Abstract

A workstation that permits real-time measurement of ablation depth while micromachining with femtosecond laser pulses is demonstrated. This method incorporates the unamplified pulse train that is available in a chirped-pulse amplification system as the probe in an arrangement that uses spectral interferometry to measure the ablation depth while cutting with the amplified pulse in thin metal films.

© 2005 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. S. Nolte, B. N. Chichkov, H. Welling, Y. Shani, K. Lieberman, and H. Terkel, Opt. Lett. 24, 914 (1999).
    [CrossRef]
  2. C. Momma, B. N. Chichkov, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tünnermann, H. Welling, and B. Wellegehausen, Opt. Commun. 129, 134 (1996).
    [CrossRef]
  3. C. Momma, S. Nolte, B. N. Chichkov, F. von Alvensleben, and A. Tunnermann, Appl. Surf. Sci. 109–110, 15 (1997).
  4. S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tunnermann, B. N. Chichkov, B. Wellegehausen, and H. Welling, J. Opt. Soc. Am. B 14, 2716 (1997).
    [CrossRef]
  5. B. N. Chichkov, C. Momma, S. Nolte, F. von Alvensleben, and A. Tünnermann, Appl. Phys. A 63, 109 (1996).
    [CrossRef]
  6. P. P. Pronko, S. K. Dutta, J. Squier, J. V. Rudd, D. Du, and G. Mourou, Opt. Commun. 114, 106 (1995).
    [CrossRef]
  7. D. von der Linde and K. Sokolowski-Tinten, Appl. Surf. Sci. 154–155, 1 (2000).
  8. D. Du, X. Liu, G. Korn, J. Squier, and G. Mourou, Appl. Phys. Lett. 64, 3071 (1994).
    [CrossRef]
  9. A. S. Zakharov, M. V. Volkov, I. P. Gurov, V. V. Temnov, K. Sokolovski-Tinten, and D. von der Linde, J. Opt. Technol. 69, 478 (2002).
    [CrossRef]
  10. B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. Lett. 74, 2248 (1995).
    [CrossRef] [PubMed]
  11. S. Küper and M. Stuke, Appl. Phys. Lett. 54, 4 (1988).
    [CrossRef]
  12. M. Lapczyna, K. P. Chen, P. R. Herman, H. W. Tan, and R. S. Marjoribanks, Appl. Phys. A 69, S883 (1999).
    [CrossRef]
  13. J. Squier and M. Müller, Appl. Opt. 38, 5789 (1999).
    [CrossRef]
  14. N. F. Scherer, R. J. Carlson, A. Matro, M. Du, A. J. Ruggiero, V. Romero-Rochin, J. A. Cina, G. R. Fleming, and S. A. Rice, J. Chem. Phys. 95, 1487 (1991).
  15. P. Audebert, Ph. Daguzan, A. Dos Santos, J. C. Gauthier, J. P. Geindre, S. Guizard, G. Hamoniaux, K. Krastev, P. Martin, G. Petite, and A. Antonetti, Phys. Rev. Lett. 73, 1990 (1994).
    [CrossRef] [PubMed]
  16. A. B. Vakhtin, K. A. Peterson, W. R. Wood, and D. J. Kane, Opt. Lett. 28, 1332 (2003).
    [CrossRef] [PubMed]
  17. J. Tignon, M. V. Marquezini, T. Hasche, and D. S. Chemla, IEEE J. Quantum Electron. 35, 510 (1999).
    [CrossRef]
  18. D. N. Fittinghoff, J. L. Bowie, J. N. Sweetser, R. T. Jennings, M. A. Krumbugel, K. W. DeLong, R. Trebino, and I. A. Walmsley, Opt. Lett. 21, 884 (1996).
    [CrossRef] [PubMed]
  19. J. Jasapara and W. Rudolph, Opt. Lett. 24, 777 (1999).
    [CrossRef]

2003 (1)

2002 (1)

2000 (1)

D. von der Linde and K. Sokolowski-Tinten, Appl. Surf. Sci. 154–155, 1 (2000).

1999 (5)

S. Nolte, B. N. Chichkov, H. Welling, Y. Shani, K. Lieberman, and H. Terkel, Opt. Lett. 24, 914 (1999).
[CrossRef]

M. Lapczyna, K. P. Chen, P. R. Herman, H. W. Tan, and R. S. Marjoribanks, Appl. Phys. A 69, S883 (1999).
[CrossRef]

J. Squier and M. Müller, Appl. Opt. 38, 5789 (1999).
[CrossRef]

J. Tignon, M. V. Marquezini, T. Hasche, and D. S. Chemla, IEEE J. Quantum Electron. 35, 510 (1999).
[CrossRef]

J. Jasapara and W. Rudolph, Opt. Lett. 24, 777 (1999).
[CrossRef]

1997 (2)

C. Momma, S. Nolte, B. N. Chichkov, F. von Alvensleben, and A. Tunnermann, Appl. Surf. Sci. 109–110, 15 (1997).

S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tunnermann, B. N. Chichkov, B. Wellegehausen, and H. Welling, J. Opt. Soc. Am. B 14, 2716 (1997).
[CrossRef]

1996 (3)

B. N. Chichkov, C. Momma, S. Nolte, F. von Alvensleben, and A. Tünnermann, Appl. Phys. A 63, 109 (1996).
[CrossRef]

C. Momma, B. N. Chichkov, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tünnermann, H. Welling, and B. Wellegehausen, Opt. Commun. 129, 134 (1996).
[CrossRef]

D. N. Fittinghoff, J. L. Bowie, J. N. Sweetser, R. T. Jennings, M. A. Krumbugel, K. W. DeLong, R. Trebino, and I. A. Walmsley, Opt. Lett. 21, 884 (1996).
[CrossRef] [PubMed]

1995 (2)

B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. Lett. 74, 2248 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

P. P. Pronko, S. K. Dutta, J. Squier, J. V. Rudd, D. Du, and G. Mourou, Opt. Commun. 114, 106 (1995).
[CrossRef]

1994 (2)

D. Du, X. Liu, G. Korn, J. Squier, and G. Mourou, Appl. Phys. Lett. 64, 3071 (1994).
[CrossRef]

P. Audebert, Ph. Daguzan, A. Dos Santos, J. C. Gauthier, J. P. Geindre, S. Guizard, G. Hamoniaux, K. Krastev, P. Martin, G. Petite, and A. Antonetti, Phys. Rev. Lett. 73, 1990 (1994).
[CrossRef] [PubMed]

1991 (1)

N. F. Scherer, R. J. Carlson, A. Matro, M. Du, A. J. Ruggiero, V. Romero-Rochin, J. A. Cina, G. R. Fleming, and S. A. Rice, J. Chem. Phys. 95, 1487 (1991).

1988 (1)

S. Küper and M. Stuke, Appl. Phys. Lett. 54, 4 (1988).
[CrossRef]

Antonetti, A.

P. Audebert, Ph. Daguzan, A. Dos Santos, J. C. Gauthier, J. P. Geindre, S. Guizard, G. Hamoniaux, K. Krastev, P. Martin, G. Petite, and A. Antonetti, Phys. Rev. Lett. 73, 1990 (1994).
[CrossRef] [PubMed]

Audebert, P.

P. Audebert, Ph. Daguzan, A. Dos Santos, J. C. Gauthier, J. P. Geindre, S. Guizard, G. Hamoniaux, K. Krastev, P. Martin, G. Petite, and A. Antonetti, Phys. Rev. Lett. 73, 1990 (1994).
[CrossRef] [PubMed]

Bowie, J. L.

Carlson, R. J.

N. F. Scherer, R. J. Carlson, A. Matro, M. Du, A. J. Ruggiero, V. Romero-Rochin, J. A. Cina, G. R. Fleming, and S. A. Rice, J. Chem. Phys. 95, 1487 (1991).

Chemla, D. S.

J. Tignon, M. V. Marquezini, T. Hasche, and D. S. Chemla, IEEE J. Quantum Electron. 35, 510 (1999).
[CrossRef]

Chen, K. P.

M. Lapczyna, K. P. Chen, P. R. Herman, H. W. Tan, and R. S. Marjoribanks, Appl. Phys. A 69, S883 (1999).
[CrossRef]

Chichkov, B. N.

S. Nolte, B. N. Chichkov, H. Welling, Y. Shani, K. Lieberman, and H. Terkel, Opt. Lett. 24, 914 (1999).
[CrossRef]

C. Momma, S. Nolte, B. N. Chichkov, F. von Alvensleben, and A. Tunnermann, Appl. Surf. Sci. 109–110, 15 (1997).

S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tunnermann, B. N. Chichkov, B. Wellegehausen, and H. Welling, J. Opt. Soc. Am. B 14, 2716 (1997).
[CrossRef]

B. N. Chichkov, C. Momma, S. Nolte, F. von Alvensleben, and A. Tünnermann, Appl. Phys. A 63, 109 (1996).
[CrossRef]

C. Momma, B. N. Chichkov, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tünnermann, H. Welling, and B. Wellegehausen, Opt. Commun. 129, 134 (1996).
[CrossRef]

Cina, J. A.

N. F. Scherer, R. J. Carlson, A. Matro, M. Du, A. J. Ruggiero, V. Romero-Rochin, J. A. Cina, G. R. Fleming, and S. A. Rice, J. Chem. Phys. 95, 1487 (1991).

Daguzan, Ph.

P. Audebert, Ph. Daguzan, A. Dos Santos, J. C. Gauthier, J. P. Geindre, S. Guizard, G. Hamoniaux, K. Krastev, P. Martin, G. Petite, and A. Antonetti, Phys. Rev. Lett. 73, 1990 (1994).
[CrossRef] [PubMed]

DeLong, K. W.

Dos Santos, A.

P. Audebert, Ph. Daguzan, A. Dos Santos, J. C. Gauthier, J. P. Geindre, S. Guizard, G. Hamoniaux, K. Krastev, P. Martin, G. Petite, and A. Antonetti, Phys. Rev. Lett. 73, 1990 (1994).
[CrossRef] [PubMed]

Du, D.

P. P. Pronko, S. K. Dutta, J. Squier, J. V. Rudd, D. Du, and G. Mourou, Opt. Commun. 114, 106 (1995).
[CrossRef]

D. Du, X. Liu, G. Korn, J. Squier, and G. Mourou, Appl. Phys. Lett. 64, 3071 (1994).
[CrossRef]

Du, M.

N. F. Scherer, R. J. Carlson, A. Matro, M. Du, A. J. Ruggiero, V. Romero-Rochin, J. A. Cina, G. R. Fleming, and S. A. Rice, J. Chem. Phys. 95, 1487 (1991).

Dutta, S. K.

P. P. Pronko, S. K. Dutta, J. Squier, J. V. Rudd, D. Du, and G. Mourou, Opt. Commun. 114, 106 (1995).
[CrossRef]

Feit, M. D.

B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. Lett. 74, 2248 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

Fittinghoff, D. N.

Fleming, G. R.

N. F. Scherer, R. J. Carlson, A. Matro, M. Du, A. J. Ruggiero, V. Romero-Rochin, J. A. Cina, G. R. Fleming, and S. A. Rice, J. Chem. Phys. 95, 1487 (1991).

Gauthier, J. C.

P. Audebert, Ph. Daguzan, A. Dos Santos, J. C. Gauthier, J. P. Geindre, S. Guizard, G. Hamoniaux, K. Krastev, P. Martin, G. Petite, and A. Antonetti, Phys. Rev. Lett. 73, 1990 (1994).
[CrossRef] [PubMed]

Geindre, J. P.

P. Audebert, Ph. Daguzan, A. Dos Santos, J. C. Gauthier, J. P. Geindre, S. Guizard, G. Hamoniaux, K. Krastev, P. Martin, G. Petite, and A. Antonetti, Phys. Rev. Lett. 73, 1990 (1994).
[CrossRef] [PubMed]

Guizard, S.

P. Audebert, Ph. Daguzan, A. Dos Santos, J. C. Gauthier, J. P. Geindre, S. Guizard, G. Hamoniaux, K. Krastev, P. Martin, G. Petite, and A. Antonetti, Phys. Rev. Lett. 73, 1990 (1994).
[CrossRef] [PubMed]

Gurov, I. P.

Hamoniaux, G.

P. Audebert, Ph. Daguzan, A. Dos Santos, J. C. Gauthier, J. P. Geindre, S. Guizard, G. Hamoniaux, K. Krastev, P. Martin, G. Petite, and A. Antonetti, Phys. Rev. Lett. 73, 1990 (1994).
[CrossRef] [PubMed]

Hasche, T.

J. Tignon, M. V. Marquezini, T. Hasche, and D. S. Chemla, IEEE J. Quantum Electron. 35, 510 (1999).
[CrossRef]

Herman, P. R.

M. Lapczyna, K. P. Chen, P. R. Herman, H. W. Tan, and R. S. Marjoribanks, Appl. Phys. A 69, S883 (1999).
[CrossRef]

Jacobs, H.

Jasapara, J.

Jennings, R. T.

Kane, D. J.

Korn, G.

D. Du, X. Liu, G. Korn, J. Squier, and G. Mourou, Appl. Phys. Lett. 64, 3071 (1994).
[CrossRef]

Krastev, K.

P. Audebert, Ph. Daguzan, A. Dos Santos, J. C. Gauthier, J. P. Geindre, S. Guizard, G. Hamoniaux, K. Krastev, P. Martin, G. Petite, and A. Antonetti, Phys. Rev. Lett. 73, 1990 (1994).
[CrossRef] [PubMed]

Krumbugel, M. A.

Küper, S.

S. Küper and M. Stuke, Appl. Phys. Lett. 54, 4 (1988).
[CrossRef]

Lapczyna, M.

M. Lapczyna, K. P. Chen, P. R. Herman, H. W. Tan, and R. S. Marjoribanks, Appl. Phys. A 69, S883 (1999).
[CrossRef]

Lieberman, K.

Liu, X.

D. Du, X. Liu, G. Korn, J. Squier, and G. Mourou, Appl. Phys. Lett. 64, 3071 (1994).
[CrossRef]

Marjoribanks, R. S.

M. Lapczyna, K. P. Chen, P. R. Herman, H. W. Tan, and R. S. Marjoribanks, Appl. Phys. A 69, S883 (1999).
[CrossRef]

Marquezini, M. V.

J. Tignon, M. V. Marquezini, T. Hasche, and D. S. Chemla, IEEE J. Quantum Electron. 35, 510 (1999).
[CrossRef]

Martin, P.

P. Audebert, Ph. Daguzan, A. Dos Santos, J. C. Gauthier, J. P. Geindre, S. Guizard, G. Hamoniaux, K. Krastev, P. Martin, G. Petite, and A. Antonetti, Phys. Rev. Lett. 73, 1990 (1994).
[CrossRef] [PubMed]

Matro, A.

N. F. Scherer, R. J. Carlson, A. Matro, M. Du, A. J. Ruggiero, V. Romero-Rochin, J. A. Cina, G. R. Fleming, and S. A. Rice, J. Chem. Phys. 95, 1487 (1991).

Momma, C.

C. Momma, S. Nolte, B. N. Chichkov, F. von Alvensleben, and A. Tunnermann, Appl. Surf. Sci. 109–110, 15 (1997).

S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tunnermann, B. N. Chichkov, B. Wellegehausen, and H. Welling, J. Opt. Soc. Am. B 14, 2716 (1997).
[CrossRef]

B. N. Chichkov, C. Momma, S. Nolte, F. von Alvensleben, and A. Tünnermann, Appl. Phys. A 63, 109 (1996).
[CrossRef]

C. Momma, B. N. Chichkov, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tünnermann, H. Welling, and B. Wellegehausen, Opt. Commun. 129, 134 (1996).
[CrossRef]

Mourou, G.

P. P. Pronko, S. K. Dutta, J. Squier, J. V. Rudd, D. Du, and G. Mourou, Opt. Commun. 114, 106 (1995).
[CrossRef]

D. Du, X. Liu, G. Korn, J. Squier, and G. Mourou, Appl. Phys. Lett. 64, 3071 (1994).
[CrossRef]

Müller, M.

Nolte, S.

S. Nolte, B. N. Chichkov, H. Welling, Y. Shani, K. Lieberman, and H. Terkel, Opt. Lett. 24, 914 (1999).
[CrossRef]

C. Momma, S. Nolte, B. N. Chichkov, F. von Alvensleben, and A. Tunnermann, Appl. Surf. Sci. 109–110, 15 (1997).

S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tunnermann, B. N. Chichkov, B. Wellegehausen, and H. Welling, J. Opt. Soc. Am. B 14, 2716 (1997).
[CrossRef]

B. N. Chichkov, C. Momma, S. Nolte, F. von Alvensleben, and A. Tünnermann, Appl. Phys. A 63, 109 (1996).
[CrossRef]

C. Momma, B. N. Chichkov, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tünnermann, H. Welling, and B. Wellegehausen, Opt. Commun. 129, 134 (1996).
[CrossRef]

Perry, M. D.

B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. Lett. 74, 2248 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

Peterson, K. A.

Petite, G.

P. Audebert, Ph. Daguzan, A. Dos Santos, J. C. Gauthier, J. P. Geindre, S. Guizard, G. Hamoniaux, K. Krastev, P. Martin, G. Petite, and A. Antonetti, Phys. Rev. Lett. 73, 1990 (1994).
[CrossRef] [PubMed]

Pronko, P. P.

P. P. Pronko, S. K. Dutta, J. Squier, J. V. Rudd, D. Du, and G. Mourou, Opt. Commun. 114, 106 (1995).
[CrossRef]

Rice, S. A.

N. F. Scherer, R. J. Carlson, A. Matro, M. Du, A. J. Ruggiero, V. Romero-Rochin, J. A. Cina, G. R. Fleming, and S. A. Rice, J. Chem. Phys. 95, 1487 (1991).

Romero-Rochin, V.

N. F. Scherer, R. J. Carlson, A. Matro, M. Du, A. J. Ruggiero, V. Romero-Rochin, J. A. Cina, G. R. Fleming, and S. A. Rice, J. Chem. Phys. 95, 1487 (1991).

Rubenchik, A. M.

B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. Lett. 74, 2248 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

Rudd, J. V.

P. P. Pronko, S. K. Dutta, J. Squier, J. V. Rudd, D. Du, and G. Mourou, Opt. Commun. 114, 106 (1995).
[CrossRef]

Rudolph, W.

Ruggiero, A. J.

N. F. Scherer, R. J. Carlson, A. Matro, M. Du, A. J. Ruggiero, V. Romero-Rochin, J. A. Cina, G. R. Fleming, and S. A. Rice, J. Chem. Phys. 95, 1487 (1991).

Scherer, N. F.

N. F. Scherer, R. J. Carlson, A. Matro, M. Du, A. J. Ruggiero, V. Romero-Rochin, J. A. Cina, G. R. Fleming, and S. A. Rice, J. Chem. Phys. 95, 1487 (1991).

Shani, Y.

Shore, B. W.

B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. Lett. 74, 2248 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

Sokolovski-Tinten, K.

Sokolowski-Tinten, K.

D. von der Linde and K. Sokolowski-Tinten, Appl. Surf. Sci. 154–155, 1 (2000).

Squier, J.

J. Squier and M. Müller, Appl. Opt. 38, 5789 (1999).
[CrossRef]

P. P. Pronko, S. K. Dutta, J. Squier, J. V. Rudd, D. Du, and G. Mourou, Opt. Commun. 114, 106 (1995).
[CrossRef]

D. Du, X. Liu, G. Korn, J. Squier, and G. Mourou, Appl. Phys. Lett. 64, 3071 (1994).
[CrossRef]

Stuart, B. C.

B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. Lett. 74, 2248 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

Stuke, M.

S. Küper and M. Stuke, Appl. Phys. Lett. 54, 4 (1988).
[CrossRef]

Sweetser, J. N.

Tan, H. W.

M. Lapczyna, K. P. Chen, P. R. Herman, H. W. Tan, and R. S. Marjoribanks, Appl. Phys. A 69, S883 (1999).
[CrossRef]

Temnov, V. V.

Terkel, H.

Tignon, J.

J. Tignon, M. V. Marquezini, T. Hasche, and D. S. Chemla, IEEE J. Quantum Electron. 35, 510 (1999).
[CrossRef]

Trebino, R.

Tunnermann, A.

C. Momma, S. Nolte, B. N. Chichkov, F. von Alvensleben, and A. Tunnermann, Appl. Surf. Sci. 109–110, 15 (1997).

S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tunnermann, B. N. Chichkov, B. Wellegehausen, and H. Welling, J. Opt. Soc. Am. B 14, 2716 (1997).
[CrossRef]

Tünnermann, A.

B. N. Chichkov, C. Momma, S. Nolte, F. von Alvensleben, and A. Tünnermann, Appl. Phys. A 63, 109 (1996).
[CrossRef]

C. Momma, B. N. Chichkov, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tünnermann, H. Welling, and B. Wellegehausen, Opt. Commun. 129, 134 (1996).
[CrossRef]

Vakhtin, A. B.

Volkov, M. V.

von Alvensleben, F.

C. Momma, S. Nolte, B. N. Chichkov, F. von Alvensleben, and A. Tunnermann, Appl. Surf. Sci. 109–110, 15 (1997).

C. Momma, B. N. Chichkov, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tünnermann, H. Welling, and B. Wellegehausen, Opt. Commun. 129, 134 (1996).
[CrossRef]

B. N. Chichkov, C. Momma, S. Nolte, F. von Alvensleben, and A. Tünnermann, Appl. Phys. A 63, 109 (1996).
[CrossRef]

von der Linde, D.

Walmsley, I. A.

Wellegehausen, B.

S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tunnermann, B. N. Chichkov, B. Wellegehausen, and H. Welling, J. Opt. Soc. Am. B 14, 2716 (1997).
[CrossRef]

C. Momma, B. N. Chichkov, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tünnermann, H. Welling, and B. Wellegehausen, Opt. Commun. 129, 134 (1996).
[CrossRef]

Welling, H.

Wood, W. R.

Zakharov, A. S.

Appl. Opt. (1)

Appl. Phys. A (2)

M. Lapczyna, K. P. Chen, P. R. Herman, H. W. Tan, and R. S. Marjoribanks, Appl. Phys. A 69, S883 (1999).
[CrossRef]

B. N. Chichkov, C. Momma, S. Nolte, F. von Alvensleben, and A. Tünnermann, Appl. Phys. A 63, 109 (1996).
[CrossRef]

Appl. Phys. Lett. (2)

D. Du, X. Liu, G. Korn, J. Squier, and G. Mourou, Appl. Phys. Lett. 64, 3071 (1994).
[CrossRef]

S. Küper and M. Stuke, Appl. Phys. Lett. 54, 4 (1988).
[CrossRef]

Appl. Surf. Sci. (2)

D. von der Linde and K. Sokolowski-Tinten, Appl. Surf. Sci. 154–155, 1 (2000).

C. Momma, S. Nolte, B. N. Chichkov, F. von Alvensleben, and A. Tunnermann, Appl. Surf. Sci. 109–110, 15 (1997).

IEEE J. Quantum Electron. (1)

J. Tignon, M. V. Marquezini, T. Hasche, and D. S. Chemla, IEEE J. Quantum Electron. 35, 510 (1999).
[CrossRef]

J. Chem. Phys. (1)

N. F. Scherer, R. J. Carlson, A. Matro, M. Du, A. J. Ruggiero, V. Romero-Rochin, J. A. Cina, G. R. Fleming, and S. A. Rice, J. Chem. Phys. 95, 1487 (1991).

J. Opt. Soc. Am. B (1)

J. Opt. Technol. (1)

Opt. Commun. (2)

P. P. Pronko, S. K. Dutta, J. Squier, J. V. Rudd, D. Du, and G. Mourou, Opt. Commun. 114, 106 (1995).
[CrossRef]

C. Momma, B. N. Chichkov, S. Nolte, F. von Alvensleben, A. Tünnermann, H. Welling, and B. Wellegehausen, Opt. Commun. 129, 134 (1996).
[CrossRef]

Opt. Lett. (4)

Phys. Rev. Lett. (2)

P. Audebert, Ph. Daguzan, A. Dos Santos, J. C. Gauthier, J. P. Geindre, S. Guizard, G. Hamoniaux, K. Krastev, P. Martin, G. Petite, and A. Antonetti, Phys. Rev. Lett. 73, 1990 (1994).
[CrossRef] [PubMed]

B. C. Stuart, M. D. Feit, A. M. Rubenchik, B. W. Shore, and M. D. Perry, Phys. Rev. Lett. 74, 2248 (1995).
[CrossRef] [PubMed]

Cited By

OSA participates in CrossRef's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1
Fig. 1

Micromachining setup.

Fig. 2
Fig. 2

(a) Spectral interferograms before ablation. (b) Spectral interferograms after ablation. The image acquisition time is 1/250 s. After machining, the reflectivity is reduced, decreasing fringe contrast.

Fig. 3
Fig. 3

Lineout of the spectral interferograms shown in Fig. 2.

Fig. 4
Fig. 4

Atomic force micrograph of the machined hole and the cross-sectional profile.

Metrics