Abstract

We have developed a simple and scalable bottom-up approach for fabricating moth-eye antireflective coatings on GaAs substrates. Monolayer, non-close-packed silica colloidal crystals are created on crystalline GaAs wafers by a spin-coating-based single-layer reduction technique. These colloidal monolayers can be used as etching masks during a BCl3 dry-etch process to generate subwavelength-structured antireflective gratings directly on GaAs substrates. The gratings exhibit excellent broadband antireflective properties, and the specular reflection matches with the theoretical prediction using a rigorous coupled-wave analysis model. These bioinspired antireflection coatings have important technological applications ranging from efficient solar cells to IR detectors.

© 2008 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. J. K. O'Daniel, O. V. Smolski, and E. G. Johnson, IEEE Photon. Technol. Lett. 18, 445 (2006).
    [CrossRef]
  2. M. C. Wu, Y. H. Huang, and C. L. Ho, IEEE Electron Device Lett. 28, 797 (2007).
    [CrossRef]
  3. E. Oliva, F. Dimroth, and A. W. Bett, Prog. Photovoltaics 16, 289 (2008).
    [CrossRef]
  4. T. Yamada, A. Moto, Y. Iguchi, M. Takahashi, S. Tanaka, T. Tanabe, and S. Takagishi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, L985 (2005).
    [CrossRef]
  5. J.Poortmans and V.Arkhipov, eds., Thin Films Solar Cells: Fabrication, Characterization and Applications (John Wiley & Sons, 2006).
    [CrossRef]
  6. M. F. Schubert, F. W. Mont, S. Chhajed, D. J. Poxson, J. K. Kim, and E. F. Schubert, Opt. Express 16, 5290 (2008).
    [CrossRef] [PubMed]
  7. G. C. Farlow and L. A. Boatner, Opt. Mater. 8, 279 (1997).
    [CrossRef]
  8. D. G. Stavenga, S. Foletti, G. Palasantzas, and K. Arikawa, Proc. R. Soc. London Ser. B 273, 661 (2006).
    [CrossRef]
  9. J. R. Wendt, G. A. Vawter, R. E. Smith, and M. E. Warren, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 4096 (1996).
    [CrossRef]
  10. P. B. Clapham and M. C. Hutley, Nature 244, 281 (1973).
    [CrossRef]
  11. A. Gombert, W. Glaubitt, K. Rose, J. Dreibholz, B. Blasi, A. Heinzel, D. Sporn, W. Doll, and V. Wittwer, Thin Solid Films 351, 73 (1999).
    [CrossRef]
  12. Y. Kanamori, K. Hane, H. Sai, and H. Yugami, Appl. Phys. Lett. 78, 142 (2001).
    [CrossRef]
  13. Y. Kanamori, M. Sasaki, and K. Hane, Opt. Lett. 24, 1422 (1999).
    [CrossRef]
  14. P. Lalanne and G. M. Morris, Nanotechnology 8, 53 (1997).
    [CrossRef]
  15. Z. N. Yu, H. Gao, W. Wu, H. X. Ge, and S. Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2874 (2003).
    [CrossRef]
  16. T. Lohmuller, M. Helgert, M. Sundermann, R. Brunner, and J. P. Spatz, Nano Lett. 8, 1429 (2008).
    [CrossRef] [PubMed]
  17. Y. F. Huang, S. Chattopadhyay, Y. J. Jen, C. Y. Peng, T. A. Liu, Y. K. Hsu, C. L. Pan, H. C. Lo, C. H. Hsu, Y. H. Chang, C. S. Lee, K. H. Chen, and L. C. Chen, Nat. Nanotechnol. 2, 770 (2007).
    [CrossRef]
  18. D. G. Choi, H. K. Yu, S. G. Jang, and S. M. Yang, J. Am. Chem. Soc. 126, 7019 (2004).
    [CrossRef] [PubMed]
  19. G. Zhang and D. Y. Wang, J. Am. Chem. Soc. 130, 5616 (2008).
    [CrossRef] [PubMed]
  20. B. G. Prevo, E. W. Hon, and O. D. Velev, J. Mater. Chem. 17, 791 (2007).
    [CrossRef]
  21. W. L. Min, A. P. Betancourt, P. Jiang, and B. Jiang, Appl. Phys. Lett. 92, 141109 (2008).
    [CrossRef]
  22. C. H. Sun, P. Jiang, and B. Jiang, Appl. Phys. Lett. 92, 061112 (2008).
    [CrossRef]
  23. P. Jiang and M. J. McFarland, J. Am. Chem. Soc. 126, 13778 (2004).
    [CrossRef] [PubMed]
  24. P. Jiang, T. Prasad, M. J. McFarland, and V. L. Colvin, Appl. Phys. Lett. 89, 011908 (2006).
    [CrossRef]
  25. P. Pieranski, Contemp. Phys. 24, 25 (1983).
    [CrossRef]
  26. C. H. Sun, W. L. Min, and P. Jiang, Chem. Commun. 2008, 3163 (2008).
    [CrossRef]
  27. A. Tuteja, W. Choi, M. L. Ma, J. M. Mabry, S. A. Mazzella, G. C. Rutledge, G. H. McKinley, and R. E. Cohen, Science 318, 1618 (2007).
    [CrossRef] [PubMed]
  28. M. G. Moharam, D. A. Pommet, E. B. Grann, and T. K. Gaylord, J. Opt. Soc. Am. A 12, 1077 (1995).
    [CrossRef]
  29. H. A. Macleod, Thin-Film Optical Filters, 3rd ed. (Institute of Physics Publishing, 2001).
    [CrossRef]
  30. E.D.Palik, ed., Handbook of Optical Constants of Solids (Academic, 1991).

2008 (7)

E. Oliva, F. Dimroth, and A. W. Bett, Prog. Photovoltaics 16, 289 (2008).
[CrossRef]

M. F. Schubert, F. W. Mont, S. Chhajed, D. J. Poxson, J. K. Kim, and E. F. Schubert, Opt. Express 16, 5290 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

T. Lohmuller, M. Helgert, M. Sundermann, R. Brunner, and J. P. Spatz, Nano Lett. 8, 1429 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

G. Zhang and D. Y. Wang, J. Am. Chem. Soc. 130, 5616 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

W. L. Min, A. P. Betancourt, P. Jiang, and B. Jiang, Appl. Phys. Lett. 92, 141109 (2008).
[CrossRef]

C. H. Sun, P. Jiang, and B. Jiang, Appl. Phys. Lett. 92, 061112 (2008).
[CrossRef]

C. H. Sun, W. L. Min, and P. Jiang, Chem. Commun. 2008, 3163 (2008).
[CrossRef]

2007 (4)

A. Tuteja, W. Choi, M. L. Ma, J. M. Mabry, S. A. Mazzella, G. C. Rutledge, G. H. McKinley, and R. E. Cohen, Science 318, 1618 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

B. G. Prevo, E. W. Hon, and O. D. Velev, J. Mater. Chem. 17, 791 (2007).
[CrossRef]

Y. F. Huang, S. Chattopadhyay, Y. J. Jen, C. Y. Peng, T. A. Liu, Y. K. Hsu, C. L. Pan, H. C. Lo, C. H. Hsu, Y. H. Chang, C. S. Lee, K. H. Chen, and L. C. Chen, Nat. Nanotechnol. 2, 770 (2007).
[CrossRef]

M. C. Wu, Y. H. Huang, and C. L. Ho, IEEE Electron Device Lett. 28, 797 (2007).
[CrossRef]

2006 (3)

J. K. O'Daniel, O. V. Smolski, and E. G. Johnson, IEEE Photon. Technol. Lett. 18, 445 (2006).
[CrossRef]

D. G. Stavenga, S. Foletti, G. Palasantzas, and K. Arikawa, Proc. R. Soc. London Ser. B 273, 661 (2006).
[CrossRef]

P. Jiang, T. Prasad, M. J. McFarland, and V. L. Colvin, Appl. Phys. Lett. 89, 011908 (2006).
[CrossRef]

2005 (1)

T. Yamada, A. Moto, Y. Iguchi, M. Takahashi, S. Tanaka, T. Tanabe, and S. Takagishi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, L985 (2005).
[CrossRef]

2004 (2)

D. G. Choi, H. K. Yu, S. G. Jang, and S. M. Yang, J. Am. Chem. Soc. 126, 7019 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

P. Jiang and M. J. McFarland, J. Am. Chem. Soc. 126, 13778 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

2003 (1)

Z. N. Yu, H. Gao, W. Wu, H. X. Ge, and S. Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2874 (2003).
[CrossRef]

2001 (1)

Y. Kanamori, K. Hane, H. Sai, and H. Yugami, Appl. Phys. Lett. 78, 142 (2001).
[CrossRef]

1999 (2)

Y. Kanamori, M. Sasaki, and K. Hane, Opt. Lett. 24, 1422 (1999).
[CrossRef]

A. Gombert, W. Glaubitt, K. Rose, J. Dreibholz, B. Blasi, A. Heinzel, D. Sporn, W. Doll, and V. Wittwer, Thin Solid Films 351, 73 (1999).
[CrossRef]

1997 (2)

P. Lalanne and G. M. Morris, Nanotechnology 8, 53 (1997).
[CrossRef]

G. C. Farlow and L. A. Boatner, Opt. Mater. 8, 279 (1997).
[CrossRef]

1996 (1)

J. R. Wendt, G. A. Vawter, R. E. Smith, and M. E. Warren, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 4096 (1996).
[CrossRef]

1995 (1)

1983 (1)

P. Pieranski, Contemp. Phys. 24, 25 (1983).
[CrossRef]

1973 (1)

P. B. Clapham and M. C. Hutley, Nature 244, 281 (1973).
[CrossRef]

Arikawa, K.

D. G. Stavenga, S. Foletti, G. Palasantzas, and K. Arikawa, Proc. R. Soc. London Ser. B 273, 661 (2006).
[CrossRef]

Betancourt, A. P.

W. L. Min, A. P. Betancourt, P. Jiang, and B. Jiang, Appl. Phys. Lett. 92, 141109 (2008).
[CrossRef]

Bett, A. W.

E. Oliva, F. Dimroth, and A. W. Bett, Prog. Photovoltaics 16, 289 (2008).
[CrossRef]

Blasi, B.

A. Gombert, W. Glaubitt, K. Rose, J. Dreibholz, B. Blasi, A. Heinzel, D. Sporn, W. Doll, and V. Wittwer, Thin Solid Films 351, 73 (1999).
[CrossRef]

Boatner, L. A.

G. C. Farlow and L. A. Boatner, Opt. Mater. 8, 279 (1997).
[CrossRef]

Brunner, R.

T. Lohmuller, M. Helgert, M. Sundermann, R. Brunner, and J. P. Spatz, Nano Lett. 8, 1429 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

Chang, Y. H.

Y. F. Huang, S. Chattopadhyay, Y. J. Jen, C. Y. Peng, T. A. Liu, Y. K. Hsu, C. L. Pan, H. C. Lo, C. H. Hsu, Y. H. Chang, C. S. Lee, K. H. Chen, and L. C. Chen, Nat. Nanotechnol. 2, 770 (2007).
[CrossRef]

Chattopadhyay, S.

Y. F. Huang, S. Chattopadhyay, Y. J. Jen, C. Y. Peng, T. A. Liu, Y. K. Hsu, C. L. Pan, H. C. Lo, C. H. Hsu, Y. H. Chang, C. S. Lee, K. H. Chen, and L. C. Chen, Nat. Nanotechnol. 2, 770 (2007).
[CrossRef]

Chen, K. H.

Y. F. Huang, S. Chattopadhyay, Y. J. Jen, C. Y. Peng, T. A. Liu, Y. K. Hsu, C. L. Pan, H. C. Lo, C. H. Hsu, Y. H. Chang, C. S. Lee, K. H. Chen, and L. C. Chen, Nat. Nanotechnol. 2, 770 (2007).
[CrossRef]

Chen, L. C.

Y. F. Huang, S. Chattopadhyay, Y. J. Jen, C. Y. Peng, T. A. Liu, Y. K. Hsu, C. L. Pan, H. C. Lo, C. H. Hsu, Y. H. Chang, C. S. Lee, K. H. Chen, and L. C. Chen, Nat. Nanotechnol. 2, 770 (2007).
[CrossRef]

Chhajed, S.

Choi, D. G.

D. G. Choi, H. K. Yu, S. G. Jang, and S. M. Yang, J. Am. Chem. Soc. 126, 7019 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

Choi, W.

A. Tuteja, W. Choi, M. L. Ma, J. M. Mabry, S. A. Mazzella, G. C. Rutledge, G. H. McKinley, and R. E. Cohen, Science 318, 1618 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Chou, S. Y.

Z. N. Yu, H. Gao, W. Wu, H. X. Ge, and S. Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2874 (2003).
[CrossRef]

Clapham, P. B.

P. B. Clapham and M. C. Hutley, Nature 244, 281 (1973).
[CrossRef]

Cohen, R. E.

A. Tuteja, W. Choi, M. L. Ma, J. M. Mabry, S. A. Mazzella, G. C. Rutledge, G. H. McKinley, and R. E. Cohen, Science 318, 1618 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Colvin, V. L.

P. Jiang, T. Prasad, M. J. McFarland, and V. L. Colvin, Appl. Phys. Lett. 89, 011908 (2006).
[CrossRef]

Dimroth, F.

E. Oliva, F. Dimroth, and A. W. Bett, Prog. Photovoltaics 16, 289 (2008).
[CrossRef]

Doll, W.

A. Gombert, W. Glaubitt, K. Rose, J. Dreibholz, B. Blasi, A. Heinzel, D. Sporn, W. Doll, and V. Wittwer, Thin Solid Films 351, 73 (1999).
[CrossRef]

Dreibholz, J.

A. Gombert, W. Glaubitt, K. Rose, J. Dreibholz, B. Blasi, A. Heinzel, D. Sporn, W. Doll, and V. Wittwer, Thin Solid Films 351, 73 (1999).
[CrossRef]

Farlow, G. C.

G. C. Farlow and L. A. Boatner, Opt. Mater. 8, 279 (1997).
[CrossRef]

Foletti, S.

D. G. Stavenga, S. Foletti, G. Palasantzas, and K. Arikawa, Proc. R. Soc. London Ser. B 273, 661 (2006).
[CrossRef]

Gao, H.

Z. N. Yu, H. Gao, W. Wu, H. X. Ge, and S. Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2874 (2003).
[CrossRef]

Gaylord, T. K.

Ge, H. X.

Z. N. Yu, H. Gao, W. Wu, H. X. Ge, and S. Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2874 (2003).
[CrossRef]

Glaubitt, W.

A. Gombert, W. Glaubitt, K. Rose, J. Dreibholz, B. Blasi, A. Heinzel, D. Sporn, W. Doll, and V. Wittwer, Thin Solid Films 351, 73 (1999).
[CrossRef]

Gombert, A.

A. Gombert, W. Glaubitt, K. Rose, J. Dreibholz, B. Blasi, A. Heinzel, D. Sporn, W. Doll, and V. Wittwer, Thin Solid Films 351, 73 (1999).
[CrossRef]

Grann, E. B.

Hane, K.

Y. Kanamori, K. Hane, H. Sai, and H. Yugami, Appl. Phys. Lett. 78, 142 (2001).
[CrossRef]

Y. Kanamori, M. Sasaki, and K. Hane, Opt. Lett. 24, 1422 (1999).
[CrossRef]

Heinzel, A.

A. Gombert, W. Glaubitt, K. Rose, J. Dreibholz, B. Blasi, A. Heinzel, D. Sporn, W. Doll, and V. Wittwer, Thin Solid Films 351, 73 (1999).
[CrossRef]

Helgert, M.

T. Lohmuller, M. Helgert, M. Sundermann, R. Brunner, and J. P. Spatz, Nano Lett. 8, 1429 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

Ho, C. L.

M. C. Wu, Y. H. Huang, and C. L. Ho, IEEE Electron Device Lett. 28, 797 (2007).
[CrossRef]

Hon, E. W.

B. G. Prevo, E. W. Hon, and O. D. Velev, J. Mater. Chem. 17, 791 (2007).
[CrossRef]

Hsu, C. H.

Y. F. Huang, S. Chattopadhyay, Y. J. Jen, C. Y. Peng, T. A. Liu, Y. K. Hsu, C. L. Pan, H. C. Lo, C. H. Hsu, Y. H. Chang, C. S. Lee, K. H. Chen, and L. C. Chen, Nat. Nanotechnol. 2, 770 (2007).
[CrossRef]

Hsu, Y. K.

Y. F. Huang, S. Chattopadhyay, Y. J. Jen, C. Y. Peng, T. A. Liu, Y. K. Hsu, C. L. Pan, H. C. Lo, C. H. Hsu, Y. H. Chang, C. S. Lee, K. H. Chen, and L. C. Chen, Nat. Nanotechnol. 2, 770 (2007).
[CrossRef]

Huang, Y. F.

Y. F. Huang, S. Chattopadhyay, Y. J. Jen, C. Y. Peng, T. A. Liu, Y. K. Hsu, C. L. Pan, H. C. Lo, C. H. Hsu, Y. H. Chang, C. S. Lee, K. H. Chen, and L. C. Chen, Nat. Nanotechnol. 2, 770 (2007).
[CrossRef]

Huang, Y. H.

M. C. Wu, Y. H. Huang, and C. L. Ho, IEEE Electron Device Lett. 28, 797 (2007).
[CrossRef]

Hutley, M. C.

P. B. Clapham and M. C. Hutley, Nature 244, 281 (1973).
[CrossRef]

Iguchi, Y.

T. Yamada, A. Moto, Y. Iguchi, M. Takahashi, S. Tanaka, T. Tanabe, and S. Takagishi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, L985 (2005).
[CrossRef]

Jang, S. G.

D. G. Choi, H. K. Yu, S. G. Jang, and S. M. Yang, J. Am. Chem. Soc. 126, 7019 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

Jen, Y. J.

Y. F. Huang, S. Chattopadhyay, Y. J. Jen, C. Y. Peng, T. A. Liu, Y. K. Hsu, C. L. Pan, H. C. Lo, C. H. Hsu, Y. H. Chang, C. S. Lee, K. H. Chen, and L. C. Chen, Nat. Nanotechnol. 2, 770 (2007).
[CrossRef]

Jiang, B.

W. L. Min, A. P. Betancourt, P. Jiang, and B. Jiang, Appl. Phys. Lett. 92, 141109 (2008).
[CrossRef]

C. H. Sun, P. Jiang, and B. Jiang, Appl. Phys. Lett. 92, 061112 (2008).
[CrossRef]

Jiang, P.

W. L. Min, A. P. Betancourt, P. Jiang, and B. Jiang, Appl. Phys. Lett. 92, 141109 (2008).
[CrossRef]

C. H. Sun, P. Jiang, and B. Jiang, Appl. Phys. Lett. 92, 061112 (2008).
[CrossRef]

C. H. Sun, W. L. Min, and P. Jiang, Chem. Commun. 2008, 3163 (2008).
[CrossRef]

P. Jiang, T. Prasad, M. J. McFarland, and V. L. Colvin, Appl. Phys. Lett. 89, 011908 (2006).
[CrossRef]

P. Jiang and M. J. McFarland, J. Am. Chem. Soc. 126, 13778 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

Johnson, G.

J. K. O'Daniel, O. V. Smolski, and E. G. Johnson, IEEE Photon. Technol. Lett. 18, 445 (2006).
[CrossRef]

Kanamori, Y.

Y. Kanamori, K. Hane, H. Sai, and H. Yugami, Appl. Phys. Lett. 78, 142 (2001).
[CrossRef]

Y. Kanamori, M. Sasaki, and K. Hane, Opt. Lett. 24, 1422 (1999).
[CrossRef]

Kim, J. K.

Lalanne, P.

P. Lalanne and G. M. Morris, Nanotechnology 8, 53 (1997).
[CrossRef]

Lee, C. S.

Y. F. Huang, S. Chattopadhyay, Y. J. Jen, C. Y. Peng, T. A. Liu, Y. K. Hsu, C. L. Pan, H. C. Lo, C. H. Hsu, Y. H. Chang, C. S. Lee, K. H. Chen, and L. C. Chen, Nat. Nanotechnol. 2, 770 (2007).
[CrossRef]

Liu, T. A.

Y. F. Huang, S. Chattopadhyay, Y. J. Jen, C. Y. Peng, T. A. Liu, Y. K. Hsu, C. L. Pan, H. C. Lo, C. H. Hsu, Y. H. Chang, C. S. Lee, K. H. Chen, and L. C. Chen, Nat. Nanotechnol. 2, 770 (2007).
[CrossRef]

Lo, H. C.

Y. F. Huang, S. Chattopadhyay, Y. J. Jen, C. Y. Peng, T. A. Liu, Y. K. Hsu, C. L. Pan, H. C. Lo, C. H. Hsu, Y. H. Chang, C. S. Lee, K. H. Chen, and L. C. Chen, Nat. Nanotechnol. 2, 770 (2007).
[CrossRef]

Lohmuller, T.

T. Lohmuller, M. Helgert, M. Sundermann, R. Brunner, and J. P. Spatz, Nano Lett. 8, 1429 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

Ma, M. L.

A. Tuteja, W. Choi, M. L. Ma, J. M. Mabry, S. A. Mazzella, G. C. Rutledge, G. H. McKinley, and R. E. Cohen, Science 318, 1618 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Mabry, J. M.

A. Tuteja, W. Choi, M. L. Ma, J. M. Mabry, S. A. Mazzella, G. C. Rutledge, G. H. McKinley, and R. E. Cohen, Science 318, 1618 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Macleod, H. A.

H. A. Macleod, Thin-Film Optical Filters, 3rd ed. (Institute of Physics Publishing, 2001).
[CrossRef]

Mazzella, S. A.

A. Tuteja, W. Choi, M. L. Ma, J. M. Mabry, S. A. Mazzella, G. C. Rutledge, G. H. McKinley, and R. E. Cohen, Science 318, 1618 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

McFarland, M. J.

P. Jiang, T. Prasad, M. J. McFarland, and V. L. Colvin, Appl. Phys. Lett. 89, 011908 (2006).
[CrossRef]

P. Jiang and M. J. McFarland, J. Am. Chem. Soc. 126, 13778 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

McKinley, G. H.

A. Tuteja, W. Choi, M. L. Ma, J. M. Mabry, S. A. Mazzella, G. C. Rutledge, G. H. McKinley, and R. E. Cohen, Science 318, 1618 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Min, W. L.

C. H. Sun, W. L. Min, and P. Jiang, Chem. Commun. 2008, 3163 (2008).
[CrossRef]

W. L. Min, A. P. Betancourt, P. Jiang, and B. Jiang, Appl. Phys. Lett. 92, 141109 (2008).
[CrossRef]

Moharam, M. G.

Mont, F. W.

Morris, G. M.

P. Lalanne and G. M. Morris, Nanotechnology 8, 53 (1997).
[CrossRef]

Moto, A.

T. Yamada, A. Moto, Y. Iguchi, M. Takahashi, S. Tanaka, T. Tanabe, and S. Takagishi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, L985 (2005).
[CrossRef]

O'Daniel, J. K.

J. K. O'Daniel, O. V. Smolski, and E. G. Johnson, IEEE Photon. Technol. Lett. 18, 445 (2006).
[CrossRef]

Oliva, E.

E. Oliva, F. Dimroth, and A. W. Bett, Prog. Photovoltaics 16, 289 (2008).
[CrossRef]

Palasantzas, G.

D. G. Stavenga, S. Foletti, G. Palasantzas, and K. Arikawa, Proc. R. Soc. London Ser. B 273, 661 (2006).
[CrossRef]

Pan, C. L.

Y. F. Huang, S. Chattopadhyay, Y. J. Jen, C. Y. Peng, T. A. Liu, Y. K. Hsu, C. L. Pan, H. C. Lo, C. H. Hsu, Y. H. Chang, C. S. Lee, K. H. Chen, and L. C. Chen, Nat. Nanotechnol. 2, 770 (2007).
[CrossRef]

Peng, C. Y.

Y. F. Huang, S. Chattopadhyay, Y. J. Jen, C. Y. Peng, T. A. Liu, Y. K. Hsu, C. L. Pan, H. C. Lo, C. H. Hsu, Y. H. Chang, C. S. Lee, K. H. Chen, and L. C. Chen, Nat. Nanotechnol. 2, 770 (2007).
[CrossRef]

Pieranski, P.

P. Pieranski, Contemp. Phys. 24, 25 (1983).
[CrossRef]

Pommet, D. A.

Poxson, D. J.

Prasad, T.

P. Jiang, T. Prasad, M. J. McFarland, and V. L. Colvin, Appl. Phys. Lett. 89, 011908 (2006).
[CrossRef]

Prevo, B. G.

B. G. Prevo, E. W. Hon, and O. D. Velev, J. Mater. Chem. 17, 791 (2007).
[CrossRef]

Rose, K.

A. Gombert, W. Glaubitt, K. Rose, J. Dreibholz, B. Blasi, A. Heinzel, D. Sporn, W. Doll, and V. Wittwer, Thin Solid Films 351, 73 (1999).
[CrossRef]

Rutledge, G. C.

A. Tuteja, W. Choi, M. L. Ma, J. M. Mabry, S. A. Mazzella, G. C. Rutledge, G. H. McKinley, and R. E. Cohen, Science 318, 1618 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Sai, H.

Y. Kanamori, K. Hane, H. Sai, and H. Yugami, Appl. Phys. Lett. 78, 142 (2001).
[CrossRef]

Sasaki, M.

Schubert, E. F.

Schubert, M. F.

Smith, R. E.

J. R. Wendt, G. A. Vawter, R. E. Smith, and M. E. Warren, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 4096 (1996).
[CrossRef]

Smolski, O. V.

J. K. O'Daniel, O. V. Smolski, and E. G. Johnson, IEEE Photon. Technol. Lett. 18, 445 (2006).
[CrossRef]

Spatz, J. P.

T. Lohmuller, M. Helgert, M. Sundermann, R. Brunner, and J. P. Spatz, Nano Lett. 8, 1429 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

Sporn, D.

A. Gombert, W. Glaubitt, K. Rose, J. Dreibholz, B. Blasi, A. Heinzel, D. Sporn, W. Doll, and V. Wittwer, Thin Solid Films 351, 73 (1999).
[CrossRef]

Stavenga, D. G.

D. G. Stavenga, S. Foletti, G. Palasantzas, and K. Arikawa, Proc. R. Soc. London Ser. B 273, 661 (2006).
[CrossRef]

Sun, C. H.

C. H. Sun, W. L. Min, and P. Jiang, Chem. Commun. 2008, 3163 (2008).
[CrossRef]

C. H. Sun, P. Jiang, and B. Jiang, Appl. Phys. Lett. 92, 061112 (2008).
[CrossRef]

Sundermann, M.

T. Lohmuller, M. Helgert, M. Sundermann, R. Brunner, and J. P. Spatz, Nano Lett. 8, 1429 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

Takagishi, S.

T. Yamada, A. Moto, Y. Iguchi, M. Takahashi, S. Tanaka, T. Tanabe, and S. Takagishi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, L985 (2005).
[CrossRef]

Takahashi, M.

T. Yamada, A. Moto, Y. Iguchi, M. Takahashi, S. Tanaka, T. Tanabe, and S. Takagishi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, L985 (2005).
[CrossRef]

Tanabe, T.

T. Yamada, A. Moto, Y. Iguchi, M. Takahashi, S. Tanaka, T. Tanabe, and S. Takagishi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, L985 (2005).
[CrossRef]

Tanaka, S.

T. Yamada, A. Moto, Y. Iguchi, M. Takahashi, S. Tanaka, T. Tanabe, and S. Takagishi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, L985 (2005).
[CrossRef]

Tuteja, A.

A. Tuteja, W. Choi, M. L. Ma, J. M. Mabry, S. A. Mazzella, G. C. Rutledge, G. H. McKinley, and R. E. Cohen, Science 318, 1618 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Vawter, G. A.

J. R. Wendt, G. A. Vawter, R. E. Smith, and M. E. Warren, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 4096 (1996).
[CrossRef]

Velev, O. D.

B. G. Prevo, E. W. Hon, and O. D. Velev, J. Mater. Chem. 17, 791 (2007).
[CrossRef]

Wang, D. Y.

G. Zhang and D. Y. Wang, J. Am. Chem. Soc. 130, 5616 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

Warren, M. E.

J. R. Wendt, G. A. Vawter, R. E. Smith, and M. E. Warren, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 4096 (1996).
[CrossRef]

Wendt, J. R.

J. R. Wendt, G. A. Vawter, R. E. Smith, and M. E. Warren, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 4096 (1996).
[CrossRef]

Wittwer, V.

A. Gombert, W. Glaubitt, K. Rose, J. Dreibholz, B. Blasi, A. Heinzel, D. Sporn, W. Doll, and V. Wittwer, Thin Solid Films 351, 73 (1999).
[CrossRef]

Wu, M. C.

M. C. Wu, Y. H. Huang, and C. L. Ho, IEEE Electron Device Lett. 28, 797 (2007).
[CrossRef]

Wu, W.

Z. N. Yu, H. Gao, W. Wu, H. X. Ge, and S. Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2874 (2003).
[CrossRef]

Yamada, T.

T. Yamada, A. Moto, Y. Iguchi, M. Takahashi, S. Tanaka, T. Tanabe, and S. Takagishi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, L985 (2005).
[CrossRef]

Yang, S. M.

D. G. Choi, H. K. Yu, S. G. Jang, and S. M. Yang, J. Am. Chem. Soc. 126, 7019 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

Yu, H. K.

D. G. Choi, H. K. Yu, S. G. Jang, and S. M. Yang, J. Am. Chem. Soc. 126, 7019 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

Yu, Z. N.

Z. N. Yu, H. Gao, W. Wu, H. X. Ge, and S. Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2874 (2003).
[CrossRef]

Yugami, H.

Y. Kanamori, K. Hane, H. Sai, and H. Yugami, Appl. Phys. Lett. 78, 142 (2001).
[CrossRef]

Zhang, G.

G. Zhang and D. Y. Wang, J. Am. Chem. Soc. 130, 5616 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

Appl. Phys. Lett. (4)

Y. Kanamori, K. Hane, H. Sai, and H. Yugami, Appl. Phys. Lett. 78, 142 (2001).
[CrossRef]

W. L. Min, A. P. Betancourt, P. Jiang, and B. Jiang, Appl. Phys. Lett. 92, 141109 (2008).
[CrossRef]

C. H. Sun, P. Jiang, and B. Jiang, Appl. Phys. Lett. 92, 061112 (2008).
[CrossRef]

P. Jiang, T. Prasad, M. J. McFarland, and V. L. Colvin, Appl. Phys. Lett. 89, 011908 (2006).
[CrossRef]

Chem. Commun. (1)

C. H. Sun, W. L. Min, and P. Jiang, Chem. Commun. 2008, 3163 (2008).
[CrossRef]

Contemp. Phys. (1)

P. Pieranski, Contemp. Phys. 24, 25 (1983).
[CrossRef]

IEEE Electron Device Lett. (1)

M. C. Wu, Y. H. Huang, and C. L. Ho, IEEE Electron Device Lett. 28, 797 (2007).
[CrossRef]

IEEE Photon. Technol. Lett. (1)

J. K. O'Daniel, O. V. Smolski, and E. G. Johnson, IEEE Photon. Technol. Lett. 18, 445 (2006).
[CrossRef]

J. Am. Chem. Soc. (3)

D. G. Choi, H. K. Yu, S. G. Jang, and S. M. Yang, J. Am. Chem. Soc. 126, 7019 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

G. Zhang and D. Y. Wang, J. Am. Chem. Soc. 130, 5616 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

P. Jiang and M. J. McFarland, J. Am. Chem. Soc. 126, 13778 (2004).
[CrossRef] [PubMed]

J. Mater. Chem. (1)

B. G. Prevo, E. W. Hon, and O. D. Velev, J. Mater. Chem. 17, 791 (2007).
[CrossRef]

J. Opt. Soc. Am. A (1)

J. Vac. Sci. Technol. B (2)

Z. N. Yu, H. Gao, W. Wu, H. X. Ge, and S. Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 2874 (2003).
[CrossRef]

J. R. Wendt, G. A. Vawter, R. E. Smith, and M. E. Warren, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 4096 (1996).
[CrossRef]

Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 (1)

T. Yamada, A. Moto, Y. Iguchi, M. Takahashi, S. Tanaka, T. Tanabe, and S. Takagishi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, L985 (2005).
[CrossRef]

Nano Lett. (1)

T. Lohmuller, M. Helgert, M. Sundermann, R. Brunner, and J. P. Spatz, Nano Lett. 8, 1429 (2008).
[CrossRef] [PubMed]

Nanotechnology (1)

P. Lalanne and G. M. Morris, Nanotechnology 8, 53 (1997).
[CrossRef]

Nat. Nanotechnol. (1)

Y. F. Huang, S. Chattopadhyay, Y. J. Jen, C. Y. Peng, T. A. Liu, Y. K. Hsu, C. L. Pan, H. C. Lo, C. H. Hsu, Y. H. Chang, C. S. Lee, K. H. Chen, and L. C. Chen, Nat. Nanotechnol. 2, 770 (2007).
[CrossRef]

Nature (1)

P. B. Clapham and M. C. Hutley, Nature 244, 281 (1973).
[CrossRef]

Opt. Express (1)

Opt. Lett. (1)

Opt. Mater. (1)

G. C. Farlow and L. A. Boatner, Opt. Mater. 8, 279 (1997).
[CrossRef]

Proc. R. Soc. London Ser. B (1)

D. G. Stavenga, S. Foletti, G. Palasantzas, and K. Arikawa, Proc. R. Soc. London Ser. B 273, 661 (2006).
[CrossRef]

Prog. Photovoltaics (1)

E. Oliva, F. Dimroth, and A. W. Bett, Prog. Photovoltaics 16, 289 (2008).
[CrossRef]

Science (1)

A. Tuteja, W. Choi, M. L. Ma, J. M. Mabry, S. A. Mazzella, G. C. Rutledge, G. H. McKinley, and R. E. Cohen, Science 318, 1618 (2007).
[CrossRef] [PubMed]

Thin Solid Films (1)

A. Gombert, W. Glaubitt, K. Rose, J. Dreibholz, B. Blasi, A. Heinzel, D. Sporn, W. Doll, and V. Wittwer, Thin Solid Films 351, 73 (1999).
[CrossRef]

Other (3)

J.Poortmans and V.Arkhipov, eds., Thin Films Solar Cells: Fabrication, Characterization and Applications (John Wiley & Sons, 2006).
[CrossRef]

H. A. Macleod, Thin-Film Optical Filters, 3rd ed. (Institute of Physics Publishing, 2001).
[CrossRef]

E.D.Palik, ed., Handbook of Optical Constants of Solids (Academic, 1991).

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1
Fig. 1

(a) Disordered colloidal monolayer formed on GaAs by traditional spin coating. Inset, Fourier transform of the image. (b) Double-layer colloidal crystals formed on GaAs. (c) Monolayer colloidal crystal formed by SLD. Inset, photograph of a monolayer crystal formed on a 2 in. GaAs wafer illuminated with white light. (d) Pair correlation function calculated from a low-magnification SEM image. For comparison, the PCF for an ideal hexagonal lattice with 2 D inter particle distance is also shown (black lines).

Fig. 2
Fig. 2

(a) Templated mushroom-like GaAs microstructures after 9.5 min B Cl 3 RIE. (b) Higher magnification image of (a). (c) Conical nipples formed after 12 min B Cl 3 RIE. (d) Same sample as (c) after a brief ultrasonication in acetone.

Fig. 3
Fig. 3

Experimental and RCWA-simulated specular reflection at normal incidence from a bare GaAs wafer and the conical grating as shown in Fig. 2d.

Fig. 4
Fig. 4

Change of the calculated effective refractive index at λ = 700 nm from the wafer surface ( depth = 0 ) to the bottom of templated GaAs nanocones with 320 nm height. The dotted line indicates the refractive index of bulk GaAs at the same wavelength.

Metrics