Abstract

We have demonstrated repetitive operation of a table-top λ=13.9nm Ni-like Ag soft-x-ray laser that generates laser pulses with 10μJ energy. The soft-x-ray laser is enabled by a Ti:sapphire laser pumped by high-repetition-rate frequency-doubled high-energy Nd:glass slab amplifiers. Soft-x-ray laser operation at 2.5Hz repetition rate resulted in 20microwatt average power.

© 2010 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. J. Dunn, Y. Li, A. L. Osterheld, J. Nilsen, J. R. Hunter, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 84, 4834 (2000).
    [CrossRef] [PubMed]
  2. T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
    [CrossRef]
  3. J. J. Rocca, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. Berrill, and D. Alessi, Opt. Lett. 30, 2581 (2005).
    [CrossRef] [PubMed]
  4. Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, D. Alessi, M. Berrill, V. N. Shlyaptsev, and J. J. Rocca, Phys. Rev. A 72, 053807 (2005).
    [CrossRef]
  5. H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
    [CrossRef]
  6. G. Vaschenko, C. Brewer, F. Brizuela, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. C. Marconi, J. J. Rocca, C. S. Menoni, E. H. Anderson, W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, Y. Liu, and D. T. Attwood, Opt. Lett. 31, 1214 (2006).
    [CrossRef] [PubMed]
  7. F. Brizuela, Y. Wang, C. A. Brewer, F. Pedaci, W. Chao, E. H. Anderson, Y. Liu, K. A. Goldberg, P. Naulleau, P. Wachulak, M. C. Marconi, D. T. Attwood, J. J. Rocca, and C. S. Menoni, Opt. Lett. 34, 271 (2009).
    [CrossRef] [PubMed]
  8. W. S. Martin and J. P. Chernoch, U.S. Patent 3,633,126 (January 4, 1972).
  9. J. Eggleston, T. Kane, K. Kuhn, J. Unternahrer, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 20, 289 (1984).
    [CrossRef]
  10. T. Kane, J. Eggleston, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 21, 1195 (1985).
    [CrossRef]
  11. C. B. Dane, L. E. Zapata, W. A. Neuman, M. A. Norton, and L. A. Hackel, IEEE J. Quantum Electron. 31, 148 (1995).
    [CrossRef]
  12. M. J. Shoup, J. H. Kelly, and D. L. Smith, Appl. Opt. 36, 5827 (1997).
    [CrossRef] [PubMed]
  13. Y. Ochi, N. Hasegawa, T. Kawachi, and K. Nagashima, Appl. Opt. 46, 1500 (2007).
    [CrossRef] [PubMed]
  14. Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
    [CrossRef]
  15. D. H. Martz, H. T. Nguyen, D. Patel, J. A. Britten, D. Alessi, E. Krous, Y. Wang, M. A. Larotonda, J. George, B. Knollenberg, B. M. Luther, J. J. Rocca, and C. S. Menoni, Opt. Express 17, 23809 (2009).
    [CrossRef]
  16. R. Keenan, J. Dunn, P. K. Patel, D. F. Price, R. F. Smith, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 94, 103901 (2005).
    [CrossRef] [PubMed]
  17. B. M. Luther, Y. Wang, M. A. Larotonda, D. Alessi, M. Berrill, M. C. Marconi, J. J. Rocca, and V. N. Shlyaptsev, Opt. Lett. 30, 165 (2005).
    [CrossRef] [PubMed]
  18. Y. Liu, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, J. J. Rocca, and D. T. Attwood, Opt. Express 14, 12872 (2006).
    [CrossRef] [PubMed]
  19. Y. Wang, E. Granados, F. Pedaci, D. Alessi, B. Luther, M. Berrill, and J. J. Rocca, Nat. Photonics 2, 94 (2008).
    [CrossRef]
  20. M. A. Larotonda, Y. Wang, M. Berrill, B. M. Luther, J. J. Rocca, M. M. Shakya, S. Gilbertson, and Z. Chang, Opt. Lett. 31, 3043 (2006).
    [CrossRef] [PubMed]
  21. C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

2009

2008

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Y. Wang, E. Granados, F. Pedaci, D. Alessi, B. Luther, M. Berrill, and J. J. Rocca, Nat. Photonics 2, 94 (2008).
[CrossRef]

2007

2006

2005

B. M. Luther, Y. Wang, M. A. Larotonda, D. Alessi, M. Berrill, M. C. Marconi, J. J. Rocca, and V. N. Shlyaptsev, Opt. Lett. 30, 165 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

J. J. Rocca, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. Berrill, and D. Alessi, Opt. Lett. 30, 2581 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, D. Alessi, M. Berrill, V. N. Shlyaptsev, and J. J. Rocca, Phys. Rev. A 72, 053807 (2005).
[CrossRef]

R. Keenan, J. Dunn, P. K. Patel, D. F. Price, R. F. Smith, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 94, 103901 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

2002

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

2000

J. Dunn, Y. Li, A. L. Osterheld, J. Nilsen, J. R. Hunter, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 84, 4834 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

1997

1995

C. B. Dane, L. E. Zapata, W. A. Neuman, M. A. Norton, and L. A. Hackel, IEEE J. Quantum Electron. 31, 148 (1995).
[CrossRef]

1985

T. Kane, J. Eggleston, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 21, 1195 (1985).
[CrossRef]

1984

J. Eggleston, T. Kane, K. Kuhn, J. Unternahrer, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 20, 289 (1984).
[CrossRef]

Alessi, D.

D. H. Martz, H. T. Nguyen, D. Patel, J. A. Britten, D. Alessi, E. Krous, Y. Wang, M. A. Larotonda, J. George, B. Knollenberg, B. M. Luther, J. J. Rocca, and C. S. Menoni, Opt. Express 17, 23809 (2009).
[CrossRef]

Y. Wang, E. Granados, F. Pedaci, D. Alessi, B. Luther, M. Berrill, and J. J. Rocca, Nat. Photonics 2, 94 (2008).
[CrossRef]

Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, D. Alessi, M. Berrill, V. N. Shlyaptsev, and J. J. Rocca, Phys. Rev. A 72, 053807 (2005).
[CrossRef]

B. M. Luther, Y. Wang, M. A. Larotonda, D. Alessi, M. Berrill, M. C. Marconi, J. J. Rocca, and V. N. Shlyaptsev, Opt. Lett. 30, 165 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

J. J. Rocca, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. Berrill, and D. Alessi, Opt. Lett. 30, 2581 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Anderson, E.

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Anderson, E. H.

Attwood, D.

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Attwood, D. T.

Berrill, M.

Brewer, C.

Brewer, C. A.

Britten, J. A.

Brizuela, F.

Byer, R.

T. Kane, J. Eggleston, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 21, 1195 (1985).
[CrossRef]

J. Eggleston, T. Kane, K. Kuhn, J. Unternahrer, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 20, 289 (1984).
[CrossRef]

Carbajo, S.

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Chang, Z.

Chao, W.

Chernoch, J. P.

W. S. Martin and J. P. Chernoch, U.S. Patent 3,633,126 (January 4, 1972).

Choi, I. W.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Daido, H.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Dane, C. B.

C. B. Dane, L. E. Zapata, W. A. Neuman, M. A. Norton, and L. A. Hackel, IEEE J. Quantum Electron. 31, 148 (1995).
[CrossRef]

Dunn, J.

R. Keenan, J. Dunn, P. K. Patel, D. F. Price, R. F. Smith, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 94, 103901 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

J. Dunn, Y. Li, A. L. Osterheld, J. Nilsen, J. R. Hunter, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 84, 4834 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Eggleston, J.

T. Kane, J. Eggleston, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 21, 1195 (1985).
[CrossRef]

J. Eggleston, T. Kane, K. Kuhn, J. Unternahrer, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 20, 289 (1984).
[CrossRef]

George, J.

Gilbertson, S.

Goldberg, K.

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Goldberg, K. A.

Granados, E.

Y. Wang, E. Granados, F. Pedaci, D. Alessi, B. Luther, M. Berrill, and J. J. Rocca, Nat. Photonics 2, 94 (2008).
[CrossRef]

Hackel, L. A.

C. B. Dane, L. E. Zapata, W. A. Neuman, M. A. Norton, and L. A. Hackel, IEEE J. Quantum Electron. 31, 148 (1995).
[CrossRef]

Hafz, N.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Harteneck, B. D.

Hasegawa, N.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

Y. Ochi, N. Hasegawa, T. Kawachi, and K. Nagashima, Appl. Opt. 46, 1500 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Hong, K. H.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Hunter, J. R.

J. Dunn, Y. Li, A. L. Osterheld, J. Nilsen, J. R. Hunter, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 84, 4834 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Janulewicz, K. A.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Jeong, T. M.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Kado, M.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Kaihori, T.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

Kane, T.

T. Kane, J. Eggleston, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 21, 1195 (1985).
[CrossRef]

J. Eggleston, T. Kane, K. Kuhn, J. Unternahrer, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 20, 289 (1984).
[CrossRef]

Kato, Y.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Kawachi, T.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

Y. Ochi, N. Hasegawa, T. Kawachi, and K. Nagashima, Appl. Opt. 46, 1500 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Keenan, R.

R. Keenan, J. Dunn, P. K. Patel, D. F. Price, R. F. Smith, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 94, 103901 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Kelly, J. H.

Kilpio, A. V.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Kim, H. T.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Kishimoto, M.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Knollenberg, B.

Ko, D. K.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Koike, M.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Krous, E.

Kuhn, K.

J. Eggleston, T. Kane, K. Kuhn, J. Unternahrer, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 20, 289 (1984).
[CrossRef]

Larotonda, M. A.

Lee, J.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Li, Y.

J. Dunn, Y. Li, A. L. Osterheld, J. Nilsen, J. R. Hunter, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 84, 4834 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Liddle, J. A.

Liu, Y.

Lu, P.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Luther, B.

Y. Wang, E. Granados, F. Pedaci, D. Alessi, B. Luther, M. Berrill, and J. J. Rocca, Nat. Photonics 2, 94 (2008).
[CrossRef]

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Luther, B. M.

Marconi, M.

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Marconi, M. C.

Martin, W. S.

W. S. Martin and J. P. Chernoch, U.S. Patent 3,633,126 (January 4, 1972).

Martz, D. H.

Menoni, C.

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Menoni, C. S.

Nagashima, K.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

Y. Ochi, N. Hasegawa, T. Kawachi, and K. Nagashima, Appl. Opt. 46, 1500 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Namba, S.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Naulleau, P.

Neuman, W. A.

C. B. Dane, L. E. Zapata, W. A. Neuman, M. A. Norton, and L. A. Hackel, IEEE J. Quantum Electron. 31, 148 (1995).
[CrossRef]

Nguyen, H. T.

Nickles, P. V.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Nilsen, J.

J. Dunn, Y. Li, A. L. Osterheld, J. Nilsen, J. R. Hunter, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 84, 4834 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Nishikino, M.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

Noh, Y. C.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Norton, M. A.

C. B. Dane, L. E. Zapata, W. A. Neuman, M. A. Norton, and L. A. Hackel, IEEE J. Quantum Electron. 31, 148 (1995).
[CrossRef]

Ochi, Y.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

Y. Ochi, N. Hasegawa, T. Kawachi, and K. Nagashima, Appl. Opt. 46, 1500 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Ohba, T.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

Osterheld, A. L.

J. Dunn, Y. Li, A. L. Osterheld, J. Nilsen, J. R. Hunter, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 84, 4834 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Patel, D.

Patel, P. K.

R. Keenan, J. Dunn, P. K. Patel, D. F. Price, R. F. Smith, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 94, 103901 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Pedaci, F.

Price, D. F.

R. Keenan, J. Dunn, P. K. Patel, D. F. Price, R. F. Smith, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 94, 103901 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Rocca, J.

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Rocca, J. J.

D. H. Martz, H. T. Nguyen, D. Patel, J. A. Britten, D. Alessi, E. Krous, Y. Wang, M. A. Larotonda, J. George, B. Knollenberg, B. M. Luther, J. J. Rocca, and C. S. Menoni, Opt. Express 17, 23809 (2009).
[CrossRef]

F. Brizuela, Y. Wang, C. A. Brewer, F. Pedaci, W. Chao, E. H. Anderson, Y. Liu, K. A. Goldberg, P. Naulleau, P. Wachulak, M. C. Marconi, D. T. Attwood, J. J. Rocca, and C. S. Menoni, Opt. Lett. 34, 271 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Wang, E. Granados, F. Pedaci, D. Alessi, B. Luther, M. Berrill, and J. J. Rocca, Nat. Photonics 2, 94 (2008).
[CrossRef]

Y. Liu, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, J. J. Rocca, and D. T. Attwood, Opt. Express 14, 12872 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

G. Vaschenko, C. Brewer, F. Brizuela, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. C. Marconi, J. J. Rocca, C. S. Menoni, E. H. Anderson, W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, Y. Liu, and D. T. Attwood, Opt. Lett. 31, 1214 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

M. A. Larotonda, Y. Wang, M. Berrill, B. M. Luther, J. J. Rocca, M. M. Shakya, S. Gilbertson, and Z. Chang, Opt. Lett. 31, 3043 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

B. M. Luther, Y. Wang, M. A. Larotonda, D. Alessi, M. Berrill, M. C. Marconi, J. J. Rocca, and V. N. Shlyaptsev, Opt. Lett. 30, 165 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

J. J. Rocca, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. Berrill, and D. Alessi, Opt. Lett. 30, 2581 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, D. Alessi, M. Berrill, V. N. Shlyaptsev, and J. J. Rocca, Phys. Rev. A 72, 053807 (2005).
[CrossRef]

Sakdinawat, A.

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Sandner, W.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Sasaki, A.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Shakya, M. M.

Shlyaptsev, V. N.

B. M. Luther, Y. Wang, M. A. Larotonda, D. Alessi, M. Berrill, M. C. Marconi, J. J. Rocca, and V. N. Shlyaptsev, Opt. Lett. 30, 165 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

R. Keenan, J. Dunn, P. K. Patel, D. F. Price, R. F. Smith, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 94, 103901 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, D. Alessi, M. Berrill, V. N. Shlyaptsev, and J. J. Rocca, Phys. Rev. A 72, 053807 (2005).
[CrossRef]

J. Dunn, Y. Li, A. L. Osterheld, J. Nilsen, J. R. Hunter, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 84, 4834 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Shoup, M. J.

Smith, D. L.

Smith, R. F.

R. Keenan, J. Dunn, P. K. Patel, D. F. Price, R. F. Smith, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 94, 103901 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Sugiyama, A.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

Sung, J. H.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Tai, R.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Takahashi, K.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Tanaka, M.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Tang, H.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Tümmler, J.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Unternahrer, J.

J. Eggleston, T. Kane, K. Kuhn, J. Unternahrer, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 20, 289 (1984).
[CrossRef]

Vaschenko, G.

Wachulak, P.

Wang, Y.

F. Brizuela, Y. Wang, C. A. Brewer, F. Pedaci, W. Chao, E. H. Anderson, Y. Liu, K. A. Goldberg, P. Naulleau, P. Wachulak, M. C. Marconi, D. T. Attwood, J. J. Rocca, and C. S. Menoni, Opt. Lett. 34, 271 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

D. H. Martz, H. T. Nguyen, D. Patel, J. A. Britten, D. Alessi, E. Krous, Y. Wang, M. A. Larotonda, J. George, B. Knollenberg, B. M. Luther, J. J. Rocca, and C. S. Menoni, Opt. Express 17, 23809 (2009).
[CrossRef]

Y. Wang, E. Granados, F. Pedaci, D. Alessi, B. Luther, M. Berrill, and J. J. Rocca, Nat. Photonics 2, 94 (2008).
[CrossRef]

Y. Liu, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, J. J. Rocca, and D. T. Attwood, Opt. Express 14, 12872 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

G. Vaschenko, C. Brewer, F. Brizuela, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. C. Marconi, J. J. Rocca, C. S. Menoni, E. H. Anderson, W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, Y. Liu, and D. T. Attwood, Opt. Lett. 31, 1214 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

M. A. Larotonda, Y. Wang, M. Berrill, B. M. Luther, J. J. Rocca, M. M. Shakya, S. Gilbertson, and Z. Chang, Opt. Lett. 31, 3043 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

B. M. Luther, Y. Wang, M. A. Larotonda, D. Alessi, M. Berrill, M. C. Marconi, J. J. Rocca, and V. N. Shlyaptsev, Opt. Lett. 30, 165 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

J. J. Rocca, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. Berrill, and D. Alessi, Opt. Lett. 30, 2581 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, D. Alessi, M. Berrill, V. N. Shlyaptsev, and J. J. Rocca, Phys. Rev. A 72, 053807 (2005).
[CrossRef]

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Yu, T. J.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Zapata, L. E.

C. B. Dane, L. E. Zapata, W. A. Neuman, M. A. Norton, and L. A. Hackel, IEEE J. Quantum Electron. 31, 148 (1995).
[CrossRef]

Appl. Opt.

IEEE J. Quantum Electron.

J. Eggleston, T. Kane, K. Kuhn, J. Unternahrer, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 20, 289 (1984).
[CrossRef]

T. Kane, J. Eggleston, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 21, 1195 (1985).
[CrossRef]

C. B. Dane, L. E. Zapata, W. A. Neuman, M. A. Norton, and L. A. Hackel, IEEE J. Quantum Electron. 31, 148 (1995).
[CrossRef]

Jpn. J. Appl. Phys. Part 1

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

Nat. Photonics

Y. Wang, E. Granados, F. Pedaci, D. Alessi, B. Luther, M. Berrill, and J. J. Rocca, Nat. Photonics 2, 94 (2008).
[CrossRef]

Opt. Express

Opt. Lett.

Phys. Rev. A

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, D. Alessi, M. Berrill, V. N. Shlyaptsev, and J. J. Rocca, Phys. Rev. A 72, 053807 (2005).
[CrossRef]

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Phys. Rev. Lett.

R. Keenan, J. Dunn, P. K. Patel, D. F. Price, R. F. Smith, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 94, 103901 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

J. Dunn, Y. Li, A. L. Osterheld, J. Nilsen, J. R. Hunter, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 84, 4834 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Other

W. S. Martin and J. P. Chernoch, U.S. Patent 3,633,126 (January 4, 1972).

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1

Top, block diagram of the third amplification stage of the Ti:sapphire pump laser system and associated slab amplifier laser system. Bottom, schematic diagram of the eight-pass Nd:glass slab amplifier.

Fig. 2
Fig. 2

(a) Shot-to-shot variation of amplified λ = 800 nm Ti:sapphire laser pulse energy measured at a 1 Hz repetition rate. The average laser pulse energy is 7.4 J , and the standard deviation σ = 1 % . (b) Typical intensity profile of the amplified λ = 800 nm beam.

Fig. 3
Fig. 3

(a) Spectra of the Ni-like Ag plasma amplifier, showing highly monochromatic laser emission at λ = 13.9 nm . (b) Spectrally resolved CCD image of the laser output. (c) Laser output pulse energy of the λ = 13.9 nm laser operating at 0.5 Hz and (d) 2.5 Hz SXR laser operation with an average energy of 7.4 μ J with a shot-to-shot laser pulse energy variation of σ = 7 % .

Metrics