Abstract

A new semiconductor photodetector design is reported. The PIN active area of the photodetector is fabricated on a sloping sidewall of a mesa structure. The photodetector is referred to as an edge-view photodetector (EVPD) and simplifies the integration of optical circuits by direct end coupling, eliminating the need for 45° mirrors. The EVPD geometry can reduce the cost of optical interconnects by simplifying the fabrication process and making possible automatic alignment between photodetectors and waveguides or optical fibers. The EVPD fabrication process and initial measurement results are presented. The main processing steps include deep anisotropic chemical etching, material growth, and lithography on a 3-D surface.

© 2007 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. D. A. B. Miller and H. M. Ozaktast, J. Parallel Distrib. Comput. 41, 42 (1997).
    [Crossref]
  2. F. J. Leonberger, in 1987 International Electron Devices Meeting (IEEE, 1987), pp. 222-224.
  3. A. F. Benner, M. Ignatowski, J. A. Kash, D. M. Kuchta, and M. B. Ritter, IBM J. Res. Dev. 49, 755 (2005).
    [Crossref]
  4. L. Dillner, R. Loow, E. Odling, E. Backlin, and T. Aggerstam, Proc. SPIE 4650, 23 (2002).
    [Crossref]
  5. J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.
  6. C. H. Seo, C. Kun-Mo, K. Saekyoung, H. S. Hwan, R. B. Sup, K. W. Hyo, K. Joon-Sung, K. Jang-Joo, and P. Hyo-Hoon, IEEE Trans. Adv. Packag. 28, 114 (2005).
    [Crossref]
  7. W. H. Wang, Y. Z. Tang, T. Li, Y. M. Wu, J. Y. Yang, and Y. L. Wang, Appl. Opt. 44, 2409 (2005).
    [Crossref] [PubMed]
  8. H. Fukano and Y. Matsuoka, J. Lightwave Technol. 18, 79 (2000).
    [Crossref]
  9. S. Adachi and K. Oe, J. Electrochem. Soc. 130, 2427 (1983).
    [Crossref]
  10. I. Barycka and I. Zubel, J. Mater. Sci. 22, 1299 (1987).
    [Crossref]
  11. S. Sugawara, K. Saito, J. Yamauchi, and M. Shoji, Jap. J. Appl. Phys. Part 1 40, 6792 (2001).
    [Crossref]
  12. B. L. Weiss, J. Mater. Sci. 11, 1569 (1976).
    [Crossref]
  13. G. Percin and B. T. Khuri-Yakub, IEEE Trans. Semicond. Manuf. 16, 452 (2003).
    [Crossref]
  14. S. Han, J. Derksen, and J.-H. Chun, IEEE Trans. Semicond. Manuf. 17, 12 (2004).
    [Crossref]
  15. N. P. Pham, E. Boellaard, J. N. Burghartz, and P. M. Sarro, J. Microelectromech. Syst. 13, 491 (2004).
    [Crossref]

2006 (1)

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

2005 (3)

C. H. Seo, C. Kun-Mo, K. Saekyoung, H. S. Hwan, R. B. Sup, K. W. Hyo, K. Joon-Sung, K. Jang-Joo, and P. Hyo-Hoon, IEEE Trans. Adv. Packag. 28, 114 (2005).
[Crossref]

A. F. Benner, M. Ignatowski, J. A. Kash, D. M. Kuchta, and M. B. Ritter, IBM J. Res. Dev. 49, 755 (2005).
[Crossref]

W. H. Wang, Y. Z. Tang, T. Li, Y. M. Wu, J. Y. Yang, and Y. L. Wang, Appl. Opt. 44, 2409 (2005).
[Crossref] [PubMed]

2004 (2)

S. Han, J. Derksen, and J.-H. Chun, IEEE Trans. Semicond. Manuf. 17, 12 (2004).
[Crossref]

N. P. Pham, E. Boellaard, J. N. Burghartz, and P. M. Sarro, J. Microelectromech. Syst. 13, 491 (2004).
[Crossref]

2003 (1)

G. Percin and B. T. Khuri-Yakub, IEEE Trans. Semicond. Manuf. 16, 452 (2003).
[Crossref]

2002 (1)

L. Dillner, R. Loow, E. Odling, E. Backlin, and T. Aggerstam, Proc. SPIE 4650, 23 (2002).
[Crossref]

2001 (1)

S. Sugawara, K. Saito, J. Yamauchi, and M. Shoji, Jap. J. Appl. Phys. Part 1 40, 6792 (2001).
[Crossref]

2000 (1)

1997 (1)

D. A. B. Miller and H. M. Ozaktast, J. Parallel Distrib. Comput. 41, 42 (1997).
[Crossref]

1987 (2)

F. J. Leonberger, in 1987 International Electron Devices Meeting (IEEE, 1987), pp. 222-224.

I. Barycka and I. Zubel, J. Mater. Sci. 22, 1299 (1987).
[Crossref]

1983 (1)

S. Adachi and K. Oe, J. Electrochem. Soc. 130, 2427 (1983).
[Crossref]

1976 (1)

B. L. Weiss, J. Mater. Sci. 11, 1569 (1976).
[Crossref]

Adachi, S.

S. Adachi and K. Oe, J. Electrochem. Soc. 130, 2427 (1983).
[Crossref]

Aggerstam, T.

L. Dillner, R. Loow, E. Odling, E. Backlin, and T. Aggerstam, Proc. SPIE 4650, 23 (2002).
[Crossref]

Backlin, E.

L. Dillner, R. Loow, E. Odling, E. Backlin, and T. Aggerstam, Proc. SPIE 4650, 23 (2002).
[Crossref]

Baks, C. W.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Barycka, I.

I. Barycka and I. Zubel, J. Mater. Sci. 22, 1299 (1987).
[Crossref]

Benner, A. F.

A. F. Benner, M. Ignatowski, J. A. Kash, D. M. Kuchta, and M. B. Ritter, IBM J. Res. Dev. 49, 755 (2005).
[Crossref]

Boellaard, E.

N. P. Pham, E. Boellaard, J. N. Burghartz, and P. M. Sarro, J. Microelectromech. Syst. 13, 491 (2004).
[Crossref]

Bour, D.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Budd, R. A.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Burghartz, J. N.

N. P. Pham, E. Boellaard, J. N. Burghartz, and P. M. Sarro, J. Microelectromech. Syst. 13, 491 (2004).
[Crossref]

Chiniwalla, P.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Chun, J.-H.

S. Han, J. Derksen, and J.-H. Chun, IEEE Trans. Semicond. Manuf. 17, 12 (2004).
[Crossref]

Dangel, R.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Derksen, J.

S. Han, J. Derksen, and J.-H. Chun, IEEE Trans. Semicond. Manuf. 17, 12 (2004).
[Crossref]

Dillner, L.

L. Dillner, R. Loow, E. Odling, E. Backlin, and T. Aggerstam, Proc. SPIE 4650, 23 (2002).
[Crossref]

Doany, F. E.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Dolfi, D. W.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Fukano, H.

Guckenberger, D.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Han, S.

S. Han, J. Derksen, and J.-H. Chun, IEEE Trans. Semicond. Manuf. 17, 12 (2004).
[Crossref]

Hedge, S.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Horst, F.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Hwan, H. S.

C. H. Seo, C. Kun-Mo, K. Saekyoung, H. S. Hwan, R. B. Sup, K. W. Hyo, K. Joon-Sung, K. Jang-Joo, and P. Hyo-Hoon, IEEE Trans. Adv. Packag. 28, 114 (2005).
[Crossref]

Hyo, K. W.

C. H. Seo, C. Kun-Mo, K. Saekyoung, H. S. Hwan, R. B. Sup, K. W. Hyo, K. Joon-Sung, K. Jang-Joo, and P. Hyo-Hoon, IEEE Trans. Adv. Packag. 28, 114 (2005).
[Crossref]

Hyo-Hoon, P.

C. H. Seo, C. Kun-Mo, K. Saekyoung, H. S. Hwan, R. B. Sup, K. W. Hyo, K. Joon-Sung, K. Jang-Joo, and P. Hyo-Hoon, IEEE Trans. Adv. Packag. 28, 114 (2005).
[Crossref]

Ignatowski, M.

A. F. Benner, M. Ignatowski, J. A. Kash, D. M. Kuchta, and M. B. Ritter, IBM J. Res. Dev. 49, 755 (2005).
[Crossref]

Jang-Joo, K.

C. H. Seo, C. Kun-Mo, K. Saekyoung, H. S. Hwan, R. B. Sup, K. W. Hyo, K. Joon-Sung, K. Jang-Joo, and P. Hyo-Hoon, IEEE Trans. Adv. Packag. 28, 114 (2005).
[Crossref]

John, R. A.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Joon-Sung, K.

C. H. Seo, C. Kun-Mo, K. Saekyoung, H. S. Hwan, R. B. Sup, K. W. Hyo, K. Joon-Sung, K. Jang-Joo, and P. Hyo-Hoon, IEEE Trans. Adv. Packag. 28, 114 (2005).
[Crossref]

Kash, J. A.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

A. F. Benner, M. Ignatowski, J. A. Kash, D. M. Kuchta, and M. B. Ritter, IBM J. Res. Dev. 49, 755 (2005).
[Crossref]

Khuri-Yakub, B. T.

G. Percin and B. T. Khuri-Yakub, IEEE Trans. Semicond. Manuf. 16, 452 (2003).
[Crossref]

Kucharski, D.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Kuchta, D. M.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

A. F. Benner, M. Ignatowski, J. A. Kash, D. M. Kuchta, and M. B. Ritter, IBM J. Res. Dev. 49, 755 (2005).
[Crossref]

Kun-Mo, C.

C. H. Seo, C. Kun-Mo, K. Saekyoung, H. S. Hwan, R. B. Sup, K. W. Hyo, K. Joon-Sung, K. Jang-Joo, and P. Hyo-Hoon, IEEE Trans. Adv. Packag. 28, 114 (2005).
[Crossref]

Kwark, Y. H.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Leonberger, F. J.

F. J. Leonberger, in 1987 International Electron Devices Meeting (IEEE, 1987), pp. 222-224.

Li, T.

Libsch, F. R.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Lin, C. K.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Loow, R.

L. Dillner, R. Loow, E. Odling, E. Backlin, and T. Aggerstam, Proc. SPIE 4650, 23 (2002).
[Crossref]

Matsuoka, Y.

Miller, D. A. B.

D. A. B. Miller and H. M. Ozaktast, J. Parallel Distrib. Comput. 41, 42 (1997).
[Crossref]

Nyikal, H.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Nystrom, M.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Odling, E.

L. Dillner, R. Loow, E. Odling, E. Backlin, and T. Aggerstam, Proc. SPIE 4650, 23 (2002).
[Crossref]

Oe, K.

S. Adachi and K. Oe, J. Electrochem. Soc. 130, 2427 (1983).
[Crossref]

Offrein, B. J.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Ozaktast, H. M.

D. A. B. Miller and H. M. Ozaktast, J. Parallel Distrib. Comput. 41, 42 (1997).
[Crossref]

Patel, C. S.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Pepeljugoski, P. K.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Percin, G.

G. Percin and B. T. Khuri-Yakub, IEEE Trans. Semicond. Manuf. 16, 452 (2003).
[Crossref]

Pham, N. P.

N. P. Pham, E. Boellaard, J. N. Burghartz, and P. M. Sarro, J. Microelectromech. Syst. 13, 491 (2004).
[Crossref]

Ritter, M. B.

A. F. Benner, M. Ignatowski, J. A. Kash, D. M. Kuchta, and M. B. Ritter, IBM J. Res. Dev. 49, 755 (2005).
[Crossref]

Rosner, J.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Saekyoung, K.

C. H. Seo, C. Kun-Mo, K. Saekyoung, H. S. Hwan, R. B. Sup, K. W. Hyo, K. Joon-Sung, K. Jang-Joo, and P. Hyo-Hoon, IEEE Trans. Adv. Packag. 28, 114 (2005).
[Crossref]

Saito, K.

S. Sugawara, K. Saito, J. Yamauchi, and M. Shoji, Jap. J. Appl. Phys. Part 1 40, 6792 (2001).
[Crossref]

Sarro, P. M.

N. P. Pham, E. Boellaard, J. N. Burghartz, and P. M. Sarro, J. Microelectromech. Syst. 13, 491 (2004).
[Crossref]

Schares, L.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Schaub, J. D.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Schow, C. L.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Schuster, C.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Seo, C. H.

C. H. Seo, C. Kun-Mo, K. Saekyoung, H. S. Hwan, R. B. Sup, K. W. Hyo, K. Joon-Sung, K. Jang-Joo, and P. Hyo-Hoon, IEEE Trans. Adv. Packag. 28, 114 (2005).
[Crossref]

Shan, J. L.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Shoji, M.

S. Sugawara, K. Saito, J. Yamauchi, and M. Shoji, Jap. J. Appl. Phys. Part 1 40, 6792 (2001).
[Crossref]

Sugawara, S.

S. Sugawara, K. Saito, J. Yamauchi, and M. Shoji, Jap. J. Appl. Phys. Part 1 40, 6792 (2001).
[Crossref]

Sup, R. B.

C. H. Seo, C. Kun-Mo, K. Saekyoung, H. S. Hwan, R. B. Sup, K. W. Hyo, K. Joon-Sung, K. Jang-Joo, and P. Hyo-Hoon, IEEE Trans. Adv. Packag. 28, 114 (2005).
[Crossref]

Tan, M. R. T.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Tandon, A.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Tang, Y. Z.

Trewhella, J. M.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Trott, G. R.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Tsang, C. K.

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

Wang, W. H.

Wang, Y. L.

Weiss, B. L.

B. L. Weiss, J. Mater. Sci. 11, 1569 (1976).
[Crossref]

Wu, Y. M.

Yamauchi, J.

S. Sugawara, K. Saito, J. Yamauchi, and M. Shoji, Jap. J. Appl. Phys. Part 1 40, 6792 (2001).
[Crossref]

Yang, J. Y.

Zubel, I.

I. Barycka and I. Zubel, J. Mater. Sci. 22, 1299 (1987).
[Crossref]

Appl. Opt. (1)

IBM J. Res. Dev. (1)

A. F. Benner, M. Ignatowski, J. A. Kash, D. M. Kuchta, and M. B. Ritter, IBM J. Res. Dev. 49, 755 (2005).
[Crossref]

IEEE Trans. Adv. Packag. (1)

C. H. Seo, C. Kun-Mo, K. Saekyoung, H. S. Hwan, R. B. Sup, K. W. Hyo, K. Joon-Sung, K. Jang-Joo, and P. Hyo-Hoon, IEEE Trans. Adv. Packag. 28, 114 (2005).
[Crossref]

IEEE Trans. Semicond. Manuf. (2)

G. Percin and B. T. Khuri-Yakub, IEEE Trans. Semicond. Manuf. 16, 452 (2003).
[Crossref]

S. Han, J. Derksen, and J.-H. Chun, IEEE Trans. Semicond. Manuf. 17, 12 (2004).
[Crossref]

J. Electrochem. Soc. (1)

S. Adachi and K. Oe, J. Electrochem. Soc. 130, 2427 (1983).
[Crossref]

J. Lightwave Technol. (1)

J. Mater. Sci. (2)

I. Barycka and I. Zubel, J. Mater. Sci. 22, 1299 (1987).
[Crossref]

B. L. Weiss, J. Mater. Sci. 11, 1569 (1976).
[Crossref]

J. Microelectromech. Syst. (1)

N. P. Pham, E. Boellaard, J. N. Burghartz, and P. M. Sarro, J. Microelectromech. Syst. 13, 491 (2004).
[Crossref]

J. Parallel Distrib. Comput. (1)

D. A. B. Miller and H. M. Ozaktast, J. Parallel Distrib. Comput. 41, 42 (1997).
[Crossref]

Jap. J. Appl. Phys. Part 1 (1)

S. Sugawara, K. Saito, J. Yamauchi, and M. Shoji, Jap. J. Appl. Phys. Part 1 40, 6792 (2001).
[Crossref]

Proc. SPIE (1)

L. Dillner, R. Loow, E. Odling, E. Backlin, and T. Aggerstam, Proc. SPIE 4650, 23 (2002).
[Crossref]

Other (2)

J. A. Kash, F. E. Doany, L. Schares, C. L. Schow, C. Schuster, D. M. Kuchta, P. K. Pepeljugoski, J. M. Trewhella, C. W. Baks, R. A. John, J. L. Shan, Y. H. Kwark, R. A. Budd, P. Chiniwalla, F. R. Libsch, J. Rosner, C. K. Tsang, C. S. Patel, J. D. Schaub, D. Kucharski, D. Guckenberger, S. Hedge, H. Nyikal, R. Dangel, F. Horst, B. J. Offrein, C. K. Lin, A. Tandon, G. R. Trott, M. Nystrom, D. Bour, M. R. T. Tan, and D. W. Dolfi, in Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2006), p. 3.

F. J. Leonberger, in 1987 International Electron Devices Meeting (IEEE, 1987), pp. 222-224.

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (5)

Fig. 1
Fig. 1

(a) Conventional coupling of wave-guided light into a conventional PD requiring additional components and optical alignment. (b) Schematic structure of the EVPD and end-coupling to a waveguide.

Fig. 2
Fig. 2

(a) SEM image of a V-groove etched in a H 2 SO 4 + H 2 O 2 + H 2 O system. (b) SEM image of a sloped surface.

Fig. 3
Fig. 3

Microphotoluminescence spectrum obtained from the epitaxial layer grown on the mesa wall slope.

Fig. 4
Fig. 4

EVPD anode pad structure (a) on the mesa top and (b) on the mesa wall. The two center contacts form the anode for the active area in the center. The two outer contacts are part of adjacent EVPDs.

Fig. 5
Fig. 5

(a) DC bias characteristics of an EVPD. (b) Photocurrent of the EVPD excited by the optical power from an 850 nm VCSEL.

Metrics