Abstract

We report on the development of periodically oriented embedded air protrusion (EAP) structures at the GaN– sapphire interface in InGaN/GaN LEDs. A specific SiO2 mask pattern and a simple wet etching process were utilized for the fabrication of EAP structures. A strong coupling between closely proximate air cavities and the multiple quantum wells promoted spontaneous emission due to the high-index contrast at the GaN–air interface. As a result, the light output power of the EAP LED was 2.2 times higher than that of a conventional LED at an injection current of 20mA.

© 2010 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. K. Tadatomo, K. Tadatomo, H. Okagawa, Y. Ohuchi, T. Tsunekawa, Y. Imada, M. Kato, and T. Taguchi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 40, L583 (2001).
    [CrossRef]
  2. J. E. Northrup, L. T. Romano, and J. Neugebauer, Appl. Phys. Lett. 74, 2319 (1999).
    [CrossRef]
  3. J. K. Kim, A. N. Noemaun, F. W. Mont, D. Meyaard, E. F. Schubert, D. J. Poxson, H. Kim, C. Sone, and Y. Park, Appl. Phys. Lett. 93, 221111 (2008).
    [CrossRef]
  4. M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
    [CrossRef]
  5. E. F. Schubert, Light Emitting Diodes, 2nd ed. (Cambridge U. Press, 2006).
    [CrossRef]
  6. D.-H. Kim, C.-O. Cho, Y.-G. Roh, H. Jeon, Y. S. Park, J. Cho, J. S. Im, C. Sone, Y. Park, W. J. Choi, and Q.-H. Park, Appl. Phys. Lett. 87, 203508 (2005).
    [CrossRef]
  7. E.-H. Park, I. T. Ferguson, S.-K. Jeon, J.-S. Park, and T.-K. Yoo, Appl. Phys. Lett. 89, 251106 (2006).
    [CrossRef]
  8. T. V. Cuong, H. S. Cheong, H. G. Kim, H. Y. Kim, C.-H. Hong, E. K. Suh, H. K. Cho, and B. H. Kong, Appl. Phys. Lett. 90, 131107 (2007).
    [CrossRef]
  9. M. H. Lo, P. M. Tu, C. H. Wang, C. W. Hung, S. C. Hsu, Y. J. Cheng, H. C. Kuo, H. W. Zan, S. C. Wang, C. Y. Chang, and S. C. Huang, Appl. Phys. Lett. 95, 041109 (2009).
    [CrossRef]
  10. C.-F. Lin, C.-M. Lin, K.-T. Chen, W.-C. Huang, M.-S. Lin, J.-J. Dai, R.-H. Jiang, Y.-C. Huang, and C.-Y. Chang, Appl. Phys. Lett. 95, 201102 (2009).
    [CrossRef]
  11. H. G. Kim, H. K. Kim, H. Y. Kim, J. H. Ryu, J. H. Kang, N. Han, P. Uthirakumar, and C.-H. Hong, Appl. Phys. Lett. 95, 221110 (2009).
    [CrossRef]
  12. Y. C. Shen, J. J. Wierer, M. R. Krames, M. J. Ludowise, M. S. Misra, F. Ahmed, A. Y. Kim, G. O. Mueller, J. C. Bhat, S. A. Stockman, and P. S. Martin, Appl. Phys. Lett. 82, 2221(2003).
    [CrossRef]
  13. Y.-S. Choi, M. Iza, E. Matioli, G. Koblmüller, J. S. Speck, C. Weisbuch, and E. L. Hu, Appl. Phys. Lett. 91, 061120(2007).
    [CrossRef]

2009 (3)

M. H. Lo, P. M. Tu, C. H. Wang, C. W. Hung, S. C. Hsu, Y. J. Cheng, H. C. Kuo, H. W. Zan, S. C. Wang, C. Y. Chang, and S. C. Huang, Appl. Phys. Lett. 95, 041109 (2009).
[CrossRef]

C.-F. Lin, C.-M. Lin, K.-T. Chen, W.-C. Huang, M.-S. Lin, J.-J. Dai, R.-H. Jiang, Y.-C. Huang, and C.-Y. Chang, Appl. Phys. Lett. 95, 201102 (2009).
[CrossRef]

H. G. Kim, H. K. Kim, H. Y. Kim, J. H. Ryu, J. H. Kang, N. Han, P. Uthirakumar, and C.-H. Hong, Appl. Phys. Lett. 95, 221110 (2009).
[CrossRef]

2008 (1)

J. K. Kim, A. N. Noemaun, F. W. Mont, D. Meyaard, E. F. Schubert, D. J. Poxson, H. Kim, C. Sone, and Y. Park, Appl. Phys. Lett. 93, 221111 (2008).
[CrossRef]

2007 (2)

T. V. Cuong, H. S. Cheong, H. G. Kim, H. Y. Kim, C.-H. Hong, E. K. Suh, H. K. Cho, and B. H. Kong, Appl. Phys. Lett. 90, 131107 (2007).
[CrossRef]

Y.-S. Choi, M. Iza, E. Matioli, G. Koblmüller, J. S. Speck, C. Weisbuch, and E. L. Hu, Appl. Phys. Lett. 91, 061120(2007).
[CrossRef]

2006 (2)

E.-H. Park, I. T. Ferguson, S.-K. Jeon, J.-S. Park, and T.-K. Yoo, Appl. Phys. Lett. 89, 251106 (2006).
[CrossRef]

E. F. Schubert, Light Emitting Diodes, 2nd ed. (Cambridge U. Press, 2006).
[CrossRef]

2005 (1)

D.-H. Kim, C.-O. Cho, Y.-G. Roh, H. Jeon, Y. S. Park, J. Cho, J. S. Im, C. Sone, Y. Park, W. J. Choi, and Q.-H. Park, Appl. Phys. Lett. 87, 203508 (2005).
[CrossRef]

2003 (1)

Y. C. Shen, J. J. Wierer, M. R. Krames, M. J. Ludowise, M. S. Misra, F. Ahmed, A. Y. Kim, G. O. Mueller, J. C. Bhat, S. A. Stockman, and P. S. Martin, Appl. Phys. Lett. 82, 2221(2003).
[CrossRef]

2001 (1)

K. Tadatomo, K. Tadatomo, H. Okagawa, Y. Ohuchi, T. Tsunekawa, Y. Imada, M. Kato, and T. Taguchi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 40, L583 (2001).
[CrossRef]

1999 (2)

J. E. Northrup, L. T. Romano, and J. Neugebauer, Appl. Phys. Lett. 74, 2319 (1999).
[CrossRef]

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Ahmed, F.

Y. C. Shen, J. J. Wierer, M. R. Krames, M. J. Ludowise, M. S. Misra, F. Ahmed, A. Y. Kim, G. O. Mueller, J. C. Bhat, S. A. Stockman, and P. S. Martin, Appl. Phys. Lett. 82, 2221(2003).
[CrossRef]

Bhat, J. C.

Y. C. Shen, J. J. Wierer, M. R. Krames, M. J. Ludowise, M. S. Misra, F. Ahmed, A. Y. Kim, G. O. Mueller, J. C. Bhat, S. A. Stockman, and P. S. Martin, Appl. Phys. Lett. 82, 2221(2003).
[CrossRef]

Carter-Coman, C.

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Chang, C. Y.

M. H. Lo, P. M. Tu, C. H. Wang, C. W. Hung, S. C. Hsu, Y. J. Cheng, H. C. Kuo, H. W. Zan, S. C. Wang, C. Y. Chang, and S. C. Huang, Appl. Phys. Lett. 95, 041109 (2009).
[CrossRef]

Chang, C.-Y.

C.-F. Lin, C.-M. Lin, K.-T. Chen, W.-C. Huang, M.-S. Lin, J.-J. Dai, R.-H. Jiang, Y.-C. Huang, and C.-Y. Chang, Appl. Phys. Lett. 95, 201102 (2009).
[CrossRef]

Chen, E. I.

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Chen, K.-T.

C.-F. Lin, C.-M. Lin, K.-T. Chen, W.-C. Huang, M.-S. Lin, J.-J. Dai, R.-H. Jiang, Y.-C. Huang, and C.-Y. Chang, Appl. Phys. Lett. 95, 201102 (2009).
[CrossRef]

Cheng, Y. J.

M. H. Lo, P. M. Tu, C. H. Wang, C. W. Hung, S. C. Hsu, Y. J. Cheng, H. C. Kuo, H. W. Zan, S. C. Wang, C. Y. Chang, and S. C. Huang, Appl. Phys. Lett. 95, 041109 (2009).
[CrossRef]

Cheong, H. S.

T. V. Cuong, H. S. Cheong, H. G. Kim, H. Y. Kim, C.-H. Hong, E. K. Suh, H. K. Cho, and B. H. Kong, Appl. Phys. Lett. 90, 131107 (2007).
[CrossRef]

Cho, C.-O.

D.-H. Kim, C.-O. Cho, Y.-G. Roh, H. Jeon, Y. S. Park, J. Cho, J. S. Im, C. Sone, Y. Park, W. J. Choi, and Q.-H. Park, Appl. Phys. Lett. 87, 203508 (2005).
[CrossRef]

Cho, H. K.

T. V. Cuong, H. S. Cheong, H. G. Kim, H. Y. Kim, C.-H. Hong, E. K. Suh, H. K. Cho, and B. H. Kong, Appl. Phys. Lett. 90, 131107 (2007).
[CrossRef]

Cho, J.

D.-H. Kim, C.-O. Cho, Y.-G. Roh, H. Jeon, Y. S. Park, J. Cho, J. S. Im, C. Sone, Y. Park, W. J. Choi, and Q.-H. Park, Appl. Phys. Lett. 87, 203508 (2005).
[CrossRef]

Choi, W. J.

D.-H. Kim, C.-O. Cho, Y.-G. Roh, H. Jeon, Y. S. Park, J. Cho, J. S. Im, C. Sone, Y. Park, W. J. Choi, and Q.-H. Park, Appl. Phys. Lett. 87, 203508 (2005).
[CrossRef]

Choi, Y.-S.

Y.-S. Choi, M. Iza, E. Matioli, G. Koblmüller, J. S. Speck, C. Weisbuch, and E. L. Hu, Appl. Phys. Lett. 91, 061120(2007).
[CrossRef]

Chui, H. C.

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Collins, D.

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Craford, M. G.

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Cuong, T. V.

T. V. Cuong, H. S. Cheong, H. G. Kim, H. Y. Kim, C.-H. Hong, E. K. Suh, H. K. Cho, and B. H. Kong, Appl. Phys. Lett. 90, 131107 (2007).
[CrossRef]

Dai, J.-J.

C.-F. Lin, C.-M. Lin, K.-T. Chen, W.-C. Huang, M.-S. Lin, J.-J. Dai, R.-H. Jiang, Y.-C. Huang, and C.-Y. Chang, Appl. Phys. Lett. 95, 201102 (2009).
[CrossRef]

F., N.

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Ferguson, I. T.

E.-H. Park, I. T. Ferguson, S.-K. Jeon, J.-S. Park, and T.-K. Yoo, Appl. Phys. Lett. 89, 251106 (2006).
[CrossRef]

Grillot, P.

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Han, N.

H. G. Kim, H. K. Kim, H. Y. Kim, J. H. Ryu, J. H. Kang, N. Han, P. Uthirakumar, and C.-H. Hong, Appl. Phys. Lett. 95, 221110 (2009).
[CrossRef]

Höfler, G. E.

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Hong, C.-H.

T. V. Cuong, H. S. Cheong, H. G. Kim, H. Y. Kim, C.-H. Hong, E. K. Suh, H. K. Cho, and B. H. Kong, Appl. Phys. Lett. 90, 131107 (2007).
[CrossRef]

Hsu, S. C.

M. H. Lo, P. M. Tu, C. H. Wang, C. W. Hung, S. C. Hsu, Y. J. Cheng, H. C. Kuo, H. W. Zan, S. C. Wang, C. Y. Chang, and S. C. Huang, Appl. Phys. Lett. 95, 041109 (2009).
[CrossRef]

Hu, E. L.

Y.-S. Choi, M. Iza, E. Matioli, G. Koblmüller, J. S. Speck, C. Weisbuch, and E. L. Hu, Appl. Phys. Lett. 91, 061120(2007).
[CrossRef]

Huang, J.-W.

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Huang, W.-C.

C.-F. Lin, C.-M. Lin, K.-T. Chen, W.-C. Huang, M.-S. Lin, J.-J. Dai, R.-H. Jiang, Y.-C. Huang, and C.-Y. Chang, Appl. Phys. Lett. 95, 201102 (2009).
[CrossRef]

Huang, Y.-C.

C.-F. Lin, C.-M. Lin, K.-T. Chen, W.-C. Huang, M.-S. Lin, J.-J. Dai, R.-H. Jiang, Y.-C. Huang, and C.-Y. Chang, Appl. Phys. Lett. 95, 201102 (2009).
[CrossRef]

Hueschen, M.

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Hung, C. W.

M. H. Lo, P. M. Tu, C. H. Wang, C. W. Hung, S. C. Hsu, Y. J. Cheng, H. C. Kuo, H. W. Zan, S. C. Wang, C. Y. Chang, and S. C. Huang, Appl. Phys. Lett. 95, 041109 (2009).
[CrossRef]

Im, J. S.

D.-H. Kim, C.-O. Cho, Y.-G. Roh, H. Jeon, Y. S. Park, J. Cho, J. S. Im, C. Sone, Y. Park, W. J. Choi, and Q.-H. Park, Appl. Phys. Lett. 87, 203508 (2005).
[CrossRef]

Imada, Y.

K. Tadatomo, K. Tadatomo, H. Okagawa, Y. Ohuchi, T. Tsunekawa, Y. Imada, M. Kato, and T. Taguchi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 40, L583 (2001).
[CrossRef]

Iza, M.

Y.-S. Choi, M. Iza, E. Matioli, G. Koblmüller, J. S. Speck, C. Weisbuch, and E. L. Hu, Appl. Phys. Lett. 91, 061120(2007).
[CrossRef]

J., J.

Y. C. Shen, J. J. Wierer, M. R. Krames, M. J. Ludowise, M. S. Misra, F. Ahmed, A. Y. Kim, G. O. Mueller, J. C. Bhat, S. A. Stockman, and P. S. Martin, Appl. Phys. Lett. 82, 2221(2003).
[CrossRef]

Jeon, H.

D.-H. Kim, C.-O. Cho, Y.-G. Roh, H. Jeon, Y. S. Park, J. Cho, J. S. Im, C. Sone, Y. Park, W. J. Choi, and Q.-H. Park, Appl. Phys. Lett. 87, 203508 (2005).
[CrossRef]

Jeon, S.-K.

E.-H. Park, I. T. Ferguson, S.-K. Jeon, J.-S. Park, and T.-K. Yoo, Appl. Phys. Lett. 89, 251106 (2006).
[CrossRef]

Jiang, R.-H.

C.-F. Lin, C.-M. Lin, K.-T. Chen, W.-C. Huang, M.-S. Lin, J.-J. Dai, R.-H. Jiang, Y.-C. Huang, and C.-Y. Chang, Appl. Phys. Lett. 95, 201102 (2009).
[CrossRef]

Kang, J. H.

H. G. Kim, H. K. Kim, H. Y. Kim, J. H. Ryu, J. H. Kang, N. Han, P. Uthirakumar, and C.-H. Hong, Appl. Phys. Lett. 95, 221110 (2009).
[CrossRef]

Kato, M.

K. Tadatomo, K. Tadatomo, H. Okagawa, Y. Ohuchi, T. Tsunekawa, Y. Imada, M. Kato, and T. Taguchi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 40, L583 (2001).
[CrossRef]

Kim, A. Y.

Y. C. Shen, J. J. Wierer, M. R. Krames, M. J. Ludowise, M. S. Misra, F. Ahmed, A. Y. Kim, G. O. Mueller, J. C. Bhat, S. A. Stockman, and P. S. Martin, Appl. Phys. Lett. 82, 2221(2003).
[CrossRef]

Kim, D.-H.

D.-H. Kim, C.-O. Cho, Y.-G. Roh, H. Jeon, Y. S. Park, J. Cho, J. S. Im, C. Sone, Y. Park, W. J. Choi, and Q.-H. Park, Appl. Phys. Lett. 87, 203508 (2005).
[CrossRef]

Kim, H.

J. K. Kim, A. N. Noemaun, F. W. Mont, D. Meyaard, E. F. Schubert, D. J. Poxson, H. Kim, C. Sone, and Y. Park, Appl. Phys. Lett. 93, 221111 (2008).
[CrossRef]

Kim, H. G.

H. G. Kim, H. K. Kim, H. Y. Kim, J. H. Ryu, J. H. Kang, N. Han, P. Uthirakumar, and C.-H. Hong, Appl. Phys. Lett. 95, 221110 (2009).
[CrossRef]

T. V. Cuong, H. S. Cheong, H. G. Kim, H. Y. Kim, C.-H. Hong, E. K. Suh, H. K. Cho, and B. H. Kong, Appl. Phys. Lett. 90, 131107 (2007).
[CrossRef]

Kim, H. K.

H. G. Kim, H. K. Kim, H. Y. Kim, J. H. Ryu, J. H. Kang, N. Han, P. Uthirakumar, and C.-H. Hong, Appl. Phys. Lett. 95, 221110 (2009).
[CrossRef]

Kim, H. Y.

T. V. Cuong, H. S. Cheong, H. G. Kim, H. Y. Kim, C.-H. Hong, E. K. Suh, H. K. Cho, and B. H. Kong, Appl. Phys. Lett. 90, 131107 (2007).
[CrossRef]

Kim, J. K.

J. K. Kim, A. N. Noemaun, F. W. Mont, D. Meyaard, E. F. Schubert, D. J. Poxson, H. Kim, C. Sone, and Y. Park, Appl. Phys. Lett. 93, 221111 (2008).
[CrossRef]

Kish, F. A.

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Koblmüller, G.

Y.-S. Choi, M. Iza, E. Matioli, G. Koblmüller, J. S. Speck, C. Weisbuch, and E. L. Hu, Appl. Phys. Lett. 91, 061120(2007).
[CrossRef]

Kocot, C. P.

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Kong, B. H.

T. V. Cuong, H. S. Cheong, H. G. Kim, H. Y. Kim, C.-H. Hong, E. K. Suh, H. K. Cho, and B. H. Kong, Appl. Phys. Lett. 90, 131107 (2007).
[CrossRef]

Krames, M. R.

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Kuo, H. C.

M. H. Lo, P. M. Tu, C. H. Wang, C. W. Hung, S. C. Hsu, Y. J. Cheng, H. C. Kuo, H. W. Zan, S. C. Wang, C. Y. Chang, and S. C. Huang, Appl. Phys. Lett. 95, 041109 (2009).
[CrossRef]

Lin, C.-F.

C.-F. Lin, C.-M. Lin, K.-T. Chen, W.-C. Huang, M.-S. Lin, J.-J. Dai, R.-H. Jiang, Y.-C. Huang, and C.-Y. Chang, Appl. Phys. Lett. 95, 201102 (2009).
[CrossRef]

Lin, C.-M.

C.-F. Lin, C.-M. Lin, K.-T. Chen, W.-C. Huang, M.-S. Lin, J.-J. Dai, R.-H. Jiang, Y.-C. Huang, and C.-Y. Chang, Appl. Phys. Lett. 95, 201102 (2009).
[CrossRef]

Lin, M.-S.

C.-F. Lin, C.-M. Lin, K.-T. Chen, W.-C. Huang, M.-S. Lin, J.-J. Dai, R.-H. Jiang, Y.-C. Huang, and C.-Y. Chang, Appl. Phys. Lett. 95, 201102 (2009).
[CrossRef]

Lo, M. H.

M. H. Lo, P. M. Tu, C. H. Wang, C. W. Hung, S. C. Hsu, Y. J. Cheng, H. C. Kuo, H. W. Zan, S. C. Wang, C. Y. Chang, and S. C. Huang, Appl. Phys. Lett. 95, 041109 (2009).
[CrossRef]

Loh, B.

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Ludowise, M. J.

Y. C. Shen, J. J. Wierer, M. R. Krames, M. J. Ludowise, M. S. Misra, F. Ahmed, A. Y. Kim, G. O. Mueller, J. C. Bhat, S. A. Stockman, and P. S. Martin, Appl. Phys. Lett. 82, 2221(2003).
[CrossRef]

Martin, P. S.

Y. C. Shen, J. J. Wierer, M. R. Krames, M. J. Ludowise, M. S. Misra, F. Ahmed, A. Y. Kim, G. O. Mueller, J. C. Bhat, S. A. Stockman, and P. S. Martin, Appl. Phys. Lett. 82, 2221(2003).
[CrossRef]

Matioli, E.

Y.-S. Choi, M. Iza, E. Matioli, G. Koblmüller, J. S. Speck, C. Weisbuch, and E. L. Hu, Appl. Phys. Lett. 91, 061120(2007).
[CrossRef]

Meyaard, D.

J. K. Kim, A. N. Noemaun, F. W. Mont, D. Meyaard, E. F. Schubert, D. J. Poxson, H. Kim, C. Sone, and Y. Park, Appl. Phys. Lett. 93, 221111 (2008).
[CrossRef]

Misra, M. S.

Y. C. Shen, J. J. Wierer, M. R. Krames, M. J. Ludowise, M. S. Misra, F. Ahmed, A. Y. Kim, G. O. Mueller, J. C. Bhat, S. A. Stockman, and P. S. Martin, Appl. Phys. Lett. 82, 2221(2003).
[CrossRef]

Mont, F. W.

J. K. Kim, A. N. Noemaun, F. W. Mont, D. Meyaard, E. F. Schubert, D. J. Poxson, H. Kim, C. Sone, and Y. Park, Appl. Phys. Lett. 93, 221111 (2008).
[CrossRef]

Mueller, G. O.

Y. C. Shen, J. J. Wierer, M. R. Krames, M. J. Ludowise, M. S. Misra, F. Ahmed, A. Y. Kim, G. O. Mueller, J. C. Bhat, S. A. Stockman, and P. S. Martin, Appl. Phys. Lett. 82, 2221(2003).
[CrossRef]

Neugebauer, J.

J. E. Northrup, L. T. Romano, and J. Neugebauer, Appl. Phys. Lett. 74, 2319 (1999).
[CrossRef]

Noemaun, A. N.

J. K. Kim, A. N. Noemaun, F. W. Mont, D. Meyaard, E. F. Schubert, D. J. Poxson, H. Kim, C. Sone, and Y. Park, Appl. Phys. Lett. 93, 221111 (2008).
[CrossRef]

Northrup, J. E.

J. E. Northrup, L. T. Romano, and J. Neugebauer, Appl. Phys. Lett. 74, 2319 (1999).
[CrossRef]

Ochiai-Holcomb, M.

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Ohuchi, Y.

K. Tadatomo, K. Tadatomo, H. Okagawa, Y. Ohuchi, T. Tsunekawa, Y. Imada, M. Kato, and T. Taguchi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 40, L583 (2001).
[CrossRef]

Okagawa, H.

K. Tadatomo, K. Tadatomo, H. Okagawa, Y. Ohuchi, T. Tsunekawa, Y. Imada, M. Kato, and T. Taguchi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 40, L583 (2001).
[CrossRef]

Park, E.-H.

E.-H. Park, I. T. Ferguson, S.-K. Jeon, J.-S. Park, and T.-K. Yoo, Appl. Phys. Lett. 89, 251106 (2006).
[CrossRef]

Park, J.-S.

E.-H. Park, I. T. Ferguson, S.-K. Jeon, J.-S. Park, and T.-K. Yoo, Appl. Phys. Lett. 89, 251106 (2006).
[CrossRef]

Park, Q.-H.

D.-H. Kim, C.-O. Cho, Y.-G. Roh, H. Jeon, Y. S. Park, J. Cho, J. S. Im, C. Sone, Y. Park, W. J. Choi, and Q.-H. Park, Appl. Phys. Lett. 87, 203508 (2005).
[CrossRef]

Park, Y.

J. K. Kim, A. N. Noemaun, F. W. Mont, D. Meyaard, E. F. Schubert, D. J. Poxson, H. Kim, C. Sone, and Y. Park, Appl. Phys. Lett. 93, 221111 (2008).
[CrossRef]

D.-H. Kim, C.-O. Cho, Y.-G. Roh, H. Jeon, Y. S. Park, J. Cho, J. S. Im, C. Sone, Y. Park, W. J. Choi, and Q.-H. Park, Appl. Phys. Lett. 87, 203508 (2005).
[CrossRef]

Park, Y. S.

D.-H. Kim, C.-O. Cho, Y.-G. Roh, H. Jeon, Y. S. Park, J. Cho, J. S. Im, C. Sone, Y. Park, W. J. Choi, and Q.-H. Park, Appl. Phys. Lett. 87, 203508 (2005).
[CrossRef]

Posselt, J.

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

R., M.

Y. C. Shen, J. J. Wierer, M. R. Krames, M. J. Ludowise, M. S. Misra, F. Ahmed, A. Y. Kim, G. O. Mueller, J. C. Bhat, S. A. Stockman, and P. S. Martin, Appl. Phys. Lett. 82, 2221(2003).
[CrossRef]

Roh, Y.-G.

D.-H. Kim, C.-O. Cho, Y.-G. Roh, H. Jeon, Y. S. Park, J. Cho, J. S. Im, C. Sone, Y. Park, W. J. Choi, and Q.-H. Park, Appl. Phys. Lett. 87, 203508 (2005).
[CrossRef]

Ryu, J. H.

H. G. Kim, H. K. Kim, H. Y. Kim, J. H. Ryu, J. H. Kang, N. Han, P. Uthirakumar, and C.-H. Hong, Appl. Phys. Lett. 95, 221110 (2009).
[CrossRef]

S., J.

Y.-S. Choi, M. Iza, E. Matioli, G. Koblmüller, J. S. Speck, C. Weisbuch, and E. L. Hu, Appl. Phys. Lett. 91, 061120(2007).
[CrossRef]

Sasser, G.

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Schubert, E. F.

J. K. Kim, A. N. Noemaun, F. W. Mont, D. Meyaard, E. F. Schubert, D. J. Poxson, H. Kim, C. Sone, and Y. Park, Appl. Phys. Lett. 93, 221111 (2008).
[CrossRef]

E. F. Schubert, Light Emitting Diodes, 2nd ed. (Cambridge U. Press, 2006).
[CrossRef]

Shen, Y. C.

Y. C. Shen, J. J. Wierer, M. R. Krames, M. J. Ludowise, M. S. Misra, F. Ahmed, A. Y. Kim, G. O. Mueller, J. C. Bhat, S. A. Stockman, and P. S. Martin, Appl. Phys. Lett. 82, 2221(2003).
[CrossRef]

Sone, C.

J. K. Kim, A. N. Noemaun, F. W. Mont, D. Meyaard, E. F. Schubert, D. J. Poxson, H. Kim, C. Sone, and Y. Park, Appl. Phys. Lett. 93, 221111 (2008).
[CrossRef]

D.-H. Kim, C.-O. Cho, Y.-G. Roh, H. Jeon, Y. S. Park, J. Cho, J. S. Im, C. Sone, Y. Park, W. J. Choi, and Q.-H. Park, Appl. Phys. Lett. 87, 203508 (2005).
[CrossRef]

Stockman, S. A.

Y. C. Shen, J. J. Wierer, M. R. Krames, M. J. Ludowise, M. S. Misra, F. Ahmed, A. Y. Kim, G. O. Mueller, J. C. Bhat, S. A. Stockman, and P. S. Martin, Appl. Phys. Lett. 82, 2221(2003).
[CrossRef]

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Suh, E. K.

T. V. Cuong, H. S. Cheong, H. G. Kim, H. Y. Kim, C.-H. Hong, E. K. Suh, H. K. Cho, and B. H. Kong, Appl. Phys. Lett. 90, 131107 (2007).
[CrossRef]

T., L.

J. E. Northrup, L. T. Romano, and J. Neugebauer, Appl. Phys. Lett. 74, 2319 (1999).
[CrossRef]

Tadatomo, K.

K. Tadatomo, K. Tadatomo, H. Okagawa, Y. Ohuchi, T. Tsunekawa, Y. Imada, M. Kato, and T. Taguchi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 40, L583 (2001).
[CrossRef]

K. Tadatomo, K. Tadatomo, H. Okagawa, Y. Ohuchi, T. Tsunekawa, Y. Imada, M. Kato, and T. Taguchi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 40, L583 (2001).
[CrossRef]

Taguchi,

K. Tadatomo, K. Tadatomo, H. Okagawa, Y. Ohuchi, T. Tsunekawa, Y. Imada, M. Kato, and T. Taguchi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 40, L583 (2001).
[CrossRef]

Tan, I.-H.

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Tan, T. S.

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Tsunekawa, T.

K. Tadatomo, K. Tadatomo, H. Okagawa, Y. Ohuchi, T. Tsunekawa, Y. Imada, M. Kato, and T. Taguchi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 40, L583 (2001).
[CrossRef]

Tu, P. M.

M. H. Lo, P. M. Tu, C. H. Wang, C. W. Hung, S. C. Hsu, Y. J. Cheng, H. C. Kuo, H. W. Zan, S. C. Wang, C. Y. Chang, and S. C. Huang, Appl. Phys. Lett. 95, 041109 (2009).
[CrossRef]

Uthirakumar, P.

H. G. Kim, H. K. Kim, H. Y. Kim, J. H. Ryu, J. H. Kang, N. Han, P. Uthirakumar, and C.-H. Hong, Appl. Phys. Lett. 95, 221110 (2009).
[CrossRef]

Wang, C. H.

M. H. Lo, P. M. Tu, C. H. Wang, C. W. Hung, S. C. Hsu, Y. J. Cheng, H. C. Kuo, H. W. Zan, S. C. Wang, C. Y. Chang, and S. C. Huang, Appl. Phys. Lett. 95, 041109 (2009).
[CrossRef]

Weisbuch, C.

Y.-S. Choi, M. Iza, E. Matioli, G. Koblmüller, J. S. Speck, C. Weisbuch, and E. L. Hu, Appl. Phys. Lett. 91, 061120(2007).
[CrossRef]

Yoo, T.-K.

E.-H. Park, I. T. Ferguson, S.-K. Jeon, J.-S. Park, and T.-K. Yoo, Appl. Phys. Lett. 89, 251106 (2006).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett. (11)

D.-H. Kim, C.-O. Cho, Y.-G. Roh, H. Jeon, Y. S. Park, J. Cho, J. S. Im, C. Sone, Y. Park, W. J. Choi, and Q.-H. Park, Appl. Phys. Lett. 87, 203508 (2005).
[CrossRef]

E.-H. Park, I. T. Ferguson, S.-K. Jeon, J.-S. Park, and T.-K. Yoo, Appl. Phys. Lett. 89, 251106 (2006).
[CrossRef]

T. V. Cuong, H. S. Cheong, H. G. Kim, H. Y. Kim, C.-H. Hong, E. K. Suh, H. K. Cho, and B. H. Kong, Appl. Phys. Lett. 90, 131107 (2007).
[CrossRef]

M. H. Lo, P. M. Tu, C. H. Wang, C. W. Hung, S. C. Hsu, Y. J. Cheng, H. C. Kuo, H. W. Zan, S. C. Wang, C. Y. Chang, and S. C. Huang, Appl. Phys. Lett. 95, 041109 (2009).
[CrossRef]

C.-F. Lin, C.-M. Lin, K.-T. Chen, W.-C. Huang, M.-S. Lin, J.-J. Dai, R.-H. Jiang, Y.-C. Huang, and C.-Y. Chang, Appl. Phys. Lett. 95, 201102 (2009).
[CrossRef]

H. G. Kim, H. K. Kim, H. Y. Kim, J. H. Ryu, J. H. Kang, N. Han, P. Uthirakumar, and C.-H. Hong, Appl. Phys. Lett. 95, 221110 (2009).
[CrossRef]

Y. C. Shen, J. J. Wierer, M. R. Krames, M. J. Ludowise, M. S. Misra, F. Ahmed, A. Y. Kim, G. O. Mueller, J. C. Bhat, S. A. Stockman, and P. S. Martin, Appl. Phys. Lett. 82, 2221(2003).
[CrossRef]

Y.-S. Choi, M. Iza, E. Matioli, G. Koblmüller, J. S. Speck, C. Weisbuch, and E. L. Hu, Appl. Phys. Lett. 91, 061120(2007).
[CrossRef]

J. E. Northrup, L. T. Romano, and J. Neugebauer, Appl. Phys. Lett. 74, 2319 (1999).
[CrossRef]

J. K. Kim, A. N. Noemaun, F. W. Mont, D. Meyaard, E. F. Schubert, D. J. Poxson, H. Kim, C. Sone, and Y. Park, Appl. Phys. Lett. 93, 221111 (2008).
[CrossRef]

M. R. Krames, M. Ochiai-Holcomb, G. E. Höfler, C. Carter-Coman, E. I. Chen, I.-H. Tan, P. Grillot, N. F. Gardner, H. C. Chui, J.-W. Huang, S. A. Stockman, F. A. Kish, M. G. Craford, T. S. Tan, C. P. Kocot, M. Hueschen, J. Posselt, B. Loh, G. Sasser, and D. Collins, Appl. Phys. Lett. 75, 2365 (1999).
[CrossRef]

Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 (1)

K. Tadatomo, K. Tadatomo, H. Okagawa, Y. Ohuchi, T. Tsunekawa, Y. Imada, M. Kato, and T. Taguchi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 40, L583 (2001).
[CrossRef]

Other (1)

E. F. Schubert, Light Emitting Diodes, 2nd ed. (Cambridge U. Press, 2006).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1
Fig. 1

(a) Schematic diagram of the mask pattern. (b) SEM image of the EAP structure after etching. (c) Cross-sectional SEM image. (d) SEM image of the EAP structure after laser lift-off.

Fig. 2
Fig. 2

(a) Optical-microscope image of the EAP LED. (b), (c) Enlarged images of the optical microscope of emitting EAP LEDs at low injection currents of 0 and 0.2 mA , respectively.

Fig. 3
Fig. 3

(a), (b) Two-dimensional and 3-D electroluminescence light emissions from an EAP LED at a low injection current ( 1 mA ). (c) Micro-EL spectrum measured from an EAP LED at 1 mA of driving current.

Fig. 4
Fig. 4

Light output power as a function of driving current for conventional and EAP LEDs.

Metrics