993

G. Tittelbach, B. Richter, and W. Karthe, Pure Appl. Opt. 2, 683 (1993).
[CrossRef]

1991

I. Paiss, F. Moser, and A. Katzir, Proc. SPIE 1420, 141 (1991).
[CrossRef]

1981

J. Buus, IEEE J. Quantum Electron. QE-17, 2256 (1981).
[CrossRef]

1980

H. H. Li, J. Phys. Chem. Ref. Data 9, 561 (1980).
[CrossRef]

1975

G. A. Slack and S. F. Bartram, J. Appl. Phys. 46, 89 (1975).
[CrossRef]

1971

Abbadie, A.

J. M. Hartmann, A. Abbadie, N. Cherkashin, H. Grampeix, and L. Clavelier, Semicond. Sci. Technol. 24, 055002 (2009).
[CrossRef]

Arcizet, O.

P. Del’Haye, A. Schliesser, O. Arcizet, T. Wilken, R. Holzwarth, and T. J. Kippenberg, Nature 450, 1214 (2007).
[CrossRef]

Asher, W.

Audet, R.

B. G. Lee, M. A. Belkin, R. Audet, J. MacArthur, L. Diehl, C. Pflügl, F. Capasso, D. C. Oakley, D. Chapman, A. Napoleone, D. Bour, S. Corzine, G. Höfler, and J. Faist, Appl. Phys. Lett. 91, 231101 (2007).
[CrossRef]

Badding, J. V.

P. Mehta, M. Krishnamurthi, N. Healy, N. F. Baril, J. R. Sparks, P. J. A. Sazio, V. Gopalan, J. V. Badding, and A. C. Peacock, Appl. Phys. Lett. 97, 071117 (2010).
[CrossRef]

Baehr-Jones, T.

Baril, N. F.

P. Mehta, M. Krishnamurthi, N. Healy, N. F. Baril, J. R. Sparks, P. J. A. Sazio, V. Gopalan, J. V. Badding, and A. C. Peacock, Appl. Phys. Lett. 97, 071117 (2010).
[CrossRef]

Bartram, S. F.

G. A. Slack and S. F. Bartram, J. Appl. Phys. 46, 89 (1975).
[CrossRef]

Baumann, E.

D. Hofstetter, F. R. Giorgetta, E. Baumann, Q. Yang, C. Manz, and K. Köhler, Appl. Phys. Lett. 93, 221106 (2008).
[CrossRef]

Belkin, M. A.

B. G. Lee, M. A. Belkin, R. Audet, J. MacArthur, L. Diehl, C. Pflügl, F. Capasso, D. C. Oakley, D. Chapman, A. Napoleone, D. Bour, S. Corzine, G. Höfler, and J. Faist, Appl. Phys. Lett. 91, 231101 (2007).
[CrossRef]

Bour, D.

B. G. Lee, M. A. Belkin, R. Audet, J. MacArthur, L. Diehl, C. Pflügl, F. Capasso, D. C. Oakley, D. Chapman, A. Napoleone, D. Bour, S. Corzine, G. Höfler, and J. Faist, Appl. Phys. Lett. 91, 231101 (2007).
[CrossRef]

Braiman, M. S.

Brudnowski, M.

D. Stanaszek, J. Piotrowski, A. Piotrowski, W. Gawron, Z. Orman, R. Paliwoda, M. Brudnowski, J. Pawluczyk, and M. Pedzinska, Proc. SPIE 7482, 4820M (2009).
[CrossRef]

Buchwald, W. R.

R. A. Soref, S. J. Emelett, and W. R. Buchwald, J. Opt. A 8, 840 (2006).
[CrossRef]

Bulla, D.

Buus, J.

J. Buus, IEEE J. Quantum Electron. QE-17, 2256 (1981).
[CrossRef]

Camacho-Aguilera, R.

Capasso, F.

B. G. Lee, M. A. Belkin, R. Audet, J. MacArthur, L. Diehl, C. Pflügl, F. Capasso, D. C. Oakley, D. Chapman, A. Napoleone, D. Bour, S. Corzine, G. Höfler, and J. Faist, Appl. Phys. Lett. 91, 231101 (2007).
[CrossRef]

J. Faist, F. Capasso, D. L. Sivco, C. Sirtori, A. L. Hutchinson, and A. Y. Cho, Science 264, 553 (1994).
[CrossRef]

Chang, W. S. C.

Chapman, D.

B. G. Lee, M. A. Belkin, R. Audet, J. MacArthur, L. Diehl, C. Pflügl, F. Capasso, D. C. Oakley, D. Chapman, A. Napoleone, D. Bour, S. Corzine, G. Höfler, and J. Faist, Appl. Phys. Lett. 91, 231101 (2007).
[CrossRef]

Cherkashin, N.

J. M. Hartmann, A. Abbadie, N. Cherkashin, H. Grampeix, and L. Clavelier, Semicond. Sci. Technol. 24, 055002 (2009).
[CrossRef]

Cho, A. Y.

J. Faist, F. Capasso, D. L. Sivco, C. Sirtori, A. L. Hutchinson, and A. Y. Cho, Science 264, 553 (1994).
[CrossRef]

Choi, D.-Y.

Clavelier, L.

J. M. Hartmann, A. Abbadie, N. Cherkashin, H. Grampeix, and L. Clavelier, Semicond. Sci. Technol. 24, 055002 (2009).
[CrossRef]

Corzine, S.

B. G. Lee, M. A. Belkin, R. Audet, J. MacArthur, L. Diehl, C. Pflügl, F. Capasso, D. C. Oakley, D. Chapman, A. Napoleone, D. Bour, S. Corzine, G. Höfler, and J. Faist, Appl. Phys. Lett. 91, 231101 (2007).
[CrossRef]

David, J.

A. Evans, J. S. Yu, J. David, L. Doris, K. Mi, S. Slivken, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 314 (2004).
[CrossRef]

Del’Haye, P.

P. Del’Haye, A. Schliesser, O. Arcizet, T. Wilken, R. Holzwarth, and T. J. Kippenberg, Nature 450, 1214 (2007).
[CrossRef]

Diehl, L.

B. G. Lee, M. A. Belkin, R. Audet, J. MacArthur, L. Diehl, C. Pflügl, F. Capasso, D. C. Oakley, D. Chapman, A. Napoleone, D. Bour, S. Corzine, G. Höfler, and J. Faist, Appl. Phys. Lett. 91, 231101 (2007).
[CrossRef]

Doris, L.

A. Evans, J. S. Yu, J. David, L. Doris, K. Mi, S. Slivken, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 314 (2004).
[CrossRef]

Eisner, M.

R. Voelkel and M. Eisner, Proc. SPIE 4440, 40 (2001).
[CrossRef]

Emelett, S. J.

R. A. Soref, S. J. Emelett, and W. R. Buchwald, J. Opt. A 8, 840 (2006).
[CrossRef]

Evans, A.

A. Evans, J. S. Yu, J. David, L. Doris, K. Mi, S. Slivken, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 314 (2004).
[CrossRef]

Faist, J.

B. G. Lee, M. A. Belkin, R. Audet, J. MacArthur, L. Diehl, C. Pflügl, F. Capasso, D. C. Oakley, D. Chapman, A. Napoleone, D. Bour, S. Corzine, G. Höfler, and J. Faist, Appl. Phys. Lett. 91, 231101 (2007).
[CrossRef]

J. Faist, F. Capasso, D. L. Sivco, C. Sirtori, A. L. Hutchinson, and A. Y. Cho, Science 264, 553 (1994).
[CrossRef]

Gai, X.

Gawron, W.

D. Stanaszek, J. Piotrowski, A. Piotrowski, W. Gawron, Z. Orman, R. Paliwoda, M. Brudnowski, J. Pawluczyk, and M. Pedzinska, Proc. SPIE 7482, 4820M (2009).
[CrossRef]

Giorgetta, F. R.

D. Hofstetter, F. R. Giorgetta, E. Baumann, Q. Yang, C. Manz, and K. Köhler, Appl. Phys. Lett. 93, 221106 (2008).
[CrossRef]

Gopalan, V.

P. Mehta, M. Krishnamurthi, N. Healy, N. F. Baril, J. R. Sparks, P. J. A. Sazio, V. Gopalan, J. V. Badding, and A. C. Peacock, Appl. Phys. Lett. 97, 071117 (2010).
[CrossRef]

Grampeix, H.

J. M. Hartmann, A. Abbadie, N. Cherkashin, H. Grampeix, and L. Clavelier, Semicond. Sci. Technol. 24, 055002 (2009).
[CrossRef]

Han, T.

Hartmann, J. M.

J. M. Hartmann, A. Abbadie, N. Cherkashin, H. Grampeix, and L. Clavelier, Semicond. Sci. Technol. 24, 055002 (2009).
[CrossRef]

Healy, N.

P. Mehta, M. Krishnamurthi, N. Healy, N. F. Baril, J. R. Sparks, P. J. A. Sazio, V. Gopalan, J. V. Badding, and A. C. Peacock, Appl. Phys. Lett. 97, 071117 (2010).
[CrossRef]

Hochberg, M.

Höfler, G.

B. G. Lee, M. A. Belkin, R. Audet, J. MacArthur, L. Diehl, C. Pflügl, F. Capasso, D. C. Oakley, D. Chapman, A. Napoleone, D. Bour, S. Corzine, G. Höfler, and J. Faist, Appl. Phys. Lett. 91, 231101 (2007).
[CrossRef]

Hofstetter, D.

D. Hofstetter, F. R. Giorgetta, E. Baumann, Q. Yang, C. Manz, and K. Köhler, Appl. Phys. Lett. 93, 221106 (2008).
[CrossRef]

Holzwarth, R.

P. Del’Haye, A. Schliesser, O. Arcizet, T. Wilken, R. Holzwarth, and T. J. Kippenberg, Nature 450, 1214 (2007).
[CrossRef]

Hu, Y.

Hutchinson, A. L.

J. Faist, F. Capasso, D. L. Sivco, C. Sirtori, A. L. Hutchinson, and A. Y. Cho, Science 264, 553 (1994).
[CrossRef]

Ilic, R.

Karthe, W.

G. Tittelbach, B. Richter, and W. Karthe, Pure Appl. Opt. 2, 683 (1993).
[CrossRef]

Katzir, A.

I. Paiss, F. Moser, and A. Katzir, Proc. SPIE 1420, 141 (1991).
[CrossRef]

Kimerling, L. C.

Kippenberg, T. J.

P. Del’Haye, A. Schliesser, O. Arcizet, T. Wilken, R. Holzwarth, and T. J. Kippenberg, Nature 450, 1214 (2007).
[CrossRef]

Köhler, K.

D. Hofstetter, F. R. Giorgetta, E. Baumann, Q. Yang, C. Manz, and K. Köhler, Appl. Phys. Lett. 93, 221106 (2008).
[CrossRef]

Krishnamurthi, M.

P. Mehta, M. Krishnamurthi, N. Healy, N. F. Baril, J. R. Sparks, P. J. A. Sazio, V. Gopalan, J. V. Badding, and A. C. Peacock, Appl. Phys. Lett. 97, 071117 (2010).
[CrossRef]

Lee, B. G.

B. G. Lee, M. A. Belkin, R. Audet, J. MacArthur, L. Diehl, C. Pflügl, F. Capasso, D. C. Oakley, D. Chapman, A. Napoleone, D. Bour, S. Corzine, G. Höfler, and J. Faist, Appl. Phys. Lett. 91, 231101 (2007).
[CrossRef]

Li, H. H.

H. H. Li, J. Phys. Chem. Ref. Data 9, 561 (1980).
[CrossRef]

Liu, J.

Loh, K. W.

Luther-Davies, B.

MacArthur, J.

B. G. Lee, M. A. Belkin, R. Audet, J. MacArthur, L. Diehl, C. Pflügl, F. Capasso, D. C. Oakley, D. Chapman, A. Napoleone, D. Bour, S. Corzine, G. Höfler, and J. Faist, Appl. Phys. Lett. 91, 231101 (2007).
[CrossRef]

Madden, S.

Manz, C.

D. Hofstetter, F. R. Giorgetta, E. Baumann, Q. Yang, C. Manz, and K. Köhler, Appl. Phys. Lett. 93, 221106 (2008).
[CrossRef]

Mashanovich, G. Z.

Mehta, P.

P. Mehta, M. Krishnamurthi, N. Healy, N. F. Baril, J. R. Sparks, P. J. A. Sazio, V. Gopalan, J. V. Badding, and A. C. Peacock, Appl. Phys. Lett. 97, 071117 (2010).
[CrossRef]

Mi, K.

A. Evans, J. S. Yu, J. David, L. Doris, K. Mi, S. Slivken, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 314 (2004).
[CrossRef]

Michel, J.

Miloševic, M. M.

Moser, F.

I. Paiss, F. Moser, and A. Katzir, Proc. SPIE 1420, 141 (1991).
[CrossRef]

Napoleone, A.

B. G. Lee, M. A. Belkin, R. Audet, J. MacArthur, L. Diehl, C. Pflügl, F. Capasso, D. C. Oakley, D. Chapman, A. Napoleone, D. Bour, S. Corzine, G. Höfler, and J. Faist, Appl. Phys. Lett. 91, 231101 (2007).
[CrossRef]

Nedeljkovic, M.

Oakley, D. C.

B. G. Lee, M. A. Belkin, R. Audet, J. MacArthur, L. Diehl, C. Pflügl, F. Capasso, D. C. Oakley, D. Chapman, A. Napoleone, D. Bour, S. Corzine, G. Höfler, and J. Faist, Appl. Phys. Lett. 91, 231101 (2007).
[CrossRef]

Orman, Z.

D. Stanaszek, J. Piotrowski, A. Piotrowski, W. Gawron, Z. Orman, R. Paliwoda, M. Brudnowski, J. Pawluczyk, and M. Pedzinska, Proc. SPIE 7482, 4820M (2009).
[CrossRef]

Owens, N.

Paiss, I.

I. Paiss, F. Moser, and A. Katzir, Proc. SPIE 1420, 141 (1991).
[CrossRef]

Paliwoda, R.

D. Stanaszek, J. Piotrowski, A. Piotrowski, W. Gawron, Z. Orman, R. Paliwoda, M. Brudnowski, J. Pawluczyk, and M. Pedzinska, Proc. SPIE 7482, 4820M (2009).
[CrossRef]

Pawluczyk, J.

D. Stanaszek, J. Piotrowski, A. Piotrowski, W. Gawron, Z. Orman, R. Paliwoda, M. Brudnowski, J. Pawluczyk, and M. Pedzinska, Proc. SPIE 7482, 4820M (2009).
[CrossRef]

Peacock, A. C.

P. Mehta, M. Krishnamurthi, N. Healy, N. F. Baril, J. R. Sparks, P. J. A. Sazio, V. Gopalan, J. V. Badding, and A. C. Peacock, Appl. Phys. Lett. 97, 071117 (2010).
[CrossRef]

Pedzinska, M.

D. Stanaszek, J. Piotrowski, A. Piotrowski, W. Gawron, Z. Orman, R. Paliwoda, M. Brudnowski, J. Pawluczyk, and M. Pedzinska, Proc. SPIE 7482, 4820M (2009).
[CrossRef]

Penkov, B.

Pflügl, C.

B. G. Lee, M. A. Belkin, R. Audet, J. MacArthur, L. Diehl, C. Pflügl, F. Capasso, D. C. Oakley, D. Chapman, A. Napoleone, D. Bour, S. Corzine, G. Höfler, and J. Faist, Appl. Phys. Lett. 91, 231101 (2007).
[CrossRef]

Piotrowski, A.

D. Stanaszek, J. Piotrowski, A. Piotrowski, W. Gawron, Z. Orman, R. Paliwoda, M. Brudnowski, J. Pawluczyk, and M. Pedzinska, Proc. SPIE 7482, 4820M (2009).
[CrossRef]

Piotrowski, J.

D. Stanaszek, J. Piotrowski, A. Piotrowski, W. Gawron, Z. Orman, R. Paliwoda, M. Brudnowski, J. Pawluczyk, and M. Pedzinska, Proc. SPIE 7482, 4820M (2009).
[CrossRef]

Plunkett, S. E.

Prasad, A.

Propst, S.

Razeghi, M.

A. Evans, J. S. Yu, J. David, L. Doris, K. Mi, S. Slivken, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 314 (2004).
[CrossRef]

Richter, B.

G. Tittelbach, B. Richter, and W. Karthe, Pure Appl. Opt. 2, 683 (1993).
[CrossRef]

Sazio, P. J. A.

P. Mehta, M. Krishnamurthi, N. Healy, N. F. Baril, J. R. Sparks, P. J. A. Sazio, V. Gopalan, J. V. Badding, and A. C. Peacock, Appl. Phys. Lett. 97, 071117 (2010).
[CrossRef]

Schliesser, A.

P. Del’Haye, A. Schliesser, O. Arcizet, T. Wilken, R. Holzwarth, and T. J. Kippenberg, Nature 450, 1214 (2007).
[CrossRef]

Sirtori, C.

J. Faist, F. Capasso, D. L. Sivco, C. Sirtori, A. L. Hutchinson, and A. Y. Cho, Science 264, 553 (1994).
[CrossRef]

Sivco, D. L.

J. Faist, F. Capasso, D. L. Sivco, C. Sirtori, A. L. Hutchinson, and A. Y. Cho, Science 264, 553 (1994).
[CrossRef]

Slack, G. A.

G. A. Slack and S. F. Bartram, J. Appl. Phys. 46, 89 (1975).
[CrossRef]

Slivken, S.

A. Evans, J. S. Yu, J. David, L. Doris, K. Mi, S. Slivken, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 314 (2004).
[CrossRef]

Soref, R. A.

R. A. Soref, S. J. Emelett, and W. R. Buchwald, J. Opt. A 8, 840 (2006).
[CrossRef]

Sparks, J. R.

P. Mehta, M. Krishnamurthi, N. Healy, N. F. Baril, J. R. Sparks, P. J. A. Sazio, V. Gopalan, J. V. Badding, and A. C. Peacock, Appl. Phys. Lett. 97, 071117 (2010).
[CrossRef]

Spott, A.

Stanaszek, D.

D. Stanaszek, J. Piotrowski, A. Piotrowski, W. Gawron, Z. Orman, R. Paliwoda, M. Brudnowski, J. Pawluczyk, and M. Pedzinska, Proc. SPIE 7482, 4820M (2009).
[CrossRef]

Sun, X.

Teo, E. J.

Tittelbach, G.

G. Tittelbach, B. Richter, and W. Karthe, Pure Appl. Opt. 2, 683 (1993).
[CrossRef]

Voelkel, R.

R. Voelkel and M. Eisner, Proc. SPIE 4440, 40 (2001).
[CrossRef]

Wang, R.

Wilken, T.

P. Del’Haye, A. Schliesser, O. Arcizet, T. Wilken, R. Holzwarth, and T. J. Kippenberg, Nature 450, 1214 (2007).
[CrossRef]

Xiong, B.

Yang, Q.

D. Hofstetter, F. R. Giorgetta, E. Baumann, Q. Yang, C. Manz, and K. Köhler, Appl. Phys. Lett. 93, 221106 (2008).
[CrossRef]

Yu, J. S.

A. Evans, J. S. Yu, J. David, L. Doris, K. Mi, S. Slivken, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 314 (2004).
[CrossRef]

Appl. Opt.

Appl. Phys. Lett.

B. G. Lee, M. A. Belkin, R. Audet, J. MacArthur, L. Diehl, C. Pflügl, F. Capasso, D. C. Oakley, D. Chapman, A. Napoleone, D. Bour, S. Corzine, G. Höfler, and J. Faist, Appl. Phys. Lett. 91, 231101 (2007).
[CrossRef]

A. Evans, J. S. Yu, J. David, L. Doris, K. Mi, S. Slivken, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 84, 314 (2004).
[CrossRef]

D. Hofstetter, F. R. Giorgetta, E. Baumann, Q. Yang, C. Manz, and K. Köhler, Appl. Phys. Lett. 93, 221106 (2008).
[CrossRef]

P. Mehta, M. Krishnamurthi, N. Healy, N. F. Baril, J. R. Sparks, P. J. A. Sazio, V. Gopalan, J. V. Badding, and A. C. Peacock, Appl. Phys. Lett. 97, 071117 (2010).
[CrossRef]

IEEE J. Quantum Electron.

J. Buus, IEEE J. Quantum Electron. QE-17, 2256 (1981).
[CrossRef]

J. Appl. Phys.

G. A. Slack and S. F. Bartram, J. Appl. Phys. 46, 89 (1975).
[CrossRef]

J. Opt. A

R. A. Soref, S. J. Emelett, and W. R. Buchwald, J. Opt. A 8, 840 (2006).
[CrossRef]

J. Phys. Chem. Ref. Data

H. H. Li, J. Phys. Chem. Ref. Data 9, 561 (1980).
[CrossRef]

Nature

P. Del’Haye, A. Schliesser, O. Arcizet, T. Wilken, R. Holzwarth, and T. J. Kippenberg, Nature 450, 1214 (2007).
[CrossRef]

Opt. Express

Opt. Lett.

Proc. SPIE

I. Paiss, F. Moser, and A. Katzir, Proc. SPIE 1420, 141 (1991).
[CrossRef]

D. Stanaszek, J. Piotrowski, A. Piotrowski, W. Gawron, Z. Orman, R. Paliwoda, M. Brudnowski, J. Pawluczyk, and M. Pedzinska, Proc. SPIE 7482, 4820M (2009).
[CrossRef]

R. Voelkel and M. Eisner, Proc. SPIE 4440, 40 (2001).
[CrossRef]

Pure Appl. Opt.

G. Tittelbach, B. Richter, and W. Karthe, Pure Appl. Opt. 2, 683 (1993).
[CrossRef]

Science

J. Faist, F. Capasso, D. L. Sivco, C. Sirtori, A. L. Hutchinson, and A. Y. Cho, Science 264, 553 (1994).
[CrossRef]

Semicond. Sci. Technol.

J. M. Hartmann, A. Abbadie, N. Cherkashin, H. Grampeix, and L. Clavelier, Semicond. Sci. Technol. 24, 055002 (2009).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (6)

Fig. 1.
Fig. 1.

Scanning electron microscopy image of the waveguide: the coupling part is 15 μm wide, and the narrower part is 2.9 μm wide. It is made from a 2 μm thick monocrystalline germanium on silicon. The inset is the cross-section in the straight section.

Fig. 2.
Fig. 2.

Experimental setup: light is coupled via a f/1 doublet into the waveguide comprising a 90° bend. It is collected via a pair of f/1 off axis parabolic mirrors into an MCT detector.

Fig. 3.
Fig. 3.

Trace of the F-P resonance: the transmission intensity oscillates during temperature scanning. The fringe contrast Pmin/Pmax of 0.42 corresponds to the loss of 2.5dB/cm for the waveguide length of 7.75 mm.

Fig. 4.
Fig. 4.

Oscillating frequencies of fringes from different waveguide lengths: longer waveguides yield higher oscillating frequencies during temperature scanning. The measurement result shows a good agreement with simulations.

Fig. 5.
Fig. 5.

Transmission and waveguide lengths: the transmitted power is measured for eight waveguides with lengths from 7.7 to 14.2 mm. The propagation loss of 3.6dB/cm reconfirmed the measurement result by the F-P resonance method.

Fig. 6.
Fig. 6.

Bending loss measurement: keeping the waveguide length at 8.5 mm, 16 waveguides with four different numbers of bends were measured. As the bend number increased, the transmission loss became higher by 0.12 dB (2.8%) per 90° bend, which has radius of 115 μm.

Equations (1)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

αL=log(R1+Pmin/Pmax1Pmin/Pmax),

Metrics