Abstract

We used an approach based on the self-imaging property of gratings to fabricate high-resolution Fresnel zone plates (FZPs). Under certain conditions, the illumination of a parent ZP with a wideband EUV beam produces a radially oscillating intensity distribution with double the spatial frequency of the ZP. This intensity distribution is observed in a certain distance range, given by the local zone width, the focal length of the ZP, and the spectral bandwidth of the illuminating beam. This phenomenon has been used to lithographically record daughter ZPs that have approximately half the zone width, thus twice the resolution, of the parent ZP. FZPs with zone widths as low as 30 nm have been fabricated in this way. Use of this technique in the extreme ultraviolet (EUV) region has the potential for high throughput production of FZPs and similar high-resolution diffraction optics with variable spatial frequency for the EUV and x-ray regions.

© 2011 Optical Society of America

PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. A. V. Baez, J. Opt. Soc. Am. 51, 405 (1961).
    [CrossRef]
  2. J. Kirz, C. Jacobsen, and M. Howells, Q. Rev. Biophys. 28, 33 (1995).
    [CrossRef]
  3. J. Vila-Comamala, K. Jefimovs, J. Raabe, T. Pilvi, R. H. Fink, M. Senoner, A. Maassdorf, M. Ritala, and C. David, Ultramicroscopy 109, 1360 (2009).
    [CrossRef]
  4. V. Auzelyte, C. Dais, P. Farquet, D. Grützmacher, L. J. Heyderman, F. Luo, S. Olliges, C. Padeste, P. K. Sahoo, T. Thomson, A. Turchanin, C. David, and H. H. Solak, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 8, 021204 (2009).
    [CrossRef]
  5. H. H. Solak and Y. Ekinci, J. Vac. Sci. Technol. B 23, 2705 (2005).
    [CrossRef]
  6. J. W. Goodman, Introduction to Fourier Optics (Roberts & Co., 2005) pp. 55–58.
  7. M. Saidani and H. H. Solak, Microelectron. Eng. 86, 483 (2009).
    [CrossRef]
  8. J. K. W. Yang and K. K. Berggren, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 2025 (2007).
    [CrossRef]
  9. H. H. Solak, C. David, and J. Gobrecht, Appl. Phys. Lett. 85, 2700 (2004).
    [CrossRef]
  10. S. S. Sarkar, H. H. Solak, J. Raabe, C. David, and J. F. van der Veen, Microelectron. Eng. 87, 854 (2010).
    [CrossRef]

2010 (1)

S. S. Sarkar, H. H. Solak, J. Raabe, C. David, and J. F. van der Veen, Microelectron. Eng. 87, 854 (2010).
[CrossRef]

2009 (3)

J. Vila-Comamala, K. Jefimovs, J. Raabe, T. Pilvi, R. H. Fink, M. Senoner, A. Maassdorf, M. Ritala, and C. David, Ultramicroscopy 109, 1360 (2009).
[CrossRef]

V. Auzelyte, C. Dais, P. Farquet, D. Grützmacher, L. J. Heyderman, F. Luo, S. Olliges, C. Padeste, P. K. Sahoo, T. Thomson, A. Turchanin, C. David, and H. H. Solak, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 8, 021204 (2009).
[CrossRef]

M. Saidani and H. H. Solak, Microelectron. Eng. 86, 483 (2009).
[CrossRef]

2007 (1)

J. K. W. Yang and K. K. Berggren, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 2025 (2007).
[CrossRef]

2005 (1)

H. H. Solak and Y. Ekinci, J. Vac. Sci. Technol. B 23, 2705 (2005).
[CrossRef]

2004 (1)

H. H. Solak, C. David, and J. Gobrecht, Appl. Phys. Lett. 85, 2700 (2004).
[CrossRef]

1995 (1)

J. Kirz, C. Jacobsen, and M. Howells, Q. Rev. Biophys. 28, 33 (1995).
[CrossRef]

1961 (1)

Auzelyte, V.

V. Auzelyte, C. Dais, P. Farquet, D. Grützmacher, L. J. Heyderman, F. Luo, S. Olliges, C. Padeste, P. K. Sahoo, T. Thomson, A. Turchanin, C. David, and H. H. Solak, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 8, 021204 (2009).
[CrossRef]

Baez, A. V.

Berggren, K. K.

J. K. W. Yang and K. K. Berggren, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 2025 (2007).
[CrossRef]

Dais, C.

V. Auzelyte, C. Dais, P. Farquet, D. Grützmacher, L. J. Heyderman, F. Luo, S. Olliges, C. Padeste, P. K. Sahoo, T. Thomson, A. Turchanin, C. David, and H. H. Solak, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 8, 021204 (2009).
[CrossRef]

David, C.

S. S. Sarkar, H. H. Solak, J. Raabe, C. David, and J. F. van der Veen, Microelectron. Eng. 87, 854 (2010).
[CrossRef]

J. Vila-Comamala, K. Jefimovs, J. Raabe, T. Pilvi, R. H. Fink, M. Senoner, A. Maassdorf, M. Ritala, and C. David, Ultramicroscopy 109, 1360 (2009).
[CrossRef]

V. Auzelyte, C. Dais, P. Farquet, D. Grützmacher, L. J. Heyderman, F. Luo, S. Olliges, C. Padeste, P. K. Sahoo, T. Thomson, A. Turchanin, C. David, and H. H. Solak, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 8, 021204 (2009).
[CrossRef]

H. H. Solak, C. David, and J. Gobrecht, Appl. Phys. Lett. 85, 2700 (2004).
[CrossRef]

Ekinci, Y.

H. H. Solak and Y. Ekinci, J. Vac. Sci. Technol. B 23, 2705 (2005).
[CrossRef]

Farquet, P.

V. Auzelyte, C. Dais, P. Farquet, D. Grützmacher, L. J. Heyderman, F. Luo, S. Olliges, C. Padeste, P. K. Sahoo, T. Thomson, A. Turchanin, C. David, and H. H. Solak, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 8, 021204 (2009).
[CrossRef]

Fink, R. H.

J. Vila-Comamala, K. Jefimovs, J. Raabe, T. Pilvi, R. H. Fink, M. Senoner, A. Maassdorf, M. Ritala, and C. David, Ultramicroscopy 109, 1360 (2009).
[CrossRef]

Gobrecht, J.

H. H. Solak, C. David, and J. Gobrecht, Appl. Phys. Lett. 85, 2700 (2004).
[CrossRef]

Goodman, J. W.

J. W. Goodman, Introduction to Fourier Optics (Roberts & Co., 2005) pp. 55–58.

Grützmacher, D.

V. Auzelyte, C. Dais, P. Farquet, D. Grützmacher, L. J. Heyderman, F. Luo, S. Olliges, C. Padeste, P. K. Sahoo, T. Thomson, A. Turchanin, C. David, and H. H. Solak, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 8, 021204 (2009).
[CrossRef]

Heyderman, L. J.

V. Auzelyte, C. Dais, P. Farquet, D. Grützmacher, L. J. Heyderman, F. Luo, S. Olliges, C. Padeste, P. K. Sahoo, T. Thomson, A. Turchanin, C. David, and H. H. Solak, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 8, 021204 (2009).
[CrossRef]

Howells, M.

J. Kirz, C. Jacobsen, and M. Howells, Q. Rev. Biophys. 28, 33 (1995).
[CrossRef]

Jacobsen, C.

J. Kirz, C. Jacobsen, and M. Howells, Q. Rev. Biophys. 28, 33 (1995).
[CrossRef]

Jefimovs, K.

J. Vila-Comamala, K. Jefimovs, J. Raabe, T. Pilvi, R. H. Fink, M. Senoner, A. Maassdorf, M. Ritala, and C. David, Ultramicroscopy 109, 1360 (2009).
[CrossRef]

Kirz, J.

J. Kirz, C. Jacobsen, and M. Howells, Q. Rev. Biophys. 28, 33 (1995).
[CrossRef]

Luo, F.

V. Auzelyte, C. Dais, P. Farquet, D. Grützmacher, L. J. Heyderman, F. Luo, S. Olliges, C. Padeste, P. K. Sahoo, T. Thomson, A. Turchanin, C. David, and H. H. Solak, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 8, 021204 (2009).
[CrossRef]

Maassdorf, A.

J. Vila-Comamala, K. Jefimovs, J. Raabe, T. Pilvi, R. H. Fink, M. Senoner, A. Maassdorf, M. Ritala, and C. David, Ultramicroscopy 109, 1360 (2009).
[CrossRef]

Olliges, S.

V. Auzelyte, C. Dais, P. Farquet, D. Grützmacher, L. J. Heyderman, F. Luo, S. Olliges, C. Padeste, P. K. Sahoo, T. Thomson, A. Turchanin, C. David, and H. H. Solak, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 8, 021204 (2009).
[CrossRef]

Padeste, C.

V. Auzelyte, C. Dais, P. Farquet, D. Grützmacher, L. J. Heyderman, F. Luo, S. Olliges, C. Padeste, P. K. Sahoo, T. Thomson, A. Turchanin, C. David, and H. H. Solak, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 8, 021204 (2009).
[CrossRef]

Pilvi, T.

J. Vila-Comamala, K. Jefimovs, J. Raabe, T. Pilvi, R. H. Fink, M. Senoner, A. Maassdorf, M. Ritala, and C. David, Ultramicroscopy 109, 1360 (2009).
[CrossRef]

Raabe, J.

S. S. Sarkar, H. H. Solak, J. Raabe, C. David, and J. F. van der Veen, Microelectron. Eng. 87, 854 (2010).
[CrossRef]

J. Vila-Comamala, K. Jefimovs, J. Raabe, T. Pilvi, R. H. Fink, M. Senoner, A. Maassdorf, M. Ritala, and C. David, Ultramicroscopy 109, 1360 (2009).
[CrossRef]

Ritala, M.

J. Vila-Comamala, K. Jefimovs, J. Raabe, T. Pilvi, R. H. Fink, M. Senoner, A. Maassdorf, M. Ritala, and C. David, Ultramicroscopy 109, 1360 (2009).
[CrossRef]

Sahoo, P. K.

V. Auzelyte, C. Dais, P. Farquet, D. Grützmacher, L. J. Heyderman, F. Luo, S. Olliges, C. Padeste, P. K. Sahoo, T. Thomson, A. Turchanin, C. David, and H. H. Solak, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 8, 021204 (2009).
[CrossRef]

Saidani, M.

M. Saidani and H. H. Solak, Microelectron. Eng. 86, 483 (2009).
[CrossRef]

Sarkar, S. S.

S. S. Sarkar, H. H. Solak, J. Raabe, C. David, and J. F. van der Veen, Microelectron. Eng. 87, 854 (2010).
[CrossRef]

Senoner, M.

J. Vila-Comamala, K. Jefimovs, J. Raabe, T. Pilvi, R. H. Fink, M. Senoner, A. Maassdorf, M. Ritala, and C. David, Ultramicroscopy 109, 1360 (2009).
[CrossRef]

Solak, H. H.

S. S. Sarkar, H. H. Solak, J. Raabe, C. David, and J. F. van der Veen, Microelectron. Eng. 87, 854 (2010).
[CrossRef]

M. Saidani and H. H. Solak, Microelectron. Eng. 86, 483 (2009).
[CrossRef]

V. Auzelyte, C. Dais, P. Farquet, D. Grützmacher, L. J. Heyderman, F. Luo, S. Olliges, C. Padeste, P. K. Sahoo, T. Thomson, A. Turchanin, C. David, and H. H. Solak, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 8, 021204 (2009).
[CrossRef]

H. H. Solak and Y. Ekinci, J. Vac. Sci. Technol. B 23, 2705 (2005).
[CrossRef]

H. H. Solak, C. David, and J. Gobrecht, Appl. Phys. Lett. 85, 2700 (2004).
[CrossRef]

Thomson, T.

V. Auzelyte, C. Dais, P. Farquet, D. Grützmacher, L. J. Heyderman, F. Luo, S. Olliges, C. Padeste, P. K. Sahoo, T. Thomson, A. Turchanin, C. David, and H. H. Solak, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 8, 021204 (2009).
[CrossRef]

Turchanin, A.

V. Auzelyte, C. Dais, P. Farquet, D. Grützmacher, L. J. Heyderman, F. Luo, S. Olliges, C. Padeste, P. K. Sahoo, T. Thomson, A. Turchanin, C. David, and H. H. Solak, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 8, 021204 (2009).
[CrossRef]

van der Veen, J. F.

S. S. Sarkar, H. H. Solak, J. Raabe, C. David, and J. F. van der Veen, Microelectron. Eng. 87, 854 (2010).
[CrossRef]

Vila-Comamala, J.

J. Vila-Comamala, K. Jefimovs, J. Raabe, T. Pilvi, R. H. Fink, M. Senoner, A. Maassdorf, M. Ritala, and C. David, Ultramicroscopy 109, 1360 (2009).
[CrossRef]

Yang, J. K. W.

J. K. W. Yang and K. K. Berggren, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 2025 (2007).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett. (1)

H. H. Solak, C. David, and J. Gobrecht, Appl. Phys. Lett. 85, 2700 (2004).
[CrossRef]

J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. (1)

V. Auzelyte, C. Dais, P. Farquet, D. Grützmacher, L. J. Heyderman, F. Luo, S. Olliges, C. Padeste, P. K. Sahoo, T. Thomson, A. Turchanin, C. David, and H. H. Solak, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 8, 021204 (2009).
[CrossRef]

J. Opt. Soc. Am. (1)

J. Vac. Sci. Technol. B (2)

H. H. Solak and Y. Ekinci, J. Vac. Sci. Technol. B 23, 2705 (2005).
[CrossRef]

J. K. W. Yang and K. K. Berggren, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 2025 (2007).
[CrossRef]

Microelectron. Eng. (2)

M. Saidani and H. H. Solak, Microelectron. Eng. 86, 483 (2009).
[CrossRef]

S. S. Sarkar, H. H. Solak, J. Raabe, C. David, and J. F. van der Veen, Microelectron. Eng. 87, 854 (2010).
[CrossRef]

Q. Rev. Biophys. (1)

J. Kirz, C. Jacobsen, and M. Howells, Q. Rev. Biophys. 28, 33 (1995).
[CrossRef]

Ultramicroscopy (1)

J. Vila-Comamala, K. Jefimovs, J. Raabe, T. Pilvi, R. H. Fink, M. Senoner, A. Maassdorf, M. Ritala, and C. David, Ultramicroscopy 109, 1360 (2009).
[CrossRef]

Other (1)

J. W. Goodman, Introduction to Fourier Optics (Roberts & Co., 2005) pp. 55–58.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Metrics