Abstract

We have demonstrated repetitive operation of a table-top λ=13.9nm Ni-like Ag soft-x-ray laser that generates laser pulses with 10μJ energy. The soft-x-ray laser is enabled by a Ti:sapphire laser pumped by high-repetition-rate frequency-doubled high-energy Nd:glass slab amplifiers. Soft-x-ray laser operation at 2.5Hz repetition rate resulted in 20microwatt average power.

© 2010 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. J. Dunn, Y. Li, A. L. Osterheld, J. Nilsen, J. R. Hunter, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 84, 4834 (2000).
    [CrossRef] [PubMed]
  2. T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
    [CrossRef]
  3. J. J. Rocca, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. Berrill, and D. Alessi, Opt. Lett. 30, 2581 (2005).
    [CrossRef] [PubMed]
  4. Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, D. Alessi, M. Berrill, V. N. Shlyaptsev, and J. J. Rocca, Phys. Rev. A 72, 053807 (2005).
    [CrossRef]
  5. H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
    [CrossRef]
  6. G. Vaschenko, C. Brewer, F. Brizuela, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. C. Marconi, J. J. Rocca, C. S. Menoni, E. H. Anderson, W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, Y. Liu, and D. T. Attwood, Opt. Lett. 31, 1214 (2006).
    [CrossRef] [PubMed]
  7. F. Brizuela, Y. Wang, C. A. Brewer, F. Pedaci, W. Chao, E. H. Anderson, Y. Liu, K. A. Goldberg, P. Naulleau, P. Wachulak, M. C. Marconi, D. T. Attwood, J. J. Rocca, and C. S. Menoni, Opt. Lett. 34, 271 (2009).
    [CrossRef] [PubMed]
  8. W. S. Martin and J. P. Chernoch, U.S. Patent 3,633,126 (January 4, 1972).
  9. J. Eggleston, T. Kane, K. Kuhn, J. Unternahrer, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 20, 289 (1984).
    [CrossRef]
  10. T. Kane, J. Eggleston, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 21, 1195 (1985).
    [CrossRef]
  11. C. B. Dane, L. E. Zapata, W. A. Neuman, M. A. Norton, and L. A. Hackel, IEEE J. Quantum Electron. 31, 148 (1995).
    [CrossRef]
  12. M. J. Shoup, J. H. Kelly, and D. L. Smith, Appl. Opt. 36, 5827 (1997).
    [CrossRef] [PubMed]
  13. Y. Ochi, N. Hasegawa, T. Kawachi, and K. Nagashima, Appl. Opt. 46, 1500 (2007).
    [CrossRef] [PubMed]
  14. Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
    [CrossRef]
  15. D. H. Martz, H. T. Nguyen, D. Patel, J. A. Britten, D. Alessi, E. Krous, Y. Wang, M. A. Larotonda, J. George, B. Knollenberg, B. M. Luther, J. J. Rocca, and C. S. Menoni, Opt. Express 17, 23809 (2009).
    [CrossRef]
  16. R. Keenan, J. Dunn, P. K. Patel, D. F. Price, R. F. Smith, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 94, 103901 (2005).
    [CrossRef] [PubMed]
  17. B. M. Luther, Y. Wang, M. A. Larotonda, D. Alessi, M. Berrill, M. C. Marconi, J. J. Rocca, and V. N. Shlyaptsev, Opt. Lett. 30, 165 (2005).
    [CrossRef] [PubMed]
  18. Y. Liu, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, J. J. Rocca, and D. T. Attwood, Opt. Express 14, 12872 (2006).
    [CrossRef] [PubMed]
  19. Y. Wang, E. Granados, F. Pedaci, D. Alessi, B. Luther, M. Berrill, and J. J. Rocca, Nat. Photonics 2, 94 (2008).
    [CrossRef]
  20. M. A. Larotonda, Y. Wang, M. Berrill, B. M. Luther, J. J. Rocca, M. M. Shakya, S. Gilbertson, and Z. Chang, Opt. Lett. 31, 3043 (2006).
    [CrossRef] [PubMed]
  21. C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

2009 (3)

2008 (2)

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Y. Wang, E. Granados, F. Pedaci, D. Alessi, B. Luther, M. Berrill, and J. J. Rocca, Nat. Photonics 2, 94 (2008).
[CrossRef]

2007 (1)

2006 (3)

2005 (4)

B. M. Luther, Y. Wang, M. A. Larotonda, D. Alessi, M. Berrill, M. C. Marconi, J. J. Rocca, and V. N. Shlyaptsev, Opt. Lett. 30, 165 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

J. J. Rocca, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. Berrill, and D. Alessi, Opt. Lett. 30, 2581 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, D. Alessi, M. Berrill, V. N. Shlyaptsev, and J. J. Rocca, Phys. Rev. A 72, 053807 (2005).
[CrossRef]

R. Keenan, J. Dunn, P. K. Patel, D. F. Price, R. F. Smith, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 94, 103901 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

2002 (1)

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

2000 (1)

J. Dunn, Y. Li, A. L. Osterheld, J. Nilsen, J. R. Hunter, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 84, 4834 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

1997 (1)

1995 (1)

C. B. Dane, L. E. Zapata, W. A. Neuman, M. A. Norton, and L. A. Hackel, IEEE J. Quantum Electron. 31, 148 (1995).
[CrossRef]

1985 (1)

T. Kane, J. Eggleston, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 21, 1195 (1985).
[CrossRef]

1984 (1)

J. Eggleston, T. Kane, K. Kuhn, J. Unternahrer, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 20, 289 (1984).
[CrossRef]

Alessi, D.

D. H. Martz, H. T. Nguyen, D. Patel, J. A. Britten, D. Alessi, E. Krous, Y. Wang, M. A. Larotonda, J. George, B. Knollenberg, B. M. Luther, J. J. Rocca, and C. S. Menoni, Opt. Express 17, 23809 (2009).
[CrossRef]

Y. Wang, E. Granados, F. Pedaci, D. Alessi, B. Luther, M. Berrill, and J. J. Rocca, Nat. Photonics 2, 94 (2008).
[CrossRef]

B. M. Luther, Y. Wang, M. A. Larotonda, D. Alessi, M. Berrill, M. C. Marconi, J. J. Rocca, and V. N. Shlyaptsev, Opt. Lett. 30, 165 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

J. J. Rocca, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. Berrill, and D. Alessi, Opt. Lett. 30, 2581 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, D. Alessi, M. Berrill, V. N. Shlyaptsev, and J. J. Rocca, Phys. Rev. A 72, 053807 (2005).
[CrossRef]

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Anderson, E.

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Anderson, E. H.

Attwood, D.

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Attwood, D. T.

Berrill, M.

Brewer, C.

Brewer, C. A.

Britten, J. A.

Brizuela, F.

Byer, R.

T. Kane, J. Eggleston, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 21, 1195 (1985).
[CrossRef]

J. Eggleston, T. Kane, K. Kuhn, J. Unternahrer, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 20, 289 (1984).
[CrossRef]

Carbajo, S.

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Chang, Z.

Chao, W.

Chernoch, J. P.

W. S. Martin and J. P. Chernoch, U.S. Patent 3,633,126 (January 4, 1972).

Choi, I. W.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Daido, H.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Dane, C. B.

C. B. Dane, L. E. Zapata, W. A. Neuman, M. A. Norton, and L. A. Hackel, IEEE J. Quantum Electron. 31, 148 (1995).
[CrossRef]

Dunn, J.

R. Keenan, J. Dunn, P. K. Patel, D. F. Price, R. F. Smith, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 94, 103901 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

J. Dunn, Y. Li, A. L. Osterheld, J. Nilsen, J. R. Hunter, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 84, 4834 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Eggleston, J.

T. Kane, J. Eggleston, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 21, 1195 (1985).
[CrossRef]

J. Eggleston, T. Kane, K. Kuhn, J. Unternahrer, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 20, 289 (1984).
[CrossRef]

George, J.

Gilbertson, S.

Goldberg, K.

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Goldberg, K. A.

Granados, E.

Y. Wang, E. Granados, F. Pedaci, D. Alessi, B. Luther, M. Berrill, and J. J. Rocca, Nat. Photonics 2, 94 (2008).
[CrossRef]

Hackel, L. A.

C. B. Dane, L. E. Zapata, W. A. Neuman, M. A. Norton, and L. A. Hackel, IEEE J. Quantum Electron. 31, 148 (1995).
[CrossRef]

Hafz, N.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Harteneck, B. D.

Hasegawa, N.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

Y. Ochi, N. Hasegawa, T. Kawachi, and K. Nagashima, Appl. Opt. 46, 1500 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Hong, K. H.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Hunter, J. R.

J. Dunn, Y. Li, A. L. Osterheld, J. Nilsen, J. R. Hunter, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 84, 4834 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Janulewicz, K. A.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Jeong, T. M.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Kado, M.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Kaihori, T.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

Kane, T.

T. Kane, J. Eggleston, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 21, 1195 (1985).
[CrossRef]

J. Eggleston, T. Kane, K. Kuhn, J. Unternahrer, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 20, 289 (1984).
[CrossRef]

Kato, Y.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Kawachi, T.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

Y. Ochi, N. Hasegawa, T. Kawachi, and K. Nagashima, Appl. Opt. 46, 1500 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Keenan, R.

R. Keenan, J. Dunn, P. K. Patel, D. F. Price, R. F. Smith, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 94, 103901 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Kelly, J. H.

Kilpio, A. V.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Kim, H. T.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Kishimoto, M.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Knollenberg, B.

Ko, D. K.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Koike, M.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Krous, E.

Kuhn, K.

J. Eggleston, T. Kane, K. Kuhn, J. Unternahrer, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 20, 289 (1984).
[CrossRef]

Larotonda, M. A.

Lee, J.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Li, Y.

J. Dunn, Y. Li, A. L. Osterheld, J. Nilsen, J. R. Hunter, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 84, 4834 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Liddle, J. A.

Liu, Y.

Lu, P.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Luther, B.

Y. Wang, E. Granados, F. Pedaci, D. Alessi, B. Luther, M. Berrill, and J. J. Rocca, Nat. Photonics 2, 94 (2008).
[CrossRef]

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Luther, B. M.

Marconi, M.

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Marconi, M. C.

Martin, W. S.

W. S. Martin and J. P. Chernoch, U.S. Patent 3,633,126 (January 4, 1972).

Martz, D. H.

Menoni, C.

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Menoni, C. S.

Nagashima, K.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

Y. Ochi, N. Hasegawa, T. Kawachi, and K. Nagashima, Appl. Opt. 46, 1500 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Namba, S.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Naulleau, P.

Neuman, W. A.

C. B. Dane, L. E. Zapata, W. A. Neuman, M. A. Norton, and L. A. Hackel, IEEE J. Quantum Electron. 31, 148 (1995).
[CrossRef]

Nguyen, H. T.

Nickles, P. V.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Nilsen, J.

J. Dunn, Y. Li, A. L. Osterheld, J. Nilsen, J. R. Hunter, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 84, 4834 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Nishikino, M.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

Noh, Y. C.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Norton, M. A.

C. B. Dane, L. E. Zapata, W. A. Neuman, M. A. Norton, and L. A. Hackel, IEEE J. Quantum Electron. 31, 148 (1995).
[CrossRef]

Ochi, Y.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

Y. Ochi, N. Hasegawa, T. Kawachi, and K. Nagashima, Appl. Opt. 46, 1500 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Ohba, T.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

Osterheld, A. L.

J. Dunn, Y. Li, A. L. Osterheld, J. Nilsen, J. R. Hunter, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 84, 4834 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Patel, D.

Patel, P. K.

R. Keenan, J. Dunn, P. K. Patel, D. F. Price, R. F. Smith, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 94, 103901 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Pedaci, F.

Price, D. F.

R. Keenan, J. Dunn, P. K. Patel, D. F. Price, R. F. Smith, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 94, 103901 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Rocca, J.

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Rocca, J. J.

D. H. Martz, H. T. Nguyen, D. Patel, J. A. Britten, D. Alessi, E. Krous, Y. Wang, M. A. Larotonda, J. George, B. Knollenberg, B. M. Luther, J. J. Rocca, and C. S. Menoni, Opt. Express 17, 23809 (2009).
[CrossRef]

F. Brizuela, Y. Wang, C. A. Brewer, F. Pedaci, W. Chao, E. H. Anderson, Y. Liu, K. A. Goldberg, P. Naulleau, P. Wachulak, M. C. Marconi, D. T. Attwood, J. J. Rocca, and C. S. Menoni, Opt. Lett. 34, 271 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Wang, E. Granados, F. Pedaci, D. Alessi, B. Luther, M. Berrill, and J. J. Rocca, Nat. Photonics 2, 94 (2008).
[CrossRef]

M. A. Larotonda, Y. Wang, M. Berrill, B. M. Luther, J. J. Rocca, M. M. Shakya, S. Gilbertson, and Z. Chang, Opt. Lett. 31, 3043 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Liu, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, J. J. Rocca, and D. T. Attwood, Opt. Express 14, 12872 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

G. Vaschenko, C. Brewer, F. Brizuela, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. C. Marconi, J. J. Rocca, C. S. Menoni, E. H. Anderson, W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, Y. Liu, and D. T. Attwood, Opt. Lett. 31, 1214 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, D. Alessi, M. Berrill, V. N. Shlyaptsev, and J. J. Rocca, Phys. Rev. A 72, 053807 (2005).
[CrossRef]

J. J. Rocca, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. Berrill, and D. Alessi, Opt. Lett. 30, 2581 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

B. M. Luther, Y. Wang, M. A. Larotonda, D. Alessi, M. Berrill, M. C. Marconi, J. J. Rocca, and V. N. Shlyaptsev, Opt. Lett. 30, 165 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Sakdinawat, A.

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Sandner, W.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Sasaki, A.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Shakya, M. M.

Shlyaptsev, V. N.

Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, D. Alessi, M. Berrill, V. N. Shlyaptsev, and J. J. Rocca, Phys. Rev. A 72, 053807 (2005).
[CrossRef]

B. M. Luther, Y. Wang, M. A. Larotonda, D. Alessi, M. Berrill, M. C. Marconi, J. J. Rocca, and V. N. Shlyaptsev, Opt. Lett. 30, 165 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

R. Keenan, J. Dunn, P. K. Patel, D. F. Price, R. F. Smith, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 94, 103901 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

J. Dunn, Y. Li, A. L. Osterheld, J. Nilsen, J. R. Hunter, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 84, 4834 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Shoup, M. J.

Smith, D. L.

Smith, R. F.

R. Keenan, J. Dunn, P. K. Patel, D. F. Price, R. F. Smith, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 94, 103901 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Sugiyama, A.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

Sung, J. H.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Tai, R.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Takahashi, K.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Tanaka, M.

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Tang, H.

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Tümmler, J.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Unternahrer, J.

J. Eggleston, T. Kane, K. Kuhn, J. Unternahrer, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 20, 289 (1984).
[CrossRef]

Vaschenko, G.

Wachulak, P.

Wang, Y.

F. Brizuela, Y. Wang, C. A. Brewer, F. Pedaci, W. Chao, E. H. Anderson, Y. Liu, K. A. Goldberg, P. Naulleau, P. Wachulak, M. C. Marconi, D. T. Attwood, J. J. Rocca, and C. S. Menoni, Opt. Lett. 34, 271 (2009).
[CrossRef] [PubMed]

D. H. Martz, H. T. Nguyen, D. Patel, J. A. Britten, D. Alessi, E. Krous, Y. Wang, M. A. Larotonda, J. George, B. Knollenberg, B. M. Luther, J. J. Rocca, and C. S. Menoni, Opt. Express 17, 23809 (2009).
[CrossRef]

Y. Wang, E. Granados, F. Pedaci, D. Alessi, B. Luther, M. Berrill, and J. J. Rocca, Nat. Photonics 2, 94 (2008).
[CrossRef]

Y. Liu, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, J. J. Rocca, and D. T. Attwood, Opt. Express 14, 12872 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

G. Vaschenko, C. Brewer, F. Brizuela, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. C. Marconi, J. J. Rocca, C. S. Menoni, E. H. Anderson, W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, Y. Liu, and D. T. Attwood, Opt. Lett. 31, 1214 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

M. A. Larotonda, Y. Wang, M. Berrill, B. M. Luther, J. J. Rocca, M. M. Shakya, S. Gilbertson, and Z. Chang, Opt. Lett. 31, 3043 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

J. J. Rocca, Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, M. Berrill, and D. Alessi, Opt. Lett. 30, 2581 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, D. Alessi, M. Berrill, V. N. Shlyaptsev, and J. J. Rocca, Phys. Rev. A 72, 053807 (2005).
[CrossRef]

B. M. Luther, Y. Wang, M. A. Larotonda, D. Alessi, M. Berrill, M. C. Marconi, J. J. Rocca, and V. N. Shlyaptsev, Opt. Lett. 30, 165 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Yu, T. J.

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Zapata, L. E.

C. B. Dane, L. E. Zapata, W. A. Neuman, M. A. Norton, and L. A. Hackel, IEEE J. Quantum Electron. 31, 148 (1995).
[CrossRef]

Appl. Opt. (2)

IEEE J. Quantum Electron. (3)

J. Eggleston, T. Kane, K. Kuhn, J. Unternahrer, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 20, 289 (1984).
[CrossRef]

T. Kane, J. Eggleston, and R. Byer, IEEE J. Quantum Electron. 21, 1195 (1985).
[CrossRef]

C. B. Dane, L. E. Zapata, W. A. Neuman, M. A. Norton, and L. A. Hackel, IEEE J. Quantum Electron. 31, 148 (1995).
[CrossRef]

Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 (1)

Y. Ochi, T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, T. Ohba, M. Tanaka, M. Kishimoto, T. Kaihori, K. Nagashima, and A. Sugiyama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 48, 120212 (2009).
[CrossRef]

Nat. Photonics (1)

Y. Wang, E. Granados, F. Pedaci, D. Alessi, B. Luther, M. Berrill, and J. J. Rocca, Nat. Photonics 2, 94 (2008).
[CrossRef]

Opt. Express (2)

Opt. Lett. (5)

Phys. Rev. A (3)

T. Kawachi, M. Kado, M. Tanaka, A. Sasaki, N. Hasegawa, A. V. Kilpio, S. Namba, K. Nagashima, P. Lu, K. Takahashi, H. Tang, R. Tai, M. Kishimoto, M. Koike, H. Daido, and Y. Kato, Phys. Rev. A 66, 033815 (2002).
[CrossRef]

Y. Wang, M. A. Larotonda, B. M. Luther, D. Alessi, M. Berrill, V. N. Shlyaptsev, and J. J. Rocca, Phys. Rev. A 72, 053807 (2005).
[CrossRef]

H. T. Kim, I. W. Choi, N. Hafz, J. H. Sung, T. J. Yu, K. H. Hong, T. M. Jeong, Y. C. Noh, D. K. Ko, K. A. Janulewicz, J. Tümmler, P. V. Nickles, W. Sandner, and J. Lee, Phys. Rev. A 77, 023807 (2008).
[CrossRef]

Phys. Rev. Lett. (2)

R. Keenan, J. Dunn, P. K. Patel, D. F. Price, R. F. Smith, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 94, 103901 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

J. Dunn, Y. Li, A. L. Osterheld, J. Nilsen, J. R. Hunter, and V. N. Shlyaptsev, Phys. Rev. Lett. 84, 4834 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Other (2)

W. S. Martin and J. P. Chernoch, U.S. Patent 3,633,126 (January 4, 1972).

C. Menoni, F. Brizuela, Y. Wang, D. Alessi, S. Carbajo, B. Luther, A. Sakdinawat, W. Chao, Y. Liu, E. Anderson, K. Goldberg, D. Attwood, M. Marconi, and J. Rocca, presented by International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography, Prague, Czech Republic, 2009.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1

Top, block diagram of the third amplification stage of the Ti:sapphire pump laser system and associated slab amplifier laser system. Bottom, schematic diagram of the eight-pass Nd:glass slab amplifier.

Fig. 2
Fig. 2

(a) Shot-to-shot variation of amplified λ = 800 nm Ti:sapphire laser pulse energy measured at a 1 Hz repetition rate. The average laser pulse energy is 7.4 J , and the standard deviation σ = 1 % . (b) Typical intensity profile of the amplified λ = 800 nm beam.

Fig. 3
Fig. 3

(a) Spectra of the Ni-like Ag plasma amplifier, showing highly monochromatic laser emission at λ = 13.9 nm . (b) Spectrally resolved CCD image of the laser output. (c) Laser output pulse energy of the λ = 13.9 nm laser operating at 0.5 Hz and (d) 2.5 Hz SXR laser operation with an average energy of 7.4 μ J with a shot-to-shot laser pulse energy variation of σ = 7 % .

Metrics