Abstract

We applied a 0.3 mJ, 1.7 ns, 46.9 nm soft-x-ray argon laser to ablate the surface of large bandgap dielectrics: CaF2 and LiF crystals. We studied the ablation versus the fluence of the soft-x-ray beam, varying the fluence in the range 0.053Jcm2. Ablation thresholds of 0.06 and 0.1Jcm2 and ablation depths of 14 and 20 nm were found for CaF2 and LiF, respectively. These results define new ablation conditions for these large bandgap dielectrics that can be of interest for the fine processing of these materials.

© 2006 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. J. C. Miller and R.F.Haglund, Jr., eds., Laser Ablation and Desorption, Vol. 30 of Experimental Methods in the Physical Sciences, (Academic, 1998), and references therein.
  2. G. Kopitkovas, T. Lippert, C. David, A. Wokaun, and J. Gobrecht, Thin Solid Films 453, 31 (2004).
    [CrossRef]
  3. J. Ihlemann, S. Muller, S. Pischmann, D. Schafer, M. Wei, J. Li, and P. R. Herman, Appl. Phys. A 76, 751 (2003).
    [CrossRef]
  4. R. Stoian, M. Boyle, A. Thoss, A. Rosenfeld, G. Korn, I. V. Hertel, and E. E. B. Campbell, Appl. Phys. Lett. 80, 353 (2002).
    [CrossRef]
  5. D. Ashkenasi, M. Lorenz, R. Stoian, and A. Rosenfeld, Appl. Surf. Sci. 150, 106 (1999).
    [CrossRef]
  6. S. J. Henley, M. N. R. Ashfold, and S. R. J. Pearce, Appl. Surf. Sci. 217, 68 (2003).
    [CrossRef]
  7. S. J. Henley, G. M. Fuge, and M. N. R. Ashfold, J. Appl. Phys. 97, 023304 (2005).
    [CrossRef]
  8. P.Klocek, ed., Handbook of Infrared Optical Materials (Marcel Dekker, 1991).
  9. F. J. Himpsel, L. J. Terminello, D. A. Lapiano-Smith, E. A. Eklund, and J. J. Barton, Phys. Rev. Lett. 68, 3611 (1992).
    [CrossRef] [PubMed]
  10. B. R. Benware, C. D. Macchietto, C. H. Moreno, and J. J. Rocca, Phys. Rev. Lett. 81, 5804 (1998).
    [CrossRef]
  11. G. Tomassetti, A. Ritucci, A. Reale, L. Palladino, L. Reale, S. V. Kukhlevsky, F. Flora, L. Mezi, A. Faenov, T. Pikuz, and A. Gaudieri, Opt. Commun. 231, 403 (2004).
    [CrossRef]
  12. B. R. Benware, A. Ozols, J. J. Rocca, I. A. Artioukov, V. V. Kondratenko, and A. V. Vinogradov, Opt. Lett. 24, 1714 (1999).
    [CrossRef]
  13. A. Ritucci, G. Tomassetti, A. Reale, F. Flora, and L. Mezi, Phys. Rev. A 70, 023818 (2004).
    [CrossRef]
  14. S. Le Pape, Ph. Zeitoun, M. Idir, P. Dhez, J. J. Rocca, and M. Francois, Phys. Rev. Lett. 88, 183901 (2002).
    [CrossRef] [PubMed]
  15. S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tunnermann, B. N. Chichkov, B. Wellegehausen, and H. Welling, J. Opt. Soc. Am. B 14, 2716 (1997).
    [CrossRef]
  16. M. Reichling, J. Sils, H. Johansen, and E. Matthias, Appl. Phys. A 69, 743 (1999).
    [CrossRef]
  17. Data from National Institute of Standards and Technology, Website: http://www-cxro.lbl.gov/opticallowbarconstants/.

2005 (1)

S. J. Henley, G. M. Fuge, and M. N. R. Ashfold, J. Appl. Phys. 97, 023304 (2005).
[CrossRef]

2004 (3)

G. Kopitkovas, T. Lippert, C. David, A. Wokaun, and J. Gobrecht, Thin Solid Films 453, 31 (2004).
[CrossRef]

G. Tomassetti, A. Ritucci, A. Reale, L. Palladino, L. Reale, S. V. Kukhlevsky, F. Flora, L. Mezi, A. Faenov, T. Pikuz, and A. Gaudieri, Opt. Commun. 231, 403 (2004).
[CrossRef]

A. Ritucci, G. Tomassetti, A. Reale, F. Flora, and L. Mezi, Phys. Rev. A 70, 023818 (2004).
[CrossRef]

2003 (2)

J. Ihlemann, S. Muller, S. Pischmann, D. Schafer, M. Wei, J. Li, and P. R. Herman, Appl. Phys. A 76, 751 (2003).
[CrossRef]

S. J. Henley, M. N. R. Ashfold, and S. R. J. Pearce, Appl. Surf. Sci. 217, 68 (2003).
[CrossRef]

2002 (2)

R. Stoian, M. Boyle, A. Thoss, A. Rosenfeld, G. Korn, I. V. Hertel, and E. E. B. Campbell, Appl. Phys. Lett. 80, 353 (2002).
[CrossRef]

S. Le Pape, Ph. Zeitoun, M. Idir, P. Dhez, J. J. Rocca, and M. Francois, Phys. Rev. Lett. 88, 183901 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

1999 (3)

B. R. Benware, A. Ozols, J. J. Rocca, I. A. Artioukov, V. V. Kondratenko, and A. V. Vinogradov, Opt. Lett. 24, 1714 (1999).
[CrossRef]

M. Reichling, J. Sils, H. Johansen, and E. Matthias, Appl. Phys. A 69, 743 (1999).
[CrossRef]

D. Ashkenasi, M. Lorenz, R. Stoian, and A. Rosenfeld, Appl. Surf. Sci. 150, 106 (1999).
[CrossRef]

1998 (1)

B. R. Benware, C. D. Macchietto, C. H. Moreno, and J. J. Rocca, Phys. Rev. Lett. 81, 5804 (1998).
[CrossRef]

1997 (1)

1992 (1)

F. J. Himpsel, L. J. Terminello, D. A. Lapiano-Smith, E. A. Eklund, and J. J. Barton, Phys. Rev. Lett. 68, 3611 (1992).
[CrossRef] [PubMed]

Artioukov, I. A.

Ashfold, M. N.

S. J. Henley, G. M. Fuge, and M. N. R. Ashfold, J. Appl. Phys. 97, 023304 (2005).
[CrossRef]

S. J. Henley, M. N. R. Ashfold, and S. R. J. Pearce, Appl. Surf. Sci. 217, 68 (2003).
[CrossRef]

Ashkenasi, D.

D. Ashkenasi, M. Lorenz, R. Stoian, and A. Rosenfeld, Appl. Surf. Sci. 150, 106 (1999).
[CrossRef]

Barton, J. J.

F. J. Himpsel, L. J. Terminello, D. A. Lapiano-Smith, E. A. Eklund, and J. J. Barton, Phys. Rev. Lett. 68, 3611 (1992).
[CrossRef] [PubMed]

Benware, B. R.

B. R. Benware, A. Ozols, J. J. Rocca, I. A. Artioukov, V. V. Kondratenko, and A. V. Vinogradov, Opt. Lett. 24, 1714 (1999).
[CrossRef]

B. R. Benware, C. D. Macchietto, C. H. Moreno, and J. J. Rocca, Phys. Rev. Lett. 81, 5804 (1998).
[CrossRef]

Boyle, M.

R. Stoian, M. Boyle, A. Thoss, A. Rosenfeld, G. Korn, I. V. Hertel, and E. E. B. Campbell, Appl. Phys. Lett. 80, 353 (2002).
[CrossRef]

Campbell, E. E.

R. Stoian, M. Boyle, A. Thoss, A. Rosenfeld, G. Korn, I. V. Hertel, and E. E. B. Campbell, Appl. Phys. Lett. 80, 353 (2002).
[CrossRef]

Chichkov, B. N.

David, C.

G. Kopitkovas, T. Lippert, C. David, A. Wokaun, and J. Gobrecht, Thin Solid Films 453, 31 (2004).
[CrossRef]

Dhez, P.

S. Le Pape, Ph. Zeitoun, M. Idir, P. Dhez, J. J. Rocca, and M. Francois, Phys. Rev. Lett. 88, 183901 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Eklund, E. A.

F. J. Himpsel, L. J. Terminello, D. A. Lapiano-Smith, E. A. Eklund, and J. J. Barton, Phys. Rev. Lett. 68, 3611 (1992).
[CrossRef] [PubMed]

Faenov, A.

G. Tomassetti, A. Ritucci, A. Reale, L. Palladino, L. Reale, S. V. Kukhlevsky, F. Flora, L. Mezi, A. Faenov, T. Pikuz, and A. Gaudieri, Opt. Commun. 231, 403 (2004).
[CrossRef]

Flora, F.

A. Ritucci, G. Tomassetti, A. Reale, F. Flora, and L. Mezi, Phys. Rev. A 70, 023818 (2004).
[CrossRef]

G. Tomassetti, A. Ritucci, A. Reale, L. Palladino, L. Reale, S. V. Kukhlevsky, F. Flora, L. Mezi, A. Faenov, T. Pikuz, and A. Gaudieri, Opt. Commun. 231, 403 (2004).
[CrossRef]

Francois, M.

S. Le Pape, Ph. Zeitoun, M. Idir, P. Dhez, J. J. Rocca, and M. Francois, Phys. Rev. Lett. 88, 183901 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Fuge, G. M.

S. J. Henley, G. M. Fuge, and M. N. R. Ashfold, J. Appl. Phys. 97, 023304 (2005).
[CrossRef]

Gaudieri, A.

G. Tomassetti, A. Ritucci, A. Reale, L. Palladino, L. Reale, S. V. Kukhlevsky, F. Flora, L. Mezi, A. Faenov, T. Pikuz, and A. Gaudieri, Opt. Commun. 231, 403 (2004).
[CrossRef]

Gobrecht, J.

G. Kopitkovas, T. Lippert, C. David, A. Wokaun, and J. Gobrecht, Thin Solid Films 453, 31 (2004).
[CrossRef]

Henley, S. J.

S. J. Henley, G. M. Fuge, and M. N. R. Ashfold, J. Appl. Phys. 97, 023304 (2005).
[CrossRef]

S. J. Henley, M. N. R. Ashfold, and S. R. J. Pearce, Appl. Surf. Sci. 217, 68 (2003).
[CrossRef]

Herman, P. R.

J. Ihlemann, S. Muller, S. Pischmann, D. Schafer, M. Wei, J. Li, and P. R. Herman, Appl. Phys. A 76, 751 (2003).
[CrossRef]

Hertel, I. V.

R. Stoian, M. Boyle, A. Thoss, A. Rosenfeld, G. Korn, I. V. Hertel, and E. E. B. Campbell, Appl. Phys. Lett. 80, 353 (2002).
[CrossRef]

Himpsel, F. J.

F. J. Himpsel, L. J. Terminello, D. A. Lapiano-Smith, E. A. Eklund, and J. J. Barton, Phys. Rev. Lett. 68, 3611 (1992).
[CrossRef] [PubMed]

Idir, M.

S. Le Pape, Ph. Zeitoun, M. Idir, P. Dhez, J. J. Rocca, and M. Francois, Phys. Rev. Lett. 88, 183901 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Ihlemann, J.

J. Ihlemann, S. Muller, S. Pischmann, D. Schafer, M. Wei, J. Li, and P. R. Herman, Appl. Phys. A 76, 751 (2003).
[CrossRef]

Jacobs, H.

Johansen, H.

M. Reichling, J. Sils, H. Johansen, and E. Matthias, Appl. Phys. A 69, 743 (1999).
[CrossRef]

Kondratenko, V. V.

Kopitkovas, G.

G. Kopitkovas, T. Lippert, C. David, A. Wokaun, and J. Gobrecht, Thin Solid Films 453, 31 (2004).
[CrossRef]

Korn, G.

R. Stoian, M. Boyle, A. Thoss, A. Rosenfeld, G. Korn, I. V. Hertel, and E. E. B. Campbell, Appl. Phys. Lett. 80, 353 (2002).
[CrossRef]

Kukhlevsky, S. V.

G. Tomassetti, A. Ritucci, A. Reale, L. Palladino, L. Reale, S. V. Kukhlevsky, F. Flora, L. Mezi, A. Faenov, T. Pikuz, and A. Gaudieri, Opt. Commun. 231, 403 (2004).
[CrossRef]

Lapiano-Smith, D. A.

F. J. Himpsel, L. J. Terminello, D. A. Lapiano-Smith, E. A. Eklund, and J. J. Barton, Phys. Rev. Lett. 68, 3611 (1992).
[CrossRef] [PubMed]

Le Pape, S.

S. Le Pape, Ph. Zeitoun, M. Idir, P. Dhez, J. J. Rocca, and M. Francois, Phys. Rev. Lett. 88, 183901 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Li, J.

J. Ihlemann, S. Muller, S. Pischmann, D. Schafer, M. Wei, J. Li, and P. R. Herman, Appl. Phys. A 76, 751 (2003).
[CrossRef]

Lippert, T.

G. Kopitkovas, T. Lippert, C. David, A. Wokaun, and J. Gobrecht, Thin Solid Films 453, 31 (2004).
[CrossRef]

Lorenz, M.

D. Ashkenasi, M. Lorenz, R. Stoian, and A. Rosenfeld, Appl. Surf. Sci. 150, 106 (1999).
[CrossRef]

Macchietto, C. D.

B. R. Benware, C. D. Macchietto, C. H. Moreno, and J. J. Rocca, Phys. Rev. Lett. 81, 5804 (1998).
[CrossRef]

Matthias, E.

M. Reichling, J. Sils, H. Johansen, and E. Matthias, Appl. Phys. A 69, 743 (1999).
[CrossRef]

Mezi, L.

G. Tomassetti, A. Ritucci, A. Reale, L. Palladino, L. Reale, S. V. Kukhlevsky, F. Flora, L. Mezi, A. Faenov, T. Pikuz, and A. Gaudieri, Opt. Commun. 231, 403 (2004).
[CrossRef]

A. Ritucci, G. Tomassetti, A. Reale, F. Flora, and L. Mezi, Phys. Rev. A 70, 023818 (2004).
[CrossRef]

Miller, J. C.

J. C. Miller and R.F.Haglund, Jr., eds., Laser Ablation and Desorption, Vol. 30 of Experimental Methods in the Physical Sciences, (Academic, 1998), and references therein.

Momma, C.

Moreno, C. H.

B. R. Benware, C. D. Macchietto, C. H. Moreno, and J. J. Rocca, Phys. Rev. Lett. 81, 5804 (1998).
[CrossRef]

Muller, S.

J. Ihlemann, S. Muller, S. Pischmann, D. Schafer, M. Wei, J. Li, and P. R. Herman, Appl. Phys. A 76, 751 (2003).
[CrossRef]

Nolte, S.

Ozols, A.

Palladino, L.

G. Tomassetti, A. Ritucci, A. Reale, L. Palladino, L. Reale, S. V. Kukhlevsky, F. Flora, L. Mezi, A. Faenov, T. Pikuz, and A. Gaudieri, Opt. Commun. 231, 403 (2004).
[CrossRef]

Pearce, S. R.

S. J. Henley, M. N. R. Ashfold, and S. R. J. Pearce, Appl. Surf. Sci. 217, 68 (2003).
[CrossRef]

Pikuz, T.

G. Tomassetti, A. Ritucci, A. Reale, L. Palladino, L. Reale, S. V. Kukhlevsky, F. Flora, L. Mezi, A. Faenov, T. Pikuz, and A. Gaudieri, Opt. Commun. 231, 403 (2004).
[CrossRef]

Pischmann, S.

J. Ihlemann, S. Muller, S. Pischmann, D. Schafer, M. Wei, J. Li, and P. R. Herman, Appl. Phys. A 76, 751 (2003).
[CrossRef]

Reale, A.

A. Ritucci, G. Tomassetti, A. Reale, F. Flora, and L. Mezi, Phys. Rev. A 70, 023818 (2004).
[CrossRef]

G. Tomassetti, A. Ritucci, A. Reale, L. Palladino, L. Reale, S. V. Kukhlevsky, F. Flora, L. Mezi, A. Faenov, T. Pikuz, and A. Gaudieri, Opt. Commun. 231, 403 (2004).
[CrossRef]

Reale, L.

G. Tomassetti, A. Ritucci, A. Reale, L. Palladino, L. Reale, S. V. Kukhlevsky, F. Flora, L. Mezi, A. Faenov, T. Pikuz, and A. Gaudieri, Opt. Commun. 231, 403 (2004).
[CrossRef]

Reichling, M.

M. Reichling, J. Sils, H. Johansen, and E. Matthias, Appl. Phys. A 69, 743 (1999).
[CrossRef]

Ritucci, A.

G. Tomassetti, A. Ritucci, A. Reale, L. Palladino, L. Reale, S. V. Kukhlevsky, F. Flora, L. Mezi, A. Faenov, T. Pikuz, and A. Gaudieri, Opt. Commun. 231, 403 (2004).
[CrossRef]

A. Ritucci, G. Tomassetti, A. Reale, F. Flora, and L. Mezi, Phys. Rev. A 70, 023818 (2004).
[CrossRef]

Rocca, J. J.

S. Le Pape, Ph. Zeitoun, M. Idir, P. Dhez, J. J. Rocca, and M. Francois, Phys. Rev. Lett. 88, 183901 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

B. R. Benware, A. Ozols, J. J. Rocca, I. A. Artioukov, V. V. Kondratenko, and A. V. Vinogradov, Opt. Lett. 24, 1714 (1999).
[CrossRef]

B. R. Benware, C. D. Macchietto, C. H. Moreno, and J. J. Rocca, Phys. Rev. Lett. 81, 5804 (1998).
[CrossRef]

Rosenfeld, A.

R. Stoian, M. Boyle, A. Thoss, A. Rosenfeld, G. Korn, I. V. Hertel, and E. E. B. Campbell, Appl. Phys. Lett. 80, 353 (2002).
[CrossRef]

D. Ashkenasi, M. Lorenz, R. Stoian, and A. Rosenfeld, Appl. Surf. Sci. 150, 106 (1999).
[CrossRef]

Schafer, D.

J. Ihlemann, S. Muller, S. Pischmann, D. Schafer, M. Wei, J. Li, and P. R. Herman, Appl. Phys. A 76, 751 (2003).
[CrossRef]

Sils, J.

M. Reichling, J. Sils, H. Johansen, and E. Matthias, Appl. Phys. A 69, 743 (1999).
[CrossRef]

Stoian, R.

R. Stoian, M. Boyle, A. Thoss, A. Rosenfeld, G. Korn, I. V. Hertel, and E. E. B. Campbell, Appl. Phys. Lett. 80, 353 (2002).
[CrossRef]

D. Ashkenasi, M. Lorenz, R. Stoian, and A. Rosenfeld, Appl. Surf. Sci. 150, 106 (1999).
[CrossRef]

Terminello, L. J.

F. J. Himpsel, L. J. Terminello, D. A. Lapiano-Smith, E. A. Eklund, and J. J. Barton, Phys. Rev. Lett. 68, 3611 (1992).
[CrossRef] [PubMed]

Thoss, A.

R. Stoian, M. Boyle, A. Thoss, A. Rosenfeld, G. Korn, I. V. Hertel, and E. E. B. Campbell, Appl. Phys. Lett. 80, 353 (2002).
[CrossRef]

Tomassetti, G.

G. Tomassetti, A. Ritucci, A. Reale, L. Palladino, L. Reale, S. V. Kukhlevsky, F. Flora, L. Mezi, A. Faenov, T. Pikuz, and A. Gaudieri, Opt. Commun. 231, 403 (2004).
[CrossRef]

A. Ritucci, G. Tomassetti, A. Reale, F. Flora, and L. Mezi, Phys. Rev. A 70, 023818 (2004).
[CrossRef]

Tunnermann, A.

Vinogradov, A. V.

Wei, M.

J. Ihlemann, S. Muller, S. Pischmann, D. Schafer, M. Wei, J. Li, and P. R. Herman, Appl. Phys. A 76, 751 (2003).
[CrossRef]

Wellegehausen, B.

Welling, H.

Wokaun, A.

G. Kopitkovas, T. Lippert, C. David, A. Wokaun, and J. Gobrecht, Thin Solid Films 453, 31 (2004).
[CrossRef]

Zeitoun, Ph.

S. Le Pape, Ph. Zeitoun, M. Idir, P. Dhez, J. J. Rocca, and M. Francois, Phys. Rev. Lett. 88, 183901 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

Appl. Phys. A (2)

J. Ihlemann, S. Muller, S. Pischmann, D. Schafer, M. Wei, J. Li, and P. R. Herman, Appl. Phys. A 76, 751 (2003).
[CrossRef]

M. Reichling, J. Sils, H. Johansen, and E. Matthias, Appl. Phys. A 69, 743 (1999).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett. (1)

R. Stoian, M. Boyle, A. Thoss, A. Rosenfeld, G. Korn, I. V. Hertel, and E. E. B. Campbell, Appl. Phys. Lett. 80, 353 (2002).
[CrossRef]

Appl. Surf. Sci. (2)

D. Ashkenasi, M. Lorenz, R. Stoian, and A. Rosenfeld, Appl. Surf. Sci. 150, 106 (1999).
[CrossRef]

S. J. Henley, M. N. R. Ashfold, and S. R. J. Pearce, Appl. Surf. Sci. 217, 68 (2003).
[CrossRef]

J. Appl. Phys. (1)

S. J. Henley, G. M. Fuge, and M. N. R. Ashfold, J. Appl. Phys. 97, 023304 (2005).
[CrossRef]

J. Opt. Soc. Am. B (1)

Opt. Commun. (1)

G. Tomassetti, A. Ritucci, A. Reale, L. Palladino, L. Reale, S. V. Kukhlevsky, F. Flora, L. Mezi, A. Faenov, T. Pikuz, and A. Gaudieri, Opt. Commun. 231, 403 (2004).
[CrossRef]

Opt. Lett. (1)

Phys. Rev. A (1)

A. Ritucci, G. Tomassetti, A. Reale, F. Flora, and L. Mezi, Phys. Rev. A 70, 023818 (2004).
[CrossRef]

Phys. Rev. Lett. (3)

S. Le Pape, Ph. Zeitoun, M. Idir, P. Dhez, J. J. Rocca, and M. Francois, Phys. Rev. Lett. 88, 183901 (2002).
[CrossRef] [PubMed]

F. J. Himpsel, L. J. Terminello, D. A. Lapiano-Smith, E. A. Eklund, and J. J. Barton, Phys. Rev. Lett. 68, 3611 (1992).
[CrossRef] [PubMed]

B. R. Benware, C. D. Macchietto, C. H. Moreno, and J. J. Rocca, Phys. Rev. Lett. 81, 5804 (1998).
[CrossRef]

Thin Solid Films (1)

G. Kopitkovas, T. Lippert, C. David, A. Wokaun, and J. Gobrecht, Thin Solid Films 453, 31 (2004).
[CrossRef]

Other (3)

J. C. Miller and R.F.Haglund, Jr., eds., Laser Ablation and Desorption, Vol. 30 of Experimental Methods in the Physical Sciences, (Academic, 1998), and references therein.

P.Klocek, ed., Handbook of Infrared Optical Materials (Marcel Dekker, 1991).

Data from National Institute of Standards and Technology, Website: http://www-cxro.lbl.gov/opticallowbarconstants/.

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (3)

Fig. 1
Fig. 1

(a) Experimental vertical profiles of craters produced on Ca F 2 by the 46.9 nm laser at fluences of 0.36 (dotted curve) and 3 J cm 2 (solid curve) by 25 laser shots. (b) Atomic-force microscope image of the crater produced on Ca F 2 with a fluence of 3 J cm 2 .

Fig. 2
Fig. 2

Experimental ablation rates versus fluence of a 46.9 nm laser for LiF (filled circles) and Ca F 2 (open circles). Solid and the dotted curves are the results of the theoretical fittings obtained by use of a logarithmic curve (see the formula within the text) for these two materials, respectively.

Fig. 3
Fig. 3

SEM images of the ablated spots: (a), (c) results for LiF with 25 shots at fluences of 0.8 and 3 J cm 2 ; (b), (d) results for Ca F 2 crystals obtained at the same fluences as for (a) and (c).

Metrics