Abstract

We report on the fabrication and characterization of nanoscale solid immersion lenses (nano-SILs) with sizes down to a subwavelength range. Submicrometer-scale cylinders fabricated by electron-beam lithography are thermally reflowed to form a spherical shape. Subsequent soft lithography leads to nano-SILs on transparent substrates for optical characterization. The optical characterization is performed using a high-resolution interference microscope with illumination at 642nm wavelength. The focal spots produced by the nano-SILs show both spot-size reduction and enhanced optical intensity, which are consistent with the immersion effect.

© 2011 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. R. Hooke, Microscopium (Royal Society, 1678).
  2. E. Abbe, J. R. Microsc. Soc. 2, 812 (1879).
    [Crossref]
  3. E. Abbe, J. R. Microsc. Soc. 21, 388 (1881).
    [Crossref]
  4. S. M. Mansfield and G. S. Kino, Appl. Phys. Lett. 57, 2615 (1990).
    [Crossref]
  5. R. Brunner, M. Burkhardt, A. Pesch, O. Sandfuchs, M. Ferstl, S. Hohng, and J. O. White, J. Opt. Soc. Am. A 21, 1186 (2004).
    [Crossref]
  6. D. A. Fletcher, K. B. Crozier, K. W. Guarini, S. C. Minne, G. S. Kino, C. F. Quate, and K. E. Goodson, J. Microelectromech. Syst. 10, 450 (2001).
    [Crossref]
  7. M. Lang, T. D. Milster, E. Aspnes, T. Minamitani, and G. Borek, Jpn. J. Appl. Phys. 46, 3737 (2007).
    [Crossref]
  8. T. Kishia, S. Shibata, and T. Yano, J. Non-Cryst. Solids 354, 558 (2008).
    [Crossref]
  9. M. Brun, M. Richard, and S. Nicoletti, International Symposium on Optical Memory (ISOM09), Mo-E-04 (2009).
  10. J. Y. Lee, B. H. Hong, W. Y. Kim, S. K. Min, Y. Kim, M. V. Jouravlev, R. Bose, K. S. Kim, I. C. Hwang, L. J. Kaufman, C. W. Wong, P. Kim, and K. S. Kim, Nature 460, 498 (2009).
    [Crossref]
  11. D. R. Mason, M. V. Jouravlev, and K. S. Kim, Opt. Lett. 35, 2007 (2010).
    [Crossref] [PubMed]
  12. Y. Xia and G. M. Whitesides, Annu. Rev. Mater. Sci. 28, 153 (1998).
    [Crossref]
  13. C. Rockstuhl, I. Märki, T. Scharf, M. Salt, H. P. Herzig, and R. Dändliker, Current Nanosci. 2, 337 (2006).
    [Crossref]
  14. M.-S. Kim, T. Scharf, and H. P. Herzig, Jpn. J. Appl. Phys. 49, 08KA03 (2010).
    [Crossref]
  15. M.-S. Kim, T. Scharf, and H. P. Herzig, Opt. Express 18, 14319 (2010).
    [Crossref] [PubMed]
  16. M.-S. Kim, T. Scharf, S. Mühlig, C. Rockstuhl, and H. P. Herzig, Appl. Phys. Lett. 98, 191114 (2011).
    [Crossref]
  17. M.-S. Kim, T. Scharf, S. Mühlig, C. Rockstuhl, and H. P. Herzig, Opt. Express 19, 10206 (2011).
    [Crossref] [PubMed]
  18. C. Rockstuhl, M. Salt, and H. P. Herzig, J. Opt. A 6, S271 (2004).
    [Crossref]
  19. B. D. Terris, H. J. Mamin, and D. Ruger, Appl. Phys. Lett. 65, 388 (1994).
    [Crossref]
  20. L. P. Ghislaina, V. B. Elings, K. B. Crozier, S. R. Manalis, S. C. Minne, K. Wilder, G. S. Kino, and C. F. Quateb, Appl. Phys. Lett. 74, 501 (1999).
    [Crossref]
  21. Y. Kim, S. Kim, H. Jung, E. Lee, and J. W. Hahn, Opt. Express 17, 19476 (2009).
    [Crossref] [PubMed]

2011 (2)

M.-S. Kim, T. Scharf, S. Mühlig, C. Rockstuhl, and H. P. Herzig, Appl. Phys. Lett. 98, 191114 (2011).
[Crossref]

M.-S. Kim, T. Scharf, S. Mühlig, C. Rockstuhl, and H. P. Herzig, Opt. Express 19, 10206 (2011).
[Crossref] [PubMed]

2010 (3)

2009 (2)

J. Y. Lee, B. H. Hong, W. Y. Kim, S. K. Min, Y. Kim, M. V. Jouravlev, R. Bose, K. S. Kim, I. C. Hwang, L. J. Kaufman, C. W. Wong, P. Kim, and K. S. Kim, Nature 460, 498 (2009).
[Crossref]

Y. Kim, S. Kim, H. Jung, E. Lee, and J. W. Hahn, Opt. Express 17, 19476 (2009).
[Crossref] [PubMed]

2008 (1)

T. Kishia, S. Shibata, and T. Yano, J. Non-Cryst. Solids 354, 558 (2008).
[Crossref]

2007 (1)

M. Lang, T. D. Milster, E. Aspnes, T. Minamitani, and G. Borek, Jpn. J. Appl. Phys. 46, 3737 (2007).
[Crossref]

2006 (1)

C. Rockstuhl, I. Märki, T. Scharf, M. Salt, H. P. Herzig, and R. Dändliker, Current Nanosci. 2, 337 (2006).
[Crossref]

2004 (2)

2001 (1)

D. A. Fletcher, K. B. Crozier, K. W. Guarini, S. C. Minne, G. S. Kino, C. F. Quate, and K. E. Goodson, J. Microelectromech. Syst. 10, 450 (2001).
[Crossref]

1999 (1)

L. P. Ghislaina, V. B. Elings, K. B. Crozier, S. R. Manalis, S. C. Minne, K. Wilder, G. S. Kino, and C. F. Quateb, Appl. Phys. Lett. 74, 501 (1999).
[Crossref]

1998 (1)

Y. Xia and G. M. Whitesides, Annu. Rev. Mater. Sci. 28, 153 (1998).
[Crossref]

1994 (1)

B. D. Terris, H. J. Mamin, and D. Ruger, Appl. Phys. Lett. 65, 388 (1994).
[Crossref]

1990 (1)

S. M. Mansfield and G. S. Kino, Appl. Phys. Lett. 57, 2615 (1990).
[Crossref]

1881 (1)

E. Abbe, J. R. Microsc. Soc. 21, 388 (1881).
[Crossref]

1879 (1)

E. Abbe, J. R. Microsc. Soc. 2, 812 (1879).
[Crossref]

Abbe, E.

E. Abbe, J. R. Microsc. Soc. 21, 388 (1881).
[Crossref]

E. Abbe, J. R. Microsc. Soc. 2, 812 (1879).
[Crossref]

Aspnes, E.

M. Lang, T. D. Milster, E. Aspnes, T. Minamitani, and G. Borek, Jpn. J. Appl. Phys. 46, 3737 (2007).
[Crossref]

Borek, G.

M. Lang, T. D. Milster, E. Aspnes, T. Minamitani, and G. Borek, Jpn. J. Appl. Phys. 46, 3737 (2007).
[Crossref]

Bose, R.

J. Y. Lee, B. H. Hong, W. Y. Kim, S. K. Min, Y. Kim, M. V. Jouravlev, R. Bose, K. S. Kim, I. C. Hwang, L. J. Kaufman, C. W. Wong, P. Kim, and K. S. Kim, Nature 460, 498 (2009).
[Crossref]

Brun, M.

M. Brun, M. Richard, and S. Nicoletti, International Symposium on Optical Memory (ISOM09), Mo-E-04 (2009).

Brunner, R.

Burkhardt, M.

Crozier, K. B.

D. A. Fletcher, K. B. Crozier, K. W. Guarini, S. C. Minne, G. S. Kino, C. F. Quate, and K. E. Goodson, J. Microelectromech. Syst. 10, 450 (2001).
[Crossref]

L. P. Ghislaina, V. B. Elings, K. B. Crozier, S. R. Manalis, S. C. Minne, K. Wilder, G. S. Kino, and C. F. Quateb, Appl. Phys. Lett. 74, 501 (1999).
[Crossref]

Dändliker, R.

C. Rockstuhl, I. Märki, T. Scharf, M. Salt, H. P. Herzig, and R. Dändliker, Current Nanosci. 2, 337 (2006).
[Crossref]

Elings, V. B.

L. P. Ghislaina, V. B. Elings, K. B. Crozier, S. R. Manalis, S. C. Minne, K. Wilder, G. S. Kino, and C. F. Quateb, Appl. Phys. Lett. 74, 501 (1999).
[Crossref]

Ferstl, M.

Fletcher, D. A.

D. A. Fletcher, K. B. Crozier, K. W. Guarini, S. C. Minne, G. S. Kino, C. F. Quate, and K. E. Goodson, J. Microelectromech. Syst. 10, 450 (2001).
[Crossref]

Ghislaina, L. P.

L. P. Ghislaina, V. B. Elings, K. B. Crozier, S. R. Manalis, S. C. Minne, K. Wilder, G. S. Kino, and C. F. Quateb, Appl. Phys. Lett. 74, 501 (1999).
[Crossref]

Goodson, K. E.

D. A. Fletcher, K. B. Crozier, K. W. Guarini, S. C. Minne, G. S. Kino, C. F. Quate, and K. E. Goodson, J. Microelectromech. Syst. 10, 450 (2001).
[Crossref]

Guarini, K. W.

D. A. Fletcher, K. B. Crozier, K. W. Guarini, S. C. Minne, G. S. Kino, C. F. Quate, and K. E. Goodson, J. Microelectromech. Syst. 10, 450 (2001).
[Crossref]

Hahn, J. W.

Herzig, H. P.

M.-S. Kim, T. Scharf, S. Mühlig, C. Rockstuhl, and H. P. Herzig, Opt. Express 19, 10206 (2011).
[Crossref] [PubMed]

M.-S. Kim, T. Scharf, S. Mühlig, C. Rockstuhl, and H. P. Herzig, Appl. Phys. Lett. 98, 191114 (2011).
[Crossref]

M.-S. Kim, T. Scharf, and H. P. Herzig, Jpn. J. Appl. Phys. 49, 08KA03 (2010).
[Crossref]

M.-S. Kim, T. Scharf, and H. P. Herzig, Opt. Express 18, 14319 (2010).
[Crossref] [PubMed]

C. Rockstuhl, I. Märki, T. Scharf, M. Salt, H. P. Herzig, and R. Dändliker, Current Nanosci. 2, 337 (2006).
[Crossref]

C. Rockstuhl, M. Salt, and H. P. Herzig, J. Opt. A 6, S271 (2004).
[Crossref]

Hohng, S.

Hong, B. H.

J. Y. Lee, B. H. Hong, W. Y. Kim, S. K. Min, Y. Kim, M. V. Jouravlev, R. Bose, K. S. Kim, I. C. Hwang, L. J. Kaufman, C. W. Wong, P. Kim, and K. S. Kim, Nature 460, 498 (2009).
[Crossref]

Hooke, R.

R. Hooke, Microscopium (Royal Society, 1678).

Hwang, I. C.

J. Y. Lee, B. H. Hong, W. Y. Kim, S. K. Min, Y. Kim, M. V. Jouravlev, R. Bose, K. S. Kim, I. C. Hwang, L. J. Kaufman, C. W. Wong, P. Kim, and K. S. Kim, Nature 460, 498 (2009).
[Crossref]

Jouravlev, M. V.

D. R. Mason, M. V. Jouravlev, and K. S. Kim, Opt. Lett. 35, 2007 (2010).
[Crossref] [PubMed]

J. Y. Lee, B. H. Hong, W. Y. Kim, S. K. Min, Y. Kim, M. V. Jouravlev, R. Bose, K. S. Kim, I. C. Hwang, L. J. Kaufman, C. W. Wong, P. Kim, and K. S. Kim, Nature 460, 498 (2009).
[Crossref]

Jung, H.

Kaufman, L. J.

J. Y. Lee, B. H. Hong, W. Y. Kim, S. K. Min, Y. Kim, M. V. Jouravlev, R. Bose, K. S. Kim, I. C. Hwang, L. J. Kaufman, C. W. Wong, P. Kim, and K. S. Kim, Nature 460, 498 (2009).
[Crossref]

Kim, K. S.

D. R. Mason, M. V. Jouravlev, and K. S. Kim, Opt. Lett. 35, 2007 (2010).
[Crossref] [PubMed]

J. Y. Lee, B. H. Hong, W. Y. Kim, S. K. Min, Y. Kim, M. V. Jouravlev, R. Bose, K. S. Kim, I. C. Hwang, L. J. Kaufman, C. W. Wong, P. Kim, and K. S. Kim, Nature 460, 498 (2009).
[Crossref]

J. Y. Lee, B. H. Hong, W. Y. Kim, S. K. Min, Y. Kim, M. V. Jouravlev, R. Bose, K. S. Kim, I. C. Hwang, L. J. Kaufman, C. W. Wong, P. Kim, and K. S. Kim, Nature 460, 498 (2009).
[Crossref]

Kim, M.-S.

M.-S. Kim, T. Scharf, S. Mühlig, C. Rockstuhl, and H. P. Herzig, Appl. Phys. Lett. 98, 191114 (2011).
[Crossref]

M.-S. Kim, T. Scharf, S. Mühlig, C. Rockstuhl, and H. P. Herzig, Opt. Express 19, 10206 (2011).
[Crossref] [PubMed]

M.-S. Kim, T. Scharf, and H. P. Herzig, Opt. Express 18, 14319 (2010).
[Crossref] [PubMed]

M.-S. Kim, T. Scharf, and H. P. Herzig, Jpn. J. Appl. Phys. 49, 08KA03 (2010).
[Crossref]

Kim, P.

J. Y. Lee, B. H. Hong, W. Y. Kim, S. K. Min, Y. Kim, M. V. Jouravlev, R. Bose, K. S. Kim, I. C. Hwang, L. J. Kaufman, C. W. Wong, P. Kim, and K. S. Kim, Nature 460, 498 (2009).
[Crossref]

Kim, S.

Kim, W. Y.

J. Y. Lee, B. H. Hong, W. Y. Kim, S. K. Min, Y. Kim, M. V. Jouravlev, R. Bose, K. S. Kim, I. C. Hwang, L. J. Kaufman, C. W. Wong, P. Kim, and K. S. Kim, Nature 460, 498 (2009).
[Crossref]

Kim, Y.

J. Y. Lee, B. H. Hong, W. Y. Kim, S. K. Min, Y. Kim, M. V. Jouravlev, R. Bose, K. S. Kim, I. C. Hwang, L. J. Kaufman, C. W. Wong, P. Kim, and K. S. Kim, Nature 460, 498 (2009).
[Crossref]

Y. Kim, S. Kim, H. Jung, E. Lee, and J. W. Hahn, Opt. Express 17, 19476 (2009).
[Crossref] [PubMed]

Kino, G. S.

D. A. Fletcher, K. B. Crozier, K. W. Guarini, S. C. Minne, G. S. Kino, C. F. Quate, and K. E. Goodson, J. Microelectromech. Syst. 10, 450 (2001).
[Crossref]

L. P. Ghislaina, V. B. Elings, K. B. Crozier, S. R. Manalis, S. C. Minne, K. Wilder, G. S. Kino, and C. F. Quateb, Appl. Phys. Lett. 74, 501 (1999).
[Crossref]

S. M. Mansfield and G. S. Kino, Appl. Phys. Lett. 57, 2615 (1990).
[Crossref]

Kishia, T.

T. Kishia, S. Shibata, and T. Yano, J. Non-Cryst. Solids 354, 558 (2008).
[Crossref]

Lang, M.

M. Lang, T. D. Milster, E. Aspnes, T. Minamitani, and G. Borek, Jpn. J. Appl. Phys. 46, 3737 (2007).
[Crossref]

Lee, E.

Lee, J. Y.

J. Y. Lee, B. H. Hong, W. Y. Kim, S. K. Min, Y. Kim, M. V. Jouravlev, R. Bose, K. S. Kim, I. C. Hwang, L. J. Kaufman, C. W. Wong, P. Kim, and K. S. Kim, Nature 460, 498 (2009).
[Crossref]

Mamin, H. J.

B. D. Terris, H. J. Mamin, and D. Ruger, Appl. Phys. Lett. 65, 388 (1994).
[Crossref]

Manalis, S. R.

L. P. Ghislaina, V. B. Elings, K. B. Crozier, S. R. Manalis, S. C. Minne, K. Wilder, G. S. Kino, and C. F. Quateb, Appl. Phys. Lett. 74, 501 (1999).
[Crossref]

Mansfield, S. M.

S. M. Mansfield and G. S. Kino, Appl. Phys. Lett. 57, 2615 (1990).
[Crossref]

Märki, I.

C. Rockstuhl, I. Märki, T. Scharf, M. Salt, H. P. Herzig, and R. Dändliker, Current Nanosci. 2, 337 (2006).
[Crossref]

Mason, D. R.

Milster, T. D.

M. Lang, T. D. Milster, E. Aspnes, T. Minamitani, and G. Borek, Jpn. J. Appl. Phys. 46, 3737 (2007).
[Crossref]

Min, S. K.

J. Y. Lee, B. H. Hong, W. Y. Kim, S. K. Min, Y. Kim, M. V. Jouravlev, R. Bose, K. S. Kim, I. C. Hwang, L. J. Kaufman, C. W. Wong, P. Kim, and K. S. Kim, Nature 460, 498 (2009).
[Crossref]

Minamitani, T.

M. Lang, T. D. Milster, E. Aspnes, T. Minamitani, and G. Borek, Jpn. J. Appl. Phys. 46, 3737 (2007).
[Crossref]

Minne, S. C.

D. A. Fletcher, K. B. Crozier, K. W. Guarini, S. C. Minne, G. S. Kino, C. F. Quate, and K. E. Goodson, J. Microelectromech. Syst. 10, 450 (2001).
[Crossref]

L. P. Ghislaina, V. B. Elings, K. B. Crozier, S. R. Manalis, S. C. Minne, K. Wilder, G. S. Kino, and C. F. Quateb, Appl. Phys. Lett. 74, 501 (1999).
[Crossref]

Mühlig, S.

M.-S. Kim, T. Scharf, S. Mühlig, C. Rockstuhl, and H. P. Herzig, Appl. Phys. Lett. 98, 191114 (2011).
[Crossref]

M.-S. Kim, T. Scharf, S. Mühlig, C. Rockstuhl, and H. P. Herzig, Opt. Express 19, 10206 (2011).
[Crossref] [PubMed]

Nicoletti, S.

M. Brun, M. Richard, and S. Nicoletti, International Symposium on Optical Memory (ISOM09), Mo-E-04 (2009).

Pesch, A.

Quate, C. F.

D. A. Fletcher, K. B. Crozier, K. W. Guarini, S. C. Minne, G. S. Kino, C. F. Quate, and K. E. Goodson, J. Microelectromech. Syst. 10, 450 (2001).
[Crossref]

Quateb, C. F.

L. P. Ghislaina, V. B. Elings, K. B. Crozier, S. R. Manalis, S. C. Minne, K. Wilder, G. S. Kino, and C. F. Quateb, Appl. Phys. Lett. 74, 501 (1999).
[Crossref]

Richard, M.

M. Brun, M. Richard, and S. Nicoletti, International Symposium on Optical Memory (ISOM09), Mo-E-04 (2009).

Rockstuhl, C.

M.-S. Kim, T. Scharf, S. Mühlig, C. Rockstuhl, and H. P. Herzig, Appl. Phys. Lett. 98, 191114 (2011).
[Crossref]

M.-S. Kim, T. Scharf, S. Mühlig, C. Rockstuhl, and H. P. Herzig, Opt. Express 19, 10206 (2011).
[Crossref] [PubMed]

C. Rockstuhl, I. Märki, T. Scharf, M. Salt, H. P. Herzig, and R. Dändliker, Current Nanosci. 2, 337 (2006).
[Crossref]

C. Rockstuhl, M. Salt, and H. P. Herzig, J. Opt. A 6, S271 (2004).
[Crossref]

Ruger, D.

B. D. Terris, H. J. Mamin, and D. Ruger, Appl. Phys. Lett. 65, 388 (1994).
[Crossref]

Salt, M.

C. Rockstuhl, I. Märki, T. Scharf, M. Salt, H. P. Herzig, and R. Dändliker, Current Nanosci. 2, 337 (2006).
[Crossref]

C. Rockstuhl, M. Salt, and H. P. Herzig, J. Opt. A 6, S271 (2004).
[Crossref]

Sandfuchs, O.

Scharf, T.

M.-S. Kim, T. Scharf, S. Mühlig, C. Rockstuhl, and H. P. Herzig, Appl. Phys. Lett. 98, 191114 (2011).
[Crossref]

M.-S. Kim, T. Scharf, S. Mühlig, C. Rockstuhl, and H. P. Herzig, Opt. Express 19, 10206 (2011).
[Crossref] [PubMed]

M.-S. Kim, T. Scharf, and H. P. Herzig, Opt. Express 18, 14319 (2010).
[Crossref] [PubMed]

M.-S. Kim, T. Scharf, and H. P. Herzig, Jpn. J. Appl. Phys. 49, 08KA03 (2010).
[Crossref]

C. Rockstuhl, I. Märki, T. Scharf, M. Salt, H. P. Herzig, and R. Dändliker, Current Nanosci. 2, 337 (2006).
[Crossref]

Shibata, S.

T. Kishia, S. Shibata, and T. Yano, J. Non-Cryst. Solids 354, 558 (2008).
[Crossref]

Terris, B. D.

B. D. Terris, H. J. Mamin, and D. Ruger, Appl. Phys. Lett. 65, 388 (1994).
[Crossref]

White, J. O.

Whitesides, G. M.

Y. Xia and G. M. Whitesides, Annu. Rev. Mater. Sci. 28, 153 (1998).
[Crossref]

Wilder, K.

L. P. Ghislaina, V. B. Elings, K. B. Crozier, S. R. Manalis, S. C. Minne, K. Wilder, G. S. Kino, and C. F. Quateb, Appl. Phys. Lett. 74, 501 (1999).
[Crossref]

Wong, C. W.

J. Y. Lee, B. H. Hong, W. Y. Kim, S. K. Min, Y. Kim, M. V. Jouravlev, R. Bose, K. S. Kim, I. C. Hwang, L. J. Kaufman, C. W. Wong, P. Kim, and K. S. Kim, Nature 460, 498 (2009).
[Crossref]

Xia, Y.

Y. Xia and G. M. Whitesides, Annu. Rev. Mater. Sci. 28, 153 (1998).
[Crossref]

Yano, T.

T. Kishia, S. Shibata, and T. Yano, J. Non-Cryst. Solids 354, 558 (2008).
[Crossref]

Annu. Rev. Mater. Sci. (1)

Y. Xia and G. M. Whitesides, Annu. Rev. Mater. Sci. 28, 153 (1998).
[Crossref]

Appl. Phys. Lett. (4)

M.-S. Kim, T. Scharf, S. Mühlig, C. Rockstuhl, and H. P. Herzig, Appl. Phys. Lett. 98, 191114 (2011).
[Crossref]

S. M. Mansfield and G. S. Kino, Appl. Phys. Lett. 57, 2615 (1990).
[Crossref]

B. D. Terris, H. J. Mamin, and D. Ruger, Appl. Phys. Lett. 65, 388 (1994).
[Crossref]

L. P. Ghislaina, V. B. Elings, K. B. Crozier, S. R. Manalis, S. C. Minne, K. Wilder, G. S. Kino, and C. F. Quateb, Appl. Phys. Lett. 74, 501 (1999).
[Crossref]

Current Nanosci. (1)

C. Rockstuhl, I. Märki, T. Scharf, M. Salt, H. P. Herzig, and R. Dändliker, Current Nanosci. 2, 337 (2006).
[Crossref]

J. Microelectromech. Syst. (1)

D. A. Fletcher, K. B. Crozier, K. W. Guarini, S. C. Minne, G. S. Kino, C. F. Quate, and K. E. Goodson, J. Microelectromech. Syst. 10, 450 (2001).
[Crossref]

J. Non-Cryst. Solids (1)

T. Kishia, S. Shibata, and T. Yano, J. Non-Cryst. Solids 354, 558 (2008).
[Crossref]

J. Opt. A (1)

C. Rockstuhl, M. Salt, and H. P. Herzig, J. Opt. A 6, S271 (2004).
[Crossref]

J. Opt. Soc. Am. A (1)

J. R. Microsc. Soc. (2)

E. Abbe, J. R. Microsc. Soc. 2, 812 (1879).
[Crossref]

E. Abbe, J. R. Microsc. Soc. 21, 388 (1881).
[Crossref]

Jpn. J. Appl. Phys. (2)

M. Lang, T. D. Milster, E. Aspnes, T. Minamitani, and G. Borek, Jpn. J. Appl. Phys. 46, 3737 (2007).
[Crossref]

M.-S. Kim, T. Scharf, and H. P. Herzig, Jpn. J. Appl. Phys. 49, 08KA03 (2010).
[Crossref]

Nature (1)

J. Y. Lee, B. H. Hong, W. Y. Kim, S. K. Min, Y. Kim, M. V. Jouravlev, R. Bose, K. S. Kim, I. C. Hwang, L. J. Kaufman, C. W. Wong, P. Kim, and K. S. Kim, Nature 460, 498 (2009).
[Crossref]

Opt. Express (3)

Opt. Lett. (1)

Other (2)

M. Brun, M. Richard, and S. Nicoletti, International Symposium on Optical Memory (ISOM09), Mo-E-04 (2009).

R. Hooke, Microscopium (Royal Society, 1678).

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (5)

Fig. 1
Fig. 1

SEM images of PMMA cylindrical structures on the silicon substrate: (a)  diameter = 600 nm and height = 200 nm and (b)  diameter = 450 nm and height = 150 nm .

Fig. 2
Fig. 2

SEM images of polymer spherical structures replicated on the glass substrate after reflow: (a)  diameter = 700 nm and height = 54 nm and (b)  diameter = 530 nm and height = 45 nm .

Fig. 3
Fig. 3

Geometries of the optical characterization experiments (bottom row) and the corresponding CCD images (top row): focal spot (a) at the interface between air and glass in an area without polymer, (b) at the glass-polymer interface illuminated through a planar polymer, and (c) illuminating the 700 nm nano-SIL.

Fig. 4
Fig. 4

Cross sections of the 3D fields through the maximum intensity point for (a) transverse phase distributions, (b) transverse and (c) longitudinal intensity distributions of the focal spots. The top row shows the reference focal spot [see Fig. 3a], the middle row shows the focal spot produced by the 700 nm SIL [see Fig. 2a], and the bottom row shows the focal spot produced by the 530 nm SIL [see Fig. 2b]. The intensities are normalized.

Fig. 5
Fig. 5

Lateral (x axis) and axial (z axis) intensity profiles of the reference and nano-SIL focal spots: (a) x axis and (b) z axis profiles. Dashed lines denote the reference focal spot and solid lines denote the focal spot of the 700 nm nano-SIL.

Equations (1)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

NA = n · sin θ ,

Metrics