Abstract

We investigate the extreme-ultraviolet (EUV) emission from targets that contain tin as an impurity and the advantages of using these targets for ion debris mitigation by use of a magnetic field. The EUV spectral features were characterized by a transmission grating spectrograph. The in-band EUV emission energy was measured with a calorimeter of absolute calibration. The ion flux coming from the plume was measured with a Faraday cup. Our studies indicate that 0.5% Sn density is necessary to obtain a conversion efficiency very close to that of full-density Sn. The use of Sn-doped low-Z targets provides a narrower unresolved transition array and facilitates better control of energetic ions in the presence of a moderate magnetic field of 0.64T.

© 2006 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. B. Marx, Laser Focus World 39(4), 34 (2003).
  2. R. C. Spitzer, R. L. Kauffman, T. Orzechowski, D. W. Phillion, and C. Cerjan, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 2986 (1993).
    [CrossRef]
  3. T. Tomie and T. Aota, Phys. Rev. Lett. 94, 015004 (2005).
    [CrossRef] [PubMed]
  4. J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, and C. Chrobak, in Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
    [CrossRef]
  5. S. J. Haney, K. W. Berger, G. D. Kubiak, P. D. Rockett, and J. Hunter, Appl. Opt. 32, 6934 (1993).
    [CrossRef] [PubMed]
  6. F. Flora, L. Mezi, C. E. Zheng, and F. Bonfigli, Europhys. Lett. 56, 676 (2001).
    [CrossRef]
  7. J. Pankert, R. Apetz, K. Bergmann, A. List, M. Loeken, C. Metzmacher, W. Neff, and S. Probst, in Proc. SPIE 5751, 260 (2005).
    [CrossRef]
  8. M. Richardson, C. S. Koay, K. Takenoshita, C. Keyser, and M. Al-Rabban, J. Vac. Sci. Technol. A 22, 785 (2004).
    [CrossRef]
  9. S. S. Harilal, B. O'Shay, and M. S. Tillack, J. Appl. Phys. 98, 036102 (2005).
    [CrossRef]
  10. G. Niimi, Y. Ueno, K. Nishigori, T. Aota, H. Yashiro, and T. Tomie, in Proc. SPIE 5037, 370 (2003).
    [CrossRef]
  11. S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
    [CrossRef]
  12. Y. Tao, F. Sohbatzadeh, H. Nishimura, R. Matsui, T. Hibino, T. Okuno, S. Fujioka, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, Y. Izawa, A. Sunahara, and T. Kawamura, Appl. Phys. Lett. 85, 1919 (2004).
    [CrossRef]
  13. S. S. Harilal, M. S. Tillack, B. O'Shay, C. V. Bindhu, and F. Najmabadi, Phys. Rev. E 69, 026413 (2004).
    [CrossRef]
  14. A. Cummings, G. O'Sullivan, P. Dunne, E. Sokell, N. Murphy, and J. White, J. Phys. D 38, 604 (2005).
    [CrossRef]
  15. T. Aota, H. Yashiro, Y. Ueno, and T. Tomie, in Proc. SPIE 5037, 742 (2002).
    [CrossRef]
  16. J. White, P. Hayden, P. Dunne, A. Cummings, N. Murphy, P. Sheridan, and G. O'Sullivan, J. Appl. Phys. 98, 113301 (2005).
    [CrossRef]
  17. A. Thum-Jager and K. Rohr, J. Phys. D 32, 2827 (1999).
    [CrossRef]
  18. B. H. Ripin, E. A. McLean, C. K. Manka, C. Pawley, J. A. Stamper, T. A. Peyser, A. N. Mostovych, J. Grun, A. B. Hassam, and J. Huba, Phys. Rev. Lett. 59, 2299 (1987).
    [CrossRef] [PubMed]
  19. S. S. Harilal, B. O'Shay, M. S. Tillack, and M. V. Mathew, J. Appl. Phys. 98, 013306 (2005).
    [CrossRef]

2005 (8)

T. Tomie and T. Aota, Phys. Rev. Lett. 94, 015004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, and C. Chrobak, in Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

J. Pankert, R. Apetz, K. Bergmann, A. List, M. Loeken, C. Metzmacher, W. Neff, and S. Probst, in Proc. SPIE 5751, 260 (2005).
[CrossRef]

S. S. Harilal, B. O'Shay, and M. S. Tillack, J. Appl. Phys. 98, 036102 (2005).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

A. Cummings, G. O'Sullivan, P. Dunne, E. Sokell, N. Murphy, and J. White, J. Phys. D 38, 604 (2005).
[CrossRef]

J. White, P. Hayden, P. Dunne, A. Cummings, N. Murphy, P. Sheridan, and G. O'Sullivan, J. Appl. Phys. 98, 113301 (2005).
[CrossRef]

S. S. Harilal, B. O'Shay, M. S. Tillack, and M. V. Mathew, J. Appl. Phys. 98, 013306 (2005).
[CrossRef]

2004 (3)

Y. Tao, F. Sohbatzadeh, H. Nishimura, R. Matsui, T. Hibino, T. Okuno, S. Fujioka, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, Y. Izawa, A. Sunahara, and T. Kawamura, Appl. Phys. Lett. 85, 1919 (2004).
[CrossRef]

S. S. Harilal, M. S. Tillack, B. O'Shay, C. V. Bindhu, and F. Najmabadi, Phys. Rev. E 69, 026413 (2004).
[CrossRef]

M. Richardson, C. S. Koay, K. Takenoshita, C. Keyser, and M. Al-Rabban, J. Vac. Sci. Technol. A 22, 785 (2004).
[CrossRef]

2003 (2)

G. Niimi, Y. Ueno, K. Nishigori, T. Aota, H. Yashiro, and T. Tomie, in Proc. SPIE 5037, 370 (2003).
[CrossRef]

B. Marx, Laser Focus World 39(4), 34 (2003).

2002 (1)

T. Aota, H. Yashiro, Y. Ueno, and T. Tomie, in Proc. SPIE 5037, 742 (2002).
[CrossRef]

2001 (1)

F. Flora, L. Mezi, C. E. Zheng, and F. Bonfigli, Europhys. Lett. 56, 676 (2001).
[CrossRef]

1999 (1)

A. Thum-Jager and K. Rohr, J. Phys. D 32, 2827 (1999).
[CrossRef]

1993 (2)

R. C. Spitzer, R. L. Kauffman, T. Orzechowski, D. W. Phillion, and C. Cerjan, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 2986 (1993).
[CrossRef]

S. J. Haney, K. W. Berger, G. D. Kubiak, P. D. Rockett, and J. Hunter, Appl. Opt. 32, 6934 (1993).
[CrossRef] [PubMed]

1987 (1)

B. H. Ripin, E. A. McLean, C. K. Manka, C. Pawley, J. A. Stamper, T. A. Peyser, A. N. Mostovych, J. Grun, A. B. Hassam, and J. Huba, Phys. Rev. Lett. 59, 2299 (1987).
[CrossRef] [PubMed]

Allain, J. P.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, and C. Chrobak, in Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Al-Rabban, M.

M. Richardson, C. S. Koay, K. Takenoshita, C. Keyser, and M. Al-Rabban, J. Vac. Sci. Technol. A 22, 785 (2004).
[CrossRef]

Ando, T.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Aota, T.

T. Tomie and T. Aota, Phys. Rev. Lett. 94, 015004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

G. Niimi, Y. Ueno, K. Nishigori, T. Aota, H. Yashiro, and T. Tomie, in Proc. SPIE 5037, 370 (2003).
[CrossRef]

T. Aota, H. Yashiro, Y. Ueno, and T. Tomie, in Proc. SPIE 5037, 742 (2002).
[CrossRef]

Apetz, R.

J. Pankert, R. Apetz, K. Bergmann, A. List, M. Loeken, C. Metzmacher, W. Neff, and S. Probst, in Proc. SPIE 5751, 260 (2005).
[CrossRef]

Berger, K. W.

Bergmann, K.

J. Pankert, R. Apetz, K. Bergmann, A. List, M. Loeken, C. Metzmacher, W. Neff, and S. Probst, in Proc. SPIE 5751, 260 (2005).
[CrossRef]

Bindhu, C. V.

S. S. Harilal, M. S. Tillack, B. O'Shay, C. V. Bindhu, and F. Najmabadi, Phys. Rev. E 69, 026413 (2004).
[CrossRef]

Bonfigli, F.

F. Flora, L. Mezi, C. E. Zheng, and F. Bonfigli, Europhys. Lett. 56, 676 (2001).
[CrossRef]

Cerjan, C.

R. C. Spitzer, R. L. Kauffman, T. Orzechowski, D. W. Phillion, and C. Cerjan, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 2986 (1993).
[CrossRef]

Chrobak, C.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, and C. Chrobak, in Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Cummings, A.

A. Cummings, G. O'Sullivan, P. Dunne, E. Sokell, N. Murphy, and J. White, J. Phys. D 38, 604 (2005).
[CrossRef]

J. White, P. Hayden, P. Dunne, A. Cummings, N. Murphy, P. Sheridan, and G. O'Sullivan, J. Appl. Phys. 98, 113301 (2005).
[CrossRef]

Dunne, P.

J. White, P. Hayden, P. Dunne, A. Cummings, N. Murphy, P. Sheridan, and G. O'Sullivan, J. Appl. Phys. 98, 113301 (2005).
[CrossRef]

A. Cummings, G. O'Sullivan, P. Dunne, E. Sokell, N. Murphy, and J. White, J. Phys. D 38, 604 (2005).
[CrossRef]

Flora, F.

F. Flora, L. Mezi, C. E. Zheng, and F. Bonfigli, Europhys. Lett. 56, 676 (2001).
[CrossRef]

Fujioka, S.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, F. Sohbatzadeh, H. Nishimura, R. Matsui, T. Hibino, T. Okuno, S. Fujioka, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, Y. Izawa, A. Sunahara, and T. Kawamura, Appl. Phys. Lett. 85, 1919 (2004).
[CrossRef]

Furukawa, H.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Grun, J.

B. H. Ripin, E. A. McLean, C. K. Manka, C. Pawley, J. A. Stamper, T. A. Peyser, A. N. Mostovych, J. Grun, A. B. Hassam, and J. Huba, Phys. Rev. Lett. 59, 2299 (1987).
[CrossRef] [PubMed]

Gu, Q.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Haney, S. J.

Harilal, S. S.

S. S. Harilal, B. O'Shay, and M. S. Tillack, J. Appl. Phys. 98, 036102 (2005).
[CrossRef]

S. S. Harilal, B. O'Shay, M. S. Tillack, and M. V. Mathew, J. Appl. Phys. 98, 013306 (2005).
[CrossRef]

S. S. Harilal, M. S. Tillack, B. O'Shay, C. V. Bindhu, and F. Najmabadi, Phys. Rev. E 69, 026413 (2004).
[CrossRef]

Hassam, A. B.

B. H. Ripin, E. A. McLean, C. K. Manka, C. Pawley, J. A. Stamper, T. A. Peyser, A. N. Mostovych, J. Grun, A. B. Hassam, and J. Huba, Phys. Rev. Lett. 59, 2299 (1987).
[CrossRef] [PubMed]

Hassanein, A.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, and C. Chrobak, in Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Hayden, P.

J. White, P. Hayden, P. Dunne, A. Cummings, N. Murphy, P. Sheridan, and G. O'Sullivan, J. Appl. Phys. 98, 113301 (2005).
[CrossRef]

Hibino, T.

Y. Tao, F. Sohbatzadeh, H. Nishimura, R. Matsui, T. Hibino, T. Okuno, S. Fujioka, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, Y. Izawa, A. Sunahara, and T. Kawamura, Appl. Phys. Lett. 85, 1919 (2004).
[CrossRef]

Hinson, E.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, and C. Chrobak, in Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Huba, J.

B. H. Ripin, E. A. McLean, C. K. Manka, C. Pawley, J. A. Stamper, T. A. Peyser, A. N. Mostovych, J. Grun, A. B. Hassam, and J. Huba, Phys. Rev. Lett. 59, 2299 (1987).
[CrossRef] [PubMed]

Hunter, J.

Izawa, Y.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, F. Sohbatzadeh, H. Nishimura, R. Matsui, T. Hibino, T. Okuno, S. Fujioka, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, Y. Izawa, A. Sunahara, and T. Kawamura, Appl. Phys. Lett. 85, 1919 (2004).
[CrossRef]

Kang, Y.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Kauffman, R. L.

R. C. Spitzer, R. L. Kauffman, T. Orzechowski, D. W. Phillion, and C. Cerjan, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 2986 (1993).
[CrossRef]

Kawamura, T.

Y. Tao, F. Sohbatzadeh, H. Nishimura, R. Matsui, T. Hibino, T. Okuno, S. Fujioka, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, Y. Izawa, A. Sunahara, and T. Kawamura, Appl. Phys. Lett. 85, 1919 (2004).
[CrossRef]

Keyser, C.

M. Richardson, C. S. Koay, K. Takenoshita, C. Keyser, and M. Al-Rabban, J. Vac. Sci. Technol. A 22, 785 (2004).
[CrossRef]

Koay, C. S.

M. Richardson, C. S. Koay, K. Takenoshita, C. Keyser, and M. Al-Rabban, J. Vac. Sci. Technol. A 22, 785 (2004).
[CrossRef]

Kubiak, G. D.

Kurayama, H.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

List, A.

J. Pankert, R. Apetz, K. Bergmann, A. List, M. Loeken, C. Metzmacher, W. Neff, and S. Probst, in Proc. SPIE 5751, 260 (2005).
[CrossRef]

Loeken, M.

J. Pankert, R. Apetz, K. Bergmann, A. List, M. Loeken, C. Metzmacher, W. Neff, and S. Probst, in Proc. SPIE 5751, 260 (2005).
[CrossRef]

Manka, C. K.

B. H. Ripin, E. A. McLean, C. K. Manka, C. Pawley, J. A. Stamper, T. A. Peyser, A. N. Mostovych, J. Grun, A. B. Hassam, and J. Huba, Phys. Rev. Lett. 59, 2299 (1987).
[CrossRef] [PubMed]

Marx, B.

B. Marx, Laser Focus World 39(4), 34 (2003).

Mathew, M. V.

S. S. Harilal, B. O'Shay, M. S. Tillack, and M. V. Mathew, J. Appl. Phys. 98, 013306 (2005).
[CrossRef]

Matsui, R.

Y. Tao, F. Sohbatzadeh, H. Nishimura, R. Matsui, T. Hibino, T. Okuno, S. Fujioka, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, Y. Izawa, A. Sunahara, and T. Kawamura, Appl. Phys. Lett. 85, 1919 (2004).
[CrossRef]

McLean, E. A.

B. H. Ripin, E. A. McLean, C. K. Manka, C. Pawley, J. A. Stamper, T. A. Peyser, A. N. Mostovych, J. Grun, A. B. Hassam, and J. Huba, Phys. Rev. Lett. 59, 2299 (1987).
[CrossRef] [PubMed]

Metzmacher, C.

J. Pankert, R. Apetz, K. Bergmann, A. List, M. Loeken, C. Metzmacher, W. Neff, and S. Probst, in Proc. SPIE 5751, 260 (2005).
[CrossRef]

Mezi, L.

F. Flora, L. Mezi, C. E. Zheng, and F. Bonfigli, Europhys. Lett. 56, 676 (2001).
[CrossRef]

Miyanaga, N.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, F. Sohbatzadeh, H. Nishimura, R. Matsui, T. Hibino, T. Okuno, S. Fujioka, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, Y. Izawa, A. Sunahara, and T. Kawamura, Appl. Phys. Lett. 85, 1919 (2004).
[CrossRef]

Mostovych, A. N.

B. H. Ripin, E. A. McLean, C. K. Manka, C. Pawley, J. A. Stamper, T. A. Peyser, A. N. Mostovych, J. Grun, A. B. Hassam, and J. Huba, Phys. Rev. Lett. 59, 2299 (1987).
[CrossRef] [PubMed]

Murakami, M.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Murphy, N.

J. White, P. Hayden, P. Dunne, A. Cummings, N. Murphy, P. Sheridan, and G. O'Sullivan, J. Appl. Phys. 98, 113301 (2005).
[CrossRef]

A. Cummings, G. O'Sullivan, P. Dunne, E. Sokell, N. Murphy, and J. White, J. Phys. D 38, 604 (2005).
[CrossRef]

Nagai, K.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, F. Sohbatzadeh, H. Nishimura, R. Matsui, T. Hibino, T. Okuno, S. Fujioka, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, Y. Izawa, A. Sunahara, and T. Kawamura, Appl. Phys. Lett. 85, 1919 (2004).
[CrossRef]

Najmabadi, F.

S. S. Harilal, M. S. Tillack, B. O'Shay, C. V. Bindhu, and F. Najmabadi, Phys. Rev. E 69, 026413 (2004).
[CrossRef]

Neff, W.

J. Pankert, R. Apetz, K. Bergmann, A. List, M. Loeken, C. Metzmacher, W. Neff, and S. Probst, in Proc. SPIE 5751, 260 (2005).
[CrossRef]

Nieto, M.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, and C. Chrobak, in Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Niimi, G.

G. Niimi, Y. Ueno, K. Nishigori, T. Aota, H. Yashiro, and T. Tomie, in Proc. SPIE 5037, 370 (2003).
[CrossRef]

Nishigori, K.

G. Niimi, Y. Ueno, K. Nishigori, T. Aota, H. Yashiro, and T. Tomie, in Proc. SPIE 5037, 370 (2003).
[CrossRef]

Nishihara, K.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, F. Sohbatzadeh, H. Nishimura, R. Matsui, T. Hibino, T. Okuno, S. Fujioka, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, Y. Izawa, A. Sunahara, and T. Kawamura, Appl. Phys. Lett. 85, 1919 (2004).
[CrossRef]

Nishimura, H.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, F. Sohbatzadeh, H. Nishimura, R. Matsui, T. Hibino, T. Okuno, S. Fujioka, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, Y. Izawa, A. Sunahara, and T. Kawamura, Appl. Phys. Lett. 85, 1919 (2004).
[CrossRef]

Norimatsu, T.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, F. Sohbatzadeh, H. Nishimura, R. Matsui, T. Hibino, T. Okuno, S. Fujioka, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, Y. Izawa, A. Sunahara, and T. Kawamura, Appl. Phys. Lett. 85, 1919 (2004).
[CrossRef]

Okuno, T.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, F. Sohbatzadeh, H. Nishimura, R. Matsui, T. Hibino, T. Okuno, S. Fujioka, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, Y. Izawa, A. Sunahara, and T. Kawamura, Appl. Phys. Lett. 85, 1919 (2004).
[CrossRef]

Orzechowski, T.

R. C. Spitzer, R. L. Kauffman, T. Orzechowski, D. W. Phillion, and C. Cerjan, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 2986 (1993).
[CrossRef]

O'Shay, B.

S. S. Harilal, B. O'Shay, and M. S. Tillack, J. Appl. Phys. 98, 036102 (2005).
[CrossRef]

S. S. Harilal, B. O'Shay, M. S. Tillack, and M. V. Mathew, J. Appl. Phys. 98, 013306 (2005).
[CrossRef]

S. S. Harilal, M. S. Tillack, B. O'Shay, C. V. Bindhu, and F. Najmabadi, Phys. Rev. E 69, 026413 (2004).
[CrossRef]

O'Sullivan, G.

A. Cummings, G. O'Sullivan, P. Dunne, E. Sokell, N. Murphy, and J. White, J. Phys. D 38, 604 (2005).
[CrossRef]

J. White, P. Hayden, P. Dunne, A. Cummings, N. Murphy, P. Sheridan, and G. O'Sullivan, J. Appl. Phys. 98, 113301 (2005).
[CrossRef]

Pankert, J.

J. Pankert, R. Apetz, K. Bergmann, A. List, M. Loeken, C. Metzmacher, W. Neff, and S. Probst, in Proc. SPIE 5751, 260 (2005).
[CrossRef]

Pawley, C.

B. H. Ripin, E. A. McLean, C. K. Manka, C. Pawley, J. A. Stamper, T. A. Peyser, A. N. Mostovych, J. Grun, A. B. Hassam, and J. Huba, Phys. Rev. Lett. 59, 2299 (1987).
[CrossRef] [PubMed]

Peyser, T. A.

B. H. Ripin, E. A. McLean, C. K. Manka, C. Pawley, J. A. Stamper, T. A. Peyser, A. N. Mostovych, J. Grun, A. B. Hassam, and J. Huba, Phys. Rev. Lett. 59, 2299 (1987).
[CrossRef] [PubMed]

Phillion, D. W.

R. C. Spitzer, R. L. Kauffman, T. Orzechowski, D. W. Phillion, and C. Cerjan, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 2986 (1993).
[CrossRef]

Plotkin, P.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, and C. Chrobak, in Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Probst, S.

J. Pankert, R. Apetz, K. Bergmann, A. List, M. Loeken, C. Metzmacher, W. Neff, and S. Probst, in Proc. SPIE 5751, 260 (2005).
[CrossRef]

Richardson, M.

M. Richardson, C. S. Koay, K. Takenoshita, C. Keyser, and M. Al-Rabban, J. Vac. Sci. Technol. A 22, 785 (2004).
[CrossRef]

Ripin, B. H.

B. H. Ripin, E. A. McLean, C. K. Manka, C. Pawley, J. A. Stamper, T. A. Peyser, A. N. Mostovych, J. Grun, A. B. Hassam, and J. Huba, Phys. Rev. Lett. 59, 2299 (1987).
[CrossRef] [PubMed]

Rockett, P. D.

Rohr, K.

A. Thum-Jager and K. Rohr, J. Phys. D 32, 2827 (1999).
[CrossRef]

Sheridan, P.

J. White, P. Hayden, P. Dunne, A. Cummings, N. Murphy, P. Sheridan, and G. O'Sullivan, J. Appl. Phys. 98, 113301 (2005).
[CrossRef]

Shimada, Y.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Sohbatzadeh, F.

Y. Tao, F. Sohbatzadeh, H. Nishimura, R. Matsui, T. Hibino, T. Okuno, S. Fujioka, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, Y. Izawa, A. Sunahara, and T. Kawamura, Appl. Phys. Lett. 85, 1919 (2004).
[CrossRef]

Sokell, E.

A. Cummings, G. O'Sullivan, P. Dunne, E. Sokell, N. Murphy, and J. White, J. Phys. D 38, 604 (2005).
[CrossRef]

Spitzer, R. C.

R. C. Spitzer, R. L. Kauffman, T. Orzechowski, D. W. Phillion, and C. Cerjan, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 2986 (1993).
[CrossRef]

Stamper, J. A.

B. H. Ripin, E. A. McLean, C. K. Manka, C. Pawley, J. A. Stamper, T. A. Peyser, A. N. Mostovych, J. Grun, A. B. Hassam, and J. Huba, Phys. Rev. Lett. 59, 2299 (1987).
[CrossRef] [PubMed]

Sunahara, A.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, F. Sohbatzadeh, H. Nishimura, R. Matsui, T. Hibino, T. Okuno, S. Fujioka, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, Y. Izawa, A. Sunahara, and T. Kawamura, Appl. Phys. Lett. 85, 1919 (2004).
[CrossRef]

Takenoshita, K.

M. Richardson, C. S. Koay, K. Takenoshita, C. Keyser, and M. Al-Rabban, J. Vac. Sci. Technol. A 22, 785 (2004).
[CrossRef]

Tao, Y.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Y. Tao, F. Sohbatzadeh, H. Nishimura, R. Matsui, T. Hibino, T. Okuno, S. Fujioka, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, Y. Izawa, A. Sunahara, and T. Kawamura, Appl. Phys. Lett. 85, 1919 (2004).
[CrossRef]

Thum-Jager, A.

A. Thum-Jager and K. Rohr, J. Phys. D 32, 2827 (1999).
[CrossRef]

Tillack, M. S.

S. S. Harilal, B. O'Shay, M. S. Tillack, and M. V. Mathew, J. Appl. Phys. 98, 013306 (2005).
[CrossRef]

S. S. Harilal, B. O'Shay, and M. S. Tillack, J. Appl. Phys. 98, 036102 (2005).
[CrossRef]

S. S. Harilal, M. S. Tillack, B. O'Shay, C. V. Bindhu, and F. Najmabadi, Phys. Rev. E 69, 026413 (2004).
[CrossRef]

Titov, V.

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, and C. Chrobak, in Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

Tomie, T.

T. Tomie and T. Aota, Phys. Rev. Lett. 94, 015004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

G. Niimi, Y. Ueno, K. Nishigori, T. Aota, H. Yashiro, and T. Tomie, in Proc. SPIE 5037, 370 (2003).
[CrossRef]

T. Aota, H. Yashiro, Y. Ueno, and T. Tomie, in Proc. SPIE 5037, 742 (2002).
[CrossRef]

Uchida, S.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Ueda, N.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Ueno, Y.

G. Niimi, Y. Ueno, K. Nishigori, T. Aota, H. Yashiro, and T. Tomie, in Proc. SPIE 5037, 370 (2003).
[CrossRef]

T. Aota, H. Yashiro, Y. Ueno, and T. Tomie, in Proc. SPIE 5037, 742 (2002).
[CrossRef]

White, J.

J. White, P. Hayden, P. Dunne, A. Cummings, N. Murphy, P. Sheridan, and G. O'Sullivan, J. Appl. Phys. 98, 113301 (2005).
[CrossRef]

A. Cummings, G. O'Sullivan, P. Dunne, E. Sokell, N. Murphy, and J. White, J. Phys. D 38, 604 (2005).
[CrossRef]

Yamaura, M.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Yashiro, H.

G. Niimi, Y. Ueno, K. Nishigori, T. Aota, H. Yashiro, and T. Tomie, in Proc. SPIE 5037, 370 (2003).
[CrossRef]

T. Aota, H. Yashiro, Y. Ueno, and T. Tomie, in Proc. SPIE 5037, 742 (2002).
[CrossRef]

Yasuda, Y.

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

Zheng, C. E.

F. Flora, L. Mezi, C. E. Zheng, and F. Bonfigli, Europhys. Lett. 56, 676 (2001).
[CrossRef]

Appl. Opt. (1)

Appl. Phys. Lett. (1)

Y. Tao, F. Sohbatzadeh, H. Nishimura, R. Matsui, T. Hibino, T. Okuno, S. Fujioka, K. Nagai, T. Norimatsu, K. Nishihara, N. Miyanaga, Y. Izawa, A. Sunahara, and T. Kawamura, Appl. Phys. Lett. 85, 1919 (2004).
[CrossRef]

Europhys. Lett. (1)

F. Flora, L. Mezi, C. E. Zheng, and F. Bonfigli, Europhys. Lett. 56, 676 (2001).
[CrossRef]

J. Appl. Phys. (3)

S. S. Harilal, B. O'Shay, and M. S. Tillack, J. Appl. Phys. 98, 036102 (2005).
[CrossRef]

J. White, P. Hayden, P. Dunne, A. Cummings, N. Murphy, P. Sheridan, and G. O'Sullivan, J. Appl. Phys. 98, 113301 (2005).
[CrossRef]

S. S. Harilal, B. O'Shay, M. S. Tillack, and M. V. Mathew, J. Appl. Phys. 98, 013306 (2005).
[CrossRef]

J. Phys. D (2)

A. Thum-Jager and K. Rohr, J. Phys. D 32, 2827 (1999).
[CrossRef]

A. Cummings, G. O'Sullivan, P. Dunne, E. Sokell, N. Murphy, and J. White, J. Phys. D 38, 604 (2005).
[CrossRef]

J. Vac. Sci. Technol. A (2)

M. Richardson, C. S. Koay, K. Takenoshita, C. Keyser, and M. Al-Rabban, J. Vac. Sci. Technol. A 22, 785 (2004).
[CrossRef]

R. C. Spitzer, R. L. Kauffman, T. Orzechowski, D. W. Phillion, and C. Cerjan, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 2986 (1993).
[CrossRef]

Laser Focus World (1)

B. Marx, Laser Focus World 39(4), 34 (2003).

Phys. Rev. E (1)

S. S. Harilal, M. S. Tillack, B. O'Shay, C. V. Bindhu, and F. Najmabadi, Phys. Rev. E 69, 026413 (2004).
[CrossRef]

Phys. Rev. Lett. (2)

B. H. Ripin, E. A. McLean, C. K. Manka, C. Pawley, J. A. Stamper, T. A. Peyser, A. N. Mostovych, J. Grun, A. B. Hassam, and J. Huba, Phys. Rev. Lett. 59, 2299 (1987).
[CrossRef] [PubMed]

T. Tomie and T. Aota, Phys. Rev. Lett. 94, 015004 (2005).
[CrossRef] [PubMed]

Proc. SPIE (5)

J. P. Allain, A. Hassanein, M. Nieto, V. Titov, P. Plotkin, E. Hinson, and C. Chrobak, in Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
[CrossRef]

J. Pankert, R. Apetz, K. Bergmann, A. List, M. Loeken, C. Metzmacher, W. Neff, and S. Probst, in Proc. SPIE 5751, 260 (2005).
[CrossRef]

G. Niimi, Y. Ueno, K. Nishigori, T. Aota, H. Yashiro, and T. Tomie, in Proc. SPIE 5037, 370 (2003).
[CrossRef]

S. Fujioka, H. Nishimura, T. Okuno, Y. Tao, N. Ueda, T. Ando, H. Kurayama, Y. Yasuda, S. Uchida, Y. Shimada, M. Yamaura, Q. Gu, K. Nagai, T. Norimatsu, H. Furukawa, A. Sunahara, Y. Kang, M. Murakami, K. Nishihara, N. Miyanaga, and Y. Izawa, in Proc. SPIE 5751, 578 (2005).
[CrossRef]

T. Aota, H. Yashiro, Y. Ueno, and T. Tomie, in Proc. SPIE 5037, 742 (2002).
[CrossRef]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1

UTA obtained from full-density and 0.5% density Sn. The UTA spectrum from Sn-doped foam targets showed distinct narrowing. Both spectra were recorded with a laser intensity of 4 × 10 11 W cm 2 .

Fig. 2
Fig. 2

Estimated CE for a full-density Sn and a 0.5% Sn-doped foam target at various laser intensities.

Fig. 3
Fig. 3

Typical ion time-of-flight signals recorded for (a) full density and (b) 0.5% density Sn in the presence and in the absence of a magnetic field. A magnified version of the time-of-flight profile obtained from 0.5% Sn in the presence of a magnetic field is given in the inset of (b).

Metrics