Abstract

A novel design of quasi-sinusoidal single-order diffraction transmission grating (QSTG) is proposed, which can achieve a line density up to thousands line/millimeter as that of traditional transmission gratings with the current level of nanofabrication technique. We fabricate a 1000  line/mm QSTG using the new design approach, and display the calibration results of such QSTG on the soft x-ray beam of synchrotron radiation.

© 2011 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. N. M. Ceglio, R. L. Kauffman, A. M. Hawryluk, and H. Medecki, Appl. Opt. 22, 318 (1983).
    [CrossRef] [PubMed]
  2. P. Desauté, H. Merdji, V. Greiner, T. Missalla, C. Chenais-Popovics, and P. Troussel, Opt. Commun. 173, 37(2000).
    [CrossRef]
  3. L. E. Ruggles, M. E. Cuneo, J. L. Porter, D. F. Wenger, and W. W. Simpson, Rev. Sci. Instrum. 72, 1218 (2001).
    [CrossRef]
  4. R. T. Eagleton and S. F. James, Rev. Sci. Instrum. 75, 3969 (2004).
    [CrossRef]
  5. J. L. Weaver, U. Feldman, J. F. Seely, G. Holland, V. Serlin, M. Klapisch, D. Columbant, and A. Mostovych, Phys. Plasmas 8, 5230 (2001).
    [CrossRef]
  6. M. Born and E. Wolf, Principle of Optics (Pergamon, 1980).
  7. L. F. Cao, E. Förster, A. Fuhrmann, C. K. Wang, L. Y. Kuang, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Appl. Phys. Lett. 90, 053501 (2007).
    [CrossRef]
  8. C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, S. Y. Liu, Y. K. Ding, L. F. Cao, E. Förster, D. Q. Wang, C. Q. Xie, and T. C. Ye, Rev. Sci. Instrum. 78, 053503 (2007).
    [CrossRef] [PubMed]
  9. C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, L. F. Cao, S. Y. Liu, Y. K. Ding, D. Q. Wang, C. Q. Xie, T. C. Ye, and G. Y. Hu, Rev. Sci. Instrum. 79, 123502 (2008).
    [CrossRef]
  10. L. Y. Kuang, C. K. Wang, Z. B. Wang, L. F. Cao, X. L. Zhu, C. Q. Xie, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Rev. Sci. Instrum. 81, 073508 (2010).
    [CrossRef] [PubMed]
  11. S. J. Spector, C. J. Jacobsen, and D. M. Tennant, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2872 (1997).
    [CrossRef]
  12. B. R. Brown and A. W. Lohmann, IBM J. Res. Dev. 13, 160 (1969).
    [CrossRef]
  13. G. Y. Hu, S. Y. Liu, J. Zheng, C. S. Wu, J. H. Li, S. C. Wu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, R. Q. Yi, H. B. Du, Y. X. Huang, X. Hu, and Y. K. Ding, Phys. Plasmas 14, 033103 (2007).
    [CrossRef]
  14. G. Y. Hu, J. Zheng, B. F. Shen, A. L. Lei, S. Y. Liu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, and Z. Z. Xu, Phys. Plasmas 15, 023103 (2008).
    [CrossRef]
  15. G. Y. Hu, J. Y. Zhang, J. Zheng, B. F. Shen, S. Y. Liu, J. M. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, A. L. Lei, and Z. Z. Xu, Laser Part. Beams 26, 661 (2008).
    [CrossRef]
  16. E. H. Anderson, D. L. Olynick, B. Harteneck, E. Veklerov, G. Denbeaux, W. Chao, A. Lucero, L. Johnson, and D. Attwood, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 2970 (2000).
    [CrossRef]
  17. H. Anderson, V. Boegli, and L. P. Muray, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2529 (1995).
    [CrossRef]

2010

L. Y. Kuang, C. K. Wang, Z. B. Wang, L. F. Cao, X. L. Zhu, C. Q. Xie, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Rev. Sci. Instrum. 81, 073508 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

2008

G. Y. Hu, J. Zheng, B. F. Shen, A. L. Lei, S. Y. Liu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, and Z. Z. Xu, Phys. Plasmas 15, 023103 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, J. Y. Zhang, J. Zheng, B. F. Shen, S. Y. Liu, J. M. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, A. L. Lei, and Z. Z. Xu, Laser Part. Beams 26, 661 (2008).
[CrossRef]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, L. F. Cao, S. Y. Liu, Y. K. Ding, D. Q. Wang, C. Q. Xie, T. C. Ye, and G. Y. Hu, Rev. Sci. Instrum. 79, 123502 (2008).
[CrossRef]

2007

G. Y. Hu, S. Y. Liu, J. Zheng, C. S. Wu, J. H. Li, S. C. Wu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, R. Q. Yi, H. B. Du, Y. X. Huang, X. Hu, and Y. K. Ding, Phys. Plasmas 14, 033103 (2007).
[CrossRef]

L. F. Cao, E. Förster, A. Fuhrmann, C. K. Wang, L. Y. Kuang, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Appl. Phys. Lett. 90, 053501 (2007).
[CrossRef]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, S. Y. Liu, Y. K. Ding, L. F. Cao, E. Förster, D. Q. Wang, C. Q. Xie, and T. C. Ye, Rev. Sci. Instrum. 78, 053503 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

2004

R. T. Eagleton and S. F. James, Rev. Sci. Instrum. 75, 3969 (2004).
[CrossRef]

2001

J. L. Weaver, U. Feldman, J. F. Seely, G. Holland, V. Serlin, M. Klapisch, D. Columbant, and A. Mostovych, Phys. Plasmas 8, 5230 (2001).
[CrossRef]

L. E. Ruggles, M. E. Cuneo, J. L. Porter, D. F. Wenger, and W. W. Simpson, Rev. Sci. Instrum. 72, 1218 (2001).
[CrossRef]

2000

P. Desauté, H. Merdji, V. Greiner, T. Missalla, C. Chenais-Popovics, and P. Troussel, Opt. Commun. 173, 37(2000).
[CrossRef]

E. H. Anderson, D. L. Olynick, B. Harteneck, E. Veklerov, G. Denbeaux, W. Chao, A. Lucero, L. Johnson, and D. Attwood, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 2970 (2000).
[CrossRef]

1997

S. J. Spector, C. J. Jacobsen, and D. M. Tennant, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2872 (1997).
[CrossRef]

1995

H. Anderson, V. Boegli, and L. P. Muray, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2529 (1995).
[CrossRef]

1983

1969

B. R. Brown and A. W. Lohmann, IBM J. Res. Dev. 13, 160 (1969).
[CrossRef]

Anderson, E. H.

E. H. Anderson, D. L. Olynick, B. Harteneck, E. Veklerov, G. Denbeaux, W. Chao, A. Lucero, L. Johnson, and D. Attwood, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 2970 (2000).
[CrossRef]

Anderson, H.

H. Anderson, V. Boegli, and L. P. Muray, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2529 (1995).
[CrossRef]

Attwood, D.

E. H. Anderson, D. L. Olynick, B. Harteneck, E. Veklerov, G. Denbeaux, W. Chao, A. Lucero, L. Johnson, and D. Attwood, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 2970 (2000).
[CrossRef]

Boegli, V.

H. Anderson, V. Boegli, and L. P. Muray, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2529 (1995).
[CrossRef]

Born, M.

M. Born and E. Wolf, Principle of Optics (Pergamon, 1980).

Brown, B. R.

B. R. Brown and A. W. Lohmann, IBM J. Res. Dev. 13, 160 (1969).
[CrossRef]

Cao, L. F.

L. Y. Kuang, C. K. Wang, Z. B. Wang, L. F. Cao, X. L. Zhu, C. Q. Xie, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Rev. Sci. Instrum. 81, 073508 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, L. F. Cao, S. Y. Liu, Y. K. Ding, D. Q. Wang, C. Q. Xie, T. C. Ye, and G. Y. Hu, Rev. Sci. Instrum. 79, 123502 (2008).
[CrossRef]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, S. Y. Liu, Y. K. Ding, L. F. Cao, E. Förster, D. Q. Wang, C. Q. Xie, and T. C. Ye, Rev. Sci. Instrum. 78, 053503 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

L. F. Cao, E. Förster, A. Fuhrmann, C. K. Wang, L. Y. Kuang, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Appl. Phys. Lett. 90, 053501 (2007).
[CrossRef]

Ceglio, N. M.

Chao, W.

E. H. Anderson, D. L. Olynick, B. Harteneck, E. Veklerov, G. Denbeaux, W. Chao, A. Lucero, L. Johnson, and D. Attwood, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 2970 (2000).
[CrossRef]

Chenais-Popovics, C.

P. Desauté, H. Merdji, V. Greiner, T. Missalla, C. Chenais-Popovics, and P. Troussel, Opt. Commun. 173, 37(2000).
[CrossRef]

Columbant, D.

J. L. Weaver, U. Feldman, J. F. Seely, G. Holland, V. Serlin, M. Klapisch, D. Columbant, and A. Mostovych, Phys. Plasmas 8, 5230 (2001).
[CrossRef]

Cuneo, M. E.

L. E. Ruggles, M. E. Cuneo, J. L. Porter, D. F. Wenger, and W. W. Simpson, Rev. Sci. Instrum. 72, 1218 (2001).
[CrossRef]

Denbeaux, G.

E. H. Anderson, D. L. Olynick, B. Harteneck, E. Veklerov, G. Denbeaux, W. Chao, A. Lucero, L. Johnson, and D. Attwood, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 2970 (2000).
[CrossRef]

Desauté, P.

P. Desauté, H. Merdji, V. Greiner, T. Missalla, C. Chenais-Popovics, and P. Troussel, Opt. Commun. 173, 37(2000).
[CrossRef]

Ding, Y. K.

L. Y. Kuang, C. K. Wang, Z. B. Wang, L. F. Cao, X. L. Zhu, C. Q. Xie, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Rev. Sci. Instrum. 81, 073508 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

G. Y. Hu, J. Zheng, B. F. Shen, A. L. Lei, S. Y. Liu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, and Z. Z. Xu, Phys. Plasmas 15, 023103 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, J. Y. Zhang, J. Zheng, B. F. Shen, S. Y. Liu, J. M. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, A. L. Lei, and Z. Z. Xu, Laser Part. Beams 26, 661 (2008).
[CrossRef]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, L. F. Cao, S. Y. Liu, Y. K. Ding, D. Q. Wang, C. Q. Xie, T. C. Ye, and G. Y. Hu, Rev. Sci. Instrum. 79, 123502 (2008).
[CrossRef]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, S. Y. Liu, Y. K. Ding, L. F. Cao, E. Förster, D. Q. Wang, C. Q. Xie, and T. C. Ye, Rev. Sci. Instrum. 78, 053503 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

G. Y. Hu, S. Y. Liu, J. Zheng, C. S. Wu, J. H. Li, S. C. Wu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, R. Q. Yi, H. B. Du, Y. X. Huang, X. Hu, and Y. K. Ding, Phys. Plasmas 14, 033103 (2007).
[CrossRef]

L. F. Cao, E. Förster, A. Fuhrmann, C. K. Wang, L. Y. Kuang, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Appl. Phys. Lett. 90, 053501 (2007).
[CrossRef]

Du, H. B.

G. Y. Hu, J. Zheng, B. F. Shen, A. L. Lei, S. Y. Liu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, and Z. Z. Xu, Phys. Plasmas 15, 023103 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, J. Y. Zhang, J. Zheng, B. F. Shen, S. Y. Liu, J. M. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, A. L. Lei, and Z. Z. Xu, Laser Part. Beams 26, 661 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, S. Y. Liu, J. Zheng, C. S. Wu, J. H. Li, S. C. Wu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, R. Q. Yi, H. B. Du, Y. X. Huang, X. Hu, and Y. K. Ding, Phys. Plasmas 14, 033103 (2007).
[CrossRef]

Eagleton, R. T.

R. T. Eagleton and S. F. James, Rev. Sci. Instrum. 75, 3969 (2004).
[CrossRef]

Feldman, U.

J. L. Weaver, U. Feldman, J. F. Seely, G. Holland, V. Serlin, M. Klapisch, D. Columbant, and A. Mostovych, Phys. Plasmas 8, 5230 (2001).
[CrossRef]

Förster, E.

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, S. Y. Liu, Y. K. Ding, L. F. Cao, E. Förster, D. Q. Wang, C. Q. Xie, and T. C. Ye, Rev. Sci. Instrum. 78, 053503 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

L. F. Cao, E. Förster, A. Fuhrmann, C. K. Wang, L. Y. Kuang, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Appl. Phys. Lett. 90, 053501 (2007).
[CrossRef]

Fuhrmann, A.

L. F. Cao, E. Förster, A. Fuhrmann, C. K. Wang, L. Y. Kuang, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Appl. Phys. Lett. 90, 053501 (2007).
[CrossRef]

Greiner, V.

P. Desauté, H. Merdji, V. Greiner, T. Missalla, C. Chenais-Popovics, and P. Troussel, Opt. Commun. 173, 37(2000).
[CrossRef]

Harteneck, B.

E. H. Anderson, D. L. Olynick, B. Harteneck, E. Veklerov, G. Denbeaux, W. Chao, A. Lucero, L. Johnson, and D. Attwood, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 2970 (2000).
[CrossRef]

Hawryluk, A. M.

Holland, G.

J. L. Weaver, U. Feldman, J. F. Seely, G. Holland, V. Serlin, M. Klapisch, D. Columbant, and A. Mostovych, Phys. Plasmas 8, 5230 (2001).
[CrossRef]

Hu, G. Y.

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, L. F. Cao, S. Y. Liu, Y. K. Ding, D. Q. Wang, C. Q. Xie, T. C. Ye, and G. Y. Hu, Rev. Sci. Instrum. 79, 123502 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, J. Y. Zhang, J. Zheng, B. F. Shen, S. Y. Liu, J. M. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, A. L. Lei, and Z. Z. Xu, Laser Part. Beams 26, 661 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, J. Zheng, B. F. Shen, A. L. Lei, S. Y. Liu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, and Z. Z. Xu, Phys. Plasmas 15, 023103 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, S. Y. Liu, J. Zheng, C. S. Wu, J. H. Li, S. C. Wu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, R. Q. Yi, H. B. Du, Y. X. Huang, X. Hu, and Y. K. Ding, Phys. Plasmas 14, 033103 (2007).
[CrossRef]

Hu, X.

G. Y. Hu, J. Y. Zhang, J. Zheng, B. F. Shen, S. Y. Liu, J. M. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, A. L. Lei, and Z. Z. Xu, Laser Part. Beams 26, 661 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, J. Zheng, B. F. Shen, A. L. Lei, S. Y. Liu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, and Z. Z. Xu, Phys. Plasmas 15, 023103 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, S. Y. Liu, J. Zheng, C. S. Wu, J. H. Li, S. C. Wu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, R. Q. Yi, H. B. Du, Y. X. Huang, X. Hu, and Y. K. Ding, Phys. Plasmas 14, 033103 (2007).
[CrossRef]

Huang, Y. X.

G. Y. Hu, J. Y. Zhang, J. Zheng, B. F. Shen, S. Y. Liu, J. M. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, A. L. Lei, and Z. Z. Xu, Laser Part. Beams 26, 661 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, J. Zheng, B. F. Shen, A. L. Lei, S. Y. Liu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, and Z. Z. Xu, Phys. Plasmas 15, 023103 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, S. Y. Liu, J. Zheng, C. S. Wu, J. H. Li, S. C. Wu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, R. Q. Yi, H. B. Du, Y. X. Huang, X. Hu, and Y. K. Ding, Phys. Plasmas 14, 033103 (2007).
[CrossRef]

Jacobsen, C. J.

S. J. Spector, C. J. Jacobsen, and D. M. Tennant, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2872 (1997).
[CrossRef]

James, S. F.

R. T. Eagleton and S. F. James, Rev. Sci. Instrum. 75, 3969 (2004).
[CrossRef]

Johnson, L.

E. H. Anderson, D. L. Olynick, B. Harteneck, E. Veklerov, G. Denbeaux, W. Chao, A. Lucero, L. Johnson, and D. Attwood, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 2970 (2000).
[CrossRef]

Kauffman, R. L.

Klapisch, M.

J. L. Weaver, U. Feldman, J. F. Seely, G. Holland, V. Serlin, M. Klapisch, D. Columbant, and A. Mostovych, Phys. Plasmas 8, 5230 (2001).
[CrossRef]

Kuang, L. Y.

L. Y. Kuang, C. K. Wang, Z. B. Wang, L. F. Cao, X. L. Zhu, C. Q. Xie, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Rev. Sci. Instrum. 81, 073508 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, L. F. Cao, S. Y. Liu, Y. K. Ding, D. Q. Wang, C. Q. Xie, T. C. Ye, and G. Y. Hu, Rev. Sci. Instrum. 79, 123502 (2008).
[CrossRef]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, S. Y. Liu, Y. K. Ding, L. F. Cao, E. Förster, D. Q. Wang, C. Q. Xie, and T. C. Ye, Rev. Sci. Instrum. 78, 053503 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

L. F. Cao, E. Förster, A. Fuhrmann, C. K. Wang, L. Y. Kuang, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Appl. Phys. Lett. 90, 053501 (2007).
[CrossRef]

Lei, A. L.

G. Y. Hu, J. Zheng, B. F. Shen, A. L. Lei, S. Y. Liu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, and Z. Z. Xu, Phys. Plasmas 15, 023103 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, J. Y. Zhang, J. Zheng, B. F. Shen, S. Y. Liu, J. M. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, A. L. Lei, and Z. Z. Xu, Laser Part. Beams 26, 661 (2008).
[CrossRef]

Li, J. H.

G. Y. Hu, S. Y. Liu, J. Zheng, C. S. Wu, J. H. Li, S. C. Wu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, R. Q. Yi, H. B. Du, Y. X. Huang, X. Hu, and Y. K. Ding, Phys. Plasmas 14, 033103 (2007).
[CrossRef]

Liu, S. Y.

L. Y. Kuang, C. K. Wang, Z. B. Wang, L. F. Cao, X. L. Zhu, C. Q. Xie, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Rev. Sci. Instrum. 81, 073508 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

G. Y. Hu, J. Zheng, B. F. Shen, A. L. Lei, S. Y. Liu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, and Z. Z. Xu, Phys. Plasmas 15, 023103 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, J. Y. Zhang, J. Zheng, B. F. Shen, S. Y. Liu, J. M. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, A. L. Lei, and Z. Z. Xu, Laser Part. Beams 26, 661 (2008).
[CrossRef]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, L. F. Cao, S. Y. Liu, Y. K. Ding, D. Q. Wang, C. Q. Xie, T. C. Ye, and G. Y. Hu, Rev. Sci. Instrum. 79, 123502 (2008).
[CrossRef]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, S. Y. Liu, Y. K. Ding, L. F. Cao, E. Förster, D. Q. Wang, C. Q. Xie, and T. C. Ye, Rev. Sci. Instrum. 78, 053503 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

G. Y. Hu, S. Y. Liu, J. Zheng, C. S. Wu, J. H. Li, S. C. Wu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, R. Q. Yi, H. B. Du, Y. X. Huang, X. Hu, and Y. K. Ding, Phys. Plasmas 14, 033103 (2007).
[CrossRef]

L. F. Cao, E. Förster, A. Fuhrmann, C. K. Wang, L. Y. Kuang, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Appl. Phys. Lett. 90, 053501 (2007).
[CrossRef]

Lohmann, A. W.

B. R. Brown and A. W. Lohmann, IBM J. Res. Dev. 13, 160 (1969).
[CrossRef]

Lucero, A.

E. H. Anderson, D. L. Olynick, B. Harteneck, E. Veklerov, G. Denbeaux, W. Chao, A. Lucero, L. Johnson, and D. Attwood, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 2970 (2000).
[CrossRef]

Medecki, H.

Merdji, H.

P. Desauté, H. Merdji, V. Greiner, T. Missalla, C. Chenais-Popovics, and P. Troussel, Opt. Commun. 173, 37(2000).
[CrossRef]

Missalla, T.

P. Desauté, H. Merdji, V. Greiner, T. Missalla, C. Chenais-Popovics, and P. Troussel, Opt. Commun. 173, 37(2000).
[CrossRef]

Mostovych, A.

J. L. Weaver, U. Feldman, J. F. Seely, G. Holland, V. Serlin, M. Klapisch, D. Columbant, and A. Mostovych, Phys. Plasmas 8, 5230 (2001).
[CrossRef]

Muray, L. P.

H. Anderson, V. Boegli, and L. P. Muray, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2529 (1995).
[CrossRef]

Olynick, D. L.

E. H. Anderson, D. L. Olynick, B. Harteneck, E. Veklerov, G. Denbeaux, W. Chao, A. Lucero, L. Johnson, and D. Attwood, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 2970 (2000).
[CrossRef]

Porter, J. L.

L. E. Ruggles, M. E. Cuneo, J. L. Porter, D. F. Wenger, and W. W. Simpson, Rev. Sci. Instrum. 72, 1218 (2001).
[CrossRef]

Ruggles, L. E.

L. E. Ruggles, M. E. Cuneo, J. L. Porter, D. F. Wenger, and W. W. Simpson, Rev. Sci. Instrum. 72, 1218 (2001).
[CrossRef]

Seely, J. F.

J. L. Weaver, U. Feldman, J. F. Seely, G. Holland, V. Serlin, M. Klapisch, D. Columbant, and A. Mostovych, Phys. Plasmas 8, 5230 (2001).
[CrossRef]

Serlin, V.

J. L. Weaver, U. Feldman, J. F. Seely, G. Holland, V. Serlin, M. Klapisch, D. Columbant, and A. Mostovych, Phys. Plasmas 8, 5230 (2001).
[CrossRef]

Shen, B. F.

G. Y. Hu, J. Y. Zhang, J. Zheng, B. F. Shen, S. Y. Liu, J. M. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, A. L. Lei, and Z. Z. Xu, Laser Part. Beams 26, 661 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, J. Zheng, B. F. Shen, A. L. Lei, S. Y. Liu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, and Z. Z. Xu, Phys. Plasmas 15, 023103 (2008).
[CrossRef]

Simpson, W. W.

L. E. Ruggles, M. E. Cuneo, J. L. Porter, D. F. Wenger, and W. W. Simpson, Rev. Sci. Instrum. 72, 1218 (2001).
[CrossRef]

Spector, S. J.

S. J. Spector, C. J. Jacobsen, and D. M. Tennant, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2872 (1997).
[CrossRef]

Tennant, D. M.

S. J. Spector, C. J. Jacobsen, and D. M. Tennant, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2872 (1997).
[CrossRef]

Troussel, P.

P. Desauté, H. Merdji, V. Greiner, T. Missalla, C. Chenais-Popovics, and P. Troussel, Opt. Commun. 173, 37(2000).
[CrossRef]

Veklerov, E.

E. H. Anderson, D. L. Olynick, B. Harteneck, E. Veklerov, G. Denbeaux, W. Chao, A. Lucero, L. Johnson, and D. Attwood, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 2970 (2000).
[CrossRef]

Wang, C. K.

L. Y. Kuang, C. K. Wang, Z. B. Wang, L. F. Cao, X. L. Zhu, C. Q. Xie, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Rev. Sci. Instrum. 81, 073508 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, L. F. Cao, S. Y. Liu, Y. K. Ding, D. Q. Wang, C. Q. Xie, T. C. Ye, and G. Y. Hu, Rev. Sci. Instrum. 79, 123502 (2008).
[CrossRef]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, S. Y. Liu, Y. K. Ding, L. F. Cao, E. Förster, D. Q. Wang, C. Q. Xie, and T. C. Ye, Rev. Sci. Instrum. 78, 053503 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

L. F. Cao, E. Förster, A. Fuhrmann, C. K. Wang, L. Y. Kuang, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Appl. Phys. Lett. 90, 053501 (2007).
[CrossRef]

Wang, D. Q.

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, L. F. Cao, S. Y. Liu, Y. K. Ding, D. Q. Wang, C. Q. Xie, T. C. Ye, and G. Y. Hu, Rev. Sci. Instrum. 79, 123502 (2008).
[CrossRef]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, S. Y. Liu, Y. K. Ding, L. F. Cao, E. Förster, D. Q. Wang, C. Q. Xie, and T. C. Ye, Rev. Sci. Instrum. 78, 053503 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Wang, Z. B.

L. Y. Kuang, C. K. Wang, Z. B. Wang, L. F. Cao, X. L. Zhu, C. Q. Xie, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Rev. Sci. Instrum. 81, 073508 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, L. F. Cao, S. Y. Liu, Y. K. Ding, D. Q. Wang, C. Q. Xie, T. C. Ye, and G. Y. Hu, Rev. Sci. Instrum. 79, 123502 (2008).
[CrossRef]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, S. Y. Liu, Y. K. Ding, L. F. Cao, E. Förster, D. Q. Wang, C. Q. Xie, and T. C. Ye, Rev. Sci. Instrum. 78, 053503 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Weaver, J. L.

J. L. Weaver, U. Feldman, J. F. Seely, G. Holland, V. Serlin, M. Klapisch, D. Columbant, and A. Mostovych, Phys. Plasmas 8, 5230 (2001).
[CrossRef]

Wenger, D. F.

L. E. Ruggles, M. E. Cuneo, J. L. Porter, D. F. Wenger, and W. W. Simpson, Rev. Sci. Instrum. 72, 1218 (2001).
[CrossRef]

Wolf, E.

M. Born and E. Wolf, Principle of Optics (Pergamon, 1980).

Wu, C. S.

G. Y. Hu, S. Y. Liu, J. Zheng, C. S. Wu, J. H. Li, S. C. Wu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, R. Q. Yi, H. B. Du, Y. X. Huang, X. Hu, and Y. K. Ding, Phys. Plasmas 14, 033103 (2007).
[CrossRef]

Wu, S. C.

G. Y. Hu, S. Y. Liu, J. Zheng, C. S. Wu, J. H. Li, S. C. Wu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, R. Q. Yi, H. B. Du, Y. X. Huang, X. Hu, and Y. K. Ding, Phys. Plasmas 14, 033103 (2007).
[CrossRef]

Xie, C. Q.

L. Y. Kuang, C. K. Wang, Z. B. Wang, L. F. Cao, X. L. Zhu, C. Q. Xie, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Rev. Sci. Instrum. 81, 073508 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, L. F. Cao, S. Y. Liu, Y. K. Ding, D. Q. Wang, C. Q. Xie, T. C. Ye, and G. Y. Hu, Rev. Sci. Instrum. 79, 123502 (2008).
[CrossRef]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, S. Y. Liu, Y. K. Ding, L. F. Cao, E. Förster, D. Q. Wang, C. Q. Xie, and T. C. Ye, Rev. Sci. Instrum. 78, 053503 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Xu, Z. Z.

G. Y. Hu, J. Y. Zhang, J. Zheng, B. F. Shen, S. Y. Liu, J. M. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, A. L. Lei, and Z. Z. Xu, Laser Part. Beams 26, 661 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, J. Zheng, B. F. Shen, A. L. Lei, S. Y. Liu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, and Z. Z. Xu, Phys. Plasmas 15, 023103 (2008).
[CrossRef]

Yang, G. H.

G. Y. Hu, J. Zheng, B. F. Shen, A. L. Lei, S. Y. Liu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, and Z. Z. Xu, Phys. Plasmas 15, 023103 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, S. Y. Liu, J. Zheng, C. S. Wu, J. H. Li, S. C. Wu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, R. Q. Yi, H. B. Du, Y. X. Huang, X. Hu, and Y. K. Ding, Phys. Plasmas 14, 033103 (2007).
[CrossRef]

Yang, J. M.

G. Y. Hu, J. Y. Zhang, J. Zheng, B. F. Shen, S. Y. Liu, J. M. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, A. L. Lei, and Z. Z. Xu, Laser Part. Beams 26, 661 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, J. Zheng, B. F. Shen, A. L. Lei, S. Y. Liu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, and Z. Z. Xu, Phys. Plasmas 15, 023103 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, S. Y. Liu, J. Zheng, C. S. Wu, J. H. Li, S. C. Wu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, R. Q. Yi, H. B. Du, Y. X. Huang, X. Hu, and Y. K. Ding, Phys. Plasmas 14, 033103 (2007).
[CrossRef]

Ye, T. C.

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, L. F. Cao, S. Y. Liu, Y. K. Ding, D. Q. Wang, C. Q. Xie, T. C. Ye, and G. Y. Hu, Rev. Sci. Instrum. 79, 123502 (2008).
[CrossRef]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, S. Y. Liu, Y. K. Ding, L. F. Cao, E. Förster, D. Q. Wang, C. Q. Xie, and T. C. Ye, Rev. Sci. Instrum. 78, 053503 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Yi, R. Q.

G. Y. Hu, J. Y. Zhang, J. Zheng, B. F. Shen, S. Y. Liu, J. M. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, A. L. Lei, and Z. Z. Xu, Laser Part. Beams 26, 661 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, J. Zheng, B. F. Shen, A. L. Lei, S. Y. Liu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, and Z. Z. Xu, Phys. Plasmas 15, 023103 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, S. Y. Liu, J. Zheng, C. S. Wu, J. H. Li, S. C. Wu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, R. Q. Yi, H. B. Du, Y. X. Huang, X. Hu, and Y. K. Ding, Phys. Plasmas 14, 033103 (2007).
[CrossRef]

Zhang, J. Y.

G. Y. Hu, J. Y. Zhang, J. Zheng, B. F. Shen, S. Y. Liu, J. M. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, A. L. Lei, and Z. Z. Xu, Laser Part. Beams 26, 661 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, J. Zheng, B. F. Shen, A. L. Lei, S. Y. Liu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, and Z. Z. Xu, Phys. Plasmas 15, 023103 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, S. Y. Liu, J. Zheng, C. S. Wu, J. H. Li, S. C. Wu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, R. Q. Yi, H. B. Du, Y. X. Huang, X. Hu, and Y. K. Ding, Phys. Plasmas 14, 033103 (2007).
[CrossRef]

Zheng, J.

G. Y. Hu, J. Y. Zhang, J. Zheng, B. F. Shen, S. Y. Liu, J. M. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, A. L. Lei, and Z. Z. Xu, Laser Part. Beams 26, 661 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, J. Zheng, B. F. Shen, A. L. Lei, S. Y. Liu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, and Z. Z. Xu, Phys. Plasmas 15, 023103 (2008).
[CrossRef]

G. Y. Hu, S. Y. Liu, J. Zheng, C. S. Wu, J. H. Li, S. C. Wu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, R. Q. Yi, H. B. Du, Y. X. Huang, X. Hu, and Y. K. Ding, Phys. Plasmas 14, 033103 (2007).
[CrossRef]

Zhu, X. L.

L. Y. Kuang, C. K. Wang, Z. B. Wang, L. F. Cao, X. L. Zhu, C. Q. Xie, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Rev. Sci. Instrum. 81, 073508 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

Appl. Opt.

Appl. Phys. Lett.

L. F. Cao, E. Förster, A. Fuhrmann, C. K. Wang, L. Y. Kuang, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Appl. Phys. Lett. 90, 053501 (2007).
[CrossRef]

IBM J. Res. Dev.

B. R. Brown and A. W. Lohmann, IBM J. Res. Dev. 13, 160 (1969).
[CrossRef]

J. Vac. Sci. Technol. B

S. J. Spector, C. J. Jacobsen, and D. M. Tennant, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2872 (1997).
[CrossRef]

E. H. Anderson, D. L. Olynick, B. Harteneck, E. Veklerov, G. Denbeaux, W. Chao, A. Lucero, L. Johnson, and D. Attwood, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 2970 (2000).
[CrossRef]

H. Anderson, V. Boegli, and L. P. Muray, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2529 (1995).
[CrossRef]

Laser Part. Beams

G. Y. Hu, J. Y. Zhang, J. Zheng, B. F. Shen, S. Y. Liu, J. M. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, A. L. Lei, and Z. Z. Xu, Laser Part. Beams 26, 661 (2008).
[CrossRef]

Opt. Commun.

P. Desauté, H. Merdji, V. Greiner, T. Missalla, C. Chenais-Popovics, and P. Troussel, Opt. Commun. 173, 37(2000).
[CrossRef]

Phys. Plasmas

J. L. Weaver, U. Feldman, J. F. Seely, G. Holland, V. Serlin, M. Klapisch, D. Columbant, and A. Mostovych, Phys. Plasmas 8, 5230 (2001).
[CrossRef]

G. Y. Hu, S. Y. Liu, J. Zheng, C. S. Wu, J. H. Li, S. C. Wu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, R. Q. Yi, H. B. Du, Y. X. Huang, X. Hu, and Y. K. Ding, Phys. Plasmas 14, 033103 (2007).
[CrossRef]

G. Y. Hu, J. Zheng, B. F. Shen, A. L. Lei, S. Y. Liu, J. Y. Zhang, J. M. Yang, G. H. Yang, Y. K. Ding, X. Hu, Y. X. Huang, H. B. Du, R. Q. Yi, and Z. Z. Xu, Phys. Plasmas 15, 023103 (2008).
[CrossRef]

Rev. Sci. Instrum.

L. E. Ruggles, M. E. Cuneo, J. L. Porter, D. F. Wenger, and W. W. Simpson, Rev. Sci. Instrum. 72, 1218 (2001).
[CrossRef]

R. T. Eagleton and S. F. James, Rev. Sci. Instrum. 75, 3969 (2004).
[CrossRef]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, S. Y. Liu, Y. K. Ding, L. F. Cao, E. Förster, D. Q. Wang, C. Q. Xie, and T. C. Ye, Rev. Sci. Instrum. 78, 053503 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

C. K. Wang, L. Y. Kuang, Z. B. Wang, L. F. Cao, S. Y. Liu, Y. K. Ding, D. Q. Wang, C. Q. Xie, T. C. Ye, and G. Y. Hu, Rev. Sci. Instrum. 79, 123502 (2008).
[CrossRef]

L. Y. Kuang, C. K. Wang, Z. B. Wang, L. F. Cao, X. L. Zhu, C. Q. Xie, S. Y. Liu, and Y. K. Ding, Rev. Sci. Instrum. 81, 073508 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

Other

M. Born and E. Wolf, Principle of Optics (Pergamon, 1980).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (5)

Fig. 1
Fig. 1

Design route of a QSTG. (a) A 1 1 TG . (b) Divide each slit into a series of rectangular holes with the size of d / 2 × τ . (c) Shifting the rectangular holes in (b) by ξ along the x axis according to the probability distribution function p ( ξ ) . (d) An ideal STG.

Fig. 2
Fig. 2

Square-hole QSTG. (a) Designed square-hole QSTG. (b) Scanning electron micrograph of an actually fabricated QSTG, the grating is made by 400 nm gold film supported by a 1 μm polymer membrane.

Fig. 3
Fig. 3

Coordinate system for the geometry of the transmission grating.

Fig. 4
Fig. 4

Calculation results of the typical diffraction patterns by 1 1 TG , QSTG, and STG, respectively. The parameters used in the calculation: 100 μm × 100 μm square TG, d = 1 μm , λ = 5 nm , Δ λ / λ = 1 / 50 , z = 1 m , v = 0 , the shape of the incidence x-ray spectrum is Gaussian.

Fig. 5
Fig. 5

Typical experimental result of the QSTG. (a) Schematic diagram of the experimental setup. The QSTG is 50 μm width (50 periods with 1 μm pitch) and 2 mm height. (b) The upper part shows the two-dimensional diffraction pattern recorded by the CCD, the lower part shows the one-dimensional distribution, which is obtained by integrating the two-dimensional distribution along the v axis.

Tables (1)

Tables Icon

Table 1 Summary of the Experimental Results

Equations (4)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

p ( ξ ) = { π d cos ( 2 π d ξ ) | ξ | d / 4 0 | ξ | > d / 4 .
t ˜ ( x , y ) = m = n = h ( x m d ξ m , n , y n d / 2 ) ,
U ˜ ( u , v ) = ψ t ˜ ( x , y ) exp [ i ( k u x + k v y ) ] d x d y ,
U ˜ ( u , v ) = ψ m = n = h ( x m d ξ m , n , y n d / 2 ) × exp [ i ( k u x + k v y ) ] d x d y = ψ ( d 2 / 4 ) m = n = Sa ( k u d / 4 ) Sa ( k v d / 4 ) × [ d / 4 d / 4 p ( ξ ) exp ( i k u ξ ) d ξ ] exp [ i ( m k u d + n k v d / 2 ) ] = ψ [ 1 2 δ ( k u 2 π ) + 1 4 δ ( k u 2 π 1 d ) + 1 4 δ ( k u 2 π + 1 d ) ] δ ( k v 2 π ) ,

Metrics