Abstract

A micro-bimorph cantilever with self-aligned nanotips is monolithically integrated with a photonic crystal based device using optical and deep UV lithography techniques. Upon electrostatic actuation, the dielectric nanotips perturb the optical field, providing electromechano-optical modulation of light. Static tuning of the optical transmission spectra by more than 600 pm is measured with a sub-1 V drive voltage, resulting in a modulation as high as 21 dB. The observed strong electromechano-optical effect may find application in power efficient devices for optical communication networks, such as wavelength routing elements.

© 2012 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. H. Altug, D. Englund, and J. Vuckovic, Nat. Phys. 2, 484 (2006).
    [CrossRef]
  2. M. Lee and P. M. Fauchet, Opt. Express 15, 4530 (2007).
    [CrossRef]
  3. H. M. H. Chong and R. M. DeLaRue, IEEE Photon. Technol. Lett. 16, 1528 (2004).
    [CrossRef]
  4. I. Fushman, E. Waks, D. Englund, N. Stoltz, P. Petroff, and J. Vuckovic, Appl. Phys. Lett. 90, 091118 (2007).
    [CrossRef]
  5. B. Wang, M. A Dündar, A. Y. Silov, R. Nötzel, F. Karouta, S. He, and R. W. Van der Heijden, Opt. Lett. 35, 2603 (2010).
    [CrossRef]
  6. X. Chew, G. Zhou, F. S. Chau, J. Deng, X. Tang, and Y. C. Loke, Opt. Lett. 35, 2517 (2010).
    [CrossRef]
  7. W. C. L. Hopman, K. O. van der Werf, A. J. F. Hollink, W. Bogaerts, V. Subramaniam, and R. M. de Ridder, Opt. Express 14, 8745 (2006).
    [CrossRef]
  8. S. Mujumdar, J. Opt. 12, 035001 (2010).
    [CrossRef]
  9. F. Intonti, S. Vignolini, F. Riboli, A. Vinattieri, D. S. Wiersma, M. Colocci, L. Balet, C. Monat, C. Zinoni, L. H. Li, R. Houdré, M. Francardi, A. Gerardino, A. Fiore, and M. Gurioli, Phys. Rev. B 78, 041401 (2008).
    [CrossRef]
  10. A. F. Koenderink, M. Kafesaki, B. C. Buchler, and V. Sandoghdar, Phys. Rev. Lett. 95, 153904 (2005).
    [CrossRef]
  11. S. Mujumdar, A. F. Koenderink, T. Sünner, B. C. Buchler, M. Kamp, A. Forchel, and V. Sandoghdar, Opt. Express 15, 17214 (2007).
    [CrossRef]
  12. L. J. Kauppinen, S. M. C. Abdulla, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, G. J. M. Krijnen, M. Pollnau, and R. M. de Ridder, Opt. Lett. 36, 1047 (2011).
    [CrossRef]
  13. S. M. C. Abdulla, L. J Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, J. W. Berenschot, H. V. Jansen, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, Opt. Express 19, 15864 (2011).
    [CrossRef]
  14. S. M. C Abdulla, L. J. Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 21, 125010 (2011).
    [CrossRef]
  15. S. M. C. Abdulla, H. Yagubizade, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 22, 035014 (2012).
    [CrossRef]
  16. S. Fan, P. R. Villeneuve, J. D. Joannopoulos, and H. A. Haus, Opt. Express 3, 4 (1998).
    [CrossRef]
  17. L. J. Kauppinen, “Compact integrated optical devices for optical sensor and switching applications,” Thesis (University of Twente, 2010), http://dx.doi.org/10.3990/1.9789036530880 .
    [CrossRef]
  18. O. V. Ivanova, R. Stoffer, L. Kauppinen, and M. Hammer, in Proceedings of the Progress in Electromagnetics Research Symposium (Electromagnetics Academy, 2009), pp. 1038–1042.
  19. P. Dumon, W. Bogaerts, R. Baets, J. M. Fedeli, and L. Fulbert, Electron. Lett. 45, 581 (2009).
    [CrossRef]
  20. S. M. C. Abdulla, L. J. Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 21, 0740041 (2011).
    [CrossRef]
  21. D. Taillaert, F. Van laere, M. Ayre, W. Bogaerts, D. Van thourhout, P. Bienstman, and R. Baets, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 6071 (2006).
    [CrossRef]

2012

S. M. C. Abdulla, H. Yagubizade, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 22, 035014 (2012).
[CrossRef]

2011

S. M. C Abdulla, L. J. Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 21, 125010 (2011).
[CrossRef]

S. M. C. Abdulla, L. J. Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 21, 0740041 (2011).
[CrossRef]

L. J. Kauppinen, S. M. C. Abdulla, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, G. J. M. Krijnen, M. Pollnau, and R. M. de Ridder, Opt. Lett. 36, 1047 (2011).
[CrossRef]

S. M. C. Abdulla, L. J Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, J. W. Berenschot, H. V. Jansen, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, Opt. Express 19, 15864 (2011).
[CrossRef]

2010

2009

P. Dumon, W. Bogaerts, R. Baets, J. M. Fedeli, and L. Fulbert, Electron. Lett. 45, 581 (2009).
[CrossRef]

2008

F. Intonti, S. Vignolini, F. Riboli, A. Vinattieri, D. S. Wiersma, M. Colocci, L. Balet, C. Monat, C. Zinoni, L. H. Li, R. Houdré, M. Francardi, A. Gerardino, A. Fiore, and M. Gurioli, Phys. Rev. B 78, 041401 (2008).
[CrossRef]

2007

2006

D. Taillaert, F. Van laere, M. Ayre, W. Bogaerts, D. Van thourhout, P. Bienstman, and R. Baets, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 6071 (2006).
[CrossRef]

H. Altug, D. Englund, and J. Vuckovic, Nat. Phys. 2, 484 (2006).
[CrossRef]

W. C. L. Hopman, K. O. van der Werf, A. J. F. Hollink, W. Bogaerts, V. Subramaniam, and R. M. de Ridder, Opt. Express 14, 8745 (2006).
[CrossRef]

2005

A. F. Koenderink, M. Kafesaki, B. C. Buchler, and V. Sandoghdar, Phys. Rev. Lett. 95, 153904 (2005).
[CrossRef]

2004

H. M. H. Chong and R. M. DeLaRue, IEEE Photon. Technol. Lett. 16, 1528 (2004).
[CrossRef]

1998

Abdulla, S. M. C

S. M. C Abdulla, L. J. Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 21, 125010 (2011).
[CrossRef]

Abdulla, S. M. C.

S. M. C. Abdulla, H. Yagubizade, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 22, 035014 (2012).
[CrossRef]

L. J. Kauppinen, S. M. C. Abdulla, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, G. J. M. Krijnen, M. Pollnau, and R. M. de Ridder, Opt. Lett. 36, 1047 (2011).
[CrossRef]

S. M. C. Abdulla, L. J Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, J. W. Berenschot, H. V. Jansen, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, Opt. Express 19, 15864 (2011).
[CrossRef]

S. M. C. Abdulla, L. J. Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 21, 0740041 (2011).
[CrossRef]

Altug, H.

H. Altug, D. Englund, and J. Vuckovic, Nat. Phys. 2, 484 (2006).
[CrossRef]

Ayre, M.

D. Taillaert, F. Van laere, M. Ayre, W. Bogaerts, D. Van thourhout, P. Bienstman, and R. Baets, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 6071 (2006).
[CrossRef]

Baets, R.

P. Dumon, W. Bogaerts, R. Baets, J. M. Fedeli, and L. Fulbert, Electron. Lett. 45, 581 (2009).
[CrossRef]

D. Taillaert, F. Van laere, M. Ayre, W. Bogaerts, D. Van thourhout, P. Bienstman, and R. Baets, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 6071 (2006).
[CrossRef]

Balet, L.

F. Intonti, S. Vignolini, F. Riboli, A. Vinattieri, D. S. Wiersma, M. Colocci, L. Balet, C. Monat, C. Zinoni, L. H. Li, R. Houdré, M. Francardi, A. Gerardino, A. Fiore, and M. Gurioli, Phys. Rev. B 78, 041401 (2008).
[CrossRef]

Berenschot, E.

S. M. C. Abdulla, L. J. Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 21, 0740041 (2011).
[CrossRef]

S. M. C Abdulla, L. J. Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 21, 125010 (2011).
[CrossRef]

L. J. Kauppinen, S. M. C. Abdulla, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, G. J. M. Krijnen, M. Pollnau, and R. M. de Ridder, Opt. Lett. 36, 1047 (2011).
[CrossRef]

Berenschot, J. W.

Bienstman, P.

D. Taillaert, F. Van laere, M. Ayre, W. Bogaerts, D. Van thourhout, P. Bienstman, and R. Baets, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 6071 (2006).
[CrossRef]

Bogaerts, W.

P. Dumon, W. Bogaerts, R. Baets, J. M. Fedeli, and L. Fulbert, Electron. Lett. 45, 581 (2009).
[CrossRef]

D. Taillaert, F. Van laere, M. Ayre, W. Bogaerts, D. Van thourhout, P. Bienstman, and R. Baets, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 6071 (2006).
[CrossRef]

W. C. L. Hopman, K. O. van der Werf, A. J. F. Hollink, W. Bogaerts, V. Subramaniam, and R. M. de Ridder, Opt. Express 14, 8745 (2006).
[CrossRef]

Buchler, B. C.

S. Mujumdar, A. F. Koenderink, T. Sünner, B. C. Buchler, M. Kamp, A. Forchel, and V. Sandoghdar, Opt. Express 15, 17214 (2007).
[CrossRef]

A. F. Koenderink, M. Kafesaki, B. C. Buchler, and V. Sandoghdar, Phys. Rev. Lett. 95, 153904 (2005).
[CrossRef]

Chau, F. S.

Chew, X.

Chong, H. M. H.

H. M. H. Chong and R. M. DeLaRue, IEEE Photon. Technol. Lett. 16, 1528 (2004).
[CrossRef]

Colocci, M.

F. Intonti, S. Vignolini, F. Riboli, A. Vinattieri, D. S. Wiersma, M. Colocci, L. Balet, C. Monat, C. Zinoni, L. H. Li, R. Houdré, M. Francardi, A. Gerardino, A. Fiore, and M. Gurioli, Phys. Rev. B 78, 041401 (2008).
[CrossRef]

de Boer, M. J.

S. M. C. Abdulla, L. J. Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 21, 0740041 (2011).
[CrossRef]

S. M. C. Abdulla, L. J Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, J. W. Berenschot, H. V. Jansen, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, Opt. Express 19, 15864 (2011).
[CrossRef]

S. M. C Abdulla, L. J. Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 21, 125010 (2011).
[CrossRef]

L. J. Kauppinen, S. M. C. Abdulla, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, G. J. M. Krijnen, M. Pollnau, and R. M. de Ridder, Opt. Lett. 36, 1047 (2011).
[CrossRef]

de Ridder, R. M.

DeLaRue, R. M.

H. M. H. Chong and R. M. DeLaRue, IEEE Photon. Technol. Lett. 16, 1528 (2004).
[CrossRef]

Deng, J.

Dijkstra, M.

L. J. Kauppinen, S. M. C. Abdulla, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, G. J. M. Krijnen, M. Pollnau, and R. M. de Ridder, Opt. Lett. 36, 1047 (2011).
[CrossRef]

S. M. C. Abdulla, L. J Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, J. W. Berenschot, H. V. Jansen, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, Opt. Express 19, 15864 (2011).
[CrossRef]

S. M. C Abdulla, L. J. Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 21, 125010 (2011).
[CrossRef]

S. M. C. Abdulla, L. J. Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 21, 0740041 (2011).
[CrossRef]

Dumon, P.

P. Dumon, W. Bogaerts, R. Baets, J. M. Fedeli, and L. Fulbert, Electron. Lett. 45, 581 (2009).
[CrossRef]

Dündar, M. A

Englund, D.

I. Fushman, E. Waks, D. Englund, N. Stoltz, P. Petroff, and J. Vuckovic, Appl. Phys. Lett. 90, 091118 (2007).
[CrossRef]

H. Altug, D. Englund, and J. Vuckovic, Nat. Phys. 2, 484 (2006).
[CrossRef]

Fan, S.

Fauchet, P. M.

Fedeli, J. M.

P. Dumon, W. Bogaerts, R. Baets, J. M. Fedeli, and L. Fulbert, Electron. Lett. 45, 581 (2009).
[CrossRef]

Fiore, A.

F. Intonti, S. Vignolini, F. Riboli, A. Vinattieri, D. S. Wiersma, M. Colocci, L. Balet, C. Monat, C. Zinoni, L. H. Li, R. Houdré, M. Francardi, A. Gerardino, A. Fiore, and M. Gurioli, Phys. Rev. B 78, 041401 (2008).
[CrossRef]

Forchel, A.

Francardi, M.

F. Intonti, S. Vignolini, F. Riboli, A. Vinattieri, D. S. Wiersma, M. Colocci, L. Balet, C. Monat, C. Zinoni, L. H. Li, R. Houdré, M. Francardi, A. Gerardino, A. Fiore, and M. Gurioli, Phys. Rev. B 78, 041401 (2008).
[CrossRef]

Fulbert, L.

P. Dumon, W. Bogaerts, R. Baets, J. M. Fedeli, and L. Fulbert, Electron. Lett. 45, 581 (2009).
[CrossRef]

Fushman, I.

I. Fushman, E. Waks, D. Englund, N. Stoltz, P. Petroff, and J. Vuckovic, Appl. Phys. Lett. 90, 091118 (2007).
[CrossRef]

Gerardino, A.

F. Intonti, S. Vignolini, F. Riboli, A. Vinattieri, D. S. Wiersma, M. Colocci, L. Balet, C. Monat, C. Zinoni, L. H. Li, R. Houdré, M. Francardi, A. Gerardino, A. Fiore, and M. Gurioli, Phys. Rev. B 78, 041401 (2008).
[CrossRef]

Gurioli, M.

F. Intonti, S. Vignolini, F. Riboli, A. Vinattieri, D. S. Wiersma, M. Colocci, L. Balet, C. Monat, C. Zinoni, L. H. Li, R. Houdré, M. Francardi, A. Gerardino, A. Fiore, and M. Gurioli, Phys. Rev. B 78, 041401 (2008).
[CrossRef]

Hammer, M.

O. V. Ivanova, R. Stoffer, L. Kauppinen, and M. Hammer, in Proceedings of the Progress in Electromagnetics Research Symposium (Electromagnetics Academy, 2009), pp. 1038–1042.

Haus, H. A.

He, S.

Hollink, A. J. F.

Hopman, W. C. L.

Houdré, R.

F. Intonti, S. Vignolini, F. Riboli, A. Vinattieri, D. S. Wiersma, M. Colocci, L. Balet, C. Monat, C. Zinoni, L. H. Li, R. Houdré, M. Francardi, A. Gerardino, A. Fiore, and M. Gurioli, Phys. Rev. B 78, 041401 (2008).
[CrossRef]

Intonti, F.

F. Intonti, S. Vignolini, F. Riboli, A. Vinattieri, D. S. Wiersma, M. Colocci, L. Balet, C. Monat, C. Zinoni, L. H. Li, R. Houdré, M. Francardi, A. Gerardino, A. Fiore, and M. Gurioli, Phys. Rev. B 78, 041401 (2008).
[CrossRef]

Ivanova, O. V.

O. V. Ivanova, R. Stoffer, L. Kauppinen, and M. Hammer, in Proceedings of the Progress in Electromagnetics Research Symposium (Electromagnetics Academy, 2009), pp. 1038–1042.

Jansen, H. V.

Joannopoulos, J. D.

Kafesaki, M.

A. F. Koenderink, M. Kafesaki, B. C. Buchler, and V. Sandoghdar, Phys. Rev. Lett. 95, 153904 (2005).
[CrossRef]

Kamp, M.

Karouta, F.

Kauppinen, L.

O. V. Ivanova, R. Stoffer, L. Kauppinen, and M. Hammer, in Proceedings of the Progress in Electromagnetics Research Symposium (Electromagnetics Academy, 2009), pp. 1038–1042.

Kauppinen, L. J

Kauppinen, L. J.

S. M. C Abdulla, L. J. Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 21, 125010 (2011).
[CrossRef]

S. M. C. Abdulla, L. J. Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 21, 0740041 (2011).
[CrossRef]

L. J. Kauppinen, S. M. C. Abdulla, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, G. J. M. Krijnen, M. Pollnau, and R. M. de Ridder, Opt. Lett. 36, 1047 (2011).
[CrossRef]

L. J. Kauppinen, “Compact integrated optical devices for optical sensor and switching applications,” Thesis (University of Twente, 2010), http://dx.doi.org/10.3990/1.9789036530880 .
[CrossRef]

Koenderink, A. F.

S. Mujumdar, A. F. Koenderink, T. Sünner, B. C. Buchler, M. Kamp, A. Forchel, and V. Sandoghdar, Opt. Express 15, 17214 (2007).
[CrossRef]

A. F. Koenderink, M. Kafesaki, B. C. Buchler, and V. Sandoghdar, Phys. Rev. Lett. 95, 153904 (2005).
[CrossRef]

Krijnen, G. J. M.

S. M. C. Abdulla, H. Yagubizade, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 22, 035014 (2012).
[CrossRef]

L. J. Kauppinen, S. M. C. Abdulla, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, G. J. M. Krijnen, M. Pollnau, and R. M. de Ridder, Opt. Lett. 36, 1047 (2011).
[CrossRef]

S. M. C Abdulla, L. J. Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 21, 125010 (2011).
[CrossRef]

S. M. C. Abdulla, L. J Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, J. W. Berenschot, H. V. Jansen, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, Opt. Express 19, 15864 (2011).
[CrossRef]

S. M. C. Abdulla, L. J. Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 21, 0740041 (2011).
[CrossRef]

Lee, M.

Li, L. H.

F. Intonti, S. Vignolini, F. Riboli, A. Vinattieri, D. S. Wiersma, M. Colocci, L. Balet, C. Monat, C. Zinoni, L. H. Li, R. Houdré, M. Francardi, A. Gerardino, A. Fiore, and M. Gurioli, Phys. Rev. B 78, 041401 (2008).
[CrossRef]

Loke, Y. C.

Monat, C.

F. Intonti, S. Vignolini, F. Riboli, A. Vinattieri, D. S. Wiersma, M. Colocci, L. Balet, C. Monat, C. Zinoni, L. H. Li, R. Houdré, M. Francardi, A. Gerardino, A. Fiore, and M. Gurioli, Phys. Rev. B 78, 041401 (2008).
[CrossRef]

Mujumdar, S.

Nötzel, R.

Petroff, P.

I. Fushman, E. Waks, D. Englund, N. Stoltz, P. Petroff, and J. Vuckovic, Appl. Phys. Lett. 90, 091118 (2007).
[CrossRef]

Pollnau, M.

Riboli, F.

F. Intonti, S. Vignolini, F. Riboli, A. Vinattieri, D. S. Wiersma, M. Colocci, L. Balet, C. Monat, C. Zinoni, L. H. Li, R. Houdré, M. Francardi, A. Gerardino, A. Fiore, and M. Gurioli, Phys. Rev. B 78, 041401 (2008).
[CrossRef]

Sandoghdar, V.

S. Mujumdar, A. F. Koenderink, T. Sünner, B. C. Buchler, M. Kamp, A. Forchel, and V. Sandoghdar, Opt. Express 15, 17214 (2007).
[CrossRef]

A. F. Koenderink, M. Kafesaki, B. C. Buchler, and V. Sandoghdar, Phys. Rev. Lett. 95, 153904 (2005).
[CrossRef]

Silov, A. Y.

Stoffer, R.

O. V. Ivanova, R. Stoffer, L. Kauppinen, and M. Hammer, in Proceedings of the Progress in Electromagnetics Research Symposium (Electromagnetics Academy, 2009), pp. 1038–1042.

Stoltz, N.

I. Fushman, E. Waks, D. Englund, N. Stoltz, P. Petroff, and J. Vuckovic, Appl. Phys. Lett. 90, 091118 (2007).
[CrossRef]

Subramaniam, V.

Sünner, T.

Taillaert, D.

D. Taillaert, F. Van laere, M. Ayre, W. Bogaerts, D. Van thourhout, P. Bienstman, and R. Baets, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 6071 (2006).
[CrossRef]

Tang, X.

Van der Heijden, R. W.

van der Werf, K. O.

Van laere, F.

D. Taillaert, F. Van laere, M. Ayre, W. Bogaerts, D. Van thourhout, P. Bienstman, and R. Baets, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 6071 (2006).
[CrossRef]

Van thourhout, D.

D. Taillaert, F. Van laere, M. Ayre, W. Bogaerts, D. Van thourhout, P. Bienstman, and R. Baets, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 6071 (2006).
[CrossRef]

Vignolini, S.

F. Intonti, S. Vignolini, F. Riboli, A. Vinattieri, D. S. Wiersma, M. Colocci, L. Balet, C. Monat, C. Zinoni, L. H. Li, R. Houdré, M. Francardi, A. Gerardino, A. Fiore, and M. Gurioli, Phys. Rev. B 78, 041401 (2008).
[CrossRef]

Villeneuve, P. R.

Vinattieri, A.

F. Intonti, S. Vignolini, F. Riboli, A. Vinattieri, D. S. Wiersma, M. Colocci, L. Balet, C. Monat, C. Zinoni, L. H. Li, R. Houdré, M. Francardi, A. Gerardino, A. Fiore, and M. Gurioli, Phys. Rev. B 78, 041401 (2008).
[CrossRef]

Vuckovic, J.

I. Fushman, E. Waks, D. Englund, N. Stoltz, P. Petroff, and J. Vuckovic, Appl. Phys. Lett. 90, 091118 (2007).
[CrossRef]

H. Altug, D. Englund, and J. Vuckovic, Nat. Phys. 2, 484 (2006).
[CrossRef]

Waks, E.

I. Fushman, E. Waks, D. Englund, N. Stoltz, P. Petroff, and J. Vuckovic, Appl. Phys. Lett. 90, 091118 (2007).
[CrossRef]

Wang, B.

Wiersma, D. S.

F. Intonti, S. Vignolini, F. Riboli, A. Vinattieri, D. S. Wiersma, M. Colocci, L. Balet, C. Monat, C. Zinoni, L. H. Li, R. Houdré, M. Francardi, A. Gerardino, A. Fiore, and M. Gurioli, Phys. Rev. B 78, 041401 (2008).
[CrossRef]

Yagubizade, H.

S. M. C. Abdulla, H. Yagubizade, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 22, 035014 (2012).
[CrossRef]

Zhou, G.

Zinoni, C.

F. Intonti, S. Vignolini, F. Riboli, A. Vinattieri, D. S. Wiersma, M. Colocci, L. Balet, C. Monat, C. Zinoni, L. H. Li, R. Houdré, M. Francardi, A. Gerardino, A. Fiore, and M. Gurioli, Phys. Rev. B 78, 041401 (2008).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett.

I. Fushman, E. Waks, D. Englund, N. Stoltz, P. Petroff, and J. Vuckovic, Appl. Phys. Lett. 90, 091118 (2007).
[CrossRef]

Electron. Lett.

P. Dumon, W. Bogaerts, R. Baets, J. M. Fedeli, and L. Fulbert, Electron. Lett. 45, 581 (2009).
[CrossRef]

IEEE Photon. Technol. Lett.

H. M. H. Chong and R. M. DeLaRue, IEEE Photon. Technol. Lett. 16, 1528 (2004).
[CrossRef]

J. Micromech. Microeng.

S. M. C. Abdulla, L. J. Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 21, 0740041 (2011).
[CrossRef]

S. M. C Abdulla, L. J. Kauppinen, M. Dijkstra, M. J. de Boer, E. Berenschot, R. M. de Ridder, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 21, 125010 (2011).
[CrossRef]

S. M. C. Abdulla, H. Yagubizade, and G. J. M. Krijnen, J. Micromech. Microeng. 22, 035014 (2012).
[CrossRef]

J. Opt.

S. Mujumdar, J. Opt. 12, 035001 (2010).
[CrossRef]

Jpn. J. Appl. Phys.

D. Taillaert, F. Van laere, M. Ayre, W. Bogaerts, D. Van thourhout, P. Bienstman, and R. Baets, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 6071 (2006).
[CrossRef]

Nat. Phys.

H. Altug, D. Englund, and J. Vuckovic, Nat. Phys. 2, 484 (2006).
[CrossRef]

Opt. Express

Opt. Lett.

Phys. Rev. B

F. Intonti, S. Vignolini, F. Riboli, A. Vinattieri, D. S. Wiersma, M. Colocci, L. Balet, C. Monat, C. Zinoni, L. H. Li, R. Houdré, M. Francardi, A. Gerardino, A. Fiore, and M. Gurioli, Phys. Rev. B 78, 041401 (2008).
[CrossRef]

Phys. Rev. Lett.

A. F. Koenderink, M. Kafesaki, B. C. Buchler, and V. Sandoghdar, Phys. Rev. Lett. 95, 153904 (2005).
[CrossRef]

Other

L. J. Kauppinen, “Compact integrated optical devices for optical sensor and switching applications,” Thesis (University of Twente, 2010), http://dx.doi.org/10.3990/1.9789036530880 .
[CrossRef]

O. V. Ivanova, R. Stoffer, L. Kauppinen, and M. Hammer, in Proceedings of the Progress in Electromagnetics Research Symposium (Electromagnetics Academy, 2009), pp. 1038–1042.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (6)

Fig. 1.
Fig. 1.

SEM images. (A) PhC-MC with its access waveguides before MBC integration, (B) a zoom-in of the cavity area showing various PhC-hole dimensions.

Fig. 2.
Fig. 2.

Simulated (2D FDTD) transmission spectra of the OUT1 (dashed curves) and OUT2 (solid curves) ports of the PhC-MC. Black curves represent unperturbed transmission, and red curves represent the transmission due to the effect of the tips.

Fig. 3.
Fig. 3.

Schematic cross section of the MBC integrated PhC-MC showing the details of various layers used.

Fig. 4.
Fig. 4.

SEM images. (A) MBC integrated with a PhC-MC, (B), (C) zoom-in of self-aligned nanotips on the MBC.

Fig. 5.
Fig. 5.

Measured transmission spectra of the PhC-MC at 0 V from OUT1 and OUT2 ports.

Fig. 6.
Fig. 6.

Tuning of the transmission edges of the PhC-MC with an actuation voltage of 0.75 V at OUT1 and OUT2.

Metrics