Abstract

A thin Sn film was investigated as a mass-limited target for an extreme ultraviolet (EUV) lithography source. It was found that those energetic ions that are intrinsic with the mass-limited Sn target could be efficiently mitigated by introducing a low-energy prepulse. High in-band conversion efficiency from a laser to 13.5nm EUV light could be obtained using an Sn film with a thickness down to 30nm when irradiated by dual laser pulses. It was shown that the combination of dual pulse and inert Ar gas could fully mitigate ions with a low ambient pressure nearly without the penalty of the absorption of the EUV light.

© 2007 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. P. J. Silverman, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 4, 011006 (2005).
    [CrossRef]
  2. R. Hartman, The Proceedings of the 5th International EUVL Symposium, Barcelona, Spain, October 8-10 (SEMATECH, 2006), https://www.sematech.org/7870/.
  3. Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
    [CrossRef]
  4. Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
    [CrossRef]
  5. K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
    [CrossRef]
  6. S. S. Harilal, M. S. Tillack, Y. Tao, B. O'Shay, R. Paguio, and A. Nikroo, Opt. Lett. 31, 1549 (2006).
    [CrossRef] [PubMed]
  7. M. Richardson, C. Koay, K. Takenoshita, C. Keyser, and M. Al-Rabban, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 785 (2004).
    [CrossRef]
  8. T. Higashiguchi, N. Dojyo, M. Hamada, W. Sasaki, and S. Kubodera, Appl. Phys. Lett. 88, 201503 (2006).
    [CrossRef]
  9. G. O'Sullivan, A. Cummings, G. Duffy, P. Dunne, A. Fitzpatrick, P. Hayden, L. McKinney, N. Murphy, D. O'Reilly, E. Sokell, and J. White, Proc. SPIE 5196, 273 (2004).
    [CrossRef]
  10. P. A. C. Jansson, B. A. M. Hansson, O. Hemberg, M. Otendal, A. Holmberg, J. de Groot, and H. M. Hertz, Appl. Phys. Lett. 84, 2256 (2004).
    [CrossRef]
  11. S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, M. Murakami, Y.-G. Kang, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, K. Mima, Y. Shimada, A. Sunahara, and H. Furukawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241503 (2005).
    [CrossRef]
  12. P. Mora, Phys. Rev. Lett. 90, 185002 (2003).
    [CrossRef] [PubMed]
  13. J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, B. J. Rice, R. Bristol, D. Rokusek, W. Lytle, B. J. Heuser, M. M. C. Allain, H. Ju, and C. Chrobak, Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
    [CrossRef]
  14. Y. Tao and M. S. Tillack, Appl. Phys. Lett. 89, 111501 (2006).
    [CrossRef]
  15. Y. Tao, M. S. Tillack, S. S. Harilal, K. L. Sequoia, and F. Najmabadi, J. Appl. Phys. 101, 023305 (2007).
    [CrossRef]
  16. S. S. Harilal, B. O'Shay, Y. Tao, and M. S. Tillack, J. Appl. Phys. 99, 083303 (2006).
    [CrossRef]
  17. J. F. Ziegler, J. Appl. Phys. 85, 1249 (1999).
    [CrossRef]
  18. http://www-cxro.Ibl.gov/optical_constants/.

2007

Y. Tao, M. S. Tillack, S. S. Harilal, K. L. Sequoia, and F. Najmabadi, J. Appl. Phys. 101, 023305 (2007).
[CrossRef]

2006

S. S. Harilal, B. O'Shay, Y. Tao, and M. S. Tillack, J. Appl. Phys. 99, 083303 (2006).
[CrossRef]

T. Higashiguchi, N. Dojyo, M. Hamada, W. Sasaki, and S. Kubodera, Appl. Phys. Lett. 88, 201503 (2006).
[CrossRef]

K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
[CrossRef]

S. S. Harilal, M. S. Tillack, Y. Tao, B. O'Shay, R. Paguio, and A. Nikroo, Opt. Lett. 31, 1549 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Tao and M. S. Tillack, Appl. Phys. Lett. 89, 111501 (2006).
[CrossRef]

2005

P. J. Silverman, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 4, 011006 (2005).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, M. Murakami, Y.-G. Kang, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, K. Mima, Y. Shimada, A. Sunahara, and H. Furukawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241503 (2005).
[CrossRef]

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, B. J. Rice, R. Bristol, D. Rokusek, W. Lytle, B. J. Heuser, M. M. C. Allain, H. Ju, and C. Chrobak, Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

2004

M. Richardson, C. Koay, K. Takenoshita, C. Keyser, and M. Al-Rabban, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 785 (2004).
[CrossRef]

G. O'Sullivan, A. Cummings, G. Duffy, P. Dunne, A. Fitzpatrick, P. Hayden, L. McKinney, N. Murphy, D. O'Reilly, E. Sokell, and J. White, Proc. SPIE 5196, 273 (2004).
[CrossRef]

P. A. C. Jansson, B. A. M. Hansson, O. Hemberg, M. Otendal, A. Holmberg, J. de Groot, and H. M. Hertz, Appl. Phys. Lett. 84, 2256 (2004).
[CrossRef]

2003

P. Mora, Phys. Rev. Lett. 90, 185002 (2003).
[CrossRef] [PubMed]

1999

J. F. Ziegler, J. Appl. Phys. 85, 1249 (1999).
[CrossRef]

Allain, J. P.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, B. J. Rice, R. Bristol, D. Rokusek, W. Lytle, B. J. Heuser, M. M. C. Allain, H. Ju, and C. Chrobak, Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Allain, M. M. C.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, B. J. Rice, R. Bristol, D. Rokusek, W. Lytle, B. J. Heuser, M. M. C. Allain, H. Ju, and C. Chrobak, Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Al-Rabban, M.

M. Richardson, C. Koay, K. Takenoshita, C. Keyser, and M. Al-Rabban, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 785 (2004).
[CrossRef]

Bristol, R.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, B. J. Rice, R. Bristol, D. Rokusek, W. Lytle, B. J. Heuser, M. M. C. Allain, H. Ju, and C. Chrobak, Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Chrobak, C.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, B. J. Rice, R. Bristol, D. Rokusek, W. Lytle, B. J. Heuser, M. M. C. Allain, H. Ju, and C. Chrobak, Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Cummings, A.

G. O'Sullivan, A. Cummings, G. Duffy, P. Dunne, A. Fitzpatrick, P. Hayden, L. McKinney, N. Murphy, D. O'Reilly, E. Sokell, and J. White, Proc. SPIE 5196, 273 (2004).
[CrossRef]

de Groot, J.

P. A. C. Jansson, B. A. M. Hansson, O. Hemberg, M. Otendal, A. Holmberg, J. de Groot, and H. M. Hertz, Appl. Phys. Lett. 84, 2256 (2004).
[CrossRef]

Dojyo, N.

T. Higashiguchi, N. Dojyo, M. Hamada, W. Sasaki, and S. Kubodera, Appl. Phys. Lett. 88, 201503 (2006).
[CrossRef]

Duffy, G.

G. O'Sullivan, A. Cummings, G. Duffy, P. Dunne, A. Fitzpatrick, P. Hayden, L. McKinney, N. Murphy, D. O'Reilly, E. Sokell, and J. White, Proc. SPIE 5196, 273 (2004).
[CrossRef]

Dunne, P.

G. O'Sullivan, A. Cummings, G. Duffy, P. Dunne, A. Fitzpatrick, P. Hayden, L. McKinney, N. Murphy, D. O'Reilly, E. Sokell, and J. White, Proc. SPIE 5196, 273 (2004).
[CrossRef]

Fitzpatrick, A.

G. O'Sullivan, A. Cummings, G. Duffy, P. Dunne, A. Fitzpatrick, P. Hayden, L. McKinney, N. Murphy, D. O'Reilly, E. Sokell, and J. White, Proc. SPIE 5196, 273 (2004).
[CrossRef]

Fujioka, S.

K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, M. Murakami, Y.-G. Kang, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, K. Mima, Y. Shimada, A. Sunahara, and H. Furukawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241503 (2005).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

Furukawa, H.

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, M. Murakami, Y.-G. Kang, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, K. Mima, Y. Shimada, A. Sunahara, and H. Furukawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241503 (2005).
[CrossRef]

Gu, Q.

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, M. Murakami, Y.-G. Kang, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, K. Mima, Y. Shimada, A. Sunahara, and H. Furukawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241503 (2005).
[CrossRef]

Gu, Q. C.

K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
[CrossRef]

Gu, Z. Z.

K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
[CrossRef]

Hamada, M.

T. Higashiguchi, N. Dojyo, M. Hamada, W. Sasaki, and S. Kubodera, Appl. Phys. Lett. 88, 201503 (2006).
[CrossRef]

Hansson, B. A. M.

P. A. C. Jansson, B. A. M. Hansson, O. Hemberg, M. Otendal, A. Holmberg, J. de Groot, and H. M. Hertz, Appl. Phys. Lett. 84, 2256 (2004).
[CrossRef]

Harilal, S. S.

Y. Tao, M. S. Tillack, S. S. Harilal, K. L. Sequoia, and F. Najmabadi, J. Appl. Phys. 101, 023305 (2007).
[CrossRef]

S. S. Harilal, B. O'Shay, Y. Tao, and M. S. Tillack, J. Appl. Phys. 99, 083303 (2006).
[CrossRef]

S. S. Harilal, M. S. Tillack, Y. Tao, B. O'Shay, R. Paguio, and A. Nikroo, Opt. Lett. 31, 1549 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Hartman, R.

R. Hartman, The Proceedings of the 5th International EUVL Symposium, Barcelona, Spain, October 8-10 (SEMATECH, 2006), https://www.sematech.org/7870/.

Hashimoto, K.

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Hassanein, A.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, B. J. Rice, R. Bristol, D. Rokusek, W. Lytle, B. J. Heuser, M. M. C. Allain, H. Ju, and C. Chrobak, Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Hayden, P.

G. O'Sullivan, A. Cummings, G. Duffy, P. Dunne, A. Fitzpatrick, P. Hayden, L. McKinney, N. Murphy, D. O'Reilly, E. Sokell, and J. White, Proc. SPIE 5196, 273 (2004).
[CrossRef]

Hemberg, O.

P. A. C. Jansson, B. A. M. Hansson, O. Hemberg, M. Otendal, A. Holmberg, J. de Groot, and H. M. Hertz, Appl. Phys. Lett. 84, 2256 (2004).
[CrossRef]

Hertz, H. M.

P. A. C. Jansson, B. A. M. Hansson, O. Hemberg, M. Otendal, A. Holmberg, J. de Groot, and H. M. Hertz, Appl. Phys. Lett. 84, 2256 (2004).
[CrossRef]

Heuser, B. J.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, B. J. Rice, R. Bristol, D. Rokusek, W. Lytle, B. J. Heuser, M. M. C. Allain, H. Ju, and C. Chrobak, Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Higashiguchi, T.

T. Higashiguchi, N. Dojyo, M. Hamada, W. Sasaki, and S. Kubodera, Appl. Phys. Lett. 88, 201503 (2006).
[CrossRef]

Hinson, E.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, B. J. Rice, R. Bristol, D. Rokusek, W. Lytle, B. J. Heuser, M. M. C. Allain, H. Ju, and C. Chrobak, Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Holmberg, A.

P. A. C. Jansson, B. A. M. Hansson, O. Hemberg, M. Otendal, A. Holmberg, J. de Groot, and H. M. Hertz, Appl. Phys. Lett. 84, 2256 (2004).
[CrossRef]

Izawa, Y.

K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, M. Murakami, Y.-G. Kang, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, K. Mima, Y. Shimada, A. Sunahara, and H. Furukawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241503 (2005).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

Jansson, P. A. C.

P. A. C. Jansson, B. A. M. Hansson, O. Hemberg, M. Otendal, A. Holmberg, J. de Groot, and H. M. Hertz, Appl. Phys. Lett. 84, 2256 (2004).
[CrossRef]

Ju, H.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, B. J. Rice, R. Bristol, D. Rokusek, W. Lytle, B. J. Heuser, M. M. C. Allain, H. Ju, and C. Chrobak, Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Kang, Y.-G.

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, M. Murakami, Y.-G. Kang, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, K. Mima, Y. Shimada, A. Sunahara, and H. Furukawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241503 (2005).
[CrossRef]

Kawamura, T.

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Keyser, C.

M. Richardson, C. Koay, K. Takenoshita, C. Keyser, and M. Al-Rabban, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 785 (2004).
[CrossRef]

Koay, C.

M. Richardson, C. Koay, K. Takenoshita, C. Keyser, and M. Al-Rabban, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 785 (2004).
[CrossRef]

Kubodera, S.

T. Higashiguchi, N. Dojyo, M. Hamada, W. Sasaki, and S. Kubodera, Appl. Phys. Lett. 88, 201503 (2006).
[CrossRef]

Lytle, W.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, B. J. Rice, R. Bristol, D. Rokusek, W. Lytle, B. J. Heuser, M. M. C. Allain, H. Ju, and C. Chrobak, Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

McKinney, L.

G. O'Sullivan, A. Cummings, G. Duffy, P. Dunne, A. Fitzpatrick, P. Hayden, L. McKinney, N. Murphy, D. O'Reilly, E. Sokell, and J. White, Proc. SPIE 5196, 273 (2004).
[CrossRef]

Mima, K.

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, M. Murakami, Y.-G. Kang, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, K. Mima, Y. Shimada, A. Sunahara, and H. Furukawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241503 (2005).
[CrossRef]

Miyanaga, N.

K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, M. Murakami, Y.-G. Kang, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, K. Mima, Y. Shimada, A. Sunahara, and H. Furukawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241503 (2005).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

Mora, P.

P. Mora, Phys. Rev. Lett. 90, 185002 (2003).
[CrossRef] [PubMed]

Murakami, M.

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, M. Murakami, Y.-G. Kang, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, K. Mima, Y. Shimada, A. Sunahara, and H. Furukawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241503 (2005).
[CrossRef]

Murphy, N.

G. O'Sullivan, A. Cummings, G. Duffy, P. Dunne, A. Fitzpatrick, P. Hayden, L. McKinney, N. Murphy, D. O'Reilly, E. Sokell, and J. White, Proc. SPIE 5196, 273 (2004).
[CrossRef]

Nagai, K.

K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, M. Murakami, Y.-G. Kang, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, K. Mima, Y. Shimada, A. Sunahara, and H. Furukawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241503 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

Najmabadi, F.

Y. Tao, M. S. Tillack, S. S. Harilal, K. L. Sequoia, and F. Najmabadi, J. Appl. Phys. 101, 023305 (2007).
[CrossRef]

Nakai, M.

K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

Nakatsuka, M.

K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
[CrossRef]

Nieto, M.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, B. J. Rice, R. Bristol, D. Rokusek, W. Lytle, B. J. Heuser, M. M. C. Allain, H. Ju, and C. Chrobak, Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Nikroo, A.

Nishihara, K.

K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, M. Murakami, Y.-G. Kang, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, K. Mima, Y. Shimada, A. Sunahara, and H. Furukawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241503 (2005).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

Nishimura, H.

K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, M. Murakami, Y.-G. Kang, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, K. Mima, Y. Shimada, A. Sunahara, and H. Furukawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241503 (2005).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

Norimatsu, T.

K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, M. Murakami, Y.-G. Kang, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, K. Mima, Y. Shimada, A. Sunahara, and H. Furukawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241503 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

Okuno, T.

K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

O'Reilly, D.

G. O'Sullivan, A. Cummings, G. Duffy, P. Dunne, A. Fitzpatrick, P. Hayden, L. McKinney, N. Murphy, D. O'Reilly, E. Sokell, and J. White, Proc. SPIE 5196, 273 (2004).
[CrossRef]

O'Shay, B.

O'Sullivan, G.

G. O'Sullivan, A. Cummings, G. Duffy, P. Dunne, A. Fitzpatrick, P. Hayden, L. McKinney, N. Murphy, D. O'Reilly, E. Sokell, and J. White, Proc. SPIE 5196, 273 (2004).
[CrossRef]

Otendal, M.

P. A. C. Jansson, B. A. M. Hansson, O. Hemberg, M. Otendal, A. Holmberg, J. de Groot, and H. M. Hertz, Appl. Phys. Lett. 84, 2256 (2004).
[CrossRef]

Paguio, R.

Plotkin, P.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, B. J. Rice, R. Bristol, D. Rokusek, W. Lytle, B. J. Heuser, M. M. C. Allain, H. Ju, and C. Chrobak, Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Rice, B. J.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, B. J. Rice, R. Bristol, D. Rokusek, W. Lytle, B. J. Heuser, M. M. C. Allain, H. Ju, and C. Chrobak, Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Richardson, M.

M. Richardson, C. Koay, K. Takenoshita, C. Keyser, and M. Al-Rabban, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 785 (2004).
[CrossRef]

Rokusek, D.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, B. J. Rice, R. Bristol, D. Rokusek, W. Lytle, B. J. Heuser, M. M. C. Allain, H. Ju, and C. Chrobak, Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Sasaki, W.

T. Higashiguchi, N. Dojyo, M. Hamada, W. Sasaki, and S. Kubodera, Appl. Phys. Lett. 88, 201503 (2006).
[CrossRef]

Sequoia, K. L.

Y. Tao, M. S. Tillack, S. S. Harilal, K. L. Sequoia, and F. Najmabadi, J. Appl. Phys. 101, 023305 (2007).
[CrossRef]

Shigemori, K.

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Shimada, Y.

K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, M. Murakami, Y.-G. Kang, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, K. Mima, Y. Shimada, A. Sunahara, and H. Furukawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241503 (2005).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Silverman, P. J.

P. J. Silverman, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 4, 011006 (2005).
[CrossRef]

Sokell, E.

G. O'Sullivan, A. Cummings, G. Duffy, P. Dunne, A. Fitzpatrick, P. Hayden, L. McKinney, N. Murphy, D. O'Reilly, E. Sokell, and J. White, Proc. SPIE 5196, 273 (2004).
[CrossRef]

Sunahara, A.

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, M. Murakami, Y.-G. Kang, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, K. Mima, Y. Shimada, A. Sunahara, and H. Furukawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241503 (2005).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Takenoshita, K.

M. Richardson, C. Koay, K. Takenoshita, C. Keyser, and M. Al-Rabban, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 785 (2004).
[CrossRef]

Tao, Y.

Y. Tao, M. S. Tillack, S. S. Harilal, K. L. Sequoia, and F. Najmabadi, J. Appl. Phys. 101, 023305 (2007).
[CrossRef]

S. S. Harilal, B. O'Shay, Y. Tao, and M. S. Tillack, J. Appl. Phys. 99, 083303 (2006).
[CrossRef]

Y. Tao and M. S. Tillack, Appl. Phys. Lett. 89, 111501 (2006).
[CrossRef]

S. S. Harilal, M. S. Tillack, Y. Tao, B. O'Shay, R. Paguio, and A. Nikroo, Opt. Lett. 31, 1549 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

Tao, Y. Z.

K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
[CrossRef]

Tillack, M. S.

Y. Tao, M. S. Tillack, S. S. Harilal, K. L. Sequoia, and F. Najmabadi, J. Appl. Phys. 101, 023305 (2007).
[CrossRef]

Y. Tao and M. S. Tillack, Appl. Phys. Lett. 89, 111501 (2006).
[CrossRef]

S. S. Harilal, B. O'Shay, Y. Tao, and M. S. Tillack, J. Appl. Phys. 99, 083303 (2006).
[CrossRef]

S. S. Harilal, M. S. Tillack, Y. Tao, B. O'Shay, R. Paguio, and A. Nikroo, Opt. Lett. 31, 1549 (2006).
[CrossRef] [PubMed]

Titov, V.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, B. J. Rice, R. Bristol, D. Rokusek, W. Lytle, B. J. Heuser, M. M. C. Allain, H. Ju, and C. Chrobak, Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Uchida, S.

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Ueda, N.

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

White, J.

G. O'Sullivan, A. Cummings, G. Duffy, P. Dunne, A. Fitzpatrick, P. Hayden, L. McKinney, N. Murphy, D. O'Reilly, E. Sokell, and J. White, Proc. SPIE 5196, 273 (2004).
[CrossRef]

Yamanaka, C.

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Yamaura, M.

K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Yasuda, Y.

K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
[CrossRef]

Yoshida, H.

K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
[CrossRef]

Ziegler, J. F.

J. F. Ziegler, J. Appl. Phys. 85, 1249 (1999).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett.

P. A. C. Jansson, B. A. M. Hansson, O. Hemberg, M. Otendal, A. Holmberg, J. de Groot, and H. M. Hertz, Appl. Phys. Lett. 84, 2256 (2004).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, M. Murakami, Y.-G. Kang, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, K. Mima, Y. Shimada, A. Sunahara, and H. Furukawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241503 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao and M. S. Tillack, Appl. Phys. Lett. 89, 111501 (2006).
[CrossRef]

T. Higashiguchi, N. Dojyo, M. Hamada, W. Sasaki, and S. Kubodera, Appl. Phys. Lett. 88, 201503 (2006).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

K. Nagai, Q. C. Gu, Z. Z. Gu, T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Z. Tao, Y. Yasuda, M. Nakai, T. Norimatsu, Y. Shimada, M. Yamaura, H. Yoshida, M. Nakatsuka, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 88, 094102 (2006).
[CrossRef]

J. Appl. Phys.

Y. Tao, M. S. Tillack, S. S. Harilal, K. L. Sequoia, and F. Najmabadi, J. Appl. Phys. 101, 023305 (2007).
[CrossRef]

S. S. Harilal, B. O'Shay, Y. Tao, and M. S. Tillack, J. Appl. Phys. 99, 083303 (2006).
[CrossRef]

J. F. Ziegler, J. Appl. Phys. 85, 1249 (1999).
[CrossRef]

J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst.

P. J. Silverman, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 4, 011006 (2005).
[CrossRef]

J. Vac. Sci. Technol. B

M. Richardson, C. Koay, K. Takenoshita, C. Keyser, and M. Al-Rabban, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 785 (2004).
[CrossRef]

Opt. Lett.

Phys. Rev. Lett.

P. Mora, Phys. Rev. Lett. 90, 185002 (2003).
[CrossRef] [PubMed]

Proc. SPIE

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, B. J. Rice, R. Bristol, D. Rokusek, W. Lytle, B. J. Heuser, M. M. C. Allain, H. Ju, and C. Chrobak, Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

G. O'Sullivan, A. Cummings, G. Duffy, P. Dunne, A. Fitzpatrick, P. Hayden, L. McKinney, N. Murphy, D. O'Reilly, E. Sokell, and J. White, Proc. SPIE 5196, 273 (2004).
[CrossRef]

Other

R. Hartman, The Proceedings of the 5th International EUVL Symposium, Barcelona, Spain, October 8-10 (SEMATECH, 2006), https://www.sematech.org/7870/.

http://www-cxro.Ibl.gov/optical_constants/.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1

TOF of Sn ions from a 30 nm Sn film irradiated by a single laser pulse in vacuum (black solid curve) and in ambient Ar gas with a pressure of 40 mTorr (blue dashed curve), respectively; and irradiated by dual laser pulses in vacuum (green dashed–dotted curve) and in 14 mTorr Ar gas (red solid curve), respectively.

Fig. 2
Fig. 2

In-band conversion efficiency of laser-produced Sn plasmas driven by a single (black square) or dual pulse (red dot) versus the target thickness.

Fig. 3
Fig. 3

S oft x-ray spectra from laser-irradiated Sn targets of a 1 mm slab (black dashed curve) and a 30 nm Sn film overcoated on a silicon wafer (red solid curve).

Equations (1)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

S = k Z 1 Z 2 2 L β 2 ,

Metrics