Abstract

Dammann gratings, as beam splitters and coherent signal generators, were produced in a short fabricating cycle by femtosecond laser fabrication via two-photon photopolymerization. These holograms that each generated 2×2, 3×3, 4×4, 5×5, and 6×6 spot sources in the fan-out demonstrated diffraction efficiency of 36%, 25%, 29%, 52%, and 49%, respectively, comparable with the theoretical values. This work shows the promising prospect of femtosecond laser fabrication in compatibly manufacturing various micro-optical devices including Dammann gratings and their integrated systems.

© 2008 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. H. B. Sun, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 74, 786 (1999).
    [CrossRef]
  2. D. Y. Yang, S. H. Park, T. W. Lim, H. J. Kong, S. W. Yi, H. K. Yang, and K. S. Lee, Appl. Phys. Lett. 90, 079903 (2007).
    [CrossRef]
  3. H. Dammann and K. Gortler, Opt. Commun. 3, 312 (1971).
    [CrossRef]
  4. H. Dammann and E. Klotz, Opt. Acta 24, 404 (1977).
  5. U. Killat, G. Rabe, and W. Rave, Fiber Integr. Opt. 4, 159 (1982).
    [CrossRef]
  6. R. L. Morrison, J. Opt. Soc. Am. A 9, 464 (1992).
    [CrossRef]
  7. P. Srisungsitthisunti, O. K. Ersoy, and X. F. Xu, Appl. Phys. Lett. 90, 011104 (2007).
    [CrossRef]
  8. T. Nakaya, J. Qiu, C. Zhou, and K. Hirao, Chin. Phys. Lett. 21, 1061 (2004).
    [CrossRef]
  9. Y. Li, W. Watanabe, T. Tamaki, J. Nishii, and K. Itoh, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 5014 (2005).
    [CrossRef]
  10. S. Lee, and S. Nikumb, Opt. Laser Technol. 39, 1328 (2007).
    [CrossRef]
  11. S. Kawata, H. B. Sun, T. Tanka, and K. Takada, Nature 412, 697 (2001).
    [CrossRef] [PubMed]
  12. H. B. Sun, K. Takada, and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 79, 3173 (2001).
    [CrossRef]
  13. Q. D. Chen, D. Wu, L. G. Niu, J. Wang, X. F. Lin, H. Xia, and H. B. Sun, Appl. Phys. Lett. 91, 171105 (2007).
    [CrossRef]
  14. B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
    [CrossRef]
  15. R. L. Morrison, S. L. Walker, and T. J. Cloonan, Appl. Opt. 32, 2512 (1993).
    [CrossRef] [PubMed]
  16. C. Zhou and L. Liu, Appl. Opt. 34, 5961 (1995).
    [CrossRef] [PubMed]
  17. K. Takada, H. B. Sun, and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 86, 071122 (2005).
    [CrossRef]

2007 (4)

D. Y. Yang, S. H. Park, T. W. Lim, H. J. Kong, S. W. Yi, H. K. Yang, and K. S. Lee, Appl. Phys. Lett. 90, 079903 (2007).
[CrossRef]

P. Srisungsitthisunti, O. K. Ersoy, and X. F. Xu, Appl. Phys. Lett. 90, 011104 (2007).
[CrossRef]

S. Lee, and S. Nikumb, Opt. Laser Technol. 39, 1328 (2007).
[CrossRef]

Q. D. Chen, D. Wu, L. G. Niu, J. Wang, X. F. Lin, H. Xia, and H. B. Sun, Appl. Phys. Lett. 91, 171105 (2007).
[CrossRef]

2005 (2)

Y. Li, W. Watanabe, T. Tamaki, J. Nishii, and K. Itoh, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 5014 (2005).
[CrossRef]

K. Takada, H. B. Sun, and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 86, 071122 (2005).
[CrossRef]

2004 (1)

T. Nakaya, J. Qiu, C. Zhou, and K. Hirao, Chin. Phys. Lett. 21, 1061 (2004).
[CrossRef]

2001 (2)

S. Kawata, H. B. Sun, T. Tanka, and K. Takada, Nature 412, 697 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

H. B. Sun, K. Takada, and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 79, 3173 (2001).
[CrossRef]

1999 (2)

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

H. B. Sun, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 74, 786 (1999).
[CrossRef]

1995 (1)

1993 (1)

1992 (1)

1982 (1)

U. Killat, G. Rabe, and W. Rave, Fiber Integr. Opt. 4, 159 (1982).
[CrossRef]

1977 (1)

H. Dammann and E. Klotz, Opt. Acta 24, 404 (1977).

1971 (1)

H. Dammann and K. Gortler, Opt. Commun. 3, 312 (1971).
[CrossRef]

Ananthavel, S. P.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Barlow, S.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Chen, Q. D.

Q. D. Chen, D. Wu, L. G. Niu, J. Wang, X. F. Lin, H. Xia, and H. B. Sun, Appl. Phys. Lett. 91, 171105 (2007).
[CrossRef]

Cloonan, T. J.

Cumpston, B. H.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Dammann, H.

H. Dammann and E. Klotz, Opt. Acta 24, 404 (1977).

H. Dammann and K. Gortler, Opt. Commun. 3, 312 (1971).
[CrossRef]

Dyer, D. L.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Ehrlich, J. E.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Erskine, L. L.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Ersoy, O. K.

P. Srisungsitthisunti, O. K. Ersoy, and X. F. Xu, Appl. Phys. Lett. 90, 011104 (2007).
[CrossRef]

Gortler, K.

H. Dammann and K. Gortler, Opt. Commun. 3, 312 (1971).
[CrossRef]

Heikal, A. A.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Hirao, K.

T. Nakaya, J. Qiu, C. Zhou, and K. Hirao, Chin. Phys. Lett. 21, 1061 (2004).
[CrossRef]

Itoh, K.

Y. Li, W. Watanabe, T. Tamaki, J. Nishii, and K. Itoh, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 5014 (2005).
[CrossRef]

Kawata, S.

K. Takada, H. B. Sun, and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 86, 071122 (2005).
[CrossRef]

H. B. Sun, K. Takada, and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 79, 3173 (2001).
[CrossRef]

S. Kawata, H. B. Sun, T. Tanka, and K. Takada, Nature 412, 697 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Killat, U.

U. Killat, G. Rabe, and W. Rave, Fiber Integr. Opt. 4, 159 (1982).
[CrossRef]

Klotz, E.

H. Dammann and E. Klotz, Opt. Acta 24, 404 (1977).

Kong, H. J.

D. Y. Yang, S. H. Park, T. W. Lim, H. J. Kong, S. W. Yi, H. K. Yang, and K. S. Lee, Appl. Phys. Lett. 90, 079903 (2007).
[CrossRef]

Kuebler, S. M.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Lee, I. Y. S.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Lee, K. S.

D. Y. Yang, S. H. Park, T. W. Lim, H. J. Kong, S. W. Yi, H. K. Yang, and K. S. Lee, Appl. Phys. Lett. 90, 079903 (2007).
[CrossRef]

Lee, S.

S. Lee, and S. Nikumb, Opt. Laser Technol. 39, 1328 (2007).
[CrossRef]

Li, Y.

Y. Li, W. Watanabe, T. Tamaki, J. Nishii, and K. Itoh, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 5014 (2005).
[CrossRef]

Lim, T. W.

D. Y. Yang, S. H. Park, T. W. Lim, H. J. Kong, S. W. Yi, H. K. Yang, and K. S. Lee, Appl. Phys. Lett. 90, 079903 (2007).
[CrossRef]

Lin, X. F.

Q. D. Chen, D. Wu, L. G. Niu, J. Wang, X. F. Lin, H. Xia, and H. B. Sun, Appl. Phys. Lett. 91, 171105 (2007).
[CrossRef]

Liu, L.

Marder, S. R.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Matsuo, S.

H. B. Sun, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 74, 786 (1999).
[CrossRef]

McCord Maughon, D.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Misawa, H.

H. B. Sun, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 74, 786 (1999).
[CrossRef]

Morrison, R. L.

Nakaya, T.

T. Nakaya, J. Qiu, C. Zhou, and K. Hirao, Chin. Phys. Lett. 21, 1061 (2004).
[CrossRef]

Nikumb, S.

S. Lee, and S. Nikumb, Opt. Laser Technol. 39, 1328 (2007).
[CrossRef]

Nishii, J.

Y. Li, W. Watanabe, T. Tamaki, J. Nishii, and K. Itoh, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 5014 (2005).
[CrossRef]

Niu, L. G.

Q. D. Chen, D. Wu, L. G. Niu, J. Wang, X. F. Lin, H. Xia, and H. B. Sun, Appl. Phys. Lett. 91, 171105 (2007).
[CrossRef]

Park, S. H.

D. Y. Yang, S. H. Park, T. W. Lim, H. J. Kong, S. W. Yi, H. K. Yang, and K. S. Lee, Appl. Phys. Lett. 90, 079903 (2007).
[CrossRef]

Perry, J. W.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Qin, J. Q.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Qiu, J.

T. Nakaya, J. Qiu, C. Zhou, and K. Hirao, Chin. Phys. Lett. 21, 1061 (2004).
[CrossRef]

Rabe, G.

U. Killat, G. Rabe, and W. Rave, Fiber Integr. Opt. 4, 159 (1982).
[CrossRef]

Rave, W.

U. Killat, G. Rabe, and W. Rave, Fiber Integr. Opt. 4, 159 (1982).
[CrossRef]

Rockel, H.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Rumi, M.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Srisungsitthisunti, P.

P. Srisungsitthisunti, O. K. Ersoy, and X. F. Xu, Appl. Phys. Lett. 90, 011104 (2007).
[CrossRef]

Sun, H. B.

Q. D. Chen, D. Wu, L. G. Niu, J. Wang, X. F. Lin, H. Xia, and H. B. Sun, Appl. Phys. Lett. 91, 171105 (2007).
[CrossRef]

K. Takada, H. B. Sun, and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 86, 071122 (2005).
[CrossRef]

H. B. Sun, K. Takada, and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 79, 3173 (2001).
[CrossRef]

S. Kawata, H. B. Sun, T. Tanka, and K. Takada, Nature 412, 697 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

H. B. Sun, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 74, 786 (1999).
[CrossRef]

Takada, K.

K. Takada, H. B. Sun, and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 86, 071122 (2005).
[CrossRef]

H. B. Sun, K. Takada, and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 79, 3173 (2001).
[CrossRef]

S. Kawata, H. B. Sun, T. Tanka, and K. Takada, Nature 412, 697 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Tamaki, T.

Y. Li, W. Watanabe, T. Tamaki, J. Nishii, and K. Itoh, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 5014 (2005).
[CrossRef]

Tanka, T.

S. Kawata, H. B. Sun, T. Tanka, and K. Takada, Nature 412, 697 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Walker, S. L.

Wang, J.

Q. D. Chen, D. Wu, L. G. Niu, J. Wang, X. F. Lin, H. Xia, and H. B. Sun, Appl. Phys. Lett. 91, 171105 (2007).
[CrossRef]

Watanabe, W.

Y. Li, W. Watanabe, T. Tamaki, J. Nishii, and K. Itoh, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 5014 (2005).
[CrossRef]

Wu, D.

Q. D. Chen, D. Wu, L. G. Niu, J. Wang, X. F. Lin, H. Xia, and H. B. Sun, Appl. Phys. Lett. 91, 171105 (2007).
[CrossRef]

Wu, X. L.

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

Xia, H.

Q. D. Chen, D. Wu, L. G. Niu, J. Wang, X. F. Lin, H. Xia, and H. B. Sun, Appl. Phys. Lett. 91, 171105 (2007).
[CrossRef]

Xu, X. F.

P. Srisungsitthisunti, O. K. Ersoy, and X. F. Xu, Appl. Phys. Lett. 90, 011104 (2007).
[CrossRef]

Yang, D. Y.

D. Y. Yang, S. H. Park, T. W. Lim, H. J. Kong, S. W. Yi, H. K. Yang, and K. S. Lee, Appl. Phys. Lett. 90, 079903 (2007).
[CrossRef]

Yang, H. K.

D. Y. Yang, S. H. Park, T. W. Lim, H. J. Kong, S. W. Yi, H. K. Yang, and K. S. Lee, Appl. Phys. Lett. 90, 079903 (2007).
[CrossRef]

Yi, S. W.

D. Y. Yang, S. H. Park, T. W. Lim, H. J. Kong, S. W. Yi, H. K. Yang, and K. S. Lee, Appl. Phys. Lett. 90, 079903 (2007).
[CrossRef]

Zhou, C.

T. Nakaya, J. Qiu, C. Zhou, and K. Hirao, Chin. Phys. Lett. 21, 1061 (2004).
[CrossRef]

C. Zhou and L. Liu, Appl. Opt. 34, 5961 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

Appl. Opt. (2)

Appl. Phys. Lett. (6)

K. Takada, H. B. Sun, and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 86, 071122 (2005).
[CrossRef]

H. B. Sun, K. Takada, and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 79, 3173 (2001).
[CrossRef]

Q. D. Chen, D. Wu, L. G. Niu, J. Wang, X. F. Lin, H. Xia, and H. B. Sun, Appl. Phys. Lett. 91, 171105 (2007).
[CrossRef]

H. B. Sun, S. Matsuo, and H. Misawa, Appl. Phys. Lett. 74, 786 (1999).
[CrossRef]

D. Y. Yang, S. H. Park, T. W. Lim, H. J. Kong, S. W. Yi, H. K. Yang, and K. S. Lee, Appl. Phys. Lett. 90, 079903 (2007).
[CrossRef]

P. Srisungsitthisunti, O. K. Ersoy, and X. F. Xu, Appl. Phys. Lett. 90, 011104 (2007).
[CrossRef]

Chin. Phys. Lett. (1)

T. Nakaya, J. Qiu, C. Zhou, and K. Hirao, Chin. Phys. Lett. 21, 1061 (2004).
[CrossRef]

Fiber Integr. Opt. (1)

U. Killat, G. Rabe, and W. Rave, Fiber Integr. Opt. 4, 159 (1982).
[CrossRef]

J. Opt. Soc. Am. A (1)

Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 (1)

Y. Li, W. Watanabe, T. Tamaki, J. Nishii, and K. Itoh, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 5014 (2005).
[CrossRef]

Nature (2)

B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I. Y. S. Lee, D. McCord Maughon, J. Q. Qin, H. Rockel, M. Rumi, X. L. Wu, S. R. Marder, and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
[CrossRef]

S. Kawata, H. B. Sun, T. Tanka, and K. Takada, Nature 412, 697 (2001).
[CrossRef] [PubMed]

Opt. Acta (1)

H. Dammann and E. Klotz, Opt. Acta 24, 404 (1977).

Opt. Commun. (1)

H. Dammann and K. Gortler, Opt. Commun. 3, 312 (1971).
[CrossRef]

Opt. Laser Technol. (1)

S. Lee, and S. Nikumb, Opt. Laser Technol. 39, 1328 (2007).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1
Fig. 1

Dammann gratings fabricated by two-photon photopolymerization. (a) Top-view SEM image and locally magnified views of the Dammann gratings that generate (b) 2 × 2 , (c) 3 × 3 , (d) 4 × 4 , (e) 5 × 5 , and (f) 6 × 6 spot sources, respectively.

Fig. 2
Fig. 2

Diffraction patterns of Dammann gratings that generate (a) 2 × 2 , (b) 3 × 3 , (c) 4 × 4 , (d) 5 × 5 , and (e) 6 × 6 spot sources, respectively. (f) Intensity distribution of spots along dashed lines X and Y [shown in (c)].

Fig. 3
Fig. 3

Microlenses produced by a novel method. (a) Microlenses of different sizes. (b) Profile of a microlens. (c) SEM image. (d) A microlens set above a Dammann grating.

Fig. 4
Fig. 4

Interference patterns of (a) two and (b) three spot sources in the fan-out of a Dammann grating.

Metrics