Abstract

We demonstrate inversion of three-dimensional photonic crystal templates fabricated in a large area with diffractive-optics lithography. A custom-designed two-dimensional diffractive optical element was used to generate highly uniform, bicontinuous, three-dimensional photonic crystal templates in a single-laser exposure. Chemical vapor deposition successfully infiltrated the thick periodic polymer structure to deposit amorphous silica and thereby define an all-silica inverted photonic crystal after polymer removal, as confirmed by focused ion-beam milling and energy-dispersive x-ray spectroscopy. The diffractive-optics lithography permitted a large number of uniform layers to form that manifested in the recording of a strong 28dB stopband in the telecom band.

© 2009 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. K. Busch, G. von Freymann, S. Linden, S. F. Mingaleev, L. Tkeshelashvili, and M. Wegener, Phys. Rep., Phys. Lett. 444, 101 (2007).
  2. S. Jeon, J. U. Park, R. Cirelli, S. Yang, C. E. Heitzman, P. V. Braun, P. J. A. Kenis, and J. A. Rogers, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 101, 12428 (2004).
    [CrossRef] [PubMed]
  3. Y. Lin, P. R. Herman, and K. Darmawikarta, Appl. Phys. Lett. 86, 071117/1 (2005).
  4. D. Chanda, L. Abolghasemi, and P. R. Herman, Opt. Express 14, 8568 (2006).
    [CrossRef] [PubMed]
  5. D. Chanda and P. R. Herman, Appl. Phys. Lett. 91, 061122 (2007).
    [CrossRef]
  6. I. Bita, T. Choi, M. E. Walsh, H. L. Smith, and E. L. Thomas, Adv. Mater. 19, 1403 (2007).
    [CrossRef]
  7. Z. Poole, D. Xu, K. P. Chen, I. Olvera, K. Ohlinger, and Y. K. Lin, Appl. Phys. Lett. 91, 3 (2007).
    [CrossRef]
  8. M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, and A. J. Turberfield, Nature 404, 53 (2000).
    [CrossRef] [PubMed]
  9. D. Chanda, L. Abolghasemi, M. Haque, M. L. Ng, and P. R. Herman, Opt. Express 16, 15402 (2008).
    [CrossRef] [PubMed]
  10. N. Tetreault, G. von Freymann, M. Deubel, M. Hermatschweiler, F. Perez-Willard, S. John, M. Wegener, and G. A. Ozin, Adv. Mater. 18, 457 (2006).
    [CrossRef]
  11. D. Shir, E. C. Nelson, Y. C. Chen, A. Brzezinski, H. Liao, P. V. Braun, P. Wiltzius, K. H. A. Bogart, and J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett. 94, 011101 (2009).
    [CrossRef]
  12. D. Chanda, L. E. Abolghasemi, and P. R. Herman, Appl. Phys. A 93, 33 (2008).
    [CrossRef]
  13. J. T. Winthrop and C. R. Worthington, J. Opt. Soc. Am. 55, 373 (1965).
    [CrossRef]
  14. D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
    [CrossRef]
  15. J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).
    [CrossRef]

2009 (1)

D. Shir, E. C. Nelson, Y. C. Chen, A. Brzezinski, H. Liao, P. V. Braun, P. Wiltzius, K. H. A. Bogart, and J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett. 94, 011101 (2009).
[CrossRef]

2008 (2)

2007 (5)

J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).
[CrossRef]

K. Busch, G. von Freymann, S. Linden, S. F. Mingaleev, L. Tkeshelashvili, and M. Wegener, Phys. Rep., Phys. Lett. 444, 101 (2007).

D. Chanda and P. R. Herman, Appl. Phys. Lett. 91, 061122 (2007).
[CrossRef]

I. Bita, T. Choi, M. E. Walsh, H. L. Smith, and E. L. Thomas, Adv. Mater. 19, 1403 (2007).
[CrossRef]

Z. Poole, D. Xu, K. P. Chen, I. Olvera, K. Ohlinger, and Y. K. Lin, Appl. Phys. Lett. 91, 3 (2007).
[CrossRef]

2006 (3)

D. Chanda, L. Abolghasemi, and P. R. Herman, Opt. Express 14, 8568 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

N. Tetreault, G. von Freymann, M. Deubel, M. Hermatschweiler, F. Perez-Willard, S. John, M. Wegener, and G. A. Ozin, Adv. Mater. 18, 457 (2006).
[CrossRef]

2005 (1)

Y. Lin, P. R. Herman, and K. Darmawikarta, Appl. Phys. Lett. 86, 071117/1 (2005).

2004 (1)

S. Jeon, J. U. Park, R. Cirelli, S. Yang, C. E. Heitzman, P. V. Braun, P. J. A. Kenis, and J. A. Rogers, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 101, 12428 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

2000 (1)

M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, and A. J. Turberfield, Nature 404, 53 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

1965 (1)

Abolghasemi, L.

Abolghasemi, L. E.

D. Chanda, L. E. Abolghasemi, and P. R. Herman, Appl. Phys. A 93, 33 (2008).
[CrossRef]

Bita, I.

I. Bita, T. Choi, M. E. Walsh, H. L. Smith, and E. L. Thomas, Adv. Mater. 19, 1403 (2007).
[CrossRef]

Bogart, K. H. A.

D. Shir, E. C. Nelson, Y. C. Chen, A. Brzezinski, H. Liao, P. V. Braun, P. Wiltzius, K. H. A. Bogart, and J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett. 94, 011101 (2009).
[CrossRef]

Braun, P. V.

D. Shir, E. C. Nelson, Y. C. Chen, A. Brzezinski, H. Liao, P. V. Braun, P. Wiltzius, K. H. A. Bogart, and J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett. 94, 011101 (2009).
[CrossRef]

S. Jeon, J. U. Park, R. Cirelli, S. Yang, C. E. Heitzman, P. V. Braun, P. J. A. Kenis, and J. A. Rogers, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 101, 12428 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

Brzezinski, A.

D. Shir, E. C. Nelson, Y. C. Chen, A. Brzezinski, H. Liao, P. V. Braun, P. Wiltzius, K. H. A. Bogart, and J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett. 94, 011101 (2009).
[CrossRef]

Busch, K.

K. Busch, G. von Freymann, S. Linden, S. F. Mingaleev, L. Tkeshelashvili, and M. Wegener, Phys. Rep., Phys. Lett. 444, 101 (2007).

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

Campbell, M.

M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, and A. J. Turberfield, Nature 404, 53 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Chanda, D.

Chen, K. P.

Z. Poole, D. Xu, K. P. Chen, I. Olvera, K. Ohlinger, and Y. K. Lin, Appl. Phys. Lett. 91, 3 (2007).
[CrossRef]

Chen, Y. C.

D. Shir, E. C. Nelson, Y. C. Chen, A. Brzezinski, H. Liao, P. V. Braun, P. Wiltzius, K. H. A. Bogart, and J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett. 94, 011101 (2009).
[CrossRef]

Choi, T.

I. Bita, T. Choi, M. E. Walsh, H. L. Smith, and E. L. Thomas, Adv. Mater. 19, 1403 (2007).
[CrossRef]

Cirelli, R.

S. Jeon, J. U. Park, R. Cirelli, S. Yang, C. E. Heitzman, P. V. Braun, P. J. A. Kenis, and J. A. Rogers, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 101, 12428 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

Darmawikarta, K.

Y. Lin, P. R. Herman, and K. Darmawikarta, Appl. Phys. Lett. 86, 071117/1 (2005).

Denning, R. G.

M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, and A. J. Turberfield, Nature 404, 53 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Deubel, M.

N. Tetreault, G. von Freymann, M. Deubel, M. Hermatschweiler, F. Perez-Willard, S. John, M. Wegener, and G. A. Ozin, Adv. Mater. 18, 457 (2006).
[CrossRef]

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

Diem, M.

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

Gerthsen, D.

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

Gorishnyy, T.

J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).
[CrossRef]

Haque, M.

Harrison, M. T.

M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, and A. J. Turberfield, Nature 404, 53 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Heitzman, C. E.

S. Jeon, J. U. Park, R. Cirelli, S. Yang, C. E. Heitzman, P. V. Braun, P. J. A. Kenis, and J. A. Rogers, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 101, 12428 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

Herman, P. R.

D. Chanda, L. Abolghasemi, M. Haque, M. L. Ng, and P. R. Herman, Opt. Express 16, 15402 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

D. Chanda, L. E. Abolghasemi, and P. R. Herman, Appl. Phys. A 93, 33 (2008).
[CrossRef]

D. Chanda and P. R. Herman, Appl. Phys. Lett. 91, 061122 (2007).
[CrossRef]

D. Chanda, L. Abolghasemi, and P. R. Herman, Opt. Express 14, 8568 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Lin, P. R. Herman, and K. Darmawikarta, Appl. Phys. Lett. 86, 071117/1 (2005).

Hermatschweiler, M.

N. Tetreault, G. von Freymann, M. Deubel, M. Hermatschweiler, F. Perez-Willard, S. John, M. Wegener, and G. A. Ozin, Adv. Mater. 18, 457 (2006).
[CrossRef]

Jang, J. H.

J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).
[CrossRef]

Jeon, S.

S. Jeon, J. U. Park, R. Cirelli, S. Yang, C. E. Heitzman, P. V. Braun, P. J. A. Kenis, and J. A. Rogers, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 101, 12428 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

John, S.

N. Tetreault, G. von Freymann, M. Deubel, M. Hermatschweiler, F. Perez-Willard, S. John, M. Wegener, and G. A. Ozin, Adv. Mater. 18, 457 (2006).
[CrossRef]

Kenis, P. J. A.

S. Jeon, J. U. Park, R. Cirelli, S. Yang, C. E. Heitzman, P. V. Braun, P. J. A. Kenis, and J. A. Rogers, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 101, 12428 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

Koh, C. Y.

J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).
[CrossRef]

Kooi, S.

J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).
[CrossRef]

Liao, H.

D. Shir, E. C. Nelson, Y. C. Chen, A. Brzezinski, H. Liao, P. V. Braun, P. Wiltzius, K. H. A. Bogart, and J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett. 94, 011101 (2009).
[CrossRef]

Lin, Y.

Y. Lin, P. R. Herman, and K. Darmawikarta, Appl. Phys. Lett. 86, 071117/1 (2005).

Lin, Y. K.

Z. Poole, D. Xu, K. P. Chen, I. Olvera, K. Ohlinger, and Y. K. Lin, Appl. Phys. Lett. 91, 3 (2007).
[CrossRef]

Linden, S.

K. Busch, G. von Freymann, S. Linden, S. F. Mingaleev, L. Tkeshelashvili, and M. Wegener, Phys. Rep., Phys. Lett. 444, 101 (2007).

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

Maldovan, M.

J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).
[CrossRef]

Meisel, D. C.

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

Mingaleev, S. F.

K. Busch, G. von Freymann, S. Linden, S. F. Mingaleev, L. Tkeshelashvili, and M. Wegener, Phys. Rep., Phys. Lett. 444, 101 (2007).

Nelson, E. C.

D. Shir, E. C. Nelson, Y. C. Chen, A. Brzezinski, H. Liao, P. V. Braun, P. Wiltzius, K. H. A. Bogart, and J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett. 94, 011101 (2009).
[CrossRef]

Ng, M. L.

Ohlinger, K.

Z. Poole, D. Xu, K. P. Chen, I. Olvera, K. Ohlinger, and Y. K. Lin, Appl. Phys. Lett. 91, 3 (2007).
[CrossRef]

Olvera, I.

Z. Poole, D. Xu, K. P. Chen, I. Olvera, K. Ohlinger, and Y. K. Lin, Appl. Phys. Lett. 91, 3 (2007).
[CrossRef]

Ozin, G. A.

N. Tetreault, G. von Freymann, M. Deubel, M. Hermatschweiler, F. Perez-Willard, S. John, M. Wegener, and G. A. Ozin, Adv. Mater. 18, 457 (2006).
[CrossRef]

Park, J. U.

S. Jeon, J. U. Park, R. Cirelli, S. Yang, C. E. Heitzman, P. V. Braun, P. J. A. Kenis, and J. A. Rogers, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 101, 12428 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

Perez-Willard, F.

N. Tetreault, G. von Freymann, M. Deubel, M. Hermatschweiler, F. Perez-Willard, S. John, M. Wegener, and G. A. Ozin, Adv. Mater. 18, 457 (2006).
[CrossRef]

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

Poole, Z.

Z. Poole, D. Xu, K. P. Chen, I. Olvera, K. Ohlinger, and Y. K. Lin, Appl. Phys. Lett. 91, 3 (2007).
[CrossRef]

Rogers, J. A.

D. Shir, E. C. Nelson, Y. C. Chen, A. Brzezinski, H. Liao, P. V. Braun, P. Wiltzius, K. H. A. Bogart, and J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett. 94, 011101 (2009).
[CrossRef]

S. Jeon, J. U. Park, R. Cirelli, S. Yang, C. E. Heitzman, P. V. Braun, P. J. A. Kenis, and J. A. Rogers, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 101, 12428 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

Sharp, D. N.

M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, and A. J. Turberfield, Nature 404, 53 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Shir, D.

D. Shir, E. C. Nelson, Y. C. Chen, A. Brzezinski, H. Liao, P. V. Braun, P. Wiltzius, K. H. A. Bogart, and J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett. 94, 011101 (2009).
[CrossRef]

Smith, H. L.

I. Bita, T. Choi, M. E. Walsh, H. L. Smith, and E. L. Thomas, Adv. Mater. 19, 1403 (2007).
[CrossRef]

Tetreault, N.

N. Tetreault, G. von Freymann, M. Deubel, M. Hermatschweiler, F. Perez-Willard, S. John, M. Wegener, and G. A. Ozin, Adv. Mater. 18, 457 (2006).
[CrossRef]

Thomas, E. L.

I. Bita, T. Choi, M. E. Walsh, H. L. Smith, and E. L. Thomas, Adv. Mater. 19, 1403 (2007).
[CrossRef]

J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).
[CrossRef]

Tkeshelashvili, L.

K. Busch, G. von Freymann, S. Linden, S. F. Mingaleev, L. Tkeshelashvili, and M. Wegener, Phys. Rep., Phys. Lett. 444, 101 (2007).

Turberfield, A. J.

M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, and A. J. Turberfield, Nature 404, 53 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Ullal, C. K.

J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).
[CrossRef]

von Freymann, G.

K. Busch, G. von Freymann, S. Linden, S. F. Mingaleev, L. Tkeshelashvili, and M. Wegener, Phys. Rep., Phys. Lett. 444, 101 (2007).

N. Tetreault, G. von Freymann, M. Deubel, M. Hermatschweiler, F. Perez-Willard, S. John, M. Wegener, and G. A. Ozin, Adv. Mater. 18, 457 (2006).
[CrossRef]

Walsh, M. E.

I. Bita, T. Choi, M. E. Walsh, H. L. Smith, and E. L. Thomas, Adv. Mater. 19, 1403 (2007).
[CrossRef]

Wegener, M.

K. Busch, G. von Freymann, S. Linden, S. F. Mingaleev, L. Tkeshelashvili, and M. Wegener, Phys. Rep., Phys. Lett. 444, 101 (2007).

N. Tetreault, G. von Freymann, M. Deubel, M. Hermatschweiler, F. Perez-Willard, S. John, M. Wegener, and G. A. Ozin, Adv. Mater. 18, 457 (2006).
[CrossRef]

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

Wiltzius, P.

D. Shir, E. C. Nelson, Y. C. Chen, A. Brzezinski, H. Liao, P. V. Braun, P. Wiltzius, K. H. A. Bogart, and J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett. 94, 011101 (2009).
[CrossRef]

Winthrop, J. T.

Worthington, C. R.

Xu, D.

Z. Poole, D. Xu, K. P. Chen, I. Olvera, K. Ohlinger, and Y. K. Lin, Appl. Phys. Lett. 91, 3 (2007).
[CrossRef]

Yang, S.

S. Jeon, J. U. Park, R. Cirelli, S. Yang, C. E. Heitzman, P. V. Braun, P. J. A. Kenis, and J. A. Rogers, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 101, 12428 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

Adv. Funct. Mater. (1)

J. H. Jang, C. K. Ullal, M. Maldovan, T. Gorishnyy, S. Kooi, C. Y. Koh, and E. L. Thomas, Adv. Funct. Mater. 17, 3027 (2007).
[CrossRef]

Adv. Mater. (3)

D. C. Meisel, M. Diem, M. Deubel, F. Perez-Willard, S. Linden, D. Gerthsen, K. Busch, and M. Wegener, Adv. Mater. 18, 2964 (2006).
[CrossRef]

N. Tetreault, G. von Freymann, M. Deubel, M. Hermatschweiler, F. Perez-Willard, S. John, M. Wegener, and G. A. Ozin, Adv. Mater. 18, 457 (2006).
[CrossRef]

I. Bita, T. Choi, M. E. Walsh, H. L. Smith, and E. L. Thomas, Adv. Mater. 19, 1403 (2007).
[CrossRef]

Appl. Phys. A (1)

D. Chanda, L. E. Abolghasemi, and P. R. Herman, Appl. Phys. A 93, 33 (2008).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett. (4)

D. Shir, E. C. Nelson, Y. C. Chen, A. Brzezinski, H. Liao, P. V. Braun, P. Wiltzius, K. H. A. Bogart, and J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett. 94, 011101 (2009).
[CrossRef]

D. Chanda and P. R. Herman, Appl. Phys. Lett. 91, 061122 (2007).
[CrossRef]

Z. Poole, D. Xu, K. P. Chen, I. Olvera, K. Ohlinger, and Y. K. Lin, Appl. Phys. Lett. 91, 3 (2007).
[CrossRef]

Y. Lin, P. R. Herman, and K. Darmawikarta, Appl. Phys. Lett. 86, 071117/1 (2005).

J. Opt. Soc. Am. (1)

Nature (1)

M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, and A. J. Turberfield, Nature 404, 53 (2000).
[CrossRef] [PubMed]

Opt. Express (2)

Phys. Rep., Phys. Lett. (1)

K. Busch, G. von Freymann, S. Linden, S. F. Mingaleev, L. Tkeshelashvili, and M. Wegener, Phys. Rep., Phys. Lett. 444, 101 (2007).

Proc. Natl. Acad. Sci. USA (1)

S. Jeon, J. U. Park, R. Cirelli, S. Yang, C. E. Heitzman, P. V. Braun, P. J. A. Kenis, and J. A. Rogers, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 101, 12428 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1
Fig. 1

(a) Atomic force microscope image of a binary 2D DOE of period Λ x = Λ y = 570 nm and with groove depth d = 595 nm , indicated in the height profile [inset (i)]. (b) Laser exposure arrangement through a DOE ( n d = 1.46 ) in contact with a glass substrate ( n s = 1.46 ) coated with photoresist ( n r = 1.6 ) .

Fig. 2
Fig. 2

(a) Top and (b) cross-sectional SEM images of the BCT symmetry structure in an SU-8 photoresist showing 22 layers together with insets (i) and (ii), respectively, of predicted near-field isointensity surfaces computed by FDTD. Insets (iii) and (iv) show enlarged views of top and cross-sectional SEM images, respectively.

Fig. 3
Fig. 3

(a) Top and (b) cross-sectional SEM images of Si O 2 -coated photoresist and the corresponding top view after RIE removal of the SU-8 template (c). FIB milled cross-sectional view at (d) low and (f) high magnification after SU-8 removal, and (e) corresponding EDX spectrum and (g) material composition showing 90 % presence of Si O 2 [Gallium (Ga) and iron (Fe) traces from ion beam].

Fig. 4
Fig. 4

Normalized transmission spectrum measured at normal angle of incidence through the Si O 2 inverted structure shown in Figs. 3c, 3d. Sharp resonances near 1.25 and 1.35 nm are artifacts due to weak source strength.

Equations (2)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

a = Λ x ; b = Λ y ;
c = Z T ( n r ) = ( λ d n r ) [ 1 1 λ d 2 ( n r Λ ) 2 ] ,

Metrics