Abstract

Combining the advantages of photon sieves (PSs) and compound Fresnel zone plates (CZPs), we designed compound photon sieves (CPSs) for hard-x-ray nanofocusing. A CPS consists of an inner PS using the first-order diffraction surrounded by an outer zone plate using the third-order diffraction. A robust digital prolate spheroidal window was used as an apodization window for the inner PS, making CPSs more flexible than CZPs. CPSs can provide not only slightly better resolution compared to CZPs, but also it can significantly suppress the sidelobes, leading to a high signal-to-noise ratio. Further improvement of the high-aspect-ratio metal nanostructure process will allow CPSs to be a promising candidate for hard-x-ray nanofocusing in the high-energy region above 20keV.

© 2010 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
    [CrossRef]
  2. M. Altissimo, F. Romanato, L. Vaccari, L. Businaro, D. Cojoc, B. Kaulich, S. Cabrini, and E. Di Fabrizio, Microelectron. Eng. 61–62, 173 (2002).
  3. G.-C. Yin, Y.-F. Song, M.-T. Tang, F.-R. Chen, K. S. Liang, F. W. Duewer, M. Feser, W. Yun, and H.-P. D. Shieh, Appl. Phys. Lett. 89, 221122 (2006).
    [CrossRef]
  4. Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
    [CrossRef]
  5. S. Werner, S. Rehbein, P. Guttmann, S. Heim, and G. Schneider, Microelectron. Eng. 87, 1557 (2010).
    [CrossRef]
  6. S. Gorelick, J. Vila-Comamala, V. Guzenko, R. Mokso, M. Stampanoni, and C. David, Microelectron. Eng. 87, 1052(2010).
    [CrossRef]
  7. Database from http://physics.nist.gov/PhysRefData/FFast/html/form.html and http://henke.lbl.gov/optical_constants/.
  8. W. Chao, J. Kim, S. Rekawa, P. Fischer, and E. H. Anderson, Opt. Express 17, 17669 (2009).
    [CrossRef] [PubMed]
  9. F. Pfeiffer, C. David, J. F. van der Veen, and C. Bergemann, Phys. Rev. B 73, 245331 (2006).
    [CrossRef]
  10. M. J. Simpson and A. G. Michette, Opt. Acta 31, 403 (1984).
    [CrossRef]
  11. O. von Hofsten, M. Bertilson, J. Reinspach, A. Holmberg, H. M. Hertz, and U. Vogt, Opt. Lett. 34, 2631 (2009).
    [CrossRef] [PubMed]
  12. Q. Cao and J. Jahns, J. Opt. Soc. Am. A 20, 1576 (2003).
    [CrossRef]
  13. F. Giménez, W. D. Furlan, A. Calatayud, and J. A. Monsoriu, J. Opt. Soc. Am. A 27, 1851 (2010).
    [CrossRef]
  14. L. Kipp, M. Skibowski, R. L. Johnson, R. Berndt, R. Adelung, S. Harm, and R. Seemann, Nature 414, 184 (2001).
    [CrossRef] [PubMed]
  15. Q. Cao and J. Jahns, J. Opt. Soc. Am. A 20, 1005 (2003).
    [CrossRef]
  16. R. Menon, D. Gil, G. Barbastathis, and H. I. Smith, J. Opt. Soc. Am. A 22, 342 (2005).
    [CrossRef]
  17. G. Andersen, Opt. Lett. 30, 2976 (2005).
    [CrossRef] [PubMed]
  18. F. Giménez, J. A. Monsoriu, W. D. Furlan, and A. Pons, Opt. Express 14, 11958 (2006).
    [CrossRef] [PubMed]
  19. G. Andersen and D. Tullson, Appl. Opt. 46, 3706 (2007).
    [CrossRef] [PubMed]
  20. F. Giménez, W. D. Furlan, and J. A. Monsoriu, Opt. Commun. 277, 1 (2007).
    [CrossRef]
  21. C. Xie, X. Zhu, L. Shi, and M. Liu, Opt. Lett. 35, 1765 (2010).
    [CrossRef] [PubMed]
  22. D. M. Gruenbacher and D. R. Hummels, IEEE Trans. Signal Process. 42 (11), 3276 (1994).
    [CrossRef]
  23. R. K. Kupka, Y. Chen, F. Rousseaux, A. M. Haghiri-Gosnet, and H. Launois, J. Vac. Sci. Technol. B11, 667 (1993).
  24. H. Yan, Phys. Rev. B 81, 075402 (2010).
    [CrossRef]

2010 (5)

S. Werner, S. Rehbein, P. Guttmann, S. Heim, and G. Schneider, Microelectron. Eng. 87, 1557 (2010).
[CrossRef]

S. Gorelick, J. Vila-Comamala, V. Guzenko, R. Mokso, M. Stampanoni, and C. David, Microelectron. Eng. 87, 1052(2010).
[CrossRef]

H. Yan, Phys. Rev. B 81, 075402 (2010).
[CrossRef]

C. Xie, X. Zhu, L. Shi, and M. Liu, Opt. Lett. 35, 1765 (2010).
[CrossRef] [PubMed]

F. Giménez, W. D. Furlan, A. Calatayud, and J. A. Monsoriu, J. Opt. Soc. Am. A 27, 1851 (2010).
[CrossRef]

2009 (2)

2008 (1)

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

2007 (2)

F. Giménez, W. D. Furlan, and J. A. Monsoriu, Opt. Commun. 277, 1 (2007).
[CrossRef]

G. Andersen and D. Tullson, Appl. Opt. 46, 3706 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

2006 (3)

F. Giménez, J. A. Monsoriu, W. D. Furlan, and A. Pons, Opt. Express 14, 11958 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

G.-C. Yin, Y.-F. Song, M.-T. Tang, F.-R. Chen, K. S. Liang, F. W. Duewer, M. Feser, W. Yun, and H.-P. D. Shieh, Appl. Phys. Lett. 89, 221122 (2006).
[CrossRef]

F. Pfeiffer, C. David, J. F. van der Veen, and C. Bergemann, Phys. Rev. B 73, 245331 (2006).
[CrossRef]

2005 (2)

2003 (2)

2002 (1)

M. Altissimo, F. Romanato, L. Vaccari, L. Businaro, D. Cojoc, B. Kaulich, S. Cabrini, and E. Di Fabrizio, Microelectron. Eng. 61–62, 173 (2002).

2001 (1)

L. Kipp, M. Skibowski, R. L. Johnson, R. Berndt, R. Adelung, S. Harm, and R. Seemann, Nature 414, 184 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

1999 (1)

E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
[CrossRef]

1994 (1)

D. M. Gruenbacher and D. R. Hummels, IEEE Trans. Signal Process. 42 (11), 3276 (1994).
[CrossRef]

1993 (1)

R. K. Kupka, Y. Chen, F. Rousseaux, A. M. Haghiri-Gosnet, and H. Launois, J. Vac. Sci. Technol. B11, 667 (1993).

1984 (1)

M. J. Simpson and A. G. Michette, Opt. Acta 31, 403 (1984).
[CrossRef]

Adelung, R.

L. Kipp, M. Skibowski, R. L. Johnson, R. Berndt, R. Adelung, S. Harm, and R. Seemann, Nature 414, 184 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Altissimo, M.

M. Altissimo, F. Romanato, L. Vaccari, L. Businaro, D. Cojoc, B. Kaulich, S. Cabrini, and E. Di Fabrizio, Microelectron. Eng. 61–62, 173 (2002).

Andersen, G.

Anderson, E. H.

Barbastathis, G.

Barrett, R.

E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
[CrossRef]

Bergemann, C.

F. Pfeiffer, C. David, J. F. van der Veen, and C. Bergemann, Phys. Rev. B 73, 245331 (2006).
[CrossRef]

Berndt, R.

L. Kipp, M. Skibowski, R. L. Johnson, R. Berndt, R. Adelung, S. Harm, and R. Seemann, Nature 414, 184 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Bertilson, M.

Businaro, L.

M. Altissimo, F. Romanato, L. Vaccari, L. Businaro, D. Cojoc, B. Kaulich, S. Cabrini, and E. Di Fabrizio, Microelectron. Eng. 61–62, 173 (2002).

Cabrini, S.

M. Altissimo, F. Romanato, L. Vaccari, L. Businaro, D. Cojoc, B. Kaulich, S. Cabrini, and E. Di Fabrizio, Microelectron. Eng. 61–62, 173 (2002).

E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
[CrossRef]

Calatayud, A.

Cao, Q.

Chao, W.

Chen, F.-R.

G.-C. Yin, Y.-F. Song, M.-T. Tang, F.-R. Chen, K. S. Liang, F. W. Duewer, M. Feser, W. Yun, and H.-P. D. Shieh, Appl. Phys. Lett. 89, 221122 (2006).
[CrossRef]

Chen, Y.

R. K. Kupka, Y. Chen, F. Rousseaux, A. M. Haghiri-Gosnet, and H. Launois, J. Vac. Sci. Technol. B11, 667 (1993).

Chien, C. C.

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

Chu, Y. S.

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

Cojoc, D.

M. Altissimo, F. Romanato, L. Vaccari, L. Businaro, D. Cojoc, B. Kaulich, S. Cabrini, and E. Di Fabrizio, Microelectron. Eng. 61–62, 173 (2002).

David, C.

S. Gorelick, J. Vila-Comamala, V. Guzenko, R. Mokso, M. Stampanoni, and C. David, Microelectron. Eng. 87, 1052(2010).
[CrossRef]

F. Pfeiffer, C. David, J. F. van der Veen, and C. Bergemann, Phys. Rev. B 73, 245331 (2006).
[CrossRef]

De Carlo, F.

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

Di Fabrizio, E.

M. Altissimo, F. Romanato, L. Vaccari, L. Businaro, D. Cojoc, B. Kaulich, S. Cabrini, and E. Di Fabrizio, Microelectron. Eng. 61–62, 173 (2002).

E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
[CrossRef]

Duewer, F. W.

G.-C. Yin, Y.-F. Song, M.-T. Tang, F.-R. Chen, K. S. Liang, F. W. Duewer, M. Feser, W. Yun, and H.-P. D. Shieh, Appl. Phys. Lett. 89, 221122 (2006).
[CrossRef]

Feser, M.

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

G.-C. Yin, Y.-F. Song, M.-T. Tang, F.-R. Chen, K. S. Liang, F. W. Duewer, M. Feser, W. Yun, and H.-P. D. Shieh, Appl. Phys. Lett. 89, 221122 (2006).
[CrossRef]

Fischer, P.

Furlan, W. D.

Gentili, M.

E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
[CrossRef]

Gil, D.

Giménez, F.

Gorelick, S.

S. Gorelick, J. Vila-Comamala, V. Guzenko, R. Mokso, M. Stampanoni, and C. David, Microelectron. Eng. 87, 1052(2010).
[CrossRef]

Gruenbacher, D. M.

D. M. Gruenbacher and D. R. Hummels, IEEE Trans. Signal Process. 42 (11), 3276 (1994).
[CrossRef]

Guttmann, P.

S. Werner, S. Rehbein, P. Guttmann, S. Heim, and G. Schneider, Microelectron. Eng. 87, 1557 (2010).
[CrossRef]

Guzenko, V.

S. Gorelick, J. Vila-Comamala, V. Guzenko, R. Mokso, M. Stampanoni, and C. David, Microelectron. Eng. 87, 1052(2010).
[CrossRef]

Haghiri-Gosnet, A. M.

R. K. Kupka, Y. Chen, F. Rousseaux, A. M. Haghiri-Gosnet, and H. Launois, J. Vac. Sci. Technol. B11, 667 (1993).

Harm, S.

L. Kipp, M. Skibowski, R. L. Johnson, R. Berndt, R. Adelung, S. Harm, and R. Seemann, Nature 414, 184 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Heim, S.

S. Werner, S. Rehbein, P. Guttmann, S. Heim, and G. Schneider, Microelectron. Eng. 87, 1557 (2010).
[CrossRef]

Hertz, H. M.

Holmberg, A.

Hummels, D. R.

D. M. Gruenbacher and D. R. Hummels, IEEE Trans. Signal Process. 42 (11), 3276 (1994).
[CrossRef]

Hwu, Y.

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

Jahns, J.

Je, J. H.

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

Johnson, R. L.

L. Kipp, M. Skibowski, R. L. Johnson, R. Berndt, R. Adelung, S. Harm, and R. Seemann, Nature 414, 184 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Kaulich, B.

M. Altissimo, F. Romanato, L. Vaccari, L. Businaro, D. Cojoc, B. Kaulich, S. Cabrini, and E. Di Fabrizio, Microelectron. Eng. 61–62, 173 (2002).

E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
[CrossRef]

Kim, J.

Kipp, L.

L. Kipp, M. Skibowski, R. L. Johnson, R. Berndt, R. Adelung, S. Harm, and R. Seemann, Nature 414, 184 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Kupka, R. K.

R. K. Kupka, Y. Chen, F. Rousseaux, A. M. Haghiri-Gosnet, and H. Launois, J. Vac. Sci. Technol. B11, 667 (1993).

Launois, H.

R. K. Kupka, Y. Chen, F. Rousseaux, A. M. Haghiri-Gosnet, and H. Launois, J. Vac. Sci. Technol. B11, 667 (1993).

Lee, Wah-Keat

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

Liang, K. S.

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

G.-C. Yin, Y.-F. Song, M.-T. Tang, F.-R. Chen, K. S. Liang, F. W. Duewer, M. Feser, W. Yun, and H.-P. D. Shieh, Appl. Phys. Lett. 89, 221122 (2006).
[CrossRef]

Liu, C. J.

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

Liu, M.

Margaritondo, G.

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

Menon, R.

Michette, A. G.

M. J. Simpson and A. G. Michette, Opt. Acta 31, 403 (1984).
[CrossRef]

Mokso, R.

S. Gorelick, J. Vila-Comamala, V. Guzenko, R. Mokso, M. Stampanoni, and C. David, Microelectron. Eng. 87, 1052(2010).
[CrossRef]

Monsoriu, J. A.

Pfeiffer, F.

F. Pfeiffer, C. David, J. F. van der Veen, and C. Bergemann, Phys. Rev. B 73, 245331 (2006).
[CrossRef]

Pons, A.

Rehbein, S.

S. Werner, S. Rehbein, P. Guttmann, S. Heim, and G. Schneider, Microelectron. Eng. 87, 1557 (2010).
[CrossRef]

Reinspach, J.

Rekawa, S.

Romanato, F.

M. Altissimo, F. Romanato, L. Vaccari, L. Businaro, D. Cojoc, B. Kaulich, S. Cabrini, and E. Di Fabrizio, Microelectron. Eng. 61–62, 173 (2002).

E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
[CrossRef]

Rousseaux, F.

R. K. Kupka, Y. Chen, F. Rousseaux, A. M. Haghiri-Gosnet, and H. Launois, J. Vac. Sci. Technol. B11, 667 (1993).

Schneider, G.

S. Werner, S. Rehbein, P. Guttmann, S. Heim, and G. Schneider, Microelectron. Eng. 87, 1557 (2010).
[CrossRef]

Seemann, R.

L. Kipp, M. Skibowski, R. L. Johnson, R. Berndt, R. Adelung, S. Harm, and R. Seemann, Nature 414, 184 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Shen, Q.

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

Shi, L.

Shieh, H.-P. D.

G.-C. Yin, Y.-F. Song, M.-T. Tang, F.-R. Chen, K. S. Liang, F. W. Duewer, M. Feser, W. Yun, and H.-P. D. Shieh, Appl. Phys. Lett. 89, 221122 (2006).
[CrossRef]

Simpson, M. J.

M. J. Simpson and A. G. Michette, Opt. Acta 31, 403 (1984).
[CrossRef]

Skibowski, M.

L. Kipp, M. Skibowski, R. L. Johnson, R. Berndt, R. Adelung, S. Harm, and R. Seemann, Nature 414, 184 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Smith, H. I.

Song, Y.-F.

G.-C. Yin, Y.-F. Song, M.-T. Tang, F.-R. Chen, K. S. Liang, F. W. Duewer, M. Feser, W. Yun, and H.-P. D. Shieh, Appl. Phys. Lett. 89, 221122 (2006).
[CrossRef]

Stampanoni, M.

S. Gorelick, J. Vila-Comamala, V. Guzenko, R. Mokso, M. Stampanoni, and C. David, Microelectron. Eng. 87, 1052(2010).
[CrossRef]

Susini, J.

E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
[CrossRef]

Tang, M.-T.

G.-C. Yin, Y.-F. Song, M.-T. Tang, F.-R. Chen, K. S. Liang, F. W. Duewer, M. Feser, W. Yun, and H.-P. D. Shieh, Appl. Phys. Lett. 89, 221122 (2006).
[CrossRef]

Tkachuk, A.

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

Tullson, D.

Vaccari, L.

M. Altissimo, F. Romanato, L. Vaccari, L. Businaro, D. Cojoc, B. Kaulich, S. Cabrini, and E. Di Fabrizio, Microelectron. Eng. 61–62, 173 (2002).

van der Veen, J. F.

F. Pfeiffer, C. David, J. F. van der Veen, and C. Bergemann, Phys. Rev. B 73, 245331 (2006).
[CrossRef]

Vila-Comamala, J.

S. Gorelick, J. Vila-Comamala, V. Guzenko, R. Mokso, M. Stampanoni, and C. David, Microelectron. Eng. 87, 1052(2010).
[CrossRef]

Vogt, U.

von Hofsten, O.

Wang, C. H.

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

Wang, C. L.

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

Wang, J. Y.

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

Werner, S.

S. Werner, S. Rehbein, P. Guttmann, S. Heim, and G. Schneider, Microelectron. Eng. 87, 1557 (2010).
[CrossRef]

Wu, H. J.

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

Wu, S. R.

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

Xie, C.

Yan, H.

H. Yan, Phys. Rev. B 81, 075402 (2010).
[CrossRef]

Yang, C. S.

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

Yi, J. M.

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

Yin, G.-C.

G.-C. Yin, Y.-F. Song, M.-T. Tang, F.-R. Chen, K. S. Liang, F. W. Duewer, M. Feser, W. Yun, and H.-P. D. Shieh, Appl. Phys. Lett. 89, 221122 (2006).
[CrossRef]

Yun, W.

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

G.-C. Yin, Y.-F. Song, M.-T. Tang, F.-R. Chen, K. S. Liang, F. W. Duewer, M. Feser, W. Yun, and H.-P. D. Shieh, Appl. Phys. Lett. 89, 221122 (2006).
[CrossRef]

Zhu, X.

Appl. Opt. (1)

Appl. Phys. Lett. (2)

G.-C. Yin, Y.-F. Song, M.-T. Tang, F.-R. Chen, K. S. Liang, F. W. Duewer, M. Feser, W. Yun, and H.-P. D. Shieh, Appl. Phys. Lett. 89, 221122 (2006).
[CrossRef]

Y. S. Chu, J. M. Yi, F. De Carlo, Q. Shen, Wah-Keat Lee, H. J. Wu, C. L. Wang, J. Y. Wang, C. J. Liu, C. H. Wang, S. R. Wu, C. C. Chien, Y. Hwu, A. Tkachuk, W. Yun, M. Feser, K. S. Liang, C. S. Yang, J. H. Je, and G. Margaritondo, Appl. Phys. Lett. 92, 103119 (2008).
[CrossRef]

IEEE Trans. Signal Process. (1)

D. M. Gruenbacher and D. R. Hummels, IEEE Trans. Signal Process. 42 (11), 3276 (1994).
[CrossRef]

J. Opt. Soc. Am. A (4)

J. Vac. Sci. Technol. (1)

R. K. Kupka, Y. Chen, F. Rousseaux, A. M. Haghiri-Gosnet, and H. Launois, J. Vac. Sci. Technol. B11, 667 (1993).

Microelectron. Eng. (3)

S. Werner, S. Rehbein, P. Guttmann, S. Heim, and G. Schneider, Microelectron. Eng. 87, 1557 (2010).
[CrossRef]

S. Gorelick, J. Vila-Comamala, V. Guzenko, R. Mokso, M. Stampanoni, and C. David, Microelectron. Eng. 87, 1052(2010).
[CrossRef]

M. Altissimo, F. Romanato, L. Vaccari, L. Businaro, D. Cojoc, B. Kaulich, S. Cabrini, and E. Di Fabrizio, Microelectron. Eng. 61–62, 173 (2002).

Nature (2)

E. Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, and R. Barrett, Nature 401, 895 (1999).
[CrossRef]

L. Kipp, M. Skibowski, R. L. Johnson, R. Berndt, R. Adelung, S. Harm, and R. Seemann, Nature 414, 184 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Opt. Acta (1)

M. J. Simpson and A. G. Michette, Opt. Acta 31, 403 (1984).
[CrossRef]

Opt. Commun. (1)

F. Giménez, W. D. Furlan, and J. A. Monsoriu, Opt. Commun. 277, 1 (2007).
[CrossRef]

Opt. Express (2)

Opt. Lett. (3)

Phys. Rev. B (2)

H. Yan, Phys. Rev. B 81, 075402 (2010).
[CrossRef]

F. Pfeiffer, C. David, J. F. van der Veen, and C. Bergemann, Phys. Rev. B 73, 245331 (2006).
[CrossRef]

Other (1)

Database from http://physics.nist.gov/PhysRefData/FFast/html/form.html and http://henke.lbl.gov/optical_constants/.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1
Fig. 1

Schematic views of FZPs, PSs, CZPs, and CPSs with Δ r = 100 nm , f = 10 mm , and E = 20 keV . (a) FZPs. (b) PSs. (c) CZPs. (d) CPSs.

Fig. 2
Fig. 2

Comparison of PSFs for FZPs, PSs, CZPs, and CPSs with Δ r = 100 nm , f = 10 mm , E = 20 keV , and AR = 15 .

Fig. 3
Fig. 3

Variation of PSFs as a function of photon energy for CPSs.

Fig. 4
Fig. 4

Comparison of CZPs and CPSs in terms of diffraction efficiency versus metal nanostructure thickness.

Equations (2)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

r m 2 = ( N + 3 m ) λ f ( N + 1 m N + M )
( λ f ( N + 3 M ) λ f ( N + 3 M 3 ) ) Δ r and N = ( d w ) 2 λ f 4 Δ r 2 ,

Metrics