Abstract

We reported three types of complex micro/nanostructures on 6H-SiC crystal induced by the interferences of three femtosecond laser beams by arranging three types of laser polarization combinations. The micro/nanostructures are composed of two parts: two-dimensional long-periodic micropatterns determined by the interferential intensity pattern and short-periodic nanopatterns determined by the interferential polarization pattern. Theoretical calculation indicates that the different polarization combinations will lead to a distinct complex interferential polarization pattern and intensity pattern, and they accord well with the experimental results.

© 2009 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. T. Kondo, S. Matsuo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 82, 2758 (2003).
  2. T. Kondo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, Opt. Express 14, 7943 (2006).
    [PubMed]
  3. K. S. Tiaw, M. H. Hong, and S. H. Teoh, J. Alloys Compd. 449, 228 (2008).
  4. Q. Xie, M. H. Hong, H. L. Tan, G. X. Chen, L. P. Shi, and T. C. Chong, J. Alloys Compd. 449, 261 (2008).
  5. M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, and A. J. Turberfield, Nature 404, 53 (2000).
    [PubMed]
  6. J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).
  7. N. D. Lai, W. P. Liang, J. H. Lin, C. C. Hsu, and C. H. Lin, Opt. Express 13, 9605 (2005).
    [PubMed]
  8. G. Q. Liang, W. D. Mao, Y. Y. Pu, H. Zou, and H. Z. Wang, Appl. Phys. Lett. 89, 041902 (2006).
  9. Z. H. Nie and E. Kumacheva, Nature Mater. 7, 277 (2008).
  10. M. Birnbaum, J. Appl. Phys. 36, 3688 (1965).
  11. J. F. Young, J. S. Preston, H. M. Driel, and J. E. Sipe, Phys. Rev. B 27, 1155 (1983).
  12. M. Y. Shen, C. H. Crouch, J. E. Carey, and E. Mazur, Appl. Phys. Lett. 85, 5694 (2004).
  13. J. Bonse, M. Munz, and H. Sturm, J. Appl. Phys. 97, 013538 (2005).
  14. A. Borowiec and H. K. Haugen, Appl. Phys. Lett. 82, 4462 (2003).
  15. V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
    [PubMed]
  16. Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. R. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).
    [PubMed]
  17. F. Costache, M. Henyk, and J. Reif, Appl. Surf. Sci. 186, 352 (2002).
  18. Y. Y. Dong and P. Molian, Appl. Phys. Lett. 84, 10 (2004).
  19. M. Shen, J. E. Carey, C. H. Crouch, M. Kandyla, H. A. Stone, and E. Mazur, Nano Lett. 8, 2087 (2008).
    [PubMed]
  20. S. Juodkazis, K. Nishimura, and H. Misawa, Appl. Surf. Sci. 253, 6539 (2007).
  21. T. Q. Jia, M. Baba, M. Suzuki, R. A. Ganeev, H. Kuroda, J. R. Qiu, X. S. Wang, R. X. Li, and Z. Z. Xu, Opt. Express 16, 1874 (2008).
    [PubMed]
  22. C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).
  23. Q. Z. Zhao, F. Ciobanu, S. Malzer, and L. J. Wang, Appl. Phys. Lett. 91, 121107 (2007).
  24. K. S. Tiaw, S. W. Goh, M. Hong, Z. Wang, B. Lan, and S. H. Teoh, Biomaterials 26, 763 (2005).

2008 (5)

K. S. Tiaw, M. H. Hong, and S. H. Teoh, J. Alloys Compd. 449, 228 (2008).

Q. Xie, M. H. Hong, H. L. Tan, G. X. Chen, L. P. Shi, and T. C. Chong, J. Alloys Compd. 449, 261 (2008).

Z. H. Nie and E. Kumacheva, Nature Mater. 7, 277 (2008).

M. Shen, J. E. Carey, C. H. Crouch, M. Kandyla, H. A. Stone, and E. Mazur, Nano Lett. 8, 2087 (2008).
[PubMed]

T. Q. Jia, M. Baba, M. Suzuki, R. A. Ganeev, H. Kuroda, J. R. Qiu, X. S. Wang, R. X. Li, and Z. Z. Xu, Opt. Express 16, 1874 (2008).
[PubMed]

2007 (3)

S. Juodkazis, K. Nishimura, and H. Misawa, Appl. Surf. Sci. 253, 6539 (2007).

Q. Z. Zhao, F. Ciobanu, S. Malzer, and L. J. Wang, Appl. Phys. Lett. 91, 121107 (2007).

J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).

2006 (3)

T. Kondo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, Opt. Express 14, 7943 (2006).
[PubMed]

G. Q. Liang, W. D. Mao, Y. Y. Pu, H. Zou, and H. Z. Wang, Appl. Phys. Lett. 89, 041902 (2006).

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
[PubMed]

2005 (3)

J. Bonse, M. Munz, and H. Sturm, J. Appl. Phys. 97, 013538 (2005).

N. D. Lai, W. P. Liang, J. H. Lin, C. C. Hsu, and C. H. Lin, Opt. Express 13, 9605 (2005).
[PubMed]

K. S. Tiaw, S. W. Goh, M. Hong, Z. Wang, B. Lan, and S. H. Teoh, Biomaterials 26, 763 (2005).

2004 (2)

M. Y. Shen, C. H. Crouch, J. E. Carey, and E. Mazur, Appl. Phys. Lett. 85, 5694 (2004).

Y. Y. Dong and P. Molian, Appl. Phys. Lett. 84, 10 (2004).

2003 (3)

Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. R. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).
[PubMed]

A. Borowiec and H. K. Haugen, Appl. Phys. Lett. 82, 4462 (2003).

T. Kondo, S. Matsuo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 82, 2758 (2003).

2002 (1)

F. Costache, M. Henyk, and J. Reif, Appl. Surf. Sci. 186, 352 (2002).

2001 (1)

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

2000 (1)

M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, and A. J. Turberfield, Nature 404, 53 (2000).
[PubMed]

1983 (1)

J. F. Young, J. S. Preston, H. M. Driel, and J. E. Sipe, Phys. Rev. B 27, 1155 (1983).

1965 (1)

M. Birnbaum, J. Appl. Phys. 36, 3688 (1965).

Baba, M.

Bhardwaj, V. R.

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
[PubMed]

Birnbaum, M.

M. Birnbaum, J. Appl. Phys. 36, 3688 (1965).

Bonse, J.

J. Bonse, M. Munz, and H. Sturm, J. Appl. Phys. 97, 013538 (2005).

Borowiec, A.

A. Borowiec and H. K. Haugen, Appl. Phys. Lett. 82, 4462 (2003).

Campbell, M.

M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, and A. J. Turberfield, Nature 404, 53 (2000).
[PubMed]

Carey, J. E.

M. Shen, J. E. Carey, C. H. Crouch, M. Kandyla, H. A. Stone, and E. Mazur, Nano Lett. 8, 2087 (2008).
[PubMed]

M. Y. Shen, C. H. Crouch, J. E. Carey, and E. Mazur, Appl. Phys. Lett. 85, 5694 (2004).

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Chen, G. X.

Q. Xie, M. H. Hong, H. L. Tan, G. X. Chen, L. P. Shi, and T. C. Chong, J. Alloys Compd. 449, 261 (2008).

Chong, T. C.

Q. Xie, M. H. Hong, H. L. Tan, G. X. Chen, L. P. Shi, and T. C. Chong, J. Alloys Compd. 449, 261 (2008).

Ciobanu, F.

Q. Z. Zhao, F. Ciobanu, S. Malzer, and L. J. Wang, Appl. Phys. Lett. 91, 121107 (2007).

Corkum, P. B.

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
[PubMed]

Costache, F.

F. Costache, M. Henyk, and J. Reif, Appl. Surf. Sci. 186, 352 (2002).

Crouch, C. H.

M. Shen, J. E. Carey, C. H. Crouch, M. Kandyla, H. A. Stone, and E. Mazur, Nano Lett. 8, 2087 (2008).
[PubMed]

M. Y. Shen, C. H. Crouch, J. E. Carey, and E. Mazur, Appl. Phys. Lett. 85, 5694 (2004).

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Denning, R. G.

M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, and A. J. Turberfield, Nature 404, 53 (2000).
[PubMed]

Dong, Y. Y.

Y. Y. Dong and P. Molian, Appl. Phys. Lett. 84, 10 (2004).

Driel, H. M.

J. F. Young, J. S. Preston, H. M. Driel, and J. E. Sipe, Phys. Rev. B 27, 1155 (1983).

Farrell, R. M.

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Ganeev, R. A.

Goh, S. W.

K. S. Tiaw, S. W. Goh, M. Hong, Z. Wang, B. Lan, and S. H. Teoh, Biomaterials 26, 763 (2005).

Gorishnyy, T.

J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).

Gothoskar, P.

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Harrison, M. T.

M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, and A. J. Turberfield, Nature 404, 53 (2000).
[PubMed]

Haugen, H. K.

A. Borowiec and H. K. Haugen, Appl. Phys. Lett. 82, 4462 (2003).

Henyk, M.

F. Costache, M. Henyk, and J. Reif, Appl. Surf. Sci. 186, 352 (2002).

Hirao, K.

Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. R. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).
[PubMed]

Hnatovsky, C.

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
[PubMed]

Hong, M.

K. S. Tiaw, S. W. Goh, M. Hong, Z. Wang, B. Lan, and S. H. Teoh, Biomaterials 26, 763 (2005).

Hong, M. H.

Q. Xie, M. H. Hong, H. L. Tan, G. X. Chen, L. P. Shi, and T. C. Chong, J. Alloys Compd. 449, 261 (2008).

K. S. Tiaw, M. H. Hong, and S. H. Teoh, J. Alloys Compd. 449, 228 (2008).

Hsu, C. C.

Jang, J. H.

J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).

Jia, T. Q.

Juodkazis, S.

S. Juodkazis, K. Nishimura, and H. Misawa, Appl. Surf. Sci. 253, 6539 (2007).

T. Kondo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, Opt. Express 14, 7943 (2006).
[PubMed]

T. Kondo, S. Matsuo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 82, 2758 (2003).

Kandyla, M.

M. Shen, J. E. Carey, C. H. Crouch, M. Kandyla, H. A. Stone, and E. Mazur, Nano Lett. 8, 2087 (2008).
[PubMed]

Karger, A.

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Kazansky, P. G.

Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. R. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).
[PubMed]

Koh, C. Y.

J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).

Kondo, T.

T. Kondo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, Opt. Express 14, 7943 (2006).
[PubMed]

T. Kondo, S. Matsuo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 82, 2758 (2003).

Kooi, S.

J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).

Kumacheva, E.

Z. H. Nie and E. Kumacheva, Nature Mater. 7, 277 (2008).

Kuroda, H.

Lai, N. D.

Lan, B.

K. S. Tiaw, S. W. Goh, M. Hong, Z. Wang, B. Lan, and S. H. Teoh, Biomaterials 26, 763 (2005).

Levinson, J. A.

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Li, R. X.

Liang, G. Q.

G. Q. Liang, W. D. Mao, Y. Y. Pu, H. Zou, and H. Z. Wang, Appl. Phys. Lett. 89, 041902 (2006).

Liang, W. P.

Lin, C. H.

Lin, J. H.

Maldovan, M.

J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).

Malzer, S.

Q. Z. Zhao, F. Ciobanu, S. Malzer, and L. J. Wang, Appl. Phys. Lett. 91, 121107 (2007).

Mao, W. D.

G. Q. Liang, W. D. Mao, Y. Y. Pu, H. Zou, and H. Z. Wang, Appl. Phys. Lett. 89, 041902 (2006).

Matsuo, S.

T. Kondo, S. Matsuo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 82, 2758 (2003).

Mazur, E.

M. Shen, J. E. Carey, C. H. Crouch, M. Kandyla, H. A. Stone, and E. Mazur, Nano Lett. 8, 2087 (2008).
[PubMed]

M. Y. Shen, C. H. Crouch, J. E. Carey, and E. Mazur, Appl. Phys. Lett. 85, 5694 (2004).

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Misawa, H.

S. Juodkazis, K. Nishimura, and H. Misawa, Appl. Surf. Sci. 253, 6539 (2007).

T. Kondo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, Opt. Express 14, 7943 (2006).
[PubMed]

T. Kondo, S. Matsuo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 82, 2758 (2003).

Mizeikis, V.

T. Kondo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, Opt. Express 14, 7943 (2006).
[PubMed]

T. Kondo, S. Matsuo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 82, 2758 (2003).

Molian, P.

Y. Y. Dong and P. Molian, Appl. Phys. Lett. 84, 10 (2004).

Munz, M.

J. Bonse, M. Munz, and H. Sturm, J. Appl. Phys. 97, 013538 (2005).

Nie, Z. H.

Z. H. Nie and E. Kumacheva, Nature Mater. 7, 277 (2008).

Nishimura, K.

S. Juodkazis, K. Nishimura, and H. Misawa, Appl. Surf. Sci. 253, 6539 (2007).

Preston, J. S.

J. F. Young, J. S. Preston, H. M. Driel, and J. E. Sipe, Phys. Rev. B 27, 1155 (1983).

Pu, Y. Y.

G. Q. Liang, W. D. Mao, Y. Y. Pu, H. Zou, and H. Z. Wang, Appl. Phys. Lett. 89, 041902 (2006).

Qiu, J. R.

Rajeev, P. P.

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
[PubMed]

Rayner, D. M.

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
[PubMed]

Reif, J.

F. Costache, M. Henyk, and J. Reif, Appl. Surf. Sci. 186, 352 (2002).

Sharp, D. N.

M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, and A. J. Turberfield, Nature 404, 53 (2000).
[PubMed]

Shen, M.

M. Shen, J. E. Carey, C. H. Crouch, M. Kandyla, H. A. Stone, and E. Mazur, Nano Lett. 8, 2087 (2008).
[PubMed]

Shen, M. Y.

M. Y. Shen, C. H. Crouch, J. E. Carey, and E. Mazur, Appl. Phys. Lett. 85, 5694 (2004).

Shi, L. P.

Q. Xie, M. H. Hong, H. L. Tan, G. X. Chen, L. P. Shi, and T. C. Chong, J. Alloys Compd. 449, 261 (2008).

Shimotsuma, Y.

Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. R. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).
[PubMed]

Simova, E.

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
[PubMed]

Sipe, J. E.

J. F. Young, J. S. Preston, H. M. Driel, and J. E. Sipe, Phys. Rev. B 27, 1155 (1983).

Stone, H. A.

M. Shen, J. E. Carey, C. H. Crouch, M. Kandyla, H. A. Stone, and E. Mazur, Nano Lett. 8, 2087 (2008).
[PubMed]

Sturm, H.

J. Bonse, M. Munz, and H. Sturm, J. Appl. Phys. 97, 013538 (2005).

Suzuki, M.

Tan, H. L.

Q. Xie, M. H. Hong, H. L. Tan, G. X. Chen, L. P. Shi, and T. C. Chong, J. Alloys Compd. 449, 261 (2008).

Taylor, R. S.

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
[PubMed]

Teoh, S. H.

K. S. Tiaw, M. H. Hong, and S. H. Teoh, J. Alloys Compd. 449, 228 (2008).

K. S. Tiaw, S. W. Goh, M. Hong, Z. Wang, B. Lan, and S. H. Teoh, Biomaterials 26, 763 (2005).

Thomas, E. L.

J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).

Tiaw, K. S.

K. S. Tiaw, M. H. Hong, and S. H. Teoh, J. Alloys Compd. 449, 228 (2008).

K. S. Tiaw, S. W. Goh, M. Hong, Z. Wang, B. Lan, and S. H. Teoh, Biomaterials 26, 763 (2005).

Turberfield, A. J.

M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, and A. J. Turberfield, Nature 404, 53 (2000).
[PubMed]

Ullal, C. K.

J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).

Wang, H. Z.

G. Q. Liang, W. D. Mao, Y. Y. Pu, H. Zou, and H. Z. Wang, Appl. Phys. Lett. 89, 041902 (2006).

Wang, L. J.

Q. Z. Zhao, F. Ciobanu, S. Malzer, and L. J. Wang, Appl. Phys. Lett. 91, 121107 (2007).

Wang, X. S.

Wang, Z.

K. S. Tiaw, S. W. Goh, M. Hong, Z. Wang, B. Lan, and S. H. Teoh, Biomaterials 26, 763 (2005).

Wu, C.

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Xie, Q.

Q. Xie, M. H. Hong, H. L. Tan, G. X. Chen, L. P. Shi, and T. C. Chong, J. Alloys Compd. 449, 261 (2008).

Xu, Z. Z.

Young, J. F.

J. F. Young, J. S. Preston, H. M. Driel, and J. E. Sipe, Phys. Rev. B 27, 1155 (1983).

Younkin, R.

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Zhao, L.

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Zhao, Q. Z.

Q. Z. Zhao, F. Ciobanu, S. Malzer, and L. J. Wang, Appl. Phys. Lett. 91, 121107 (2007).

Zou, H.

G. Q. Liang, W. D. Mao, Y. Y. Pu, H. Zou, and H. Z. Wang, Appl. Phys. Lett. 89, 041902 (2006).

Adv. Funct. Mater. (1)

J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).

Appl. Phys. Lett. (7)

G. Q. Liang, W. D. Mao, Y. Y. Pu, H. Zou, and H. Z. Wang, Appl. Phys. Lett. 89, 041902 (2006).

T. Kondo, S. Matsuo, S. Juodkazis, V. Mizeikis, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 82, 2758 (2003).

M. Y. Shen, C. H. Crouch, J. E. Carey, and E. Mazur, Appl. Phys. Lett. 85, 5694 (2004).

A. Borowiec and H. K. Haugen, Appl. Phys. Lett. 82, 4462 (2003).

Y. Y. Dong and P. Molian, Appl. Phys. Lett. 84, 10 (2004).

C. Wu, C. H. Crouch, L. Zhao, J. E. Carey, R. Younkin, J. A. Levinson, E. Mazur, R. M. Farrell, P. Gothoskar, and A. Karger, Appl. Phys. Lett. 78, 1850 (2001).

Q. Z. Zhao, F. Ciobanu, S. Malzer, and L. J. Wang, Appl. Phys. Lett. 91, 121107 (2007).

Appl. Surf. Sci. (2)

S. Juodkazis, K. Nishimura, and H. Misawa, Appl. Surf. Sci. 253, 6539 (2007).

F. Costache, M. Henyk, and J. Reif, Appl. Surf. Sci. 186, 352 (2002).

Biomaterials (1)

K. S. Tiaw, S. W. Goh, M. Hong, Z. Wang, B. Lan, and S. H. Teoh, Biomaterials 26, 763 (2005).

J. Alloys Compd. (2)

K. S. Tiaw, M. H. Hong, and S. H. Teoh, J. Alloys Compd. 449, 228 (2008).

Q. Xie, M. H. Hong, H. L. Tan, G. X. Chen, L. P. Shi, and T. C. Chong, J. Alloys Compd. 449, 261 (2008).

J. Appl. Phys. (2)

J. Bonse, M. Munz, and H. Sturm, J. Appl. Phys. 97, 013538 (2005).

M. Birnbaum, J. Appl. Phys. 36, 3688 (1965).

Nano Lett. (1)

M. Shen, J. E. Carey, C. H. Crouch, M. Kandyla, H. A. Stone, and E. Mazur, Nano Lett. 8, 2087 (2008).
[PubMed]

Nature (1)

M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, and A. J. Turberfield, Nature 404, 53 (2000).
[PubMed]

Nature Mater. (1)

Z. H. Nie and E. Kumacheva, Nature Mater. 7, 277 (2008).

Opt. Express (3)

Phys. Rev. B (1)

J. F. Young, J. S. Preston, H. M. Driel, and J. E. Sipe, Phys. Rev. B 27, 1155 (1983).

Phys. Rev. Lett. (2)

V. R. Bhardwaj, E. Simova, P. P. Rajeev, C. Hnatovsky, R. S. Taylor, D. M. Rayner, and P. B. Corkum, Phys. Rev. Lett. 96, 057404 (2006).
[PubMed]

Y. Shimotsuma, P. G. Kazansky, J. R. Qiu, and K. Hirao, Phys. Rev. Lett. 91, 247405 (2003).
[PubMed]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1

Experimental setup for three-beam interference of 800 nm femtosecond laser pulses. HF, half-wave plate; GZ, Glan polarizer; BS, beam splitter; DL, delay line; L, lens.

Fig. 2
Fig. 2

SEM images of the ablation areas induced by three laser beams interference for three types of polarization combinations. The single laser beam parameters are (a) and (b) laser fluence F = 0.14 J cm 2 , repetition rate P = 1 kHz , irradiation time t = 0.03 s ; (c) and (d) F = 0.075 J cm 2 , P = 1 kHz , t = 0.4 s ; (e) and (f) F = 0.05 J cm 2 , P = 10 Hz , t = 4 s . The insets in (a), (c), and (e) show the polarization geometries of the three laser beams, respectively.

Fig. 3
Fig. 3

(a) SEM image of 7 μ m × 7 μ m ablation area; (b)–(d) theoretical results of the patterns of light intensity, polarization ellipticity, and polarization orientation, respectively.

Metrics