Abstract

We report on the fabrication of high-efficiency vertical-injection GaN-based light-emitting diodes (LEDs) fabricated with integrated surface textures. An optical ray-tracing simulation shows that the high integration of surface textures can effectively enhance the light-extraction efficiency. The integrated surface textures are fabricated on the top surface of LEDs by generating hexagonal cones on the periodically corrugated surfaces of n-GaN. Compared to reference LEDs without textures, LEDs fabricated with integrated surface textures show an enhancement of the output power by a factor of 2.59, which is in agreement with the calculated results.

© 2008 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. W. S. Wong, T. Sands, N. W. Cheung, M. Kneissl, D. P. Bour, P. Mei, L. T. Romano, and N. M. Johnson, Appl. Phys. Lett. 75, 1360 (1999).
    [CrossRef]
  2. T. Fujii, Y. Gao, R. Sharma, E. L. Hu, S. P. DenBaars, and S. Nakamura, Appl. Phys. Lett. 84, 855 (2004).
    [CrossRef]
  3. O. B. Shchekin, J. E. Epler, T. A. Trottier, T. Margalith, D. A. Steigerwald, M. O. Holcomb, P. S. Martin, and M. R. Krames, Appl. Phys. Lett. 89, 071109 (2006).
    [CrossRef]
  4. T.-X. Lee, C.-Y. Lin, S.-H. Ma, and C.-C. Sun, Opt. Express 13, 4175 (2005).
    [CrossRef] [PubMed]
  5. C.-C. Kao, H. C. Kuo, K. F. Yeh, J. T. Chu, W. L. Peng, H. W. Huang, T. C. Lu, and S. C. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett. 19, 849 (2007).
    [CrossRef]
  6. D. Morita, M. Yamamoto, K. Akaishi, K. Matoba, K. Yasutomo, Y. Kasai, M. Sano, S.-I. Nagahama, and T. Mukai, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 43, 5945 (2004).
    [CrossRef]
  7. W. K. Wang, S. Y. Huang, S. H. Huang, K. S. Wen, D. S. Wuu, and R. H. Horng, Appl. Phys. Lett. 88, 181113 (2006).
    [CrossRef]
  8. A. David, T. Fujii, B. Moran, S. Nakamura, S. P. DenBaars, C. Weisbuch, and H. Benisty, Appl. Phys. Lett. 88, 133514 (2006).
    [CrossRef]
  9. K.-M. Uang, S.-J. Wang, S.-L. Chen, Y.-C. Yang, T.-M. Chen, and B.-W. Liou, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 45, 3436 (2006).
    [CrossRef]
  10. H. Kim, K.-K. Kim, K.-K. Choi, H. Kim, J.-O. Song, J. Cho, K. H. Baik, C. Sone, Y. Park, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 91, 023510 (2007).
    [CrossRef]
  11. Y. Gao, T. Fujii, R. Sharma, K. Fujito, S. P. Denbaars, S. Nakamura, and E. L. Hu, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 43, L637 (2004).
    [CrossRef]
  12. E. F. Schubert, Light-Emitting Diodes, 2nd ed. (Cambridge, 2006).
    [CrossRef]
  13. J. Cho, H. Kim, H. Kim, J. W. Lee, S. Yoon, C. Sone, Y. Park, and E. Yoon, Phys. Status Solidi C 2, 2874 (2005).
    [CrossRef]
  14. H. Kasugai, Y. Miyake, A. Honshio, S. Mishima, T. Kawashima, K. Iida, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, and H. Shiomi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 7414 (2005).
    [CrossRef]

2007

C.-C. Kao, H. C. Kuo, K. F. Yeh, J. T. Chu, W. L. Peng, H. W. Huang, T. C. Lu, and S. C. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett. 19, 849 (2007).
[CrossRef]

H. Kim, K.-K. Kim, K.-K. Choi, H. Kim, J.-O. Song, J. Cho, K. H. Baik, C. Sone, Y. Park, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 91, 023510 (2007).
[CrossRef]

2006

W. K. Wang, S. Y. Huang, S. H. Huang, K. S. Wen, D. S. Wuu, and R. H. Horng, Appl. Phys. Lett. 88, 181113 (2006).
[CrossRef]

A. David, T. Fujii, B. Moran, S. Nakamura, S. P. DenBaars, C. Weisbuch, and H. Benisty, Appl. Phys. Lett. 88, 133514 (2006).
[CrossRef]

K.-M. Uang, S.-J. Wang, S.-L. Chen, Y.-C. Yang, T.-M. Chen, and B.-W. Liou, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 45, 3436 (2006).
[CrossRef]

O. B. Shchekin, J. E. Epler, T. A. Trottier, T. Margalith, D. A. Steigerwald, M. O. Holcomb, P. S. Martin, and M. R. Krames, Appl. Phys. Lett. 89, 071109 (2006).
[CrossRef]

2005

T.-X. Lee, C.-Y. Lin, S.-H. Ma, and C.-C. Sun, Opt. Express 13, 4175 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

J. Cho, H. Kim, H. Kim, J. W. Lee, S. Yoon, C. Sone, Y. Park, and E. Yoon, Phys. Status Solidi C 2, 2874 (2005).
[CrossRef]

H. Kasugai, Y. Miyake, A. Honshio, S. Mishima, T. Kawashima, K. Iida, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, and H. Shiomi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 7414 (2005).
[CrossRef]

2004

Y. Gao, T. Fujii, R. Sharma, K. Fujito, S. P. Denbaars, S. Nakamura, and E. L. Hu, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 43, L637 (2004).
[CrossRef]

D. Morita, M. Yamamoto, K. Akaishi, K. Matoba, K. Yasutomo, Y. Kasai, M. Sano, S.-I. Nagahama, and T. Mukai, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 43, 5945 (2004).
[CrossRef]

T. Fujii, Y. Gao, R. Sharma, E. L. Hu, S. P. DenBaars, and S. Nakamura, Appl. Phys. Lett. 84, 855 (2004).
[CrossRef]

1999

W. S. Wong, T. Sands, N. W. Cheung, M. Kneissl, D. P. Bour, P. Mei, L. T. Romano, and N. M. Johnson, Appl. Phys. Lett. 75, 1360 (1999).
[CrossRef]

Akaishi, K.

D. Morita, M. Yamamoto, K. Akaishi, K. Matoba, K. Yasutomo, Y. Kasai, M. Sano, S.-I. Nagahama, and T. Mukai, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 43, 5945 (2004).
[CrossRef]

Akasaki, I.

H. Kasugai, Y. Miyake, A. Honshio, S. Mishima, T. Kawashima, K. Iida, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, and H. Shiomi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 7414 (2005).
[CrossRef]

Amano, H.

H. Kasugai, Y. Miyake, A. Honshio, S. Mishima, T. Kawashima, K. Iida, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, and H. Shiomi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 7414 (2005).
[CrossRef]

Baik, K. H.

H. Kim, K.-K. Kim, K.-K. Choi, H. Kim, J.-O. Song, J. Cho, K. H. Baik, C. Sone, Y. Park, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 91, 023510 (2007).
[CrossRef]

Benisty, H.

A. David, T. Fujii, B. Moran, S. Nakamura, S. P. DenBaars, C. Weisbuch, and H. Benisty, Appl. Phys. Lett. 88, 133514 (2006).
[CrossRef]

Bour, D. P.

W. S. Wong, T. Sands, N. W. Cheung, M. Kneissl, D. P. Bour, P. Mei, L. T. Romano, and N. M. Johnson, Appl. Phys. Lett. 75, 1360 (1999).
[CrossRef]

Chen, S.-L.

K.-M. Uang, S.-J. Wang, S.-L. Chen, Y.-C. Yang, T.-M. Chen, and B.-W. Liou, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 45, 3436 (2006).
[CrossRef]

Chen, T.-M.

K.-M. Uang, S.-J. Wang, S.-L. Chen, Y.-C. Yang, T.-M. Chen, and B.-W. Liou, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 45, 3436 (2006).
[CrossRef]

Cheung, N. W.

W. S. Wong, T. Sands, N. W. Cheung, M. Kneissl, D. P. Bour, P. Mei, L. T. Romano, and N. M. Johnson, Appl. Phys. Lett. 75, 1360 (1999).
[CrossRef]

Cho, J.

H. Kim, K.-K. Kim, K.-K. Choi, H. Kim, J.-O. Song, J. Cho, K. H. Baik, C. Sone, Y. Park, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 91, 023510 (2007).
[CrossRef]

J. Cho, H. Kim, H. Kim, J. W. Lee, S. Yoon, C. Sone, Y. Park, and E. Yoon, Phys. Status Solidi C 2, 2874 (2005).
[CrossRef]

Choi, K.-K.

H. Kim, K.-K. Kim, K.-K. Choi, H. Kim, J.-O. Song, J. Cho, K. H. Baik, C. Sone, Y. Park, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 91, 023510 (2007).
[CrossRef]

Chu, J. T.

C.-C. Kao, H. C. Kuo, K. F. Yeh, J. T. Chu, W. L. Peng, H. W. Huang, T. C. Lu, and S. C. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett. 19, 849 (2007).
[CrossRef]

David, A.

A. David, T. Fujii, B. Moran, S. Nakamura, S. P. DenBaars, C. Weisbuch, and H. Benisty, Appl. Phys. Lett. 88, 133514 (2006).
[CrossRef]

DenBaars, S. P.

A. David, T. Fujii, B. Moran, S. Nakamura, S. P. DenBaars, C. Weisbuch, and H. Benisty, Appl. Phys. Lett. 88, 133514 (2006).
[CrossRef]

T. Fujii, Y. Gao, R. Sharma, E. L. Hu, S. P. DenBaars, and S. Nakamura, Appl. Phys. Lett. 84, 855 (2004).
[CrossRef]

Y. Gao, T. Fujii, R. Sharma, K. Fujito, S. P. Denbaars, S. Nakamura, and E. L. Hu, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 43, L637 (2004).
[CrossRef]

Epler, J. E.

O. B. Shchekin, J. E. Epler, T. A. Trottier, T. Margalith, D. A. Steigerwald, M. O. Holcomb, P. S. Martin, and M. R. Krames, Appl. Phys. Lett. 89, 071109 (2006).
[CrossRef]

Fujii, T.

A. David, T. Fujii, B. Moran, S. Nakamura, S. P. DenBaars, C. Weisbuch, and H. Benisty, Appl. Phys. Lett. 88, 133514 (2006).
[CrossRef]

T. Fujii, Y. Gao, R. Sharma, E. L. Hu, S. P. DenBaars, and S. Nakamura, Appl. Phys. Lett. 84, 855 (2004).
[CrossRef]

Y. Gao, T. Fujii, R. Sharma, K. Fujito, S. P. Denbaars, S. Nakamura, and E. L. Hu, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 43, L637 (2004).
[CrossRef]

Fujito, K.

Y. Gao, T. Fujii, R. Sharma, K. Fujito, S. P. Denbaars, S. Nakamura, and E. L. Hu, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 43, L637 (2004).
[CrossRef]

Gao, Y.

Y. Gao, T. Fujii, R. Sharma, K. Fujito, S. P. Denbaars, S. Nakamura, and E. L. Hu, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 43, L637 (2004).
[CrossRef]

T. Fujii, Y. Gao, R. Sharma, E. L. Hu, S. P. DenBaars, and S. Nakamura, Appl. Phys. Lett. 84, 855 (2004).
[CrossRef]

Holcomb, M. O.

O. B. Shchekin, J. E. Epler, T. A. Trottier, T. Margalith, D. A. Steigerwald, M. O. Holcomb, P. S. Martin, and M. R. Krames, Appl. Phys. Lett. 89, 071109 (2006).
[CrossRef]

Honshio, A.

H. Kasugai, Y. Miyake, A. Honshio, S. Mishima, T. Kawashima, K. Iida, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, and H. Shiomi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 7414 (2005).
[CrossRef]

Horng, R. H.

W. K. Wang, S. Y. Huang, S. H. Huang, K. S. Wen, D. S. Wuu, and R. H. Horng, Appl. Phys. Lett. 88, 181113 (2006).
[CrossRef]

Hu, E. L.

Y. Gao, T. Fujii, R. Sharma, K. Fujito, S. P. Denbaars, S. Nakamura, and E. L. Hu, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 43, L637 (2004).
[CrossRef]

T. Fujii, Y. Gao, R. Sharma, E. L. Hu, S. P. DenBaars, and S. Nakamura, Appl. Phys. Lett. 84, 855 (2004).
[CrossRef]

Huang, H. W.

C.-C. Kao, H. C. Kuo, K. F. Yeh, J. T. Chu, W. L. Peng, H. W. Huang, T. C. Lu, and S. C. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett. 19, 849 (2007).
[CrossRef]

Huang, S. H.

W. K. Wang, S. Y. Huang, S. H. Huang, K. S. Wen, D. S. Wuu, and R. H. Horng, Appl. Phys. Lett. 88, 181113 (2006).
[CrossRef]

Huang, S. Y.

W. K. Wang, S. Y. Huang, S. H. Huang, K. S. Wen, D. S. Wuu, and R. H. Horng, Appl. Phys. Lett. 88, 181113 (2006).
[CrossRef]

Iida, K.

H. Kasugai, Y. Miyake, A. Honshio, S. Mishima, T. Kawashima, K. Iida, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, and H. Shiomi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 7414 (2005).
[CrossRef]

Iwaya, M.

H. Kasugai, Y. Miyake, A. Honshio, S. Mishima, T. Kawashima, K. Iida, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, and H. Shiomi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 7414 (2005).
[CrossRef]

Johnson, N. M.

W. S. Wong, T. Sands, N. W. Cheung, M. Kneissl, D. P. Bour, P. Mei, L. T. Romano, and N. M. Johnson, Appl. Phys. Lett. 75, 1360 (1999).
[CrossRef]

Kamiyama, S.

H. Kasugai, Y. Miyake, A. Honshio, S. Mishima, T. Kawashima, K. Iida, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, and H. Shiomi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 7414 (2005).
[CrossRef]

Kao, C.-C.

C.-C. Kao, H. C. Kuo, K. F. Yeh, J. T. Chu, W. L. Peng, H. W. Huang, T. C. Lu, and S. C. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett. 19, 849 (2007).
[CrossRef]

Kasai, Y.

D. Morita, M. Yamamoto, K. Akaishi, K. Matoba, K. Yasutomo, Y. Kasai, M. Sano, S.-I. Nagahama, and T. Mukai, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 43, 5945 (2004).
[CrossRef]

Kasugai, H.

H. Kasugai, Y. Miyake, A. Honshio, S. Mishima, T. Kawashima, K. Iida, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, and H. Shiomi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 7414 (2005).
[CrossRef]

Kawashima, T.

H. Kasugai, Y. Miyake, A. Honshio, S. Mishima, T. Kawashima, K. Iida, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, and H. Shiomi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 7414 (2005).
[CrossRef]

Kim, H.

H. Kim, K.-K. Kim, K.-K. Choi, H. Kim, J.-O. Song, J. Cho, K. H. Baik, C. Sone, Y. Park, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 91, 023510 (2007).
[CrossRef]

H. Kim, K.-K. Kim, K.-K. Choi, H. Kim, J.-O. Song, J. Cho, K. H. Baik, C. Sone, Y. Park, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 91, 023510 (2007).
[CrossRef]

J. Cho, H. Kim, H. Kim, J. W. Lee, S. Yoon, C. Sone, Y. Park, and E. Yoon, Phys. Status Solidi C 2, 2874 (2005).
[CrossRef]

J. Cho, H. Kim, H. Kim, J. W. Lee, S. Yoon, C. Sone, Y. Park, and E. Yoon, Phys. Status Solidi C 2, 2874 (2005).
[CrossRef]

Kim, K.-K.

H. Kim, K.-K. Kim, K.-K. Choi, H. Kim, J.-O. Song, J. Cho, K. H. Baik, C. Sone, Y. Park, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 91, 023510 (2007).
[CrossRef]

Kinoshita, H.

H. Kasugai, Y. Miyake, A. Honshio, S. Mishima, T. Kawashima, K. Iida, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, and H. Shiomi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 7414 (2005).
[CrossRef]

Kneissl, M.

W. S. Wong, T. Sands, N. W. Cheung, M. Kneissl, D. P. Bour, P. Mei, L. T. Romano, and N. M. Johnson, Appl. Phys. Lett. 75, 1360 (1999).
[CrossRef]

Krames, M. R.

O. B. Shchekin, J. E. Epler, T. A. Trottier, T. Margalith, D. A. Steigerwald, M. O. Holcomb, P. S. Martin, and M. R. Krames, Appl. Phys. Lett. 89, 071109 (2006).
[CrossRef]

Kuo, H. C.

C.-C. Kao, H. C. Kuo, K. F. Yeh, J. T. Chu, W. L. Peng, H. W. Huang, T. C. Lu, and S. C. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett. 19, 849 (2007).
[CrossRef]

Lee, J. W.

J. Cho, H. Kim, H. Kim, J. W. Lee, S. Yoon, C. Sone, Y. Park, and E. Yoon, Phys. Status Solidi C 2, 2874 (2005).
[CrossRef]

Lee, T.-X.

Lin, C.-Y.

Liou, B.-W.

K.-M. Uang, S.-J. Wang, S.-L. Chen, Y.-C. Yang, T.-M. Chen, and B.-W. Liou, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 45, 3436 (2006).
[CrossRef]

Lu, T. C.

C.-C. Kao, H. C. Kuo, K. F. Yeh, J. T. Chu, W. L. Peng, H. W. Huang, T. C. Lu, and S. C. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett. 19, 849 (2007).
[CrossRef]

Ma, S.-H.

Margalith, T.

O. B. Shchekin, J. E. Epler, T. A. Trottier, T. Margalith, D. A. Steigerwald, M. O. Holcomb, P. S. Martin, and M. R. Krames, Appl. Phys. Lett. 89, 071109 (2006).
[CrossRef]

Martin, P. S.

O. B. Shchekin, J. E. Epler, T. A. Trottier, T. Margalith, D. A. Steigerwald, M. O. Holcomb, P. S. Martin, and M. R. Krames, Appl. Phys. Lett. 89, 071109 (2006).
[CrossRef]

Matoba, K.

D. Morita, M. Yamamoto, K. Akaishi, K. Matoba, K. Yasutomo, Y. Kasai, M. Sano, S.-I. Nagahama, and T. Mukai, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 43, 5945 (2004).
[CrossRef]

Mei, P.

W. S. Wong, T. Sands, N. W. Cheung, M. Kneissl, D. P. Bour, P. Mei, L. T. Romano, and N. M. Johnson, Appl. Phys. Lett. 75, 1360 (1999).
[CrossRef]

Mishima, S.

H. Kasugai, Y. Miyake, A. Honshio, S. Mishima, T. Kawashima, K. Iida, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, and H. Shiomi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 7414 (2005).
[CrossRef]

Miyake, Y.

H. Kasugai, Y. Miyake, A. Honshio, S. Mishima, T. Kawashima, K. Iida, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, and H. Shiomi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 7414 (2005).
[CrossRef]

Moran, B.

A. David, T. Fujii, B. Moran, S. Nakamura, S. P. DenBaars, C. Weisbuch, and H. Benisty, Appl. Phys. Lett. 88, 133514 (2006).
[CrossRef]

Morita, D.

D. Morita, M. Yamamoto, K. Akaishi, K. Matoba, K. Yasutomo, Y. Kasai, M. Sano, S.-I. Nagahama, and T. Mukai, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 43, 5945 (2004).
[CrossRef]

Mukai, T.

D. Morita, M. Yamamoto, K. Akaishi, K. Matoba, K. Yasutomo, Y. Kasai, M. Sano, S.-I. Nagahama, and T. Mukai, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 43, 5945 (2004).
[CrossRef]

Nagahama, S.-I.

D. Morita, M. Yamamoto, K. Akaishi, K. Matoba, K. Yasutomo, Y. Kasai, M. Sano, S.-I. Nagahama, and T. Mukai, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 43, 5945 (2004).
[CrossRef]

Nakamura, S.

A. David, T. Fujii, B. Moran, S. Nakamura, S. P. DenBaars, C. Weisbuch, and H. Benisty, Appl. Phys. Lett. 88, 133514 (2006).
[CrossRef]

T. Fujii, Y. Gao, R. Sharma, E. L. Hu, S. P. DenBaars, and S. Nakamura, Appl. Phys. Lett. 84, 855 (2004).
[CrossRef]

Y. Gao, T. Fujii, R. Sharma, K. Fujito, S. P. Denbaars, S. Nakamura, and E. L. Hu, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 43, L637 (2004).
[CrossRef]

Park, Y.

H. Kim, K.-K. Kim, K.-K. Choi, H. Kim, J.-O. Song, J. Cho, K. H. Baik, C. Sone, Y. Park, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 91, 023510 (2007).
[CrossRef]

J. Cho, H. Kim, H. Kim, J. W. Lee, S. Yoon, C. Sone, Y. Park, and E. Yoon, Phys. Status Solidi C 2, 2874 (2005).
[CrossRef]

Peng, W. L.

C.-C. Kao, H. C. Kuo, K. F. Yeh, J. T. Chu, W. L. Peng, H. W. Huang, T. C. Lu, and S. C. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett. 19, 849 (2007).
[CrossRef]

Romano, L. T.

W. S. Wong, T. Sands, N. W. Cheung, M. Kneissl, D. P. Bour, P. Mei, L. T. Romano, and N. M. Johnson, Appl. Phys. Lett. 75, 1360 (1999).
[CrossRef]

Sands, T.

W. S. Wong, T. Sands, N. W. Cheung, M. Kneissl, D. P. Bour, P. Mei, L. T. Romano, and N. M. Johnson, Appl. Phys. Lett. 75, 1360 (1999).
[CrossRef]

Sano, M.

D. Morita, M. Yamamoto, K. Akaishi, K. Matoba, K. Yasutomo, Y. Kasai, M. Sano, S.-I. Nagahama, and T. Mukai, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 43, 5945 (2004).
[CrossRef]

Schubert, E. F.

E. F. Schubert, Light-Emitting Diodes, 2nd ed. (Cambridge, 2006).
[CrossRef]

Seong, T.-Y.

H. Kim, K.-K. Kim, K.-K. Choi, H. Kim, J.-O. Song, J. Cho, K. H. Baik, C. Sone, Y. Park, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 91, 023510 (2007).
[CrossRef]

Sharma, R.

Y. Gao, T. Fujii, R. Sharma, K. Fujito, S. P. Denbaars, S. Nakamura, and E. L. Hu, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 43, L637 (2004).
[CrossRef]

T. Fujii, Y. Gao, R. Sharma, E. L. Hu, S. P. DenBaars, and S. Nakamura, Appl. Phys. Lett. 84, 855 (2004).
[CrossRef]

Shchekin, O. B.

O. B. Shchekin, J. E. Epler, T. A. Trottier, T. Margalith, D. A. Steigerwald, M. O. Holcomb, P. S. Martin, and M. R. Krames, Appl. Phys. Lett. 89, 071109 (2006).
[CrossRef]

Shiomi, H.

H. Kasugai, Y. Miyake, A. Honshio, S. Mishima, T. Kawashima, K. Iida, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, and H. Shiomi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 7414 (2005).
[CrossRef]

Sone, C.

H. Kim, K.-K. Kim, K.-K. Choi, H. Kim, J.-O. Song, J. Cho, K. H. Baik, C. Sone, Y. Park, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 91, 023510 (2007).
[CrossRef]

J. Cho, H. Kim, H. Kim, J. W. Lee, S. Yoon, C. Sone, Y. Park, and E. Yoon, Phys. Status Solidi C 2, 2874 (2005).
[CrossRef]

Song, J.-O.

H. Kim, K.-K. Kim, K.-K. Choi, H. Kim, J.-O. Song, J. Cho, K. H. Baik, C. Sone, Y. Park, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 91, 023510 (2007).
[CrossRef]

Steigerwald, D. A.

O. B. Shchekin, J. E. Epler, T. A. Trottier, T. Margalith, D. A. Steigerwald, M. O. Holcomb, P. S. Martin, and M. R. Krames, Appl. Phys. Lett. 89, 071109 (2006).
[CrossRef]

Sun, C.-C.

Trottier, T. A.

O. B. Shchekin, J. E. Epler, T. A. Trottier, T. Margalith, D. A. Steigerwald, M. O. Holcomb, P. S. Martin, and M. R. Krames, Appl. Phys. Lett. 89, 071109 (2006).
[CrossRef]

Uang, K.-M.

K.-M. Uang, S.-J. Wang, S.-L. Chen, Y.-C. Yang, T.-M. Chen, and B.-W. Liou, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 45, 3436 (2006).
[CrossRef]

Wang, S. C.

C.-C. Kao, H. C. Kuo, K. F. Yeh, J. T. Chu, W. L. Peng, H. W. Huang, T. C. Lu, and S. C. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett. 19, 849 (2007).
[CrossRef]

Wang, S.-J.

K.-M. Uang, S.-J. Wang, S.-L. Chen, Y.-C. Yang, T.-M. Chen, and B.-W. Liou, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 45, 3436 (2006).
[CrossRef]

Wang, W. K.

W. K. Wang, S. Y. Huang, S. H. Huang, K. S. Wen, D. S. Wuu, and R. H. Horng, Appl. Phys. Lett. 88, 181113 (2006).
[CrossRef]

Weisbuch, C.

A. David, T. Fujii, B. Moran, S. Nakamura, S. P. DenBaars, C. Weisbuch, and H. Benisty, Appl. Phys. Lett. 88, 133514 (2006).
[CrossRef]

Wen, K. S.

W. K. Wang, S. Y. Huang, S. H. Huang, K. S. Wen, D. S. Wuu, and R. H. Horng, Appl. Phys. Lett. 88, 181113 (2006).
[CrossRef]

Wong, W. S.

W. S. Wong, T. Sands, N. W. Cheung, M. Kneissl, D. P. Bour, P. Mei, L. T. Romano, and N. M. Johnson, Appl. Phys. Lett. 75, 1360 (1999).
[CrossRef]

Wuu, D. S.

W. K. Wang, S. Y. Huang, S. H. Huang, K. S. Wen, D. S. Wuu, and R. H. Horng, Appl. Phys. Lett. 88, 181113 (2006).
[CrossRef]

Yamamoto, M.

D. Morita, M. Yamamoto, K. Akaishi, K. Matoba, K. Yasutomo, Y. Kasai, M. Sano, S.-I. Nagahama, and T. Mukai, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 43, 5945 (2004).
[CrossRef]

Yang, Y.-C.

K.-M. Uang, S.-J. Wang, S.-L. Chen, Y.-C. Yang, T.-M. Chen, and B.-W. Liou, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 45, 3436 (2006).
[CrossRef]

Yasutomo, K.

D. Morita, M. Yamamoto, K. Akaishi, K. Matoba, K. Yasutomo, Y. Kasai, M. Sano, S.-I. Nagahama, and T. Mukai, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 43, 5945 (2004).
[CrossRef]

Yeh, K. F.

C.-C. Kao, H. C. Kuo, K. F. Yeh, J. T. Chu, W. L. Peng, H. W. Huang, T. C. Lu, and S. C. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett. 19, 849 (2007).
[CrossRef]

Yoon, E.

J. Cho, H. Kim, H. Kim, J. W. Lee, S. Yoon, C. Sone, Y. Park, and E. Yoon, Phys. Status Solidi C 2, 2874 (2005).
[CrossRef]

Yoon, S.

J. Cho, H. Kim, H. Kim, J. W. Lee, S. Yoon, C. Sone, Y. Park, and E. Yoon, Phys. Status Solidi C 2, 2874 (2005).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett.

W. K. Wang, S. Y. Huang, S. H. Huang, K. S. Wen, D. S. Wuu, and R. H. Horng, Appl. Phys. Lett. 88, 181113 (2006).
[CrossRef]

A. David, T. Fujii, B. Moran, S. Nakamura, S. P. DenBaars, C. Weisbuch, and H. Benisty, Appl. Phys. Lett. 88, 133514 (2006).
[CrossRef]

H. Kim, K.-K. Kim, K.-K. Choi, H. Kim, J.-O. Song, J. Cho, K. H. Baik, C. Sone, Y. Park, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 91, 023510 (2007).
[CrossRef]

W. S. Wong, T. Sands, N. W. Cheung, M. Kneissl, D. P. Bour, P. Mei, L. T. Romano, and N. M. Johnson, Appl. Phys. Lett. 75, 1360 (1999).
[CrossRef]

T. Fujii, Y. Gao, R. Sharma, E. L. Hu, S. P. DenBaars, and S. Nakamura, Appl. Phys. Lett. 84, 855 (2004).
[CrossRef]

O. B. Shchekin, J. E. Epler, T. A. Trottier, T. Margalith, D. A. Steigerwald, M. O. Holcomb, P. S. Martin, and M. R. Krames, Appl. Phys. Lett. 89, 071109 (2006).
[CrossRef]

IEEE Photon. Technol. Lett.

C.-C. Kao, H. C. Kuo, K. F. Yeh, J. T. Chu, W. L. Peng, H. W. Huang, T. C. Lu, and S. C. Wang, IEEE Photon. Technol. Lett. 19, 849 (2007).
[CrossRef]

Jpn. J. Appl. Phys. Part 1

D. Morita, M. Yamamoto, K. Akaishi, K. Matoba, K. Yasutomo, Y. Kasai, M. Sano, S.-I. Nagahama, and T. Mukai, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 43, 5945 (2004).
[CrossRef]

K.-M. Uang, S.-J. Wang, S.-L. Chen, Y.-C. Yang, T.-M. Chen, and B.-W. Liou, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 45, 3436 (2006).
[CrossRef]

H. Kasugai, Y. Miyake, A. Honshio, S. Mishima, T. Kawashima, K. Iida, M. Iwaya, S. Kamiyama, H. Amano, I. Akasaki, H. Kinoshita, and H. Shiomi, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 44, 7414 (2005).
[CrossRef]

Jpn. J. Appl. Phys. Part 2

Y. Gao, T. Fujii, R. Sharma, K. Fujito, S. P. Denbaars, S. Nakamura, and E. L. Hu, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 43, L637 (2004).
[CrossRef]

Opt. Express

Phys. Status Solidi C

J. Cho, H. Kim, H. Kim, J. W. Lee, S. Yoon, C. Sone, Y. Park, and E. Yoon, Phys. Status Solidi C 2, 2874 (2005).
[CrossRef]

Other

E. F. Schubert, Light-Emitting Diodes, 2nd ed. (Cambridge, 2006).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1
Fig. 1

Size and density of the hexagonal cones formed on the N-polarity n - GaN surface as a function of the wet-etching time. The inset shows 1 μ m × 1 μ m SEM images of hexagonal cones generated for the etching times of 1, 3, and 5 h , respectively.

Fig. 2
Fig. 2

(a) Schematics of the LED used in the ray-tracing simulation. The calculated extraction efficiency of LEDs as a function of (b) etching time, (c) cone density, and (d) texturing method are shown.

Fig. 3
Fig. 3

SEM images of the hexagonal cones formed on (a) planar surface and corrugated surfaces with (b) hemispherical bumps or (c), (d) dimples. The inset of (c) shows a plan-view image after removing the corrugated sapphire substrate by laser lift-off.

Fig. 4
Fig. 4

L I characteristics of LEDs fabricated with various surface textures. The lower insets show plan-view images of LEDs chips, and the upper inset shows the enhancement factor of the output power as a function of the texturing method.

Metrics