Abstract

Taking inspiration from conventional top-down micromachining techniques, we have fabricated a low mass gold fiber-top cantilever via align-and-shine photolithography. The cantilever is characterized by measuring its resonance frequency and mechanical quality factor. Our results show that the device grants mass sensitivity comparable to that reported for similar standard cantilevers. This proof-of-concept paves the way to series production of highly sensitive fiber-top devices for remote detection of biochemical substances.

© 2011 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. A. M. Moulin, S. J. O’Shea, R. A. Badley, P. Doyle, and M. E. Welland, Langmuir 15, 8776 (1999).
    [CrossRef]
  2. M. K. Baller, H. P. Lang, J. Fritz, C. Gerber, J. K. Gimzewski, U. Drechsler, H. Rothuizen, M. Despont, P. Vettiger, F. M. Battiston, J. P. Ramseyer, P. Fornaro, E. Meyer, and H.-J. Güntherodt, Ultramicroscopy 82, 1 (2000).
    [CrossRef] [PubMed]
  3. J. Fritz, M. K. Baller, H. P. Lang, H. Rothuizen, P. Vettiger, E. Meyer, H.-J. Güntherodt, C. Gerber, and J. K. Gimzewski, Science 288, 316 (2000).
    [CrossRef] [PubMed]
  4. J. L. Arlett, E. B. Myers, and M. L. Roukes, Nat. Nanotechnol. 6, 203 (2011).
    [CrossRef] [PubMed]
  5. G. Wu, R. H. Datar, K. M. Hansen, T. Thundat, R. J. Cote, and A. Majumdar, Nat. Biotechnol. 19, 856 (2001).
    [CrossRef] [PubMed]
  6. G. Meyer and N. M. Amer, Appl. Phys. Lett. 53, 1045 (1988).
    [CrossRef]
  7. M. Li, E. B. Myers, H. X. Tang, S. J. Aldridge, H. C. McCaig, J. J. Whiting, R. J. Simonson, N. S. Lewis, and M. L. Roukes, Nano. Lett. 10, 3899 (2010).
    [CrossRef] [PubMed]
  8. G. Shekhawat, S.-H. Tark, and V. P. Dravid, Science 311, 1592 (2006).
    [CrossRef] [PubMed]
  9. D. Iannuzzi, S. Deladi, V. J. Gadgil, R. G. P. Sanders, H. Schreuders, and M. C. Elwenspoek, Appl. Phys. Lett. 88, 053501 (2006).
    [CrossRef]
  10. D. Iannuzzi, S. Deladi, M. Slaman, J. H. Rector, H. Schreuders, and M. C. Elwenspoek, Sens. Actuators B 121, 706 (2007).
  11. C. Ma and A. Wang, Opt. Lett. 35, 2043 (2010).
    [CrossRef] [PubMed]
  12. G. T. A. Kovacs, Micromachined Transducers Sourcebook (McGraw-Hill, 1998).
  13. A. Petrusis, J. H. Rector, K. Smith, S. de Man, and D. Iannuzzi, J. Micromech. Microeng. 19, 047001(2009).
    [CrossRef]
  14. D. Rugar, H. J. Mamin, R. Erlandsson, and B. D. Terris, Rev. Sci. Instrum. 59, 2337 (1988).
    [CrossRef]
  15. P. S. Waggoner and H. G. Craighead, Lab Chip 7, 1238(2007).
    [CrossRef] [PubMed]
  16. K. B. Gavan, E. W. J. M. van der Drift, W. J. Venstra, M. R. Zuiddam, and H. S. J. van der Zant, J. Micromech. Microeng. 19, 035003 (2009).
    [CrossRef]

2011

J. L. Arlett, E. B. Myers, and M. L. Roukes, Nat. Nanotechnol. 6, 203 (2011).
[CrossRef] [PubMed]

2010

M. Li, E. B. Myers, H. X. Tang, S. J. Aldridge, H. C. McCaig, J. J. Whiting, R. J. Simonson, N. S. Lewis, and M. L. Roukes, Nano. Lett. 10, 3899 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

C. Ma and A. Wang, Opt. Lett. 35, 2043 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

2009

A. Petrusis, J. H. Rector, K. Smith, S. de Man, and D. Iannuzzi, J. Micromech. Microeng. 19, 047001(2009).
[CrossRef]

K. B. Gavan, E. W. J. M. van der Drift, W. J. Venstra, M. R. Zuiddam, and H. S. J. van der Zant, J. Micromech. Microeng. 19, 035003 (2009).
[CrossRef]

2007

P. S. Waggoner and H. G. Craighead, Lab Chip 7, 1238(2007).
[CrossRef] [PubMed]

D. Iannuzzi, S. Deladi, M. Slaman, J. H. Rector, H. Schreuders, and M. C. Elwenspoek, Sens. Actuators B 121, 706 (2007).

2006

G. Shekhawat, S.-H. Tark, and V. P. Dravid, Science 311, 1592 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

D. Iannuzzi, S. Deladi, V. J. Gadgil, R. G. P. Sanders, H. Schreuders, and M. C. Elwenspoek, Appl. Phys. Lett. 88, 053501 (2006).
[CrossRef]

2001

G. Wu, R. H. Datar, K. M. Hansen, T. Thundat, R. J. Cote, and A. Majumdar, Nat. Biotechnol. 19, 856 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

2000

M. K. Baller, H. P. Lang, J. Fritz, C. Gerber, J. K. Gimzewski, U. Drechsler, H. Rothuizen, M. Despont, P. Vettiger, F. M. Battiston, J. P. Ramseyer, P. Fornaro, E. Meyer, and H.-J. Güntherodt, Ultramicroscopy 82, 1 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

J. Fritz, M. K. Baller, H. P. Lang, H. Rothuizen, P. Vettiger, E. Meyer, H.-J. Güntherodt, C. Gerber, and J. K. Gimzewski, Science 288, 316 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

1999

A. M. Moulin, S. J. O’Shea, R. A. Badley, P. Doyle, and M. E. Welland, Langmuir 15, 8776 (1999).
[CrossRef]

1988

G. Meyer and N. M. Amer, Appl. Phys. Lett. 53, 1045 (1988).
[CrossRef]

D. Rugar, H. J. Mamin, R. Erlandsson, and B. D. Terris, Rev. Sci. Instrum. 59, 2337 (1988).
[CrossRef]

Aldridge, S. J.

M. Li, E. B. Myers, H. X. Tang, S. J. Aldridge, H. C. McCaig, J. J. Whiting, R. J. Simonson, N. S. Lewis, and M. L. Roukes, Nano. Lett. 10, 3899 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

Amer, N. M.

G. Meyer and N. M. Amer, Appl. Phys. Lett. 53, 1045 (1988).
[CrossRef]

Arlett, J. L.

J. L. Arlett, E. B. Myers, and M. L. Roukes, Nat. Nanotechnol. 6, 203 (2011).
[CrossRef] [PubMed]

Badley, R. A.

A. M. Moulin, S. J. O’Shea, R. A. Badley, P. Doyle, and M. E. Welland, Langmuir 15, 8776 (1999).
[CrossRef]

Baller, M. K.

M. K. Baller, H. P. Lang, J. Fritz, C. Gerber, J. K. Gimzewski, U. Drechsler, H. Rothuizen, M. Despont, P. Vettiger, F. M. Battiston, J. P. Ramseyer, P. Fornaro, E. Meyer, and H.-J. Güntherodt, Ultramicroscopy 82, 1 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

J. Fritz, M. K. Baller, H. P. Lang, H. Rothuizen, P. Vettiger, E. Meyer, H.-J. Güntherodt, C. Gerber, and J. K. Gimzewski, Science 288, 316 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Battiston, F. M.

M. K. Baller, H. P. Lang, J. Fritz, C. Gerber, J. K. Gimzewski, U. Drechsler, H. Rothuizen, M. Despont, P. Vettiger, F. M. Battiston, J. P. Ramseyer, P. Fornaro, E. Meyer, and H.-J. Güntherodt, Ultramicroscopy 82, 1 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Cote, R. J.

G. Wu, R. H. Datar, K. M. Hansen, T. Thundat, R. J. Cote, and A. Majumdar, Nat. Biotechnol. 19, 856 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Craighead, H. G.

P. S. Waggoner and H. G. Craighead, Lab Chip 7, 1238(2007).
[CrossRef] [PubMed]

Datar, R. H.

G. Wu, R. H. Datar, K. M. Hansen, T. Thundat, R. J. Cote, and A. Majumdar, Nat. Biotechnol. 19, 856 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

de Man, S.

A. Petrusis, J. H. Rector, K. Smith, S. de Man, and D. Iannuzzi, J. Micromech. Microeng. 19, 047001(2009).
[CrossRef]

Deladi, S.

D. Iannuzzi, S. Deladi, M. Slaman, J. H. Rector, H. Schreuders, and M. C. Elwenspoek, Sens. Actuators B 121, 706 (2007).

D. Iannuzzi, S. Deladi, V. J. Gadgil, R. G. P. Sanders, H. Schreuders, and M. C. Elwenspoek, Appl. Phys. Lett. 88, 053501 (2006).
[CrossRef]

Despont, M.

M. K. Baller, H. P. Lang, J. Fritz, C. Gerber, J. K. Gimzewski, U. Drechsler, H. Rothuizen, M. Despont, P. Vettiger, F. M. Battiston, J. P. Ramseyer, P. Fornaro, E. Meyer, and H.-J. Güntherodt, Ultramicroscopy 82, 1 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Doyle, P.

A. M. Moulin, S. J. O’Shea, R. A. Badley, P. Doyle, and M. E. Welland, Langmuir 15, 8776 (1999).
[CrossRef]

Dravid, V. P.

G. Shekhawat, S.-H. Tark, and V. P. Dravid, Science 311, 1592 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Drechsler, U.

M. K. Baller, H. P. Lang, J. Fritz, C. Gerber, J. K. Gimzewski, U. Drechsler, H. Rothuizen, M. Despont, P. Vettiger, F. M. Battiston, J. P. Ramseyer, P. Fornaro, E. Meyer, and H.-J. Güntherodt, Ultramicroscopy 82, 1 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Elwenspoek, M. C.

D. Iannuzzi, S. Deladi, M. Slaman, J. H. Rector, H. Schreuders, and M. C. Elwenspoek, Sens. Actuators B 121, 706 (2007).

D. Iannuzzi, S. Deladi, V. J. Gadgil, R. G. P. Sanders, H. Schreuders, and M. C. Elwenspoek, Appl. Phys. Lett. 88, 053501 (2006).
[CrossRef]

Erlandsson, R.

D. Rugar, H. J. Mamin, R. Erlandsson, and B. D. Terris, Rev. Sci. Instrum. 59, 2337 (1988).
[CrossRef]

Fornaro, P.

M. K. Baller, H. P. Lang, J. Fritz, C. Gerber, J. K. Gimzewski, U. Drechsler, H. Rothuizen, M. Despont, P. Vettiger, F. M. Battiston, J. P. Ramseyer, P. Fornaro, E. Meyer, and H.-J. Güntherodt, Ultramicroscopy 82, 1 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Fritz, J.

M. K. Baller, H. P. Lang, J. Fritz, C. Gerber, J. K. Gimzewski, U. Drechsler, H. Rothuizen, M. Despont, P. Vettiger, F. M. Battiston, J. P. Ramseyer, P. Fornaro, E. Meyer, and H.-J. Güntherodt, Ultramicroscopy 82, 1 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

J. Fritz, M. K. Baller, H. P. Lang, H. Rothuizen, P. Vettiger, E. Meyer, H.-J. Güntherodt, C. Gerber, and J. K. Gimzewski, Science 288, 316 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Gadgil, V. J.

D. Iannuzzi, S. Deladi, V. J. Gadgil, R. G. P. Sanders, H. Schreuders, and M. C. Elwenspoek, Appl. Phys. Lett. 88, 053501 (2006).
[CrossRef]

Gavan, K. B.

K. B. Gavan, E. W. J. M. van der Drift, W. J. Venstra, M. R. Zuiddam, and H. S. J. van der Zant, J. Micromech. Microeng. 19, 035003 (2009).
[CrossRef]

Gerber, C.

J. Fritz, M. K. Baller, H. P. Lang, H. Rothuizen, P. Vettiger, E. Meyer, H.-J. Güntherodt, C. Gerber, and J. K. Gimzewski, Science 288, 316 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

M. K. Baller, H. P. Lang, J. Fritz, C. Gerber, J. K. Gimzewski, U. Drechsler, H. Rothuizen, M. Despont, P. Vettiger, F. M. Battiston, J. P. Ramseyer, P. Fornaro, E. Meyer, and H.-J. Güntherodt, Ultramicroscopy 82, 1 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Gimzewski, J. K.

M. K. Baller, H. P. Lang, J. Fritz, C. Gerber, J. K. Gimzewski, U. Drechsler, H. Rothuizen, M. Despont, P. Vettiger, F. M. Battiston, J. P. Ramseyer, P. Fornaro, E. Meyer, and H.-J. Güntherodt, Ultramicroscopy 82, 1 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

J. Fritz, M. K. Baller, H. P. Lang, H. Rothuizen, P. Vettiger, E. Meyer, H.-J. Güntherodt, C. Gerber, and J. K. Gimzewski, Science 288, 316 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Güntherodt, H.-J.

M. K. Baller, H. P. Lang, J. Fritz, C. Gerber, J. K. Gimzewski, U. Drechsler, H. Rothuizen, M. Despont, P. Vettiger, F. M. Battiston, J. P. Ramseyer, P. Fornaro, E. Meyer, and H.-J. Güntherodt, Ultramicroscopy 82, 1 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

J. Fritz, M. K. Baller, H. P. Lang, H. Rothuizen, P. Vettiger, E. Meyer, H.-J. Güntherodt, C. Gerber, and J. K. Gimzewski, Science 288, 316 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Hansen, K. M.

G. Wu, R. H. Datar, K. M. Hansen, T. Thundat, R. J. Cote, and A. Majumdar, Nat. Biotechnol. 19, 856 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Iannuzzi, D.

A. Petrusis, J. H. Rector, K. Smith, S. de Man, and D. Iannuzzi, J. Micromech. Microeng. 19, 047001(2009).
[CrossRef]

D. Iannuzzi, S. Deladi, M. Slaman, J. H. Rector, H. Schreuders, and M. C. Elwenspoek, Sens. Actuators B 121, 706 (2007).

D. Iannuzzi, S. Deladi, V. J. Gadgil, R. G. P. Sanders, H. Schreuders, and M. C. Elwenspoek, Appl. Phys. Lett. 88, 053501 (2006).
[CrossRef]

Kovacs, G. T. A.

G. T. A. Kovacs, Micromachined Transducers Sourcebook (McGraw-Hill, 1998).

Lang, H. P.

J. Fritz, M. K. Baller, H. P. Lang, H. Rothuizen, P. Vettiger, E. Meyer, H.-J. Güntherodt, C. Gerber, and J. K. Gimzewski, Science 288, 316 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

M. K. Baller, H. P. Lang, J. Fritz, C. Gerber, J. K. Gimzewski, U. Drechsler, H. Rothuizen, M. Despont, P. Vettiger, F. M. Battiston, J. P. Ramseyer, P. Fornaro, E. Meyer, and H.-J. Güntherodt, Ultramicroscopy 82, 1 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Lewis, N. S.

M. Li, E. B. Myers, H. X. Tang, S. J. Aldridge, H. C. McCaig, J. J. Whiting, R. J. Simonson, N. S. Lewis, and M. L. Roukes, Nano. Lett. 10, 3899 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

Li, M.

M. Li, E. B. Myers, H. X. Tang, S. J. Aldridge, H. C. McCaig, J. J. Whiting, R. J. Simonson, N. S. Lewis, and M. L. Roukes, Nano. Lett. 10, 3899 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

Ma, C.

Majumdar, A.

G. Wu, R. H. Datar, K. M. Hansen, T. Thundat, R. J. Cote, and A. Majumdar, Nat. Biotechnol. 19, 856 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Mamin, H. J.

D. Rugar, H. J. Mamin, R. Erlandsson, and B. D. Terris, Rev. Sci. Instrum. 59, 2337 (1988).
[CrossRef]

McCaig, H. C.

M. Li, E. B. Myers, H. X. Tang, S. J. Aldridge, H. C. McCaig, J. J. Whiting, R. J. Simonson, N. S. Lewis, and M. L. Roukes, Nano. Lett. 10, 3899 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

Meyer, E.

M. K. Baller, H. P. Lang, J. Fritz, C. Gerber, J. K. Gimzewski, U. Drechsler, H. Rothuizen, M. Despont, P. Vettiger, F. M. Battiston, J. P. Ramseyer, P. Fornaro, E. Meyer, and H.-J. Güntherodt, Ultramicroscopy 82, 1 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

J. Fritz, M. K. Baller, H. P. Lang, H. Rothuizen, P. Vettiger, E. Meyer, H.-J. Güntherodt, C. Gerber, and J. K. Gimzewski, Science 288, 316 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Meyer, G.

G. Meyer and N. M. Amer, Appl. Phys. Lett. 53, 1045 (1988).
[CrossRef]

Moulin, A. M.

A. M. Moulin, S. J. O’Shea, R. A. Badley, P. Doyle, and M. E. Welland, Langmuir 15, 8776 (1999).
[CrossRef]

Myers, E. B.

J. L. Arlett, E. B. Myers, and M. L. Roukes, Nat. Nanotechnol. 6, 203 (2011).
[CrossRef] [PubMed]

M. Li, E. B. Myers, H. X. Tang, S. J. Aldridge, H. C. McCaig, J. J. Whiting, R. J. Simonson, N. S. Lewis, and M. L. Roukes, Nano. Lett. 10, 3899 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

O’Shea, S. J.

A. M. Moulin, S. J. O’Shea, R. A. Badley, P. Doyle, and M. E. Welland, Langmuir 15, 8776 (1999).
[CrossRef]

Petrusis, A.

A. Petrusis, J. H. Rector, K. Smith, S. de Man, and D. Iannuzzi, J. Micromech. Microeng. 19, 047001(2009).
[CrossRef]

Ramseyer, J. P.

M. K. Baller, H. P. Lang, J. Fritz, C. Gerber, J. K. Gimzewski, U. Drechsler, H. Rothuizen, M. Despont, P. Vettiger, F. M. Battiston, J. P. Ramseyer, P. Fornaro, E. Meyer, and H.-J. Güntherodt, Ultramicroscopy 82, 1 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Rector, J. H.

A. Petrusis, J. H. Rector, K. Smith, S. de Man, and D. Iannuzzi, J. Micromech. Microeng. 19, 047001(2009).
[CrossRef]

D. Iannuzzi, S. Deladi, M. Slaman, J. H. Rector, H. Schreuders, and M. C. Elwenspoek, Sens. Actuators B 121, 706 (2007).

Rothuizen, H.

M. K. Baller, H. P. Lang, J. Fritz, C. Gerber, J. K. Gimzewski, U. Drechsler, H. Rothuizen, M. Despont, P. Vettiger, F. M. Battiston, J. P. Ramseyer, P. Fornaro, E. Meyer, and H.-J. Güntherodt, Ultramicroscopy 82, 1 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

J. Fritz, M. K. Baller, H. P. Lang, H. Rothuizen, P. Vettiger, E. Meyer, H.-J. Güntherodt, C. Gerber, and J. K. Gimzewski, Science 288, 316 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Roukes, M. L.

J. L. Arlett, E. B. Myers, and M. L. Roukes, Nat. Nanotechnol. 6, 203 (2011).
[CrossRef] [PubMed]

M. Li, E. B. Myers, H. X. Tang, S. J. Aldridge, H. C. McCaig, J. J. Whiting, R. J. Simonson, N. S. Lewis, and M. L. Roukes, Nano. Lett. 10, 3899 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

Rugar, D.

D. Rugar, H. J. Mamin, R. Erlandsson, and B. D. Terris, Rev. Sci. Instrum. 59, 2337 (1988).
[CrossRef]

Sanders, R. G. P.

D. Iannuzzi, S. Deladi, V. J. Gadgil, R. G. P. Sanders, H. Schreuders, and M. C. Elwenspoek, Appl. Phys. Lett. 88, 053501 (2006).
[CrossRef]

Schreuders, H.

D. Iannuzzi, S. Deladi, M. Slaman, J. H. Rector, H. Schreuders, and M. C. Elwenspoek, Sens. Actuators B 121, 706 (2007).

D. Iannuzzi, S. Deladi, V. J. Gadgil, R. G. P. Sanders, H. Schreuders, and M. C. Elwenspoek, Appl. Phys. Lett. 88, 053501 (2006).
[CrossRef]

Shekhawat, G.

G. Shekhawat, S.-H. Tark, and V. P. Dravid, Science 311, 1592 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Simonson, R. J.

M. Li, E. B. Myers, H. X. Tang, S. J. Aldridge, H. C. McCaig, J. J. Whiting, R. J. Simonson, N. S. Lewis, and M. L. Roukes, Nano. Lett. 10, 3899 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

Slaman, M.

D. Iannuzzi, S. Deladi, M. Slaman, J. H. Rector, H. Schreuders, and M. C. Elwenspoek, Sens. Actuators B 121, 706 (2007).

Smith, K.

A. Petrusis, J. H. Rector, K. Smith, S. de Man, and D. Iannuzzi, J. Micromech. Microeng. 19, 047001(2009).
[CrossRef]

Tang, H. X.

M. Li, E. B. Myers, H. X. Tang, S. J. Aldridge, H. C. McCaig, J. J. Whiting, R. J. Simonson, N. S. Lewis, and M. L. Roukes, Nano. Lett. 10, 3899 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

Tark, S.-H.

G. Shekhawat, S.-H. Tark, and V. P. Dravid, Science 311, 1592 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Terris, B. D.

D. Rugar, H. J. Mamin, R. Erlandsson, and B. D. Terris, Rev. Sci. Instrum. 59, 2337 (1988).
[CrossRef]

Thundat, T.

G. Wu, R. H. Datar, K. M. Hansen, T. Thundat, R. J. Cote, and A. Majumdar, Nat. Biotechnol. 19, 856 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

van der Drift, E. W. J. M.

K. B. Gavan, E. W. J. M. van der Drift, W. J. Venstra, M. R. Zuiddam, and H. S. J. van der Zant, J. Micromech. Microeng. 19, 035003 (2009).
[CrossRef]

van der Zant, H. S. J.

K. B. Gavan, E. W. J. M. van der Drift, W. J. Venstra, M. R. Zuiddam, and H. S. J. van der Zant, J. Micromech. Microeng. 19, 035003 (2009).
[CrossRef]

Venstra, W. J.

K. B. Gavan, E. W. J. M. van der Drift, W. J. Venstra, M. R. Zuiddam, and H. S. J. van der Zant, J. Micromech. Microeng. 19, 035003 (2009).
[CrossRef]

Vettiger, P.

J. Fritz, M. K. Baller, H. P. Lang, H. Rothuizen, P. Vettiger, E. Meyer, H.-J. Güntherodt, C. Gerber, and J. K. Gimzewski, Science 288, 316 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

M. K. Baller, H. P. Lang, J. Fritz, C. Gerber, J. K. Gimzewski, U. Drechsler, H. Rothuizen, M. Despont, P. Vettiger, F. M. Battiston, J. P. Ramseyer, P. Fornaro, E. Meyer, and H.-J. Güntherodt, Ultramicroscopy 82, 1 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Waggoner, P. S.

P. S. Waggoner and H. G. Craighead, Lab Chip 7, 1238(2007).
[CrossRef] [PubMed]

Wang, A.

Welland, M. E.

A. M. Moulin, S. J. O’Shea, R. A. Badley, P. Doyle, and M. E. Welland, Langmuir 15, 8776 (1999).
[CrossRef]

Whiting, J. J.

M. Li, E. B. Myers, H. X. Tang, S. J. Aldridge, H. C. McCaig, J. J. Whiting, R. J. Simonson, N. S. Lewis, and M. L. Roukes, Nano. Lett. 10, 3899 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

Wu, G.

G. Wu, R. H. Datar, K. M. Hansen, T. Thundat, R. J. Cote, and A. Majumdar, Nat. Biotechnol. 19, 856 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Zuiddam, M. R.

K. B. Gavan, E. W. J. M. van der Drift, W. J. Venstra, M. R. Zuiddam, and H. S. J. van der Zant, J. Micromech. Microeng. 19, 035003 (2009).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett.

G. Meyer and N. M. Amer, Appl. Phys. Lett. 53, 1045 (1988).
[CrossRef]

D. Iannuzzi, S. Deladi, V. J. Gadgil, R. G. P. Sanders, H. Schreuders, and M. C. Elwenspoek, Appl. Phys. Lett. 88, 053501 (2006).
[CrossRef]

J. Micromech. Microeng.

A. Petrusis, J. H. Rector, K. Smith, S. de Man, and D. Iannuzzi, J. Micromech. Microeng. 19, 047001(2009).
[CrossRef]

K. B. Gavan, E. W. J. M. van der Drift, W. J. Venstra, M. R. Zuiddam, and H. S. J. van der Zant, J. Micromech. Microeng. 19, 035003 (2009).
[CrossRef]

Lab Chip

P. S. Waggoner and H. G. Craighead, Lab Chip 7, 1238(2007).
[CrossRef] [PubMed]

Langmuir

A. M. Moulin, S. J. O’Shea, R. A. Badley, P. Doyle, and M. E. Welland, Langmuir 15, 8776 (1999).
[CrossRef]

Nano. Lett.

M. Li, E. B. Myers, H. X. Tang, S. J. Aldridge, H. C. McCaig, J. J. Whiting, R. J. Simonson, N. S. Lewis, and M. L. Roukes, Nano. Lett. 10, 3899 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

Nat. Biotechnol.

G. Wu, R. H. Datar, K. M. Hansen, T. Thundat, R. J. Cote, and A. Majumdar, Nat. Biotechnol. 19, 856 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Nat. Nanotechnol.

J. L. Arlett, E. B. Myers, and M. L. Roukes, Nat. Nanotechnol. 6, 203 (2011).
[CrossRef] [PubMed]

Opt. Lett.

Rev. Sci. Instrum.

D. Rugar, H. J. Mamin, R. Erlandsson, and B. D. Terris, Rev. Sci. Instrum. 59, 2337 (1988).
[CrossRef]

Science

J. Fritz, M. K. Baller, H. P. Lang, H. Rothuizen, P. Vettiger, E. Meyer, H.-J. Güntherodt, C. Gerber, and J. K. Gimzewski, Science 288, 316 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

G. Shekhawat, S.-H. Tark, and V. P. Dravid, Science 311, 1592 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Sens. Actuators

D. Iannuzzi, S. Deladi, M. Slaman, J. H. Rector, H. Schreuders, and M. C. Elwenspoek, Sens. Actuators B 121, 706 (2007).

Ultramicroscopy

M. K. Baller, H. P. Lang, J. Fritz, C. Gerber, J. K. Gimzewski, U. Drechsler, H. Rothuizen, M. Despont, P. Vettiger, F. M. Battiston, J. P. Ramseyer, P. Fornaro, E. Meyer, and H.-J. Güntherodt, Ultramicroscopy 82, 1 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Other

G. T. A. Kovacs, Micromachined Transducers Sourcebook (McGraw-Hill, 1998).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1
Fig. 1

Schematic view of the steps followed for top-down fabrication of fiber-top cantilevers (not to scale). (a) A cleaved optical fiber, (b) coating of the optical fiber with photoresist, (c) pattern transfer via align-and-shine photo lithography [13], (d) resist development, (e) deposition of a chromium-gold bilayer and lift off of the photoresist, (f) wet etch release of the cantilever.

Fig. 2
Fig. 2

Scanning electron micrograph of a fiber-top cantilever fabricated with a top-down approach. The dimensions are: thickness = 350 nm , overall length ( cantilever + paddle ) = 22 μm , width = 7 μm , and diameter of the paddle = 11 μm .

Fig. 3
Fig. 3

Sketch of the experimental setup used to measure the resonance frequency of the fiber-top cantilever shown in Fig. 2. L: laser, CP: coupler, PZ: piezoelectric transducer, PD: photodiode, SA: spectrum analyzer. Inset: sketch of the interferometric principle used to detect the bending of the cantilever. Arrows (a) and (b) indicate the light reflected by the fiber-to-air interface and by the cantilever, respectively.

Fig. 4
Fig. 4

Measured spectrum of the resonance curve (in air) of a fiber-top cantilever fabricated with a top-down approach. The red curve represents a Lorentzian fit through the data. The resonance frequency is 447 kHz , and the mechanical quality factor is 98.

Metrics