Abstract

The effect of focal spot size on in-band 13.5nm extreme ultraviolet (EUV) emission from laser-produced Sn plasmas was investigated for an EUV lithography light source. Almost constant in-band conversion efficiency from laser to 13.5nm EUV light was noted with focal spot sizes from 60to500μm. This effect may be explained by the opacity of Sn plasmas. Optical interferometry showed that the EUV emission must pass through a longer plasma with higher density when the focal spot is large, and strong reabsorption of EUV light was confirmed by a dip located at 13.5nm in the spectrum.

© 2006 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
    [CrossRef]
  2. M. Yamaura, S. Uchida, A. Sunahara, Y. Shimada, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, K. Hashimoto, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 181107 (2005).
    [CrossRef]
  3. S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
    [CrossRef] [PubMed]
  4. R. C. Spitzer, T. J. Orzechowski, D. W. Phillion, R. L. Kauffman, and C. Cerjan, J. Appl. Phys. 79, 2251 (1996).
    [CrossRef]
  5. C. Cerjan, Appl. Opt. 32, 6911 (1993).
    [CrossRef] [PubMed]
  6. S. S. Harilal, B. O'Shay, M. S. Tillack, Y. Tao, R. Paguio, A. Nikroo, and C. A. Back, J. Phys. D 39, 484 (2006).
    [CrossRef]
  7. C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and V. Bakshi, in Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
    [CrossRef]
  8. T. Aota and T. Tomie, Phys. Rev. Lett. 94, 015004 (2005).
    [CrossRef] [PubMed]
  9. Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, A. Sunahara, M. Nakai, T. Okuno, N. Ueda, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 86, 201501 (2005).
    [CrossRef]
  10. T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Tao, K. Nagai, Q. Gu, N. Ueda, T. Ando, K. Nishihara, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Appl. Phys. Lett. 88, 161501 (2006).
    [CrossRef]
  11. Y. Tao, H. Nishimura, T. Okuno, S. Fujioka, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
    [CrossRef]
  12. S. Bollanti, F. Bonfigli, E. Burattini, P. Di Lazzaro, F. Flora, A. Grilli, T. Letardi, N. Lisi, A. Marinai, L. Mezi, D. Murra, and C. Zheng, Appl. Phys. B 76, 277 (2003).
    [CrossRef]

2006 (2)

S. S. Harilal, B. O'Shay, M. S. Tillack, Y. Tao, R. Paguio, A. Nikroo, and C. A. Back, J. Phys. D 39, 484 (2006).
[CrossRef]

T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Tao, K. Nagai, Q. Gu, N. Ueda, T. Ando, K. Nishihara, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Appl. Phys. Lett. 88, 161501 (2006).
[CrossRef]

2005 (7)

Y. Tao, H. Nishimura, T. Okuno, S. Fujioka, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and V. Bakshi, in Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
[CrossRef]

T. Aota and T. Tomie, Phys. Rev. Lett. 94, 015004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, A. Sunahara, M. Nakai, T. Okuno, N. Ueda, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 86, 201501 (2005).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

M. Yamaura, S. Uchida, A. Sunahara, Y. Shimada, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, K. Hashimoto, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 181107 (2005).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

2003 (1)

S. Bollanti, F. Bonfigli, E. Burattini, P. Di Lazzaro, F. Flora, A. Grilli, T. Letardi, N. Lisi, A. Marinai, L. Mezi, D. Murra, and C. Zheng, Appl. Phys. B 76, 277 (2003).
[CrossRef]

1996 (1)

R. C. Spitzer, T. J. Orzechowski, D. W. Phillion, R. L. Kauffman, and C. Cerjan, J. Appl. Phys. 79, 2251 (1996).
[CrossRef]

1993 (1)

Ando, T.

T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Tao, K. Nagai, Q. Gu, N. Ueda, T. Ando, K. Nishihara, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Appl. Phys. Lett. 88, 161501 (2006).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Aota, T.

T. Aota and T. Tomie, Phys. Rev. Lett. 94, 015004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Back, C. A.

S. S. Harilal, B. O'Shay, M. S. Tillack, Y. Tao, R. Paguio, A. Nikroo, and C. A. Back, J. Phys. D 39, 484 (2006).
[CrossRef]

Bakshi, V.

C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and V. Bakshi, in Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
[CrossRef]

Bernath, R.

C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and V. Bakshi, in Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
[CrossRef]

Bollanti, S.

S. Bollanti, F. Bonfigli, E. Burattini, P. Di Lazzaro, F. Flora, A. Grilli, T. Letardi, N. Lisi, A. Marinai, L. Mezi, D. Murra, and C. Zheng, Appl. Phys. B 76, 277 (2003).
[CrossRef]

Bonfigli, F.

S. Bollanti, F. Bonfigli, E. Burattini, P. Di Lazzaro, F. Flora, A. Grilli, T. Letardi, N. Lisi, A. Marinai, L. Mezi, D. Murra, and C. Zheng, Appl. Phys. B 76, 277 (2003).
[CrossRef]

Burattini, E.

S. Bollanti, F. Bonfigli, E. Burattini, P. Di Lazzaro, F. Flora, A. Grilli, T. Letardi, N. Lisi, A. Marinai, L. Mezi, D. Murra, and C. Zheng, Appl. Phys. B 76, 277 (2003).
[CrossRef]

Cerjan, C.

R. C. Spitzer, T. J. Orzechowski, D. W. Phillion, R. L. Kauffman, and C. Cerjan, J. Appl. Phys. 79, 2251 (1996).
[CrossRef]

C. Cerjan, Appl. Opt. 32, 6911 (1993).
[CrossRef] [PubMed]

Di Lazzaro, P.

S. Bollanti, F. Bonfigli, E. Burattini, P. Di Lazzaro, F. Flora, A. Grilli, T. Letardi, N. Lisi, A. Marinai, L. Mezi, D. Murra, and C. Zheng, Appl. Phys. B 76, 277 (2003).
[CrossRef]

Flora, F.

S. Bollanti, F. Bonfigli, E. Burattini, P. Di Lazzaro, F. Flora, A. Grilli, T. Letardi, N. Lisi, A. Marinai, L. Mezi, D. Murra, and C. Zheng, Appl. Phys. B 76, 277 (2003).
[CrossRef]

Fujioka, S.

T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Tao, K. Nagai, Q. Gu, N. Ueda, T. Ando, K. Nishihara, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Appl. Phys. Lett. 88, 161501 (2006).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, T. Okuno, S. Fujioka, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, A. Sunahara, M. Nakai, T. Okuno, N. Ueda, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 86, 201501 (2005).
[CrossRef]

M. Yamaura, S. Uchida, A. Sunahara, Y. Shimada, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, K. Hashimoto, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 181107 (2005).
[CrossRef]

Fujiwara, E.

C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and V. Bakshi, in Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
[CrossRef]

George, S.

C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and V. Bakshi, in Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
[CrossRef]

Grilli, A.

S. Bollanti, F. Bonfigli, E. Burattini, P. Di Lazzaro, F. Flora, A. Grilli, T. Letardi, N. Lisi, A. Marinai, L. Mezi, D. Murra, and C. Zheng, Appl. Phys. B 76, 277 (2003).
[CrossRef]

Gu, Q.

T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Tao, K. Nagai, Q. Gu, N. Ueda, T. Ando, K. Nishihara, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Appl. Phys. Lett. 88, 161501 (2006).
[CrossRef]

Harilal, S. S.

S. S. Harilal, B. O'Shay, M. S. Tillack, Y. Tao, R. Paguio, A. Nikroo, and C. A. Back, J. Phys. D 39, 484 (2006).
[CrossRef]

Hashimoto, K.

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

M. Yamaura, S. Uchida, A. Sunahara, Y. Shimada, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, K. Hashimoto, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 181107 (2005).
[CrossRef]

Izawa, Y.

T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Tao, K. Nagai, Q. Gu, N. Ueda, T. Ando, K. Nishihara, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Appl. Phys. Lett. 88, 161501 (2006).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, T. Okuno, S. Fujioka, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

M. Yamaura, S. Uchida, A. Sunahara, Y. Shimada, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, K. Hashimoto, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 181107 (2005).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, A. Sunahara, M. Nakai, T. Okuno, N. Ueda, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 86, 201501 (2005).
[CrossRef]

Kauffman, R. L.

R. C. Spitzer, T. J. Orzechowski, D. W. Phillion, R. L. Kauffman, and C. Cerjan, J. Appl. Phys. 79, 2251 (1996).
[CrossRef]

Kawamura, T.

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Koay, C.-S.

C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and V. Bakshi, in Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
[CrossRef]

Letardi, T.

S. Bollanti, F. Bonfigli, E. Burattini, P. Di Lazzaro, F. Flora, A. Grilli, T. Letardi, N. Lisi, A. Marinai, L. Mezi, D. Murra, and C. Zheng, Appl. Phys. B 76, 277 (2003).
[CrossRef]

Lisi, N.

S. Bollanti, F. Bonfigli, E. Burattini, P. Di Lazzaro, F. Flora, A. Grilli, T. Letardi, N. Lisi, A. Marinai, L. Mezi, D. Murra, and C. Zheng, Appl. Phys. B 76, 277 (2003).
[CrossRef]

Marinai, A.

S. Bollanti, F. Bonfigli, E. Burattini, P. Di Lazzaro, F. Flora, A. Grilli, T. Letardi, N. Lisi, A. Marinai, L. Mezi, D. Murra, and C. Zheng, Appl. Phys. B 76, 277 (2003).
[CrossRef]

Mezi, L.

S. Bollanti, F. Bonfigli, E. Burattini, P. Di Lazzaro, F. Flora, A. Grilli, T. Letardi, N. Lisi, A. Marinai, L. Mezi, D. Murra, and C. Zheng, Appl. Phys. B 76, 277 (2003).
[CrossRef]

Mima, K.

T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Tao, K. Nagai, Q. Gu, N. Ueda, T. Ando, K. Nishihara, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Appl. Phys. Lett. 88, 161501 (2006).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Miyanaga, N.

T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Tao, K. Nagai, Q. Gu, N. Ueda, T. Ando, K. Nishihara, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Appl. Phys. Lett. 88, 161501 (2006).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, T. Okuno, S. Fujioka, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, A. Sunahara, M. Nakai, T. Okuno, N. Ueda, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 86, 201501 (2005).
[CrossRef]

Miyanga, N.

M. Yamaura, S. Uchida, A. Sunahara, Y. Shimada, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, K. Hashimoto, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 181107 (2005).
[CrossRef]

Murra, D.

S. Bollanti, F. Bonfigli, E. Burattini, P. Di Lazzaro, F. Flora, A. Grilli, T. Letardi, N. Lisi, A. Marinai, L. Mezi, D. Murra, and C. Zheng, Appl. Phys. B 76, 277 (2003).
[CrossRef]

Nagai, K.

T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Tao, K. Nagai, Q. Gu, N. Ueda, T. Ando, K. Nishihara, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Appl. Phys. Lett. 88, 161501 (2006).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, T. Okuno, S. Fujioka, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

M. Yamaura, S. Uchida, A. Sunahara, Y. Shimada, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, K. Hashimoto, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 181107 (2005).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Nakai, M.

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, A. Sunahara, M. Nakai, T. Okuno, N. Ueda, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 86, 201501 (2005).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, T. Okuno, S. Fujioka, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

Nikroo, A.

S. S. Harilal, B. O'Shay, M. S. Tillack, Y. Tao, R. Paguio, A. Nikroo, and C. A. Back, J. Phys. D 39, 484 (2006).
[CrossRef]

Nishihara, K.

T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Tao, K. Nagai, Q. Gu, N. Ueda, T. Ando, K. Nishihara, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Appl. Phys. Lett. 88, 161501 (2006).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, T. Okuno, S. Fujioka, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, A. Sunahara, M. Nakai, T. Okuno, N. Ueda, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 86, 201501 (2005).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

M. Yamaura, S. Uchida, A. Sunahara, Y. Shimada, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, K. Hashimoto, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 181107 (2005).
[CrossRef]

Nishikawa, T.

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Nishimura, H.

T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Tao, K. Nagai, Q. Gu, N. Ueda, T. Ando, K. Nishihara, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Appl. Phys. Lett. 88, 161501 (2006).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, T. Okuno, S. Fujioka, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, A. Sunahara, M. Nakai, T. Okuno, N. Ueda, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 86, 201501 (2005).
[CrossRef]

M. Yamaura, S. Uchida, A. Sunahara, Y. Shimada, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, K. Hashimoto, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 181107 (2005).
[CrossRef]

Norimatsu, T.

T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Tao, K. Nagai, Q. Gu, N. Ueda, T. Ando, K. Nishihara, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Appl. Phys. Lett. 88, 161501 (2006).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, T. Okuno, S. Fujioka, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

M. Yamaura, S. Uchida, A. Sunahara, Y. Shimada, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, K. Hashimoto, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 181107 (2005).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Okuno, T.

T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Tao, K. Nagai, Q. Gu, N. Ueda, T. Ando, K. Nishihara, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Appl. Phys. Lett. 88, 161501 (2006).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, T. Okuno, S. Fujioka, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, A. Sunahara, M. Nakai, T. Okuno, N. Ueda, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 86, 201501 (2005).
[CrossRef]

M. Yamaura, S. Uchida, A. Sunahara, Y. Shimada, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, K. Hashimoto, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 181107 (2005).
[CrossRef]

Orzechowski, T. J.

R. C. Spitzer, T. J. Orzechowski, D. W. Phillion, R. L. Kauffman, and C. Cerjan, J. Appl. Phys. 79, 2251 (1996).
[CrossRef]

O'Shay, B.

S. S. Harilal, B. O'Shay, M. S. Tillack, Y. Tao, R. Paguio, A. Nikroo, and C. A. Back, J. Phys. D 39, 484 (2006).
[CrossRef]

Paguio, R.

S. S. Harilal, B. O'Shay, M. S. Tillack, Y. Tao, R. Paguio, A. Nikroo, and C. A. Back, J. Phys. D 39, 484 (2006).
[CrossRef]

Phillion, D. W.

R. C. Spitzer, T. J. Orzechowski, D. W. Phillion, R. L. Kauffman, and C. Cerjan, J. Appl. Phys. 79, 2251 (1996).
[CrossRef]

Richardson, M.

C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and V. Bakshi, in Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
[CrossRef]

Sasaki, A.

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Shigemori, K.

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Shimada, Y.

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

M. Yamaura, S. Uchida, A. Sunahara, Y. Shimada, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, K. Hashimoto, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 181107 (2005).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Spitzer, R. C.

R. C. Spitzer, T. J. Orzechowski, D. W. Phillion, R. L. Kauffman, and C. Cerjan, J. Appl. Phys. 79, 2251 (1996).
[CrossRef]

Sunahara, A.

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

M. Yamaura, S. Uchida, A. Sunahara, Y. Shimada, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, K. Hashimoto, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 181107 (2005).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, A. Sunahara, M. Nakai, T. Okuno, N. Ueda, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 86, 201501 (2005).
[CrossRef]

Takenoshita, K.

C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and V. Bakshi, in Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
[CrossRef]

Tao, Y.

S. S. Harilal, B. O'Shay, M. S. Tillack, Y. Tao, R. Paguio, A. Nikroo, and C. A. Back, J. Phys. D 39, 484 (2006).
[CrossRef]

T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Tao, K. Nagai, Q. Gu, N. Ueda, T. Ando, K. Nishihara, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Appl. Phys. Lett. 88, 161501 (2006).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, T. Okuno, S. Fujioka, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, A. Sunahara, M. Nakai, T. Okuno, N. Ueda, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 86, 201501 (2005).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Tillack, M. S.

S. S. Harilal, B. O'Shay, M. S. Tillack, Y. Tao, R. Paguio, A. Nikroo, and C. A. Back, J. Phys. D 39, 484 (2006).
[CrossRef]

Tomie, T.

T. Aota and T. Tomie, Phys. Rev. Lett. 94, 015004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Uchida, S.

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

M. Yamaura, S. Uchida, A. Sunahara, Y. Shimada, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, K. Hashimoto, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 181107 (2005).
[CrossRef]

Ueda, N.

T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Tao, K. Nagai, Q. Gu, N. Ueda, T. Ando, K. Nishihara, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Appl. Phys. Lett. 88, 161501 (2006).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, T. Okuno, S. Fujioka, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, A. Sunahara, M. Nakai, T. Okuno, N. Ueda, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 86, 201501 (2005).
[CrossRef]

Yamanaka, C.

M. Yamaura, S. Uchida, A. Sunahara, Y. Shimada, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, K. Hashimoto, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 181107 (2005).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

Yamaura, M.

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

M. Yamaura, S. Uchida, A. Sunahara, Y. Shimada, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, K. Hashimoto, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 181107 (2005).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Zheng, C.

S. Bollanti, F. Bonfigli, E. Burattini, P. Di Lazzaro, F. Flora, A. Grilli, T. Letardi, N. Lisi, A. Marinai, L. Mezi, D. Murra, and C. Zheng, Appl. Phys. B 76, 277 (2003).
[CrossRef]

Appl. Opt. (1)

Appl. Phys. B (1)

S. Bollanti, F. Bonfigli, E. Burattini, P. Di Lazzaro, F. Flora, A. Grilli, T. Letardi, N. Lisi, A. Marinai, L. Mezi, D. Murra, and C. Zheng, Appl. Phys. B 76, 277 (2003).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett. (5)

Y. Tao, H. Nishimura, S. Fujioka, A. Sunahara, M. Nakai, T. Okuno, N. Ueda, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 86, 201501 (2005).
[CrossRef]

T. Okuno, S. Fujioka, H. Nishimura, Y. Tao, K. Nagai, Q. Gu, N. Ueda, T. Ando, K. Nishihara, T. Norimatsu, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Appl. Phys. Lett. 88, 161501 (2006).
[CrossRef]

Y. Tao, H. Nishimura, T. Okuno, S. Fujioka, N. Ueda, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, N. Miyanaga, K. Nishihara, and Y. Izawa, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
[CrossRef]

Y. Shimada, H. Nishimura, M. Nakai, K. Hashimoto, M. Yamaura, Y. Tao, K. Shigemori, T. Okuno, K. Nishihara, T. Kawamura, A. Sunahara, T. Nishikawa, A. Sasaki, K. Nagai, T. Norimatsu, S. Fujioka, S. Uchida, N. Miyanaga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
[CrossRef]

M. Yamaura, S. Uchida, A. Sunahara, Y. Shimada, H. Nishimura, S. Fujioka, T. Okuno, K. Hashimoto, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanga, Y. Izawa, and C. Yamanaka, Appl. Phys. Lett. 86, 181107 (2005).
[CrossRef]

J. Appl. Phys. (1)

R. C. Spitzer, T. J. Orzechowski, D. W. Phillion, R. L. Kauffman, and C. Cerjan, J. Appl. Phys. 79, 2251 (1996).
[CrossRef]

J. Phys. D (1)

S. S. Harilal, B. O'Shay, M. S. Tillack, Y. Tao, R. Paguio, A. Nikroo, and C. A. Back, J. Phys. D 39, 484 (2006).
[CrossRef]

Phys. Rev. Lett. (2)

S. Fujioka, H. Nishimura, K. Nishihara, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Okuno, N. Ueda, T. Ando, Y. Tao, Y. Shimada, K. Hashimoto, M. Yamaura, K. Shigemori, M. Nakai, K. Nagai, T. Norimatsu, T. Nishikawa, N. Miyanaga, Y. Izawa, and K. Mima, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

T. Aota and T. Tomie, Phys. Rev. Lett. 94, 015004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Proc. SPIE (1)

C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and V. Bakshi, in Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1

In-band conversion efficiency of laser-produced Sn plasmas using focal spot sizes of 60 (triangles), 100 (rectangles), and 200 μ m (solid dots) versus laser intensity.

Fig. 2
Fig. 2

Density profiles of laser-produced Sn plasmas with focal spot sizes of 100 μ m (circles) and 200 μ m (squares) obtained at 2 × 10 11 W cm 2 . The two solid curves represent the exponential decay fit of 100 μ m spot data with scale lengths of 20 and 86 μ m , and the dashed line represents the fit of 200 μ m spot data with a scale length of 110 μ m .

Fig. 3
Fig. 3

Spectra of laser-produced Sn plasmas using focal spot sizes of 60 μ m at intensities of 2 × 10 11 (red triangles) and 8 × 10 11 W cm 2 (black dots), 100 μ m at intensities of 2 × 10 11 (black solid curve) and 8 × 10 11 W cm 2 (red short-dashed curve), and 200 μ m at intensity of 2 × 10 11 W cm 2 (blue dashed curve).

Metrics