Abstract

We report room-temperature quantum-confined Stark effect in Ge/SiGe multiple quantum wells (MQWs) with light propagating parallel to the plane of the Ge/SiGe MQWs for applications in integrated photonics. Planar waveguides embedded in a p-i-n diode are fabricated in order to investigate the absorption spectra at different reverse bias voltages from optical transmission measurements for both TE and TM polarizations. Polarization dependence of the absorption spectra of the Ge/SiGe MQWs is clearly observed. The planar waveguides exhibit a high extinction ratio and low insertion loss over a wide spectral range for TE polarization.

© 2011 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. M. Paniccia, Nat. Photon. 4, 498 (2010).
    [CrossRef]
  2. R. Kirchain and L. Kimerling, Nat. Photon. 1, 303 (2007).
    [CrossRef]
  3. D. Marris-Morini, L. Vivien, G. Rasigade, E. Cassan, J. M. Fédéli, X. Le Roux, P. Crozat, S. Maine, A. Lupu, M. Halbwax, and S. Laval, Proc. IEEE 97, 1199 (2009).
    [CrossRef]
  4. L. Vivien, J. Osmond, J.-M. Fédéli, D. Marris-Morini, P. Crozat, J.-F. Damlencourt, E. Cassan, Y. Lecunff, and S. Laval, Opt. Express 17, 6252 (2009).
    [CrossRef] [PubMed]
  5. A. W. Fang, H. Park, O. Cohen, R. Jones, M. J. Paniccia, and J. E. Bowers, Opt. Express 14, 9203 (2006).
    [CrossRef] [PubMed]
  6. J. Liu, X. Sun, R. C. Aguilera, L. C. Kimerling, and J. Michel, Opt. Lett. 35, 679 (2010).
    [CrossRef] [PubMed]
  7. Y.-H. Kuo, Y. Lee, Y. Ge, S. Ren, J. E. Roth, T. I. Kamins, D. A. B. Miller, and J. S. Harris, Nature 437, 1334 (2005).
    [CrossRef] [PubMed]
  8. J. Liu, M. Beals, A. Pomerene, S. Bernardis, R. Sun, J. Cheng, L. C. Kimerling, and J. Michel, Nat. Photon. 2, 433 (2008).
    [CrossRef]
  9. P. Chaisakul, D. Marris-Morini, G. Isella, D. Chrastina, X. Le Roux, E. Gatti, S. Edmond, J. Osmond, E. Cassan, and L. Vivien, Opt. Lett. 35, 2913 (2010).
    [CrossRef] [PubMed]
  10. J. E. Roth, O. Fidaner, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Opt. Express 15, 5851 (2007).
    [CrossRef] [PubMed]
  11. J. E. Roth, O. Fidaner, E. E. Englund, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, N. C. Helman, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Electron. Lett. 44, 49 (2008).
    [CrossRef]
  12. M. Virgilio and G. Grosso, Phys. Rev. B 77, 165315 (2008).
    [CrossRef]
  13. M. Virgilio, M. Bonfanti, D. Chrastina, A. Neels, G. Isella, E. Grilli, M. Guzzi, G. Grosso, H. Sigg, and H. von Känel, Phys. Rev. B 79, 075323(2009).
    [CrossRef]
  14. G. Isella, D. Chrastina, B. Rössner, T. Hackbarth, H.-J. Herzog, U. König, and H. von Känel, Solid State Electron. 48, 1317 (2004).
    [CrossRef]
  15. M. K. Chin, IEEE Photon. Technol. Lett. 4, 866 (1992).
    [CrossRef]
  16. M. K. Chin and W. S. C. Chang, Appl. Opt. 34, 1544 (1995).
    [CrossRef] [PubMed]
  17. H. R. Philipp and E. A. Taft, Phys. Rev. 113, 1002 (1959).
    [CrossRef]

2010

2009

L. Vivien, J. Osmond, J.-M. Fédéli, D. Marris-Morini, P. Crozat, J.-F. Damlencourt, E. Cassan, Y. Lecunff, and S. Laval, Opt. Express 17, 6252 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

D. Marris-Morini, L. Vivien, G. Rasigade, E. Cassan, J. M. Fédéli, X. Le Roux, P. Crozat, S. Maine, A. Lupu, M. Halbwax, and S. Laval, Proc. IEEE 97, 1199 (2009).
[CrossRef]

M. Virgilio, M. Bonfanti, D. Chrastina, A. Neels, G. Isella, E. Grilli, M. Guzzi, G. Grosso, H. Sigg, and H. von Känel, Phys. Rev. B 79, 075323(2009).
[CrossRef]

2008

J. Liu, M. Beals, A. Pomerene, S. Bernardis, R. Sun, J. Cheng, L. C. Kimerling, and J. Michel, Nat. Photon. 2, 433 (2008).
[CrossRef]

J. E. Roth, O. Fidaner, E. E. Englund, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, N. C. Helman, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Electron. Lett. 44, 49 (2008).
[CrossRef]

M. Virgilio and G. Grosso, Phys. Rev. B 77, 165315 (2008).
[CrossRef]

2007

2006

2005

Y.-H. Kuo, Y. Lee, Y. Ge, S. Ren, J. E. Roth, T. I. Kamins, D. A. B. Miller, and J. S. Harris, Nature 437, 1334 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

2004

G. Isella, D. Chrastina, B. Rössner, T. Hackbarth, H.-J. Herzog, U. König, and H. von Känel, Solid State Electron. 48, 1317 (2004).
[CrossRef]

1995

1992

M. K. Chin, IEEE Photon. Technol. Lett. 4, 866 (1992).
[CrossRef]

1959

H. R. Philipp and E. A. Taft, Phys. Rev. 113, 1002 (1959).
[CrossRef]

Aguilera, R. C.

Beals, M.

J. Liu, M. Beals, A. Pomerene, S. Bernardis, R. Sun, J. Cheng, L. C. Kimerling, and J. Michel, Nat. Photon. 2, 433 (2008).
[CrossRef]

Bernardis, S.

J. Liu, M. Beals, A. Pomerene, S. Bernardis, R. Sun, J. Cheng, L. C. Kimerling, and J. Michel, Nat. Photon. 2, 433 (2008).
[CrossRef]

Bonfanti, M.

M. Virgilio, M. Bonfanti, D. Chrastina, A. Neels, G. Isella, E. Grilli, M. Guzzi, G. Grosso, H. Sigg, and H. von Känel, Phys. Rev. B 79, 075323(2009).
[CrossRef]

Bowers, J. E.

Cassan, E.

Chaisakul, P.

Chang, W. S. C.

Cheng, J.

J. Liu, M. Beals, A. Pomerene, S. Bernardis, R. Sun, J. Cheng, L. C. Kimerling, and J. Michel, Nat. Photon. 2, 433 (2008).
[CrossRef]

Chin, M. K.

Chrastina, D.

P. Chaisakul, D. Marris-Morini, G. Isella, D. Chrastina, X. Le Roux, E. Gatti, S. Edmond, J. Osmond, E. Cassan, and L. Vivien, Opt. Lett. 35, 2913 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

M. Virgilio, M. Bonfanti, D. Chrastina, A. Neels, G. Isella, E. Grilli, M. Guzzi, G. Grosso, H. Sigg, and H. von Känel, Phys. Rev. B 79, 075323(2009).
[CrossRef]

G. Isella, D. Chrastina, B. Rössner, T. Hackbarth, H.-J. Herzog, U. König, and H. von Känel, Solid State Electron. 48, 1317 (2004).
[CrossRef]

Cohen, O.

Crozat, P.

D. Marris-Morini, L. Vivien, G. Rasigade, E. Cassan, J. M. Fédéli, X. Le Roux, P. Crozat, S. Maine, A. Lupu, M. Halbwax, and S. Laval, Proc. IEEE 97, 1199 (2009).
[CrossRef]

L. Vivien, J. Osmond, J.-M. Fédéli, D. Marris-Morini, P. Crozat, J.-F. Damlencourt, E. Cassan, Y. Lecunff, and S. Laval, Opt. Express 17, 6252 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

Damlencourt, J.-F.

Edmond, S.

Englund, E. E.

J. E. Roth, O. Fidaner, E. E. Englund, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, N. C. Helman, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Electron. Lett. 44, 49 (2008).
[CrossRef]

Fang, A. W.

Fédéli, J. M.

D. Marris-Morini, L. Vivien, G. Rasigade, E. Cassan, J. M. Fédéli, X. Le Roux, P. Crozat, S. Maine, A. Lupu, M. Halbwax, and S. Laval, Proc. IEEE 97, 1199 (2009).
[CrossRef]

Fédéli, J.-M.

Fidaner, O.

J. E. Roth, O. Fidaner, E. E. Englund, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, N. C. Helman, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Electron. Lett. 44, 49 (2008).
[CrossRef]

J. E. Roth, O. Fidaner, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Opt. Express 15, 5851 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Gatti, E.

Ge, Y.

Y.-H. Kuo, Y. Lee, Y. Ge, S. Ren, J. E. Roth, T. I. Kamins, D. A. B. Miller, and J. S. Harris, Nature 437, 1334 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Grilli, E.

M. Virgilio, M. Bonfanti, D. Chrastina, A. Neels, G. Isella, E. Grilli, M. Guzzi, G. Grosso, H. Sigg, and H. von Känel, Phys. Rev. B 79, 075323(2009).
[CrossRef]

Grosso, G.

M. Virgilio, M. Bonfanti, D. Chrastina, A. Neels, G. Isella, E. Grilli, M. Guzzi, G. Grosso, H. Sigg, and H. von Känel, Phys. Rev. B 79, 075323(2009).
[CrossRef]

M. Virgilio and G. Grosso, Phys. Rev. B 77, 165315 (2008).
[CrossRef]

Guzzi, M.

M. Virgilio, M. Bonfanti, D. Chrastina, A. Neels, G. Isella, E. Grilli, M. Guzzi, G. Grosso, H. Sigg, and H. von Känel, Phys. Rev. B 79, 075323(2009).
[CrossRef]

Hackbarth, T.

G. Isella, D. Chrastina, B. Rössner, T. Hackbarth, H.-J. Herzog, U. König, and H. von Känel, Solid State Electron. 48, 1317 (2004).
[CrossRef]

Halbwax, M.

D. Marris-Morini, L. Vivien, G. Rasigade, E. Cassan, J. M. Fédéli, X. Le Roux, P. Crozat, S. Maine, A. Lupu, M. Halbwax, and S. Laval, Proc. IEEE 97, 1199 (2009).
[CrossRef]

Harris, J. S.

J. E. Roth, O. Fidaner, E. E. Englund, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, N. C. Helman, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Electron. Lett. 44, 49 (2008).
[CrossRef]

J. E. Roth, O. Fidaner, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Opt. Express 15, 5851 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Y.-H. Kuo, Y. Lee, Y. Ge, S. Ren, J. E. Roth, T. I. Kamins, D. A. B. Miller, and J. S. Harris, Nature 437, 1334 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Helman, N. C.

J. E. Roth, O. Fidaner, E. E. Englund, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, N. C. Helman, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Electron. Lett. 44, 49 (2008).
[CrossRef]

Herzog, H.-J.

G. Isella, D. Chrastina, B. Rössner, T. Hackbarth, H.-J. Herzog, U. König, and H. von Känel, Solid State Electron. 48, 1317 (2004).
[CrossRef]

Isella, G.

P. Chaisakul, D. Marris-Morini, G. Isella, D. Chrastina, X. Le Roux, E. Gatti, S. Edmond, J. Osmond, E. Cassan, and L. Vivien, Opt. Lett. 35, 2913 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

M. Virgilio, M. Bonfanti, D. Chrastina, A. Neels, G. Isella, E. Grilli, M. Guzzi, G. Grosso, H. Sigg, and H. von Känel, Phys. Rev. B 79, 075323(2009).
[CrossRef]

G. Isella, D. Chrastina, B. Rössner, T. Hackbarth, H.-J. Herzog, U. König, and H. von Känel, Solid State Electron. 48, 1317 (2004).
[CrossRef]

Jones, R.

Kamins, T. I.

J. E. Roth, O. Fidaner, E. E. Englund, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, N. C. Helman, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Electron. Lett. 44, 49 (2008).
[CrossRef]

J. E. Roth, O. Fidaner, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Opt. Express 15, 5851 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Y.-H. Kuo, Y. Lee, Y. Ge, S. Ren, J. E. Roth, T. I. Kamins, D. A. B. Miller, and J. S. Harris, Nature 437, 1334 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Kimerling, L.

R. Kirchain and L. Kimerling, Nat. Photon. 1, 303 (2007).
[CrossRef]

Kimerling, L. C.

J. Liu, X. Sun, R. C. Aguilera, L. C. Kimerling, and J. Michel, Opt. Lett. 35, 679 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

J. Liu, M. Beals, A. Pomerene, S. Bernardis, R. Sun, J. Cheng, L. C. Kimerling, and J. Michel, Nat. Photon. 2, 433 (2008).
[CrossRef]

Kirchain, R.

R. Kirchain and L. Kimerling, Nat. Photon. 1, 303 (2007).
[CrossRef]

König, U.

G. Isella, D. Chrastina, B. Rössner, T. Hackbarth, H.-J. Herzog, U. König, and H. von Känel, Solid State Electron. 48, 1317 (2004).
[CrossRef]

Kuo, Y.-H.

J. E. Roth, O. Fidaner, E. E. Englund, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, N. C. Helman, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Electron. Lett. 44, 49 (2008).
[CrossRef]

J. E. Roth, O. Fidaner, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Opt. Express 15, 5851 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Y.-H. Kuo, Y. Lee, Y. Ge, S. Ren, J. E. Roth, T. I. Kamins, D. A. B. Miller, and J. S. Harris, Nature 437, 1334 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Laval, S.

L. Vivien, J. Osmond, J.-M. Fédéli, D. Marris-Morini, P. Crozat, J.-F. Damlencourt, E. Cassan, Y. Lecunff, and S. Laval, Opt. Express 17, 6252 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

D. Marris-Morini, L. Vivien, G. Rasigade, E. Cassan, J. M. Fédéli, X. Le Roux, P. Crozat, S. Maine, A. Lupu, M. Halbwax, and S. Laval, Proc. IEEE 97, 1199 (2009).
[CrossRef]

Le Roux, X.

P. Chaisakul, D. Marris-Morini, G. Isella, D. Chrastina, X. Le Roux, E. Gatti, S. Edmond, J. Osmond, E. Cassan, and L. Vivien, Opt. Lett. 35, 2913 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

D. Marris-Morini, L. Vivien, G. Rasigade, E. Cassan, J. M. Fédéli, X. Le Roux, P. Crozat, S. Maine, A. Lupu, M. Halbwax, and S. Laval, Proc. IEEE 97, 1199 (2009).
[CrossRef]

Lecunff, Y.

Lee, Y.

Y.-H. Kuo, Y. Lee, Y. Ge, S. Ren, J. E. Roth, T. I. Kamins, D. A. B. Miller, and J. S. Harris, Nature 437, 1334 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Liu, J.

J. Liu, X. Sun, R. C. Aguilera, L. C. Kimerling, and J. Michel, Opt. Lett. 35, 679 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

J. Liu, M. Beals, A. Pomerene, S. Bernardis, R. Sun, J. Cheng, L. C. Kimerling, and J. Michel, Nat. Photon. 2, 433 (2008).
[CrossRef]

Lupu, A.

D. Marris-Morini, L. Vivien, G. Rasigade, E. Cassan, J. M. Fédéli, X. Le Roux, P. Crozat, S. Maine, A. Lupu, M. Halbwax, and S. Laval, Proc. IEEE 97, 1199 (2009).
[CrossRef]

Maine, S.

D. Marris-Morini, L. Vivien, G. Rasigade, E. Cassan, J. M. Fédéli, X. Le Roux, P. Crozat, S. Maine, A. Lupu, M. Halbwax, and S. Laval, Proc. IEEE 97, 1199 (2009).
[CrossRef]

Marris-Morini, D.

Michel, J.

J. Liu, X. Sun, R. C. Aguilera, L. C. Kimerling, and J. Michel, Opt. Lett. 35, 679 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

J. Liu, M. Beals, A. Pomerene, S. Bernardis, R. Sun, J. Cheng, L. C. Kimerling, and J. Michel, Nat. Photon. 2, 433 (2008).
[CrossRef]

Miller, D. A. B.

J. E. Roth, O. Fidaner, E. E. Englund, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, N. C. Helman, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Electron. Lett. 44, 49 (2008).
[CrossRef]

J. E. Roth, O. Fidaner, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Opt. Express 15, 5851 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Y.-H. Kuo, Y. Lee, Y. Ge, S. Ren, J. E. Roth, T. I. Kamins, D. A. B. Miller, and J. S. Harris, Nature 437, 1334 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Neels, A.

M. Virgilio, M. Bonfanti, D. Chrastina, A. Neels, G. Isella, E. Grilli, M. Guzzi, G. Grosso, H. Sigg, and H. von Känel, Phys. Rev. B 79, 075323(2009).
[CrossRef]

Osmond, J.

Paniccia, M.

M. Paniccia, Nat. Photon. 4, 498 (2010).
[CrossRef]

Paniccia, M. J.

Park, H.

Philipp, H. R.

H. R. Philipp and E. A. Taft, Phys. Rev. 113, 1002 (1959).
[CrossRef]

Pomerene, A.

J. Liu, M. Beals, A. Pomerene, S. Bernardis, R. Sun, J. Cheng, L. C. Kimerling, and J. Michel, Nat. Photon. 2, 433 (2008).
[CrossRef]

Rasigade, G.

D. Marris-Morini, L. Vivien, G. Rasigade, E. Cassan, J. M. Fédéli, X. Le Roux, P. Crozat, S. Maine, A. Lupu, M. Halbwax, and S. Laval, Proc. IEEE 97, 1199 (2009).
[CrossRef]

Ren, S.

Y.-H. Kuo, Y. Lee, Y. Ge, S. Ren, J. E. Roth, T. I. Kamins, D. A. B. Miller, and J. S. Harris, Nature 437, 1334 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Rössner, B.

G. Isella, D. Chrastina, B. Rössner, T. Hackbarth, H.-J. Herzog, U. König, and H. von Känel, Solid State Electron. 48, 1317 (2004).
[CrossRef]

Roth, J. E.

J. E. Roth, O. Fidaner, E. E. Englund, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, N. C. Helman, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Electron. Lett. 44, 49 (2008).
[CrossRef]

J. E. Roth, O. Fidaner, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Opt. Express 15, 5851 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Y.-H. Kuo, Y. Lee, Y. Ge, S. Ren, J. E. Roth, T. I. Kamins, D. A. B. Miller, and J. S. Harris, Nature 437, 1334 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Schaevitz, R. K.

J. E. Roth, O. Fidaner, E. E. Englund, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, N. C. Helman, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Electron. Lett. 44, 49 (2008).
[CrossRef]

J. E. Roth, O. Fidaner, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Opt. Express 15, 5851 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Sigg, H.

M. Virgilio, M. Bonfanti, D. Chrastina, A. Neels, G. Isella, E. Grilli, M. Guzzi, G. Grosso, H. Sigg, and H. von Känel, Phys. Rev. B 79, 075323(2009).
[CrossRef]

Sun, R.

J. Liu, M. Beals, A. Pomerene, S. Bernardis, R. Sun, J. Cheng, L. C. Kimerling, and J. Michel, Nat. Photon. 2, 433 (2008).
[CrossRef]

Sun, X.

Taft, E. A.

H. R. Philipp and E. A. Taft, Phys. Rev. 113, 1002 (1959).
[CrossRef]

Virgilio, M.

M. Virgilio, M. Bonfanti, D. Chrastina, A. Neels, G. Isella, E. Grilli, M. Guzzi, G. Grosso, H. Sigg, and H. von Känel, Phys. Rev. B 79, 075323(2009).
[CrossRef]

M. Virgilio and G. Grosso, Phys. Rev. B 77, 165315 (2008).
[CrossRef]

Vivien, L.

von Känel, H.

M. Virgilio, M. Bonfanti, D. Chrastina, A. Neels, G. Isella, E. Grilli, M. Guzzi, G. Grosso, H. Sigg, and H. von Känel, Phys. Rev. B 79, 075323(2009).
[CrossRef]

G. Isella, D. Chrastina, B. Rössner, T. Hackbarth, H.-J. Herzog, U. König, and H. von Känel, Solid State Electron. 48, 1317 (2004).
[CrossRef]

Appl. Opt.

Electron. Lett.

J. E. Roth, O. Fidaner, E. E. Englund, R. K. Schaevitz, Y.-H. Kuo, N. C. Helman, T. I. Kamins, J. S. Harris, and D. A. B. Miller, Electron. Lett. 44, 49 (2008).
[CrossRef]

IEEE Photon. Technol. Lett.

M. K. Chin, IEEE Photon. Technol. Lett. 4, 866 (1992).
[CrossRef]

Nat. Photon.

M. Paniccia, Nat. Photon. 4, 498 (2010).
[CrossRef]

R. Kirchain and L. Kimerling, Nat. Photon. 1, 303 (2007).
[CrossRef]

J. Liu, M. Beals, A. Pomerene, S. Bernardis, R. Sun, J. Cheng, L. C. Kimerling, and J. Michel, Nat. Photon. 2, 433 (2008).
[CrossRef]

Nature

Y.-H. Kuo, Y. Lee, Y. Ge, S. Ren, J. E. Roth, T. I. Kamins, D. A. B. Miller, and J. S. Harris, Nature 437, 1334 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Opt. Express

Opt. Lett.

Phys. Rev.

H. R. Philipp and E. A. Taft, Phys. Rev. 113, 1002 (1959).
[CrossRef]

Phys. Rev. B

M. Virgilio and G. Grosso, Phys. Rev. B 77, 165315 (2008).
[CrossRef]

M. Virgilio, M. Bonfanti, D. Chrastina, A. Neels, G. Isella, E. Grilli, M. Guzzi, G. Grosso, H. Sigg, and H. von Känel, Phys. Rev. B 79, 075323(2009).
[CrossRef]

Proc. IEEE

D. Marris-Morini, L. Vivien, G. Rasigade, E. Cassan, J. M. Fédéli, X. Le Roux, P. Crozat, S. Maine, A. Lupu, M. Halbwax, and S. Laval, Proc. IEEE 97, 1199 (2009).
[CrossRef]

Solid State Electron.

G. Isella, D. Chrastina, B. Rössner, T. Hackbarth, H.-J. Herzog, U. König, and H. von Känel, Solid State Electron. 48, 1317 (2004).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1
Fig. 1

(a) Schematic view of the fabricated Ge/SiGe MQW planar waveguides. (b) Optical microscope view of the device with the input fiber injecting light into the waveguide. (c) Cross section showing detailed epitaxy steps of the planar waveguides.

Fig. 2
Fig. 2

(a) Refractive index profiles in vertical direction of the planar waveguide for light wavelength around 1.4 μm . From 0 to 10 μm : Si substrate (3.5). From 10 to 23 μm : a linear increase of refractive index from Si (3.5) to Si 0.1 Ge 0.9 (4.2) for 13 μm linear graded buffer (according to Ge refractive index of 4.3 [17]). From 23 to 25 μm : a constant refractive index of 4.2 for 2 μm Si 0.1 Ge 0.9 relaxed buffer. From 25 to 26.2 μm : a constant refractive index of 4.2 for Ge/SiGe p-i-n structures having the same Ge concentration of Si 0.1 Ge 0.9 relaxed buffer. (b), (c), (d) Intensity profile of the first (b), second (c), and third (d) mode obtained from calculation at the wavelength of 1.4 μm showing that light is guided in the 3.2 - μm -thick planar waveguide with different confinement in the MQW structure. In the measurements,the position of the fiber is optimized by photocurrent measurement in order to couple on modes with high confinement in the MQW region.

Fig. 3
Fig. 3

Light absorption of the 34 μm Ge/SiGe MQW planar waveguide obtained from optical transmission measurements for different electric fields as a function of wavelength and photon energy (a) for TE polarization and (b) for TM polarization. Inset of (a), the energy shift of the absorption edge for TE polarization.

Fig. 4
Fig. 4

Modulation performances of the 34- and 64 - μm -long Ge/SiGe MQW planar waveguides. (a) Extinction ratio between 0 and 6 V reverse bias and the insertion loss at 0 V for TE polarization. (b) Extinction ratio between 0 and 8 V reverse bias and the insertion loss at 0 V for TM polarization.

Metrics