Abstract

We studied an imaging system consisting of an elliptical mirror and a hyperbolic mirror [i.e., one-dimensional (1D) Wolter optics] to realize an achromatic full-field hard x-ray microscopy with a resolution better than 50nm. We report the performance of this 1D Wolter optical system when the mirrors were ultraprecisely figured by elastic emission machining. Experiments to form a demagnified image (demagnification factor of 385) of a 10μm slit were conducted at an x-ray energy of 11.5keV at BL29XUL of SPring-8. The system could form a demagnified image with a resolution better than 50nm over a 12.1μm field.

© 2010 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. Y. Chen, T. Lo, Y. S. Chu, J. Yi, C. Liu, J. Wang, C. Wang, C. Chiu, T. Hua, Y. Hwu, Q. Shen, G. Yin, K. S. Liang, H. Lin, J. H. Je, and G. Margaritondo, Nanotechnol. 19, 395302(2008).
    [CrossRef]
  2. H. Wolter, Ann. Phys. 445, 94 (1952).
    [CrossRef]
  3. P. Kirkpatrick and A. V. Baez, J. Opt. Soc. Am 38, 766(1948).
    [CrossRef] [PubMed]
  4. R. Kodama, N. Ikeda, Y. Kato, Y. Katori, T. Iwai, and K. Takeshi, Opt. Lett. 21, 1321 (1996).
    [CrossRef] [PubMed]
  5. K. Yamauchi, H. Mimura, K. Inagaki, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 73, 4028 (2002).
    [CrossRef]
  6. K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Ueno, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 74, 2894 (2003).
    [CrossRef]
  7. H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, and K. Yamauchi, Rev. Sci. Instrum. 76, 045102 (2005).
    [CrossRef]
  8. K. Tamasaku, Y. Tanaka, M. Yabashi, H. Yamazaki, N. Kawamura, M. Suzuki, and T. Ishikawa, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 467, 686 (2001).
    [CrossRef]
  9. K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Appl. Opt. 44, 6927 (2005).
    [CrossRef] [PubMed]
  10. S. Matsuyama, M. Fujii, and K. Yamauchi, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 616, 241 (2010).
    [CrossRef]

2010 (1)

S. Matsuyama, M. Fujii, and K. Yamauchi, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 616, 241 (2010).
[CrossRef]

2008 (1)

Y. Chen, T. Lo, Y. S. Chu, J. Yi, C. Liu, J. Wang, C. Wang, C. Chiu, T. Hua, Y. Hwu, Q. Shen, G. Yin, K. S. Liang, H. Lin, J. H. Je, and G. Margaritondo, Nanotechnol. 19, 395302(2008).
[CrossRef]

2005 (2)

H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, and K. Yamauchi, Rev. Sci. Instrum. 76, 045102 (2005).
[CrossRef]

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Appl. Opt. 44, 6927 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

2003 (1)

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Ueno, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 74, 2894 (2003).
[CrossRef]

2002 (1)

K. Yamauchi, H. Mimura, K. Inagaki, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 73, 4028 (2002).
[CrossRef]

2001 (1)

K. Tamasaku, Y. Tanaka, M. Yabashi, H. Yamazaki, N. Kawamura, M. Suzuki, and T. Ishikawa, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 467, 686 (2001).
[CrossRef]

1996 (1)

1952 (1)

H. Wolter, Ann. Phys. 445, 94 (1952).
[CrossRef]

1948 (1)

P. Kirkpatrick and A. V. Baez, J. Opt. Soc. Am 38, 766(1948).
[CrossRef] [PubMed]

Baez, A. V.

P. Kirkpatrick and A. V. Baez, J. Opt. Soc. Am 38, 766(1948).
[CrossRef] [PubMed]

Chen, Y.

Y. Chen, T. Lo, Y. S. Chu, J. Yi, C. Liu, J. Wang, C. Wang, C. Chiu, T. Hua, Y. Hwu, Q. Shen, G. Yin, K. S. Liang, H. Lin, J. H. Je, and G. Margaritondo, Nanotechnol. 19, 395302(2008).
[CrossRef]

Chiu, C.

Y. Chen, T. Lo, Y. S. Chu, J. Yi, C. Liu, J. Wang, C. Wang, C. Chiu, T. Hua, Y. Hwu, Q. Shen, G. Yin, K. S. Liang, H. Lin, J. H. Je, and G. Margaritondo, Nanotechnol. 19, 395302(2008).
[CrossRef]

Chu, Y. S.

Y. Chen, T. Lo, Y. S. Chu, J. Yi, C. Liu, J. Wang, C. Wang, C. Chiu, T. Hua, Y. Hwu, Q. Shen, G. Yin, K. S. Liang, H. Lin, J. H. Je, and G. Margaritondo, Nanotechnol. 19, 395302(2008).
[CrossRef]

Endo, K.

H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, and K. Yamauchi, Rev. Sci. Instrum. 76, 045102 (2005).
[CrossRef]

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Appl. Opt. 44, 6927 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Ueno, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 74, 2894 (2003).
[CrossRef]

Fujii, M.

S. Matsuyama, M. Fujii, and K. Yamauchi, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 616, 241 (2010).
[CrossRef]

Hua, T.

Y. Chen, T. Lo, Y. S. Chu, J. Yi, C. Liu, J. Wang, C. Wang, C. Chiu, T. Hua, Y. Hwu, Q. Shen, G. Yin, K. S. Liang, H. Lin, J. H. Je, and G. Margaritondo, Nanotechnol. 19, 395302(2008).
[CrossRef]

Hwu, Y.

Y. Chen, T. Lo, Y. S. Chu, J. Yi, C. Liu, J. Wang, C. Wang, C. Chiu, T. Hua, Y. Hwu, Q. Shen, G. Yin, K. S. Liang, H. Lin, J. H. Je, and G. Margaritondo, Nanotechnol. 19, 395302(2008).
[CrossRef]

Ikeda, N.

Inagaki, K.

K. Yamauchi, H. Mimura, K. Inagaki, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 73, 4028 (2002).
[CrossRef]

Ishikawa, T.

H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, and K. Yamauchi, Rev. Sci. Instrum. 76, 045102 (2005).
[CrossRef]

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Appl. Opt. 44, 6927 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Ueno, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 74, 2894 (2003).
[CrossRef]

K. Tamasaku, Y. Tanaka, M. Yabashi, H. Yamazaki, N. Kawamura, M. Suzuki, and T. Ishikawa, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 467, 686 (2001).
[CrossRef]

Iwai, T.

Je, J. H.

Y. Chen, T. Lo, Y. S. Chu, J. Yi, C. Liu, J. Wang, C. Wang, C. Chiu, T. Hua, Y. Hwu, Q. Shen, G. Yin, K. S. Liang, H. Lin, J. H. Je, and G. Margaritondo, Nanotechnol. 19, 395302(2008).
[CrossRef]

Kato, Y.

Katori, Y.

Kawamura, N.

K. Tamasaku, Y. Tanaka, M. Yabashi, H. Yamazaki, N. Kawamura, M. Suzuki, and T. Ishikawa, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 467, 686 (2001).
[CrossRef]

Kirkpatrick, P.

P. Kirkpatrick and A. V. Baez, J. Opt. Soc. Am 38, 766(1948).
[CrossRef] [PubMed]

Kodama, R.

Liang, K. S.

Y. Chen, T. Lo, Y. S. Chu, J. Yi, C. Liu, J. Wang, C. Wang, C. Chiu, T. Hua, Y. Hwu, Q. Shen, G. Yin, K. S. Liang, H. Lin, J. H. Je, and G. Margaritondo, Nanotechnol. 19, 395302(2008).
[CrossRef]

Lin, H.

Y. Chen, T. Lo, Y. S. Chu, J. Yi, C. Liu, J. Wang, C. Wang, C. Chiu, T. Hua, Y. Hwu, Q. Shen, G. Yin, K. S. Liang, H. Lin, J. H. Je, and G. Margaritondo, Nanotechnol. 19, 395302(2008).
[CrossRef]

Liu, C.

Y. Chen, T. Lo, Y. S. Chu, J. Yi, C. Liu, J. Wang, C. Wang, C. Chiu, T. Hua, Y. Hwu, Q. Shen, G. Yin, K. S. Liang, H. Lin, J. H. Je, and G. Margaritondo, Nanotechnol. 19, 395302(2008).
[CrossRef]

Lo, T.

Y. Chen, T. Lo, Y. S. Chu, J. Yi, C. Liu, J. Wang, C. Wang, C. Chiu, T. Hua, Y. Hwu, Q. Shen, G. Yin, K. S. Liang, H. Lin, J. H. Je, and G. Margaritondo, Nanotechnol. 19, 395302(2008).
[CrossRef]

Margaritondo, G.

Y. Chen, T. Lo, Y. S. Chu, J. Yi, C. Liu, J. Wang, C. Wang, C. Chiu, T. Hua, Y. Hwu, Q. Shen, G. Yin, K. S. Liang, H. Lin, J. H. Je, and G. Margaritondo, Nanotechnol. 19, 395302(2008).
[CrossRef]

Matsuyama, S.

S. Matsuyama, M. Fujii, and K. Yamauchi, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 616, 241 (2010).
[CrossRef]

H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, and K. Yamauchi, Rev. Sci. Instrum. 76, 045102 (2005).
[CrossRef]

Mimura, H.

H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, and K. Yamauchi, Rev. Sci. Instrum. 76, 045102 (2005).
[CrossRef]

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Appl. Opt. 44, 6927 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Ueno, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 74, 2894 (2003).
[CrossRef]

K. Yamauchi, H. Mimura, K. Inagaki, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 73, 4028 (2002).
[CrossRef]

Mori, Y.

H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, and K. Yamauchi, Rev. Sci. Instrum. 76, 045102 (2005).
[CrossRef]

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Appl. Opt. 44, 6927 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Ueno, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 74, 2894 (2003).
[CrossRef]

K. Yamauchi, H. Mimura, K. Inagaki, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 73, 4028 (2002).
[CrossRef]

Nishino, Y.

H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, and K. Yamauchi, Rev. Sci. Instrum. 76, 045102 (2005).
[CrossRef]

Saito, A.

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Appl. Opt. 44, 6927 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Ueno, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 74, 2894 (2003).
[CrossRef]

Sano, Y.

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Appl. Opt. 44, 6927 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, and K. Yamauchi, Rev. Sci. Instrum. 76, 045102 (2005).
[CrossRef]

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Ueno, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 74, 2894 (2003).
[CrossRef]

Shen, Q.

Y. Chen, T. Lo, Y. S. Chu, J. Yi, C. Liu, J. Wang, C. Wang, C. Chiu, T. Hua, Y. Hwu, Q. Shen, G. Yin, K. S. Liang, H. Lin, J. H. Je, and G. Margaritondo, Nanotechnol. 19, 395302(2008).
[CrossRef]

Souvorov, A.

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Appl. Opt. 44, 6927 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Ueno, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 74, 2894 (2003).
[CrossRef]

Suzuki, M.

K. Tamasaku, Y. Tanaka, M. Yabashi, H. Yamazaki, N. Kawamura, M. Suzuki, and T. Ishikawa, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 467, 686 (2001).
[CrossRef]

Takeshi, K.

Tamasaku, K.

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Appl. Opt. 44, 6927 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, and K. Yamauchi, Rev. Sci. Instrum. 76, 045102 (2005).
[CrossRef]

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Ueno, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 74, 2894 (2003).
[CrossRef]

K. Tamasaku, Y. Tanaka, M. Yabashi, H. Yamazaki, N. Kawamura, M. Suzuki, and T. Ishikawa, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 467, 686 (2001).
[CrossRef]

Tanaka, Y.

K. Tamasaku, Y. Tanaka, M. Yabashi, H. Yamazaki, N. Kawamura, M. Suzuki, and T. Ishikawa, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 467, 686 (2001).
[CrossRef]

Ueno, K.

H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, and K. Yamauchi, Rev. Sci. Instrum. 76, 045102 (2005).
[CrossRef]

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Ueno, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 74, 2894 (2003).
[CrossRef]

Wang, C.

Y. Chen, T. Lo, Y. S. Chu, J. Yi, C. Liu, J. Wang, C. Wang, C. Chiu, T. Hua, Y. Hwu, Q. Shen, G. Yin, K. S. Liang, H. Lin, J. H. Je, and G. Margaritondo, Nanotechnol. 19, 395302(2008).
[CrossRef]

Wang, J.

Y. Chen, T. Lo, Y. S. Chu, J. Yi, C. Liu, J. Wang, C. Wang, C. Chiu, T. Hua, Y. Hwu, Q. Shen, G. Yin, K. S. Liang, H. Lin, J. H. Je, and G. Margaritondo, Nanotechnol. 19, 395302(2008).
[CrossRef]

Wolter, H.

H. Wolter, Ann. Phys. 445, 94 (1952).
[CrossRef]

Yabashi, M.

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Appl. Opt. 44, 6927 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, and K. Yamauchi, Rev. Sci. Instrum. 76, 045102 (2005).
[CrossRef]

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Ueno, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 74, 2894 (2003).
[CrossRef]

K. Tamasaku, Y. Tanaka, M. Yabashi, H. Yamazaki, N. Kawamura, M. Suzuki, and T. Ishikawa, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 467, 686 (2001).
[CrossRef]

Yamamura, K.

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Appl. Opt. 44, 6927 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, and K. Yamauchi, Rev. Sci. Instrum. 76, 045102 (2005).
[CrossRef]

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Ueno, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 74, 2894 (2003).
[CrossRef]

Yamauchi, K.

S. Matsuyama, M. Fujii, and K. Yamauchi, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 616, 241 (2010).
[CrossRef]

H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, and K. Yamauchi, Rev. Sci. Instrum. 76, 045102 (2005).
[CrossRef]

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Appl. Opt. 44, 6927 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Ueno, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 74, 2894 (2003).
[CrossRef]

K. Yamauchi, H. Mimura, K. Inagaki, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 73, 4028 (2002).
[CrossRef]

Yamazaki, H.

K. Tamasaku, Y. Tanaka, M. Yabashi, H. Yamazaki, N. Kawamura, M. Suzuki, and T. Ishikawa, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 467, 686 (2001).
[CrossRef]

Yi, J.

Y. Chen, T. Lo, Y. S. Chu, J. Yi, C. Liu, J. Wang, C. Wang, C. Chiu, T. Hua, Y. Hwu, Q. Shen, G. Yin, K. S. Liang, H. Lin, J. H. Je, and G. Margaritondo, Nanotechnol. 19, 395302(2008).
[CrossRef]

Yin, G.

Y. Chen, T. Lo, Y. S. Chu, J. Yi, C. Liu, J. Wang, C. Wang, C. Chiu, T. Hua, Y. Hwu, Q. Shen, G. Yin, K. S. Liang, H. Lin, J. H. Je, and G. Margaritondo, Nanotechnol. 19, 395302(2008).
[CrossRef]

Yumoto, H.

H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, and K. Yamauchi, Rev. Sci. Instrum. 76, 045102 (2005).
[CrossRef]

Ann. Phys. (1)

H. Wolter, Ann. Phys. 445, 94 (1952).
[CrossRef]

Appl. Opt. (1)

J. Opt. Soc. Am (1)

P. Kirkpatrick and A. V. Baez, J. Opt. Soc. Am 38, 766(1948).
[CrossRef] [PubMed]

Nanotechnol. (1)

Y. Chen, T. Lo, Y. S. Chu, J. Yi, C. Liu, J. Wang, C. Wang, C. Chiu, T. Hua, Y. Hwu, Q. Shen, G. Yin, K. S. Liang, H. Lin, J. H. Je, and G. Margaritondo, Nanotechnol. 19, 395302(2008).
[CrossRef]

Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A (2)

K. Tamasaku, Y. Tanaka, M. Yabashi, H. Yamazaki, N. Kawamura, M. Suzuki, and T. Ishikawa, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 467, 686 (2001).
[CrossRef]

S. Matsuyama, M. Fujii, and K. Yamauchi, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A 616, 241 (2010).
[CrossRef]

Opt. Lett. (1)

Rev. Sci. Instrum. (3)

K. Yamauchi, H. Mimura, K. Inagaki, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 73, 4028 (2002).
[CrossRef]

K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, Y. Sano, A. Saito, K. Ueno, K. Endo, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa, and Y. Mori, Rev. Sci. Instrum. 74, 2894 (2003).
[CrossRef]

H. Mimura, H. Yumoto, S. Matsuyama, K. Yamamura, Y. Sano, K. Ueno, K. Endo, Y. Mori, M. Yabashi, K. Tamasaku, Y. Nishino, T. Ishikawa, and K. Yamauchi, Rev. Sci. Instrum. 76, 045102 (2005).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (5)

Fig. 1
Fig. 1

Arrangement of an AKB system. This Letter discusses only 1D Wolter optics near the object.

Fig. 2
Fig. 2

Mirror figures and residual figure errors on the (a) elliptical mirror and (b) hyperbolic mirror. Figured mirrors have residual figure errors of 2 nm (P-V).

Fig. 3
Fig. 3

Optical setup designed to form a demagnified image in BL29XUL of SPring-8. The most-upstream slit functions as the object of the imaging system.

Fig. 4
Fig. 4

Observed and calculated PSFs. The observed PSF was measured several times using scanning pitches of 10, 11, and 13 nm . The solid curve was obtained by fitting five Gaussian functions to the measured points. The dashed curve shows the PSF calculated by the wave-optical simulator, which uses the measured mirror shapes.

Fig. 5
Fig. 5

Relationships between the angular distance from the field center and the FWHM (a) in the focal plane and (b) in an off-focus plane located 0.5 mm upstream of the focal point and (c) imaging performance near the focus. The simulated FWHMs in (a), (b), and (c) were obtained from PSFs calculated by the wave-optical simulator. The second horizontal axes in (a) and (b) indicate the equivalent FOV to the angular distance. The two white lines in (c) indicate the off-axis imaging performances shown in (a) and (b), respectively.

Metrics