Abstract

We report the first (to our knowledge) demonstration of a tabletop, extreme UV (EUV) transmission microscope at 13.8nm wavelength with a spatial (half-pitch) resolution of 69nm. In the experiment, a compact laser–plasma EUV source based on a gas puff target is applied to illuminate an object. A multilayer ellipsoidal mirror is used to focus quasi-monochromatic EUV radiation onto the object, while a Fresnel zone plate objective forms the image. The experiment and the spatial resolution measurements, based on a knife-edge test, are described. The results might be useful for the realization of a compact high-resolution tabletop imaging systems for actinic defect characterization.

© 2010 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. V. Bakshi, in Semiconductor International (March 2009).
  2. K. A. Goldberg, I. Mochi, P. Naulleau, T. Liang, P.-Y. Yan, and S. Huh, J. Vac. Sci. Technol. B 27, 2916 (2009).
    [CrossRef]
  3. H. Kinoshita, K. Hamamoto, M. Hosoya, and T. Watanabe, Jpn. J. Appl. Phys. 466113 (2007).
    [CrossRef]
  4. M. Kishimoto, M. Tanaka, R. Tai, K. Sukegawa, M. Kado, N. Hasegawa, H. Tang, T. Kawachi, P. Lu, K. Nagashima, H. Daido, Y. Kato, K. Nagai, and H. Takenaka, J. Phys. IV 104, 141 (2003).
  5. G. Vaschenko, F. Brizuela, C. Brewer, M. Grisham, H. Mancini, C. S. Menoni, M. C. Marconi, J. J. Rocca, W. Chao, J. A. Liddle, E. H. Anderson, D. T. Attwood, A. V. Vinogradov, I. A. Artioukov, Y. P. Pershyn, and V. V. Kondratenko, Opt. Lett. 30, 2095 (2005).
    [CrossRef] [PubMed]
  6. G. Vaschenko, C. Brewer, F. Brizuela, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. C. Marconi, J. J. Rocca, and C. S. Menoni, Opt. Lett. 31, 1214 (2006).
    [CrossRef] [PubMed]
  7. F. Brizuela, Y. Wang, C. A. Brewer, F. Pedaci, W. Chao, E. H. Anderson, Y. Liu, K. A. Goldberg, P. Naulleau, P. Wachulak, M. C. Marconi, D. T. Attwood, J. J. Rocca, and C. S. Menoni, Opt. Lett. 34, 271 (2009).
    [CrossRef] [PubMed]
  8. M. Wieland, C. Spielmann, U. Kleineberg, T. Westerwalbesloh, U. Heinzmann, and T. Wilhein, Ultramicroscopy 102, 93(2005).
    [CrossRef]
  9. L. Juschkin, R. Freiberger, and K. Bergman, J. Phys.: Conf. Ser. 186, 012030 (2009).
    [CrossRef]
  10. H. Fiedorowicz, A. Bartnik, R. Jarocki, J. Kostecki, J. Krzywinski, J. Mikołajczyk, R. Rakowski, A. Szczurek, and M. Szczurek, J. Alloys Compd. 401, 99 (2005).
    [CrossRef]
  11. P. W. Wachulak, A. Bartnik, H. Fiedorowicz, T. Feigl, R. Jarocki, J. Kostecki, R. Rakowski, P. Rudawski, M. Sawicka, M. Szczurek, A. Szczurek, and Z. Zawadzki, “A compact, quasimonochromatic laser-plasma EUV source based on a double stream gas puff target at 13.8nm wavelength,”Appl. Phys. B (to be published).
  12. D. Attwood, Soft X-Ray and Extreme Ultraviolet Radiation (Cambridge U. Press, 1999).

2009 (3)

K. A. Goldberg, I. Mochi, P. Naulleau, T. Liang, P.-Y. Yan, and S. Huh, J. Vac. Sci. Technol. B 27, 2916 (2009).
[CrossRef]

L. Juschkin, R. Freiberger, and K. Bergman, J. Phys.: Conf. Ser. 186, 012030 (2009).
[CrossRef]

F. Brizuela, Y. Wang, C. A. Brewer, F. Pedaci, W. Chao, E. H. Anderson, Y. Liu, K. A. Goldberg, P. Naulleau, P. Wachulak, M. C. Marconi, D. T. Attwood, J. J. Rocca, and C. S. Menoni, Opt. Lett. 34, 271 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

2007 (1)

H. Kinoshita, K. Hamamoto, M. Hosoya, and T. Watanabe, Jpn. J. Appl. Phys. 466113 (2007).
[CrossRef]

2006 (1)

2005 (3)

M. Wieland, C. Spielmann, U. Kleineberg, T. Westerwalbesloh, U. Heinzmann, and T. Wilhein, Ultramicroscopy 102, 93(2005).
[CrossRef]

H. Fiedorowicz, A. Bartnik, R. Jarocki, J. Kostecki, J. Krzywinski, J. Mikołajczyk, R. Rakowski, A. Szczurek, and M. Szczurek, J. Alloys Compd. 401, 99 (2005).
[CrossRef]

G. Vaschenko, F. Brizuela, C. Brewer, M. Grisham, H. Mancini, C. S. Menoni, M. C. Marconi, J. J. Rocca, W. Chao, J. A. Liddle, E. H. Anderson, D. T. Attwood, A. V. Vinogradov, I. A. Artioukov, Y. P. Pershyn, and V. V. Kondratenko, Opt. Lett. 30, 2095 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

2003 (1)

M. Kishimoto, M. Tanaka, R. Tai, K. Sukegawa, M. Kado, N. Hasegawa, H. Tang, T. Kawachi, P. Lu, K. Nagashima, H. Daido, Y. Kato, K. Nagai, and H. Takenaka, J. Phys. IV 104, 141 (2003).

Anderson, E. H.

Artioukov, I. A.

Attwood, D.

D. Attwood, Soft X-Ray and Extreme Ultraviolet Radiation (Cambridge U. Press, 1999).

Attwood, D. T.

Bakshi, V.

V. Bakshi, in Semiconductor International (March 2009).

Bartnik, A.

H. Fiedorowicz, A. Bartnik, R. Jarocki, J. Kostecki, J. Krzywinski, J. Mikołajczyk, R. Rakowski, A. Szczurek, and M. Szczurek, J. Alloys Compd. 401, 99 (2005).
[CrossRef]

P. W. Wachulak, A. Bartnik, H. Fiedorowicz, T. Feigl, R. Jarocki, J. Kostecki, R. Rakowski, P. Rudawski, M. Sawicka, M. Szczurek, A. Szczurek, and Z. Zawadzki, “A compact, quasimonochromatic laser-plasma EUV source based on a double stream gas puff target at 13.8nm wavelength,”Appl. Phys. B (to be published).

Bergman, K.

L. Juschkin, R. Freiberger, and K. Bergman, J. Phys.: Conf. Ser. 186, 012030 (2009).
[CrossRef]

Brewer, C.

Brewer, C. A.

Brizuela, F.

Chao, W.

Daido, H.

M. Kishimoto, M. Tanaka, R. Tai, K. Sukegawa, M. Kado, N. Hasegawa, H. Tang, T. Kawachi, P. Lu, K. Nagashima, H. Daido, Y. Kato, K. Nagai, and H. Takenaka, J. Phys. IV 104, 141 (2003).

Feigl, T.

P. W. Wachulak, A. Bartnik, H. Fiedorowicz, T. Feigl, R. Jarocki, J. Kostecki, R. Rakowski, P. Rudawski, M. Sawicka, M. Szczurek, A. Szczurek, and Z. Zawadzki, “A compact, quasimonochromatic laser-plasma EUV source based on a double stream gas puff target at 13.8nm wavelength,”Appl. Phys. B (to be published).

Fiedorowicz, H.

H. Fiedorowicz, A. Bartnik, R. Jarocki, J. Kostecki, J. Krzywinski, J. Mikołajczyk, R. Rakowski, A. Szczurek, and M. Szczurek, J. Alloys Compd. 401, 99 (2005).
[CrossRef]

P. W. Wachulak, A. Bartnik, H. Fiedorowicz, T. Feigl, R. Jarocki, J. Kostecki, R. Rakowski, P. Rudawski, M. Sawicka, M. Szczurek, A. Szczurek, and Z. Zawadzki, “A compact, quasimonochromatic laser-plasma EUV source based on a double stream gas puff target at 13.8nm wavelength,”Appl. Phys. B (to be published).

Freiberger, R.

L. Juschkin, R. Freiberger, and K. Bergman, J. Phys.: Conf. Ser. 186, 012030 (2009).
[CrossRef]

Goldberg, K. A.

Grisham, M.

Hamamoto, K.

H. Kinoshita, K. Hamamoto, M. Hosoya, and T. Watanabe, Jpn. J. Appl. Phys. 466113 (2007).
[CrossRef]

Hasegawa, N.

M. Kishimoto, M. Tanaka, R. Tai, K. Sukegawa, M. Kado, N. Hasegawa, H. Tang, T. Kawachi, P. Lu, K. Nagashima, H. Daido, Y. Kato, K. Nagai, and H. Takenaka, J. Phys. IV 104, 141 (2003).

Heinzmann, U.

M. Wieland, C. Spielmann, U. Kleineberg, T. Westerwalbesloh, U. Heinzmann, and T. Wilhein, Ultramicroscopy 102, 93(2005).
[CrossRef]

Hosoya, M.

H. Kinoshita, K. Hamamoto, M. Hosoya, and T. Watanabe, Jpn. J. Appl. Phys. 466113 (2007).
[CrossRef]

Huh, S.

K. A. Goldberg, I. Mochi, P. Naulleau, T. Liang, P.-Y. Yan, and S. Huh, J. Vac. Sci. Technol. B 27, 2916 (2009).
[CrossRef]

Jarocki, R.

H. Fiedorowicz, A. Bartnik, R. Jarocki, J. Kostecki, J. Krzywinski, J. Mikołajczyk, R. Rakowski, A. Szczurek, and M. Szczurek, J. Alloys Compd. 401, 99 (2005).
[CrossRef]

P. W. Wachulak, A. Bartnik, H. Fiedorowicz, T. Feigl, R. Jarocki, J. Kostecki, R. Rakowski, P. Rudawski, M. Sawicka, M. Szczurek, A. Szczurek, and Z. Zawadzki, “A compact, quasimonochromatic laser-plasma EUV source based on a double stream gas puff target at 13.8nm wavelength,”Appl. Phys. B (to be published).

Juschkin, L.

L. Juschkin, R. Freiberger, and K. Bergman, J. Phys.: Conf. Ser. 186, 012030 (2009).
[CrossRef]

Kado, M.

M. Kishimoto, M. Tanaka, R. Tai, K. Sukegawa, M. Kado, N. Hasegawa, H. Tang, T. Kawachi, P. Lu, K. Nagashima, H. Daido, Y. Kato, K. Nagai, and H. Takenaka, J. Phys. IV 104, 141 (2003).

Kato, Y.

M. Kishimoto, M. Tanaka, R. Tai, K. Sukegawa, M. Kado, N. Hasegawa, H. Tang, T. Kawachi, P. Lu, K. Nagashima, H. Daido, Y. Kato, K. Nagai, and H. Takenaka, J. Phys. IV 104, 141 (2003).

Kawachi, T.

M. Kishimoto, M. Tanaka, R. Tai, K. Sukegawa, M. Kado, N. Hasegawa, H. Tang, T. Kawachi, P. Lu, K. Nagashima, H. Daido, Y. Kato, K. Nagai, and H. Takenaka, J. Phys. IV 104, 141 (2003).

Kinoshita, H.

H. Kinoshita, K. Hamamoto, M. Hosoya, and T. Watanabe, Jpn. J. Appl. Phys. 466113 (2007).
[CrossRef]

Kishimoto, M.

M. Kishimoto, M. Tanaka, R. Tai, K. Sukegawa, M. Kado, N. Hasegawa, H. Tang, T. Kawachi, P. Lu, K. Nagashima, H. Daido, Y. Kato, K. Nagai, and H. Takenaka, J. Phys. IV 104, 141 (2003).

Kleineberg, U.

M. Wieland, C. Spielmann, U. Kleineberg, T. Westerwalbesloh, U. Heinzmann, and T. Wilhein, Ultramicroscopy 102, 93(2005).
[CrossRef]

Kondratenko, V. V.

Kostecki, J.

H. Fiedorowicz, A. Bartnik, R. Jarocki, J. Kostecki, J. Krzywinski, J. Mikołajczyk, R. Rakowski, A. Szczurek, and M. Szczurek, J. Alloys Compd. 401, 99 (2005).
[CrossRef]

P. W. Wachulak, A. Bartnik, H. Fiedorowicz, T. Feigl, R. Jarocki, J. Kostecki, R. Rakowski, P. Rudawski, M. Sawicka, M. Szczurek, A. Szczurek, and Z. Zawadzki, “A compact, quasimonochromatic laser-plasma EUV source based on a double stream gas puff target at 13.8nm wavelength,”Appl. Phys. B (to be published).

Krzywinski, J.

H. Fiedorowicz, A. Bartnik, R. Jarocki, J. Kostecki, J. Krzywinski, J. Mikołajczyk, R. Rakowski, A. Szczurek, and M. Szczurek, J. Alloys Compd. 401, 99 (2005).
[CrossRef]

Larotonda, M. A.

Liang, T.

K. A. Goldberg, I. Mochi, P. Naulleau, T. Liang, P.-Y. Yan, and S. Huh, J. Vac. Sci. Technol. B 27, 2916 (2009).
[CrossRef]

Liddle, J. A.

Liu, Y.

Lu, P.

M. Kishimoto, M. Tanaka, R. Tai, K. Sukegawa, M. Kado, N. Hasegawa, H. Tang, T. Kawachi, P. Lu, K. Nagashima, H. Daido, Y. Kato, K. Nagai, and H. Takenaka, J. Phys. IV 104, 141 (2003).

Luther, B. M.

Mancini, H.

Marconi, M. C.

Menoni, C. S.

Mikolajczyk, J.

H. Fiedorowicz, A. Bartnik, R. Jarocki, J. Kostecki, J. Krzywinski, J. Mikołajczyk, R. Rakowski, A. Szczurek, and M. Szczurek, J. Alloys Compd. 401, 99 (2005).
[CrossRef]

Mochi, I.

K. A. Goldberg, I. Mochi, P. Naulleau, T. Liang, P.-Y. Yan, and S. Huh, J. Vac. Sci. Technol. B 27, 2916 (2009).
[CrossRef]

Nagai, K.

M. Kishimoto, M. Tanaka, R. Tai, K. Sukegawa, M. Kado, N. Hasegawa, H. Tang, T. Kawachi, P. Lu, K. Nagashima, H. Daido, Y. Kato, K. Nagai, and H. Takenaka, J. Phys. IV 104, 141 (2003).

Nagashima, K.

M. Kishimoto, M. Tanaka, R. Tai, K. Sukegawa, M. Kado, N. Hasegawa, H. Tang, T. Kawachi, P. Lu, K. Nagashima, H. Daido, Y. Kato, K. Nagai, and H. Takenaka, J. Phys. IV 104, 141 (2003).

Naulleau, P.

Pedaci, F.

Pershyn, Y. P.

Rakowski, R.

H. Fiedorowicz, A. Bartnik, R. Jarocki, J. Kostecki, J. Krzywinski, J. Mikołajczyk, R. Rakowski, A. Szczurek, and M. Szczurek, J. Alloys Compd. 401, 99 (2005).
[CrossRef]

P. W. Wachulak, A. Bartnik, H. Fiedorowicz, T. Feigl, R. Jarocki, J. Kostecki, R. Rakowski, P. Rudawski, M. Sawicka, M. Szczurek, A. Szczurek, and Z. Zawadzki, “A compact, quasimonochromatic laser-plasma EUV source based on a double stream gas puff target at 13.8nm wavelength,”Appl. Phys. B (to be published).

Rocca, J. J.

Rudawski, P.

P. W. Wachulak, A. Bartnik, H. Fiedorowicz, T. Feigl, R. Jarocki, J. Kostecki, R. Rakowski, P. Rudawski, M. Sawicka, M. Szczurek, A. Szczurek, and Z. Zawadzki, “A compact, quasimonochromatic laser-plasma EUV source based on a double stream gas puff target at 13.8nm wavelength,”Appl. Phys. B (to be published).

Sawicka, M.

P. W. Wachulak, A. Bartnik, H. Fiedorowicz, T. Feigl, R. Jarocki, J. Kostecki, R. Rakowski, P. Rudawski, M. Sawicka, M. Szczurek, A. Szczurek, and Z. Zawadzki, “A compact, quasimonochromatic laser-plasma EUV source based on a double stream gas puff target at 13.8nm wavelength,”Appl. Phys. B (to be published).

Spielmann, C.

M. Wieland, C. Spielmann, U. Kleineberg, T. Westerwalbesloh, U. Heinzmann, and T. Wilhein, Ultramicroscopy 102, 93(2005).
[CrossRef]

Sukegawa, K.

M. Kishimoto, M. Tanaka, R. Tai, K. Sukegawa, M. Kado, N. Hasegawa, H. Tang, T. Kawachi, P. Lu, K. Nagashima, H. Daido, Y. Kato, K. Nagai, and H. Takenaka, J. Phys. IV 104, 141 (2003).

Szczurek, A.

H. Fiedorowicz, A. Bartnik, R. Jarocki, J. Kostecki, J. Krzywinski, J. Mikołajczyk, R. Rakowski, A. Szczurek, and M. Szczurek, J. Alloys Compd. 401, 99 (2005).
[CrossRef]

P. W. Wachulak, A. Bartnik, H. Fiedorowicz, T. Feigl, R. Jarocki, J. Kostecki, R. Rakowski, P. Rudawski, M. Sawicka, M. Szczurek, A. Szczurek, and Z. Zawadzki, “A compact, quasimonochromatic laser-plasma EUV source based on a double stream gas puff target at 13.8nm wavelength,”Appl. Phys. B (to be published).

Szczurek, M.

H. Fiedorowicz, A. Bartnik, R. Jarocki, J. Kostecki, J. Krzywinski, J. Mikołajczyk, R. Rakowski, A. Szczurek, and M. Szczurek, J. Alloys Compd. 401, 99 (2005).
[CrossRef]

P. W. Wachulak, A. Bartnik, H. Fiedorowicz, T. Feigl, R. Jarocki, J. Kostecki, R. Rakowski, P. Rudawski, M. Sawicka, M. Szczurek, A. Szczurek, and Z. Zawadzki, “A compact, quasimonochromatic laser-plasma EUV source based on a double stream gas puff target at 13.8nm wavelength,”Appl. Phys. B (to be published).

Tai, R.

M. Kishimoto, M. Tanaka, R. Tai, K. Sukegawa, M. Kado, N. Hasegawa, H. Tang, T. Kawachi, P. Lu, K. Nagashima, H. Daido, Y. Kato, K. Nagai, and H. Takenaka, J. Phys. IV 104, 141 (2003).

Takenaka, H.

M. Kishimoto, M. Tanaka, R. Tai, K. Sukegawa, M. Kado, N. Hasegawa, H. Tang, T. Kawachi, P. Lu, K. Nagashima, H. Daido, Y. Kato, K. Nagai, and H. Takenaka, J. Phys. IV 104, 141 (2003).

Tanaka, M.

M. Kishimoto, M. Tanaka, R. Tai, K. Sukegawa, M. Kado, N. Hasegawa, H. Tang, T. Kawachi, P. Lu, K. Nagashima, H. Daido, Y. Kato, K. Nagai, and H. Takenaka, J. Phys. IV 104, 141 (2003).

Tang, H.

M. Kishimoto, M. Tanaka, R. Tai, K. Sukegawa, M. Kado, N. Hasegawa, H. Tang, T. Kawachi, P. Lu, K. Nagashima, H. Daido, Y. Kato, K. Nagai, and H. Takenaka, J. Phys. IV 104, 141 (2003).

Vaschenko, G.

Vinogradov, A. V.

Wachulak, P.

Wachulak, P. W.

P. W. Wachulak, A. Bartnik, H. Fiedorowicz, T. Feigl, R. Jarocki, J. Kostecki, R. Rakowski, P. Rudawski, M. Sawicka, M. Szczurek, A. Szczurek, and Z. Zawadzki, “A compact, quasimonochromatic laser-plasma EUV source based on a double stream gas puff target at 13.8nm wavelength,”Appl. Phys. B (to be published).

Wang, Y.

Watanabe, T.

H. Kinoshita, K. Hamamoto, M. Hosoya, and T. Watanabe, Jpn. J. Appl. Phys. 466113 (2007).
[CrossRef]

Westerwalbesloh, T.

M. Wieland, C. Spielmann, U. Kleineberg, T. Westerwalbesloh, U. Heinzmann, and T. Wilhein, Ultramicroscopy 102, 93(2005).
[CrossRef]

Wieland, M.

M. Wieland, C. Spielmann, U. Kleineberg, T. Westerwalbesloh, U. Heinzmann, and T. Wilhein, Ultramicroscopy 102, 93(2005).
[CrossRef]

Wilhein, T.

M. Wieland, C. Spielmann, U. Kleineberg, T. Westerwalbesloh, U. Heinzmann, and T. Wilhein, Ultramicroscopy 102, 93(2005).
[CrossRef]

Yan, P.-Y.

K. A. Goldberg, I. Mochi, P. Naulleau, T. Liang, P.-Y. Yan, and S. Huh, J. Vac. Sci. Technol. B 27, 2916 (2009).
[CrossRef]

Zawadzki, Z.

P. W. Wachulak, A. Bartnik, H. Fiedorowicz, T. Feigl, R. Jarocki, J. Kostecki, R. Rakowski, P. Rudawski, M. Sawicka, M. Szczurek, A. Szczurek, and Z. Zawadzki, “A compact, quasimonochromatic laser-plasma EUV source based on a double stream gas puff target at 13.8nm wavelength,”Appl. Phys. B (to be published).

Appl. Phys. B (1)

P. W. Wachulak, A. Bartnik, H. Fiedorowicz, T. Feigl, R. Jarocki, J. Kostecki, R. Rakowski, P. Rudawski, M. Sawicka, M. Szczurek, A. Szczurek, and Z. Zawadzki, “A compact, quasimonochromatic laser-plasma EUV source based on a double stream gas puff target at 13.8nm wavelength,”Appl. Phys. B (to be published).

J. Alloys Compd. (1)

H. Fiedorowicz, A. Bartnik, R. Jarocki, J. Kostecki, J. Krzywinski, J. Mikołajczyk, R. Rakowski, A. Szczurek, and M. Szczurek, J. Alloys Compd. 401, 99 (2005).
[CrossRef]

J. Phys. IV (1)

M. Kishimoto, M. Tanaka, R. Tai, K. Sukegawa, M. Kado, N. Hasegawa, H. Tang, T. Kawachi, P. Lu, K. Nagashima, H. Daido, Y. Kato, K. Nagai, and H. Takenaka, J. Phys. IV 104, 141 (2003).

J. Phys.: Conf. Ser. (1)

L. Juschkin, R. Freiberger, and K. Bergman, J. Phys.: Conf. Ser. 186, 012030 (2009).
[CrossRef]

J. Vac. Sci. Technol. B (1)

K. A. Goldberg, I. Mochi, P. Naulleau, T. Liang, P.-Y. Yan, and S. Huh, J. Vac. Sci. Technol. B 27, 2916 (2009).
[CrossRef]

Jpn. J. Appl. Phys. (1)

H. Kinoshita, K. Hamamoto, M. Hosoya, and T. Watanabe, Jpn. J. Appl. Phys. 466113 (2007).
[CrossRef]

Opt. Lett. (3)

Ultramicroscopy (1)

M. Wieland, C. Spielmann, U. Kleineberg, T. Westerwalbesloh, U. Heinzmann, and T. Wilhein, Ultramicroscopy 102, 93(2005).
[CrossRef]

Other (2)

V. Bakshi, in Semiconductor International (March 2009).

D. Attwood, Soft X-Ray and Extreme Ultraviolet Radiation (Cambridge U. Press, 1999).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (2)

Fig. 1
Fig. 1

(a) SEM image of the copper mesh with 12.5 μm period and 5 μm width bar. (b) EUV microscope image of the mesh indicating region of interest for subsequent resolution evaluation. (c) Magnified portion of image (b) showing the edge of the Cu mesh bar. (d) Slightly defocused, by 10 μm , EUV microscope image of the same object.

Fig. 2
Fig. 2

Knife-edge resolution for the EUV image shown in Fig. 1c. The estimated 10% to 90% intensity transition across the sharp edge is equal to 138.5 nm (5 pixels).

Metrics